Differenzdrucksensor mit einem solchen Messwerk

Die vorliegende Erfindung betrifft ein hydraulisches Messwerk zum Aufnehmen von Differenzdrücken und einen Differenzdrucksensor mit einem solchen Messwerk.

Hydraulische Messwerke zum Aufnehmen von Differenzdrücken, umfassen gewöhnlich einen Messwerkkörper mit einer ersten Druckeingangsöffnung und einer zweiten Druckeingangsöffnung, von der sich jeweils ein hydraulischer Pfad zu einer

Differenzdruckmesszelle erstreckt, um die Differenzdruckmesszelle mit dem ersten Druck und dem zweiten Druck zu beaufschlagen, deren Differenz durch die

Differenzdruckmesszelle zu messen ist. Eine Differenzdruckmesszelle weist allgemein einen Messzellenkörper mit zwei Messkammern in seinem Innern auf, die durch eine Messmembran voneinander getrennt sind. Die beiden Messkammern sind jeweils durch eine Messkammeröffnung mit einem der beiden Drücke beaufschlagbar, so dass die Messmembran eine von der Differenz der beiden Drücke abhängige, elastische

Verformung aufweist.

Die Druckeingangsöffnungen des Messwerkkörpers sind gewöhnlich durch flexible metallische Trennmembranen verschlossen, welche jeweils einen an einer Außenseite der Trennmembran anstehenden Druck in den hydraulischen Pfad einleiten. Bei Messwerken mit koplanaren Druckeingangsöffnungen liegen die Druckeingänge nebeneinander auf einer Prozessanschlussfläche des Messwerkkörpers. Solche

Messwerke mit koplanaren Druckeingängen sind beispielsweise in EP 0 370 013 B1 , EP 0 560 875 B1 , EP 0 774 652 B2, und EP 1 216 404 B1 offenbart. Die hydraulischen Pfade umfassen beispielsweise Kapillarleitungen, die sich von einer rückseitigen Oberfläche des Prozessanschlusskörpes, welche der Prozessanschlussfläche abgewandt ist, zur Druckmesszelle erstrecken.

Die Kapillarleitungen sind beispielsweise durch eine umlaufende Schweißnaht druckdicht mit dem Messwerkkörper verbunden und damit jeweils an eine der

Druckeingangsöffnungen hydraulisch gekoppelt.

Die Präparation der umlaufenden Schweißnähte erweist sich jedoch als schwierig, da die benachbarten Kapillarrohre das Umkreisen des jeweils anderen Kapillarrohrs mit einer Schweißvorrichtung behindern. Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein hydraulisches Messwerk mit koplanaren Druckeingängen und einen Differenzdrucksensor mit einem solchen Messwerk bereitzustellen, welches einfach und zuverlässig herzustellen ist.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch das Messwerk gemäß dem

unabhängigen Patentanspruch 1 und den Differenzdrucksensor gemäß dem

unabhängigen Patentanspruch 8.

Das erfindungsgemäße hydraulische Messwerk zum Aufnehmen von Differenzdrücken, umfasst: einen Messwerkkörper mit einer im wesentlichen in eine Richtung orientierten Prozessanschlussfläche, wobei der Messwerkkörper eine erste Druckeingangsöffnung aufweist, die sich von der Prozessanschlussfläche durch den Messwerkkörper zu einer rückseitigen Oberfläche des Messwerkkörpers erstreckt, wobei der Messwerkkörper eine zweite Druckeingangsöffnung aufweist, die sich von der Prozessanschlussfläche durch den Messwerkkörper zu der rückseitigen Oberfläche des Messwerkkörpers erstreckt; eine erste Trennmembran, welche die erste Druckeingangsöffnung auf der Seite der Prozessanschlussfläche verschließt; eine zweite Trennmembran, welche die zweite Druckeingangsöffnung auf der Seite der Prozessanschlussfläche verschließt; ein erstes Druckrohr, welches mit einem Abschnitt in der ersten Druckeingangsöffnung angeordnet ist, wobei das erste Druckrohr aus der rückseitigen Oberfläche des Messwerkkörpers herausragt; und ein zweites Druckrohr, welches mit einem Abschnitt in der zweiten

Druckeingangsöffnung angeordnet ist, wobei das erste Druckrohr aus der rückseitigen Oberfläche des Messwerkkörpers herausragt; wobei das erste und das zweite Druckrohr druckdicht mit dem Messwerkkörper verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens das erste Druckrohr von der Seite der Prozessanschlussfläche her druckdicht mit dem Messwerkkörper verbunden ist.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung sind das erste Druckrohr und das zweite Druckrohr von der Seite der Prozessanschlussfläche her druckdicht mit dem

Messwerkkörper verbunden.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung sind das erste Druckrohr und das zweite Druckrohr durch Fügen, insbesondere Schweißen druckdicht mit dem Messwerkkörper verbunden. Durch das Herstellen der druckdichten Verbindung zwischen einem Druckrohr und dem Messwerkkörper von der Seite der Prozessanschlussfläche her, werden insbesondere umlaufende Verbindungsverfahren wie beispielsweise Schweißen nicht durch das jeweils andere Rohr, welches rückseitig aus dem Messwerkkörper herausragt, behindert.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung verläuft mindestens ein Druckrohr bezüglich einer Oberflächennormalen der Prozessanschlussfläche geneigt in dem

Messwerkkörper.

Auf diese Weise kann insbesondere der Abstand der rückseitigen Endabschnitte der Druckrohre zueinander verringert werden, was insbesondere für die Montage von miniaturisierten Differenzdruckmesszellen vorteilhaft sein kann.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung umfasst das hydraulische Messwerk weiterhin mindestens einen ersten Membranbettkörper, welcher an einer dem Messwerkkörper abgewandten Oberfläche ein korrugiertes Membranbett aufweist, wobei der

Membranbettkörper nach dem druckdichten Verbinden des mindestens einen ersten Druckrohrs mit dem Messwerkkörper von der Seite der Prozessanschlussfläche her druckdicht mit dem Messwerkkörper verbunden ist.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist mindestens eine Trennmembran auf dem Membranbett eines Trennmembrankörpers abgeprägt. Der Einsatz eines Membranbettkörpers ermöglicht die Bereitstellung eines

Membranbetts, ohne dass dieses durch die präparierte Druckdichte Verbindung zwischen Druckrohr und Messwerkkörper in seiner Integrität beeinträchtigt würde.

Gemäß einer anderen Weiterbildung der Erfindung ist zwischen mindestens einer Trennmembran und der von ihr verschlossenen Druckeingangsöffnung kein korrugiertes Membranbett vorhanden. Auf ein Membranbett kann verzichtet werden, wenn eine überlastfeste Differenzdruckmesszelle zum Einsatz kommt, so dass kein Schutz der Differenzdruckmesszelle durch eine zur Anlage kommenden Überlastmembran erforderlich ist. Der erfindungsgemäße Differenzdrucksensor umfasst ein erfindungsgemäßes hydraulisches Messwerk; und eine Differenzdruckmesszelle, wobei die

Differenzdruckmesszelle einen Messzellenkörper mit zwei Messkammern in seinem Innern aufweist, die durch eine Messmembran voneinander getrennt sind, wobei die Messkammern jeweils eine Messkammeröffnung aufweisen, wobei eine erste der Messkammern druckdicht an das erste Druckrohr angeschlossen und durch das erste Druckrohr mit einem ersten Druck beaufschlagbar ist, wobei eine zweite der

Messkammern druckdicht an das zweite Druckrohr angeschlossen und durch das zweite Druckrohr mit einem zweiten Druck beaufschlagbar ist, wobei die Messmembran in Abhängigkeit von einer Differenz zwischen dem ersten Druck und dem zweiten Druck elastisch verformbar ist, wobei die Differenzdruckmesszelle einen Wandler aufweist, zum Bereitstellen eines von der Verformung der Messmembran abhängigen Signals.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung wird die Differenzdruckmesszelle von den Druckrohren gehalten. Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung weisen die beiden Druckrohre jeweils eine Verzweigung auf, wobei jeweils ein Zweig eines Druckrohrs an eine der Messkammern angeschlossen ist, und wobei der jeweils andere Zweig eines Druckrohrs eine verschließbare Befüllöffnung zum Befüllen der jeweils mit dem Zweig kommunizierenden Volumina des Differenzdrucksensors mit einer Übertragungsflüssigkeit aufweist. Gemäß einer anderen Weiterbildung der Erfindung weist der Messwerkkörper zwei verschließbare Befüllöffnungen auf, von denen jeweils eine mit einer

Druckeingangsöffnung kommuniziert, wobei die Beffüllöffnungen vorgesehen sind zum Befüllen der jeweils mit ihnen kommunizierenden Volumina des Differenzdrucksensors mit einer Übertragungsflüssigkeit. Die Erfindung wird nun anhand der in den Zeichnungen dargestellten

Ausführungsbeispiele erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 : einen schematischen Längsschnitt durch ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Differenzdrucksensors;

Fig. 2: einen schematischen Längsschnitt durch ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Differenzdrucksensors; Fig. 3: einen schematischen Längsschnitt durch ein drittes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Differenzdrucksensors; und

Fig. 4: einen schematischen Längsschnitt durch ein viertes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Differenzdrucksensors;

Das in Fig. 1 gezeigte Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen

Differenzdrucksensors umfasst einen Messwerkkörper 10, durch welchen sich eine erste und eine zweite Druckeingangsöffnung 12, 14, als Gerade Bohrungen von einer Prozessanschlussfläche 16 des Messwerkkörpers 10 zu einer Rückseite 18 des Messwerkkörpers 10 erstrecken. In die Bohrungen sind erste und zweite Kapillarrohre 20, 22 eingesetzt, die rückseitig aus dem Messwerkkörper herausragen und auf der Seite der Prozessanschlussfläche 16 mit umlaufenden Schweißnähten 24, 26 druckdicht mit dem Messwerkkörper verbunden sind. Die beiden Druckeingangsöffnungen 12, 14 sind jeweils mit einer ersten bzw. zweiten Trennmembran 28, 30 verschlossen, wobei die Trennmembranen jeweils entlang einer umlaufenden Schweißnaht druckdicht mit der Prozessanschlussfläche 16 des Messwerkkörpers 10 verbunden sind. Von den

Trennmembranen 28, 30 überdeckte erste und zweite Vertiefungen 29, 30, weisen im wesentlichen eine flache Grundfläche auf. D.h. es ist kein Membranbett vorgesehen, an denen eine Trennmembran abgestützt wird, wenn sie im Überlastfall zur Anlage kommt. Auf diese Maßnahme kann vorliegend verzichtet werden, da der Differenzdrucksensor eine überlastfeste Differenzdruckmesszelle 40 aufweist, deren Festigkeit noch durch zwei keramische Versteifungskörper 42, 44 aus Siliziumnitrid oder Aluminiumnitrid erhöht wird, die beidseitig der Differenzdruckmesszelle 40 mittels Glaslot mit der Differenzdruckmesszelle gefügt sind. Die Differenzdruckmesszelle ist insbesondere eine mikromechanische Differenzdruckmesszelle, die Silizium als Werkstoff aufweist und einen kapazitiven Wandler umfasst. Die Differenzdruckmesszelle 40, kommuniziert durch Kanäle, die durch die Versteifungsköärper 42, 44 laufen mit den beiden

Druckrohren 20, 22, wobei die Versteifungskörper 42, 44 jeweils druckdicht und drucktragend auf rückseitige Stirnflächen der Druckrohre 20, 22 geklebt oder gelötet sind.

Durch den Messwerkkörper 10 erstrecken sich von dessen Rückseite 18 zudem erste und zweite Befüllkanäle 32 34 die jeweils in einer der Vertiefungen 29, 31 in der Prozessanschlussf lache münden. Über diese Befüllkanäle werden die mit Ihnen kommunizierenden Teilvolumina des hydraulischen Systems des Differenzdrucksensors mit einer Übertragungsflüssigkeit gefüllt. Anschließend werden die Befüllkanäle 32, 34 druckdicht verschlossen. Der Differenzdrucksensor ist mit seiner Prozessanschlussfläche voran an einem

Prozessanschlussblock 50 mittels Bolzen fixiert.

Das zweite Ausführungsbeispiel eines Differenzdrucksensors gemäß Fig. 2

unterscheidet sich vom zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel durch die folgenden Einzelheiten: Eine Messwerkkörper 110 weist keine gesonderten Befüllkanäle auf.

Stattdessen weisen erste und zweite Druckrohre 120, 122, die wiederum von der Seite einer Prozessanschlussfläche des Messwerkkörpers her 110 druckdicht mit dem Messwerkkörper verbunden sind, rückseitige, verschließbare Befüllöffnungen 132, 134 auf. Zur Druckbeaufschlagung einer Differenzdruckmesszelle 140, die zwischen keramischen Versteifungskörpern 142, 144 gehalten ist, die wiederum zwischen den Druckrohren 120, 122 angeordnet und mit diesen verlötet sind, weisen die Druckrohre seitliche Verzweigungsbohrungen auf, die Kanälen durch die Versteifungskörper 142, 144 kommunizieren.

In Fig. 3 ist ein Ausführungsbeispiel eines Differenzdrucksensors dargestellt, bei dem ein Messwerkkörper 210 geneigt verlaufende Druckeingangsöffnungen aufweist, in welche gerade erste und zweite Druckrohre 220, 220 eingesetzt sind, auf deren rückseitigen Stirnflächen wiederum eine mikromechanische Differenzdruckmesszelle 240 mittels zweier Versteifungskörper 242, 244 gehalten ist. Die Neigung der Druckrohre ermöglicht es, den Abstand der rückseitigen Stirnflächen, auf denen die Versteifungskörper 242, 244 zu montieren sind, unabhängig von Erfordernissen für den Abstand zwischen den Druckeingangsöffnungen an der Prozessanschlussfläche zu gestalten.

Fig 4 zeigt schließlich ein Ausführungsbeispiel eines Differenzdrucksensors der ein hydraulische Messwerk aufweist, in dem ein gewisser Überlastschutz realisiert ist. Einen Messwerkkörper 310 weist, Druckeingangsöffnungen her in denen von der Seite einer Prozessanschlussfläche 316 her Druckrohre 320, 322 mit umlaufenden Fügestellen 324, 326 druckdicht fixiert sind. Die Fügestellen sind jedoch von scheibenförmigen Trennmembrankörpern 332,333 überdeckt, wobei letztere mit dem Messwerkkörper entlang umlaufender Schweißnähte druckdicht verbunden sind. Trennmembranen 328, 330 sind an den

Trennmembranbetten jeweils mit einer umlaufenden Schweißnaht druckdicht befestigt, wobei die Trennmembranen 328, 330 auf Membranbetten 329, 331 an der trennmembranseitigen Oberfläche der Trennmembrankörper abgeprägt sind. Im Falle einer einseitigen Überlast im Betrieb des Differenzdrucksensors kann eine

Trennmembran an ihrem jeweiligen Membranbett 329, 331 zur Anlage kommen, wodurch ein weiterer Druckanstieg hinter der Trennmembran verhindert ist. Auf diese Weise wird eine auf den Druckrohren 320, 322 mittels Versteifungskörpern 342, 344 montierte Differenzdruckmesszelle 340 vor unbegrenzt steigenden Drücken geschützt.