Kaschube, Carsten (Sigmaringer Str. 52, Nuertingen, 72622, DE)
Didra, Hans-peter (Sandackerstr. 20, Kusterdingen-Jettenburg, 72127, DE)
Kott, Michael (Heilbronner Str. 63, Reutlingen, 72760, DE)
Moelkner, Thomas (Veilchenweg 8, Stuttgart, 70563, DE)
Kaschube, Carsten (Sigmaringer Str. 52, Nuertingen, 72622, DE)
Didra, Hans-peter (Sandackerstr. 20, Kusterdingen-Jettenburg, 72127, DE)
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| 1. | Verfahren zur druckunabhängigen Temperaturbestimmung mittels einer Membran (1), auf der eine Brückenschaltung (5) mit mehreren Widerständen (6,7, 8,9) aufgenom men ist, von denen ein Widerstandpaar (10) zentrumsnah und ein Widerstandspaar (11) zentrumsfern angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Widerstände (6, 7,8, 9) auf der Membran (1) so angeordnet werden, dass die Zugdehnung Al des zentrumsnah angeordneten Widerstandspaares (10) der StauchungAl des zentrums fern angeordneten Widerstandspaares (11) entsprechen. |
| 2. | Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das zentrumsnah ange ordnete Widerstandspaar (10) auf der Metallmembran (1) im Bereich der bei Druck beaufschlagung der Metallmembran (l) auftretenden Dehnungsmaxima (12) angeord net wird. |
| 3. | Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das zentrumsfern ange ordnete Widerstandspaar (11) auf der Metallmembran (1) in dem Bereich (3) ange ordnet wird, in dem Stauchungsmaxima (13) auftreten. |
| 4. | Verfahren gemäß der Ansprüche 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Bereiche der Metallmembran (1), an denen die Dehnungsmaxima (12) und an denen die Stau chungsmaxima (13) auftreten, mittels der FiniteElementeMethode bestimmt werden. |
| 5. | Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Absolutbetrag (JA1) der Dehnungen (A1) und der Stauchungen (A1) der Brückenschaltung (5) identisch ist. |
| 6. | Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine geometrische Opti mierung der Konfiguration der Metallmembran (1) im Rahmen der FEMSimulation erfolgt. |
| 7. | Verfahren gemäß Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass im Rahmen der FEM Simulation geometrische Randbedingungen wie der Durchmesser der Metallmembran (1), die Dicke der Metallmembran (1) sowie die Höhe der Metallmembran (1) berück sichtigt werden. |
| 8. | Verfahren gemäß Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass im Rahmen der FEM Simulation der Nenndruck berücksichtigt wird, mit welchem die Metallmembran 1 be aufschlag wird. |
Stand der Technik Aus dem Kraftfahrtechnischen Taschenbuch/Bosch [Chefredakteur : Horst Bauer] ; 23., ak- tualisierte und erweiterte Auflage Braunschweig ; Wiesbaden : Vieweg 1999, ISBN 3-528- 03876-4, Seiten 110/111 ist ein Brennraumdrucksensor bekannt, der als Sensorchip ausge- bildet ist. Um zu vermeiden, dass der Si-Chip nicht unmittelbar den hohen Temperaturen von maximal 600°C ausgesetzt ist, ist eine metallische Trennmembran und ein angeschweiß- ter Stößel von einigen Millimetern Länge vorgesehen. Die von der Frontmembran aufge- nommenen Druckkräfte werden über den Stößel mit geringer zusätzlicher Verfälschung über das Podest in den Sensorchip eingeleitet. Dieser ist in der zurückgezogenen Montage- position nur noch Betriebstemperaturen unterhalb von 150°C ausgesetzt.
Auf Seite 110, rechte Spalte unten, Abbildung Halbleiter-Drucksensor, ist eine Brücken- schaltung bekannt, die durch eine Versorgungsspannung Uo beaufschlagt ist. Die Brücken- schaltung umfasst Messwiderstände Rl, die bei einer Beanspruchung gedehnt sowie Mess- widerstände R2, die bei mechanischer Beanspruchung eines Siliziumsubstrats, auf dem sie aufgebracht sind, gestaucht werden.
Derart ausgebildete, piezoresistive Hochdrucksensoren auf Basis einer Dehnungsmessung, seien sie auf einer Stahlmembran oder seien sie auf einer Siliziummembran aufgetragen, kommen in zahlreichen Systemen im KFZ-Bereich zum Einsatz. Dazu sind die Benzindi- rekteinspritzung, die Hochdruckspeichereinspritzung (Common Rail), die Fahrdynamikrege- lung sowie die elektrohydraulische Bremse zu zählen. Eine künftige Anwendung der piezo- resistiven Hochdrucksensoren liegt in der zylinderselektiven Druckmessung im Brennraum einer Verbrennungskraftmaschine.
Zur Druckmessung werden auf einer geeignet dimensionierten Stahlmembran mehrere Wi- derstände angeordnet und in Form einer Wheatstone-Brücke verschaltet. Durch Dehnung bzw. Stauchung der Widerstände wird die Wheatstone-Brücke verstimmt und liefert ein dem Beaufschlagungsdruck proportionales elektrisches Signal. Neben der gewünschten Druckabhängigkeit des Brückensignals weist das Brückensignal jedoch eine Temperaturab- hängigkeit auf, die aufgrund der hohen Genauigkeitsanforderungen kompensiert werden muss. Dies erfolgt bei bisher bekannten Ausführungsformen entweder durch direkt auf der Stahlmembran angebrachte zusätzliche Kompensationswiderstände oder durch eine Tempe- raturmessung im Bereich der Auswerteelektronik mit anschließender Berücksichtigung bei der Ausgangssignalberechnung.
Darstellung der Erfindung Nach der erfindungsgemäß vorgeschlagenen Lösung wird durch geeignete Dimensionierung der Membrangeometrie sowie entsprechender Positionierung von Dehnmessstreifen (DMS) auf der Membran die Brückenschaltung so beeinflusst, dass der Gesamtwiderstand der Messbrücke unabhängig von der Auslenkung der Membran wird und der Gesamtwiderstand somit nur von der Temperatur der Membran abhängt. Dadurch kann unabhängig vom zu messenden Druck mit derselben Messbrücke, die als Wheatstone-Brücke ausgebildet ist, die Temperatur der Membran mit der Messbrücke bestimmt werden und zu Kompensations- zwecken eingesetzt werden. Dadurch ist eine druckunabhängige Temperaturbestimmung der Membran mit der als Sensorelement dienenden Messbrücke möglich, ohne dass zusätzliche auf der Metallmembran aufzubringende Kompensations-oder Temperaturmesswiderstände erforderlich sind.
In vorteilhafter Weise wird durch die erfindungsgemäß vorgeschlagene Lösung keine zu- sätzliche Fläche der Metallmembran durch Kompensations-oder Temperaturmesswider- stände sowie deren elektrische Anschlusspunkte mehr benötigt. Dadurch wiederum lässt sich ein höherer Miniaturisierungsgrad erreichen, was bei den heutigen Platzverhältnissen im Zylinderkopfbereich von Verbrennungskraftmaschinen, in denen die Drucksensoren einge-
setzt werden, von nicht unerheblicher Bedeutung ist. Die Miniaturisierung der Sensorele- mente bietet wiederum Vorteile hinsichtlich der Herstellkosten. Aufgrund der miniaturisier- ten Brennraumdrucksensoren werden die Applikationsmöglichkeiten solcher Sensorelemen- te an Verbrennungskraftmaschinen erheblich erweitert.
Außerdem entfallen durch die erfindungsgemäß vorgeschlagene Lösung zusätzliche elektri- sche Kontaktierungspunkte, was einerseits den Fertigungsprozess erheblich vereinfacht und andererseits potentielle Ausfallstellen, etwa durch Kontaktbruch, vermieden werden können.
Bei Brennraumdrucksensoren befindet sich die Auswerteelektronik aufgrund maximal zuläs- sigen Temperatur von etwa 140°C weit entfernt von der eigentlichen Druckmessstelle, in deren Bereich Spitzentemperaturen von bis zu 600°C auftreten können. Eine Temperatur- messung im Bereich der Auswerteelektronik gemäß den bisher eingesetzten Drucksensoren liefert somit ein zur Temperaturkompensation der Wheatstone-Messbrücke viel zu unge- naues Signal. Durch die erfindungsgemäß vorgeschlagene Messung und Auswertung des druckunabhängigen Brückenwiderstands kann die Messgenauigkeit des Brennraumdruck- sensors erheblich verbessert werden.
Zeichnung Anhand der Zeichnung wird die Erfindung nachstehend eingehender beschrieben.
Es zeigt : Fig. la, lb, le, Id Ausführungsvarianten von auf einer Metallmembran angeordneten Dehnmessstreifen (DMS), Fig. 2 eine Metallmembran mit darauf aufgebrachten Dehnmessstreifen im ausgelenkten Zustand und Fig. 3 einen Querschnitt durch das Membranmaterial mit Dehnungs-und Stauchungsmaxima.
Ausführungsvarianten
Die in der Figurensequenz la, lb, le und lddargestelltenBrückenschaltungen auf einer Stablmembran repräsentieren den derzeitigen Stand der Technik.
Auf einer Metallmembran 1 ist eine Brückenschaltung 5 aufgebracht, welche als Wheatsto- ne'sche Brückenschaltung ausgebildet sein kann. Die Brückenschaltung 5 umfasst mehrere Widerstände Ri, R2, R3 und R4, gekennzeichnet durch die Bezugszeichen 6,7, 8 und 9. Bei der Metallmembran l handelt es sich bevorzugt um eine Stahlmembran, deren Zentrum durch Bezugszeichen 2 gekennzeichnet ist und die in einem Radius r ausgebildet ist. Die peripheren Bereiche, d. h. die weiter vom Zentrum 2 der Metallmembran l entfernter liegen- den Bereiche sind jeweils durch Bezugszeichen 3 angedeutet. Der Rand der Metallmembran 1 ist durch Bezugszeichen 4 bezeichnet.
Bei den innerhalb der Brückenschaltung 5 verschalteten Widerständen Rl, R2, R3 und R4 handelt es sich bevorzugt um Dehnmessstreifen. Die Brückenschaltung 5 ist an eine Versor- gungsspannung Uo angeschlossen ; der Abgriff der Messspannung UA liegt zwischen den Widerständen Rl und R4 bzw. R2 und R3.
Die auf der Metallmembran 1 angeordneten Widerstände Ri, Rz, Rs und Rt sind so ange- ordnet, dass diese bei Druckbeaufschlagung der Metallmembran 1 eine Dehnung bzw. eine Stauchung erfahren. Dadurch wird die Brückenschaltung verstimmt und liefert ein dem die Metallmembran 1 beaufschlagenden Druck proportionales Spannungssignal UA, was einer Auswertungsschaltung zugeführt wird. Dieses Signal Un ist nicht nur druckabhängig, son- dern auch temperaturabhängig. Die Druckabhängigkeit ist gewünscht, jedoch macht die Temperaturabhängigkeit des erhaltenen Signals UA den Einsatz von Kompensationswider- ständen RTI, RT2 erforderlich, um den hohen Genauigkeitsanforderungen, die bei einem Einsatz als Brennraumdrucksensor gestellt werden, gerecht zu werden. Bei der in Fig. 1 dargestellten Lösung, sind zur Kompensation der Temperaturabhängigkeit des Messsignals UA auf der Metallmembran 1 zusätzliche Kompensationswiderstände RTI, RT2 aufgebracht.
Diese Kompensationswiderstände RTs, RT2 beeinflussen jedoch nur die Temperaturabhän- gigkeit der Empfindlichkeit, der Nullpunkt bleibt unkompensiert. Eine weitere Möglichkeit, die die Signalgenauigkeit beeinflussende Temperaturabhängigkeit auszuschalten, liegt darin, eine Temperaturmessung im Bereich der Auswerteelektronik vorzunehmen und das Aus- gangssignal UA um den Einfluss der Temperatur zu korrigieren und auf diese Weise die Ge- nauigkeit des Messsignals UA zu verbessern. Beim Einsatz als Brennraumdrucksensor findet sich die Auswerteelektronik aufgrund ihrer Temperaturlimitierung von etwa 140°C jedoch weit entfernt von der eigentlichen Druckmessstelle, in deren Bereich Spitzentemperaturen von bis zu 600°C auftreten. Eine Temperaturmessung im Bereich der Auswerteelektronik liefert somit ein zur Temperaturkompensation der Brückenschaltung viel zu ungenaues Sig- nal, was aus der Temperaturlimitierung der Auswerteelektronik herrührt. Bei den in den
Figuren la, lb, lc und ld dargestellten Varianten bedingen die zusätzlich gesetzten Kom- pensationswiderstände RTI, RT2 (optional) einen erhöhten Flächenbedarf auf der Metall- membran einerseits und andererseits ein zusätzliches Kontaktierungspad.
Der Darstellung gemäß Fig. 2 ist die erfindungsgemäß vorgeschlagene Konfiguration einer Brückenschaltung, die auf eine Metallmembran aufgebracht ist, zu entnehmen.
Die in Fig. 2 dargestellte Metallmembran 1, bei der es sich bevorzugt um eine Stahlmemb- ran handelt, umfasst ein Zentrum 2 sowie Peripheriebereiche 3, die sich in radialer Richtung erstrecken. Die Metallmembran 1 ist durch den Rand 4 begrenzt und mit der Brückenschal- tung 5 versehen, die analog zur in Fig. 1 dargestellten, aus dem Stand der Technik bekann- ten Ausführung, beschaffen ist. Die Brückenschaltung 5 ist ebenfalls als Wheatstone'sche Brücke ausgebildet und umfasst vier miteinander verschaltete Widerstände Ri, Rz, R3 sowie R4, die durch die Bezugszeichen 6,7, 8 und 9 identifiziert sind. Die Brückenschaltung 5 wird durch eine Versorgungsspannung Uo gespeist ; der Spannungsgriff für das erhaltene Messsignal, dh. die Messspannung UA, erfolgt zwischen den Widerständen Rl und R4 einer- seits und den Widerständen R2 und R3 andererseits.
Die Widerstände RI, R2, R3 sowie R4 sind bevorzugt als Dehnmessstreifen ausgebildet. Die Positionen, an denen die Widerstände Ri, R2, R3 und R4 auf der Metallmembran 1 aufge- bracht werden, können mit Hilfe der Finite-Elemente-Methode (FEM) bestimmt werden.
Nach der Erstellung eines geometrischen Modells der Metallmembran 1 und der Festlegung geeigneter Randbedingungen liefert die Finite-Elemente-Methode als Ergebnis die Deh- nungstopologie der Metallmembran 1 unter Druckbeanspruchung.
Die Randbedingungen, unter denen die Finite-Elemente-Methode angewendet wird, berück- sichtigen neben weiteren Optimierungsparametern, dass die Radialdehnung der Metall- membran 1 betragsmäßig gleich der Staucllung (8sXauch) der Metallmembran 1 ist. Als Modu- lationsparameter kann weiterhin der Nenndruck berücksichtigt werden, mit dem die Metall- membran 1 beaufschlagt ist. Als geometrische Randbedingungen wird der Durchmesser der Metallmembran 1 berücksichtigt sowie die Membrandicke. Die Membrandicke kann in radi- ale Richtung gesehen auch durchaus variieren, was bei der Finite-Elemente-Methode als Einflussparameter berücksichtigt werden kann. Des weiteren können die Membranhöhe der Metallmembran 1 sowie die Werkstoffeigenschaften des Materials berücksichtigt werden, aus denen die Metallmembran 1 gefertigt wird Neben einer Ausbildung der Membran als Metallmembran 1 können diese beispielsweise auch aus keramischem Werkstoff gefertigt sein.
Aus der Dehnungstopologie der Metallmembran 1 gehen die Bereiche hervor, in denen so- wohl die Dehnungsmaxima als auch die Stauchungsmaxima bei Druckbeaufschlagung der Metallmembran 1 auftreten. Üblicherweise liegt das Dehnungsmaximum 12 im Zentrum 2 der Metallmembran 1, da dieses am weitesten von der Einspannstelle, d. h. dem Rand 4 der Metallmembran 1 entfernt liegt und demzufolge durch den die Metallmembran 1 beauf- schlagenden Druck am weitesten ausgelenkt werden kann. Die Stauchungsmaxima 13 liegen üblicherweise im Peripheriebereich 3 der Metallmembran 1, d h. in der Regel im Bereich des Randes 4 der Metallmembran 1, die bevorzugt als Stahlmembran ausgebildet ist. Die Rand- bedingungen der FEM-Simulation werden in vorteilhafter Weise so gewählt, dass im Zuge einer geometrischen Optimierung das in Zentrum 2 der Metallmembran 1 auftretende Deh- nungsmaximum 12 vom Betrag her den Beträgen der im Peripheriebereich 3 der Metall- membran 1 liegenden Stauchungsmaxima 13 entspricht. Aufgrund der am geometrischen Modell ermittelten und durch geeignete Formgebung der Metallmembran 1 optimierten Dehnungstopologie können die Positionen der vier Widerstände Ri, R2, R3 sowie R4 so ge- wählt werden, dass die Absolutwerte der Dehnungen Al denen der Stauchungen-Al ent- sprechen.
In diesen Positionen, die durch Ermittlung der Dehnungstopologie der Melallmembran l ermittelt werden, werden die vier Widerstände Ri, R2, R3 und R4, ausgebildet als Dehnmess- streifen, auf der Metallmembran 1 angeordnet. Bei Anordnung der vier Widerstände der Brückenschaltung 5 in den in Fig. 2 dargestellten Positionen auf der Metallmembran 1 ist der Betrag der Widerstandsänderung unter Druckbeanspruchung aller vier Widerstände Ri, R2, R3 sowie R4 betragsmäßig identisch. Aus der Darstellung gemäß Fig. 2 geht hervor, dass die beiden Widerstände Ri und R3, identifiziert durch die Bezugszeichen 6 bzw. 8 im zent- rumsnahen Bereich der Metallmembran l, ein zentrumsnahes Widerstandspaar 10 bildend angeordnet sind. Die beiden Widerstände werden aufgrund der im Bereich des Zentrums 2 der Druckbeaufschlagung der Metallmembran 1 herrschenden Dehnungen von ihrer ur- sprünglichen Länge auf eine Länge 1+A1 gestreckt. Die Streckung Al (dh. die Dehnung) der beiden als Dehnmessstreifen ausgebildeten Widerstände Ri und R3 ist identisch. Anstelle der in Fig. 2 dargestellten Orientierung der beiden Widerstände R, und R2 könnten diese auch parallel zur Horizontalachse oder auch parallel zur Vertikalachse der Metallmembran l an- geordnet werden. Demgegenüber liegen die Positionen eines peripheren Widerstandpaares 11 in der Peripherie 3 der Metallmembran 1 und dort in den Bereichen, in denen die Stau- chungsmaxima 13 auftreten. Bei einer Druckbeaufschlagung der Metallmembran 1 von einer Seite her, wird das zentrumsnahe Widerstandspaar 10 auf Dehnung beansprucht, d. h. um den Betrag Al gestreckt.
Das periphere Widerstandspaar 11 wird demgegenüber um die Strecke-Al gestaucht, ange- deutet durch die gestrichelte Widergabe der beiden Widerstände R2 bzw. R4. Die Stauchung
1-A1 gibt die Länge an, um die die im Stauchungsbereich der Metallmembran 1 liegenden beiden Widerstände R2 bzw. R4 bei Druckbeaufschlagung der Metallmembran 1 gestaucht werden. Die Streckung der beiden zentrumsnah angeordneten Widerstände Ri und R3, das zentrumsnahe Widerstandpaar 10 bildend, ist durch 1+Al dargestellt und ebenfalls gestrichelt angedeutet. Durch die Anordnung des zentrumsnahen Widerstandspaares 10 und des peri- pheren Widerstandspaares 11 ist der absolute Betrag Al der gestauchten Widerstände R2 und R4 identisch zur Länge Al des zentrumsnah angeordneten Widerstandspaares 10. Auf- grund dieser Tatsache entsprechen die Zugdehnungen Al der beiden zentrumsnahen Wider- stände Ri und R3 den Stauchungen-Al der weiter außen in der Peripherie 3 der Metall- membran 1 liegenden, auf Druck beanspruchten Widerstände R2 und R4. In diesem Falle ist der Gesamtwiderstand der Brückenschaltung 5 nur noch von der Temperatur abhängig und somit unabhängig vom anliegenden Druck, welcher über die Auslenkung der Metallmemb- ran 1 zu ermitteln ist. Damit lässt sich durch eine Messung des Gesamtwiderstands RGEs die Temperatur der Brückenschaltung 5 bestimmen und zur Kompensation des Temperaturein- flusses heranziehen.
Durch die in Fig. 2 anhand eines Beispiels dargestellte Anordnung der Widerstände RI, R2, R3 sowie R4 wird erreicht, das der Gesamtwiderstand der Brückenschaltung 5 unabhängig von der Auslenkung der Metallmembran 1 wird und somit nur von der Temperatur der Me- tallmembran 1 abhängt. Dadurch kann unabhängig vom zu messenden Druck mit der Brü- ckenschaltung 5 die Temperatur der Metallmembran 1 durch die Brückenschaltung 5 be- stimmt und zu Kompensationszwecken eingesetzt werden. Damit ist sichergestellt, dass die Temperatur, der die Brückenschaltung 5 ausgesetzt ist, die wahre Temperatur ist, um deren Einfluss das erhaltene Messsignal UA der Brückenschaltung 5 zu kompensieren ist. Mess- ungenauigkeiten durch eine Temperaturkompensation im Bereich der Auswerteelektronik, die aus Gründen der thermischen Beanspruchung weit entfernt von der Metallmembran 1 liegt, können durch die erfindungsgemäß vorgeschlagene Temperaturkompensation unmit- telbar durch die Auslegung, d. h. die Positionierung der Widerstände Ri, R2, R3 und R4 der Brückenschaltung 5, behoben werden. Damit lässt sich durch die erfindungsgemäß vorge- schlagene Lösung eine wesentlich genauere, druckunabhängige Temperaturbestimmung der Metallmembran 1 erreichen. Im Gegensatz zur aus dem Stand der Technik bekannten Lö- sung kann durch die erfindungsgemäß vorgeschlagene Lösung auf die Anordnung zusätzli- cher Kompensations-oder Temperaturmesswiderstände verzichtet werden. Ferner wird die zum Aufbringen der Kompensations-oder Temperaturmesswiderstände erforderliche Brennraumfläche eingespart, wobei die elektrischen Anschlusspunkte für die Kompensati- ons-und Temperaturmesswiderstände ebenfalls entfallen können. Damit lässt sich die Me- tallmembran 1 insgesamt gesehen wesentlich kleiner auslegen, da wesentlich weniger Fläche benötigt wird. Durch den Entfall der elektrischen Kontaktierungsstellen zusätzlich vorzuhal- tender Kompensations-oder Temperaturmesswiderstände gemäß den aus dem Stand der
Technik bekannten Lösungen werden Schwachstellen, die potentielle Ausfallstellen darstel- len, vermieden.
Der Darstellung gemäß Fig. 3 ist ein Querschnitt durch das Membranmaterial mit Lage der Dehnungs-bzw. Stauchungsmaxima zu entnehmen.
Die in Fig. 3 teilweise im Querschnitt dargestellte Metallmembran l ist symmetrisch zur Symmetrieachse 14. Bei dem Membranmaterial kann es sich einerseits um einen metalli- schen Werkstoff, andererseits auch um Keramikmaterial handeln. Bei Druckbeaufschlagung der Metallmembran l nimmt diese die in Fig. 3 dargestellte Form an. Die Metallmembran 1 wird im Bereich des Zentrums 2 gedehnt und an der Peripherie 3 gestaucht. Die Position des zentrumsnahen Widerstands 10 ist in Fig. 3 durch das Bezugszeichen 16 angedeutet, während die Position des in der Peripherie 3 der Metallmembran 1 angeordneten zentrums- fernen Widerstandspaares 5 durch Bezugszeichen 17 angedeutet ist. Aufgrund der geomet- rischen Verformung des Membranmaterials 15 erfährt das Zentrum 2 eine Dehnung in radia- le Richtung. Die sich im Zentrum 2 der Metallmembran 1 einstellende Radialdehnung Ersehen entspricht betragsmäßig der radialen Stauchung £,., auch im Bereich der Peripherie 3 der Me- tallmembran 1. Die Dehnung in radiale Richtung im Radialdehnungsbereich 18 entspricht betragsmäßig der Radialstauchung angedeutet durch Bezugszeichen 19 im Periphe- riebereich 3 der Metallmembran 1.
Bezugszeichenliste 1 Metallmembran 2 Zentrum 3 Peripherie 4 Rand Uo Versorgungsspannung UA Ausgangsspannung Ue 5 Brückenschaltung 6 erster DMS (R1) 7 zweiter DMS (R2) 8 dritter DMS (R3) 9 vierter DMS (R4) RT1 erster Temperatur-Kompensationswiderstand RT2 zweiter Temperatur-Kompensationswiderstand 10 zentrumsnahes Widerstandspaar (R1, R3) 11 peripheres Widerstandspaar (R2, R4) AI Dehnung zentrumsnahe Widerstände -A1 Stauchung periphere Widerstände ##1# Absolutbertrag Dehnung/Stauchung 12 Dehnungsmaximum 13 Stauchungsmaximum 14 Symmetrieachse 15 Membranmaterial Er Radialdehnung 16 Position zentrumsnahes Widerstandspaar 17 Position peripheres Widerstandspaar 18 Radialdehnungsbereich #r,dehn 19 Radialstauchungsbereich gr, stauch
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