Stand der Technik In einer Herstellungskette ist es oftmals nötig, das zu transportie- rende Gut an mehreren Fertigungsstationen vorbeizuführen. Dabei wird eine gewisse Strecke in einer bestimmten Geschwindigkeit zurückgelegt, c unterschiedliche Temperaturen, Drücke und verschiedene Medien durch- laufen. Flaches Transportgut wird dazu bislang auf einen Werkstückträ- ger aufgebracht oder mit einem Ketten-oder Schubantrieb befördert.

Derartige Vorrichtungen sind beispielsweise in EP 001 032 023 vorge- stellt. Außerdem ist aus DE 30 35 877 A eine Walze für einen Rollen- transport bekannt.

In DE 12 56 963 B und DE 31 40 546 A sind Niederhalter vorgestellt, die zweiteilig aus einer Achse und einer Hülse ausgeführt sind, wobei der Innendurchmesser der Hülse größer ist als der Außendurchmesser der Achse und zwischen Achse und Hülse eine elastische Kopplung besteht.

Des weiteren ist aus US 5, 711, 806 ein Transportsystem zum Transport von flachem Transportgut durch chemische Bäder bekannt, das mit Trans- portrollen und Niederhaltern versehen ist und bei dem die Niederhalter federnd gelagert sind.

Nachteile des Standes der Technik Der Transport mit Werkstückträgern bietet zwar eine sehr stabile Lage- rung des einzelnen Transportguts, je nach Ausführung auch eine gute Kontaktmöglichkeit von Transportgut zu dem umgebenden Medium, mit dem unter Umständen ein nasschemischer Vorgang abläuft.

Jedoch ist die Bestückung der Werkstückträger sehr aufwändig und führt in einer Serienproduktion zu einem erheblichen Zeitverlust und damit zu einem unerwünschten Kostenfaktor.

Leichter bestückbar ist ein Transportsystem bei Ketten-, Schub-oder Rollenantrieb. Hier wird das Transportgut in der Regel einfach aufge- legt und je nach Anwendungsfall entsprechend fixiert.

Bei einem Transport nach dem Fließbandprinzip muss an den einzelnen Verarbeitungsstationen dafür gesorgt werden, dass das Werkstück zu- gänglich für Bearbeitung, chemische Reaktionen, Besprühen etc. ist.

Dazu muss es unter Umständen umgelagert werden, was das Verfahren um- ständlich macht.

Problematisch ist vor callem die hohe Bruchrate bei empfindlichen Transportgütern, wie dünnen Halbleiterwafern oder Rohlingen für die Solarzellenherstellung. Da die einzelnen Transportgüter locker, bzw. frei beweglich aufliegen, können sie durch Vibrationen des Transport- systems leicht aus der vorgegebenen Spur geraten oder ihre Orientie- rung verlieren.

Liegen die Transportgüter nicht mehr in der vorgegebenen Weise auf dem Transportsystem, wird eine Aufnahme der Transportgüter für einen wei- teren Verarbeitungsschritt oder eine Umlagerung erschwert und kann un- ter Umständen deshalb nicht maschinell erfolgen. Kollidieren die Transportgüter oder geraten sie auch nur in eine unbestimmte Position, so kann die Qualität der weiteren Verarbeitungsprozesse beeinträchtigt werden, weil das Transportgut nicht mehr vollständig oder nicht an der richtigen Stelle angetroffen wird. Bei der Kollision mit einem fest- stehenden Bauteil besteht außerdem Bruchgefahr.

Ein weiteres Problem tritt auf, wenn das Transportgut in ein flüssiges Medium geführt werden soll. Reicht das Eigengewicht der Transportgüter nicht aus für eine feste Auflage und sind die Güter nicht fixiert, können sie sich durch Auftrieb vom Transportsystem ablösen. Dieses Problem wird noch verstärkt, wenn eine nasschemische Reaktion erfolgt.

Hierbei kann es zu Bläschenbildung und einem damit verbundenen Auf- trieb kommen.

Dem Auftreiben des Transportguts in Flüssigkeiten kann mit einem Nie- derhalter entgegengewirkt werden. Dieser drückt das Transportgut auf

das darunter liegende Transportsystem. In dem Fall ist jedoch das Transportgut dem Druck des Niederhalters ausgesetzt, was insbesondere beim Einführen in ein nasschemisches Becken und bei Dickeschwankungen des Transportguts Bruchgefahr bedeutet.

Außerdem weisen alle Transportsysteme Mängel bei der Anwendung von chemischen oder temperaturabhängigen Verfahren auf. Das Transportmedi- um, sei es Kette, Rolle, Walze oder Werkstückträger, sollte sich bei Temperaturerhöhung nur unwesentlich ausdehnen, damit der Gleichlauf und die Geradlinigkeit des Transports für die Werkstücke gesichert ist, gleichzeitig musscdas Transportmedium aus einem Material gefer- tigt sein, das bei einer nasschemischen Verarbeitung selbst nicht an- gegriffen wird oder mitreagiert.

Eine mögliche Lösung dieses Problems wird in DE 30 35 117 A vorge- stellt, in der eine zweikomponentig aufgebaute Walze beschrieben wird.

Die Achse aus einem sehr temperaturbeständigen Material, wie etwa Glas-oder Kohlefaser, ist von einem elastischen, chemisch beständigen Überzug umgeben. Dieser Überzug wird jedoch bei Temperaturschwankungen zumindest kleinere Ausdehnungsänderungen erfahren, was wiederum die Stabilität von Lage und Ausrichtung des Transportguts beeinträchtigt.

Aufgabe der Erfindung Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, Niederhalter und ein Trans- portsystem vorzuschlagen, die eine Durchlaufverarbeitung von im we- sentlichen flachen Werkstücken mit möglichst präziser Spurhaltung un- ter schonender Handhabung erlauben und welche die Werkstücke unter verschiedensten Bedingungen bezüglich der Temperatur, des Drucks und des umgebenden Mediums einer geringen mechanischen Belastung ausset- zen.

Lösung der Aufgabe Die Aufgabe wird gelöst, indem ein im wesentlichen zylinderförmiger Niederhalter eine mindestens zweiteilige Ausführung besitzt und aus einer Achse und mindestens einer Hülse besteht, wobei der Innendurch- messer der Hülse größer ist als der Außendurchmesser der Achse, die Achse und die Hülse des Niederhalters gekoppelt sind und an der Achse

ein von der Achse wegweisender stiftartiger Mitnehmer angebracht ist, der in eine Aussparung auf mindestens einer Seite der Hülse eingreift.

Besonders vorteilhafte Lösungen bestehen in der Ausbildung von Trans- portsystemen zum Transport von im wesentlichen flachem Transportgut mit Transportrollen und erfindungsgemäßen Niederhaltern.

Vorteile der Erfindung Beim Transport von flachem Transportgut durch flüssige Substanzen oder durch Verfahrensstrecken, in denen das Transportgut mit einem Gas oder einer Flüssigkeit geduscht oder gespritzt wird, ist es vorteilhaft, das Transportgut mit Niederhaltern gegen den Auftrieb zu schützen. Der Niederhalter ist erfindungsgemäß mindestens zweiteilig ausgebildet. Er besteht aus einer Achse und aus einer Hülse, deren Innendurchmesser größer als der Außendurchmesser der Achse ist. Dadurch besitzt die Hülse gegenüber der Achse ein Spiel, sie hängt auf der gelagerten Ach- se und die zentralen Achsen von Hülse und Achse liegen nicht auf einer Linie.

Ein Niederhalter lässt sich daher so über einer Transportstrecke an- bringen, dass die Hülse des Niederhalters nur mit ihrem Eigengewicht gegen das Transportgut drückt. Bei Dickenschwankungen des Transport- guts im Rahmen des Spiels zwischen Hülse und Achse kann die Hülse aus- weichen. Durch das Spiel von Hülse und Achse wirkt ein konstanter Druck auf das Transportgut. Läge dieses Spiel nicht vor, könnte das Transportgut von untern an den Niederhalter gepresst werden, wodurch eine unnötige Belastung entstünde, die möglicherweise zum Bruch führen könnte.

Soll jedoch eine festere Führung des Transportguts realisiert werden, so kann das Spiel zwischen Achse und Hülse verringert werden, indem der Außendurchmesser der Achse und der Innendurchmesser der Hülse ein- ander angenähert werden, oder indem ein Kopplungselement zwischen Ach- se und Hülse eingefügt wird.

Das Spiel zwischen Achse und Hülse hat vor allem dann Vorteile, wenn unter dem Niederhalter Transportgüter unterschiedlicher Dicken geführt

werden sollen. Die Niederhalter müssen dann nicht extra neu montiert werden, sondern können für alle Transportgutdicken verwendet werden, die durch das Spiel von Hülse und Achse zugelassen sind. Die Variabi- lität der möglichen Werkstückdicke ist auch von Vorteil, wenn Schwan- kungen der Dicke innerhalb einer Serie auftreten, wenn also Transport- güter unterschiedlicher Dicken nacheinander oder nebeneinander unter dem Niederhalter hergeführt werden.

Die Elemente des Niederhalters lassen sich außerdem unabhängig und pa- rallel fertigen, was zu einem Produktionsvorteil führt. c Die Erfindung sieht vor, dass Achse und Hülse gekoppelt sind. Dadurch wird bei einem Antrieb der Achse die Hülse mitgeführt. Bevorzugt ist die Kopplung nicht starr auszuführen, damit das Spiel zwischen Hülse und Achse erhalten bleibt, sondern das Spiel wird durch die Kopplung lediglich verringert.

Erfindungsgemäß ist für die Kopplung an der Achse ein von der Achse wegweisender, stiftartiger Mitnehmer angebracht, der in eine Ausspa- rung auf mindestens einer Seite der Hülse eingreift. Der Stift verhin- dert, dass sich die Hülse von der Achse herunterbewegt und sich frei um sie drehen kann. Bei einem Antrieb der Achse wird die Hülse mitge- führt und so auch der Antrieb auf das Transportgut übertragen.

Der Stift kann federartig bewegbar sein. Er kann aus elastischem Mate- rial gefertigt sein. In einer bevorzugten Ausführung handelt es sich bei dem Stift jedoch um ein biegesteifes Element, das in radialer Richtung von der Achse wegzeigt und mit dieser starr verbunden ist.

Der Stift kann formschlüssig in die Aussparung der Hülse eingreifen und damit das Spiel zwischen Achse und Hülse stark einschränken. In einer bevorzugten Ausführungsform ist jedoch der Durchmesser der Aus- sparung mindestens in einer Richtung größer als der des Stiftes.

In einer vorteilhaften Ausführung besitzen die Niederhalter auf der Außenseite der Hülse fixierte Kontaktelemente, deren durch sie aufge- spannter Durchmesser größer sind als der größte Durchmesser des Nie-

derhalters. Dies hat eine geringst mögliche Kontaktfläche zwischen Niederhalter und Werkstück zur Folge. Dadurch wird, genau wie durch die punktförmige Auflage auf den Transportrollen, das Transportgut ge- schont und gleichzeitig Raum für den Kontakt mit dem umgebenden Medium gelassen. Vorteilhafterweise werden als Kontaktelemente 0-Ringe aus Fluorkautschuk benutzt.

In einer weiteren bevorzugten Ausführung der Erfindung sind die Nie- derhalter. in beliebiger Länge zusammenfügbar. Eine Niederhaltereinheit kann beispielsweise aus einer Aneinanderreihung von beliebig vielen Niederhaltern bestehen. C Ein Niederhalterhersteller oder-vertreiber kann auf die Anforderungen eines Kunden sehr flexibel eingehen, ohne eine komplizierte Lagerhaltung zu betreiben. Ein Niederhalter ist, da er für Niederhaltereinheiten jeglicher Länge einsetzbar ist, ein Mas- senartikel, was den Herstellungspreis senkt.

Die Niederhalter können zum Beispiel zusammensteckbar, aneinander schraubbar, mit einem Clip verbindbar oder miteinander verschweißbar sein. Dies führt zu Fertigungs-und Lagervorteilen.

In einer vorteilhaften Weiterbildung sind die Niederhalter antreibbar, was dem Gleichlauf des Transportguts zuträglich ist.

In einer bevorzugten Ausführung ist die Aussparung der Hülse als Lang- loch ausgebildet, dessen Längserstreckung in Umfangsrichtung verläuft.

Dadurch besitzt die Hülse einen größeren rotatorischen Freiheitsgrad verglichen mit einer Möglichkeit zur Verschiebung in Achsrichtung. Ei- ne Verschiebung in Achsrichtung birgt die Gefahr der Spurvariation für das Transportgut. Die hier vorgestellte Aussparung erlaubt einerseits das oben beschriebene Spiel zwischen Hülse und Achse, verhindert ande- rerseits das Verschieben der Hülse in Achsrichtung. Bevorzugterweise sollte das Langloch wenigstens eine so große Ausdehnung in Längsrich- tung haben, dass die Hülse bei einer Drehung des Niederhalters in je- der Position auf der Achse aufliegt.

Die schonende Behandlung des Transportgutes wird gewährleistet, wenn ein Transportsystem mit erfindungsgemäßen Niederhaltern aufgebaut wird.

Eine besonders vorteilhafte Weiterführung eines Transportsystems be- steht darin, das Transportgut zwischen Transportrollen und erfindungs- gemäßen Niederhaltern herzuführen. Diese Kombination ist insbesondere dann von Vorteil, wenn das Transportgut durch verschiedene Medien ge- führt wird, wenn es an Duschen, Düsen, Luftschlitzen oder anderen Be- arbeitungseinheiten vorbeigeführt wird und wenn es zum Beispiel in ein Becken zur nasschemischen Bearbeitung getaucht werden soll. Dazu muss das Werkstück über eine schräge Transportrollenführung in das Becken abgesenkt werden. Die Niederhalter verhindern das auftriebsbedingte Abheben des Werkstücks. Transportrollen mit Auflageelementen sorgen dafür, dass das Werkstück auf der Schräge nicht abrutscht.

Dabei kann jeder Transportrolle ein Niederhalter zugeordnet sein, oder aber Niederhalter nur an den Stellen angebracht sein, an denen sie für Transport bzw. das Niederhalten notwenig sind.

Da die Transportführung durch das erfindungsgemäße Transportsystem ei- nen hohen Durchsatz ermöglicht, gleichzeitig sehr schonend für das Transportgut ist, besteht eine besondere Eignung für den Transport von sehr empfindlichem Transportgut.

Erfindungsgemäß wird deshalb die Verwendung eines Transportsystems als Fertigungsstraße bei der Herstellung von Solarzellen vorgeschlagen.

Solche Zellen besitzen in der Regel eine Dicke von 100 bis 500um und bestehen zumeist aus mono-oder polykristallinem Silizium. Silizium ist ein spröder Werkstoff. Dadurch sind die Zellen sehr bruchempfind- lich und stellen hohe Anforderungen an ein Transportsystem. Das erfin- dungsgemäße Transportsystem erlaubt ein sehr schonendes Handling der Scheiben bei hohem Durchsatz.

Neben dem einfachen Transport von Zellen ermöglicht das Transportsys- tem sowohl das Eintauchen der Zellen in ein nasschemisches Behand- lungsbad wie das Beaufschlagen beider Seiten der Zellen mit flüssigen

oder gasförmigen Medien. Zu den Anwendungen gehören Reinigungs-und Ätzprozesse (z. B. Sägeschaden-und Phosphorglasätzen). Anschließend werden die Scheiben gespült und getrocknet.

Weitere Vorteile und Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unter- ansprüchen beschrieben und ergeben sich aus der Beschreibung und den beiliegenden Zeichnungen.

Alle erläuterten Merkmale sind nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstel- lung verwendbar, ohne de ; n Rahmen der Erfindung zu verlassen.

Zeichnungen Es zeigen : Fig. 1 einen Schnitt durch eine Achse eines Niederhalters ; Fig. 2 eine Seitenansicht auf eine Hülse eines Niederhalters ; Fig. 3 eine Seitenansicht auf den Niederhalter gemäß den Fig. 1 und 2 ; Fig. 4 einen Längsschnitt durch den Niederhalter gemäß Fig. 3 ; Fig. 5 einen Querschnitt durch den Niederhalter gemäß Fig. 3 ent- lang einer Linie V-V in Fig. 4 ; Fig. 6 eine Seitenansicht auf ein Transportsystem mit Transportrol- len und erfindungsgemäßen Niederhaltern.

Beschreibung eines Ausführungsbeispiels Bei einer schrägen Führung des Transportguts oder beim Eintauchen in ein chemisches Bad, ist es günstig, wenn das Transportgut von Nieder- haltern 23 (Fig. 1-5) gehalten wird.

Diese sind bevorzugt zweiteilig aufgebaut. Fig. 1 zeigt einen Schnitt durch eine Achse 8 eines Teils eines Niederhalters 23. Die Achse 8 ist mit einem Verschluss 9 versehen, mit der diese in eine auf der Gegen- seite befindliche Aussparung 10 einer weiteren Niederhalterachse (nicht näher dargestellt) steckbar und befestigbar ist. Die im wesent- lichen zylinderförmige Achse 8 besitzt einen Bereich 11 mit reduzier- tem Durchmesser, der in montiertem Zustand von einer Hülse 13 (Fig. 2) umgeben wird. Im Zentrum des Bereichs 11 befindet sich eine Bohrung

12, in die ein stäbchenförmiger Mitnehmer eingeführt werden kann, der zur Kopplung von Achse 8 und Hülse dient.

In Fig. 2 ist eine Seitenansicht einer Hülse 13 gezeigt. Diese besitzt zwei von der Außenseite wegweisende Nuten 14 zur Auflage von Kontakt- elementen 15, beispielsweise 0-Ringen und eine Aussparung 16 in Form eines Langlochs, dessen Längsrichtung in Umlaufrichtung 17 weist.

In Fig. 5 ist eine Schnittdarstellung durch einen Niederhalter 23 ge- mäß den vorhergehenden Zeichnungen dargestellt. Hierin ist erkennbar, dass zwischen der Achse 8 und der Hülse 13 ein Abstand A vorgesehen ist. Dieser Abstand A entspricht der Werkstücktoleranz. Dies bedeutet, dass auch in den Abmessungen dickere Werkstücke transportiert werden können, ohne dass es einer neuen Einstellung des Transportsystems be- darf. Die Achse 8 besitzt daher innerhalb der Hülse 13 ein Spiel der- art, dass die Innenwandung der Hülse 13 an der Außenwandung der Achse 8 anliegen kann. Der stäbchenförmige Mitnehmer bewirkt dabei, dass die auf die Achse 8 ausgeübte Rotation auf die Hülse übertragen wird.

Durch die Schwerkraft und den waagerechten Einbau des Niederhalters 23 in das Transportsystem wird bewirkt, dass die Hülse 13 bzw. die auf ihr angeordneten Kontaktelemente 15 ständig auf dem Werkstück (auch bei Rotation) anliegen.

Fig. 6 zeigt eine schematische Seitenansicht eines Transportsystems mit Transportrollen 22 und Niederhaltern 23. Das Transportgut 24 liegt auf Transportrollen 22 auf. Beim Überhang in eine schräge Führung wird es von Niederhaltern 23 gegen die Transportrollen 22 gedrückt und da- durch in die Abwärtsrichtung gebracht. Beim Eintauchen in ein nassche- misches Bad 25 verhindern die Niederhalter 23 ein auftriebsbedingtes Abheben von den Transportrollen 22.

BEZUGSZEICHENLISTE A Abstand 8 Niederhalterachse 9 Verschluss 10 Aussparung 11 Bereich für Hülse 12 Bohrung für Mitnehmer 13 Niederhalterhülse 14 Nut 15 Kontaktelement 16 Aussparung für Mitnehmer 17 Drehrichtung 22 Transportrolle 23 Niederhalter 24 Transportgut 25 nasschemisches Bad