Abbildende Optik zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld sowie Projektionsbelichtungsanlage mit einer derartigen abbildenden Optik

Die vorliegende Patentanmeldung nimmt die Priorität der deutschen Patentanmeldung DE 10 2015 226 529.3 in Anspruch, deren Inhalt durch Bezugnahme hierin aufgenommen wird.

Die Erfindung betrifft eine abbildende Optik zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld. Ferner betrifft die Erfindung ein optisches System mit einer derartigen abbildenden Optik, eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen optischen System, ein Verfahren zur Herstel- lung eines mikro- beziehungsweise nanostrukturierten Bauteils mit einer derartigen Projektionsbelichtungsanlage sowie ein mit diesem Verfahren hergestelltes mikro- beziehungsweise nano- strukturiertes Bauelement.

Projektionsoptiken der eingangs genannten Art sind bekannt aus der DE 10 2012 212 753 A1, aus der US 2010/0149509 AI und aus der US 4,964,706.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine abbildende Optik der eingangs genannten Art derart weiterzubilden, dass Bauraumanforderungen bezüglich weiterer Komponenten einer Projektionsbelichtungsanlage, deren Bestandteil die abbildende Optik ist, Rechnung getragen wird.

Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch eine abbildende Optik mit den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen. Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass eine Verkippung des Objektfeldes relativ zum Bildfeld um eine Verlagerungsachse parallel zur Substratverlagerungsrichtung bzw. um eine Bildnormalenachse parallel zu einer Normalen auf der Bildebene bauliche Freiheitsgrade schafft, die eine Unterbringung von Komponenten einer Projektionsbelichtungsanlage, deren Bestandteil die abbildende Optik ist, auch dann gewährleistet, wenn ohne derartige Verkippung ein Bauraumkon- flikt entstehen würde. Das Objektfeld kann zusätzlich relativ zum Bildfeld um eine Achse verkippt sein, die senkrecht auf einer Ebene steht, die aufgespannt ist einerseits von der Substratverlagerungsrichtung und andererseits von der Bildnormalenachse. Eine Verkippung ausschließlich um eine derartige dritte Achse ist grundsätzlich bekannt beispielsweise aus der US 8 027 022 B2 oder der US 2009/0135510 AI .

Die erfindungsgemäße Verkippung des Objektfeldes relativ zum Bildfeld um mindestens eine der Verkippungsachsen kann größer sein als 0,5°, kann etwa 1° betragen, kann größer sein als 1°, kann 1,6° betragen, kann größer sein als 5°, kann 9,7° betragen, kann größer sein als 10°, kann 11,2° betragen, kann größer sein als 15°, kann 19,95° betragen, kann größer sein als 20°, kann 25° betragen, kann größer sein als 25°, kann 30° betragen und kann auch größer sein als 30°. Eine katoptrische Projektionsoptik nach Anspruch 2 lässt sich mit hoher Gesamtreflektivität und guten und die extremen Anforderungen der Projektionslithografie erfüllenden Abbildungseigenschaften realisieren.

Ausführungen nach den Ansprüchen 3 und 4 haben sich dabei als besonders geeignet herausge- stellt. Die Projektionsoptik kann zwei NI-Spiegel, kann drei NI-Spiegel oder kann noch mehr NI- Spiegel aufweisen. Die Projektionsoptik kann ausschließlich mit NI-Spiegeln ausgeführt sein. Die Projektionsoptik kann mindestens zwei GI-Spiegel, mindestens drei GI-Spiegel, mindestens vier GI-Spiegel, mindestens fünf GI-Spiegel, mindestens sechs GI-Spiegel, kann sieben GI- Spiegel, kann mindestens acht oder auch noch mehr GI-Spiegel aufweisen.

Die Vorteile eines optischen Systems nach Anspruch 5 entsprechen denjenigen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die abbildende Optik bereits erläutert wurden. Insbesondere Bauraumkonflikte zwischen dem Objekthalter und der abbildenden Optik können vermieden werden. Bei einem optischen System nach Anspruch 6 kann der Objekthalter an eine Verkippung des Objektfeldes relativ zum Bildfeld angepasst sein.

Die Vorteile einer Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 7 entsprechen denen, die vorstehend unter Bezugnahme auf das optische System bereits erläutert wurden. Eine Lichtquelle der Projektionsbelichtungsanlage, insbesondere eine EUV-Lichtquelle nach Anspruch 8, kann hinsichtlich ihrer Anordnung, insbesondere hinsichtlich ihrer Emissionsrichtung, angepasst sein an eine Verkippung des Objektfeldes relativ zum Bildfeld. Es kann eine Projektionsbelichtungsanlage mit geringer Bauhöhe realisiert sein.

Die Vorteile eines Herstellungsverfahrens nach Anspruch 9 sowie eines mikro- beziehungsweise nanostrukturierten Bauteils nach Anspruch 10 entsprechen denen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die Projektionsoptik und das optische System und die Projektionsbelichtungsanlage bereits erläutert wurden.

Hergestellt werden kann mit der Projektionsbelichtungsanlage insbesondere ein Halbleiter- Bauteil, beispielsweise ein Speicherchip. Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen:

Fig. 1 schematisch eine Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-

Mikrolithographie;

Fig. 2 in einer Seitenansicht eine Ausführung einer abbildenden Optik, die als Projektionsobjektiv in der Projektionsbelichtungsanlage nach Fig. 1 einsetzbar ist, wobei ein Abbildungsstrahlengang für Hauptstrahlen und für obere und untere Komastrahlen mehrerer ausgewählter Feldpunkte dargestellt ist;

Fig. 3 eine Ansicht auf die abbildende Optik nach Fig. 2, gesehen aus Blickrichtung

III in Fig. 2;

Fig. 4 schematisch in der Ansicht der abbildenden Optik nach Fig. 3 zusätzlich ein

Lichtquellenmodul und eine Beleuchtungsoptik der Projektionsbelichtungsanlage; Fig. 5 die abbildende Optik nach Fig. 2, gesehen aus Blickrichtung V in Fig. 2;

Fig. 6 bis 8 in zu den Fig. 2, 3 und 5 ähnlichen Ansichten eine weitere Ausführung einer abbildenden Optik zum Einsatz in einer Projektionsbelichtungsanlage nach Fig. i;

Fig. 9 bis 11 in zu den Fig. 2, 3 und 5 ähnlichen Ansichten eine weitere Ausführung einer abbildenden Optik zum Einsatz in einer Projektionsbelichtungsanlage nach Fig. 1; und

Fig. 12 bis 14 in zu den Fig. 2, 3 und 5 ähnlichen Ansichten eine weitere Ausführung einer abbildenden Optik zum Einsatz in einer Projektionsbelichtungsanlage nach Fig.

1. Eine Projektionsbelichtungsanlage 1 für die Mikrolithographie hat eine Lichtquelle 2 für Beleuchtungslicht beziehungsweise Abbildungslicht 3. Bei der Lichtquelle 2 handelt es sich um eine EUV-Lichtquelle, die Licht in einem Wellenlängenbereich beispielsweise zwischen 5 nm und 30 nm, insbesondere zwischen 5 nm und 15 nm, erzeugt. Bei der Lichtquelle 2 kann es sich insbesondere um eine Lichtquelle mit einer Wellenlänge von 13,5 nm oder um eine Lichtquelle mit einer Wellenlänge von 6,9 nm handeln. Auch andere EUV- Wellenlängen sind möglich. Generell sind sogar beliebige Wellenlängen, zum Beispiel sichtbare Wellenlängen oder auch andere Wellenlängen, die in der Mikrolithographie Verwendung finden können (zum Beispiel DUV, tiefes Ultraviolett) und für die geeigneten Laserlichtquellen und/oder LED-Lichtquellen zur Verfügung stehen (beispielsweise 365 nm, 248 nm, 193 nm, 157 nm, 129 nm, 109 nm), für das in der Projektionsbelichtungsanlage 1 geführte Beleuchtungslicht 3 möglich. Ein Strahlengang des Beleuchtungslichts 3 ist in der Fig. 1 äußerst schematisch dargestellt.

Zur Führung des Beleuchtungslichts 3 von der Lichtquelle 2 hin zu einem Objektfeld 4 in einer Objektebene 5 dient eine Beleuchtungsoptik 6. Mit einer Projektionsoptik beziehungsweise ab- bildenden Optik 7 wird das Objektfeld 4 in ein Bildfeld 8 in einer Bildebene 9 mit einem vorgegebenen Verkleinerungsmaßstab abgebildet. Die Projektionsoptik 7 hat genau ein Objektfeld 4. Die Projektionsoptik 7 hat genau ein Bildfeld 8. Zur Erleichterung der Beschreibung der Projektionsbehchtungsanlage 1 sowie der verschiedenen Ausführungen der Projektionsoptik 7 ist in der Zeichnung ein kartesisches xyz-Koordinaten- system angegeben, aus dem sich die jeweilige Lagebeziehung der in den Figuren dargestellten Komponenten ergibt. In der Fig. 1 verläuft die x-Richtung senkrecht zur Zeichenebene in diese hinein. Die y-Richtung verläuft nach links und die z-Richtung nach oben.

Das Objektfeld 4 und das Bildfeld 8 sind rechteckförmig. Alternativ ist es auch möglich, das Objektfeld 4 und Bildfeld 8 gebogen beziehungsweise gekrümmt, also insbesondere teilringför- mig auszuführen. Das Objektfeld 4 und das Bildfeld 8 haben ein Aspektverhältnis größer als 1. Das Bildfeld 8 hat eine längere Bildfelddimension in der x-Richtung und eine kürzere Bildfelddimension in der y-Richtung. Diese Bildfelddimensionen verlaufen längs der Bildfeldkoordinaten x und y. Objektfeldkoordinaten x', y', z' (vgl. Fig. 2 ff) können gegenüber den Bildfeldkoordinaten x, y, z verkippt sein, wie nachfolgend noch erläutert wird.

Für die Projektionsoptik 7 kann eines der in den Figuren 2ff dargestellten Ausführungsbeispiele eingesetzt werden. Die Projektionsoptik 7 ist anamorphotisch, hat also in der x-Richtung (Verkleinerungsmaßstab ß _x in der xz-Ebene) einen anderen Verkleinerungsmaßstab als in der y- Richtung (Verkleinerungsmaßstab ß _y in der yz-Ebene). In der x-Richtung hat die Projektionsop- tik 7 einen Verkleinerungsmaßstab von 4. In der y-Richtung hat die Projektionsoptik 7 einen Verkleinerungsmaßstab von 8. Auch andere Verkleinerungsmaßstäbe für die Verkleinerung in der x-Richtung beziehungsweise für die Verkleinerung in der y-Richtung sind möglich, zum Beispiel 4x, 5x oder auch Verkleinerungsmaßstäbe, die größer sind als 8x. Auch eine Ausführung der Projektionsoptik 7 mit gleichen derartigen Verkleinerungsmaßstäben einerseits in der xz- Ebene und andererseits in der yz-Ebene ist möglich.

Die Bildebene 9 ist bei der Projektionsoptik 7 verkippt zur Objektebene 5 angeordnet, was nachfolgend noch näher erläutert wird. Abgebildet wird hierbei ein mit dem Objektfeld 4 zusammenfallender Ausschnitt einer Reflexionsmaske 10, die auch als Retikel bezeichnet wird. Das Retikel 10 wird von einem Retikelhalter 10a getragen. Der Retikelhalter 10a wird von einem Retikelver- lagerungsantrieb 10b verlagert. Die Abbildung durch die Projektionsoptik 7 erfolgt auf die Oberfläche eines Substrats 11 in Form eines Wafers, der von einem Substrathalter 12 getragen wird. Der Substrathalter 12 wird von einem Wafer- beziehungsweise Substratverlagerungsantrieb 12a verlagert. In der Fig. 1 ist schematisch zwischen dem Retikel 10 und der Projektionsoptik 7 ein in diese einlaufendes Strahlenbündel 13 des Beleuchtungslichts 3 und zwischen der Projektionsoptik 7 und dem Substrat 11 ein aus der Projektionsoptik 7 auslaufendes Strahlenbündel 14 des Beleuchtungslichts 3 dargestellt. Eine bildfeldseitige numerische Apertur (NA) der Projektionsoptik 7 ist in der Fig. 1 nicht maßstäblich wiedergegeben.

Die Projektionsbelichtungsanlage 1 ist vom Scannertyp. Sowohl das Retikel 10 als auch das Substrat 11 werden beim Betrieb der Projektionsbelichtungsanlage 1 in der y'-Richtung und der y-Richtung gescannt. Auch ein Steppertyp der Projektionsbelichtungsanlage 1 , bei dem zwischen einzelnen Belichtungen des Substrats 11 eine schrittweise Verlagerung des Retikels 10 und des Substrats 11 in der y'-Richtung und der y-Richtung erfolgt, ist möglich. Diese Verlagerungen erfolgen synchronisiert zueinander durch entsprechende Ansteuerung der Verlagerungsantriebe 10b und 12a.

Fig. 2 zeigt das optische Design einer ersten Ausführung der Projektionsoptik 7. Dargestellt ist in der Fig. 2 der Strahlengang von Einzelstrahlen 15, die von mehreren in der Fig. 2 zueinander in der y'-Richtung beabstandeten Objektfeldpunkten ausgehen. Dargestellt sind Hauptstrahlen 16, also Einzelstrahlen 15, die durch das Zentrum einer Pupille in einer Pupillenebene der Projektionsoptik 7 verlaufen, sowie jeweils ein oberer und ein unterer Komastrahl dieser beiden Objekt- feldpunkte. Ausgehend vom Objektfeld 4 schließt der Hauptstrahl 16 eines zentralen Objektfeld- punktes mit einer Normalen auf die Objektebene 5 einen Winkel CRAO von 5,0° ein.

Die Projektionsoptik 7 hat eine bildseitige numerische Apertur von 0,55.

Eine Eintrittspupille EP ist im Strahlengang des Abbildungslichts 3 vor dem Objektfeld 4 ange- ordnet. Es resultiert ein divergenter Verlauf der Hauptstrahlen 16 zwischen dem Objektfeld 4 und einem Spiegel Ml der Projektionsoptik 7. Die Projektionsoptik 7 nach Fig. 2 hat insgesamt zehn Spiegel, die in der Reihenfolge des Strahlengangs der Einzelstrahlen 15, ausgehend vom Objektfeld 4, mit Ml bis MIO durchnummeriert sind. Die Projektionsoptik 7 ist eine rein katoptrische Optik. Die abbildende Optik 7 kann auch eine andere Spiegelanzahl haben, beispielsweise vier Spiegel, sechs Spiegel oder acht Spiegel. Auch eine ungeradzahlige Spiegelanzahl ist bei der Projektionsoptik 7 möglich.

Dargestellt sind in der Fig. 2 die genutzten Reflexionsflächen der Spiegel Ml bis MIO. Diese Nutz-Reflexionsflächen werden in bekannter Weise von nicht dargestellten Spiegelkörpern getragen.

Bei der Projektionsoptik 7 nach Fig. 2 sind die Spiegel Ml, M9 und MIO als Spiegel für normalen Einfall ausgeführt, also als Spiegel, auf die das Abbildungslicht 3 mit einem Einfallswinkel trifft, der kleiner ist als 45°. Insgesamt hat die Projektionsoptik 7 nach Fig. 2 also drei Spiegel Ml, M9 und MIO für normalen Einfall. Diese Spiegel werden nachfolgend auch als NI-Spiegel bezeichnet.

Die Spiegel M2 bis M8 sind Spiegel für streifenden Einfall des Beleuchtungslichts 3, also Spiegel, auf die das Beleuchtungslicht 3 mit Einfallswinkeln auftritt, die größer sind als 60°. Ein typischer Einfallswinkel der Einzelstrahlen 15 des Abbildungslichts 3 auf den Spiegeln M2 bis M8 für streifenden Einfall liegt im Bereich von 80°. Insgesamt hat die Projektionsoptik 7 nach Fig. 2 genau sieben Spiegel M2 bis M8 für streifenden Einfall. Diese Spiegel werden nachfolgend auch als GI-Spiegel bezeichnet.

Die Spiegel M2 bis M8 reflektieren das Abbildungslicht 3 so, dass sich die Ausfallswinkel der Einzelstrahlen 15 auf den jeweiligen Spiegeln M2 bis M8 addieren.

Die Spiegel Ml bis MIO tragen eine die Reflektivität der Spiegel Ml bis MIO für das Abbildungslicht 3 optimierende Beschichtung. Hierbei kann es sich, insbesondere für die GI-Spiegel, um eine Ruthenium-Beschichtung, um eine Molybdän-Beschichtung oder um eine Molybdän- Beschichtung mit einer obersten Schicht aus Ruthenium handeln. Auch andere Beschichtungs- materialien können zum Einsatz kommen. Bei den Spiegeln M2 bis M8 für streifenden Einfall kann eine Beschichtung mit beispielsweise einer Lage aus Molybdän oder Ruthenium zum Ein- satz kommen. Die hoch reflektierenden Schichten insbesondere der Spiegel Ml, M9 und MIO für normalen Einfall können als Mehrlagen-Schichten ausgeführt sein, wobei aufeinanderfolgende Schichten aus unterschiedlichen Materialien gefertigt sein können. Auch alternierende Materialschichten können zum Einsatz kommen. Eine typische Mehrlagenschicht kann fünfzig Bila- gen aus jeweils einer Schicht Molybdän und einer Schicht Silizium aufweisen.

Informationen zur Reflexion an einem GI-Spiegel (Spiegel für streifenden Einfall) finden sich in der WO 2012/126867 A. Weitere Informationen zur Reflektivität von NI-Spiegeln (Normal In- cidence Spiegeln) finden sich in der DE 101 55 711 A.

Eine Gesamt-Reflektivität beziehungsweise Systemtransmission der Projektionsoptik 7, die sich als Produkt der Reflektivitäten aller Spiegel Ml bis MIO der Projektionsoptik 7 ergibt, beträgt R = 8,54 %. Der Spiegel MIO, also der im Abbildungsstrahlengang letzte Spiegel vor dem Bildfeld 8, hat eine Durchtrittsöffnung 17 zum Durchtritt des Abbildungslichts 3, das vom drittletzten Spiegel M8 hin zum vorletzten Spiegel M9 reflektiert wird. Der Spiegel MIO wird um die Durchtritts- öffnung 17 herum reflektiv genutzt. Alle anderen Spiegel Ml bis M9 haben keine Durchtrittsöff- nung und werden in einem lückenlos zusammenhängenden Bereich reflektiv genutzt.

Wie oben schon angesprochen, ist das Objektfeld 4 relativ zum Bildfeld 8 verkippt angeordnet. Diese Verkippung lässt sich beschreiben durch eine Verkippung der Objektebene 5 relativ zur Bildebene 8. Die Objektebene 5 wird dabei aufgespannt von den Objektfeldkoordinaten x', y'. Fig. 3 zeigt die Verkippung der Objektebene 5 um die y- Achse. Ein entsprechender Kippwinkel ciy beträgt gerundet 11,2°. Entsprechend sind die Koordinatenachsen x', z' in der Ansicht nach Fig. 3 gegenüber den Koordinatenachsen x und z verkippt. Die y'-Achse verläuft nicht senkrecht zur Zeichenebene der Fig. 3, was durch die nachfolgende Beschreibung noch deutlich wird. Um die x- Achse ist die Objektebene 5 relativ zur Bildebene 9 nicht verkippt. Es gilt also a _x = 0°. Aufgrund der Verkippung der Objektebene 5 um den Winkel a _y ergibt sich eine entsprechend um 11,2° verkippte Anordnung der Beleuchtungsoptik 6 und der Lichtquelle 2 relativ zur Bildebene 9, was in der Fig. 4 schematisch dargestellt ist. Fig. 5 verdeutlicht zudem, dass das Objektfeld 4 relativ zum Bildfeld 5 auch um die z- Achse verkippt ist, nämlich um einen Kippwinkel a _z = 1,6°. Entsprechend ergibt sich eine Verkippung der Koordinatenachsen x', y' in der Fig. 5 relativ zu den Windkoordinatenachsen x und y. Entsprechend steht auch die Koordinatenachse z' nicht senkrecht auf der Zeichenebene der Fig. 5. Die Objektverlagerungsrichtung y' ist zur Substratverlagerungsrichtung y entsprechend dem Kippwinkel a _z etwa um 1 ,6° um die z- Achse verkippt.

Wie insbesondere der Fig. 3 zu entnehmen ist, wird eine Verkippung der Hauptstrahlen 16 zur yz- Achse, die zunächst so groß ist wie die Verkippung des Objektfeldes 4, bei der Reflexion an den Spiegeln Ml bis M8 graduell zurückgeführt, so dass ab der Reflexion am Spiegel M8 die Hauptstrahlen 16 im Wesentlichen parallel zur yz-Ebene verlaufen.

Die Spiegel Ml bis MIO sind als nicht durch eine rotationssymmetrische Funktion beschreibbare Freiformflächen ausgeführt. Es sind auch andere Ausführungen der Projektionsoptik 7 möglich, bei denen mindestens einer der Spiegel Ml bis MIO als rotationssymmetrische Asphäre ausgeführt ist. Auch alle Spiegel Ml bis MIO können als derartige Asphären ausgeführt sein.

Eine Freiformfiäche kann durch folgende Freiformfiächengleichung (Gleichung 1) beschrieben werden:

\ + ^\ - (\ + k _x )(c _x x) ² - (\ + k _y )(c _y yf

+ C x + C ₂ y

+ C ₃ x ² + C ₄ xy + C ₅ y ²

+ C ₆ x ³ + ... + C ₉ y ³

+ C ₁₀ x ⁴ + ... + C ₁₂ x ² y ² + - + C ₁₄ y ⁴

+ C ₁₅ x ⁵ + ... + C ₂₀ y ⁵

+ C ₂₁ x ⁶ + ... + C ₂₄ x ³ y ³ + ... + C ₂₇ y ⁶

+ ...

(1)

Für die Parameter dieser Gleichung (1) gilt: Z ist die Pfeilhöhe der Freiformfiäche am Punkt x, y, wobei x ² + y ² = r ² . r ist hierbei der Abstand zur Referenzachse der Freiformfiächengleichung

(x = 0; y = 0).

In der Freiformfiächengleichung (1) bezeichnen Ci, C ₂ , C3... die Koeffizienten der Freiformfiä- chen-Reihenentwicklung in den Potenzen von x und y.

Im Falle einer konischen Grundfläche ist c _x , c _y eine Konstante, die der Scheitelpunktkrümmung einer entsprechenden Asphäre entspricht. Es gilt also c _x = 1/R _X und c _y = 1/R _y . k _x und k _y entsprechen jeweils einer konischen Konstante einer entsprechenden Asphäre. Die Gleichung (1) be- schreibt also eine bikonische Freiformfiäche.

Eine alternativ mögliche Freiformfiäche kann aus einer rotationssymmetrischen Referenzfiäche erzeugt werden. Derartige Freiformflächen für Reflexionsfiächen der Spiegel von Projektionsoptiken von Projektionsbelichtungsanlagen für die Mikrolithographie sind bekannt aus der US 2007 0 058 269 AI .

Alternativ können Freiformflächen auch mit Hilfe zweidimensionaler Spline-Oberflächen beschrieben werden. Beispiele hierfür sind Bezier-Kurven oder nicht-uniforme rationale Basis- Splines (non-uniform rational basis splines, NURBS). Zweidimensionale Spline-Oberflächen können beispielsweise durch ein Netz von Punkten in einer xy-Ebene und zugehörige z- Werte oder durch diese Punkte und ihnen zugehörige Steigungen beschrieben werden. Abhängig vom jeweiligen Typ der Spline-Oberfläche wird die vollständige Oberfläche durch Interpolation zwi- sehen den Netzpunkten unter Verwendung zum Beispiel von Polynomen oder Funktionen, die bestimmte Eigenschaften hinsichtlich ihrer Kontinuität und Differenzierbarkeit haben, gewonnen. Beispiele hierfür sind analytische Funktionen.

Die optischen Designdaten der Reflexionsflächen der Spiegel Ml bis MIO der Projektionsoptik 7 können den nachfolgenden Tabellen entnommen werden. Diese optischen Designdaten gehen jeweils von der Bildebene 9 aus, beschreiben die jeweilige Projektionsoptik also in umgekehrter Laufrichtung des Abbildungslichts 3 zwischen der Bildebene 9 und der Objektebene 5.

Die erste dieser Tabellen gibt einen Überblick über die Designdaten der Projektionsoptik 7 und fasst zusammen die numerische Apertur NA, die gerechnete Designwellenlänge für das Abbildungslicht, die Verkleinerungsmaßstäbe ß _x , ß _y , die Größen des Bildfeldes in x- und y-Richtung, eine Bildfeldkrümmung sowie einen Blendenort. Diese Krümmung ist definiert als der inverse Krümmungsradius des Feldes. Das Bildfeld 8 hat eine x-Erstreckung von zweimal 13 mm und eine y-Erstreckung von 1,2 mm. Die Projektionsoptik 7 ist optimiert für eine Betriebswellenlänge des Beleuchtungslichts 3 von 13,5 nm.

Die zweite dieser Tabellen gibt zu den optischen Oberflächen der optischen Komponenten Scheitelpunktsradien (Radius x = R _x , Radius y = R _y ) und Brechkraftwerte (Power x, Power y) an. Negative Radienwerte bedeuten zum einfallenden Beleuchtungslicht 3 hin konkave Kurven im Schnitt der jeweiligen Oberfläche mit der betrachteten Ebene (xz, yz), die von einer Flächennormalen im Scheitelpunkt mit der jeweiligen Krümmungsrichtung (x, y) aufgespannt wird. Die beiden Radien Radius x, Radius y können explizit verschiedene Vorzeichen haben. Die Scheitelpunkte an jeder optischen Fläche sind definiert als Auftreffpunkte eines Führungsstrahls, der von einer Objektfeldmitte entlang einer Symmetrieebene x=0, also der Zeichenebene der Fig. 2 (Meridionalebene) hin zum Bildfeld 8 geht. Die Brechkräfte Power x (P _x ), Power y (P _y ) an den Scheitelpunkten sind definiert als:

AOI bezeichnet hierbei einen Einfallswinkel des Führungsstrahls zur Oberfiächennormalen.

Die dritte Tabelle gibt für die Spiegel Ml bis MIO in mm die konischen Konstanten k _x und k _y , den Scheitelpunktradius R _x (= Radius x) und die Freiformflächen-Koeffizienten C _n an. Koeffizienten C _n , die nicht tabelliert sind, haben jeweils den Wert 0.

In der vierten Tabelle ist noch der Betrag angegeben, längs dem der jeweilige Spiegel, ausgehend von einer Bezugsfiäche in der y-Richtung dezentriert (DCY), in der z-Richtung verschoben (DCZ) und verkippt (TLA = a _x , TLB = a _y , TLC = a _z ) wurde. Dies entspricht einer Parallelverschiebung und einer Verkippung beim Freiformflächen-Designverfahren. Verschoben wird dabei in y- und in z-Richtung in mm und verkippt um die x- Achse, um die y- Achse, die zunächst um die x-Achse verkippt wurde, und um die z- Achse, die zunächst sowohl um die x- Achse als auch um die y- Achse verkippt wurde. Der Kippwinkel ist dabei in Grad angegeben. Es wird zunächst dezentriert, dann verkippt. Die Bezugsfiäche bei der Dezentrierung ist jeweils die erste Fläche der angegebenen optischen Designdaten. Auch für das Objektfeld 4 ist eine Dezentrierung in y- und in z-Richtung in der Objektebene 5 angegeben. Neben den den einzelnen Spiegeln zugeordneten Flächen sind in der vierten Tabelle auch die Bildebene als erste Fläche, die Objektebene als letzte Fläche sowie eine Blendenfiäche (mit der Blendenbezeichnung„AS") tabelliert.

Eine Blende AS ist in einer Ebene E _A S im Abbildungslichtstrahlengang einerseits zwischen den Spiegeln M8 und M9 sowie andererseits zwischen den Spiegeln M9 und MIO angeordnet (vgl. Fig. 2). Die Projektionsoptik 7 kann weitere Blenden in diesen Abbildungslichtstrahlengängen, in weiteren Abbildungslichtstrahlengängen oder auf mindestens einen der Spiegel, beispielsweise auf dem Spiegel M9 oder MIO, aufweisen. Die fünfte Tabelle gibt die Transmissionsdaten der Spiegel MIO bis Ml an, nämlich deren Re- flektivität für den Einfallswinkel eines zentral auf den jeweiligen Spiegel treffenden Beleuchtungslichtstrahls. Die Gesamttransmission wird als Anteilsfaktor angegeben, der von einer einfallenden Intensität nach Reflexion an allen Spiegeln der Projektionsoptik verbleibt. Die sechste Tabelle gibt eine Berandung der Blende AS als Polygonzug in lokalen Koordinaten xyz an. Diese Blende ist am Ort des Spiegels MIO angeordnet. Die Blende wird noch wie oben beschrieben dezentriert und verkippt. Die Blende AS kann als Aperturblende und/oder als Obskurationsblende ausgeführt sein. Eine Aperturblendenberandung dient zur Definition einer äußeren Begrenzung einer Pupille der Projektionsoptik 7. Eine Obskurationsblende dient zur Defini- tion eines im Inneren der Pupille befindlichen obskurierten Bereichs.

Eine Berandung einer Blendenfiäche der Blende AS (vgl. auch die Tabelle 6 zur Fig. 2) ergibt sich durch Durchstoßpunkte an der Blendenfiäche aller Strahlen des Beleuchtungslichts 3, die bildseitig an ausgewählten Feldpunkten mit einer vollen bildseitigen telezentrischen Apertur in Richtung der Blendenfiäche propagieren. Zur Vorgabe der Berandung der Blendenfiäche der Blende AS werden die Durchstoßpunkte an der Blendenfiäche aller Strahlen des Beleuchtungslichts 3 verwendet, die bildseitig vom Feldmittelpunkt aus mit einer vollen bildseitigen telezentrischen Apertur in Richtung der Blendenfiäche propagieren. Grundsätzlich kann bei der Blendendefinition auch eine andere Auswahl der verwendeten bildseitigen Feldpunkte erfolgen. Die vorstehend genannten Auswahlen„Feldmittelpunkt" und„gesamtes Feld" sind dabei die möglichen Extremsituationen.

Bei der Ausführung der Blende als Aperturblende handelt es sich bei der Berandung um eine innere Berandung. Bei der Ausführung als Obskurationsblende handelt es sich bei der Berandung um eine äußere Berandung. Die Blende AS kann in einer Ebene liegen oder auch dreidimensional ausgeführt sein. Die Ausdehnung der Blende AS kann in Scanrichtung (y, y') kleiner sein als in cross-Scanrichtung (x, x'). Der nicht beleuchtete Obskurationsbereich in der Systempupille kann rund, elliptisch, quadratisch oder rechteckig sein. Diese nicht beleuchtbare Fläche in der Systempupille kann zudem in Bezug auf ein Zentrum der Systempupille in der x-Richtung und/oder in der y-Richtung dezentriert sein.

Ausführungsbeispiel Fig. 2

NA 0.55

Wellenlaenge 13.5 nm beta_x 4.0 beta_y -8.0

Feldgroesse_x 26.0 mm

Feldgroesse_y 1.2 mm

Feldkruemmung -0.012345 1/mm

Blende AS Tabelle 1 zu Fig. 2

Oberfläche Radius_x[mm] Power_x[1/mm] Radius_y[mm] Power_y[1/mm] Betriebsmodus

M10 -690.3995208 0.0028789 -649.9522096 0.0030964 REFL

M9 1 170.7474209 -0.0017083 325.4626781 -0.0061451 REFL

M8 -801.4020584 0.0006268 1 1 1 1 1.5985844 -0.0007166 REFL

M7 -618.8105499 0.0007831 -4398.5775377 0.0018766 REFL

M6 -1 162.9386307 0.0003533 12857.5582648 -0.0007572 REFL

M5 -30918.3054176 0.0000132 -2654.4399377 0.0036871 REFL

M4 2553.0837979 -0.0001614 -2766.9237499 0.0035083 REFL

M3 1739.3418269 -0.0002628 -7560.7264336 0.001 1573 REFL

M2 1608.9518208 -0.0002401 2547.5599200 -0.0040642 REFL

M1 -2021.0765859 0.0009732 -1266.8767698 0.0016053 REFL

Tabelle 2 zu Fig. 2

Koeffizient M10 M9 M8

KY 0.00000000 0.00000000 0.00000000 KX 0.00000000 0.00000000 0.00000000 RX -690.39952080 1 170.74742100 -801.40205840

C3 1.19185012e-06 -6.36430469e-07 -1.21402768e-06 C4 1.60242643e-06 8.43584646e-06 5.79289095e-05 C5 1.49215165e-06 -9.16404666e-06 3.5533201 e-06 C6 -1.82106307e-09 5.04444493e-08 3.6503931 1 e-08 C7 1.26751823e-08 -9.23736409e-07 5.4343625e-07 C8 6.82483848e-10 -5.01997888e-08 1.30819896e-08 C9 1.89876265e-08 1.27681445e-06 3.27417596e-07 C10 -1.081 19527e-1 1 1.19795068e-09 7.52692008e-1 1 C1 1 1.89536319e-12 9.68618488e-1 1 8.59224964e-1 1 Koeffizient M10 M9 M8

C12 -6.93029842e-11 6.58998434e-09 5.72906525e-10

C13 3.69578497e-12 4.1610179e-10 1.120057e-10

C14 -2.53323652e-11 8.84917703e-09 2.01352621e-10

C15 -3.6006904e-15 -1.08351322e-13 8.78400862e-14

C16 -3.25601673e-16 -6.70970915e-12 1.664031e-12

C17 -1.15321891e-15 5.4939096e-13 2.42855513e-13

C18 4.34002029e-14 1.48883811 e-13 1.05158612e-12

C19 1.84641071 e-15 -2.15500291 e-15 2.2486385e-13

C20 3.38998517e-14 4.2614301e-11 4.49008617e-13

C21 -4.76382968e-17 1.19039218e-14 6.5121271e-16

C22 3.14328212e-18 -2.76700197e-15 1.27675015e-16

C23 -2.50096905e-16 5.23624967e-14 1.57308172e-15

C24 1.07599309e-17 6.97052584e-15 2.73866535e-15

C25 -2.63402304e-16 1.55796452e-13 5.8202649e-15

C26 7.40487893e-18 1.00538905e-14 1.96767411 e-15

C27 -7.37970977e-17 2.99367203e-13 8.10633535e-15

C28 -5.48850717e-21 5.45713894e-18 4.70159098e-19

C29 -1.91688851 e-20 -1.73140798e-17 2.48312568e-18

C30 -9.23212479e-21 -1.00596092e-17 5.64431164e-18

C31 7.17000056e-20 -1.51556256e-16 1.7102911e-17

C32 1.52974466e-21 1.34722281 e-17 1.1 1134501e-17

C33 1.41094402e-19 2.93601846e-16 4.95701092e-17

C34 3.18912157e-21 5.09595055e-17 1.78885898e-17

C35 6.05042857e-20 1.38482478e-15 6.31463181e-17

C36 -1.3541149e-22 -1.43977274e-20 3.04956981 e-21

C37 3.47109483e-24 3.55719057e-20 -1.6961378e-21

C38 -7.36423796e-22 8.44856271 e-19 2.76436895e-20

C39 2.35658124e-23 -9.75356919e-20 4.93001084e-20

C40 -1.24935627e-21 2.26377987e-18 2.56686614e-19

C41 3.06124596e-23 -6.89308561 e-20 1.45689764e-19

C42 -8.31376545e-22 6.09160846e-18 5.39993778e-19

C43 1.36026905e-23 4.08136114e-19 1.90131943e-19

C44 -1.86930303e-22 8.92103745e-18 4.95319866e-19

C45 -2.91656051 e-27 -6.5811902e-23 2.27335858e-24

C46 -5.21248243e-26 -1.30477962e-21 8.07237348e-23

C47 -3.53538124e-26 6.97866636e-22 2.20295204e-22

C48 6.17653102e-26 -1.30664007e-21 8.62131119e-22

C49 -2.5847349e-26 9.708005e-22 1.09224013e-21

C50 3.82785429e-25 2.81921606e-21 2.99941881e-21

C51 7.77793569e-27 -2.88472191 e-22 2.31622798e-21

C52 3.91420923e-25 3.88270432e-20 4.8784946e-21

C53 1.24590234e-26 -1.77681361e-21 2.12655656e-21

C54 1.54229664e-25 9.06098801 e-20 3.74297875e-21

C55 -2.60841069e-28 8.95206153e-25 3.18083804e-26

C56 7.70168501 e-30 -9.27590246e-25 -1.74332812e-25

C57 -1.59384744e-27 -5.68900378e-24 -6.42063128e-25

C58 1.21687242e-28 8.94019891 e-24 -6.0561397e-25

C59 -3.76780623e-27 2.86546538e-23 -3.82759081 e-25

C60 2.32292718e-28 4.2250898e-23 2.20166878e-24

C61 -4.07301815e-27 8.20325831 e-23 2.50740033e-24

C62 1.92638574e-28 9.00300438e-23 5.55011564e-24

C63 -1.99366758e-27 1.59718459e-22 2.94277148e-24

C64 5.77503713e-29 3.9760435e-23 7.39286847e-24

C65 -3.38348003e-28 6.974552e-22 1.24798316e-23 Koeffizient M10 M9 M8

C66 -3.99110091 e-32 2.96415202e-27 -9.87239772e-29

C67 -1.00528375e-31 7.66251465e-27 -2.99318433e-27

C68 -3.82563491 e-32 -1.56587783e-26 -3.85160537e-27

C69 3.14956389e-31 -7.3032858e-26 -2.02548477e-26

C70 -4.90817417e-32 -1.7084163e-26 -4.3918617e-26

C71 1.73136134e-30 -6.66841802e-26 -1.08110436e-25

C72 5.82140911e-33 -2.39188985e-26 -1.12389334e-25

C73 2.48974579e-30 1.97099347e-25 -1.91902568e-25

C74 7.8233281 e-32 2.09918147e-25 -1.43868013e-25

C75 1.67063666e-30 2.25162847e-25 -1.52414948e-25

C76 1.00032304e-32 7.54265773e-25 -3.79952756e-26

C77 3.0373583e-31 1.16287146e-24 1.99419993e-26

C78 -1.14025869e-33 1.1 1169596e-29 6.28060771 e-31

C79 -3.10196393e-35 1.63219038e-31 9.02196724e-30

C80 -9.47216581 e-33 4.77262025e-28 5.24813306e-29

C81 -3.38878499e-34 -3.68552338e-28 5.98909197e-29

C82 -2.66327286e-32 1.33497982e-27 1.76557803e-28

C83 -6.50612855e-34 -1.92129708e-27 1.83704608e-28

C84 -3.66570705e-32 1.91735093e-27 3.51963618e-28

C85 -6.32221652e-34 -5.47974223e-27 -7.07572458e-29

C86 -2.76498563e-32 6.14214529e-27 5.40974861 e-28

C87 -2.14418373e-34 -1.00671738e-26 2.74360712e-28

C88 -1.1 1295519e-32 1.93467018e-26 1.68587237e-27

C89 1.58711135e-35 4.75953925e-28 2.3108794e-28

C90 -2.08329013e-33 4.32850683e-27 9.46914468e-28

C91 -8.03456578e-38 -4.67198214e-32 2.21442446e-33

C92 -2.53008162e-37 -1.73811144e-31 5.08071206e-32

C93 -3.9551241e-37 2.78381979e-31 5.27731708e-32

C94 -1.8189108e-36 -3.25097098e-31 4.75207895e-31

C95 -7.55254639e-37 6.17996722e-31 1.16945337e-30

C96 -5.46345387e-36 -1.75403624e-30 3.54748617e-30

C97 -1.79017313e-37 1.17034494e-30 5.51811656e-30

C98 -6.02544435e-36 1.0888472e-29 1.24937553e-29

C99 2.70496607e-37 1.53863212e-29 1.13363121e-29

C100 -2.6057697e-36 8.97447498e-29 2.08445449e-29

C101 -1.75343487e-37 -5.14625973e-30 1.83331111e-29

C102 -9.32799489e-37 2.58949381 e-28 2.67612949e-29

C103 -5.05820604e-38 -1.83889397e-30 6.28613704e-30

C104 1.08934883e-37 2.64224456e-28 9.71071946e-30

C105 1.82355866e-39 -1.12871588e-34 -2.64304573e-35

C106 3.41491935e-40 1.80826133e-34 -1.08422685e-34

C107 2.04710087e-38 -4.91553258e-33 -7.79369766e-34

C108 2.87976945e-39 5.66556191 e-33 -5.96199667e-34

C109 6.80134016e-38 -2.21474201e-32 -2.42936399e-33

C110 7.06060191 e-39 4.58243696e-32 -4.9919106e-33

C111 1.1 1159167e-37 -4.23577104e-32 -2.9341334e-33

C112 9.84046451 e-39 1.67508789e-31 1.70220316e-32

C113 1.04594224e-37 1.63023652e-31 4.65161867e-32

C114 7.59130827e-39 5.08158254e-31 5.657647e-32

C115 6.07620863e-38 6.58664051 e-31 7.85404042e-32

C116 1.55016945e-39 5.37643783e-31 8.05073029e-32

C117 2.10873242e-38 1.312858e-30 8.5806992e-32

C118 -2.30543792e-40 1.42854883e-31 2.23496912e-32

C119 4.55254845e-39 1.56542882e-30 2.7877703e-32 Koeffizient M10 M9 M8

C120 7.4450913e-44 0 0

C121 -1.23272229e-42 0 0

C122 -7.33123624e-43 0 0

C123 8.21457298e-43 0 0

C124 -2.03513054e-42 0 0

C125 2.82928799e-41 0 0

C126 -3.75655895e-42 0 0

C127 8.26132392e-41 0 0

C128 -4.28786204e-42 0 0

C129 1.07809925e-40 0 0

C130 -8.85944867e-43 0 0

C131 7.61814535e-41 0 0

C132 9.50467173e-43 0 0

C133 2.93174888e-41 0 0

C134 2.8449666e-43 0 0

C135 4.65661 1 13e-42 0 0

C136 -1.34648405e-44 0 0

C137 -5.90633646e-46 0 0

C138 -1.40862651 e-43 0 0

C139 -3.96008595e-45 0 0

C140 -5.65427464e-43 0 0

C141 -6.1996763e-45 0 0

C142 -1.22498073e-42 0 0

C143 -2.84472806e-45 0 0

C144 -1.60200893e-42 0 0

C145 2.14128235e-45 0 0

C146 -1.31909614e-42 0 0

C147 5.70945295e-45 0 0

C148 -6.7387857e-43 0 0

C149 8.55182688e-45 0 0

C150 -1.98824025e-43 0 0

C151 2.61049221 e-45 0 0

C152 -2.7702792e-44 0 0

Tabelle 3a zu Fig. 2

Koeffizient M7 M6 M5

KY 0.00000000 0.00000000 0.00000000 KX 0.00000000 0.00000000 0.00000000 RX -618.81054990 -1 162.93863100 -30918.30542000

C3 1.67823591 e-06 1.37147133e-06 2.72648921 e-06

C4 -2.63747093e-05 2.3228129e-05 -2.01478848e-05

C5 -1.00777238e-06 -4.16393837e-06 -1.40774735e-07

C6 -4.39854419e-09 -4.94956315e-08 1.30737769e-08

C7 5.91976294e-08 -2.35216428e-07 1.08544165e-07

C8 -2.77061693e-08 3.58559138e-09 4.91030381 e-09

C9 -8.59396091 e-10 -7.12639766e-08 -2.8210309e-08

C10 2.38478344e-1 1 -5.31306016e-1 1 -5.96777804e-10

C1 1 -1.00230571 e-1 1 -3.18838579e-1 1 -1.10890076e-10

C12 3.17893778e-10 1.1 1938223e-10 -8.7029498e-1 1

C13 -1.15991881 e-1 1 1.30664435e-10 -1.1947875e-1 1

C14 -8.18066098e-10 3.18535643e-10 -6.76146972e-1 1

C15 -3.78175747e-14 -4.70271 175e-14 3.16697728e-14 zient M7 M6 M5

C16 4.68465899e-14 -5.71 140655e-13 -6.9298458e-13

C17 1.15289073e-13 -5.8591589e-13 -1.26296968e-13

C18 8.60774814e-13 -1.69394549e-12 1.28742457e-13

C19 -5.945051 1 1 e-13 -8.44078942e-13 2.60467548e-14

C20 -1.23185051 e-12 -1.9816293e-12 3.64046466e-14

C21 2.89667175e-16 3.14624882e-16 2.0086062e-16

C22 -1.7029761 e-16 9.82846903e-16 1.041 13201 e-16

C23 -2.07829069e-15 4.36372143e-15 -8.0367267e-16

C24 9.81007606e-16 4.56043876e-15 -5.75502982e-17

C25 6.59797306e-15 1.20627962e-14 -1.341 15763e-18

C26 -2.51556204e-15 3.62594101 e-15 2.24897596e-17

C27 -2.04993036e-14 8.31408974e-15 6.02191003e-17

C28 -3.23237257e-19 -7.21 179377e-19 5.06093805e-19

C29 1.25683314e-18 -7.06986663e-18 1.19353707e-18

C30 -9.63896651 e-19 -1.1 1489589e-17 7.55732795e-20

C31 -5.7256961 1 e-18 -3.473841 15e-17 -4.83397532e-19

C32 1.1 1438352e-17 -1.48866784e-17 -1.36730642e-19

C33 5.41668226e-17 -4.81344934e-17 6.39368518e-19

C34 -2.95166878e-17 -2.65923812e-17 1.30429169e-19

C35 -6.86441 143e-17 -4.83463413e-17 1.97819018e-19

C36 7.641 1 195e-22 3.521 13781 e-21 4.89498581 e-21

C37 1.30441218e-22 1.34193459e-20 1.55574543e-21

C38 2.40465148e-20 5.81936989e-20 2.35851912e-21

C39 -1.61582941 e-20 2.78976218e-20 3.3920671 e-22

C40 -4.83445329e-20 1.56937409e-19 7.2291 18e-22

C41 1.20918242e-19 2.24935764e-19 1.5981466e-22

C42 4.76483397e-19 4.97638856e-19 -5.95878947e-23

C43 -1.51705736e-19 2.73952517e-19 2.456691 17e-22

C44 8.94647698e-19 4.28655194e-19 5.1007752e-22

C45 -1.41639806e-25 -7.24627221 e-24 1.50436079e-23

C46 8.16537878e-24 -3.12523555e-23 2.76447318e-23

C47 1.37077755e-23 7.76965772e-23 5.33064929e-24

C48 6.82438735e-23 -7.62907109e-23 9.74586224e-25

C49 -1.69135639e-22 -8.39495388e-22 -1.38265871 e-23

C50 -2.85443794e-22 -2.60954713e-21 -1.99876917e-23

C51 9.59695732e-22 -3.41680975e-21 -1.14678794e-23

C52 2.57236396e-21 -6.87576606e-21 -1.56650948e-23

C53 2.74829466e-22 -4.49046423e-21 -5.2558894e-24

C54 4.04367159e-21 -5.89871774e-21 -9.00389675e-24

C55 -2.09585702e-27 -1.32431032e-26 -6.37937893e-27

C56 -2.53957474e-26 -4.13886903e-25 5.36152942e-26

C57 -4.53227246e-25 -1.36830871 e-24 1.38661 176e-25

C58 2.01061774e-25 -1.01833276e-24 7.64024985e-26

C59 -2.07147844e-24 6.69772063e-25 8.5081838e-26

C60 -3.8635675e-24 9.72195767e-24 7.02408462e-26

C61 -1.12629454e-23 3.17365649e-23 8.29848264e-26

C62 1.1458899e-23 5.26929914e-23 3.15390869e-26

C63 1.07999394e-24 8.64850827e-23 3.87291728e-26

C64 -3.00585307e-23 4.969503e-23 8.48443326e-27

C65 -6.65355796e-22 5.80999705e-23 1.5592852e-26

C66 -3.8415254e-29 4.32881858e-28 -3.16912379e-28

C67 4.09253446e-29 2.84867345e-27 -1.39913782e-28

C68 1.37881 172e-28 5.12595447e-27 -6.76767665e-29

C69 -3.83172329e-27 1.69535407e-26 2.6321891 1 e-28 Koeffizient M7 M6 M5

C70 3.71042981 e-27 1.59577713e-26 3.65460569e-28 C71 -2.47927176e-26 1.25964993e-28 5.54212033e-28 C72 -3.72472103e-26 -1.25759275e-25 4.79406281 e-28 C73 -1.97093414e-25 -3.17647736e-25 5.96752899e-28 C74 1.20547306e-25 -4.7401953e-25 3.07533324e-28 C75 4.42680535e-25 -6.71285361 e-25 3.59256e-28 C76 -8.9696776e-25 -3.35705485e-25 7.10451 168e-29 C77 -7.40987776e-24 -3.52066127e-25 7.46724582e-29 C78 -2.57996162e-31 -1.68765032e-30 -5.75302451 e-31 C79 2.07083098e-31 -2.82810428e-30 -2.05345108e-30 C80 1.8751536e-30 -2.10627245e-29 -2.45553995e-30 C81 -1.16376961 e-30 -3.43897063e-29 -1.29471256e-30 C82 3.1396786e-29 -1.1 1042213e-28 5.00666432e-31 C83 7.46575433e-29 -2.76660508e-29 -6.70742263e-31 C84 7.77582806e-29 9.9333152e-29 -1.42326398e-30 C85 5.4749634e-29 7.98844128e-28 -1.26153605e-30 C86 -1.20828406e-27 1.86816731 e-27 -2.1721223e-30 C87 -6.1898845e-28 2.56500351 e-27 -7.7086257e-31 C88 1.24103706e-26 3.09232367e-27 -6.97182885e-31 C89 -1.58601087e-27 1.27392768e-27 -8.326251 18e-32 C90 6.1278258e-26 1.22346399e-27 -7.30134423e-32 C91 3.2549509e-34 -1.34142746e-33 2.931 14947e-33 C92 -7.26890145e-34 3.70587706e-34 1.09530919e-34 C93 -2.1666726e-33 1.10902581 e-32 8.66212517e-34 C94 8.55812527e-32 6.42200148e-32 -4.23553084e-33 C95 -5.89990344e-32 -5.3295828e-32 -6.34940478e-33 C96 7.36287923e-31 2.60323263e-31 -1.09441033e-32 C97 1.23912773e-30 3.49012834e-31 -1.24314246e-32 C98 3.44982666e-30 -4.3821 1828e-31 -1.58478366e-32 C99 1.95455203e-30 -3.26566681 e-30 -1.13204345e-32 C100 -1.71641648e-30 -6.24794497e-30 -1.31219894e-32 C101 -2.12274398e-29 -7.17062697e-30 -5.80751271 e-33 C102 1.0557434e-28 -7.45035273e-30 -6.27069756e-33 C103 9.55053091 e-29 -2.49229003e-30 -1.33713904e-33 C104 1.34697579e-27 -2.24335512e-30 -1.41046639e-33 C105 4.2886062e-36 8.67983491 e-36 6.394621 e-36 C106 3.031 16713e-36 -5.61484269e-36 2.51021425e-35 C107 4.75658971 e-35 -7.20541669e-36 2.45268048e-35 C108 -2.59669824e-35 1.25748208e-34 1.2593806e-35 C109 5.86190602e-34 9.45625943e-35 -7.30305863e-36 C1 10 -4.30832212e-34 -3.51 148002e-35 6.63692294e-36 C1 1 1 2.79962836e-33 -7.2830837e-34 1.57420365e-35 C1 12 9.07714686e-33 -8.52970003e-34 2.22461491 e-35 C1 13 2.14446648e-32 1.32477473e-33 5.28280961 e-35 C1 14 -1.01930679e-32 6.02885502e-33 3.44308885e-35 C1 15 -2.19127821 e-32 8.51921462e-33 4.48550818e-35 C1 16 -7.60720082e-32 7.42829829e-33 1.77545771 e-35 C1 17 3.37470894e-31 7.02720921 e-33 1.73592974e-35 C1 18 5.76893495e-31 2.09289617e-33 3.36000938e-36 C1 19 5.70337398e-30 1.7516268e-33 3.27283095e-36 Tabelle 3b zu Fig. 2

Koeffizient M4 M3 M2 Koeffizient M4 M3 M2

KY 0.00000000 0.00000000 0.00000000 KX 0.00000000 0.00000000 0.00000000 RX 2553.08379800 1739.34182700 1608.95182100

C3 -5.94133386e-06 -8.0004841 e-06 -3.49877984e-06 C4 -1.98697452e-05 -3.79940388e-06 8.17009169e-07 C5 -4.64555908e-06 4.52857872e-06 -6.59364247e-07 C6 2.00455679e-08 -4.13088687e-08 -2.1 1637186e-08 C7 2.75535752e-07 -2.1 1238566e-08 -4.25077005e-07 C8 2.96011386e-08 1.03107793e-09 -4.65353781 e-08 C9 7.68241499e-08 -7.13335145e-08 -4.61472563e-07 C10 -1.88885167e-10 5.35875482e-10 1.61603335e-10 C11 -2.32932119e-11 9.13744903e-11 2.42496257e-11 C12 2.66143249e-10 3.04320315e-10 3.0820723e-10 C13 2.52215136e-11 5.4641307e-12 2.64120912e-10 C14 9.70949187e-11 -7.58129396e-11 1.1223243e-09 C15 8.86403907e-14 -1.82861306e-13 -8.30517192e-14 C16 2.27817746e-13 -1.65802766e-12 -9.12805819e-13 C17 -1.40660441 e-13 -4.20785142e-14 8.18378977e-14 C18 -3.34086656e-13 7.63536058e-13 4.83344497e-13 C19 -8.3986573e-14 -4.68656442e-14 -1.10001778e-12 C20 -2.53549936e-13 -6.39083557e-13 -2.74790876e-12 C21 3.89247229e-16 -7.19589194e-16 -2.38976856e-16 C22 -1.71976098e-16 5.46583401 e-16 6.41387874e-16 C23 -1.19182675e-16 2.60096096e-15 1.69698091 e-15 C24 -1.31859428e-16 8.31564653e-16 -4.04153146e-16 C25 -1.52241373e-15 3.05909162e-15 -5.98190475e-15 C26 -2.54924735e-16 2.413437e-16 4.06461516e-15 C27 -7.19898899e-16 2.13197874e-16 5.79485289e-15 C28 -4.45008384e-19 4.24772553e-19 2.35191459e-19 C29 -1.52203424e-18 4.59100392e-18 2.57058553e-18 C30 -8.61144589e-19 -9.33405423e-19 -3.56433062e-18 C31 -2.54325592e-18 -1.34639438e-17 -4.42935989e-18 C32 3.97776194e-19 1.81940074e-18 1.96897572e-18 C33 1.57773546e-18 1.45972214e-17 3.6107978e-17 C34 -7.8494364e-21 -6.23516598e-19 -1.34178502e-17 C35 4.97446571 e-19 -2.19243014e-18 -3.87443387e-18 C36 -1.04352029e-21 2.93995471 e-21 2.58170125e-22 C37 -4.61420662e-21 -1.09476907e-21 -1.82995728e-21 C38 1.20312173e-20 -6.19121942e-21 -1.18704853e-20 C39 -7.94023961 e-21 7.10791004e-21 2.10644966e-20 C40 -2.41505468e-20 2.53065303e-20 1.18772627e-20 C41 -3.46849709e-21 1.88778341e-20 -7.39783582e-21 C42 -2.57069988e-21 5.47714842e-20 -1.90426151e-19 C43 1.37171534e-21 1.73059726e-21 3.56517158e-20 C44 -8.78815521 e-21 -2.58248281 e-21 -7.04090027e-20 C45 8.23883337e-23 -2.82412125e-23 -3.98178468e-25 C46 -4.52595593e-23 -1.28102848e-22 -3.83239385e-23 C47 4.29873361 e-23 -5.1 1206198e-23 2.33207213e-23 C48 -5.62454805e-23 -7.47657267e-23 3.88362984e-23 C49 2.9468054e-23 -1.20897115e-22 -8.52740123e-23 C50 -1.42325817e-22 -4.07756724e-22 3.85904444e-23 C51 1.22821485e-22 -4.02201129e-23 7.89559439e-23 C52 2.1 1434434e-24 9.64241916e-23 1.14099049e-21 C53 2.09258906e-23 -1.24186108e-22 -2.5541288e-25 Koeffizient M4 M3 M2

C54 -5.648749e-23 -1.25852015e-22 6.14996565e-22 C55 2.22395641 e-25 4.12984339e-26 8.35242818e-27 C56 1.98531538e-25 1.37953203e-25 2.1 1023921e-26 C57 -1.00770424e-24 2.85546151 e-25 3.03033011 e-25 C58 2.89027796e-25 2.29750448e-27 -2.71794534e-25 C59 3.93135461 e-25 -5.44516814e-25 -1.89914531e-25 C60 1.44076967e-25 1.0120771e-25 -1.43738427e-25 C61 1.74200277e-25 9.30496115e-25 -8.43379113e-25 C62 6.88492409e-25 1.31475956e-24 -1.15373474e-24 C63 7.64205212e-25 3.89984092e-24 -7.14320531e-24 C64 -3.30115759e-25 1.20226642e-24 -1.0287801 e-24 C65 3.84862254e-25 3.9254997e-24 -3.35261069e-24 C66 -1.79739738e-27 9.67155809e-28 -6.28360025e-29 C67 2.31060603e-27 2.91686992e-27 4.7403893e-28 C68 -2.07885769e-27 1.6934096e-27 -1.7031322e-28 C69 3.0994185e-27 4.2774229e-27 -7.31548284e-28 C70 4.35145687e-29 6.10537658e-27 1.79600118e-27 C71 1.0182288e-26 1.60986634e-26 5.23129134e-28 C72 -4.83237886e-27 8.21153695e-27 2.23873756e-27 C73 1.01667964e-27 9.61420915e-27 1.95327536e-27 C74 -7.66847944e-27 7.44138976e-27 8.61495143e-27 C75 1.17837646e-27 1.38683305e-26 3.54552303e-26 C76 -1.01357884e-27 2.74169513e-27 8.07338364e-27 C77 6.57662057e-29 -3.35451968e-27 1.33984018e-26 C78 -2.70953664e-30 -1.49086348e-30 -1.37069144e-31 C79 -7.35505645e-30 -5.45993227e-30 -8.27649575e-32 C80 3.14075716e-29 -8.67085617e-30 -4.74288297e-30 C81 -1.21961823e-29 -7.72930582e-30 1.92250242e-30 C82 7.39409086e-30 -7.09867667e-30 5.41774089e-31 C83 2.57575874e-30 -2.67769195e-29 1.24356672e-30 C84 1.60917987e-29 -6.2790173e-29 1.37157988e-29 C85 -3.26047023e-29 -4.69002001 e-29 1.42290159e-30 C86 -1.19881374e-29 -8.30929864e-29 2.07499035e-29 C87 -3.37882346e-29 -8.31034748e-29 -3.33277642e-29 C88 -3.37517826e-29 -1.47040264e-28 -1.17475371e-28 C89 1.51823613e-29 -7.18116468e-29 -3.18543948e-29 C90 -1.39294283e-29 -1.64733722e-28 -3.68828333e-29 C91 2.13189961e-32 -1.20544102e-32 8.1 1284389e-34 C92 -2.5533729e-32 -2.87111665e-32 -3.47194314e-33 C93 3.49009758e-32 -2.02528371 e-32 -5.53914195e-34 C94 -3.83817061 e-32 -6.01768354e-32 6.99812301e-33 C95 -2.05988163e-32 -1.12742255e-31 -2.30639122e-32 C96 -1.98325522e-31 -3.65264674e-31 -1.54792977e-32 C97 -1.28899789e-32 -2.98273705e-31 -5.21507842e-32 C98 -2.15746998e-31 -5.30915325e-31 -1.03422166e-31 C99 1.22001428e-31 -3.47102736e-31 -4.9497319e-32 C100 6.16589862e-33 -6.87230321 e-31 -1.19907003e-31 C101 2.08969754e-31 -1.52700823e-31 6.5813907e-32 C102 -5.73785641 e-32 1.01859066e-32 2.26327937e-31 C103 -9.43625481 e-33 -1.77266746e-31 6.54891021 e-32 C104 2.76842003e-32 3.15481835e-32 6.03485023e-32 C105 -7.84037506e-36 1.16438509e-35 1.09807528e-36 C106 1.07707572e-34 8.41694437e-35 -2.18226568e-37 C107 -3.39019243e-34 1.10303835e-34 3.39101152e-35 Koeffizient M4 M3 M2

C108 2.14415133e-34 1.56140705e-34 1.1 1213107e-35

C109 -2.94359677e-34 4.61527192e-34 1.35132661 e-35

C1 10 -1.79488238e-34 9.35953076e-34 7.16013084e-35

C1 1 1 -6.42161738e-34 2.1766773e-33 5.85688436e-35

C1 12 -2.90795823e-34 1.55988386e-33 1.27760492e-34

C1 13 -1.09152261 e-33 2.41281469e-33 1.9844676e-34

C1 14 1.55952133e-33 2.79509361 e-33 1.02298943e-34

C1 15 4.92450988e-34 4.05790771 e-33 1.79715665e-34

C1 16 3.16938663e-34 3.51871344e-33 -5.37149838e-35

C1 17 6.59974928e-34 5.40596421 e-33 -1.91030519e-34

C1 18 -1.56133416e-34 2.4165851 1 e-33 -5.56310384e-35

C1 19 3.63596306e-35 5.329054e-33 -4.3280146e-35 Tabelle 3c zu Fig. 2

Koeffizient M1

KY 0.00000000

KX 0.00000000

RX -2021.07658600

C3 8.44672093e-07

C4 -1.01859593e-06

C5 -2.734761 e-07

C6 3.65355989e-09

C7 -5.78071852e-08

C8 4.47859023e-09

C9 -7.05389791 e-10

C10 -8.02003199e-12

C1 1 8.8200881 1 e-13

C12 3.55679042e-11

C13 5.02054273e-12

C14 9.45255977e-1 1

C15 2.29103145e-15

C16 -1.69220076e-14

C17 2.5469392e-15

C18 -7.25852034e-14

C19 3.38440835e-15

C20 -4.09631657e-14

C21 -2.213528e-18

C22 1.14851765e-18

C23 4.19380694e-17

C24 1.5785541 1 e-17

C25 3.99646938e-16

C26 2.24176954e-17

C27 3.02463584e-16

C28 -2.75512009e-22

C29 6.08231616e-21

C30 9.03369418e-21

C31 -1.251215e-19

C32 -1.8696366e-20

C33 -3.25939155e-19

C34 2.815681 19e-20

C35 3.18400201 e-19

C36 1.16829617e-24 Koeffizient M1

C37 -4.37133736e-25

C38 1.33914897e-23

C39 -1.01038953e-24

C40 9.33421093e-22

C41 2.01227647e-22

C42 2.78059207e-21

C43 1.0359584e-21

C44 -2.03956406e-22

C45 6.26989435e-27

C46 -5.26370929e-26

C47 -6.43722212e-26

C48 -2.91409074e-26

C49 -5.71495781 e-25

C50 -2.23070448e-24

C51 -2.371 191 19e-24

C52 -1.10199644e-23

C53 -4.00214556e-24

C54 -2.043668e-23

C55 -3.30585573e-29

C56 2.9358342e-29

C57 -4.48427197e-28

C58 9.9000954e-28

C59 -3.08084767e-27

C60 4.74807648e-27

C61 3.09739918e-26

C62 -3.77878459e-27

C63 1.23184524e-25

C64 -8.57541351 e-26

C65 1.50147158e-25

C66 -1.39013293e-32

C67 2.6696371 1 e-31

C68 3.95944626e-31

C69 1.64685061 e-31

C70 4.05337219e-30

C71 3.340094e-30

C72 3.36418379e-29

C73 -1.86968641 e-28

C74 2.3425158e-29

C75 5.41441 152e-28

C76 1.82788549e-28

C77 8.12199497e-28

C78 1.98617494e-34

C79 -4.84080459e-34

C80 5.09518043e-33

C81 -1.33744263e-32

C82 7.9181 149e-32

C83 -7.17465753e-32

C84 9.87752477e-32

C85 -1.65138942e-31

C86 -5.78072306e-31

C87 1.62427763e-30

C88 -9.201 14545e-30

C89 4.87328671 e-30

C90 -3.20505093e-30 Koeffizient M1

C91 -2.85977688e-38 C92 -6.33818743e-37 C93 -9.14656768e-37 C94 1.82104792e-36 C95 -4.00394817e-36 C96 -9.12482891 e-35 C97 -2.54463348e-34 C98 8J663208e-34 C99 -8.02857569e-35 C100 3.14068339e-33 C101 -4.9774971 1 e-35 C102 -1.26564603e-32 C103 -8.36349857e-33 C104 -5.72885903e-32 C105 -4.89288814e-40 C106 2.42162392e-39 C107 -1.54237664e-38 C108 6.04628516e-38 C109 -4.23147022e-37 C1 10 3.9324144e-37 cm -1.64524162e-36

C1 12 2.71039456e-36 C1 13 -3.84826327e-36 C1 14 -5.81496874e-36 C1 15 2.94718008e-35 C1 16 -5.23651892e-35 C1 17 2.39814136e-34 C1 18 -6.28879203e-35 C1 19 2.69372278e-34

Tabelle 3d zu Fig. 2

Oberfläche DCX DCY DCZ

Bildebene 0.00000000 0.00000000 0.00000000 M10 0.00000000 0.00000000 615.07200277 AS -1.88106349 88.08279545 226.45433036 M9 -2.53954233 1 18.91676690 90.4161 1592 M8 2.05051222 -92.71 125975 1022.07942370 M7 4.07981775 -20.63084354 1268.65567500 M6 5.36918762 129.27894921 1422.05801814 M5 1.40088023 554.43775520 1593.54197487 M4 -23.965971 19 1208.30702550 1575.72399094 M3 -54.48009298 1556.10095182 141 1 .533951 10 M2 -92.64025224 1754.50229362 1 160.00444756 M1 -197.86374435 1965.72534269 414.93715418

Objektebene 1 17.98173801 2109.73894356 2031 .1 1463378 Tabelle 4a zu Fig. 2

Oberfläche TLA[deg] TLB[deg] TLC[deg]

Bildebene -0.00000000 0.00000000 -0.00000000

M10 6.38531373 0.13608004 0.02096428

AS -5.46090418 179.83412382 -0.05587193

M9 192.78415985 -0.27286912 -0.25126050 Oberfläche TLA[deg] TLB[deg] TLC[deg]

M8 88.24915808 -0.35300003 1.12681098 M7 59.68388170 0.22320206 -2.03308541 M6 33.81032787 2.04590740 0.55892508 M5 10.10444129 4.22297322 -2.05608264 M4 -13.74185956 5.61794818 2.44424337 M3 -38.97895844 4.917841 17 5.68319976 M2 -63.25686521 2.42624944 8.28103541 M1 185.41784590 -9.53194045 -1.15388971

Objektebene -0.00000000 1 1.19999742 1.62551841 Tabelle 4b zu Fig. 2

Oberfläche AOI[deg] Reflektivität

M10 6.38675758 0.66140099 M9 0.01367263 0.66565924 M8 75.45374315 0.81 151412 M7 75.97758336 0.82007175 M6 78.14592936 0.85291764 M5 78.20863292 0.85381241 M4 78.10992181 0.85240255 M3 76.78698748 0.83279259 M2 78.86240246 0.86298072 M1 10.44644430 0.65360750

Gesarnttransmission 0.0854

Tabelle 5 zu Fig. 2

X[mm] Y[mm] Z[mm]

-0.90264063 155.46884126 0.00000000 -29.64362924 153.58203184 0.00000000 -57.78882038 147.72915593 0.00000000 -84.77531608 138.02410761 0.00000000 -1 10.03162693 124.66398945 0.00000000 -132.97619352 107.92626647 0.00000000 -153.02221295 88.16534221 0.00000000 -169.59302299 65.80881668 0.00000000 -182.15087687 41.35324754 0.00000000 -190.23732829 15.35802646 0.00000000 -193.51781883 -1 1.56422313 0.00000000 -191.81924247 -38.76100094 0.00000000 -185.14950177 -65.55591755 0.00000000 -173.69369297 -91.26564673 0.00000000 -157.79057052 -1 15.21689707 0.00000000 -137.89972553 -136.76393593 0.00000000 -1 14.57028055 -155.30780921 0.00000000 -88.41698357 -170.31754172 0.00000000 -60.10375888 -181.35214895 0.00000000 -30.33142668 -188.08124738 0.00000000 0.17392270 -190.30182495 0.00000000 30.67372223 -187.94910496 0.00000000 60.43066489 -181.10008850 0.00000000 88.72189391 -169.96921650 0.00000000 1 14.85031 131 -154.89658631 0.00000000 138.15432304 -136.33018458 0.00000000 X[mm] Y[mm] Z[mm]

158.01866361 -1 14.80448956 0.00000000

173.89037466 -90.91815120 0.00000000

185.30314208 -65.31294490 0.00000000

191.90951865 -38.65491595 0.00000000

193.51501883 -1 1.61715089 0.00000000

190.10355010 15.13699881 0.00000000

181.84382390 40.97042974 0.00000000

169.07241346 65.28721916 0.00000000

152.25760506 87.54436561 0.00000000

131.95414870 107.25954561 0.00000000

108.76017546 124.01517789 0.00000000

83.28454003 137.46033745 0.00000000

56.12776281 147.31254557 0.00000000

27.87505889 153.36061001 0.00000000

Tabelle 6 zu Fig. 2: Blenden-Polygon auf Fläche AS

Die Projektionsoptik 7 hat eine bildseitige numerische Apertur von 0,55. In einer Abbildungslicht-Ebene parallel zur xz-Ebene (Sagittalansicht nach Fig. 5) hat die Projektionsoptik 8 einen Verkleinerungsfaktor ß _x von 4,00. In der hierzu senkrechten yz-Ebene (Meridionalebene nach Fig. 2) hat die Projektionsoptik 7 einen Verkleinerungsfaktor ß _y von 8,00. Ein objektseitiger Hauptstrahlwinkel beträgt 5,5°. Dieser Winkel bezeichnet den Winkel eines Hauptstrahls eines zentralen Objektfeldpunktes zu einer Normalen auf die Objektebene 5. Die Spiegel Ml, M5, M7 und MIO haben negative Radiuswerte, sind also grundsätzlich Konkavspiegel. Die Spiegel M2 und M9 haben positive Radiuswerte, sind grundsätzlich also Konvexspiegel.

Die Spiegel M3, M4, M6 und M8 haben unterschiedliche Vorzeichen hinsichtlich ihrer x- und y- Radiuswerte, haben also eine Sattelflächen-Grundform.

Die Blende AS dient zur Vorgabe eines Abschnitts einer äußeren Randkontur der Pupille der Projektionsoptik 7. Diese Randkontur der Pupille liegt in der Blendenebene EAS. Der durch die Blende AS vorgesehene Randkonturabschnitt überdeckt dabei einen Azimutwinkel um einen Durchstoßpunkt Z der Koordinatenachse z durch die Blendenebene EAS, der bei einem Pupillenzentrum liegt. In diesem Azimut- Winkelbereich begrenzt die Blende AS ein Abbildungslicht- Teilbündel 3M9MIO im Strahlengang zwischen den Spiegeln M9 und MIO. Im sonstigen Azimut- Winkelbereich hat die Blende AS keine Blendenwirkung für das Abbildungslicht 3, begrenzt also insbesondere nicht ein Abbildungslicht-Teilbündel 3MIOW zwischen dem Spiegel MIO und dem Bildfeld 8, also dem Wafer 11. In diesem verbleibenden Azimut- Winkelbereich wird die Systempupille begrenzt durch andere Blenden.

Der Blenden- Azimutbereich, in dem die Blende AS das Abbildungslicht-Teilbündel 3M9MIO be- grenzt, entspricht einem Azimutbereich um ein Zentrum der Pupille, der größer ist als 180°.

Die Blende AS ist plan, also in genau einer Ebene liegend ausgeführt.

Die Blende AS begrenzt in der der x-Richtung senkrecht zur Substratverlagerungsrichtung y beide extremen Randpositionen der äußeren Randkontur der Pupille.

Anhand der Fig. 6 bis 8 wird nachfolgend eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik 20 erläutert, die anstelle der Projektionsoptik 7 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 nach Fig. 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die vorstehend im Zusammenhang mit den Fig. 1 bis 5 bereits erläutert wurden, tragen gegebenenfalls die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.

Die Spiegel Ml bis MIO sind wiederum als Freiformflächen-Spiegel ausgeführt, für die die vorstehend angegebene Freiformflächengleichung (1) gilt. Die optischen Designdaten der Projekti- onsoptik 20 können den nachfolgenden Tabellen entnommen werden, die in ihrem Aufbau den Tabellen zur Projektionsoptik 7 nach Fig. 2 entsprechen.

Ausführungsbeispiel Fig. 6

NA 0.55

Wellenlaenge 13.5 nm beta_x 4.0 beta_y -8.0

Feldgroesse_x 25.982 mm Feldgroesse_y 1.199 mm Feldkruemmung -0.012345 1/mm

Blende AS

Tabelle 1 zu Fig. 6

Oberfläche Radius_x[mm] Power_x[1/mm] Radius_y[mm] Power_y[1/mm] Betriebsmodus

M10 -782.7707839 0.0025392 -734.551 1673 0.0027397 REFL M9 1376.0361679 -0.0014535 368.3821663 -0.0054291 REFL M8 -926.3786978 0.0005422 13745.2685887 -0.0005793 REFL M7 -703.2801099 0.0006891 -5018.1602009 0.0016448 REFL Oberfläche Radius_x[mm] Power_x[1/mm] Radius_y[mm] Power_y[1/mm] Betriebsmodus

M6 -1287.1185510 0.0003192 15143.9935889 -0.0006429 REFL

M5 -17144.5716599 0.0000238 -3029.5444346 0.0032305 REFL

M4 2824.9095453 -0.0001459 -3252.1021713 0.0029848 REFL

M3 1853.4172823 -0.0002467 -7978.7614203 0.0010966 REFL

M2 1813.4021117 -0.0002131 2843.5996088 -0.0036409 REFL

M1 -2279.0057524 0.0008630 -1433.6966230 0.0014185 REFL Tabelle 2 zu Fig. 6

Koeffizient M10 M9 M8

KY 0.00000000 0.00000000 0.00000000 KX 0.00000000 0.00000000 0.00000000 RX -782.77078390 1376.03616800 -926.37869780

C3 7.371 18803e-08 -1.88788139e-06 1.891 13203e-05 C4 -5.34464971 e-07 -1.58067758e-06 -6.7741 1807e-06 C5 -8.3628543e-08 6.1 1225192e-07 -6.81554069e-06 C6 -5.47275737e-09 1.01774333e-07 5.46432996e-08 C7 1.03872172e-08 -7.08488882e-07 3.9361 1856e-07 C8 -4.58527491 e-09 2.85574519e-07 -2.36694059e-07 C9 1.40108714e-08 9.05805394e-07 2.98817023e-07 C10 -7.33791 163e-12 6.60176419e-10 1.4431506e-10 C1 1 -1.29667428e-12 -2.22240638e-10 -5.45627422e-10 C12 -5.16298207e-1 1 4.56333286e-09 6.60196853e-10 C13 -2.43676706e-12 9.1 1272445e-1 1 -3.21516326e-10 C14 -1.81707788e-1 1 5.24872383e-09 2.81847894e-10 C15 -8.8193712e-15 -2.46297406e-13 -2.3731 1801 e-13 C16 1.87522966e-15 -3.75962686e-12 9.66109878e-13 C17 -1.25547302e-14 2.02684859e-12 -6.54435799e-13 C18 2.71429014e-14 1.56529906e-12 1.27952962e-12 C19 -6.88219103e-15 4.39332966e-12 -1.9954397e-13 C20 2.0369029e-14 2.36639754e-1 1 8.97796517e-14 C21 -2.19601633e-17 5.82784433e-15 2.77197683e-16 C22 -5.34488574e-19 -4.74313254e-15 -8.3498355e-16 C23 -1.41 124717e-16 2.6254565e-14 3.05195718e-15 C24 -5.26440747e-18 -1.98126006e-15 -4.23943916e-15 C25 -1.46886454e-16 7.51484916e-14 6.51501435e-15 C26 -4.38073228e-18 1.28870242e-14 -2.8743762e-15 C27 -3.8201 1736e-17 1.13497423e-13 1.08921845e-15 C28 -6.42618173e-21 7.770993e-18 1.50069322e-19 C29 -7.60009652e-21 -7.37707205e-18 2.9947041 e-18 C30 -2.97193155e-20 1.22622972e-17 -8.14606133e-18 C31 4.06587768e-20 -4.0845186e-17 2.3472882e-17 C32 -3.06403882e-20 7.21048367e-17 -3.70573698e-17 C33 7.08227007e-20 1.98767496e-16 5.00172688e-17 C34 -1.1 1726686e-20 9.60383697e-17 -3.20252181 e-17 C35 3.30406284e-20 5.73427728e-16 1.24567714e-17 C36 -5.59499809e-23 -2.04221 1 18e-20 3.41918553e-21 C37 -7.31770091 e-24 3.0808131 1 e-20 -1.70668302e-20 C38 -3.1686089e-22 2.63444908e-19 5.00528304e-20 C39 -1.17861 187e-23 -1.09260603e-19 -1.4123896e-19 C40 -5.42229832e-22 7.95068254e-19 2.87129039e-19 C41 -1.85360326e-23 9.25176262e-20 -3.8603053e-19 C42 -3.46932126e-22 1.51749819e-18 4.46144489e-19 Koeffizient M10 M9 M8

C43 -9.4577841 e-24 3.34652225e-19 -3.06857355e-19

C44 -7.37879259e-23 3.36430212e-18 1.47639022e-19

C45 -1.26669583e-26 -1.07627268e-22 -8.80345109e-24

C46 -1.35745198e-26 -5.1 1830102e-22 5.19319723e-23

C47 -4.86263627e-26 6.32415438e-22 -8.46744194e-23

C48 3.30700886e-26 -5.56079776e-22 3.3515347e-22

C49 -7.66464843e-26 7.51985569e-22 -7.09391453e-22

C50 1.56086261 e-25 2.96782257e-21 1.406866e-21

C51 -6.40577103e-26 3.19472578e-21 -1.76506037e-21

C52 1.68563141 e-25 1.0608072e-20 2.29157869e-21

C53 -1.92780334e-26 2.11306241 e-21 -1.7097676e-21

C54 5.54304815e-26 2.19910446e-20 1.1 1390994e-21

C55 -7.9838134e-29 6.55952739e-25 -5.83790077e-26

C56 8.14854294e-30 -1.00194928e-24 2.84846605e-25

C57 -5.56025263e-28 5.36630298e-25 -4.39816047e-25

C58 -1.73254276e-29 9.81096307e-25 1.26771636e-25

C59 -1.26255799e-27 5.93882226e-24 -7.50598685e-25

C60 -1.70993153e-29 6.68949313e-24 2.79742517e-24

C61 -1.34016491 e-27 4.4532296e-23 -5.8214433e-24

C62 -1.41558486e-30 4.52990791 e-23 1.0470352e-23

C63 -6.84900833e-28 1.46421383e-22 -1.1 165124e-23

C64 5.51293729e-30 3.31324209e-23 9.43720847e-24

C65 -1.28736913e-28 1.1 1751602e-22 -4.43654104e-24

C66 -1.97192245e-32 3.27484674e-27 1.12494978e-28

C67 -1.89167656e-32 8.15378148e-27 -1.01835497e-27

C68 -2.24795421 e-31 -7.89767105e-27 -7.31229044e-28

C69 1.86877261 e-31 -3.14342407e-27 4.9922247e-27

C70 -5.84765348e-31 2.44773075e-26 -1.73761326e-26

C71 6.92597359e-31 8.53296181 e-27 4.48124449e-26

C72 -5.81042606e-31 5.29045833e-26 -8.20921376e-26

C73 8.55057731 e-31 -6.17403375e-26 8.45074431 e-26

C74 -1.80955911 e-31 4.87049135e-26 -3.76114641e-26

C75 4.28805073e-31 5.62681389e-26 -5.36128322e-26

C76 -3.54976278e-32 3.80444977e-25 8.75780575e-26

C77 8.1500902e-32 -4.82208719e-25 -7.03491281e-26

C78 -2.37135877e-34 1.42325315e-31 2.46439262e-30

C79 -8.69985789e-35 1.19195052e-29 -1.1 1889521e-29

C80 -2.268137e-33 2.17925388e-29 3.03138596e-29

C81 -1.39245089e-34 -1.12336056e-28 -5.92925051 e-29

C82 -6.94196646e-33 1.84902966e-28 1.90978232e-28

C83 -2.61440076e-34 -2.2202003e-28 -5.27664357e-28

C84 -1.001941e-32 5.28382606e-28 1.20917155e-27

C85 -5.03713776e-34 -1.1 1090453e-27 -2.21792226e-27

C86 -7.48856277e-33 -1.43583782e-27 3.1212963e-27

C87 -4.10100855e-34 -3.04483322e-27 -3.33513648e-27

C88 -2.69643845e-33 -6.2521253e-27 2.60882269e-27

C89 -1.47740408e-34 9.79709859e-28 -1.43931619e-27

C90 -3.49593321 e-34 -4.02783414e-27 4.35621611e-28

C91 -3.4731836e-38 -4.10518499e-32 -2.42686648e-33

C92 -1.52317391 e-37 -1.3879213e-31 2.1953351 e-32

C93 4.15408884e-37 1.36888717e-31 -6.6110922e-32

C94 -6.09808669e-37 -2.57897247e-31 1.86373385e-31

C95 1.621327e-36 -3.97402347e-32 -4.83557271 e-31

C96 -1.61546363e-36 -1.16835904e-30 9.66719605e-31 Koeffizient M10 M9 M8

C97 2.47203645e-36 -1.24510149e-30 -1.90614027e-30

C98 -2.04689391 e-36 1.44534466e-30 4.71337512e-30

C99 1.25297231 e-36 2.46547306e-30 -1.08699339e-29

C100 -9.88546089e-37 2.45299614e-29 2.0377382e-29

C101 -1.10478497e-37 2.64620519e-30 -2.69325525e-29

C102 1.74044106e-37 4.39116219e-29 2.66932597e-29

C103 -7.95275716e-39 -1.27059733e-29 -1.75531451e-29

C104 1.25309419e-37 4.94293335e-29 7.0905147e-30

C105 1.34322694e-40 -1.02055581 e-34 -3.02985862e-35

C106 2.25226187e-40 -2.46491043e-34 1.3978914e-34

C107 3.37468546e-39 2.81571816e-34 -3.16552958e-34

C108 2.76528976e-40 1.35205001 e-33 4.74510356e-34

C109 1.30661234e-38 5.84802389e-36 -1.00590562e-33

C110 -3.04797935e-40 3.60187734e-33 2.08061724e-33

C111 2.49975002e-38 -8.15205216e-33 -4.59787156e-33

C112 3.25751399e-40 1.42895213e-32 1.05737583e-32

C113 2.53987938e-38 1.77732082e-32 -1.35462776e-32

C114 1.97466724e-39 8.64258529e-32 4.1 1934401e-34

C115 1.40479164e-38 2.63340509e-31 3.51652076e-32

C116 1.38245613e-39 1.00144289e-31 -6.68818888e-32

C117 3.91230089e-39 5.3401328e-31 7.63845581 e-32

C118 5.72625815e-40 -1.08676285e-31 -5.23654582e-32

C119 2.31518467e-40 3.43627865e-31 2.14167358e-32

C120 -1.05596905e-43 0 0

C121 1.24150493e-43 0 0

C122 -2.12431349e-42 0 0

C123 9.85558699e-43 0 0

C124 -8.39106783e-42 0 0

C125 6.99951112e-42 0 0

C126 -1.62789323e-41 0 0

C127 1.78691213e-41 0 0

C128 -1.61668242e-41 0 0

C129 2.29778014e-41 0 0

C130 -8.12143156e-42 0 0

C131 1.56513986e-41 0 0

C132 -1.87147042e-42 0 0

C133 5.07090907e-42 0 0

C134 -4.55687306e-43 0 0

C135 6.40785471 e-43 0 0

C136 -1.78352533e-45 0 0

C137 -4.79893837e-46 0 0

C138 -2.08989566e-44 0 0

C139 -1.14969251 e-45 0 0

C140 -8.73004962e-44 0 0

C141 9.23634031 e-47 0 0

C142 -1.99616275e-43 0 0

C143 4.8152948e-46 0 0

C144 -2.69856672e-43 0 0

C145 -5.70493661 e-45 0 0

C146 -2.21391365e-43 0 0

C147 -9.41847894e-45 0 0

C148 -1.0895733e-43 0 0

C149 -5.0108336e-45 0 0

C150 -2.9929889e-44 0 0 Koeffizient M10 M9 M8

C151 -1.66420243e-45 0 0 C152 -3.19546797e-45 0 0

Tabelle 3a zu Fig. 6

Koeffizient M7 M6 M5

KY 0.00000000 0.00000000 0.00000000 KX 0.00000000 0.00000000 0.00000000 RX -703.28010990 -1287.1 1855100 -17144.57166000

C3 1.64358205e-05 -1.80944948e-05 -2.86979567e-05 C4 4.0678745e-05 -9.07962019e-06 5.47463994e-06 C5 -1.02033367e-06 -7.06132735e-06 4.18898208e-06 C6 4.47029241 e-09 -1.74074617e-08 -1.08283848e-08 C7 4.15273914e-08 -1.44872644e-07 8.45098636e-08 C8 1.70065334e-08 1.3405654e-08 -4.80480221 e-08 C9 2.36557689e-08 -2.87525829e-08 -2.50970253e-08 C10 5.87595616e-12 -1.05285469e-10 -3.77714919e-10 C1 1 7.99531531 e-1 1 4.67492618e-1 1 5.49462087e-1 1 C12 2.17340594e-10 -2.30520942e-1 1 -4.28696261 e-1 1 C13 1.00576372e-10 -1.26421446e-10 -9.12362542e-12 C14 -5.0432306e-10 1.93531 131 e-10 -4.79393988e-1 1 C15 2.49150913e-14 -4.22171453e-14 -2.87969536e-13 C16 1.36269383e-13 -1.55709991 e-13 -3.74716916e-13 C17 7.00301 143e-14 3.83247407e-13 1.2272856e-13 C18 3.43699054e-13 -8.95392313e-13 8.31849549e-14 C19 -1.83488324e-13 4.3883105e-13 -3.3481799e-15 C20 -3.43194387e-13 -7.37606034e-13 2.55715636e-14 C21 1.20039041 e-16 6.85037152e-18 -3.37746245e-16 C22 5.25334526e-16 -2.72697645e-16 -2.69357972e-16 C23 -1.27313619e-15 1.7671 1546e-15 -4.29782052e-16 C24 3.42784396e-16 -6.28278137e-16 2.09590847e-16 C25 2.29460909e-15 3.38502156e-15 -6.78427249e-17 C26 2.5339205e-15 -2.86712734e-15 7.19236286e-18 C27 -8.6307809e-15 3.18240748e-15 -1.541 12497e-17 C28 -2.72410926e-20 -4.82121454e-20 1.51393603e-18 C29 1.23087616e-18 -1.9576405e-18 -1.08760774e-18 C30 -1.72141053e-18 3.95749745e-19 -2.65936012e-19 C31 -2.7094539e-18 -6.4317494e-18 -5.7043323e-19 C32 4.6280491 e-19 1.20672283e-17 2.09386227e-19 C33 9.13050007e-18 -1.67170573e-17 2.46172718e-19 C34 1.60286091 e-17 1.52891379e-17 8.77246004e-20 C35 -4.31950276e-17 -1.86294874e-17 1.59627143e-19 C36 1.1427576e-21 3.19771422e-22 3.1355404e-21 C37 -4.18123229e-21 -3.93808285e-21 1.69106442e-21 C38 7.9729587e-21 9.34389593e-21 -1.83388462e-21 C39 -4.40038344e-21 -3.2471016e-20 1.25283781 e-22 C40 -2.98879374e-20 4.86435082e-20 -1.07472943e-21 C41 3.56528828e-20 -8.07056538e-20 -8.0703481 1 e-23 C42 7.70264338e-20 1.39454578e-19 -9.5766951 e-22 C43 -7.04502684e-20 -8.73280709e-20 -5.60201993e-23 C44 5.43914286e-20 1.34507869e-19 -4.88292131 e-22 C45 9.40606034e-25 2.51043338e-24 -1.55969906e-24 C46 -1.23444004e-24 -7.28427742e-24 1.67629606e-23 izient M7 M6 M5

C47 2.51671025e-24 1 .43670457e-23 -1 .12915987e-24

C48 1 .054837e-22 -4.26620469e-23 7.56485463e-24

C49 -2.89089128e-22 7.77677031 e-23 1 .00842694e-24

C50 6.97084246e-22 -3.63678185e-22 5.46560379e-24

C51 -2.00135443e-21 3.88514321 e-22 1 .33362899e-24

C52 4.52386848e-21 -1 .28941481 e-21 5.48482984e-24

C53 -4.0440623e-21 6.22689663e-22 1 . 8480662e-24

C54 5.9264548e-21 -9.02225938e-22 2.31517558e-24

C55 -4.4610985e-27 -1 .45813539e-27 -1 .67600096e-26

C56 8.70549454e-26 7.34442268e-26 2.91603867e-26

C57 -2.15428852e-25 -2.36886668e-25 4.3845748e-26

C58 5.07884389e-25 8.4043935e-25 -1 .55674373e-26

C59 -2.35077053e-25 -1 .650891 15e-24 2.93550001 e-26

C60 -3.6767541 1 e-24 3.00537957e-24 4.79762248e-27

C61 1 .56548913e-23 7.07767487e-25 -1 .37564982e-28

C62 -3.36999319e-23 -9.71438519e-25 1 .92999166e-27

C63 3.36580302e-23 9.66337619e-24 -2.00841542e-27

C64 5.1504212e-23 -5.0927979e-24 1 .41918458e-27

C65 -6.02927403e-23 5.50603121 e-24 4.01084458e-27

C66 -2.35335808e-29 -2.14960397e-29 -5.54786939e-29

C67 6.0319741 e-30 4.65974209e-28 -1 .19100445e-28

C68 5.25426731 e-28 -1 .49536482e-27 2.81813199e-29

C69 -4.7263327e-27 7.44163575e-27 -2.50048553e-28

C70 1 .141 16835e-26 -1 .74665289e-26 -1 .60537221 e-28

C71 -1 .25450904e-26 2.6469683e-26 -2.63004591 e-28

C72 -5.28638548e-27 -3.8447784e-26 -4.28716771 e-29

C73 5.24071555e-26 8.34605821 e-27 -1 .15915917e-28

C74 -5.842952e-26 2.24645238e-27 -4.1085416e-29

C75 -4.29456431 e-25 -5.96354024e-26 -1 .00574534e-28

C76 1 .37626458e-24 3.07510307e-26 -2.76999971 e-29

C77 -1.74107786e-24 -2.2527257e-26 -3.94733166e-29

C78 -4.91486221 e-32 -7.77605249e-32 -5.8382581 1 e-32

C79 -8.33326962e-31 4.85482821 e-31 -5.31552465e-31

C80 1 .15451 155e-30 -7.53804992e-30 -7.01 198202e-31

C81 -4.46751805e-30 2.25816863e-29 2.39694925e-32

C82 -4.05799672e-30 -6.36519407e-29 -1 .32108606e-30

C83 7.33961956e-29 1 .24781894e-28 -6.86056363e-31

C84 -2.89279771 e-28 -1 .74024717e-28 -6.58710538e-31

C85 8.0418153e-28 2.17515033e-28 -2.8187537e-31

C86 -2.05998075e-27 -3.4861266e-29 -9.10313092e-32

C87 2.87251889e-27 -3.01515843e-29 3.25422299e-32

C88 -3.33147409e-27 2.37520047e-28 6.19277943e-32

C89 -2.47553522e-27 -1 .13977506e-28 2.67799692e-32

C90 -2.69813333e-27 5.10854102e-29 -1 .16843987e-32

C91 2.35563898e-34 -2.15025935e-34 4.63217202e-34

C92 5.8491646e-34 8.31081607e-34 4.63826108e-34

C93 -1 .09679664e-32 -1 .39074915e-32 -2.69163045e-34

C94 7.85176207e-32 3.78927844e-32 2.39395269e-33

C95 -1 .89803294e-31 -9.77136289e-32 2.5348651 1 e-33

C96 1 .42764347e-31 2.64826752e-31 3.86942695e-33

C97 6.5854609e-31 -4.43965997e-31 1 .65393462e-33

C98 -3.4137478e-30 4.85583853e-31 2.14932043e-33

C99 9.7349122e-30 -5.78272576e-31 7.8260555e-34

C100 -2.25813258e-29 3.2861 1253e-32 1 .66760238e-33 Koeffizient M7 M6 M5

C101 1.68688887e-29 2.0290792e-31 9.51644322e-34 C102 4.658961 17e-29 -5.47912994e-31 1.30888764e-33 C103 -1.85337147e-28 1.99033981 e-31 2.81300647e-34 C104 1.25937125e-28 -2.76814561 e-32 4.19238552e-34 C105 8.17193357e-37 -2.57392297e-37 1.63484396e-36 C106 4.01641488e-38 5.24972652e-36 1.97653414e-36 C107 2.7225149e-35 1.83679394e-36 6.496631 e-36 C108 -1.14515891 e-34 3.0866578e-35 1.58898975e-36 C109 4.63277645e-34 -9.64602547e-35 1.87156616e-35 C1 10 -7.3768883e-34 1.53163632e-34 1.36407696e-35 cm -1.44019449e-34 -3.70408689e-34 1.60626572e-35

C1 12 2.8785021 1 e-33 6.57634637e-34 6.18415708e-36 C1 13 -1.18183901 e-32 -5.181 10452e-34 2.42049296e-36 C1 14 3.72146865e-32 4.67832779e-34 -2.20848409e-36 C1 15 -7.37606789e-32 6.56689415e-35 -3.61085766e-36 C1 16 -9.21470131 e-33 -3.03083907e-34 -3.06063429e-36 C1 17 3.79631951 e-31 5.21 101842e-34 -2.84393369e-36 C1 18 -9.31802399e-31 -1.08293998e-34 -5.87471636e-37 C1 19 6.53383274e-31 -6.03009466e-35 -6.26702959e-37 Tabelle 3b zu Fig. 6

Koeffizient M4 M3 M2

KY 0.00000000 0.00000000 0.00000000 KX 0.00000000 0.00000000 0.00000000 RX 2824.90954500 1853.41728200 1813.4021 1200

C3 -3.56694417e-06 1.91334855e-05 7.70151359e-06 C4 -8.79443713e-06 3.04339343e-05 6.6307521 e-06 C5 2.16634738e-06 -4.24490247e-06 -4.84993053e-06 C6 3.52985667e-08 3.44220596e-08 -3.72391372e-09 C7 2.69954994e-07 -5.70142401 e-08 -3.39287297e-07 C8 2.03403253e-08 -3.54063767e-08 -7.1076859e-08 C9 8.25330956e-08 -5.43264665e-08 -3.2266394e-07 C10 -1.3864024e-10 4.77944642e-10 1.34208883e-10 C1 1 1.17346078e-10 1.61288318e-10 -4.88900173e-1 1 C12 1.31728934e-10 2.44249927e-10 2.57944987e-10 C13 5.4355219e-12 2.15554826e-1 1 2.02529706e-10 C14 4.62320019e-1 1 -9.07021066e-1 1 5.99527498e-10 C15 -3.72694894e-13 -6.13371031 e-14 -8.86461394e-14 C16 -7.9390596e-14 -1.12504246e-12 -6.5164181 e-13 C17 -2.88633944e-13 -1.00200627e-13 5.02171826e-14 C18 -4.267291 16e-13 2.53738195e-13 2.9829383e-14 C19 -1.34269084e-13 -1.81 185416e-14 -5.38971828e-13 C20 -1.98206067e-13 -3.99389474e-13 -1.0529907e-12 C21 -8.67745251 e-16 -4.47624881 e-16 -1.07260999e-16 C22 -2.13598168e-16 -5.41541759e-16 2.791 1 1216e-16 C23 -4.03801222e-16 1.78442182e-15 1.01772948e-15 C24 -3.94034041 e-16 7.83779273e-16 -1.2522715e-16 C25 -6.04550951 e-16 1.33852156e-15 -1.59299956e-15 C26 -5.73029266e-17 7.6599607e-17 1.09804763e-15 C27 -1.92092991 e-16 -3.83024431 e-16 1.16642995e-15 C28 3.9683237e-18 8.52703382e-19 -1.56866226e-20 C29 -1.12616085e-18 8.38868046e-19 6.38630681 e-19 Koeffizient M4 M3 M2

C30 -6.49955136e-19 1.23830298e-18 -1.24782756e-18 C31 -1.25941692e-18 -5.17721033e-18 -1.86476703e-18 C32 6.12426316e-19 1.17292965e-18 1.05780358e-18 C33 2.34967065e-18 4.67570937e-18 8.70730747e-18 C34 7.02388835e-19 1.65091191e-18 -1.4364141e-18 C35 7.68666845e-19 -1.47389758e-18 1.93033473e-18 C36 1.80757055e-20 1.8786131 e-21 2.22910503e-22 C37 -5.13950379e-22 -1.48794681 e-21 -2.23754489e-21 C38 3.57639684e-21 7.38491182e-22 -3.69635845e-21 C39 -1.19034552e-20 -6.65787878e-21 2.1875578e-21 C40 -1.67574517e-20 1.79165986e-20 8.94375542e-22 C41 -1.30054199e-20 9.89576622e-21 -6.45493387e-21 C42 -5.55991082e-21 2.58016807e-20 -3.67837432e-20 C43 3.5788088e-23 1.24467998e-20 1.4679151 e-21 C44 -2.88547748e-21 9.26917469e-21 -1.72755611e-20 C45 -2.72726494e-23 -1.81449926e-23 4.36834687e-24 C46 3.42982823e-23 -9.369101 e-24 -5.3346822e-25 C47 2.89376742e-23 -2.84333065e-23 2.64720767e-23 C48 -2.27614292e-23 -8.78977889e-23 1.28504687e-23 C49 -7.82761998e-23 -6.51433727e-23 1.87639325e-23 C50 -1.24368735e-22 -1.56228016e-22 5.48053533e-23 C51 -5.22766677e-23 -3.37002032e-23 7.81858913e-23 C52 -7.87797851 e-23 3.60802203e-23 1.8456112e-22 C53 -1.24478871 e-25 3.69310482e-23 2.83652051 e-23 C54 -1.00039473e-23 2.43080527e-23 1.25857566e-22 C55 -1.23963892e-25 2.66688427e-26 -6.76307144e-27 C56 7.28900077e-26 1.09300364e-25 5.69383807e-27 C57 -1.50758589e-28 3.41012281e-26 5.56713408e-26 C58 4.46819081 e-25 1.77865357e-25 -5.75937752e-26 C59 2.04307259e-25 -8.53745918e-26 -6.06265415e-26 C60 5.39298529e-25 -1.13388232e-26 -3.84949211 e-25 C61 6.7876952e-25 9.51346389e-26 -7.91410019e-25 C62 9.70353817e-25 3.03131442e-25 -1.03140587e-24 C63 3.66764493e-25 5.62865825e-25 -1.34019965e-24 C64 -2.46632556e-25 1.95680951 e-25 -5.6262588e-25 C65 6.82151544e-26 -5.21429065e-26 -1.09232402e-24 C66 5.24695265e-28 3.82063382e-28 -7.68605012e-29 C67 -6.1 169062e-28 9.96598259e-29 -7.24102951 e-29 C68 -7.98315642e-28 8.50057345e-28 -3.5130969e-28 C69 1.82363166e-27 3.06808135e-27 -6.72856952e-29 C70 3.28152186e-27 3.682333e-27 1.47585878e-28 C71 4.89807831 e-27 7.29231748e-27 5.04311343e-28 C72 4.28887447e-27 6.51495573e-27 2.36117938e-27 C73 4.12477465e-27 5.92018294e-27 4.46253745e-27 C74 4.18511718e-28 3.87184586e-27 6.82050052e-27 C75 2.33990223e-27 3.13571446e-27 7.75962725e-27 C76 7.50226694e-28 1.97223205e-28 4.00183403e-27 C77 5.19769468e-28 -1.28671169e-27 6.17353909e-27 C78 -4.05323777e-30 -1.06687517e-30 1.65705086e-31 C79 -1.64184466e-30 -2.56277106e-30 3.75844594e-31 C80 -1.93118106e-33 -1.30784314e-30 -2.38679058e-31 C81 -8.47092527e-30 -7.81482474e-30 5.57351433e-31 C82 6.88827408e-30 -1.22257034e-29 -5.50347123e-31 C83 -1.06831195e-30 -1.73247328e-29 2.2471158e-30 Koeffizient M4 M3 M2

C84 -6.56163721 e-30 -2.10394153e-29 4.414841 15e-30 C85 -2.94033446e-29 -2.51 198983e-29 -1.10067071 e-31 C86 -3.46255746e-29 -1.9917216e-29 -7.86893536e-30 C87 -4.32271577e-29 -1.76092298e-29 -2.17479089e-29 C88 -1.74202666e-29 -8.79508224e-30 -2.62762662e-29 C89 7.69673138e-30 -1.69509021 e-30 -1.41355359e-29 C90 -2.90437919e-30 2.07090103e-30 -1.96987061 e-29 C91 -5.50250091 e-33 -2.97824713e-33 4.77502657e-34 C92 6.60069275e-33 -3.68964978e-34 6.7858841 1 e-34 C93 1.2067791 1 e-32 -8.1002993e-33 2.25035764e-33 C94 -2.20640136e-32 -3.5019166e-32 3.29620258e-34 C95 -3.88928639e-32 -5.30139353e-32 -1.76366143e-33 C96 -7.77741702e-32 -1.34389142e-31 -1.121 10518e-32 C97 -1.24283498e-31 -1.63013463e-31 -3.00992143e-32 C98 -1.00589726e-31 -2.42809208e-31 -4.56633569e-32 C99 -4.8721087e-32 -2.1 1060519e-31 -3.70774558e-32 C100 -5.88498938e-32 -2.05327494e-31 -1.20865933e-32 C101 -3.19750218e-32 -9.32455128e-32 3.09201818e-32 C102 -9.42977387e-32 -5.59794602e-32 4.63404829e-32 C103 -5.10045206e-32 2.39255912e-32 2.51920423e-32 C104 -1.85962281 e-32 3.01 151039e-32 3.30516156e-32 C105 7.34044904e-35 9.70182196e-36 -1.25034075e-36 C106 2.1 1296591 e-35 2.17863253e-35 -3.92270833e-36 C107 4.42975508e-36 1.24489699e-35 -2.5291 1 189e-36 C108 6.86124963e-35 8.79629884e-35 -7.10925354e-36 C109 -1.67510574e-34 2.60324063e-34 1.08297389e-35 C1 10 -1.46448004e-34 4.09965637e-34 1.59494802e-35 C1 1 1 -2.30203692e-34 7.1 1 195498e-34 4.44659953e-35 C1 12 -2.12487246e-34 8.51590345e-34 7.52834252e-35 C1 13 1.58685184e-34 9.40569287e-34 9.41421539e-35 C1 14 6.92736071 e-34 8.29973288e-34 7.82801068e-35 C1 15 6.84604355e-34 7.77076282e-34 3.9225326e-35 C1 16 9.37033705e-34 6.0935103e-34 -1.346451 12e-35 C1 17 5.51676584e-34 6.24466869e-34 -3.31495282e-35 C1 18 8.52371765e-35 2.6426706e-34 -1.81791581 e-35 C1 19 9.23227328e-35 1.49674225e-34 -2.28506513e-35 Tabelle 3c zu Fig. 6

Koeffizient M1

KY 0.00000000 KX 0.00000000 RX -2279.00575200

C3 ^■ 1 .14660247e- ^■ 06 C4 ^■ 6 .91516012e- ^■ 06 C5 6 .78681449e- ^■ 07 C6 ^■ 6 .78487787e- ^■ 10 C7 ^■ 4 .42601622e- ^■ 08 C8 1 .38429434e- ^■ 08 C9 8 .54340252e- ^■ 09 C10 ^■ 6 .40431453e- ^■ 12 C1 1 1 .10140009e- ^■ 13 C12 2 .36246801 e- ^■ 1 1 Koeffizient M1

C13 -1.66984607e-1 1

C14 6.04835909e-1 1

C15 -3.20798977e-16

C16 -1.0047545e-14

C17 3.94097481 e-15

C18 -4.79358693e-14

C19 3.77372783e-14

C20 -5.05001969e-14

C21 -1.34790365e-18

C22 1.3312585e-18

C23 2.4176533e-17

C24 -4.70516883e-18

C25 2.01792771 e-16

C26 -9.88702361 e-17

C27 4.02731782e-16

C28 6.34401678e-22

C29 1.93704784e-21

C30 4.97542762e-21

C31 -8.14552055e-20

C32 1.69278446e-20

C33 -3.26244451 e-20

C34 1.80315696e-19

C35 -3.68255749e-19

C36 3.39810183e-25

C37 -9.36958675e-24

C38 2.1 1530588e-23

C39 -2.75894541 e-23

C40 5.56879448e-22

C41 1.51075466e-23

C42 1.2551 1709e-21

C43 -5.951 13188e-22

C44 9.94606784e-23

C45 -6.68032749e-27

C46 1.19245786e-28

C47 -5.07787465e-26

C48 4.95908529e-26

C49 1.67409944e-25

C50 -1.05489998e-24

C51 2.29664697e-24

C52 -3.18069732e-24

C53 4.63860272e-24

C54 2.34254297e-24

C55 -9.75866798e-30

C56 5.50305104e-29

C57 -2.56250029e-28

C58 3.40697076e-28

C59 -1.61443067e-27

C60 -3.89087634e-27

C61 6.63764138e-28

C62 -1.54630713e-26

C63 1.73185258e-26

C64 -3.63354942e-26

C65 7.69756694e-26

C66 3.9857064e-32 Koeffizient M1

C67 -1.95074737e-32

C68 4.25813286e-31

C69 2.05648056e-32

C70 -1.78377459e-30

C71 1.46836286e-30

C72 -2.60686685e-29

C73 6.39857653e-30

C74 -1.50924571 e-28

C75 1.59969376e-28

C76 4.72350443e-29

C77 1.53740924e-28

C78 4.10578443e-35

C79 -1.75210722e-34

C80 1.53525249e-33

C81 -2.91985863e-33

C82 1.41820047e-32

C83 5.08780739e-32

C84 4.30253682e-32

C85 2.95801579e-31

C86 3.52977936e-31

C87 7.02421296e-31

C88 -7.59722816e-31

C89 2.5102502e-31

C90 -2.95029494e-30

C91 -1.00951986e-37

C92 8.49707789e-38

C93 -1.59560977e-36

C94 -8.74669316e-37

C95 1.24582681 e-35

C96 -2.01576218e-35

C97 4.71720132e-35

C98 9.71735988e-35

C99 1.10592389e-33

C100 -1.39405499e-33

C101 2.08635378e-33

C102 -1.57316263e-33

C103 6.34946229e-34

C104 3.46756531 e-33

C105 -4.99297703e-41

C106 2.18727533e-40

C107 -2.94345401 e-39

C108 8.09428416e-39

C109 -4.22879517e-38

C1 10 -1.94310602e-37

C1 1 1 -4.41273238e-38

C1 12 -1.69089177e-36

C1 13 -1.4001 1 1 13e-36

C1 14 -7.6762368e-36

C1 15 -7.05135086e-37

C1 16 -6.87070594e-36

C1 17 1.20409412e-35

C1 18 -5.72007274e-36

C1 19 1.35472045e-35

Tabelle 3d zu Fig. 6 Oberfläche DCX DCY DCZ

Bildebene 0.00000000 0 00000000 0 00000000 M10 -1.527591 19 0 30489653 693 70838182 AS -2.20600994 100 04477292 252 88313660 M9 -2.43882449 134 27273979 101 60410524 M8 3.80780756 -105 01000684 1 155 96249254 M7 16.37829827 -22 95947363 1437 66524536 M6 43.13554040 143 49688905 1609 47890554 M5 127.47039072 608 35234054 1798 91853929 M4 277.12879214 1344 79023415 1776 55181243 M3 363.64094259 1734 65193750 1586 40468977 M2 413.32631020 1961 32401329 1290 53441471 M1 439.36496915 2202 08700798 445 17458992

Objektebene 494.98027342 2355 95076091 2308 27252782 Tabelle 4a zu Fig. 6

Oberfläche TLA[deg] TLB[deg] TLC[deg]

Bildebene -0.02518246 -0.12616883 -2.48418218

M10 6.36187553 -0.02020845 -1.50670528

AS -9.62530968 180.90930183 9.15381279

M9 192.76770301 -0.20851737 1.30561723

M8 88.17407922 -4.22707309 0.39777385

M7 59.22190840 -8.10998812 -2.39378981

M6 32.98996685 -7.62592200 -8.50568813

M5 9.36419794 -4.68404306 -7.79337698

M4 -13.77488970 0.48199635 -1 1.83810141

M3 -37.97273534 7.97761732 -15.35075444

M2 -62.06417332 15.39153796 -6.91854017

M1 185.5881 1 126 -0.00366191 18.88944177

Objektebene -0.01971 106 -0.00005561 -19.94998453

Tabelle 4b zu Fig. 6

Oberfläche AOI[deg] Reflektivität

M10 6.38623051 0.66140173

M9 0.04790971 0.665661 16

M8 75.45361766 0.81 151204

M7 75.97712904 0.82006444

M6 78.14558505 0.85291272

M5 78.20825153 0.85380698

M4 78.10959159 0.85239782

M3 76.78652109 0.83278543

M2 78.86190524 0.86297385

M1 10.44573594 0.65360925

Gesarnttransmission 0.0854

Tabelle 5 zu Fig. 6

X[mm] Y[mm] Z[mm]

28.04931900 169.20761762 0.00000000 -3.46292391 171.67363923 0.00000000 X[mm] Y[mm] Z[mm]

-34.98521782 169.91097614 0.00000000

-65.96988230 163.98509239 0.00000000

-95.84316319 154.0141 1052 0.00000000

-123.99560239 140.16061759 0.00000000

-149.77925345 122.62865569 0.00000000

-172.51710527 101.66886392 0.00000000

-191.53008466 77.591 12549 0.00000000

-206.18214042 50.78073888 0.00000000

-215.93518698 21.71301592 0.00000000

-220.39888337 -9.03792576 0.00000000

-219.36018149 -40.79786051 0.00000000

-212.78581408 -72.79825654 0.00000000

-200.80368965 -104.18921529 0.00000000

-183.67827723 -134.06121093 0.00000000

-161.79405355 -161.47746446 0.00000000

-135.65152646 -185.51703747 0.00000000

-105.87035506 -205.32623543 0.00000000

-73.18990253 -220.17347145 0.00000000

-38.45926906 -229.50098244 0.00000000

-2.61376593 -232.96618419 0.00000000

33.35960188 -230.46615697 0.00000000

68.461 14478 -222.14101795 0.00000000

101.71489235 -208.35564839 0.00000000

132.19796579 -189.66344627 0.00000000

159.06295641 -166.7591 1719 0.00000000

181.55762495 -140.42887903 0.00000000

199.04830998 -1 1 1.50557598 0.00000000

21 1.05139493 -80.83362142 0.00000000

217.27039550 -49.24490570 0.00000000

217.62778203 -17.54270140 0.00000000

212.27675470 13.51 135432 0.00000000

201.58288487 43.21004801 0.00000000

186.07693804 70.91239720 0.00000000

166.39149390 96.05252615 0.00000000

143.19838098 1 18.14463354 0.00000000

1 17.16053839 136.78481962 0.00000000

88.90504070 151.65216425 0.00000000

59.01712885 162.51029494 0.00000000

Tabelle 6 zu Fig. 6: Blenden-Polygon auf Fläche AS

Eine Gesamt-Reflektivität der Projektionsoptik 20 beträgt 8,54 %. Auch bei der Projektionsoptik 20 ist das Objektfeld 4 relativ zum Bildfeld 8 verkippt. Die Kippwinkel ergeben sich wiederum aus der Zeile„Objektebene" in der Tabelle 4b und betragen absolut und gerundet: a _x = 0,02°, a _y ~ 0 und a _z = 19,95°. Diese Verkippung wird besonders in der Zeichnung in der Fig. 8 deutlich, wo der Kippwinkel a _z , also die Verkippung um eine Achse parallel zur Koordinate z, gezeigt ist. Fig. 8 zeigt schematisch und gestrichelt den Retikelhalter 10a, der entsprechend der Verkippung der Objektverlagerungsrichtung y' zur Bildverlagerungs- richtung y ebenfalls um den Winkel a _z verkippt um die z- Achse angeordnet ist. Eine Verkippung der Hauptstrahlen 16 zur yz-Ebene, die im Abbildungslichtstrahlengang zwischen dem Objektfeld 4 und dem Spiegel Ml ebenfalls 19,95° beträgt, wird bei den anschließenden Reflexionen an den Spiegeln M2 bis MIO graduell verringert, so dass die Hauptstrahlen 16 zwischen dem Spiegel MIO und dem Bildfeld praktisch parallel zur yz-Ebene verlaufen.

Bei der Projektionsoptik 20 verlaufen die Koordinatenachsen z und z' praktisch parallel zueinander.

Anhand der Fig. 9 bis 11 wird nachfolgend eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik 21 erläutert, die anstelle der Projektionsoptik 7 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 nach Fig. 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die vorstehend im Zusammenhang mit den Fig. 1 bis 5 bereits erläutert wurden, tragen gegebenenfalls die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.

Die Spiegel Ml bis MIO sind wiederum als Freiformflächen-Spiegel ausgeführt, für die die vorstehend angegebene Freiformf ächengleichung (1) gilt. Die optischen Designdaten der Projektionsoptik 21 können den nachfolgenden Tabellen entnommen werden, die in ihrem Aufbau den Tabellen zur Projektionsoptik 7 nach Fig. 2 entsprechen.

Ausführungsbeispiel Fig. 9

NA 0.55

Wellenlaenge 13.5 nm beta_x 4.0 beta_y -8.0

Feldgroesse_x 26.0 mm

Feldgroesse_y 1 .2 mm

Feldkruemmung -0.012345 1 /mm

Blende AS

Tabelle 1 zu Fig. 9

Oberfläche Radius_x[mm] Power_x[1/mm] Radius_y[mm] Power_y[1/mm] Betriebsmodus

M10 -690.4053007 0.0028789 -649.9620952 0.0030963 REFL

M9 1 170.2382257 -0.0017090 325.5801498 -0.0061429 REFL

M8 -802.2729082 0.0006261 10854.6647203 -0.0007336 REFL

M7 -617.7393256 0.0007845 -4533.0222048 0.0018209 REFL

M6 -1 167.9907870 0.0003518 14218.8123187 -0.0006847 REFL

M5 -29345.9114348 0.0000139 -2645.5404991 0.0036995 REFL

M4 2533.6283558 -0.0001626 -2732.7171861 0.0035522 REFL

M3 1735.6051840 -0.0002634 -7939.0004557 0.001 1022 REFL Oberfläche Radius_x[mm] Power_x[1/mm] Radius_y[mm] Power_y[1/mm] Betriebsmodus

M2 1611.3454389 -0.0002398 2559.7555988 -0.0040449 REFL M1 -2023.8908940 0.0009718 -1265.2116084 0.0016074 REFL

Tabelle 2 zu Fig. 9

Koeffizient M10 M9 M8

KY 0.00000000 0.00000000 0.00000000 KX 0.00000000 0.00000000 0.00000000 RX -690.40530070 1 170.23822600 -802.27290820

C3 1.20040531 e-06 -4.51828392e-07 -5.09679556e-07 C4 1.60603302e-06 1.10793226e-05 6.36697454e-05 C5 1.50775459e-06 -9.7363591 e-06 4.62045607e-06 C6 ^■ 1.32159363e-09 4.87178737e-08 3.72474263e-08 C7 1.27518902e-08 -9.06128799e-07 5.24525323e-07 C8 9.52073955e-10 -3.83581469e-08 -3.95122647e-09 C9 1.88396282e-08 1.25120183e-06 3.18085546e-07 C10 ^■ 1.07536925e-1 1 1.25403291 e-09 7.94928079e-1 1 C1 1 1.86230462e-12 1.02002804e-10 7.45182575e-1 1 C12 ^■ 6.96983788e-1 1 6.82603276e-09 5.64091899e-10 C13 2.71705903e-12 2.62267661 e-10 6.29281852e-1 1 C14 ^■ 2.51526007e-1 1 8.68289909e-09 1.63373542e-10 C15 ^■ 3.59483154e-15 -7.37077847e-14 1.79421077e-13 C16 ^■ 1.05291023e-15 -7.18968276e-12 1.6404039e-12 C17 ^■ 8.1 1703625e-16 1.03604627e-12 1.38282856e-13 C18 4.33908358e-14 1.3841 1883e-12 5.54496032e-13 C19 1.00287245e-15 1.58232392e-12 1.25550863e-13 C20 3.41290279e-14 4.23242334e-1 1 6.1001 1692e-13 C21 ^■ 4.86737432e-17 1.19794334e-14 5.62549877e-16 C22 4.30972719e-18 -1.95726372e-15 -9.63640631 e-17 C23 ^■ 2.51478729e-16 4.81377325e-14 5.36267862e-16 C24 6.99535834e-18 -7.01262189e-16 1.63422105e- 15 C25 ^■ 2.63437018e-16 1.5895467e-13 5.47633651 e-15 C26 4.22743441 e-18 7.41317641 e-15 3.55047801 e-15 C27 ^■ 7.53564441 e-17 3.19625332e-13 9.01250827e-15 C28 -7.1784941 e-21 1.26734896e-17 6.88202612e-19 C29 ^■ 2.07519888e-20 -1.01 173423e-17 3.97399385e-18 C30 ^■ 9.52675569e-21 1.33952339e-17 6.09766696e-18 C31 7.19861527e-20 -1.70237642e-16 1.61210744e-17 C32 ^■ 2.21016702e-21 2.69294179e-17 1.58505652e-17 C33 1.39895826e-19 2.67635101 e-16 4.9837122e-17 C34 7.99218473e-22 3.08984717e-17 2.52344514e-17 C35 5.62579807e-20 1.38806994e-15 6.10626454e-17 C36 ^■ 1.37706266e-22 6.61091608e-21 6.59446559e-21 C37 1.05627934e-24 1.21549781 e-20 -7.21464072e-21 C38 ^■ 7.37677034e-22 9.49445973e-19 1.82009137e-20 C39 9.4612472e-24 -4.64240851 e-20 6.47345893e-20 C40 -1.2492741 e-21 2.22064991 e-18 2.86246588e-19 C41 1.13764197e-23 -8.07535782e-20 2.71999165e-19 C42 ^■ 8.31 168165e-22 5.66564486e-18 6.44253269e-19 C43 5.62613773e-24 3.06740404e-19 3.22475901 e-19 C44 ^■ 1.83999666e-22 5.84047185e-18 5.401 1351 e-19 C45 5.78933865e-27 -3.37170466e-22 -1.30709651 e-23 C46 ^■ 5.23152295e-26 -1.51 149605e-21 -8.12078403e-23 Koeffizient M10 M9 M8

C47 -2.00344433e-26 1.24490606e-22 9.04029377e-23

C48 6.95257963e-26 -8.65912188e-22 4.8584009e-22

C49 -2.2222321 e-28 1.16054497e-21 8.76423374e-22

C50 4.02386815e-25 1.00374462e-21 3.03733188e-21

C51 3.23020196e-26 -2.43741947e-21 3.24860051 e-21

C52 4.33325337e-25 4.63038861 e-20 6.26995267e-21

C53 3.83217679e-26 -9.36633618e-21 3.77440191e-21

C54 2.34943146e-25 1.26182418e-19 4.09448061 e-21

C55 -2.70570957e-28 1.49531876e-25 -5.62322869e-26

C56 5.01636099e-29 -7.46135221 e-25 3.27697524e-25

C57 -1.60586859e-27 -7.88703375e-24 4.53041029e-25

C58 2.09702609e-28 3.71967427e-24 9.22597723e-25

C59 -3.83028737e-27 3.55192596e-23 5.56768705e-25

C60 3.17479148e-28 5.67620077e-23 1.55342954e-25

C61 -4.15868513e-27 1.31047887e-22 -4.3960366e-24

C62 2.07585023e-28 7.62273537e-23 -6.32650954e-24

C63 -2.05373849e-27 4.20059951 e-22 -7.74287635e-24

C64 9.59410291 e-29 -4.08280613e-23 2.66625087e-24

C65 -3.10167328e-28 1.62150242e-21 -2.69404527e-24

C66 -1.18875102e-31 9.71502838e-27 3.76152244e-28

C67 -1.38650788e-31 1.01290303e-26 2.59274288e-27

C68 -1.88677039e-31 1.12654827e-26 1.14628418e-27

C69 1.99039222e-31 -8.04314426e-26 -4.92227629e-30

C70 -4.16732253e-31 8.97248897e-27 -1.18634231e-26

C71 1.40305056e-30 -2.1 1183129e-26 -6.14736892e-26

C72 -4.10139999e-31 1.84222729e-25 -8.4532745e-26

C73 1.99587703e-30 1.84235456e-25 -2.81498265e-25

C74 -3.53326024e-31 7.29613029e-25 -2.95064388e-25

C75 9.46544809e-31 -2.35011425e-24 -3.25929752e-25

C76 -3.94504272e-31 2.22434606e-24 -1.72644049e-25

C77 -5.54803194e-31 -4.44104491e-24 -1.20442125e-25

C78 -1.13139303e-33 3.02093306e-29 6.63744788e-31

C79 -4.19625932e-34 -1.36577479e-29 -6.09538339e-30

C80 -9.57866307e-33 5.23051729e-28 -1.85626183e-30

C81 -1.73667184e-33 -2.10547598e-28 -3.45427321 e-29

C82 -2.59722687e-32 1.20732474e-27 2.74380333e-29

C83 -2.85763163e-33 -2.66070601 e-27 5.97263053e-29

C84 -3.56498303e-32 3.96418218e-28 3.86947874e-28

C85 -2.30503156e-33 -7.08280141e-27 4.58532034e-28

C86 -2.76297281 e-32 -5.40345997e-27 1.191216e-27

C87 -7.58974995e-34 -6.80419537e-28 1.67579017e-27

C88 -1.15839053e-32 -2.97107042e-26 2.716467e-27

C89 -9.08831591 e-34 1.7195491e-26 1.01446743e-27

C90 -3.33519044e-33 -1.06106677e-25 1.6816192e-27

C91 1.23680832e-37 -1.19313335e-31 -2.71357479e-33

C92 -9.03440827e-38 -1.80330817e-31 -1.74261309e-32

C93 4.57341443e-37 -1.09069776e-31 7.60318973e-33

C94 -1.38523503e-36 -3.68860396e-31 1.17626352e-31

C95 1.96172103e-36 4.55551335e-31 4.48586227e-31

C96 -3.50518487e-36 -3.71892965e-30 2.0452296e-30

C97 3.51262581e-36 5.01002689e-31 4.16955093e-30

C98 -2.48380109e-36 8.15317937e-30 1.20870948e-29

C99 4.13031276e-36 -7.00949406e-30 1.50509718e-29

C100 1.72355339e-36 1.1 1130701e-28 3.61483308e-29 Koeffizient M10 M9 M8

C101 3.49346439e-36 -1.59359291 e-29 4.40622993e-29

C102 4.30744991 e-36 5.48047508e-28 4.65229998e-29

C103 2.52953656e-36 -1.24182701 e-28 2.3617431 1 e-29

C104 4.51055408e-36 6.4065681 1 e-28 2.24040635e-29

C105 1.807641 18e-39 -3.16315789e-34 -1.09239757e-35

C106 3.07818065e-39 4.04424696e-34 3.35557725e-35

C107 2.160031 13e-38 -5.26151375e-33 1.06155389e-34

C108 1.18062008e-38 3.371 18405e-33 1.17821099e-33

C109 6.48026916e-38 -1.8535072e-32 1.09231 184e-33

C1 10 2.19026165e-38 5.55724738e-32 1.25998384e-33

C1 1 1 9.9340746e-38 -2.23702122e-32 7.44224473e-33

C1 12 2.49653899e-38 2.54533652e-31 2.86919935e-32

C1 13 9.90492566e-38 3.78557904e-31 5.03470028e-32

C1 14 1.370791 e-38 3.58179389e-31 6.06321 14e-32

C1 15 6.6102397e-38 1.83602982e-30 1.38864616e-31

C1 16 4.49616406e-39 -1.42418038e-31 1.77435951 e-31

C1 17 2.79918463e-38 5.691 1719e-30 1.51526766e-31

C1 18 6.30215372e-39 -1.26649646e-30 8.57375273e-32

C1 19 1.35699367e-38 7.5732312e-30 6.79229953e-32

C120 -2.4016395e-43 0 0

C121 -1.68056166e-42 0 0

C122 -3.03542837e-42 0 0

C123 -1.37490751 e-44 0 0

C124 -9.74855733e-42 0 0

C125 2.30858975e-41 0 0

C126 -1.69728013e-41 0 0

C127 6.98951603e-41 0 0

C128 -1.87890942e-41 0 0

C129 9.29495656e-41 0 0

C130 -1.64942941 e-41 0 0

C131 5.98352457e-41 0 0

C132 -1.20246816e-41 0 0

C133 1.28903688e-41 0 0

C134 -6.51 1 19296e-42 0 0

C135 -5.46948673e-42 0 0

C136 -1.35206305e-44 0 0

C137 -7.54660554e-45 0 0

C138 -1.45300303e-43 0 0

C139 -2.71768523e-44 0 0

C140 -5.63905003e-43 0 0

C141 -5.00905855e-44 0 0

C142 -1.1900256e-42 0 0

C143 -6.7177936e-44 0 0

C144 -1.56055225e-42 0 0

C145 -4.30042481 e-44 0 0

C146 -1.33037884e-42 0 0

C147 -1.06351734e-44 0 0

C148 -7.15797783e-43 0 0

C149 -6.75538304e-45 0 0

C150 -2.31294168e-43 0 0

C151 -1.6421073e-44 0 0

C152 -5.251 19756e-44 0 0

Tabelle 3a zu Fig. 9 Koeffizient M7 M6 M5

KY 0.00000000 0.00000000 0.00000000 KX 0.00000000 0.00000000 0.00000000 RX -617.73932560 -1167.99078700 -29345.91143000

C3 1.27429539e-07 3.29884437e-06 1.85960059e-06 C4 -2.25621844e-05 2.21289283e-05 -3.2069275e-05 C5 2.38399505e-06 -7.91535406e-06 -7.78290856e-07 C6 -4.35760428e-09 -4.95816443e-08 2.29052285e-08 C7 6.31759573e-08 -2.1211811e-07 1.03404823e-07 C8 -1.27083787e-08 -2.50490996e-08 2.19859281 e-08 C9 -2.52803838e-09 -6.52454389e-08 -3.1 1919916e-08 C10 2.25008061 e-11 -8.49282344e-11 -6.15432265e-10 C11 2.81816928e-12 4.56495246e-11 -1.42445318e-10 C12 3.15855625e-10 1.28695967e-10 -6.85114579e-11 C13 -8.32232629e-11 1.43964027e-10 -9.9013826e-12 C14 -7.83655403e-10 2.69076341 e-10 -6.64098556e-11 C15 -4.7795303e-14 -1.67946696e-13 9.38049124e-14 C16 9.34244729e-14 -6.36291649e-13 -6.57554664e-13 C17 3.68697684e-14 -5.74382279e-13 -1.56277255e-13 C18 5.49756916e-13 -1.75012449e-12 9.82970189e-14 C19 -6.33753238e-13 -1.27507344e-12 4.00887539e-14 C20 -9.63691349e-13 -1.72801006e-12 3.80354545e-14 C21 3.50703436e-16 3.87598262e-16 1.67211962e-16 C22 -5.2698797e-17 1.03179586e-15 3.36467022e-16 C23 -2.01729635e-15 4.88196061e-15 -6.23601058e-16 C24 1.1 1491612e-15 6.56318051 e-15 -2.90869655e-16 C25 5.7046483e-15 1.1074357e-14 -1.26278573e-17 C26 -5.44592821 e-15 4.67660369e-15 -8.80411579e-17 C27 -1.99184366e-14 7.0499368e-15 5.93667382e-17 C28 -2.73069717e-19 -1.02010328e-18 -1.96903262e-19 C29 6.87853864e-19 -7.54940363e-18 8.27250204e-19 C30 -2.56748772e-18 -1.42190957e-17 4.97041655e-19 C31 -3.18422703e-18 -3.05976845e-17 -3.26090237e-19 C32 1.69055264e-17 -2.00189422e-17 1.51418817e-19 C33 4.21680795e-17 -4.97239146e-17 6.47252113e-19 C34 -2.6115226e-17 -3.49897198e-17 1.94617933e-19 C35 -5.96869509e-17 -3.15680777e-17 1.86918425e-19 C36 -3.82548911e-22 4.09279336e-21 5.01062854e-21 C37 -5.19575781 e-22 1.07115655e-20 -1.0762445e-21 C38 2.03385145e-20 4.13189582e-20 3.42149661e-22 C39 -1.79100185e-20 2.29344559e-20 4.37190631 e-22 C40 -3.57840694e-20 1.85187806e-19 1.74251182e-21 C41 1.83440634e-19 2.8119841e-19 -1.83397017e-22 C42 5.49135708e-19 4.36315577e-19 3.69710411 e-22 C43 1.06543071 e-19 3.12138451e-19 8.51872356e-22 C44 1.21925287e-18 2.86963117e-19 7.80587451 e-22 C45 1.44247787e-24 -7.31326027e-24 3.1 1054555e-23 C46 2.88467609e-23 1.53331288e-24 3.1 1502547e-23 C47 5.97373338e-23 1.89190334e-22 -8.92572341 e-24 C48 1.58648567e-24 -8.64534463e-23 -1.55935242e-23 C49 -3.09919306e-22 -8.57442846e-22 -2.03267206e-23 C50 -4.14660507e-22 -2.60138548e-21 -3.002114e-23 C51 3.57194739e-22 -3.69209219e-21 -8.86117171 e-24 C52 2.28961056e-21 -6.45942906e-21 -1.55348848e-23 C53 -5.18235077e-21 -4.87311426e-21 -9.36188118e-26 Koeffizient M7 M6 M5

C54 4.29353466e-21 -5.4056795e-21 -7.15781971e-24 C55 1.74585395e-26 -5.2927905e-26 6.24835526e-27 C56 -6.24303793e-26 -6.58097875e-25 1.12203981 e-25 C57 -3.50502183e-25 -1.63359545e-24 1.66816166e-25 C58 1.01596314e-25 -1.91651592e-24 -2.45193789e-26 C59 -1.57408117e-24 7.2288557e-25 -2.63582311e-26 C60 -2.90157649e-24 9.28218411e-24 -5.15811404e-26 C61 -1.19803781 e-23 3.19150478e-23 4.17237819e-27 C62 -2.03082377e-23 5.51962094e-23 -6.5063659e-26 C63 -9.21840738e-23 8.54534709e-23 -1.29087978e-26 C64 -2.45898149e-22 5.02402238e-23 -5.72063712e-26 C65 -6.69121368e-22 5.7703217e-23 6.51762404e-27 C66 -6.78798838e-29 8.33053402e-28 -7.15027656e-28 C67 -5.76958079e-28 3.64527374e-27 -2.20091631 e-28 C68 -9.821236e-28 7.0917047e-27 4.96283484e-28 C69 -2.25832469e-27 1.82675633e-26 9.60568939e-28 C70 6.94106622e-27 2.19714238e-26 1.08947892e-27 C71 -3.21363982e-27 -4.3778626e-27 1.30716418e-27 C72 -2.84637307e-26 -1.30407708e-25 1.05125416e-27 C73 -1.89913218e-25 -3.13238004e-25 9.66749774e-28 C74 1.2606946e-25 -4.70313048e-25 4.07451556e-28 C75 -4.89337449e-25 -6.72484017e-25 3.61339651 e-28 C76 -1.97076539e-24 -3.3518749e-25 -4.4979585e-29 C77 -7.01130497e-24 -3.52714689e-25 1.43235109e-29 C78 -3.21175166e-31 -2.46475332e-30 -7.90097424e-31 C79 1.79642082e-30 -5.49977772e-30 -2.86032827e-30 C80 -3.565381 e-31 -2.63036882e-29 -2.45828875e-30 C81 2.72186312e-30 -4.45962718e-29 2.44258387e-30 C82 2.60900753e-29 -1.08024761 e-28 4.71297157e-30 C83 2.41775367e-31 -4.24407494e-30 4.47769183e-30 C84 6.50582625e-29 9.71867528e-29 2.54844088e-30 C85 4.24201483e-28 7.56754168e-28 2.01889476e-30 C86 7.75773024e-28 1.88074746e-27 2.25387754e-31 C87 8.20066246e-27 2.56300029e-27 1.61876064e-30 C88 2.04995609e-26 3.08688739e-27 4.98988201 e-31 C89 2.7348207e-26 1.27362775e-27 1.26895034e-30 C90 5.66615315e-26 1.21466039e-27 2.13425743e-31 C91 4.29576454e-34 -2.71611966e-33 5.7462581 e-33 C92 6.00260385e-33 7.41820123e-33 9.954783e-36 C93 1.05659008e-32 4.35931619e-32 -7.13692741e-33 C94 7.63435487e-32 7.81613481 e-32 -1.46926736e-32 C95 -9.0866934e-32 -1.67464221 e-31 -1.81454354e-32 C96 2.40331992e-31 3.13597812e-31 -2.27650155e-32 C97 2.19888462e-31 4.22682529e-31 -2.33600841 e-32 C98 2.49321496e-30 -5.64260336e-31 -2.45090228e-32 C99 8.92460625e-30 -3.26626046e-30 -1.29173279e-32 C100 2.99569136e-29 -6.31876633e-30 -1.37539544e-32 C101 8.41152655e-29 -7.2266184e-30 -3.62946399e-33 C102 2.58445551 e-28 -7.41325471e-30 -5.08053819e-33 C103 4.88933663e-28 -2.54510112e-30 3.42903193e-34 C104 1.20786048e-27 -2.20790765e-30 -9.32392622e-34 C105 3.8253463e-36 1.43857832e-35 4.87013431 e-36 C106 -1.19190273e-35 -2.37268792e-35 2.086317e-35 C107 7.41887621e-35 -6.74721461e-35 1.18413223e-35 Koeffizient M7 M6 M5

C108 -4.15169515e-35 1.60356664e-34 -4.12970227e-35

C109 4.62032924e-34 1.62077585e-34 -7.38801917e-35

C1 10 -3.32600049e-34 8.10774349e-35 -9.49441952e-35

C1 1 1 -1.07550683e-34 -1.04081789e-33 -7.321 14359e-35

C1 12 3.62394667e-33 -9.68642519e-34 -6.59376639e-35

C1 13 2.2338417e-32 2.13441879e-33 -2.242661 16e-35

C1 14 3.76966065e-32 6.31627301 e-33 -3.30722389e-35

C1 15 1.10542649e-31 8.19823028e-33 4.64795234e-36

C1 16 2.70877922e-31 7.45650086e-33 -1.77036584e-35

C1 17 9.31370751 e-31 7.17153796e-33 2.6662343e-36

C1 18 2.03310676e-30 2.29177463e-33 -9.68454249e-36

C1 19 5.01547572e-30 1.7171701 1 e-33 1.02965579e-36

Tabelle 3b zu Fig. 9

Koeffizient M4 M3 M2

KY 0.00000000 0.00000000 0.00000000 KX 0.00000000 0.00000000 0.00000000 RX 2533.62835600 1735.60518400 161 1 .34543900

C3 -4.43189223e-06 -7.37063601 e-06 -3.96445264e-06 C4 -1.57858051 e-05 1.03796909e-05 -2.95595738e-05 C5 -6.90899217e-06 7.68143946e-06 -1.59853218e-06 C6 1.50150907e-08 -4.98320289e-08 1.86030097e-08 C7 2.91901958e-07 -1.04832607e-08 -4.1827748e-07 C8 4.51863432e-08 -8.29293799e-09 1.77256982e-07 C9 7.63857497e-08 -6.38441346e-08 -4.49765302e-07 C10 -2.12009293e-10 4.68310782e-10 1.45444828e-10 C1 1 -9.91878389e-1 1 -1.44564321 e-1 1 -1.63845132e-1 1 C12 2.48713809e-10 3.69582182e-10 3.39132325e-10 C13 -2.78204015e-1 1 -1.55432132e-10 -6.4651799e-10 C14 1.06941409e-10 -1.82554995e-1 1 1.08239689e-09 C15 9.78183915e-14 -3.40317349e-14 4.25233127e-14 C16 2.76886658e-13 -1.4823847e-12 -9.20563901 e-13 C17 -1.34544065e-13 -4.62427003e-13 -3.3012071 1 e-13 C18 -3.12893235e-13 1.03268854e-12 2.39417621 e-13 C19 -6.88156627e-14 -1.35233971 e-13 2.17439079e-12 C20 -2.69637243e-13 -3.97722551 e-13 -2.59902436e-12 C21 2.13803809e-16 -7.38592171 e-16 -2.89945726e-16 C22 9.76286021 e-17 5.0321347e-16 1.84130851 e-17 C23 2.2456694e-16 1.96446653e-15 2.06542046e-15 C24 4.64056691 e-16 -1.32137066e-15 3.63043333e-15 C25 -1.26492653e-15 5.3351625e-15 -4.35970315e-15 C26 -1.79866467e-17 -4.09035094e-15 -6.75639105e-15 C27 -7.50160887e-16 1.27934767e-15 5.40986721 e-15 C28 2.77013184e-19 2.03226391 e-18 -1.02329305e-19 C29 -2.40143139e-18 3.8717241 e-18 3.01987522e-18 C30 -6.19558573e-19 2.86932481 e-18 9.1 1443547e-19 C31 -2.64508232e-18 -9.30386042e-18 -3.05371564e-18 C32 8.09217929e-19 -1.44165104e-17 -2.72015694e-17 C33 3.04851 179e-18 2.4466238e-17 2.95354218e-17 C34 -1.19339799e-18 -1.06946248e-17 1.40074279e-17 C35 1.67262673e-18 9.73718553e-19 -8.12925773e-19 C36 -6.62020445e-21 -1.33554812e-21 6.78673665e-22 Koeffizient M4 M3 M2

C37 -4.88731547e-21 -5.10121784e-21 1.68893217e-21 C38 9.25153899e-21 -8.5227291 e-21 -1.81720941 e-20 C39 -2.69179264e-21 3.70605909e-21 1.48555644e-21 C40 -2.56460318e-20 6.05627884e-21 -2.55336117e-20 C41 -1.42481696e-20 -3.66334505e-21 1.81378543e-19 C42 -2.10775145e-21 4.06580907e-20 -1.84187879e-19 C43 -1.13599996e-20 3.39436432e-21 3.29491546e-20 C44 -7.43902789e-21 -7.82718237e-21 -9.46077325e-20 C45 1.5389837e-22 -4.91888237e-23 2.09616377e-24 C46 -2.14446154e-23 -1.1888338e-22 -2.77455827e-23 C47 9.21719132e-23 1.18595377e-22 -5.45514241e-23 C48 -1.3301871 e-24 -2.29137446e-22 1.0318883e-22 C49 1.31098824e-23 4.39966399e-22 -9.74899225e-23 C50 -1.91137134e-22 -4.42075526e-22 3.5612699e-22 C51 1.17540869e-22 -1.94492441 e-22 -1.10623303e-21 C52 -1.648948e-22 6.44658404e-22 1.0616816e-21 C53 4.92845855e-23 -5.34552148e-22 -4.40094857e-22 C54 -1.17162923e-22 2.48598788e-22 6.56638299e-22 C55 2.75517537e-25 5.78352143e-26 1.23871766e-26 C56 4.04999104e-25 2.55745216e-25 -1.6136992e-26 C57 -6.93432705e-25 1.80375723e-25 2.62705073e-25 C58 3.78018837e-25 7.32975909e-26 2.40873011e-25 C59 7.09327515e-25 8.7689163e-25 -3.78770007e-25 C60 6.33974805e-25 -4.54069811 e-24 4.26838043e-25 C61 -2.84256867e-25 1.0589867e-23 -3.04878816e-24 C62 1.34626415e-24 -2.00410364e-23 5.98601523e-24 C63 3.94969713e-25 2.61530975e-23 -5.45877567e-24 C64 3.68884794e-25 -1.98071536e-23 1.88217349e-24 C65 3.03442615e-25 7.50446329e-24 -3.04459515e-24 C66 -5.1 1846672e-27 8.46154467e-28 -4.98888709e-29 C67 1.25728314e-27 3.44104345e-27 1.48817535e-28 C68 -3.98737889e-27 -6.30539431 e-27 1.04720244e-27 C69 -7.92397722e-28 1.35938814e-26 -1.70192493e-27 C70 1.04798051 e-27 -2.50800439e-26 1.50246362e-27 C71 1.00326786e-26 3.4716076e-26 4.55024509e-28 C72 1.04075477e-27 -3.14153544e-26 -8.55996493e-28 C73 7.94065858e-27 2.6452701 e-26 1.98502958e-26 C74 -5.01614636e-27 -5.54427421 e-27 -3.21086401e-26 C75 9.76436806e-27 -3.09626721 e-26 2.5712251e-26 C76 -9.46569967e-28 4.65349321 e-26 -6.34394055e-27 C77 2.48810828e-27 -2.58816706e-26 1.26132136e-26 C78 -1.31027327e-30 -7.15314442e-31 -2.97022562e-31 C79 -1.5353532e-29 -4.24397014e-30 1.36776011e-31 C80 1.8690568e-29 -1.44895602e-29 -2.34705801 e-30 C81 -1.84198544e-29 2.33085221 e-29 -5.8870283e-30 C82 -1.89931525e-29 -6.78888593e-29 5.12501885e-30 C83 -7.1976362e-30 1.82634035e-28 -7.57376158e-30 C84 2.45966594e-29 -3.65190027e-28 6.71891747e-30 C85 -3.15468638e-29 6.48974384e-28 1.90605751 e-29 C86 4.27470742e-29 -1.12626159e-27 -8.88152708e-29 C87 -2.96003381 e-29 1.62359757e-27 1.47403644e-28 C88 -1.90751449e-29 -1.71145511 e-27 -9.61115112e-29 C89 -8.17091937e-30 1.1292054e-27 2.40651898e-29 C90 -6.66344263e-30 -3.72323513e-28 -4.13613068e-29 Koeffizient M4 M3 M2

C91 5.3721515e-32 -4.20612362e-33 4.29124127e-34 C92 -1.33959567e-32 -4.80600425e-32 -5.571 18438e-34 C93 5.31590194e-32 1.21662012e-31 -8.14026042e-33 C94 4.42182782e-32 -2.87430521 e-31 1.31559519e-32 C95 -2.56426583e-32 6.29968776e-31 -1.33625641 e-32 C96 -1.7373918e-31 -1.01719987e-30 -7.08929418e-33 C97 -1.77751394e-31 1.32202415e-30 -2.50924614e-32 C98 -2.55049744e-31 -1.66867387e-30 -4.41307603e-32 C99 2.92148765e-32 1.23507055e-30 -1.28712036e-31 C100 -2.24198364e-31 -2.20039736e-33 2.31328465e-31 C101 1.33706857e-31 -1.67989246e-30 -4.08409079e-31 C102 -2.23109141 e-31 2.41595945e-30 2.18305457e-31 C103 -2.13079318e-32 -1.92198263e-30 -6.4573015e-32 C104 -1.64492486e-32 7.37856538e-31 8.08998422e-32 C105 -5.25929815e-35 1.1 123459e-35 2.23708919e-36 C106 1.81878377e-34 -3.58108794e-35 -2.81584546e-36 C107 -1.75756881 e-34 3.98440303e-34 1.035794e-35 C108 2.50760748e-34 -9.19873872e-34 4.60962268e-35 C109 2.85764915e-34 1.99531802e-33 -2.73097366e-35 C1 10 -2.01502103e-34 -4.35791577e-33 9.06224192e-35 cm -5.2606974e-34 7.33255188e-33 1.01229595e-35

C1 12 -5.1575307e-34 -9.9496833e-33 1.13077041 e-34 C1 13 -1.75203345e-33 1.7399338e-32 8.14126049e-35 C1 14 8.87277909e-34 -3.14597631 e-32 2.3791368e-34 C1 15 -1.02548068e-33 5.10562442e-32 -2.58333995e-34 C1 16 1.36567513e-34 -6.57925837e-32 4.67402297e-34 C1 17 2.85928754e-34 6.22535982e-32 -2.10967146e-34 C1 18 1.05446666e-34 -3.58323237e-32 7.08938082e-35 C1 19 -6.24733851 e-35 1.05499886e-32 -6.64643364e-35 Tabelle 3c zu Fig. 9

Koeffizient M1

KY 0.00000000 KX 0.00000000 RX -2023.89089400

C3 1.19659531 e-06 C4 -2.8235891 e-06 C5 ^■ 7.99777239e-07 C6 3.0269017e-09 C7 -5.5829044e-08 C8 ^■ 1.06338986e-08 C9 3.43598891 e-09 C10 ^■ 7.16269795e-12 C1 1 ^■ 3.44369146e-12 C12 3.28442757e-1 1 C13 6.2923727e-12 C14 8.23527669e-1 1 C15 1.06194876e-15 C16 ^■ 1.68573546e-14 C17 3.68745608e-15 C18 ^■ 6.62207545e-14 C19 ^■ 1.36542301 e-15 Koeffizient M1

C20 2.39546538e-14

C21 -1.65633995e-18

C22 8.38102481 e-19

C23 3.33324984e-17

C24 -7.07634489e-18

C25 3.8644887e-16

C26 3.07297149e-17

C27 8.67551314e-17

C28 -1.6870877e-21

C29 4.64420318e-21

C30 -3.83036002e-21

C31 -8.37775976e-20

C32 1.6766928e-20

C33 -7.49375496e-20

C34 -3.17697764e-19

C35 7.49024285e-19

C36 -5.58333616e-25

C37 -1.31260156e-23

C38 -1.0130605e-23

C39 -7.48867509e-23

C40 6.73213122e-22

C41 2.10896185e-22

C42 1.51546671 e-21

C43 3.5870232e-21

C44 -2.63059962e-22

C45 1.95662885e-26

C46 -2.55761442e-26

C47 2.18390953e-25

C48 8.00809053e-26

C49 2.91556469e-25

C50 -1.69207383e-24

C51 -3.14172633e-24

C52 -9.9451745e-24

C53 -2.59710801 e-23

C54 -4.8356343e-24

C55 -2.09848089e-29

C56 2.53869202e-28

C57 -8.1 10691 14e-29

C58 2.1 1901812e-27

C59 -2.06006106e-28

C60 5.1492414e-27

C61 3.61971544e-26

C62 -8.04854802e-26

C63 1.72657373e-25

C64 -2.23631296e-25

C65 -5.29855331 e-26

C66 -1.10027232e-31

C67 2.70176777e-32

C68 -2.40869853e-30

C69 -5.06084848e-31

C70 -1.24406244e-29

C71 6.86750831 e-30

C72 2.69338415e-29

C73 -1.38049754e-28 Koeffizient M1

C74 3.52549551 e-28

C75 5.68312295e-28

C76 1.65212428e-27

C77 1.10627431 e-27

C78 1.54161747e-34

C79 -2.12564901 e-33

C80 2.31440344e-33

C81 -2.49719741 e-32

C82 3.71290519e-32

C83 -1.18548005e-31

C84 -6.14309506e-33

C85 3.20228614e-31

C86 -7.58237294e-31

C87 7.05599772e-30

C88 -1.1 1096923e-29

C89 1.03070516e-29

C90 2.73848914e-31

C91 2.59126367e-37

C92 -3.65790661 e-38

C93 9.71935348e-36

C94 6.58436258e-37

C95 9.31636681 e-35

C96 -6.49190212e-35

C97 5.21352396e-35

C98 4.73441099e-34

C99 -1.26501358e-33

C100 2.74831907e-33

C101 -7.38966559e-33

C102 -1.45840624e-32

C103 -4.48360821 e-32

C104 -2.83589656e-32

C105 -4.05742688e-40

C106 6.26257982e-39

C107 -7.5040322e-39

C108 8.9092128e-38

C109 -2.10877576e-37

C1 10 6.97539613e-37

C1 1 1 -9.24842331 e-37

C1 12 2.09031981 e-36

C1 13 -3.0858986e-36

C1 14 -2.74658616e-35

C1 15 2.26839163e-35

C1 16 -2.061 16456e-34

C1 17 2.80363986e-34

C1 18 -1.19823586e-34

C1 19 5.477175e-35

Tabelle 3d zu Fig. 9

Oberfläche DCX DCY DCZ

Bildebene 0.00000000 0.00000000 0.00000000

M10 0.00000000 0.00000000 615.05857291

AS -3.91096406 88.01722146 226.43879765

M9 -5.27999068 1 18.82750698 90.40307608 Oberfläche DCX DCY DCZ

M8 4.16749926 -92 43963159 1021 17392704 M7 6.72360415 -19 83205295 1269 38254073 M6 6.66165177 130 84285377 1423 54344528 M5 -6.19805846 563 56481 122 1598 33570373 M4 -55.41073727 121 1 93153198 1581 82230751 M3 -104.08637262 1550 83757144 1422 5645571 1 M2 -151.19171672 1746 89136240 1 173 1 1835960 M1 -240.54447609 1958 55685810 423 95400180

Objektebene 55.71899479 2100 66585161 2045 09546303 Tabelle 4a zu Fig. 9

Oberfläche TLA[deg] TLB[deg] TLC[deg]

Bildebene -0.00000000 0.00000000 -0.00000000 M10 6.38056384 0.28292653 0.01023733 AS -12.30710704 180.02506362 -0.18130907 M9 192.77489909 -0.56473286 -0.28320765 M8 88.24140030 0.00164226 0.62081404 M7 59.6803961 1 1.20261956 -2.10201954 M6 33.77348730 3.80410942 0.90690435 M5 9.92455020 6.761 10635 -1.36656510 M4 -14.06586809 7.42400727 5.10961552 M3 -38.80703899 2.25120041 9.09625572 M2 -62.39781919 -4.87524299 7.25154733 M1 185.43484413 -8.57127779 -9.51394101

Objektebene -0.00000002 1 1.19998416 9.68769526 Tabelle 4b zu Fig. 9

Oberfläche AOI[deg] Reflektivität

M10 6.38680758 0.66140092 M9 0.01367179 0.66565924 M8 75.45374991 0.81 151423 M7 75.97758720 0.82007181 M6 78.14597709 0.85291832 M5 78.20864614 0.85381260 M4 78.10992682 0.85240262 M3 76.78736306 0.83279836 M2 78.86248461 0.86298185 M1 10.44917705 0.65360075

Gesarnttransmission 0.0854

Tabelle 5 zu Fig. 9

X[mm] Y[mm] Z[mm]

-1.25687879 151.99125500 0.00000000 -28.55304374 150.18484610 0.00000000 -55.37895927 144.73809187 0.00000000 -81.29899458 135.70915259 0.00000000 -105.84798673 123.20096859 0.00000000 -128.52088579 107.36479106 0.00000000 -148.771281 18 88.40457212 0.00000000 -166.02343248 66.58321264 0.00000000 X[mm] Y[mm] Z[mm]

-179.70023994 42. .23134163 0.00000000 -189.26451315 15. .75715613 0.00000000 -194.26599367 -12. .34550906 0.00000000 -194.38375747 -41. .49222543 0.00000000 -189.45418288 -71. .00668244 0.00000000 -179.48009578 -100. .124261 16 0.00000000 -164.62503716 -128. .00272197 0.00000000 -145.20214493 -153. .74377398 0.00000000 -121.66593881 -176. .42926141 0.00000000 -94.60879977 -195. .17288472 0.00000000 -64.75701503 -209. .18391591 0.00000000 -32.95822005 -217. .83494626 0.00000000 -0.15421680 -220. .72269922 0.00000000 32.66122340 -217. .71038188 0.00000000 64.49387039 -208. .94275339 0.00000000 94.40026263 -194. .83065249 0.00000000 121.52903322 -176. .00822205 0.00000000 145.14684964 -153. .27151415 0.00000000 164.64999632 -127. .51006022 0.00000000 179.56825325 -99. .64261729 0.00000000 189.56961781 -70. .56523329 0.00000000 194.47126599 -41. .1 1518503 0.00000000 194.25481292 -12. .04981206 0.00000000 189.07645605 15. .96333548 0.00000000 179.26067862 42. .34878137 0.00000000 165.27226584 66. .62053220 0.00000000 147.67122237 88. .37641793 0.00000000 127.06195733 107. .29025589 0.00000000 104.04866606 123. .10226178 0.00000000 79.20453856 135. .60949270 0.00000000 53.05712072 144. .65854419 0.00000000 26.08810323 150. .14103106 0.00000000 Fig. 9: Blenden-Polygon auf Fläche AS

Eine Gesamt-Reflektivität der Projektionsoptik 21 beträgt 8,54 %.

Die Kippwinkel a _x , a _y , a _z , die die Verkippung des Objektfeldes 4 relativ zum Bildfeld 8 beschreiben, haben absolut und gerundet bei der Projektionsoptik 21 die folgenden Werte: a _x = 0, a _y = 11,2°, a _z = 9,7°. Das Objektfeld 4 ist relativ zum Bildfeld 8 also sowohl um eine Verlagerungsachse parallel zur Substratverlagerungsrichtung y als auch um eine Bildnormalenachse parallel zur Normalen z auf der Bildebene 9 verkippt.

Anhand der Fig. 12 bis 14 wird nachfolgend eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik 22 erläutert, die anstelle der Projektionsoptik 7 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 nach Fig. 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die vorstehend im Zusammenhang mit den Fig. 1 bis 5 bereits erläutert wurden, tragen gegebenenfalls die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.

Die Spiegel Ml bis MIO sind wiederum als Freiformflächen-Spiegel ausgeführt, für die die vorstehend angegebene Freiformf ächengleichung (1) gilt. Die optischen Designdaten der Projektionsoptik 22 können den nachfolgenden Tabellen entnommen werden, die in ihrem Aufbau den Tabellen zur Projektionsoptik 7 nach Fig. 2 entsprechen.

Ausführungsbeispiel Fig. 12

NA 0.55

Wellenlaenge 13.5 nm beta_x 4.0 beta_y -8.0

Feldgroesse_x 26.0 mm

Feldgroesse_y 1.2 mm

Feldkruemmung -0.012345 1/mm

Blende AS

Tabelle 1 zu Fig. 12

Oberfläche Radius_x[mm] Power_x[1/mm] Radius_y[mm] Power_y[1/mm] Betriebsmodus

M10 -737.6520783 0.0026945 -694.8346910 0.0028964 REFL

M9 1275.9367122 -0.0015675 348.5826804 -0.0057375 REFL

M8 -842.6168832 0.0005962 15014.1916164 -0.0005304 REFL

M7 -656.9981867 0.0007376 -5930.8598504 0.0013917 REFL

M6 -1265.1401601 0.0003247 30429.1244787 -0.0003200 REFL

M5 43932.2695742 -0.0000093 -2823.5961 1 16 0.0034662 REFL

M4 2653.2844565 -0.0001553 -2873.3330874 0.0033783 REFL

M3 1938.2667823 -0.0002358 -9720.5705834 0.0009002 REFL

M2 1784.0897130 -0.0002165 2770.6405827 -0.0037370 REFL

M1 -2174.7776675 0.0009044 -1353.9612038 0.0015020 REFL

Tabelle 2 zu Fig. 12

Koeffizient M10 M9 M8

KY 0.00000000 0.00000000 0.00000000 KX 0.00000000 0.00000000 0.00000000 RX -737.65207830 1275.93671200 -842.61688320

C3 1.3881 1 176e-06 -8.70056326e-06 -1.07831526e-05 C4 1.29338658e-06 1.16298776e-05 4.98024137e-05 C5 2.31851057e-06 -1.2996644e-05 -5.48852494e-06 C6 -6.30901677e-09 1.44865038e-07 8.64529989e-09 C7 1.33482023e-08 -7.25853567e-07 4.97149488e-07 C8 -1.23281087e-09 7.82956066e-08 4.41281269e-08 C9 1.99172149e-08 1.41520012e-06 1.96107022e-07 C10 -8.6478085e-12 1.21075765e-09 4.16096259e-12 C1 1 6.09458437e-13 1.24154678e-1 1 1.4637806e-10 C12 -5.13687901 e-1 1 4.89392922e-09 1.54632443e-10 Koeffizient M10 M9 M8

C13 3.79345171e-12 9.8658842e-10 2.26875872e-10

C14 -2.05680697e-11 9.06795127e-09 -2.31403015e-11

C15 -1.14229481e-14 -2.27615097e-14 -2.29368234e-14

C16 4.16177252e-15 -3.60403749e-12 1.19385415e-12

C17 -9.66886202e-15 1.91677615e-12 3.42289053e-13

C18 4.16878408e-14 -6.50857986e-13 3.31684196e-13

C19 -7.80957891 e-16 3.94535569e-12 6.12882735e-13

C20 2.71829137e-14 3.6478037e-11 -4.24289727e-13

C21 -3.58586544e-17 5.89879694e-15 3.73806001 e-16

C22 1.60375935e-18 -5.46538254e-15 6.78278542e-16

C23 -1.712186e-16 4.28097906e-14 -2.28239781 e-16

C24 8.78698569e-18 9.30406901 e-15 3.34056721 e-15

C25 -1.84316615e-16 1.26691722e-13 1.42522101 e-15

C26 6.88787507e-18 3.57687405e-14 2.70659703e-15

C27 -5.4201044e-17 2.5192202e-13 1.13393435e-15

C28 -1.573175e-20 1.1805567e-17 2.65984979e-19

C29 -5.6519945e-21 -4.08468748e-17 1.40440598e-18

C30 -3.30658426e-20 2.47483727e-18 3.2517015e-18

C31 6.77430259e-20 -6.33861733e-17 8.10626144e-18

C32 -1.6746246e-20 8.62425928e-17 1.06394744e-17

C33 1.08277472e-19 3.19603121e-16 1.68318044e-17

C34 -1.21204555e-21 2.22738166e-16 1.70164906e-17

C35 4.36584107e-20 1.22304453e-15 2.05628929e-17

C36 -8.04146209e-23 2.43684703e-20 -1.15662058e-21

C37 -3.04992429e-25 3.16771597e-20 9.25944406e-23

C38 -4.51621767e-22 2.95964403e-19 8.73796735e-21

C39 1.50408571e-23 -1.44308667e-19 1.86258727e-20

C40 -7.64775093e-22 1.61644337e-18 7.52996524e-20

C41 2.24282912e-23 1.75887317e-19 6.03032687e-20

C42 -5.14251453e-22 4.35282809e-18 1.67072567e-19

C43 1.20791435e-23 1.31030404e-18 1.01933111e-19

C44 -1.2029738e-22 8.25213794e-18 1.47550402e-19

C45 -2.00299685e-26 -6.57805807e-23 1.50293562e-24

C46 -2.02150764e-26 2.15091599e-23 3.8725576e-23

C47 -8.42226381 e-26 1.09936373e-21 1.24496877e-22

C48 8.60874454e-26 -1.78396588e-21 3.18222366e-22

C49 -9.16639448e-26 2.10281751e-21 6.73342966e-22

C50 2.93460675e-25 2.98199247e-21 1.1261794e-21

C51 -4.37331006e-26 5.90031437e-21 1.47661107e-21

C52 2.7481277e-25 2.76852828e-20 1.52457797e-21

C53 -1.0420527e-26 1.43192595e-20 1.02421781 e-21

C54 9.51402434e-26 6.57489612e-20 6.76609479e-22

C55 -1.48014377e-28 5.54728454e-25 4.1410576e-26

C56 3.15487824e-30 -9.23722728e-25 -8.66343982e-26

C57 -8.52457716e-28 4.65695504e-24 -2.0171038e-25

C58 7.57543236e-29 4.70155742e-24 4.35928067e-25

C59 -2.02975743e-27 1.19378083e-23 1.42540543e-24

C60 1.24741356e-28 2.94723745e-23 6.0052356e-24

C61 -2.20662794e-27 6.296696e-23 6.35164592e-24

C62 1.04773772e-28 1.44939585e-22 1.49905388e-23

C63 -1.08885669e-27 1.88967279e-22 7.43144759e-24

C64 2.04150338e-30 1.5540713e-22 8.5055388e-24

C65 -1.60774492e-28 3.30334014e-22 5.44671757e-24

C66 -7.24452497e-32 1.80656466e-27 -2.54225241 e-29 Koeffizient M10 M9 M8

C67 -4.78935914e-32 -1.33039195e-26 -8.24625163e-28

C68 -2.70959358e-31 -1.82543403e-26 -1.44886635e-27

C69 2.69443709e-31 -7.80171203e-27 -4.4832876e-27

C70 -4.63430629e-31 -1.34698669e-27 -1.72109948e-26

C71 1.0934242e-30 2.59139131e-26 -3.07944522e-26

C72 -2.93458578e-31 -1.4369904e-25 -5.57399975e-26

C73 1.3166196e-30 1.82971798e-25 -5.98854832e-26

C74 1.58409651 e-32 2.43695713e-25 -5.5969797e-26

C75 7.77309537e-31 3.13046989e-25 -1.90873702e-26

C76 7.30019261 e-32 -1.07079863e-26 1.76845323e-26

C77 1.07072606e-31 -7.60036979e-25 4.66690055e-26

C78 -5.56373328e-34 -5.91507758e-30 1.16268242e-31

C79 -1.15401295e-34 -2.19440141e-29 3.06175568e-30

C80 -4.47806883e-33 2.51358957e-29 1.2027059e-29

C81 -4.29499212e-34 -2.20573714e-28 5.24139184e-30

C82 -1.25589096e-32 7.0691415e-28 -9.00363817e-30

C83 -3.87361787e-34 -6.28310778e-28 -7.32578952e-29

C84 -1.70695275e-32 1.11918526e-27 -1.5066976e-28

C85 3.12262209e-35 -3.31329003e-27 -5.87234381 e-28

C86 -1.27985519e-32 3.0702235e-27 -4.536676e-28

C87 2.82474701 e-34 -1.0916131e-26 -9.37042009e-28

C88 -5.36903962e-33 1.06097153e-26 -3.29885192e-28

C89 4.42263319e-34 -2.75526726e-27 -1.83593321 e-28

C90 -1.28280281 e-33 1.15911143e-26 -1.0972183e-28

C91 -4.58907047e-39 -8.26312497e-33 1.44142362e-35

C92 -1.1 1550193e-37 1.30696142e-31 9.15732914e-33

C93 1.6464712e-37 3.96408943e-31 6.92987539e-33

C94 -8.63636547e-37 -5.29422685e-31 8.92327083e-32

C95 3.4203708e-37 9.77550171e-31 3.60663384e-31

C96 -2.31602742e-36 -1.62086288e-30 8.8508134e-31

C97 5.30539065e-37 5.62177318e-30 2.10013185e-30

C98 -1.46633224e-36 4.87778129e-30 3.51722997e-30

C99 -1.19191069e-37 4.45350089e-29 5.16981438e-30

C100 5.5337152e-37 6.47015939e-29 4.71979275e-30

C101 -8.33392331 e-37 2.85780628e-29 3.83212088e-30

C102 2.18378435e-37 1.86537714e-28 1.44275153e-31

C103 -4.75649312e-37 1.34636329e-28 -9.30307386e-31

C104 2.75779466e-37 3.59831364e-28 -3.39246702e-30

C105 8.71560356e-40 1.55460509e-34 -7.58283518e-36

C106 6.55244783e-40 4.04329544e-34 -1.71235883e-35

C107 8.46672127e-39 7.1345005e-34 -1.03673557e-34

C108 3.03012852e-39 2.21183358e-33 8.1 1378795e-35

C109 2.84411462e-38 -8.39960852e-33 4.17939311e-34

C110 4.42143497e-39 1.20808912e-32 9.37127052e-34

C111 4.54706877e-38 -1.05067798e-32 4.88597783e-33

C112 4.14200122e-39 6.27285804e-32 1.4989237e-32

C113 4.05191767e-38 1.32622529e-31 2.51562827e-32

C114 7.81221048e-40 4.90470409e-31 4.87305675e-32

C115 2.31593641e-38 5.24260138e-31 3.74821609e-32

C116 -2.6657255e-39 7.18898214e-31 4.20703297e-32

C117 8.74165974e-39 9.52623658e-31 7.38279654e-33

C118 -2.59996988e-39 9.7393631e-31 -7.062781 e-34

C119 2.96244984e-39 1.67773046e-30 -1.18064982e-32

C120 -4.37017889e-43 0 0 Koeffizient M10 M9 M8

C121 -2.58347307e-43 0 0

C122 -3.61710494e-42 0 0

C123 2.0458798e-42 0 0

C124 -1.01332253e-41 0 0

C125 1.65916272e-41 0 0

C126 -1.56131013e-41 0 0

C127 3.83896747e-41 0 0

C128 -1.39255034e-41 0 0

C129 4.35913335e-41 0 0

C130 -5.3242821 e-42 0 0

C131 2.81253227e-41 0 0

C132 2.78137502e-43 0 0

C133 1.1349806e-41 0 0

C134 7.10952892e-43 0 0

C135 1.5857746e-42 0 0

C136 -5.17332937e-45 0 0

C137 -1.38105534e-45 0 0

C138 -5.10189565e-44 0 0

C139 -6.46958741 e-45 0 0

C140 -2.05914563e-43 0 0

C141 -8.7049429e-45 0 0

C142 -4.44430904e-43 0 0

C143 -1.83729431 e-45 0 0

C144 -5.73081944e-43 0 0

C145 8.84377178e-46 0 0

C146 -4.68083358e-43 0 0

C147 9.87303642e-45 0 0

C148 -2.4194515e-43 0 0

C149 1.30646067e-44 0 0

C150 -7.31655706e-44 0 0

C151 6.56628002e-45 0 0

C152 - 1.21640418e-44 0 0

Tabelle 3a zu Fig. 12

Koeffizient M7 M6 M5

KY 0.00000000 0.00000000 0.00000000 KX 0.00000000 0.00000000 0.00000000 RX -656.99818670 -1265.14016000 43932.26957000

C3 -3.49585501 e-06 8.7741 18e-06 2.90776417e-05

C4 -5.83289597e-07 2.20042046e-05 -3.71212736e-05

C5 2.13426375e-05 -2.40088885e-05 -8.76579832e-07

C6 -2.06667688e-08 -6.19309023e-08 9.42010537e-09

C7 -1.51429812e-08 -1.49488375e-07 8.34379138e-08

C8 -4.47760777e-08 1.06665337e-08 -9.20578601 e-09

C9 3.33797589e-08 -3.28501046e-08 -3.92150503e-08

C10 1.13362732e-1 1 -9.02633874e-12 -4.36733851 e-10

C1 1 6.03730194e-1 1 -5.50955133e-1 1 -1.39937479e-10

C12 1.85841017e-10 1.39795626e-1 1 -5.18078234e-1 1

C13 8.05577146e-1 1 -2.70960255e-1 1 -1.10867342e-1 1

C14 -2.79478673e-10 -3.95600202e-1 1 -1.45064075e-1 1

C15 -7.30510827e-14 -4.19876875e-14 -1.431 14365e-13

C16 -4.95685714e- 14 -2.73264512e-13 -7.5626471 e-13 zient M7 M6 M5

C17 7.27404436e-14 4.40744898e-14 -2.69862773e-13

C18 -1 .9584671 1 e-14 5.55754817e-14 -6.95369182e-14

C19 -6.83136354e-13 -3.70347964e-13 6.14886604e-15

C20 3.18689548e-15 -3.56036073e-13 -1 .80924728e-14

C21 1 .25896963e-16 1 .86862786e-16 3.06006025e-16

C22 2.83510199e-17 1 .23851903e-16 3.34209123e-17

C23 -5.9407325e-16 7.38414816e-16 -2.0793785e-16

C24 -1 .4658346e-16 2.74129576e-15 2.99463294e-16

C25 -2.04984328e-16 2.526069e-15 5.48023555e-16

C26 1 .70721007e-15 -6.54130259e-16 2.08716937e-16

C27 -2.78479499e-15 -3.01519627e-16 2.33849768e-16

C28 -2.30253965e-19 -4.0929377e-19 7.23481074e-19

C29 6.72308388e-19 -2.94446439e-18 1 .65795319e-18

C30 -4.8056689e-19 -9.28457378e-18 2.8274688e-20

C31 1 .1393843e-18 -1 .10094614e-17 -1 .43605658e-18

C32 6.68288222e-18 5.7981821 e-18 -9.3359761 1 e-19

C33 1 .05132924e-17 2.13164599e-18 -8.61385733e-19

C34 1 .32615153e-18 -2.21494528e-18 -3.08785265e-19

C35 3.35769927e-17 -9.07187659e-19 -4.1700083e-19

C36 1 .05400687e-21 2.35823522e-21 -3.20091091 e-21

C37 1 .20935514e-21 1 .46060876e-20 -7.96099758e-22

C38 5.0500321 e-21 3.01492589e-20 5.1 1 146615e-21

C39 -2.40944405e-21 -6.1652524e-22 4.16417828e-21

C40 1 .12288843e-20 6.02378219e-20 5.02718928e-21

C41 -6.1 105935e-21 1 .31692852e-19 2.36412528e-21

C42 -1 .31 1 149e-19 1 .28669172e-19 3.1 1549288e-21

C43 -7.49966195e-20 7.36477303e-20 8.6372894e-22

C44 4.841 18414e-19 6.84982104e-20 1 .05083417e-21

C45 -6.47075441 e-25 -7.5595899e-24 8.85301462e-24

C46 -5.34173317e-24 -2.7048415e-23 -7.70673594e-24

C47 3.66657612e-24 2.67275913e-23 -1 .34687038e-23

C48 2.31472069e-23 -2.36684147e-22 -2.14905197e-23

C49 -6.47494789e-23 -9.85201075e-22 -2.84867223e-23

C50 -3.32349137e-22 -1 .68982529e-21 -4.36563878e-23

C51 -1 .83514253e-21 -2.3981 1984e-21 -3.00078298e-23

C52 -6.01357645e-21 -3.04920662e-21 -3.32681901 e-23

C53 -7.45469572e-21 -2.34964886e-21 -1 .4055376e-23

C54 -1 .23248356e-20 -1 .66404003e-21 -1 .06707659e-23

C55 -6.56217922e-27 -6.35759538e-27 7.9320879e-26

C56 -3.60121423e-26 -2.49627172e-25 9.75575616e-26

C57 -2.09208371 e-26 -2.59242161 e-25 8.60873393e-26

C58 -1 .12521783e-25 1 .14921951 e-24 1 .04302922e-25

C59 -1 .1 1227226e-24 3.22069063e-24 2.19585287e-25

C60 -1 .6898701 e-24 1 .00032767e-23 2.5010521 1 e-25

C61 1 .86499327e-24 2.16844591 e-23 2.69507073e-25

C62 2.09102685e-23 3.46260916e-23 1 .67594668e-25

C63 2.18358609e-23 4.05184247e-23 1 .17496126e-25

C64 -8.10130799e-23 2.85920284e-23 4.49438926e-26

C65 -4.6071 1 166e-22 1 .67664182e-23 2.40033088e-26

C66 -6.53661038e-31 2.28570423e-28 -1 .21 138965e-28

C67 1 .99530195e-28 1 .0574652e-27 3.10503765e-28

C68 2.85806188e-29 1 .03628063e-27 2.2246683e-28

C69 -1 .49516768e-27 4.22500987e-27 2.801 1 1623e-28

C70 -1 .88103141 e-27 3.05012756e-28 1 .65596995e-28 izient M7 M6 M5

C71 -7.4120351 1 e-27 -2.06008774e-26 3.6030305e-28

C72 3.5954388e-26 -9.1 1764392e-26 4.17390701 e-28

C73 2.576781 14e-25 -1.92558972e-25 6.09042348e-28

C74 9.83425535e-25 -2.86954228e-25 4.55675479e-28

C75 2.01391687e-24 -3.04329906e-25 4.55737143e-28

C76 6.4354816e-25 -1.95451746e-25 1.79933655e-28

C77 -1.87052836e-24 -9.64180416e-26 9.38509213e-29

C78 -3.7622065e-32 -6.37884978e-31 -1.13385254e-30

C79 1.14287394e-31 3.94726641 e-31 -2.0565509e-30

C80 -2.13034633e-30 -6.58437923e-30 -1.12634236e-30

C81 5.43698508e-31 -1.9481 1368e-29 -1.2331 1793e-30

C82 7.90694876e-30 -4.61022151 e-29 -2.27045999e-30

C83 3.75337976e-29 -1.88488401 e-29 -4.62440232e-30

C84 1.18215979e-28 1.19760654e-28 -6.75924125e-30

C85 2.54672315e-28 5.2954997e-28 -6.52729036e-30

C86 1.68279215e-28 1.06024596e-27 -5.43165225e-30

C87 3.00852167e-28 1.41764809e-27 -2.97755978e-30

C88 1.20378805e-26 1.31728819e-27 -1.568301 19e-30

C89 2.29620259e-26 7.52323377e-28 -5.69482177e-31

C90 7.44055051 e-26 3.18882973e-28 -1.85140182e-31

C91 6.06098949e-35 -7.48023465e-34 6.20463201 e-34

C92 -1.29316709e-33 -1.99764082e-33 -3.03685027e-33

C93 1.56232998e-33 -1.72664195e-33 -2.27333053e-33

C94 2.85125238e-32 2.78907467e-32 -3.79649555e-33

C95 7.36521698e-32 9.47898321 e-32 -5.46767784e-33

C96 4.22840337e-31 2.36599146e-31 -1.23421781 e-32

C97 4.1604009e-31 1.22220679e-31 -1.63328415e-32

C98 -1.27291524e-30 -5.84088638e-31 -2.24263178e-32

C99 -1.20582175e-29 -1.92067263e-30 -2.04356561 e-32

C100 -5.4722497e-29 -3.12779203e-30 -2.07417752e-32

C101 -1.62849093e-28 -3.61983027e-30 -1.21718777e-32

C102 -1.3842254e-28 -3.03091387e-30 -9.07378058e-33

C103 1.66693782e-28 -1.57843327e-30 -2.90503567e-33

C104 9.64942928e-28 -5.81372135e-31 -1.41709762e-33

C105 9.18108418e-37 2.87541028e-36 6.54128025e-36

C106 3.09503186e-36 -2.08170865e-36 1.60955556e-35

C107 3.19139691 e-35 1.78624452e-35 1.091 10628e-35

C108 3.33533189e-35 4.09329595e-35 1.59452876e-35

C109 2.86514439e-34 -1.1893302e-34 3.37136576e-35

C1 10 5.22153524e-34 -3.50424781 e-34 7.3250576e-35 cm 1.76518525e-33 -3.10763458e-34 1.26090661 e-34

C1 12 -1.99028833e-33 1.62773924e-34 1.51603273e-34

C1 13 -2.67754497e-32 1.12070513e-33 1.66530667e-34

C1 14 -1.09817136e-31 2.60269125e-33 1.32050237e-34

C1 15 -3.65194938e-31 3.70845463e-33 1.01400098e-34

C1 16 -1.04256128e-30 3.83047145e-33 5.17171688e-35

C1 17 -1.26995932e-30 2.91972707e-33 2.92684458e-35

C1 18 2.17030631 e-31 1.40305213e-33 8.99354534e-36

C1 19 3.4349735e-30 4.54069476e-34 3.52527258e-36

Tabelle 3b zu Fig. 12

Koeffizient M4 M3 M2

KY 0.00000000 0.00000000 0.00000000 Koeffizient M4 M3 M2

KX 0.00000000 0.00000000 0.00000000 RX 2653.28445700 1938.26678200 1784.08971300

C3 -4.64978124e-07 -1.87277398e-05 -1.40955599e-05 C4 -4.37598788e-05 -3.3679656e-05 1.67143116e-05 C5 -9.18785988e-06 1.47157626e-05 -3.92982237e-06 C6 1.65091191 e-08 -6.89944235e-08 -6.4377731 e-08 C7 1.75386606e-07 1.32152095e-08 -3.38066683e-07 C8 3.62554657e-08 -2.10247344e-08 -1.7180913e-07 C9 3.87976815e-08 -7.55317455e-08 -4.1571997e-07 C10 -1.47352955e-10 3.75364091 e-10 8.27956966e-11 C11 4.20391203e-12 1.0610766e-10 7.0946697e-11 C12 2.34107976e-10 1.96337828e-10 2.48731271e-10 C13 4.0970226e-11 5.53446226e-11 8.01429703e-10 C14 4.79187549e-11 -1.99565125e-11 1.04935636e-09 C15 -4.07869905e-14 -4.08079042e-13 -1.27847122e-13 C16 2.98405322e-13 -9.94286876e-13 -3.65079362e-13 C17 -9.13160715e-14 6.69857524e-13 1.35168915e-13 C18 7.43176876e-15 8.80650733e-13 3.41746305e-15 C19 -7.28435702e-14 -3.95706994e-13 -3.15766807e-12 C20 -1.23825183e-13 -5.15911329e-13 -2.65801316e-12 C21 8.37968808e-16 -4.56383176e-17 9.24914709e-17 C22 5.08215795e-17 1.18777413e-15 6.49318413e-16 C23 2.36068419e-16 2.30598199e-15 -3.1 1216501e-16 C24 -2.6545321 e-16 2.28621067e-15 -1.48356522e-15 C25 -7.22015798e-16 3.5289505e-15 -1.88756525e-15 C26 -4.02332479e-16 1.61208388e-15 1.14205138e-14 C27 -4.47080724e-16 4.03184194e-16 5.85450794e-15 C28 -5.13871087e-19 1.21697909e-18 9.65705065e-20 C29 -8.36604977e-19 2.05482483e-18 -1.04928971 e-18 C30 -6.99031484e-19 -4.30634201 e-18 -2.30647513e-18 C31 -1.29424329e-18 -4.53348784e-18 4.51838746e-18 C32 1.08137638e-18 1.21153483e-17 1.13748179e-17 C33 7.9340251 e-19 8.92101892e-18 1.37556528e-17 C34 -3.83779262e-19 -6.37316927e-18 -3.79720972e-17 C35 -1.08754622e-18 -4.49480807e-18 -9.28145351e-18 C36 -9.4243177e-21 1.21871992e-21 -4.45631833e-22 C37 -9.60176078e-21 -1.23013334e-20 -1.57336444e-21 C38 -4.48144062e-21 -2.65940138e-21 1.00781872e-20 C39 -9.74425323e-21 2.27300495e-20 7.61607068e-21 C40 -1.26811268e-20 5.06389139e-20 -2.65811849e-20 C41 -2.56500965e-22 7.37644242e-20 -6.60667747e-20 C42 -5.84321034e-21 8.16919879e-20 -7.30368058e-20 C43 -5.65666171 e-21 3.72046297e-20 1.162744e-19 C44 -6.65416805e-21 1.61238866e-20 -1.13950375e-20 C45 7.51487247e-23 -2.96101593e-23 6.30139676e-25 C46 7.63081943e-24 -5.23679776e-23 9.46055437e-25 C47 -1.05885895e-23 -7.09291586e-25 8.87981561 e-24 C48 -3.79427396e-23 -7.060128e-23 -5.48574215e-23 C49 -5.72489581 e-23 -2.13790074e-22 -2.14814347e-23 C50 -6.58402951 e-23 -1.85700931 e-22 1.5349307e-22 C51 8.48460683e-24 -6.91768215e-23 4.21590342e-22 C52 -1.34100545e-23 -3.86430246e-22 4.38579433e-22 C53 -3.24376214e-23 -6.2403603e-22 -2.55386135e-22 C54 -7.2686432e-24 -2.90989367e-22 2.70721644e-22 Koeffizient M4 M3 M2

C55 5.50566174e-26 2.23051334e-26 5.81708783e-27 C56 1.16643115e-25 3.62400288e-25 5.62096414e-26 C57 -1.15526187e-25 1.48119717e-25 -1.02269526e-26 C58 2.10105163e-25 1.8917483e-25 1.82390607e-26 C59 2.14118774e-25 5.55053874e-25 2.6744333e-25 C60 -1.56548701 e-25 2.02789598e-24 -2.19922935e-25 C61 1.75052946e-26 3.97566401 e-24 -1.36028465e-24 C62 7.0913605e-26 7.0842297e-24 -3.63235002e-24 C63 3.14300866e-25 8.64122506e-24 -3.3669299e-24 C64 2.62374158e-26 6.95998227e-24 -5.03173213e-25 C65 -6.13754971e-27 2.77690283e-24 -1.99872658e-24 C66 -9.60335763e-28 5.41411829e-28 -3.35531943e-29 C67 4.33637308e-28 1.20545148e-27 -4.84128483e-29 C68 5.06619859e-28 1.33235294e-27 -3.20317202e-28 C69 1.40339307e-27 5.45532473e-27 3.00923969e-29 C70 2.41221657e-27 9.74628452e-27 -7.74775714e-29 C71 2.73634795e-27 1.05675253e-26 -8.87710661 e-28 C72 -9.1 1133966e-28 1.03213975e-26 2.51573388e-27 C73 -7.19177034e-28 1.90529367e-26 1.0225692e-26 C74 -1.00552868e-27 2.98327698e-26 2.55603544e-26 C75 2.59784113e-28 2.78158503e-26 2.07845362e-26 C76 4.36354809e-28 1.71938983e-26 8.28593026e-27 C77 -7.12727426e-28 5.83595834e-27 9.07108307e-27 C78 1.16622297e-30 -9.06163519e-31 -8.56737953e-33 C79 -9.18043343e-31 -7.36190808e-30 -5.52606286e-31 C80 4.72255636e-30 -1.14793609e-29 -1.6816496e-31 C81 -3.96940509e-30 -2.93120945e-29 -1.23361575e-31 C82 -3.54219966e-30 -5.42720197e-29 -9.97222469e-31 C83 6.51628143e-30 -7.70196814e-29 2.16855599e-30 C84 5.85540646e-30 -7.54967542e-29 5.86041094e-30 C85 -3.26595821 e-30 -1.16203559e-28 -7.95371719e-30 C86 -7.34586811e-30 -2.39165657e-28 -4.41010082e-29 C87 4.59949121e-31 -3.85247265e-28 -1.08265743e-28 C88 -6.5821476e-30 -4.03544544e-28 -7.87480373e-29 C89 -3.57868136e-30 -2.96877212e-28 -3.56967121e-29 C90 1.83930569e-31 -9.88525964e-29 -2.51543399e-29 C91 4.48618944e-33 -3.9174709e-33 1.82242965e-34 C92 -6.34740032e-33 -1.2082283e-32 2.53065936e-34 C93 -7.65602011e-33 -2.44522338e-32 2.30097959e-33 C94 -1.73990896e-32 -1.09650687e-31 1.47880711e-33 C95 -4.63881392e-32 -2.24906553e-31 2.99329554e-34 C96 -7.21561914e-32 -3.24118972e-31 -1.38421166e-35 C97 -5.18153794e-32 -4.00434548e-31 -2.03785463e-32 C98 -1.51281593e-32 -5.36873358e-31 -3.38424837e-32 C99 5.86497511e-32 -6.76933005e-31 2.57488721 e-33 C100 3.21741125e-32 -8.04309742e-31 9.8094594e-32 C101 1.48482542e-32 -1.06553707e-30 2.43114261e-31 C102 -7.01379408e-33 -1.29034175e-30 1.60631724e-31 C103 -1.59543927e-32 -9.42348124e-31 7.17616306e-32 C104 8.07976394e-33 -2.61319212e-31 3.87504631 e-32 C105 -3.55646293e-35 8.04080737e-36 -1.85659672e-37 C106 -1.59779277e-35 6.46591743e-35 2.3820622e-36 C107 -5.83418419e-35 2.04168843e-34 2.31568922e-36 C108 3.04370779e-35 6.34984304e-34 1.1 1792804e-36 Koeffizient M4 M3 M2

C109 1.28056351 e-36 1.42256366e-33 9.66506574e-37

C1 10 -2.32991327e-34 2.1653835e-33 8.55646826e-36

C1 1 1 -2.9133005e-34 2.32781 152e-33 1.10256636e-35

C1 12 -1.75683245e-34 2.87291381 e-33 4.64409943e-35

C1 13 -3.59188182e-35 5.38756213e-33 6.4042449e-35

C1 14 2.78799589e-34 1.00325098e-32 1.68921908e-35

C1 15 2.59969181 e-34 1.59153837e-32 -8.94044782e-35

C116 -7.09539019e-35 2.1367613e-32 -2.24073639e-34

C1 17 -1.02559274e-36 2.0501 1317e-32 -1.35629762e-34

C1 18 4.05052062e-35 1.29148227e-32 -5.69048858e-35

C1 19 -3.79206579e-35 3.8921883e-33 -2.53316808e-35

Tabelle 3c zu Fig. 12

Koeffizient M1

KY 0.00000000

KX 0.00000000

RX -2174.77766700

C3 2.53323593e-06

C4 -2.26064691 e-06

C5 -4.55638527e-08

C6 8.57178232e-09

C7 -4.84150643e-08

C8 1.677844e-08

C9 -3.46524949e-09

C10 -5.82362493e-12

C1 1 2.29745162e-12

C12 3.19949747e-1 1

C13 3.05026449e-12

C14 6J9719326e-1 1

C15 4.2906069e-15

C16 -1.09522394e-14

C17 5.85403144e-15

C18 -4.45857104e-14

C19 1.42125142e-14

C20 -4.1 1543506e-14

C21 -2.40571 13e-18

C22 7.0625462e-19

C23 3.10841964e-17

C24 2.27660478e-17

C25 2.54247582e-16

C26 -9.08692883e-18

C27 6.92330485e-17

C28 5.48670517e-22

C29 -2.69630672e-21

C30 1.30909936e-20

C31 -8.25775675e-20

C32 -2.26287425e-20

C33 -4.66863333e-19

C34 1.26829069e-19

C35 1.02843643e-18

C36 2.792 8935e-25

C37 -1.08093878e-23 Koeffizient M1

C38 2.45897827e-23

C39 -4.78215013e-23

C40 5.84789241 e-22

C41 1.46836624e-22

C42 1.56745314e-21

C43 1.18786425e-21

C44 -4.41463936e-21

C45 1.34777758e-27

C46 1.09794992e-26

C47 -4.27844474e-26

C48 2.81059172e-25

C49 -4.83086626e-25

C50 -1.93321531 e-24

C51 -1.9346415e-24

C52 -8.60308871 e-24

C53 2.45016602e-24

C54 -3.29152179e-23

C55 -1.08171317e-29

C56 1.64051324e-28

C57 -4.83402521 e-28

C58 1.79894647e-27

C59 -3.97896849e-27

C60 5.57882828e-27

C61 2.32217797e-26

C62 2.87612933e-27

C63 9.3727138e-26

C64 -1.425349e-25

C65 3.35702612e-25

C66 1.14566865e-32

C67 -8.80441433e-32

C68 2.70574373e-31

C69 -3.208748e-30

C70 4.50407716e-30

C71 1.92412797e-30

C72 4.30143706e-29

C73 -3.76439829e-30

C74 -1.74596984e-29

C75 5.65291097e-28

C76 -1.25006481 e-28

C77 6.59431708e-28

C78 4.80539948e-35

C79 -1.04706296e-33

C80 4.33686509e-33

C81 -1.86554526e-32

C82 5.85677808e-32

C83 -9.31090612e-32

C84 -2.91336705e-33

C85 -1.51414488e-31

C86 -1.24830013e-30

C87 1.28851066e-30

C88 -6.66899877e-30

C89 7.01397964e-30

C90 -7.09201553e-30

C91 -4.18257599e-38 Koeffizient M1

C92 2.15560891 e-37 C93 -7.05060225e-37 C94 1.33826299e-35 C95 -1.25289664e-35 C96 -1.28779454e-35 C97 -3.21306869e-34 C98 2.31654254e-34 C99 -4.85115684e-34 C100 -1.50059857e-33 C101 -6.07708164e-34 C102 -1.22160309e-32 C103 -1.28561 19e-33 C104 -4.39094005e-32 C105 -7.06503168e-41 C106 2.42185841 e-39 C107 -1.27275396e-38 C108 6.45708874e-38 C109 -2.46673347e-37 C1 10 5.10066797e-37 C1 1 1 -5.48375398e-37 C1 12 2.32502384e-36 C1 13 2.27548523e-36 C1 14 -5.37599462e-36 C1 15 4.0634032e-35 C1 16 -3.36914189e-35 C1 17 1.4637459e-34 C1 18 -1.02064739e-34 C1 19 2.42234635e-34

Tabelle 3d zu Fig. 12

Oberfläche DCX DCY DCZ

Bildebene 0.00000000 0 00000000 0.00000000 M10 0.00000000 0 00000000 656.87494266 AS -6.88007966 93 89561799 241.59958628 M9 -9.32534831 127 26732637 94.00539190 M8 7.25148862 -98 20454486 1089.03299358 M7 12.51575253 -22 06978177 1348.90373298 M6 15.35501775 140 35801471 1514.91740932 M5 6.56814439 634 38864612 1714.25733137 M4 -45.29917793 1329 40133032 1697.25424545 M3 -107.13818877 1683.39634194 533. 5321079 M2 -192.95395798 1888.64950093 1277.25479287 M1 -453.29049057 2104.97017496 51 1.72975479

Objektebene 289.15692281 2258.9125591 1 2106.99270878 Tabelle 4a zu Fig. 12

Oberfläche TLA[deg] TLB[deg] TLC[deg]

Bildebene -0.00000000 0.00000000 -0.00000000

M10 6.36988342 0.46577379 -0.24404014

AS -6.39304605 179.33342030 -0.20586435

M9 192.75406779 -0.92832115 -0.15236901

M8 88.21293596 -0.36395420 -0.35636233 Oberfläche TLA[deg] TLB[deg] TLC[deg]

M7 59.6613171 1 0.85280654 -2.43285251 M6 33.79134149 4.00798454 0.56922185 M5 9.92075662 8.14549668 -3.22287457 M4 -14.46389146 1 1.49742639 3.95669074 M3 -40.59521036 12.19273579 14.19290789 M2 -65.25048967 8.62649464 18.73606724 M1 185.38306636 -21.82973715 1.66589992

Objektebene -0.00000000 24.94999771 -0.08716733 Tabelle 4b zu Fig. 12

Oberfläche AOI[deg] Reflektivität

M10 6.38681966 0.66140090 M9 0.01369885 0.66565924 M8 75.45377401 0.81 151463 M7 75.97760680 0.82007213 M6 78.14605837 0.85291948 M5 78.20866909 0.85381292 M4 78.10992786 0.85240264 M3 76.78716488 0.83279532 M2 78.86241856 0.86298094 M1 10.44705238 0.65360600

Gesarnttransmission 0.0854

Tabelle 5 zu Fig. 12

X[mm] Y[mm] Z[mm]

-1.55418865 166.81775213 0.00000000 -32.18159062 164.76338796 0.00000000 -62.140141 1 1 158.50616065 0.00000000 -90.83783268 148.13822377 0.00000000 -1 17.67784622 133.83539875 0.00000000 -142.05839326 1 15.86162140 0.00000000 -163.37738755 94.57197946 0.00000000 -181.04482843 70.41261590 0.00000000 -194.50670257 43.91686736 0.00000000 -203.28108631 15.6971 1413 0.00000000 -207.00124691 -13.56863863 0.00000000 -205.45573910 -43.15517625 0.00000000 -198.61414606 -72.31080533 0.00000000 -186.63093519 -100.27726426 0.00000000 -169.82864817 -126.30808832 0.00000000 -148.66966418 -149.68715206 0.00000000 -123.72717844 -169.74962674 0.00000000 -95.66122945 -185.90631471 0.00000000 -65.19959995 -197.67005019 0.00000000 -33.12042861 -204.68099232 0.00000000 -0.23394013 -206.72710397 0.00000000 32.63714186 -203.75668342 0.00000000 64.67710038 -195.88096476 0.00000000 95.09453004 -183.36622210 0.00000000 123.13583929 -166.61639649 0.00000000 148.09515294 -146.14883899 0.00000000 169.32351531 -122.56692510 0.00000000 X[mm] Y[mm] Z[mm]

186.24238154 -96.53350769 0.00000000

198.36596310 -68.74808556 0.00000000

205.33309467 -39.92850525 0.00000000

206.94277193 -10.79565617 0.00000000

203.18192090 17.94187768 0.00000000

194.23378131 45.60490863 0.00000000

180.46149774 71.56106726 0.00000000

162.37061615 95.23976538 0.00000000

140.56107977 1 16.14220255 0.00000000

1 15.68071905 133.84550084 0.00000000

88.38910787 148.00263425 0.00000000

59.33566399 158.34029458 0.00000000

29.15076525 164.65619869 0.00000000

Tabelle 6 zu Fig. 12: Blenden-Polygon auf Fläche AS

Eine Gesamt-Reflektivität der Projektionsoptik 22 beträgt 8,54 %. Auch bei der Projektionsoptik 22 ist das Objektfeld 4 relativ zum Bildfeld 8 verkippt. Die Kippwinkel a _x , ciy und a _z betragen absolut und gerundet bei der Projektionsoptik 22: a _x = 0, a _y = 25°, ciz = 0,9°.

Einige Daten vorstehend beschriebener Projektionsoptiken sind in den nachfolgenden Tabellen I und II nochmals zusammengefasst. Die jeweils erste Spalte dient zur Zuordnung der Daten zum jeweiligen Ausführungsbeispiel.

In der nachfolgenden Tabelle I sind die optischen Parameter numerische Apertur (NA), Bildfeldausdehnung in x-Richtung (Fieldsize X), Bildfeldausdehnung in y-Richtung (Fieldsize Y), Bild- feldkrümmung (Field Curvature) und Gesamt-Reflektivität beziehungsweise Systemtransmission (Transmission) zusammengefasst.

In der nachfolgenden Tabelle II sind die Parameter„Abfolge des Spiegeltyps" (Mirror Type Order),„Abfolge der Spiegel-Umlenkwirkung" (Mirror Rotation Order),„Brechkraftabfolge in der xz-Ebene" (x Power Order) sowie„Brechkraftabfolge in der yz-Ebene" (y Power Order) angegeben. Diese Abfolgen beginnen jeweils mit dem letzten Spiegel im Strahlengang, folgen also der umgekehrten Strahlrichtung. Beispielsweise bezieht sich die Abfolge„RORRRRRRRL" auf die Umlenkwirkung in der Reihenfolge MIO bis Ml bei der Ausführung nach Fig. 2. _{ci Μ Δ} FIELDSIZE FIELDSIZE FIELD TR A N _Q ui _{Q Q} inNV

FIG. NA _χ γ CURVATURE TRANSMISSION%

2 0,55 26 1 ,2 -0,012345 8,54

6 0,55 26 1 ,2 -0,012345 8,54

9 0,55 26 1 ,2 -0,012345 8,54

12 0,55 26 1 ,2 -0,012345 8,54

Tabelle I

MIRROR TYPE MIRROR xPOWER r,™,™ _>D r>i= _D

ORDER ROTATION ORDER ORDER yPOWER ORDER

2 NNGGGGGGGN R0RRRRRRRL +.++++...+ +..+.+++.+

6 NNGGGGGGGN R0RRRRRRRL +.++++...+ +..+.+++.+

9 NNGGGGGGGN R0RRRRRRRL +.++++...+ +..+.+++.+

12 NNGGGGGGGN R0RRRRRRRL +-+++— + +..+.+++.+

Tabelle II Beim Spiegeltyp bezieht sich die Angabe„N" auf einen normal incidence (Nl)-Spiegel und die Bezeichnung„G" auf einen grazing incidence (Gl)-Spiegel. Bei den Brechkraftabfolgen steht „+" für eine konkave und„-" für eine konvexe Spiegelfläche. Beim Vergleich der Brechkraftabfolgen in x und y ist zu sehen, dass alle Ausführungsbeispiele mit Ausnahme der Ausführung nach Fig. 12 die gleichen Brechkraftabfolgen haben. Bei der Ausführung nach Fig. 12 bis 14, also der Projektionsoptik 22, hat der Spiegel M5 eine konvexe Spiegelfläche in x-Richtung, wohingegen diese Spiegelfläche für alle anderen Projektionsoptiken- Ausführungsbeispiele konkav ist. Die Spiegel mit unterschiedlichen Vorzeichen der Brechkraft in x und y stellen Sattelflächen bzw. torische Flächen dar. Zur Herstellung eines mikro- oder nanostrukturierten Bauteils wird die Projektionsbelichtungs- anlage 1 folgendermaßen eingesetzt: Zunächst werden die Reflexionsmaske 10 beziehungsweise das Retikel und das Substrat beziehungsweise der Wafer 11 bereitgestellt. Anschließend wird eine Struktur auf dem Retikel 10 auf eine lichtempfindliche Schicht des Wafers 11 mit Hilfe der Projektionsbelichtungsanlage 1 projiziert. Durch Entwicklung der lichtempfindlichen Schicht wird dann eine Mikro- oder Nanostruktur auf dem Wafer 11 und somit das mikrostrukturierte Bauteil erzeugt.