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Patent Searching and Data


Title:
HYDRAULIC ACTUATOR AND METHOD FOR OPERATING A HYDRAULIC ACTUATOR
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2016/015879
Kind Code:
A1
Abstract:
The hydraulic actuator comprises: a hydraulic input cylinder having an input piston; a hydraulic output cylinder, which is hydraulically coupled to the input cylinder; and a pressure-limiting valve, which limits the output cylinder with respect to pressure in dependence on the usability of a force on the input piston. The method is a method for operating such a hydraulic actuator, wherein the drive actuator is deflected with deflections having a deflection duration at a deflection frequency for the duration of an acting or a non-acting phase of the hydraulic actuator, wherein the deflection duration defines a movement stiffness of the hydraulic actuator and the deflection frequency defines the resulting deflection speed of the hydraulic actuator.

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Inventors:
BACHMAIER GEORG (DE)
GÖDECKE ANDREAS (DE)
VONTZ THOMAS (DE)
ZÖLS WOLFGANG (DE)
Application Number:
EP2015/056371
Publication Date:
February 04, 2016
Filing Date:
March 25, 2015
Export Citation:
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Assignee:
SIEMENS AG (DE)
International Classes:
F15B13/02; F15B7/08; H02N2/04
Domestic Patent References:
WO2014001083A12014-01-03
Foreign References:
DE102012222173A12014-06-05
DE102011085127A12013-04-25
Other References:
GODECKE ANDREAS ET AL: "Ratchet-type micro-hydraulic actuator to mimic muscle behavior", IECON 2013 - 39TH ANNUAL CONFERENCE OF THE IEEE INDUSTRIAL ELECTRONICS SOCIETY, IEEE, 10 November 2013 (2013-11-10), pages 3976 - 3981, XP032539148, ISSN: 1553-572X, [retrieved on 20131230], DOI: 10.1109/IECON.2013.6699771
None
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Claims:
Patentansprüche

1. Hydraulischen Aktor,

umfassend einen hydraulischen Antriebszylinder (20), insbe- sondere mit einem darin geführten Antriebskolben (15), einen hydraulischen Abtriebszylinder (35) , welcher hydraulisch mit dem Antriebszylinder (20) gekoppelt ist, sowie ein Druckbe¬ grenzungsventil (80), welches abhängig von einer Einwirkzeit einer Kraft auf den Antriebszylinder (20) und/oder den An- triebskolben (15) den Abtriebszylinder (35) druckbegrenzt.

2. Hydraulischen Aktor nach dem vorhergehenden Anspruch, welcher einen Antriebsaktor (10) umfasst, der mit dem Antriebszylinder oder dem Antriebskolben (15) bewegungsgekop- pelt ist.

3. Hydraulischer Aktor nach dem vorhergehenden Anspruch, bei welchem der Antriebsaktor (10) ein Piezoaktor oder eine elektrodynamischer oder ein elektromagnetischer Aktor ist.

4. Hydraulischer Aktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

bei welchem der Antriebszylinder (35) über ein Rückschlagventil (60) und eine erste Drossel (65) hydraulisch an ein Vor- spannvolumen (70) gekoppelt ist, welches in einem Vorspannhydraulikzylinder (90), insbesondere mit einem Vorspannkolben (75) , befindlich ist, wobei der Vorspannhydraulikzylinder oder der Vorspannkolben das Druckbegrenzungsventil (80) stellt .

5. Hydraulischer Aktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

bei welchem das Vorspannvolumen (70) über eine zweite Drossel (85) mit einem Reservoir (55) hydraulisch verbunden ist.

6. Hydraulischer Aktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei welchem das Druckbegrenzungsventil (80) zur Druckbegren¬ zung gegenüber oder zur Druckentlastung in das Rerservoir (55) angeordnet ist. 7. Hydraulischer Aktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

bei welchem im Abtriebszylinder (35) ein Abtriebskolben (45) geführt ist. 8. Hydraulischer Aktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

bei welchem der Antriebszylinder (20) über ein vorgespanntes Rückschlagventil (30) an den Abtriebszylinder (35) gekoppelt ist .

9. Verfahren zum Betrieb eines hydraulischen Aktors (5) mit einem hydraulischen Antriebszylinder (20), insbesondere mit einem Antriebskolben (15), und einem mit diesem Antriebszylinder (20) oder Antriebskolben (15) bewegungsgekoppelten Antriebsaktor (10), insbesondere einem hydraulischen Aktor

(5) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei welchem der Antriebsaktor (10) für die Dauer einer agierenden oder nicht agierenden Phase des hydraulischen Aktors (10) mit Auslenkung mit einer Auslenkdauer (p) in einer Auslenkfrequenz ausge- lenkt wird, wobei die Auslenkdauer (p) eine Bewegungssteifig- keit des hydraulischen Aktors (5) und die Auslenkfrequenz die resultierende Auslenkgeschwindigkeit (vi) des hydraulischen Aktors festlegt. 10. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch,

bei welchem der Antriebsaktor (10) elektrisch steuerbar, insbesondere ein Piezoaktor oder ein elektrodynamisch Aktor oder ein elektromagnetischer Aktor ist.

Description:
Beschreibung

Hydraulischer Aktor und Verfahren zum Betrieb eines hydraulischen Aktors

Die Erfindung betrifft einen hydraulischen Aktor sowie ein Verfahren zum Betrieb eines hydraulischen Aktors.

Beispielsweise im Rahmen von "Industrie 4.0" wird eine größe- re Flexibilität der konventionellen maschinellen Automation angestrebt. In letzter Zeit gewinnt das so genannte "Soft Roboting" Bedeutung. Dabei sollen Roboter in der Fertigung direkt mit Menschen zusammenarbeiten. Voraussetzung hierfür sind Aktoren, welche eine variable Steifigkeit und eine ge- ringe Masse aufweisen. Vorbild für solche Aktoren sind Mus ¬ keln den menschlichen Körpers, welche je nach Anwendungsfall vorspannen und somit die Steifigkeit erhöhen können. Im Normalzustand jedoch sind die Muskeln nicht vorgespannt, so dass bei einer Kollision mit einem steifen Gegenstand die Kraft auf den Körper und somit die Verletzungsgefahr minimiert ist. Bislang eingesetzte Aktoren jedoch weisen eine hohe Steifig ¬ keit auf. Um Kollisionsfälle zu vermeiden, werden zusätzlich Sensoren herangezogen, welche Hindernisse erkennen und den Aktor im Ernstfall stoppen oder von einem Hindernis fortlen- ken.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, einen gegenüber dem Stand der Technik verbesserten Aktor, insbesondere mit variabler Steifigkeit, bereitzustellen. Es ist ferner Aufgabe der Er- findung, ein Verfahren zum Betrieb eines solchen Aktors bereitzustellen.

Diese Aufgabe wird mit einem hydraulischen Aktor mit dem in Anspruch 1 angegebenen Merkmalen sowie mit einem Verfahren mit den in Anspruch 9 angegebenen Merkmalen gelöst. Bevorzugte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den zugehörigen Unteransprüchen, der nachfolgenden Beschreibung und der Zeichnung . Der erfindungsgemäße hydraulischen Aktor umfasst einen hyd ¬ raulischen Arbeitszylinder, insbesondere mit einem Antriebskolben, einen hydraulischen Abtriebszylinder, welcher hydrau- lisch mit dem Antriebszylinder gekoppelt ist, sowie ein

Druckbegrenzungsventil, welches abhängig von einer Einwirk ¬ zeit einer Kraft auf den Antriebszylinder und/oder den Antriebskolben den Abtriebszylinder druckbegrenzt. Mittels des erfindungsgemäßen hydraulischen Aktors lässt sich mittels der Einwirkzeit der Kraft auf den Antriebskolben das Druckbegrenzungsventil steuern. Das Druckbegrenzungsventil, welches den Abtriebszylinder druckbegrenzt, stellt aufgrund dieser Druckbegrenzung die Steifigkeit des hydraulischen Aktors ein. Mittels der Einwirkzeit einer Kraft auf den An ¬ triebskolben kann folglich die Steifigkeit des hydraulischen Aktors eingestellt werden.

Zweckmäßigerweise umfasst der erfindungsgemäße hydraulische Aktor einen Antriebsaktor, welcher mit dem Antriebszylinder oder dem Antriebskolben bewegungsgekoppelt ist. Zweckmäßigerweise ist der hydraulische Aktor elektrisch steuerbar. Besonders bevorzugt ist der erfindungsgemäße hydraulische Aktor ein Piezoaktor oder ein elektrodynamischer Aktor oder ein elektromagnetischer Aktor. Ein solcher Aktor lässt sich besonders leicht elektrisch steuern.

Vorzugsweise ist bei dem erfindungsgemäßen hydraulischen Aktor der Antriebszylinder über ein Rückschlagventil und eine erste Drossel hydraulisch an ein Vorspannvolumen gekoppelt, welches in einem Vorspannhydraulikzylinder, insbesondere mit einem Vorspannkolben, befindlich ist, wobei der Vorspannhydraulikzylinder oder der Vorspannkolben das Druckbegrenzungsventil stellt. Auf diese Weise lässt sich einfach mittels der Einwirkzeit einer Kraft auf den Antriebskolben über das Rückschlagventil und die Drossel hydraulisch das Vorspannvolumen einstellen, welches mittels des Vorspannkolbens das Druckbe ¬ grenzungsventil geeignet stellt. Zweckmäßigerweise ist bei dem hydraulischen Aktor das Vor ¬ spannvolumen über eine zweite Drossel mit einem Reservoir hydraulisch verbunden. Auf diese Weise lässt sich bei ent- sprechender Einwirkzeit das Vorspannvolumen aus dem Reservoir speisen oder in das Reservoir entleeren.

In besonders bevorzugter Weiterbildung ist bei dem hydraulischen Aktor das Druckbegrenzungsventil zur Druckbegrenzung gegenüber dem oder zur Druckentlassung in das Reservoir angeordnet. Auf diese Weise kann bei einer geringen Steifigkeit des hydraulischen Aktors der Abtriebszylinder Druck in das Reservoir entlassen oder aber je nach Stellung des Druckbegrenzungsventils eine hohe Steifigkeit behalten.

Idealerweise ist bei dem hydraulischen Aktor gemäß der Erfindung im Abtriebszylinder ein Abtriebskolben geführt. Auf diese Weise fungiert der Abtriebskolben als agierendes Element des erfindungsgemäßen hydraulischen Aktors. Alternativ und ebenfalls bevorzugt ist der Abtriebszylinder mit einem Fal ¬ tenbalg gebildet, sodass zumindest ein Teil des

Abtriebszylinders das agierende Element des erfindungsgemäßen hydraulischen Aktors bildet. In einer bevorzugten Weiterbildung des erfindungsgemäßen hydraulischen Aktors ist der Abtriebszylinder über ein vorgespanntes Rückschlagventil an den Antriebszylinder gekoppelt. Auf diese Weise kann bei einer hinreichenden Druckdifferenz zwischen Antriebszylinder und Abtriebszylinder ein Antrieb des Antriebszylinders oder des Antriebskolbens weitergeleitet werden. Je nach Druckverhältnissen kann jedoch auch der Antrieb zurückgestellt werden, ohne dass dies eine direkte Kon ¬ sequenz auf den Abtriebszylinder hat, so dass beispielsweise infolge periodischer Bewegung des Antriebszylinders oder des Antriebskolbens ein großer linearer Hub mittels des

Abtriebszylinders erreicht wird. Das erfindungsgemäße Verfahren zum Betrieb eines hydrauli ¬ schen Aktors mit einem hydraulischen Antriebszylinder, insbesondere mit einem Antriebskolben, und einen mit diesem Antriebszylinder oder Antriebskolben bewegungsgekoppelten

Antriebsaktor ist insbesondere ein Verfahren zum Betrieb eines hydraulischen Aktors wie zuvor beschrieben. Bei dem Verfahren wird der Antriebsaktor für die Dauer einer agierenden oder einer nicht agierenden Phase des hydraulischen Aktors mit Auslenkungen mit einer Auslenkdauer in einer Auslenkfre- quenz ausgelenkt, wobei die Auslenkdauer eine Bewegungssteif- igkeit des hydraulischen Aktors und die Auslenkfrequenz die resultierende Auslenkgeschwindigkeit des hydraulischen Aktors festlegt . Insbesondere ist bei dem erfindungsgemäßen Verfahren der Antriebsaktor elektrisch steuerbar, insbesondere ein

Piezoaktor oder ein elektrodynamischer Aktor oder ein elektromagnetischer Aktor. In einer weiteren Weiterbildung der Erfindung ist der hydraulische Antriebszylinder und/oder ist der hydraulische

Abtriebszylinder und/oder ist der Vorspannhydraulikzylinder jeweils mit einem Faltenbalg gebildet. Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. Es zeigen

Figur 1 einen erfindungsgemäßen hydraulischen Aktor schematisch in einer hydraulischen Schaltskizze und

Figur 2 drei Betriebsmodi (a) , (b) und (c) des hydrauli ¬ schen Aktors gemäß Figur 1 schematisch in einer diagrammatischen Darstellung. Der in Figur 1 dargestellte erfindungsgemäße hydraulische Aktor 5 umfasst einen Piezoaktor 10, welcher mit einem Antriebskolben 15 eines hydraulischen Antriebszylinders 20 be ¬ wegungsgekoppelt ist. Der Antriebszylinder 20 umfasst ein hydraulisches Antriebsvo ¬ lumen 25, welches in an sich bekannter Weise mit Hydrauliköl gefüllt ist. Dieses Antriebsvolumen 25 ist über ein Rück- schlagventil 30 bei hinreichend hohem Öffnungsdruck öffnend mit einem hydraulischen Abtriebszylinder 35 hydraulisch gekoppelt. Das Rückschlagventil 30 ist entsprechend vorge ¬ spannt. Der Abtriebszylinder 35 weist antriebsseitig ein Abtriebsvolumen 40 auf, welches einen abtriebsseitig befind- liehen Abtriebskolben 45 bewegt.

Das Antriebsvolumen ist zudem über ein Rückschlagventil 50 mit einem Reservoir 55 speisbar gekoppelt. Darüber hinaus kann das Antriebsvolumen 25 über ein Rückschlagventil 60 und eine in Durchlassrichtung hinter dem Rückschlagventil 60 angeordnete Drossel 65 ein Vorspannvolu ¬ men 70 eines hydraulischen Vorspannzylinders 90 speisen, wel ¬ che mittels eines Vorspannkolbens 75 ein Druckbegrenzungsven- til 80 steuert. Über eine zweite Drossel 85 ist das Vorspann ¬ volumen 70 an das Reservoir 55 gekoppelt. Das Druckbegrenzungsventil 80 druckbegrenzt oder druckentlastet das

Abtriebsvolumen in das oder gegenüber dem Reservoir 55. Der in Fig. 1 dargestellte erfindungsgemäße hydraulische

Aktor 5 wird erfindungsgemäß wie nachfolgend beschrieben be ¬ trieben: Die einzelnen Betriebsmodi sind durch die Ansteue- rung des Piezostellers 10 charakterisiert, wie sich aus den nachfolgend näher beschriebenen Stellweg-Zeit-Diagrammen (a) , (b) und (c) gem. Fig. 2 ergibt.

In einem ersten Betriebsmodus wird der hydraulische Aktor mit einer geringen Systemsteifigkeit betrieben und mit einer von Null verschiedenen Stellgeschwindigkeit vi gestellt:

Dazu wird der Piezosteller 10 wie mittels der Kurve Cl gem. Fig. 2 (a) diagrammatisch gezeigt gestellt: Der Piezosteller 10 wird schnell ausgelenkt (d.h., der Stellweg s an steigt mit hoher Steigung hS mit der Zeit t an) . Somit steigt der Druck im Antriebsvolumen 25 des Antriebszylinders 20, sodass sich das das Antriebsvolumen 25 mit dem Abtriebsvolumen 40 koppelnde Rückschlagventil 30 und das das Antriebsvolumen 40 mit dem Vorspannvolumen 70 koppelnde Rückschlagventil 60 öff ¬ nen. Da in diesem ersten Betriebsmodus die Auslenkung des Piezostellers 10 und somit der Druckanstieg im Antriebsvolu ¬ men 25 nur sehr kurz ist, kann durch das das Antriebsvolumen 25 mit den Vorspannvolumen 70 koppelnde Rückschlagventil 60 aufgrund der seriell verbauten Drossel 65 annähernd kein Hydrauliköl in Richtung Vorspannvolumen 70 fließen, wobei dieser geringe Fluss von Hydrauliköl wieder über die das Vor ¬ spannvolumen 70 mit dem Reservoir koppelnden Drossel 85 ins Reservoir 55 abfließt. Somit baut sich im Vorspannvolumen 70 nahezu kein Druck auf. Folglich fließt das Hydrauliköl fast ausschließlich in das Abtriebsvolumen 40, sodass der

Abtriebskolben 45 mit einem resultierenden Stellweg s ab des hydraulischen Aktors 5 ausgetrieben wird. Anschließend wird die Auslenkung des Piezostellers 10 wieder schlagartig (große negative Steigung hA der Kurve Cl in Fig. 2 (a) ) verringert, wodurch das das Antriebsvolumen 25 mit dem Abtriebsvolumen 40 koppelnde Rückschlagventil 30 und das das Antriebsvolumen 40 mit dem Vorspannvolumen 70 koppelnde Rück- schlagventil 60 schließen. Aufgrund des verringerten Hydrau ¬ liköls im Antriebsvolumen 25 entsteht Unterdruck, wodurch sich das das Antriebsvolumen 25 mit dem Reservoir 55 koppelnde Rückschlagventil 50 öffnet und das fehlende Hydrauliköl vom Reservoir 55 in das Antriebsvolumen 25 fließen kann.

Wird im ersten Betriebsmodus dieser Zyklus - d.h. schnelles Auslenken und Rücksteilen des Piezostellers 10 - wiederholt, erfolgt eine kontinuierliche Auslenkung des Abtriebskolbens 45. Wirkt auf den Abtriebskolben 45 eine Gegenkraft ein, so erhöht sich gemäß dieser Gegenkraft und des hydraulischen Querschnitts des Abtriebszylinders 35 der Druck im

Abtriebsvolumen 40. Da die Schwelle im Druckbegrenzungsventil 80 aufgrund des fehlenden Druckes im Vorspannvolumen 25 sehr gering ist, fließt Hydrauliköl schon bei einer geringen Ge ¬ genkraft auf den Abtriebskolben 45 vom Abtriebsvolumen 40 über das Druckbegrenzungsventil 80 in das Reservoir 55 zu ¬ rück .

In einem zweiten Betriebsmodus wird der hydraulische Aktor 5 mit einer hohen Systemsteifigkeit betrieben und mit einer von Null verschiedenen Stellgeschwindigkeit vi gestellt: Dazu wird der Piezosteller 10 wie mittels der Kurve C2 gem. Fig. 2 (b) diagrammatisch gezeigt gestellt: Der Piezosteller 10 wird wie zuvor beschrieben schnell ausgelenkt (d.h., der Stellweg s an steigt wiederum mit hoher Steigung hS mit der Zeit t an) .

Demgemäß steigt der Druck im Antriebsvolumen 25 an und das das Antriebsvolumen 25 mit dem Abtriebsvolumen 40 koppelnde Rückschlagventil 30 und das das Antriebsvolumen 40 mit dem Vorspannvolumen 70 koppelnde Rückschlagventil 60 öffnen.

Durch das Abfließen des Hydrauliköls in das Abtriebsvolumen 40 sinkt der Druck im Antriebsvolumen 25 wie im zuvor beschriebenen Betriebsmodus.

Im Gegensatz zum vorherigen Betriebsmodus wird die Auslenkung des Piezostellers 10 hier für eine bestimmte Zeit konstant gehalten (siehe Teil p der Kurve C2 gem. Fig. 2 (b) ) . Da das das Antriebsvolumen 25 mit dem Abtriebsvolumen 40 koppelnde Rückschlagventil 30 einen definierten Öffnungsdruck hat, schließt es, wenn die Druckdifferenz zwischen Antriebsvolumen 25 und Abtriebsvolumen 40 kleiner als der Öffnungsdruck des Rückschlagventils 30 ist. Da der Piezosteller 10 immer noch ausgelenkt ist, liegt am das Antriebsvolumen 25 mit den Vor ¬ spannvolumen koppelnden Rückschlagventil 60 der verbleibende Druck an. Da das das Antriebsvolumen 25 mit den Vorspannvolu- men 70 koppelnde Rückschlagventil 60 nicht vorgespannt ist, kann Hydrauliköl über dieses Rückschlagventil 60 und die die ¬ sem Rückschlagventil 60 flußabwärts angeordnete Drossel 65 solange fließen bis die Druckdifferenz zwischen Vorspannvolu- men 70 und Antriebsvolumen 25 größer ist. Obwohl ein kleiner Teil Hydrauliköl wieder über die das Vorspannvolumen 70 mit dem Reservoir 55 koppelnde Drossel 85 ins Reservoir 55 zu ¬ rückfließt, steigt der Druck im Vorspannvolumen 70 an. Da- durch wird die Öffnungsschwelle im Druckbegrenzungsventil 80 erhöht .

Nach einer bestimmten Zeit wird der Piezosteller 10 wieder schlagartig auf dessen ursprünglichen Stellweg s an rückge- stellt (große negative Steigung hA der Kurve C2 in Fig. 2 (b) ) . Dadurch wird wie beim zuvor beschriebenen ersten Betriebsmodus Hydrauliköl vom Reservoir 55 in das Antriebsvolu ¬ men 25 gesaugt. Wäre die das Vorspannvolumen 60 mit dem Re ¬ servoir 55 koppelnde Drossel 85 nicht verbaut, so würde

Hydrauliköl nicht nur aus dem Reservoir 55 sondern auch aus dem Vorspannvolumen 70 gesaugt werden.

Anschließend wird der beschriebene Zyklus - Auslenken und Rückstellen des Piezostellers 10 - wiederholt. Wirkt in die- sem Fall auf den Abtriebskolben 45 eine Gegenkraft ein, so erhöht sich wieder der Druck in dem Abtriebsvolumen 40. Allerdings ist die Schwelle im Druckbegrenzungsventil 80 auf ¬ grund des erhöhten Drucks im Vorspannvolumen 70 größer als im vorhergehend beschriebenen Betriebsmodus, wodurch eine höhere Kraft auf den Antriebskolben 15 aufgebaut werden kann und ein Abfließen von Hydrauliköl aus dem Abtriebsvolumen 40 verringert ist. Dadurch erhöht sich die Systemsteifigkeit des er ¬ findungsgemäßen hydraulischen Aktors 5. Die Höhe dieser

Steifigkeit wird somit über das Ansteuerungsprofil des

Piezostellers 10 eingestellt.

In einem dritten Betriebsmodus wird der hydraulische Aktor 5 mit einer hohen Systemsteifigkeit betrieben und nicht ge ¬ stellt ( d.h. mit einer Stellgeschwindigkeit v0=0 gestellt):

Dazu wird der Piezosteller 10 wie mittels der Kurve C3 gem. Fig. 2 (c) diagrammatisch gezeigt gestellt: Durch das langsame Auslenken (vergleichsweise geringe Stei ¬ gung nS) des Piezostellers 10 steigt der Druck im Antriebsvo ¬ lumen 25 kaum an, wodurch sich nur das das Antriebsvolumen 25 mit dem Vorspannvolumen 70 koppelnde Rückschlagventil 60 öff- net, nicht aber das das Antriebsvolumen 25 mit den

Abtriebsvolumen koppelnde Rückschlagventil 30. Dadurch wird kein Hydrauliköl in das Abtriebsvolumen 40, sondern nur in das Vorspannvolumen 70 gepumpt, wodurch die Schwelle des Druckbegrenzungsventils 80 und somit die Systemsteifigkeit des hydraulischen Aktors 5 ansteigt ohne dass sich der

Abtriebskolben 45 auslenkt.

Nach einer bestimmten Zeit wird der Piezosteller 10 wieder schlagartig auf dessen ursprünglichen Stellweg s an rückge ¬ stellt (große negative Steigung hA der Kurve C3 in Fig. 2 (c) ) .

In nicht eigens dargestellten weiteren Ausführungsbeispielen, welche im Übrigen dem in Fig. 1 und 2 dargestellten Ausfüh- rungsbeispiel entsprechen, ist anstelle eines Piezostellers 10 oder eine elektrodynamischer oder ein elektromagnetischer Aktor vorhanden.

Es versteht sich, dass in weiteren, nicht eigens dargestell- ten Ausführungsbeispielen anstelle von hydraulischen Zylindern mit darin geführten Kolben für Antriebs- und/oder Abtriebs- und/oder Vorspannzylinder auch hydraulische Zylinder in der Art von Faltenbälgen ohne darin geführte Kolben vorgesehen sein können.