Title:
IMAGE PROCESSING DEVICE, CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE ADJUSTMENT SAMPLE, AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/148975
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed are an image processing device and a charged particle beam device that either measure or assess distortion within a field of view rapidly and precisely. To achieve the objective, an image processing device is provided that acquires a first image of a first region of a subject to be image captured and a second image of a second region with a different location from the first region and that is partially superpositioned therewith, and that derives the distance between a measurement point within the second image and a second component corresponding to a specified region within the second image for a plurality of sites of the superpositioned region of the first image and the second image.
Inventors:
KAWADA Hiroki (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza-Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
川田洋揮 (〒04 茨城県ひたちなか市大字市毛８８２番地 株式会社日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所内 Ibaraki, 〒3128504, JP)
INOUE Osamu (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza-Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
井上修 (〒04 茨城県ひたちなか市大字市毛８８２番地 株式会社日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所内 Ibaraki, 〒3128504, JP)
MATSUI Miyako (HITACHI LTD., 280, Higashikoigakubo 1-chome, Kokubunji-sh, Tokyo 01, 〒1858601, JP)
松井都 (〒01 東京都国分寺市東恋ヶ窪一丁目２８０番地 株式会社日立製作所 中央研究所内 Tokyo, 〒1858601, JP)
KAWASAKI Takahiro (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza-Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
川▲崎▼貴裕 (〒04 茨城県ひたちなか市大字市毛８８２番地 株式会社日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所内 Ibaraki, 〒3128504, JP)
川田洋揮 (〒04 茨城県ひたちなか市大字市毛８８２番地 株式会社日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所内 Ibaraki, 〒3128504, JP)
INOUE Osamu (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza-Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
井上修 (〒04 茨城県ひたちなか市大字市毛８８２番地 株式会社日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所内 Ibaraki, 〒3128504, JP)
MATSUI Miyako (HITACHI LTD., 280, Higashikoigakubo 1-chome, Kokubunji-sh, Tokyo 01, 〒1858601, JP)
松井都 (〒01 東京都国分寺市東恋ヶ窪一丁目２８０番地 株式会社日立製作所 中央研究所内 Tokyo, 〒1858601, JP)
KAWASAKI Takahiro (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza-Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
川▲崎▼貴裕 (〒04 茨城県ひたちなか市大字市毛８８２番地 株式会社日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所内 Ibaraki, 〒3128504, JP)
Application Number:
JP2011/061978
Publication Date:
December 01, 2011
Filing Date:
May 25, 2011
Export Citation:
Assignee:
HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION (24-14, Nishi Shimbashi 1-chome Minato-k, Tokyo 17, 〒1058717, JP)
株式会社日立ハイテクノロジーズ (〒17 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo, 〒1058717, JP)
KAWADA Hiroki (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza-Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
川田洋揮 (〒04 茨城県ひたちなか市大字市毛８８２番地 株式会社日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所内 Ibaraki, 〒3128504, JP)
INOUE Osamu (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza-Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
井上修 (〒04 茨城県ひたちなか市大字市毛８８２番地 株式会社日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所内 Ibaraki, 〒3128504, JP)
MATSUI Miyako (HITACHI LTD., 280, Higashikoigakubo 1-chome, Kokubunji-sh, Tokyo 01, 〒1858601, JP)
松井都 (〒01 東京都国分寺市東恋ヶ窪一丁目２８０番地 株式会社日立製作所 中央研究所内 Tokyo, 〒1858601, JP)
KAWASAKI Takahiro (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza-Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
株式会社日立ハイテクノロジーズ (〒17 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo, 〒1058717, JP)
KAWADA Hiroki (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza-Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
川田洋揮 (〒04 茨城県ひたちなか市大字市毛８８２番地 株式会社日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所内 Ibaraki, 〒3128504, JP)
INOUE Osamu (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza-Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
井上修 (〒04 茨城県ひたちなか市大字市毛８８２番地 株式会社日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所内 Ibaraki, 〒3128504, JP)
MATSUI Miyako (HITACHI LTD., 280, Higashikoigakubo 1-chome, Kokubunji-sh, Tokyo 01, 〒1858601, JP)
松井都 (〒01 東京都国分寺市東恋ヶ窪一丁目２８０番地 株式会社日立製作所 中央研究所内 Tokyo, 〒1858601, JP)
KAWASAKI Takahiro (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza-Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
International Classes:
H01J37/22; G01B15/00; G01B15/06; H01J37/147; H01J37/28
Attorney, Agent or Firm:
HIRAKI Yusuke (Kamiya-cho MT Bldg. 19F, 3-20 Toranomon 4-chome, Minato-k, Tokyo 01, 〒1050001, JP)
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Claims:
Previous Patent: ENERGY-SAVING DIAGNOSTIC SYSTEM
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