GEÄNDERTE ANSPRÜCHE

beim Internationalen Büro eingegangen am 20 Dezember 2019 (20.12.2019)

1. Mikropumpe mit geringer Gehäusegröße, umfassend eine Pumpkammer (21), welche sowohl mittels einer Durchgangsöffnung (4) als auch einem Zugang (51) fluidisch befüllbar oder entleerbar ist, wobei die Pumpkammer (21) mit einem scheibenförmigen Aktuator (11; 11') abgedeckt ist, so dass das Volumen der Pumpkammer (21) mittels Auslenkens des Aktuators (11; 11') änderbar ist, wobei die

Durchgangsöffnung (4) in einer dem Aktuator (11; 11') gegenüber liegenden Seite (61) der Pumpkammer (21) angeordnet ist, und der Zugang (51) einen im Vergleich zur Durchgangsöffnung (4) kleineren oder ähnlichen Strömungswiderstand aufweist, und wobei ein Eingang (31) zur Durchgangsöffnung (4)

- mittels des ausgelenkten Aktuators (11) verschließbar ist, so dass ein im Grundzustand geöffnetes Ventil gebildet ist, oder

- mittels des unausgelenkten Aktuators (11') verschlossen ist, so dass ein im Grundzustand geschossenes Ventil gebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikropumpe eine zweite Pumpkammer (22) mit Aktuator (12; 12') und Zugang (52) aufweist, deren ebenfalls einen Eingang (32) umfassende Durchgangsöffnung (4) mit derjenigen der ersten Pumpkammer (21) verbunden ist, wobei

- der unausgelenkte Aktuator (11'; 12') an der ihm gegenüberlie genden Seite (61, 62) der Pumpkammer (21, 22) anliegt, so dass sich eine Pumpkammer (21, 22) mit einem Volumen von Null ergibt, oder

- wobei der unausgelenkte Aktuator (11, 12) von der ihm gegenüberliegenden Seite (61, 62) der Pumpkammer (21, 22) beabstandet ist, so dass sich eine Pumpkammer (21, 22) mit einem Volumen größer Null ergibt, und wobei der ein Anschlag (61', 62') durch die Seite (61, 62) gebildet ist, gegen welche der Aktuator (11, 12) mittels Ansteuerns mechanisch anlegbar ist, so dass das Volumen der Pumpkammer (21, 22) definiert minimierbar ist,

wobei der Anschlag (61'', 62' ' gegen welchen der Aktuator (11',

12') mittels Ansteuerns mechanisch anlegbar ist, sich auf

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derjenigen Seite des Aktuators (11', 12') befindet, welche der Pumpkammer (21, 22) abgewandt ist, so dass das Volumen der Pumpkammer (21, 22) definiert maximierbar ist.

2. Mikropumpe nach Anspruch 1, wobei die zweite Pumpkammer (12, 12') identisch der ersten Pumpkammer (11, 11') ausgebildet ist.

3. Mikropumpe nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Eingang (31, 32) der

Durchgangsöffnung (4)

- mittels des ausgelenkten Aktuators (11, 12) verschließbar ist, so dass ein im Grundzustand geöffnetes Ventil gebildet ist, wobei der Aktuator (11, 12) in einer Ruhelage von der gegen überliegenden Seite (61; 62) der jeweiligen Pumpkammer (21, 22) beabstandet ist, oder

- mittels des unausgelenkten Aktuators (11', 12') verschlossen ist, so dass ein im Grundzustand geschossenes Ventil gebildet ist, wobei der Aktuator (11', 12') in einer Ruhelage an der gegenüberliegenden Seite (61, 62) der jeweiligen Pumpkammer (21, 22) anliegt,

dadurch gekennzeichnet, dass dem Aktuator (11, 12; 11', 12') ein

Anschlag (61', 62') zugeordnet ist, welcher den Hub des Aktuators

(11, 12; 11', 12') mechanisch begrenzt.

4. Mikropumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei deren

Aktuatoren (11, 12, 11', 12') jeweils

- mittels einer Rechteckwelle, einer Sinuswelle oder einer Trapezwelle ansteuerbar sind, wobei

- zwischen den beiden Wellen ein Phasenversatz ungleich 180° herstellbar ist.

5. Mikropumpe nach Anspruch 4, wobei dieselbe eine Steuerung umfasst, mittels welcher die Aktuatoren (11, 12, 11', 12') mittels einer Rechteckwelle, einer Sinuswelle oder einer Trapezwelle ansteuerbar sind, wobei zwischen den beiden Wellen ein Phasenversatz ungleich 180° herstellbar ist.

6. Mikropumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

- wobei die beiden Pumpkammern (21, 22) (i) gegenüberliegend oder

(ii) nebeneinander positioniert, und jeweils mittels der

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gemeinsamen Durchgangsöffnung (4) fluidisch verbunden sind, und/oder

- wobei die Durchgangsöffnung (4) im Zentrum der dem Aktuator

(11, 12; 11', 12') gegenüberliegenden Seite (61, 62) der jeweiligen Pumpkammer (21, 22) angeordnet ist.

7. Mikropumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dieselbe sowohl umfassend eine Pumpkammer (21, 22) mit einem Anschlag (61',

62'), der durch die Seite (61, 62) gebildet ist, gegen welche der

Aktuator (11, 12) mittels Ansteuerns mechanisch anlegbar ist, so dass das Volumen der Pumpkammer (21, 22) definiert minimierbar ist, als auch einen Anschlag (61'', 62''), gegen welchen der

Aktuator (11', 12') mittels Ansteuerns mechanisch anlegbar ist, und welcher sich auf derjenigen Seite des Aktuators (11', 12') befindet, welche der Pumpkammer (21, 22) abgewandt ist, so dass das Volumen der Pumpkammer (21, 22) definiert maximierbar ist .

8. Mikropumpe nach Anspruch 1, wobei dieselbe

- (i) nur eine Pumpkammer (21) umfasst, deren unausgelenkter

Aktuator (11, 12) von der ihm gegenüberliegenden Seite (61, 62) der Pumpkammer (21, 22) beabstandet ist, so dass sich eine

Pumpkammer (21, 22) mit einem Volumen größer Null ergibt, wobei der Anschlag (61', 62') durch die Seite (61, 62) gebildet ist, gegen welche der Aktuator (11, 12) mittels Ansteuerns mecha nisch anlegbar ist, so dass das Volumen der Pumpkammer (21, 22) definiert minimierbar ist, oder

- (ii) nur eine Pumpkammer (21) umfasst, deren unausgelenkter

Aktuator (11'; 12') an der ihm gegenüberliegenden Seite (61,

62) der Pumpkammer (21, 22) anliegt, so dass sich eine Pumpkam mer (21, 22) mit einem Volumen von Null ergibt, wobei der

Anschlag (61'', 62''), gegen welchen der Aktuator (11', 12') mittels Ansteuerns mechanisch anlegbar ist, sich auf derjenigen Seite des Aktuators (11', 12') befindet, welche der Pumpkammer

(21, 22) abgewandt ist, so dass das Volumen der Pumpkammer (21,

22) definiert maximierbar ist, oder

- (iü) eine Pumpkammer (21) umfasst, deren unausgelenkter

Aktuator (11, 12) von der ihm gegenüberliegenden Seite (61, 62)

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der Pumpkammer (21, 22) beabstandet ist, so dass sich eine Pumpkammer (21, 22) mit einem Volumen größer Null ergibt, mit einem Anschlag (61''), gegen welchen der Aktuator (11', 12') mittels Ansteuerns mechanisch anlegbar ist, sich auf derjenigen Seite des Aktuators (11', 12') befindet, welche der Pumpkammer

(21, 22) abgewandt ist, so dass das Volumen der Pumpkammer (21,

22) definiert maximierbar ist,

wobei deren nutzbares Volumen kleiner oder gleich dem nutzbaren Volumen der zweiten Pumpkammer (22) ist.

9. Mikropumpe nach Anspruch 1, wobei dieselbe zwei Pumpkammern (21,

22) gemäß Definition in Anspruch 8 (i), oder zwei Pumpkammern (21,

22) gemäß Definition in Anspruch 8 (ii), oder zwei Pumpkammern

(21, 22) gemäß Definition in Anspruch 7 umfasst.

10. Mikropumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die dem

Aktuator (11, 12; 11', 12') gegenüberliegende, die Durchgangsöff nung aufweisende Seite (61, 62) der Pumpkammer (21, 22) zumindest im Bereich der Durchgangsöffnung (4) die negative Form des ausgelenkten Aktuators (11, 12) oder des unausgelenkten Aktuators

(11', 12') aufweist.

11. Mikropumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der

Zugang (51, 52) ebenfalls in der dem Aktuator (11, 12; 11', 12') gegenüberliegenden Seite (61, 62) angeordnet ist.

12. Mikropumpe nach dem Oberbegriff von Anspruch 1, wobei die dem

Aktuator (11, 12; 11', 12') gegenüberliegende, die Durchgangsöff nung aufweisende Seite (61, 62) der Pumpkammer (21, 22) vollstän dig die negative Form des ausgelenkten Aktuators (11, 12) oder unausgelenkten Aktuators (11', 12') aufweist.

13. Mikropumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei ein die

Aktuatoren (11, 12; 11', 12') umfassendes Gehäuse nicht größer als

5cm x 2cm x 1cm ist.

14. Mikropumpe nach dem Oberbegriff von Anspruch 1, wobei dieselbe mindestens an einem der Aktuatoren (11, 12; 11', 12') einen Sensor zur Detektion des Anschlagens seiner zur Pumpkammer (21, 22) weisenden Seite aufweist.

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15. Ventilsystem zum Steuern eines Fluidflusses, umfassend die

Komponenten einer Mikropumpe gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Ventilsystem vier Stufen umfasst, welche durch den Zugang (51) und den ersten Aktuator (11; 11'), den ersten Aktuator (11; 11') und die Durchgangsöffnung (4), die

Durchgangsöffnung (4) und den zweiten Aktuator (12; 12'), sowie den zweiten Aktuator (12; 12') und den Zugang (52) gebildet sind.

16. Verfahren zum Betrieb einer Mikropumpe gemäß Definition des

Oberbegriffs von Anspruch 1, oder gemäß Definition in Anspruch 12 oder Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass, ausgehend von einem Anfangszustand, in dem beide Aktuatoren (11, 12; 11', 12') derart angesteuert sind, so dass die Volumina der Pumpkammern (21, 22) minimal und die jeweiligen Eingänge (31, 32) zur Durchgangs öffnung (4) sowie die Zugänge (51, 52) verschlossen sind, ein

Pumpzyklus folgende Schritte umfasst:

- Vergrößern des Abstandes des ersten Aktuators (11; 11') von der ihm gegenüberliegenden Seite (61), so dass sich das Volumen der ersten Pumpkammer (21) vergrößert und der erste Zugang (51) sowie der erste Eingang (31) zur Durchgangsöffnung (4) geöffnet werden, so dass Fluid aufgrund des so gebildeten Unterdrucks durch den ersten Zugang (51) in die erste Pumpkammer (21) strömen kann und diese befüllt;

- Gleichzeitiges Verkleinern des Abstandes des ersten Aktuators

(11; 11') von der ihm gegenüberliegenden Seite (61) und Vergrö ßern des Abstandes des zweiten Aktuators (12; 12') von der ihm gegenüberliegenden Seite (62), so dass auch der zweite Eingang (32) zur Durchgangsöffnung (4) geöffnet ist, und das Volumen der ersten Pumpkammer (21) reduziert, und zugleich das Volumen der zweiten Pumpkammer (22) vergrößert wird, wodurch das Fluid von der ersten Pumpkammer (21) durch die gemeinsame Durchgangs öffnung (4) in die zweite Pumpkammer (22) strömen kann und erstere entleert und letztere befüllt wird;

- Verkleinern des Abstandes auch des zweiten Aktuators (12; 12'), so dass das Volumen der zweiten Pumpkammer (22) minimal wird und das Fluid aufgrund des sich bildenden Überdrucks durch den

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zweiten Zugang (52) ausgegeben wird, und sich die Mikropumpe wieder im Anfangs zustand befindet;

so dass Fluid in den ersten Zugang (51) hinein, durch beide Pumpkammern (21, 22) hindurch, und durch den zweiten Zugang (52) hinausgefördert wird.

17. Verfahren nach Anspruch 16 zum Betrieb einer Mikropumpe mit mindestens einem Anschlag gemäß Definition in einem der Ansprüche 3, 7, 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens der erste

Aktuator (11; 11'), dann, wenn er sich in Richtung des jeweiligen

Anschlags (61', 61' ' , 62', 62'') bewegt, derart angesteuert wird, dass er mit dem Anschlag (61', 61' ' , 62', 62'') in mechanischen

Kontakt kommt, so dass sein Hub auf definierte Weise begrenzt wird .

18. Verfahren nach Anspruch 16 oder 17 zum Betrieb einer gemäß

Definition in einem der Ansprüche 4 oder 5 steuerbaren Mikropumpe, wobei beide Aktuatoren (11, 11', 12, 12') jeweils mit einer

Rechteckwelle, einer Sinuswelle, oder einer Trapezwelle angesteu ert werden, deren Phasenversatz zueinander zwischen 70° und 120° beträgt .

19. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 19, wobei die Schritte

- mittels Veränderns des Phasenversatzes oder

- mittels Umkehr der Ansteuerungsfolge

in umgekehrter Reihenfolge durchlaufen werden, so dass Fluid in den zweiten Zugang (52) hinein, durch beide Pumpkammern (22, 21) hindurch, und durch den ersten Zugang (51) hinausgefördert wird.

20. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 19, wobei die

Förderleistung je Zeiteinheit dem Produkt von Volumen der Pumpkammern (21, 22) und Anzahl der Zyklen je Zeiteinheit entspricht .

21. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 20, wobei beide

Aktuatoren (11, 12; 11', 12') mittels einer Sinus-, Trapez- oder

Rechteckspannung angesteuert werden, deren Phasenversatz 90°±20° oder 270120° Grad beträgt, wobei der Hub des Aktuators (11, 12;

11', 12') auf 75%±20% begrenzt ist.

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22. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 21, wobei die Aktuatoren

(11, 12; 11', 12') bei Resonanzfrequenz oder einer zweiten, dritten oder höheren Oberschwingung betrieben werden.

23. Verwendung einer Mikropumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 15 als mehrstufiges Ventilsystem mit vier Verschlüssen.

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