(実施の形態1)
 図1は本発明の実施の形態1における慣性力� �ンサ1001の検出素子101の分解斜視図である。� ��2と図3はそれぞれ図1に示す検出素子101の線2 -2、線3-3における断面図である。慣性力セン� ��1001は加速度と角速度を検出できる。

 図1に示すように、互いに直交する第1の� �、第2の軸、第3の軸であるZ軸、X軸、Y軸を定 義する。支持部112からX軸に沿って2つのアー� ��108が延びており、枠形状の固定部104に接続� ��れている。支持部112はアーム108を介して固� ��部104に結合している。アーム108は固定部104� ��対して直角に延びている。支持部112からはY 軸に沿って4つのアーム110A~110Dが延びており� �4つの錘部103A~103Dにそれぞれ接続されている� ��アーム108、110A~110Dは可撓性を有し、アーム1 08、110A~110Dと支持部112とは可撓性を有する可� ��部を構成する。可撓部は固定部104に接続さ� ��ている。錘部103A~103Dは可撓部を介して固定� ��104に連結している。アーム108はアーム110A~11 0Dよりも非常に薄く、したがってアーム110A~11 0Dより大きい可撓性を有する。錘部103A~103Dは� ��板105に対向する面1103A~1103Dをそれぞれ有す� �。

 錘部103A、103B、103C、103Dの面1103A、1103B、11 03C、1103D上には電極114A、116A、118A、120Aがそれ ぞれ設けられている。固定部104には基板105が 取り付けられている。基板105は錘部103A~103Dに Z軸に沿って対向する面105Aを有する。電極114A 、116A、118A、120Aからそれぞれ離れて電極114A� �116A、118A、120AにZ軸に沿ってそれぞれ対向す� ��電極114B、116B、118B、120Bが基板105の面105Aに� �けられている。電極114A、114Bは静電容量を有 する対向電極部114を構成する。電極116A、116B� ��静電容量を有する対向電極部116を構成する� ��電極118A、118Bは静電容量を有する対向電極� �118を構成する。電極120A、120Bは静電容量を有 する対向電極部120を構成する。電極114A、116A� ��X軸に沿って配列されている。電極114B、116B� ��X軸に沿って配列されている。すなわち、対 向電極部114、116はX軸に沿って配列されてい� �。電極118A、120AはX軸に沿って配列されてい� �。電極118B、120BはX軸に沿って配列されてい� �。すなわち、対向電極部118、120はX軸に沿っ� ��配列されている。電極114A、118AはY軸に沿っ� ��配列されている。電極114B、118BはY軸に沿っ� ��配列されている。すなわち、対向電極部114� ��118はY軸に沿って配列されている。電極116A� �120AはY軸に沿って配列されている。電極116B� �120BはY軸に沿って配列されている。すなわち 、対向電極部116、120はY軸に沿って配列され� �いる。

 支持部112から延びるアーム110Aは、支持部 112からY軸に沿って延びる延部1110Aと、延部111 0Aと平行にY軸に沿って延びる延部3110Aと、延� ��1110Aと延部3110Aとを連結する結合部2110Aとを� ��して、実質的にU字形状を有する。結合部211 0Aは延部1110AからX軸に沿って延びる。延部3110 Aは錘部103Aに接続されている。支持部112から� ��びるアーム110Bは、支持部112からY軸に沿っ� �延びる延部1110Bと、延部1110Bと平行にY軸に沿 って延びる延部3110Bと、延部1110Bと延部3110Bと を連結する結合部2110Bとを有して、実質的にU 字形状を有する。結合部2110Bは延部1110BからX� ��に沿ってアーム110Aの結合部2110Aと反対に延� ��る。延部3110Bは錘部103Bに接続されている。� ��持部112から延びるアーム110Cは、支持部112か らY軸に沿って延びる延部1110Cと、延部1110Cと� ��行にY軸に沿って延びる延部3110Cと、延部1110 Cと延部3110Cとを連結する結合部2110Cとを有し� ��、実質的にU字形状を有する。結合部2110Cは� ��部1110CからX軸に沿ってアーム110Aの結合部211 0Aと同じ方向に延びる。延部3110Cは錘部103Cに� ��続されている。支持部112から延びるアーム1 10Dは、支持部112からY軸に沿って延びる延部11 10Dと、延部1110Dと平行にY軸に沿って延びる延 部3110Dと、延部1110Dと延部3110Dとを連結する結 合部2110Dとを有して、実質的にU字形状を有す る。結合部2110Dは延部1110DからX軸に沿ってア� ��ム110Cの結合部2110Cと反対に延びる。延部3110 Dは錘部103Dに接続されている。アーム110A~110D� ��延部1110A~1110D、3110A~3110Dは固定部104、106に対 して直角に延びている。

 アーム108と支持部112とは実質的に同一直� ��上に配置されている。アーム110A、110Bの延� �1110A、1110Bは支持部112から同じ方向に延びて� ��る。アーム110C、110Dの延部1110C、1110Dは支持� ��112から同じ方向に、かつアーム110A、110Bの� �部1110A、1110Bとは反対の方向に延びている。

 錘部103A~103Dは固定部104の枠形状の内方に� ��置されている。固定部104は固定アーム107を� ��して固定部106に連結されている。固定部104� ��固定部106の内方に配置されている。アーム1 08と支持部112とを略同一直線上に配置し、ア� ��ム108は検出素子101の中心101Aについて対称に 配置されている。アーム110A~110Dは検出素子101 の中心101Aについて対称配置されている。ア� �ム108、110A~110Dは錘部103A~103Dを固定部104に連� �する連結部として機能する。固定アーム107� �固定部104を固定部106に連結する連結部とし� �機能する。

 固定部104にはX軸に沿ってのみに弾性変形 する、すなわちY軸やZ軸に沿っては実質的に� ��形しない弾性部109が設けられている。固定� ��ーム107はY軸に沿って延びている。固定部106 には、Y軸に沿ってのみに弾性変形する、す� �わちX軸やZ軸に沿っては実質的に変形しない 弾性部111が設けられている。固定部106は被検 出物である実装基板1001Aに実装されるように� ��成されている。

 弾性部109は、固定部104に形成されたY軸に 沿って延びるスリット113Aで構成されている� �弾性部111は、固定部106に形成されたX軸に沿� ��て延びるスリット113Bで構成されている。

 アーム110Cには錘部103Cを駆動して振動さ� �る駆動電極122が設けられている。アーム110D� ��はアーム110Dの振動を検知する検知電極124が 設けられている。アーム110A、110Bにはアーム1 10A、110Bの歪をそれぞれ感知する感知電極126� �128がそれぞれ設けられている。駆動電極122� �、アーム110C上に設けられた下部電極と、下� ��電極上に設けられた圧電層と、圧電層上に� ��けられた上部電極とを有する。同様に、電� ��124(126、128)はアーム110D(110A、110B)上に設けら れた下部電極と、下部電極上に設けられた圧 電層と、圧電層上に設けられた上部電極とを 有する。

 対向電極部114、116、118、120、駆動電極122� ��検知電極124、感知電極126、128は信号線で固� ��部106まで引き出され、信号線の端部でワイ� ��ーボンディング等を介して実装基板1001Aの� �線パターンに電気的に接続される。対向電� �部114、116、118、120、駆動電極122、検知電極12 4、感知電極126、128は信号線や実装基板1001Aを 介して処理回路161に接続される。

 角速度を検出する際の慣性力センサ1001の 検出素子101の動作を説明する。図4は検出素� �101の斜視図である。支持部112から延びてい� �アーム110Cと、アーム110Cに接続されている錘 部103Cは固有の共振周波数を有する。駆動電� �122の上部電極と下部電極間にその共振周波� �の交流電圧を駆動電源から印加すると、ア� �ム110Cを起点に錘部103Cがその共振周波数でX� �に沿った方向1901Cに振動する。支持部112から 延びているアーム110A、110B、110Dと、アーム110 A、110B、110Dにそれぞれ連結している錘部103A� �103B、103Dのそれぞれの固有の共振周波数はア ーム110Cと錘部103Cの共振周波数と同じに設定� ��ている。支持部112は可撓性を有するアーム8 で固定部104に連結しているので、アーム110C� �錘部103Cが共振周波数で振動すると、支持部1 12を介してその振動がアーム110A、110B、110Dに� ��播し、錘部103A、103B、103DもX軸に沿った方向 1901A、1901B、1901Dにその共振周波数でそれぞれ 振動する。検知電極124はアーム110Dの振動に� �じて変化する電圧を駆動電源にフィードバ� �クする。駆動電源はフィードバックされた� �圧に基づいて、アーム110Dが一定の振幅で振� ��するように駆動電極122に印加する交流電圧� ��大きさや周波数、位相を決定する。これに� ��りアーム110A~110Dが共振周波数において一定� ��振幅で振動する。

 錘部103A~103DがX軸に沿った方向1901A~1901Dに� ��動しているときに、Z軸について左周りに、 すなわち錘部103Aが錘部103Cに近づく方向の角� ��度1001Bが生じた場合の検出素子1の動作を説� ��する。錘部103A~103Dの振動に応じて、錘部103A ~103Dには方向1901A~1901Dに対して直角のY軸に沿� ��た方向1902A~1902Dにコリオリ力が発生する。� �のコリオリ力によりアーム110A~110Dに歪が発� �する。感知電極126、128はアーム110A、110Bにそ れぞれ発生したこの歪に応じた電圧を出力し 、処理回路161はこの電圧により角速度1001Bを� ��出することができる。

 次に、慣性力センサ1001で加速度を検出す る際の動作について説明する。

 まず、X軸に沿った加速度を検出する際の 慣性力センサ1001の動作について説明する。� �5はX軸に沿った加速度が生じていないときの 、図1に示す検出素子101の線2-2における断面� �である。電極114A、114BのX軸に沿って同じ方� �の端部1114A、1114Bは、電極116A、116BのX軸に沿� ��て同じ方向の端部1116A、1116Bにそれぞれ対向 している。加速度が発生していない状態で、 電極114Aの端部1114Aは電極114Bの端部1114Bに対し てX軸に沿って方向D101で少しずれている。ま� ��、加速度が発生していない状態で、電極116A の端部1116Aは、電極116Bの端部1116Bに対して方� ��D101と反対の方向D102に少しずれている。同� �に、加速度が発生していない状態で、電極11 8A、118Bの同じ方向の端部はX軸に沿って少し� �れている。また、加速度が発生していない� �態で、電極120A、120Bの同じ方向の端部はX軸� �沿って電極118A、118Bの端部がずれている方向 と反対の方向に少しずれている。電極114A、11 4Bは、X軸に沿って端部1114A、1114Bの反対側に� �る端部3114A、3114Bをそれぞれ有する。加速度� ��発生していない状態で、電極114Aの端部3114A� ��電極114Bの端部3114Bに対してX軸に沿って方向 D101で少しずれている。電極116A、116Bは、X軸� �沿って端部3116A、3116Bの反対側にある端部3116 A、3116Bをそれぞれ有する。加速度が発生して いない状態で、電極116Aの端部3116Aは、電極116 Bの端部3116Bに対して方向D102に少しずれてい� �。

 図6はX軸に沿った加速度が生じていると� �の、図1に示す検出素子101の線2-2における断� ��図である。X軸に沿った方向D101の加速度1001C が生じた場合、加速度1001CによるX軸に沿った 力が回転の力に変換されることなく、弾性部 109はX軸に沿ってのみ変形し、Y軸やZ軸に沿っ ては変形しない。この結果、電極114A、116Aの� ��部1114A、1116Aは、電極114B、116Bの端部1114B、11 16Bに対して相対的に距離W101だけX軸に沿って� ��きく移動する。同様に、電極118A、120Aの端� �は、電極118B、120Bの端部に対して相対的に距 離W101だけX軸に沿って移動する。加速度1001C� �より、錘部103A、103BがX軸に沿って移動した� �合に、対向電極部114の静電容量の変化量と� �対向電極部116の静電容量の変化量とを異な� �せている。同様に、錘部103C、103DがX軸に沿� �て移動した場合に、対向電極部118の静電容� �の変化量と対向電極部120の静電容量の変化� �とを異ならせている。

 次に、Y軸に沿った加速度を検出する際の 慣性力センサ1001の動作について説明する。� �7はY軸に沿った加速度が生じていないときの 、図1に示す検出素子101の線3-3における断面� �である。電極114A、114BのY軸に沿って同じ方� �の端部2114A、2114Bは、電極118A、118BのY軸に沿� ��て同じ方向の端部2118A、2118Bにそれぞれ対向 している。加速度が発生していない状態で、 電極114Aの端部2114Aは電極114Bの端部2114Bに対し てY軸に沿って方向D103で少しずれている。ま� ��、加速度が発生していない状態で、電極118A の端部2118Aは、電極118Bの端部2118Bに対してY軸 に沿って方向D103と反対の方向D104に少しずれ� ��いる。同様に、加速度が発生していない状� ��で、電極116A、116Bの同じ方向の端部はY軸に� ��って少しずれている。また、加速度が発生� ��ていない状態で、電極120A、120Bの同じ方向� �端部はY軸に沿って電極116A、116Bの端部がず� �ている方向と反対の方向に少しずれている� �電極114A、114Bは、Y軸に沿って端部2114A、2114B� ��反対側にある端部4114A、4114Bをそれぞれ有す る。加速度が発生していない状態で、電極114 Aの端部4114Aは電極114Bの端部4114Bに対してY軸� �沿って方向D103で少しずれている。電極118A、 118Bは、Y軸に沿って端部2118A、2118Bの反対側に ある端部4118A、4118Bをそれぞれ有する。加速� �が発生していない状態で、電極118Aの端部4118 Aは、電極118Bの端部4118Bに対して方向D104に少� ��ずれている。

 図8はY軸に沿った加速度が生じていると� �の、図1に示す検出素子101の線3-3における断� ��図である。Y軸に沿った方向D103の加速度1001D が生じた場合、加速度1001DによるY軸に沿った 力が回転の力に変換されることなく、弾性部 111はY軸に沿ってのみ変形し、Y軸やZ軸に沿っ ては変形しない。この結果、電極114A、118Aの� ��部2114A、2118Aは、電極114B、118Bの端部2114B、21 18Bに対して相対的に距離W102だけY軸に沿って� ��きく移動する。同様に、電極114A、120Aの端� �は、電極114B、120Bの端部に対して相対的に距 離W102だけY軸に沿って移動する。加速度1001D� �より、錘部103A、103CがY軸に沿って移動した� �合に、対向電極部114の静電容量の変化量と� �対向電極部118の静電容量の変化量とを異な� �せている。同様に、錘部103B、103DがY軸に沿� �て移動した場合に、対向電極部116の静電容� �の変化量と対向電極部120の静電容量の変化� �とを異ならせている。

 このように、X軸やY軸に沿った加速度1001C 、1001Dにより対向電極部114、116、118、120の静� ��容量が変化するので、処理回路161はこれら� ��静電容量の変化に基づいて加速度1001C、1001D を検出することができる。

 検出素子101は、弾性部109がX軸に沿っての み変形してY軸やZ軸に沿っては変形せずにX軸 に沿った加速度1001Cを検出でき、かつ弾性部1 11がY軸に沿ってのみ変形してX軸やZ軸に沿っ� ��は変形せずにY軸に沿った加速度1001Dを検出� ��きる。検出素子101は、X軸に沿った加速度100 1CとY軸に沿った加速度1001Dとを互いに影響を� ��けずに独立して高感度で検出できる。

 また、加速度1001Cによる対向電極部114の� �電容量の変化量と対向電極部116の静電容量� �変化量が異なり、かつ、対向電極部118の静� �容量の変化量と対向電極部120の静電容量の� �化量とが異なる。例えば、図6に示すように� ��X軸の負の方向の加速度1001Cが生じた場合に� ��、対向電極部114、118の静電容量は減少し、� ��向電極部116、120の静電容量は増大する。X軸 の正の方向の加速度が生じた場合には錘部103 A~103Dは図6に示す方向と反対の方向に移動す� �ので、対向電極部114、118の静電容量は増大� �、対向電極部116、120の静電容量は減少する� �したがって、検出素子101に接続された処理� �路161は、対向電極部114、116、118、120の静電� �量により錘部103A~103DがX軸の正の方向へ移動� ��たのか、負の方向へ移動したのかを区別で� ��る。同様に、図8に示すように、Y軸の負の� �向の加速度1001Dが生じた場合には、対向電極 部114、116の静電容量は減少し、対向電極部118 、120の静電容量は増大する。Y軸の正の方向� �加速度が生じた場合には錘部103A~103Dは図8に� ��す方向と反対の方向に移動するので、対向� ��極部114、116の静電容量は増大し、対向電極� ��118、120の静電容量は減少する。したがって� ��処理回路161は、対向電極部114、116、118、120� ��静電容量により錘部103A~103DがY軸の正の方向 へ移動したのか、負の方向へ移動したのかを 区別できる。

 また、一つの検出素子101で加速度と角速� ��を検出できるので、慣性力センサ1001はその 実装面積を低減して小型化を図れる。

 慣性力センサ1001の検出素子101では、X軸� �沿ってのみ変形してY軸やZ軸に沿っては変形 しない弾性部109は固定部104に設けられている 。実施の形態1による慣性力センサでは、弾� �部109は連結部であるアーム108に設けられて� �てもよい。また、検出素子101では、Y軸に沿� ��てのみ変形してX軸やZ軸に沿っては変形し� �い弾性部111は固定部106に設けられている。� �施の形態1による慣性力センサでは、弾性部1 11は連結部である固定アーム107に設けてもよ� ��。

 また、角速度を検出するための駆動電極1 22、検知電極124、感知電極126、128の形状や位� ��は上記以外のものでもよい。

 加速度による力が回転力に変換されるこ� ��無く電極114A、116A、118A、120Aが電極114B、116B� ��118B、120Bに対して加速度の方向に大きく変� �するので、実施の形態1による慣性力センサ1 001は加速度を高感度に検出することができる 。

 (実施の形態2)
 図9Aは本発明の実施の形態2における慣性力� ��ンサ1002の検出素子201の分解斜視図である。 図9Bは検出素子201の斜視図である。図10と図11 はそれぞれ図9Aに示す検出素子201の線10-10、� �11-11における断面図である。慣性力センサ100 2は加速度と角速度を検出できる。

 図9Aと図9Bに示すように、互いに直交する 第1の軸、第2の軸、第3の軸であるZ軸、X軸、Y 軸を定義する。支持部212からX軸に沿って2つ� ��アーム208が延びており、枠形状の固定部204� ��接続されている。支持部212はアーム208を介� ��て固定部204に結合している。アーム208は固� ��部204に対して直角に延びている。支持部212� ��らはY軸に沿って4つのアーム210A~210Dが延び� �おり、4つの錘部203A~203Dにそれぞれ接続され� ��いる。アーム208、210A~210Dは可撓性を有し、� ��ーム208、210A~210Dと支持部212とは可撓性を有� ��る可撓部を構成する。可撓部は固定部204に� ��続されている。錘部203A~203Dは可撓部を介し� ��固定部204に連結している。錘部203A~203Dは基� ��205に対向する面1203A~1203Dをそれぞれ有し、� �つ面1203A~1203Dの反対側の面2203A~2203Dをそれぞ� ��有する。面2203A~2203Dは基板215に対向する。� �ーム208はアーム210A~210Dよりも非常に薄く、� �たがってアーム210A~210Dより大きい可撓性を� �する。

 錘部203A、203B、203C、203Dの面1203A、1203B、12 03C、1203D上には電極214A、216A、218A、220Aがそれ ぞれ設けられている。錘部203A、203B、203C、203 Dの面2203A、2203B、2203C、2203D上には電極217A、21 9A、221A、223Aがそれぞれ設けられている。固� �部204には基板205、215が取り付けられている� �基板205は錘部203A~203Dの面1203A~1203DにZ軸に沿� �て対向する面205Aを有する。電極214A、216A、21 8A、220Aからそれぞれ離れて電極214A、216A、218A 、220AにZ軸に沿ってそれぞれ対向する電極214B 、216B、218B、220Bが基板205の面205Aに設けられ� �いる。電極214A、214Bは静電容量を有する対向 電極部214を構成する。電極216A、216Bは静電容� ��を有する対向電極部216を構成する。電極218A 、218Bは静電容量を有する対向電極部218を構� �する。電極220A、220Bは静電容量を有する対向 電極部220を構成する。電極214A、216AはX軸に沿 って配列されている。電極214B、216BはX軸に沿 って配列されている。すなわち、対向電極部 214、216はX軸に沿って配列されている。電極21 8A、220AはX軸に沿って配列されている。電極21 8B、220BはX軸に沿って配列されている。すな� �ち、対向電極部218、220はX軸に沿って配列さ� ��ている。電極214A、218AはY軸に沿って配列さ� ��ている。電極214B、218BはY軸に沿って配列さ� ��ている。すなわち、対向電極部214、218はY軸 に沿って配列されている。電極216A、220AはY軸 に沿って配列されている。電極216B、220BはY軸 に沿って配列されている。すなわち、対向電 極部216、220はY軸に沿って配列されている。� �板215は錘部203A~203Dの面2203A~2203DにZ軸に沿っ� �対向する面215Aを有する。電極217A、219A、221A� ��223Aからそれぞれ離れて電極217A、219A、221A、 223AにZ軸に沿ってそれぞれ対向する電極217B、 219B、221B、223Bが基板215の面215Aに設けられて� �る。電極217A、217Bは静電容量を有する対向電 極部217を構成する。電極219A、219Bは静電容量� ��有する対向電極部219を構成する。電極221A、 221Bは静電容量を有する対向電極部221を構成� �る。電極223A、223Bは静電容量を有する対向電 極部223を構成する。電極217A、219AはX軸に沿っ て配列されている。電極217B、219BはX軸に沿っ て配列されている。すなわち、対向電極部217 、219はX軸に沿って配列されている。電極221A� ��223AはX軸に沿って配列されている。電極221B� ��223BはX軸に沿って配列されている。すなわ� �、対向電極部221、223はX軸に沿って配列され� ��いる。電極217A、221AはY軸に沿って配列され� ��いる。電極217B、221BはY軸に沿って配列され� ��いる。すなわち、対向電極部217、221はY軸に 沿って配列されている。電極219A、223AはY軸に 沿って配列されている。電極219B、223BはY軸に 沿って配列されている。すなわち、対向電極 部219、223はY軸に沿って配列されている。

 支持部212から延びるアーム210Aは、支持部 212からY軸に沿って延びる延部1210Aと、延部121 0Aと平行にY軸に沿って延びる延部3210Aと、延� ��1210Aと延部3210Aとを連結する結合部2210Aとを� ��して、実質的にU字形状を有する。結合部221 0Aは延部1210AからX軸に沿って延びる。延部3210 Aは錘部203Aに接続されている。支持部212から� ��びるアーム210Bは、支持部212からY軸に沿っ� �延びる延部1210Bと、延部1210Bと平行にY軸に沿 って延びる延部3210Bと、延部1210Bと延部3210Bと を連結する結合部2210Bとを有して、実質的にU 字形状を有する。結合部2210Bは延部1210BからX� ��に沿ってアーム210Aの結合部2210Aと反対に延� ��る。延部3210Bは錘部203Bに接続されている。� ��持部212から延びるアーム210Cは、支持部212か らY軸に沿って延びる延部1210Cと、延部1210Cと� ��行にY軸に沿って延びる延部3210Cと、延部1210 Cと延部3210Cとを連結する結合部2210Cとを有し� ��、実質的にU字形状を有する。結合部2210Cは� ��部1210CからX軸に沿ってアーム210Aの結合部221 0Aと同じ方向に延びる。延部3210Cは錘部203Cに� ��続されている。支持部212から延びるアーム2 10Dは、支持部212からY軸に沿って延びる延部12 10Dと、延部1210Dと平行にY軸に沿って延びる延 部3210Dと、延部1210Dと延部3210Dとを連結する結 合部2210Dとを有して、実質的にU字形状を有す る。結合部2210Dは延部1210DからX軸に沿ってア� ��ム210Cの結合部2210Cと反対に延びる。延部3210 Dは錘部203Dに接続されている。アーム210A~210D� ��延部1210A~1210D、3210A~3210Dは固定部204、206に対 して直角に延びている。

 アーム208と支持部212とは実質的に同一直� ��上に配置されている。アーム210A、210Bの延� �1210A、1210Bは支持部212から同じ方向に延びて� ��る。アーム210C、210Dの延部1210C、1210Dは支持� ��212から同じ方向に、かつアーム210A、210Bの� �部1210A、1210Bとは反対の方向に延びている。

 錘部203A~203Dは固定部204の枠形状の内方に� ��置されている。固定部204は固定アーム207を� ��して固定部206に連結されている。固定部204� ��固定部206の内方に配置されている。アーム2 08と支持部212とを略同一直線上に配置し、ア� ��ム208は検出素子201の中心201Aについて対称に 配置されている。アーム210A~210Dは検出素子201 の中心201Aについて対称配置されている。ア� �ム208、210A~210Dは錘部203A~203Dを固定部204に連� �する連結部として機能する。固定アーム207� �固定部204を固定部206に連結する連結部とし� �機能する。

 固定部204にはX軸に沿ってのみに弾性変形 する、すなわちY軸やZ軸に沿っては実質的に� ��形しない弾性部209が設けられている。固定� ��ーム207はY軸に沿って延びている。固定部206 には、Y軸に沿ってのみに弾性変形する、す� �わちX軸やZ軸に沿っては実質的に変形する弾 性部211が設けられている。固定部206は被検出 物である実装基板1002Aに実装されるように構� ��されている。

 弾性部209は、固定部204に形成されたY軸に 沿って延びるスリット213Aで構成されている� �弾性部211は、固定部206に形成されたX軸に沿� ��て延びるスリット213Bで構成されている。

 アーム210Cには錘部203Cを駆動して振動さ� �る駆動電極222が設けられている。アーム210D� ��はアーム210Dの振動を検知する検知電極224が 設けられている。アーム210A、210Bにはアーム2 10A、20Bの歪をそれぞれ感知する感知電極226、 228がそれぞれ設けられている。駆動電極222は 、アーム210C上に設けられた下部電極と、下� �電極上に設けられた圧電層と、圧電層上に� �けられた上部電極とを有する。同様に、検� �電極224及び感知電極226、228はアーム210D、210A 、210B上に設けられた下部電極と、下部電極� �に設けられた圧電層と、圧電層上に設けら� �た上部電極とを有する。

 対向電極部214、216、217、218、219、220、221� ��223、駆動電極222、検知電極224、感知電極226� ��228は信号線で固定部206まで引き出され、信� ��線の端部でワイヤーボンディング等を介し� ��実装基板1002Aの配線パターンに電気的に接� �される。対向電極部214、216、217、218、219、22 0、221、223、駆動電極222、検知電極224、感知� �極226、228は信号線や実装基板1002Aを介して処 理回路261に接続される。

 駆動電極222、検知電極224、感知電極226、2 28を有する慣性力センサ1002は、図4に示す実� �の形態1による駆動電極122、検知電極124、感� ��電極126、128を有する慣性力センサ1001と同様 にZ軸を中心とする角速度を検出することが� �きる。

 慣性力センサ1002で加速度を検出する際の 動作について説明する。

 まず、X軸に沿った加速度を検出する際の 慣性力センサ1002の動作について説明する。� �12はX軸に沿った加速度が生じていないとき� �、図9Aに示す検出素子201の線10-10における断� ��図である。電極214A、214BのX軸に沿って同じ� ��向の端部1214A、1214Bは、電極216A、216BのX軸に 沿って同じ方向の端部1216A、1216Bにそれぞれ� �向している。加速度が発生していない状態� �、電極214Aの端部1214Aは電極214Bの端部1214Bに� �してX軸に沿って方向D201で少しずれている。 また、加速度が発生していない状態で、電極 216Aの端部1216Aは、電極216Bの端部1216Bに対して 方向D201と反対の方向D202に少しずれている。� ��様に、加速度が発生していない状態で、電� ��218A、218Bの同じ方向の端部はX軸に沿って少� ��ずれている。また、加速度が発生していな� ��状態で、電極220A、220Bの同じ方向の端部はX� ��に沿って電極218A、218Bの端部がずれている� �向と反対の方向に少しずれている。電極217A� ��217Bの同じ方向の端部1217A、1217Bは、電極219A� ��219Bの同じ方向の端部1219A、1219Bにそれぞれ� �向している。加速度が発生していない状態� �、電極217Aの端部1217Aは電極217Bの端部1217Bに� �して方向D201で少しずれている。また、加速� ��が発生していない状態で、電極219Aの端部121 9Aは、方向D202に少しずれている。同様に、加 速度が発生していない状態で、電極221A、221B� ��同じ方向の端部はX軸に沿って少しずれてい る。また、加速度が発生していない状態で、 電極223A、223Bの同じ方向の端部はX軸に沿って 電極221A、221Bの端部がずれている方向と反対� ��方向に少しずれている。電極214A、214Bは、X� ��に沿って端部1214A、1214Bの反対側にある端部 3214A、3214Bをそれぞれ有する。加速度が発生� �ていない状態で、電極214Aの端部3214Aは電極21 4Bの端部3214Bに対してX軸に沿って方向D201で少 しずれている。電極216A、216Bは、X軸に沿って 端部3216A、3216Bの反対側にある端部3216A、3216B� ��それぞれ有する。また、加速度が発生して� ��ない状態で、電極216Aの端部3216Aは、電極216B の端部3216Bに対して方向D202に少しずれている 。電極217A、217Bは、X軸に沿って端部1217A、1217 Bの反対側にある端部3217A、3217Bをそれぞれ有� ��る。加速度が発生していない状態で、電極2 17Aの端部3217Aは電極217Bの端部3217Bに対してX軸 に沿って方向D201で少しずれている。電極219A� ��219Bは、X軸に沿って端部3219A、3219Bの反対側� ��ある端部3219A、3219Bをそれぞれ有する。また 、加速度が発生していない状態で、電極219A� �端部3219Aは、電極219Bの端部3219Bに対して方向 D202に少しずれている。

 図13はX軸に沿った加速度が生じていると� ��の、図9Aに示す検出素子201の線10-10における 断面図である。X軸に沿った方向D201の加速度1 002Cが生じた場合、加速度1002CによるX軸に沿� �た力が回転の力に変換されることなく、弾� �部209はX軸に沿ってのみ変形し、Y軸やZ軸に� �っては変形しない。この結果、電極214A、216A の端部1214A、1216Aは、電極214B、216Bの端部1214B� ��1216Bに対して相対的に距離W201だけX軸に沿っ て移動する。同様に、電極218A、220Aの端部は� ��電極218B、220Bの端部に対して相対的に距離W2 01だけX軸に沿って移動する。加速度1002Cによ� ��、錘部203A、203BがX軸に沿って移動した場合� ��、対向電極部214の静電容量の変化量と、対� ��電極部216の静電容量の変化量とを異ならせ� ��いる。同様に、錘部203C、203DがX軸に沿って� ��動した場合に、対向電極部218の静電容量の� ��化量と対向電極部220の静電容量の変化量と� ��異ならせている。同様に、電極217A、219Aの� �部1217A、1219Aは、電極217B、219Bの端部1217B、121 9Bに対して相対的に距離W201だけX軸に沿って� �動する。同様に、電極221A、223Aの端部は、電 極221B、223Bの端部に対して相対的に距離W201だ けX軸に沿って移動する。加速度1002Cにより、 錘部203A、203BがX軸に沿って移動した場合に、 対向電極部217の静電容量の変化量と、対向電 極部219の静電容量の変化量とを異ならせてい る。同様に、錘部203C、203DがX軸に沿って移動 した場合に、対向電極部221の静電容量の変化 量と対向電極部223の静電容量の変化量とを異 ならせている。

 次に、Y軸に沿った加速度を検出する際の 慣性力センサ1002の動作について説明する。� �14はY軸に沿った加速度が生じていないとき� �、図9Aに示す検出素子201の線10-10における断� ��図である。電極214A、214BのY軸に沿って同じ� ��向の端部2214A、2214Bは、電極218A、218BのY軸に 沿って同じ方向の端部2218A、2218Bにそれぞれ� �向している。加速度が発生していない状態� �、電極214Aの端部2214Aは電極214Bの端部2214Bに� �してY軸に沿って方向D203で少しずれている。 また、加速度が発生していない状態で、電極 218Aの端部2218Aは、電極218Bの端部2218Bに対して 方向D203と反対の方向D204に少しずれている。� ��様に、加速度が発生していない状態で、電� ��216A、216Bの同じ方向の端部はY軸に沿って少� ��ずれている。また、加速度が発生していな� ��状態で、電極220A、220Bの同じ方向の端部はY� ��に沿って電極218A、218Bの端部がずれている� �向と反対の方向に少しずれている。電極217A� ��217Bの同じ方向の端部2217A、2217Bは、電極221A� ��221Bの同じ方向の端部2221A、2221Bにそれぞれ� �向している。加速度が発生していない状態� �、電極217Aの端部2217Aは電極217Bの端部2217Bに� �して方向D203で少しずれている。また、加速� ��が発生していない状態で、電極221Aの端部222 1Aは、方向D204に少しずれている。同様に、加 速度が発生していない状態で、電極219A、219B� ��同じ方向の端部はY軸に沿って少しずれてい る。また、加速度が発生していない状態で、 電極223A、223Bの同じ方向の端部はY軸に沿って 電極219A、219Bの端部がずれている方向と反対� ��方向に少しずれている。電極214A、214Bは、Y� ��に沿って端部2214A、2214Bの反対側にある端部 4214A、4214Bをそれぞれ有する。加速度が発生� �ていない状態で、電極214Aの端部4214Aは電極21 4Bの端部4214Bに対してY軸に沿って方向D203で少 しずれている。電極218A、218Bは、Y軸に沿って 端部2218A、2218Bの反対側にある端部4218A、4218B� ��それぞれ有する。加速度が発生していない� ��態で、電極218Aの端部4218Aは、電極218Bの端部 4218Bに対して方向D204に少しずれている。電極 217A、217Bは、Y軸に沿って端部2217A、2217Bの反� �側にある端部4217A、4217Bをそれぞれ有する。� ��速度が発生していない状態で、電極217Aの端 部4217Aは電極217Bの端部4217Bに対してY軸に沿っ て方向D203で少しずれている。電極221A、221Bは 、Y軸に沿って端部2221A、2221Bの反対側にある� ��部4221A、4221Bをそれぞれ有する。加速度が発 生していない状態で、電極221Aの端部4221Aは、 電極221Bの端部4221Bに対して方向D204に少しず� �ている。

 図15はY軸に沿った加速度が生じていると� ��の、図9Aに示す検出素子201の線10-10における 断面図である。Y軸に沿った方向D203の加速度1 002Dが生じた場合、加速度1002DによるY軸に沿� �た力が回転の力に変換されることなく、弾� �部209はY軸に沿ってのみ変形し、Y軸やZ軸に� �っては変形しない。この結果、電極214A、218A の端部2214A、2218Aは、電極214B、218Bの端部2214B� ��2218Bに対して相対的に距離W202だけY軸に沿っ て移動する。同様に、電極216A、220Aの端部は� ��電極216B、220Bの端部に対して相対的に距離W2 02だけY軸に沿って移動する。加速度1002Dによ� ��、錘部203A、203CがY軸に沿って移動した場合� ��、対向電極部214の静電容量の変化量と、対� ��電極部218の静電容量の変化量とを異ならせ� ��いる。同様に、錘部203B、203DがY軸に沿って� ��動した場合に、対向電極部216の静電容量の� ��化量と対向電極部220の静電容量の変化量と� ��異ならせている。同様に、電極217A、221Aの� �部2217A、2221Aは、電極217B、221Bの端部2217B、222 1Bに対して相対的に距離W202だけY軸に沿って� �動する。同様に、電極219A、223Aの端部は、電 極219B、223Bの端部に対して相対的に距離W202だ けY軸に沿って移動する。加速度1002Dにより、 錘部203A、203CがY軸に沿って移動した場合に、 対向電極部217の静電容量の変化量と、対向電 極部221の静電容量の変化量とを異ならせてい る。同様に、錘部203B、203DがY軸に沿って移動 した場合に、対向電極部219の静電容量の変化 量と対向電極部223の静電容量の変化量とを異 ならせている。

 このように、X軸やY軸に沿った加速度1002C 、1002Dにより対向電極部214、216、217、218、219� ��220、221、223の静電容量が変化するので、処� ��回路261はこれらの静電容量の変化に基づい� ��加速度1002C、1002Dを検出することができる。

 検出素子201は、弾性部209がX軸に沿っての み変形してY軸やZ軸に沿っては変形せずにX軸 に沿った加速度1002Cを検出でき、かつ弾性部2 11がY軸に沿ってのみ変形してX軸やZ軸に沿っ� ��は変形せずにY軸に沿った加速度1002Dを検出� ��きる。検出素子201は、X軸に沿った加速度100 2CとY軸に沿った加速度1002Dとを互いに影響を� ��けずに独立して高感度で検出できる。

 また、加速度1002Cによる対向電極部214の� �電容量の変化量と対向電極部216の静電容量� �変化量が異なり、かつ、対向電極部218の静� �容量の変化量と対向電極部220の静電容量の� �化量とが異なる。また、加速度1002Cによる対 向電極部217の静電容量の変化量と対向電極部 219の静電容量の変化量が異なり、かつ、対向 電極部221の静電容量の変化量と対向電極部223 の静電容量の変化量とが異なる。例えば、図 13に示すように、X軸の負の方向の加速度1002C� ��生じた場合には、対向電極部214、217、218、2 21の静電容量は減少し、対向電極部216、219、2 19、223の静電容量は増大する。X軸の正の方向 の加速度が生じた場合には錘部203A~203Dは図13� ��示す方向と反対の方向に移動するので、対� ��電極部214、217、218、221の静電容量は増大し� ��対向電極部216、219、220、223の静電容量は減� ��する。したがって、検出素子201に接続され� ��処理回路261は、対向電極部214、216、217、218� ��219、220、221、223の静電容量により錘部203A~20 3DがX軸の正の方向へ移動したのか、負の方向 へ移動したのかを区別できる。同様に、図15� ��示すように、Y軸の負の方向の加速度1002Dが� ��じた場合には、対向電極部214、217、216、219� ��静電容量は減少し、対向電極部218、220、221� ��223の静電容量は増大する。Y軸の正の方向の 加速度が生じた場合には錘部203A~203Dは図15に� ��す方向と反対の方向に移動するので、対向� ��極部214、217、216、219の静電容量は増大し、� ��向電極部218、220、221、223の静電容量は減少� ��る。したがって、処理回路261は、対向電極� ��214、216、217、218、219、220、221、223の静電容� ��により錘部203A~203DがY軸の正の方向へ移動し たのか、負の方向へ移動したのかを区別でき る。

 慣性力センサ1002では、錘部203A~203DがZ軸� �正の方向に変位した場合には、電極214A、216A 、218A、220Aは電極214B、216B、218B、220Bに近づき 、電極217A、219A、221A、223Aは電極217B、219B、221 B、223Bから離れる。また、錘部203A~203DがZ軸の 負の方向に変位した場合には、電極214A、216A� ��218A、220Aは電極214B、216B、218B、220Bから離れ� ��電極217A、219A、221A、223Aは電極217B、219B、221B 、223Bに近づく。このように、錘部203A~203DがZ� ��に沿って変位しても、電極214A、214B間の距� �と電極217A、217B間の距離の合計と、電極216A� �216B間の距離と電極219A、219B間の距離の合計� �、電極218A、218B間の距離と電極221A、221B間の� ��離の合計と、電極220A、220B間の距離と電極22 3A、223B間の距離の合計は変化せず一定である 。したがって、錘部203A~203DがZ軸に沿って変� �しても、対向電極部214、217の合成静電容量� �、対向電極部216、219の合成静電容量と、対� �電極部218、221の合成静電容量と、対向電極� �220、223の合成静電容量は大きく変化するこ� �がない。したがって、慣性力センサ1002はこ� ��らの合成静電容量に基づいて加速度1002C、10 02Dを高精度で検出することができる。

 また、一つの検出素子201で加速度と角速� ��を検出できるので、慣性力センサ1002はその 実装面積を低減して小型化を図れる。

 慣性力センサ1002の検出素子201では、X軸� �沿ってのみ変形してY軸やZ軸に沿っては変形 しない弾性部209は固定部204に設けられている 。実施の形態2による慣性力センサでは、弾� �部209は連結部であるアーム208に設けられて� �てもよい。また、検出素子201では、Y軸に沿� ��てのみ変形してX軸やZ軸に沿っては変形し� �い弾性部211は固定部206に設けられている。� �施の形態2による慣性力センサでは、弾性部2 11は連結部である固定アーム207に設けてもよ� ��。

 また、角速度を検出するための駆動電極2 22、検知電極224、感知電極226、228の形状や位� ��は上記以外のものでもよい。

 加速度による力が回転力に変換されるこ� ��無く電極214A、216A、217A、218A、219A、220A、221A 、223Aが電極214B、216B、217B、218B、219B、220B、22 1B、223Bに対して加速度の方向に大きく変位す るので、実施の形態2による慣性力センサ1002� ��加速度を高感度に検出することができる。

 (実施の形態3)
 図16Aは本発明の実施の形態3における慣性力 センサ1003の検出素子301の分解斜視図である� �図16Bは検出素子301の斜視図である。図17と図 18はそれぞれ図16Aに示す検出素子301の線17-17� �線18-18における断面図である。慣性力センサ 1003は加速度と角速度を検出できる。

 図16Aと図16Bに示すように、互いに直交す� ��第1の軸、第2の軸、第3の軸であるZ軸、X軸� �Y軸を定義する。支持部312からX軸に沿って2� �のアーム308が延びており、枠形状の固定部30 4に接続されている。支持部312はアーム308を� �して固定部304に結合している。アーム308は� �定部304に対して直角に延びている。支持部31 2からはY軸に沿って4つのアーム310A~310Dが延び ており、4つの錘部303A~303Dにそれぞれ接続さ� �ている。アーム308、310A~310Dは可撓性を有し� �アーム308、310A~310Dと支持部312とは可撓性を� �する可撓部を構成する。可撓部は固定部304� �接続されている。錘部303A~303Dは可撓部を介� �て固定部304に連結している。錘部303A~303Dは� �板305に対向する面1303A~1303Dをそれぞれ有し、 かつ面1303A~1303Dの反対側の面2303A~2303Dをそれ� �れ有する。面2303A~2303Dは基板315に対向する。 アーム308はアーム310A~310Dよりも非常に薄く、 したがってアーム310A~310Dより大きい可撓性を 有する。

 錘部303A、303B、303C、303Dの面1303A、1303B、13 03C、1303D上には電極314A、316A、318A、320Aがそれ ぞれ設けられている。錘部303A、303B、303C、303 Dの面2303A、2303B、2303C、2303D上には電極317A、31 9A、321A、323Aがそれぞれ設けられている。固� �部304には基板305、315が取り付けられている� �基板305は錘部303A~303Dの面1303A~1303DにZ軸に沿� �て対向する面305Aを有する。電極314A、316A、31 8A、320Aからそれぞれ離れて電極314A、316A、318A 、320AにZ軸に沿ってそれぞれ対向する電極314B 、316B、318B、320Bが基板305の面305Aに設けられ� �いる。電極314A、316A、318A、320Aからそれぞれ� ��れて電極314A、316A、318A、320AにZ軸に沿って� �れぞれ対向する電極314C、316C、318C、320Cが基� ��305に設けられている。電極314A、314Bは静電� �量を有する対向電極部314Xを構成する。電極3 16A、316Bは静電容量を有する対向電極部316Xを� ��成する。電極318A、318Bは静電容量を有する� �向電極部318Xを構成する。電極320A、320Bは静� �容量を有する対向電極部320Xを構成する。電� ��314A、316AはX軸に沿って配列されている。電� ��314B、316BはX軸に沿って配列されている。す� ��わち、対向電極部314X、316XはX軸に沿って配� ��されている。電極318A、320AはX軸に沿って配� ��されている。電極318B、320BはX軸に沿って配� ��されている。すなわち、対向電極部318X、320 XはX軸に沿って配列されている。電極314A、314 Cは静電容量を有する対向電極部314Yを構成す� ��。電極316A、316Cは静電容量を有する対向電� �部316Yを構成する。電極318A、318Cは静電容量� �有する対向電極部318Yを構成する。電極320A、 320Cは静電容量を有する対向電極部320Yを構成� ��る。電極314A、318AはY軸に沿って配列されて� ��る。電極314C、318CはY軸に沿って配列されて� ��る。すなわち、対向電極部314Y、318YはY軸に� ��って配列されている。電極316A、320AはY軸に� ��って配列されている。電極316C、320CはY軸に� ��って配列されている。すなわち、対向電極� ��316Y、320YはY軸に沿って配列されている。基� ��315は錘部303A~303Dの面2303A~2303DにZ軸に沿って� ��向する面315Aを有する。電極317A、319A、321A、 323Aからそれぞれ離れて電極317A、319A、321A、32 3AにZ軸に沿ってそれぞれ対向する電極317B、31 9B、321B、323Bが基板315の面315Aに設けられてい� ��。電極317A、319A、321A、323Aからそれぞれ離れ て電極317A、319A、321A、323AにZ軸に沿ってそれ� ��れ対向する電極317C、319C、321C、323Cが基板315 に設けられている。電極317A、317Bは静電容量� ��有する対向電極部317Xを構成する。電極319A� �319Bは静電容量を有する対向電極部319Xを構成 する。電極321A、321Bは静電容量を有する対向� ��極部321Xを構成する。電極323A、323Bは静電容� ��を有する対向電極部323Xを構成する。電極317 A、319AはX軸に沿って配列されている。電極317 B、319BはX軸に沿って配列されている。すなわ ち、対向電極部317X、319XはX軸に沿って配列さ れている。電極321A、323AはX軸に沿って配列さ れている。電極321B、323BはX軸に沿って配列さ れている。すなわち、対向電極部321X、323XはX 軸に沿って配列されている。電極317A、317Cは� ��電容量を有する対向電極部317Yを構成する。 電極319A、319Cは静電容量を有する対向電極部3 19Yを構成する。電極321A、321Cは静電容量を有� ��る対向電極部321Yを構成する。電極323A、323C� ��静電容量を有する対向電極部323Yを構成する 。電極317A、321AはY軸に沿って配列されている 。電極317C、321CはY軸に沿って配列されている 。すなわち、対向電極部317Y、321YはY軸に沿っ て配列されている。電極319A、333AはY軸に沿っ て配列されている。電極319C、323CはY軸に沿っ て配列されている。すなわち、対向電極部319 Y、323YはY軸に沿って配列されている。

 支持部312から延びるアーム310Aは、支持部 312からY軸に沿って延びる延部1310Aと、延部131 0Aと平行にY軸に沿って延びる延部3310Aと、延� ��1310Aと延部3310Aとを連結する結合部2310Aとを� ��して、実質的にU字形状を有する。結合部231 0Aは延部1310AからX軸に沿って延びる。延部3310 Aは錘部303Aに接続されている。支持部312から� ��びるアーム310Bは、支持部312からY軸に沿っ� �延びる延部1310Bと、延部1310Bと平行にY軸に沿 って延びる延部3310Bと、延部1310Bと延部3310Bと を連結する結合部2310Bとを有して、実質的にU 字形状を有する。結合部2310Bは延部1310BからX� ��に沿ってアーム310Aの結合部2310Aと反対に延� ��る。延部3310Bは錘部303Bに接続されている。� ��持部312から延びるアーム310Cは、支持部312か らY軸に沿って延びる延部1310Cと、延部1310Cと� ��行にY軸に沿って延びる延部3310Cと、延部1310 Cと延部3310Cとを連結する結合部2310Cとを有し� ��、実質的にU字形状を有する。結合部2310Cは� ��部1310CからX軸に沿ってアーム310Aの結合部231 0Aと同じ方向に延びる。延部3310Cは錘部303Cに� ��続されている。支持部312から延びるアーム3 10Dは、支持部312からY軸に沿って延びる延部13 10Dと、延部1310Dと平行にY軸に沿って延びる延 部3310Dと、延部1310Dと延部3310Dとを連結する結 合部2310Dとを有して、実質的にU字形状を有す る。結合部2310Dは延部1310DからX軸に沿ってア� ��ム310Cの結合部2310Cと反対に延びる。延部3310 Dは錘部303Dに接続されている。アーム310A~310D� ��延部1310A~1310D、3310A~3310Dは固定部304、306に対 して直角に延びている。

 アーム308と支持部312とは実質的に同一直� ��上に配置されている。アーム310A、310Bの延� �1310A、1310Bは支持部312から同じ方向に延びて� ��る。アーム310C、310Dの延部1310C、1310Dは支持� ��312から同じ方向に、かつアーム310A、310Bの� �部1310A、1310Bとは反対の方向に延びている。

 錘部303A~303Dは固定部304の枠形状の内方に� ��置されている。固定部304は固定アーム307を� ��して固定部306に連結されている。固定部304� ��固定部306の内方に配置されている。アーム3 08と支持部312とを略同一直線上に配置し、ア� ��ム308は検出素子301の中心301Aについて対称に 配置されている。アーム310A~310Dは検出素子301 の中心301Aについて対称配置されている。ア� �ム308、310A~310Dは錘部303A~303Dを固定部304に連� �する連結部として機能する。固定アーム307� �固定部304を固定部306に連結する連結部とし� �機能する。

 固定部304にはX軸に沿ってのみ弾性変形す る、すなわちY軸やZ軸に沿っては実質的に変� ��しない弾性部309が設けられている。固定ア� ��ム307はY軸に沿って延びている。固定部306に は、Y軸に沿ってのみ弾性変形する、すなわ� �X軸やZ軸に沿っては実質的に変形する弾性部 311が設けられている。固定部306は被検出物で ある実装基板1003Aに実装されるように構成さ� ��ている。

 弾性部309は、固定部304に形成されたY軸に 沿って延びるスリット313Aで構成されている� �弾性部311は、固定部306に形成されたX軸に沿� ��て延びるスリット313Bで構成されている。

 アーム310Cには錘部303Cを駆動して振動さ� �る駆動電極322が設けられている。アーム310D� ��はアーム310Dの振動を検知する検知電極324が 設けられている。アーム310A、310Bにはアーム3 10A、30Bの歪をそれぞれ感知する感知電極326、 328がそれぞれ設けられている。駆動電極322は 、アーム310C上に設けられた下部電極と、下� �電極上に設けられた圧電層と、圧電層上に� �けられた上部電極とを有する。同様に、検� �電極324、326、328はアーム310D、310A、310B上に� �けられた下部電極と、下部電極上に設けら� �た圧電層と、圧電層上に設けられた上部電� �とを有する。

 対向電極部314X、314Y、316X、316Y、317X、317Y� ��318X、318Y、319X、319Y、320X、320Y、321X、321Y、32 3X、323Y、駆動電極322、検知電極324、感知電極 326、328は信号線で固定部306まで引き出され、 信号線の端部でワイヤーボンディング等を介 して実装基板1003Aの配線パターンに電気的に� ��続される。対向電極部314X、314Y、316X、316Y、 317X、317Y、318X、318Y、319X、319Y、320X、320Y、321X 、321Y、323X、323Y、駆動電極322、検知電極324、 感知電極326、328は信号線や実装基板1003Aを介� ��て処理回路361に接続される。

 駆動電極322、検知電極324、感知電極326、3 28を有する慣性力センサ1003は、図4に示す実� �の形態1による駆動電極122、検知電極124、感� ��電極126、128を有する慣性力センサ1001と同様 にZ軸を中心とする角速度を検出することが� �きる。

 慣性力センサ1002で加速度を検出する際の 動作について説明する。

 図19と図20は検出素子301の平面図である。 図19は電極314A、314B、314C、316A、316B、316C、318A 、318B、318C、320A、320B、320Cの位置関係を示す� ��図20は電極317A、317B、317C、319A、319B、319C、32 1A、321B、321C、323A、323B、323Cの位置関係を示� �。

 まず、X軸に沿った加速度を検出する際の 慣性力センサ1003の動作について説明する。� �21はX軸に沿った加速度が生じていないとき� �、図19と図20に示す検出素子301の線21-21にお� �る断面図である。電極314A、314BのX軸に沿っ� �同じ方向の端部1314A、1314Bは、電極316A、316B� �X軸に沿って同じ方向の端部1316A、1316Bにそれ ぞれ対向している。加速度が発生していない 状態で、電極314Aの端部1314Aは電極314Bの端部13 14Bに対してX軸に沿って方向D301で少しずれて� ��る。また、加速度が発生していない状態で� ��電極316Aの端部1316Aは、電極316Bの端部1316Bに� ��して方向D301と反対の方向D302に少しずれて� �る。同様に、電極318A、318BのX軸に沿って同� �方向の端部1318A、1318Bは、電極320A、320BのX軸� ��沿って同じ方向の端部1320A、1320Bにそれぞれ 対向している。加速度が発生していない状態 で、電極318Aの端部1318Aは電極318Bの端部1318Bに 対してX軸に沿って方向D301で少しずれている� ��また、加速度が発生していない状態で、電� ��320Aの端部1320Aは、電極320Bの端部1320Bに対し� ��方向D302に少しずれている。電極317A、317Bの� ��じ方向の端部1317A、1317Bは、電極319A、319Bの� ��じ方向の端部1319A、1319Bにそれぞれ対向して いる。加速度が発生していない状態で、電極 317Aの端部1317Aは電極317Bの端部1317Bに対して方 向D301で少しずれている。また、加速度が発� �していない状態で、電極319Aの端部1319Aは、� �向D302に少しずれている。同様に、電極321A、 321Bの同じ方向の端部1321A、1321Bは、電極323A、 323Bの同じ方向の端部1323A、1323Bにそれぞれ対� ��している。加速度が発生していない状態で� ��電極321Aの端部1321Aは電極321Bの端部1321Bに対� ��て方向D301で少しずれている。また、加速度 が発生していない状態で、電極323Aの端部1323A は、方向D302に少しずれている。電極314A、314B は、X軸に沿って端部1314A、1314Bの反対側にあ� ��端部3314A、3314Bをそれぞれ有する。加速度が 発生していない状態で、電極314Aの端部3314Aは 電極314Bの端部3314Bに対してX軸に沿って方向D3 01で少しずれている。電極316A、316Bは、X軸に� ��って端部3316A、3316Bの反対側にある端部3316A� ��3316Bをそれぞれ有する。加速度が発生して� �ない状態で、電極316Aの端部3316Aは、電極316B� ��端部3316Bに対して方向D302に少しずれている� ��電極317A、317Bは、X軸に沿って端部1317A、1317B の反対側にある端部3317A、3317Bをそれぞれ有� �る。加速度が発生していない状態で、電極31 7Aの端部3317Aは電極317Bの端部3317Bに対してX軸� ��沿って方向D301で少しずれている。電極319A� �319Bは、X軸に沿って端部3319A、3319Bの反対側� �ある端部3319A、3319Bをそれぞれ有する。加速� ��が発生していない状態で、電極319Aの端部331 9Aは、電極319Bの端部3319Bに対して方向D302に少 しずれている。

 図22はX軸に沿った加速度が生じていると� ��の、図19と図20に示す検出素子301の線21-21に� ��ける断面図である。X軸に沿った方向D301の� �速度1003Cが生じた場合、加速度1003CによるX軸 に沿った力が回転の力に変換されることなく 、弾性部309はX軸に沿ってのみ変形し、Y軸やZ 軸に沿っては変形しない。この結果、電極314 A、316Aの端部1314A、1316Aは、電極314B、316Bの端� ��1314B、1316Bに対して相対的に距離W301だけX軸� ��沿って移動する。同様に、電極318A、320Aの� �部は、電極318B、320Bの端部に対して相対的に 距離W301だけX軸に沿って移動する。加速度1003 Cにより、錘部303A、303BがX軸に沿って移動し� �場合に、対向電極部314Xの静電容量の変化量� ��、対向電極部316Xの静電容量の変化量とを異 ならせている。同様に、錘部303C、303DがX軸に 沿って移動した場合に、対向電極部318Xの静� �容量の変化量と対向電極部320Xの静電容量の� ��化量とを異ならせている。同様に、電極317A 、319Aの端部1317A、1319Aは、電極317B、319Bの端� �1317B、1319Bに対して相対的に距離W301だけX軸� �沿って移動する。同様に、電極321A、323Aの端 部は、電極321B、323Bの端部に対して相対的に� ��離W301だけX軸に沿って移動する。加速度1003C により、錘部303A、303BがX軸に沿って移動した 場合に、対向電極部317Xの静電容量の変化量� �、対向電極部319Xの静電容量の変化量とを異� ��らせている。同様に、錘部303C、303DがX軸に� ��って移動した場合に、対向電極部321Xの静電 容量の変化量と対向電極部323Xの静電容量の� �化量とを異ならせている。

 処理回路361は、対向電極部314X、318X、317X� ��321Xの合成静電容量と、対向電極部316X、320X� ��319X、323Xの合成静電容量との差の変化量か� �X軸に沿った加速度1003Cを検出する。

 次に、Y軸に沿った加速度を検出する際の 慣性力センサ1003の動作について説明する。� �23はY軸に沿った加速度が生じていないとき� �、図19と図20に示す検出素子301の線23-23にお� �る断面図である。電極314A、314CのY軸に沿っ� �同じ方向の端部2314A、2314Cは、電極316A、316C� �Y軸に沿って同じ方向の端部2316A、2316Cにそれ ぞれ対向している。加速度が発生していない 状態で、電極314Aの端部2314Aは電極314Cの端部23 14Cに対してY軸に沿って方向D303で少しずれて� ��る。また、加速度が発生していない状態で� ��電極316Aの端部2316Aは、電極316Cの端部2316Cに� ��して方向D303と反対の方向D304に少しずれて� �る。同様に、電極318A、318CのY軸に沿って同� �方向の端部2318A、2318Cは、電極320A、320CのY軸� ��沿って同じ方向の端部2320A、2320Cにそれぞれ 対向している。加速度が発生していない状態 で、電極318Aの端部2318Aは電極318Cの端部2318Cに 対してY軸に沿って方向D303で少しずれている� ��また、加速度が発生していない状態で、電� ��320Aの端部2320Aは、電極320Cの端部2320Cに対し� ��方向D304に少しずれている。電極317A、317Cの� ��じ方向の端部2317A、2317Cは、電極319A、319Cの� ��じ方向の端部2319A、2319Cにそれぞれ対向して いる。加速度が発生していない状態で、電極 317Aの端部2317Aは電極317Cの端部2317Cに対して方 向D303で少しずれている。また、加速度が発� �していない状態で、電極319Aの端部2319Aは、� �向D304に少しずれている。同様に、電極321A、 321Cの同じ方向の端部2321A、2321Cは、電極323A、 323Cの同じ方向の端部2323A、2323Cにそれぞれ対� ��している。加速度が発生していない状態で� ��電極321Aの端部2321Aは電極321Cの端部2321Cに対� ��て方向D303で少しずれている。また、加速度 が発生していない状態で、電極323Aの端部2323A は、方向D304に少しずれている。電極314A、314C は、Y軸に沿って端部2314A、2314Cの反対側にあ� ��端部4314A、4314Cをそれぞれ有する。加速度が 発生していない状態で、電極314Aの端部4314Aは 電極314Cの端部4314Cに対してY軸に沿って方向D3 03で少しずれている。電極318A、318Cは、Y軸に� ��って端部2318A、2318Cの反対側にある端部4318A� ��4318Cをそれぞれ有する。加速度が発生して� �ない状態で、電極318Aの端部4318Aは、電極318C� ��端部4318Cに対して方向D304に少しずれている� ��電極317A、317Cは、Y軸に沿って端部2317A、2317C の反対側にある端部4317A、4317Cをそれぞれ有� �る。加速度が発生していない状態で、電極31 7Aの端部4317Aは電極317Cの端部4317Cに対してY軸� ��沿って方向D303で少しずれている。電極321A� �321Cは、Y軸に沿って端部2321A、2321Cの反対側� �ある端部4321A、4321Cをそれぞれ有する。加速� ��が発生していない状態で、電極321Aの端部432 1Aは、電極321Cの端部4321Cに対して方向D304に少 しずれている。

 図24はY軸に沿った加速度が生じていると� ��の、図19と図20に示す検出素子301の線23-23に� ��ける断面図である。Y軸に沿った方向D303の� �速度1003Dが生じた場合、加速度1003DによるY軸 に沿った力が回転の力に変換されることなく 、弾性部311はY軸に沿ってのみ変形し、X軸やZ 軸に沿っては変形しない。この結果、電極314 A、316Aの端部2314A、2316Aは、電極314C、316Cの端� ��2314C、2316Cに対して相対的に距離W302だけY軸� ��沿って移動する。同様に、電極318A、320Aの� �部は、電極318C、320Cの端部に対して相対的に 距離W302だけY軸に沿って移動する。加速度1003 Dにより、錘部303A、303CがY軸に沿って移動し� �場合に、対向電極部314Yの静電容量の変化量� ��、対向電極部316Yの静電容量の変化量とを異 ならせている。同様に、錘部303D、303DがY軸に 沿って移動した場合に、対向電極部318Yの静� �容量の変化量と対向電極部320Yの静電容量の� ��化量とを異ならせている。同様に、電極317A 、319Aの端部2317A、2319Aは、電極317C、319Cの端� �2317C、2319Cに対して相対的に距離W302だけY軸� �沿って移動する。同様に、電極321A、323Aの端 部は、電極321C、323Cの端部に対して相対的に� ��離W302だけY軸に沿って移動する。加速度1003D により、錘部303A、303CがY軸に沿って移動した 場合に、対向電極部317Yの静電容量の変化量� �、対向電極部319Yの静電容量の変化量とを異� ��らせている。同様に、錘部303D、303DがY軸に� ��って移動した場合に、対向電極部321Yの静電 容量の変化量と対向電極部323Yの静電容量の� �化量とを異ならせている。

 処理回路361は、対向電極部314Y、316Y、317Y� ��319Yの合成静電容量と、対向電極部318Y、320Y� ��321Y、323Yの合成静電容量との差の変化量か� �Y軸に沿った加速度1003Dを検出する。

 検出素子301は、弾性部309がX軸に沿っての み変形してY軸やZ軸に沿っては変形せずにX軸 に沿った加速度1003Cを検出でき、かつ弾性部3 11がY軸に沿ってのみ変形してX軸やZ軸に沿っ� ��は変形せずにY軸に沿った加速度1003Dを検出� ��きる。検出素子301は、X軸に沿った加速度100 3CとY軸に沿った加速度1003Dとを互いに影響を� ��けずに独立して高感度で検出できる。

 また、加速度1003Cによる対向電極部314Xの� ��電容量の変化量と対向電極部316Xの静電容量 の変化量が異なり、かつ、対向電極部318Xの� �電容量の変化量と対向電極部320Xの静電容量� ��変化量とが異なる。また、加速度1003Cによ� �対向電極部317Xの静電容量の変化量と対向電� ��部319Xの静電容量の変化量が異なり、かつ、 対向電極部321Xの静電容量の変化量と対向電� �部323Xの静電容量の変化量とが異なる。例え� ��、図22に示すように、X軸の負の方向の加速� ��1003Cが生じた場合には、対向電極部314X、317X 、318X、321Xの静電容量は減少し、対向電極部3 16X、319X、319X、323Xの静電容量は増大する。X� �の正の方向の加速度が生じた場合には錘部30 3A~303Dは図22に示す方向と反対の方向に移動す るので、対向電極部314X、317X、318X、321Xの静� �容量は増大し、対向電極部316X、319X、320X、32 3Xの静電容量は減少する。したがって、検出� ��子301に接続された処理回路361は、対向電極� ��314X、316X、317X、318X、319X、320X、321X、323Xの� �電容量により錘部303A~303DがX軸の正の方向へ� ��動したのか、負の方向へ移動したのかを区� ��できる。同様に、図24に示すように、Y軸の� ��の方向の加速度1003Dが生じた場合には、対� �電極部314Y、317Y、316Y、319Yの静電容量は減少� ��、対向電極部318Y、320Y、321Y、323Yの静電容量 は増大する。Y軸の正の方向の加速度が生じ� �場合には錘部303A~303Dは図24に示す方向と反対 の方向に移動するので、対向電極部314Y、317Y� ��316Y、319Yの静電容量は増大し、対向電極部31 8Y、320Y、321Y、323Yの静電容量は減少する。し� ��がって、処理回路361は、対向電極部314Y、316 Y、317Y、318Y、319Y、320Y、321Y、323Yの静電容量� �より錘部303A~303DがY軸の正の方向へ移動した� ��か、負の方向へ移動したのかを区別できる� ��

 慣性力センサ1003では、錘部303A~303DがZ軸� �正の方向に変位した場合には、電極314A、316A 、318A、320Aは電極314B、314C、316B、316C、318B、31 8C、320B、320Cに近づき、電極317A、319A、321A、32 3Aは電極317B、317C、319B、319C、321B、321C、323B、 323Cから離れる。また、錘部303A~303DがZ軸の負� ��方向に変位した場合には、電極314A、316A、31 8A、320Aは電極314B、314B、316B、316B、318B、318C、 320B、320Cから離れ、電極317A、319A、321A、323Aは 電極317B、317C、319B、319C、321B、321C、323B、323C� ��近づく。このように、錘部303A~303DがZ軸に沿 って変位しても、電極314A、314B間の距離と電� ��317A、317B間の距離の合計と、電極314A、314C間 の距離と電極317A、317C間の距離の合計と、電� ��316A、316B間の距離と電極319A、319B間の距離の 合計と、電極316A、316C間の距離と電極319A、319 C間の距離の合計と、電極318A、318B間の距離と 電極321A、321B間の距離の合計と、電極318A、318 C間の距離と電極321A、321C間の距離の合計と、 電極320A、320B間の距離と電極323A、323B間の距� �の合計と、電極320A、320C間の距離と電極323A� �323C間の距離の合計は変化せず一定である。� ��たがって、錘部303A~303DがZ軸に沿って変位し ても、対向電極部314X、317Xの合成静電容量と� ��対向電極部314Y、317Yの合成静電容量と、対� �電極部316X、319Xの合成静電容量と、対向電極 部316Y、319Yの合成静電容量と、対向電極部318X 、321Xの合成静電容量と、対向電極部318Y、321Y の合成静電容量と、対向電極部320X、323Xの合� ��静電容量と、対向電極部320Y、323Yの合成静� �容量は大きく変化することがない。したが� �て、慣性力センサ1003はこれらの合成静電容� ��に基づいて加速度1003C、1003Dを高精度で検出 することができる。

 また、一つの検出素子301で加速度と角速� ��を検出できるので、慣性力センサ1003はその 実装面積を低減して小型化を図れる。

 慣性力センサ1003の検出素子301では、X軸� �沿ってのみ変形してY軸やZ軸に沿っては変形 しない弾性部309は固定部304に設けられている 。実施の形態3による慣性力センサでは、弾� �部309は連結部であるアーム308に設けられて� �てもよい。また、検出素子301では、Y軸に沿� ��てのみ変形してX軸やZ軸に沿っては変形し� �い弾性部311は固定部306に設けられている。� �施の形態3による慣性力センサでは、弾性部3 11は連結部である固定アーム307に設けてもよ� ��。

 また、角速度を検出するための駆動電極3 22、検知電極324、感知電極326、328の形状や位� ��は上記以外のものでもよい。

 加速度による力が回転力に変換されるこ� ��無く電極314A、316A、317A、318A、319A、320A、321A 、323Aが電極314B、314C、316B、316C、317B、317C、31 8B、318C、319B、319C、320B、320C、321B、321C、323B32 3Cに対して加速度の方向に大きく変位するの� ��、実施の形態3による慣性力センサ1003は加� �度を高感度に検出することができる。

 (実施の形態4)
 図25は本発明の実施の形態4における感性力� ��ンサ1004の検出素子401の分解斜視図である。 図25において、図16Aに示す実施の形態4による 慣性力センサ1003の検出素子301と同じ部分に� �同じ参照番号を付して、その説明を省略す� �。検出素子401は図16Aに示す実施の形態3によ� ��検出素子301の電極314B、314C、316B、316C、317B� �317C、318B、318C、319B、319C、320B、320C、321B、321 C、323B、323Cの代わりに電極414B、414C、416B、416 C、417B、417C、418B、418C、419B、419C、420B、420C、 421B、421C、423B、423Cを備え、基板305、315の面30 5A、315Aにそれぞれ設けられた接地電極430、440 をさらに備える。接地電極430、440は接地され るよう構成されている。慣性力センサ1004は� �施の形態3による慣性力センサ1003の対向電極 部314X、314Y、316X、314Y、317X、317Y、318X、318Y、3 19X、319Y、320X、320Y、321X、321Y、323X、323Yの代� �りに、対向電極部414X、414Y、416X、414Y、417X、 417Y、418X、418Y、419X、419Y、420X、420Y、421X、421Y 、423X、423Yを備える。

 接地電極430は、電極414B、414C、416B、416C、 418B、418C、420B、420Cが設けられていない基板30 5の面305Aの部分に設けられている。すなわち� ��接地電極430は電極414B、414C、416B、416C、418B� �418C、420B、420Cから離れて、かつ電極414B、414C 、416B、416C、418B、418C、420B、420Cのそれぞれを 囲むように電極414B、414C、416B、416C、418B、418C 、420B、420Cの間で面305Aの全域に設けられてい る。接地電極440は、電極417B、417C、419B、419C� �421B、421C、423B、423Cが設けられていない基板3 15の面315Aの部分に設けられている。すなわち 接地電極440は電極417B、417C、419B、419C、421B、4 21C、423B、423Cから離れて、かつ電極417B、417C� �419B、419C、421B、421C、423B、423Cのそれぞれを� �むように電極417B、417C、419B、419C、421B、421C� �423B、423Cの間で面305Aの全域に設けられてい� �。

 電極314A、414Bは互いに対向して静電容量� �形成する対向電極部414Xを構成する。電極316A 、416Bは互いに対向して静電容量を形成する� �向電極部416Xを構成する。電極317A、417Bは互� �に対向して静電容量を形成する対向電極部41 7Xを構成する。電極318A、418Bは互いに対向し� �静電容量を形成する対向電極部418Xを構成す� ��。電極319A、419Bは互いに対向して静電容量� �形成する対向電極部419Xを構成する。電極320A 、420Bは互いに対向して静電容量を形成する� �向電極部420Xを構成する。電極321A、421Bは互� �に対向して静電容量を形成する対向電極部42 1Xを構成する。電極323A、423Bは互いに対向し� �静電容量を形成する対向電極部423Xを構成す� ��。電極314A、414Cは互いに対向して静電容量� �形成する対向電極部414Yを構成する。電極316A 、416Cは互いに対向して静電容量を形成する� �向電極部416Yを構成する。電極317A、417Cは互� �に対向して静電容量を形成する対向電極部41 7Yを構成する。電極318A、418Cは互いに対向し� �静電容量を形成する対向電極部418Yを構成す� ��。電極319A、419Cは互いに対向して静電容量� �形成する対向電極部419Yを構成する。電極320A 、420Cは互いに対向して静電容量を形成する� �向電極部420Yを構成する。電極321A、421Cは互� �に対向して静電容量を形成する対向電極部42 1Yを構成する。電極323A、423Cは互いに対向し� �静電容量を形成する対向電極部423Yを構成す� ��。

 駆動電極322、検知電極324、感知電極326、3 28を有する慣性力センサ1004は、図4に示す実� �の形態1による駆動電極122、検知電極124、感� ��電極126、128を有する慣性力センサ1001と同様 にZ軸を中心とする角速度を検出することが� �きる。

 図26と図27は検出素子401の断面図である。 接地電極430は電極414B、414C、416B、416C、418B、4 18C、420B、420Cのそれぞれを囲み、電極414B、414 C、416B、416C、418B、418C、420B、420Cの間に位置� �る。接地電極440は電極417B、417C、419B、419C、4 21B、421C、423B、423Cのそれぞれを囲み、電極417 B、417C、419B、419C、421B、421C、423B、423Cの間に� ��置する。

 図26はX軸に沿った加速度が生じていない� ��きの検出素子401を示す。電極314A、414BのX軸� ��沿って同じ方向の端部1314A、1414Bは、電極316 A、416BのX軸に沿って同じ方向の端部1316A、1416 Bにそれぞれ対向している。加速度が発生し� �いない状態で、電極314Aの端部1314Aは電極414B� ��端部1414Bに対してX軸に沿って方向D402で少し ずれている。また、加速度が発生していない 状態で、電極316Aの端部1316Aは、電極416Bの端� �1416Bに対して方向D402と反対の方向D401に少し� ��れている。同様に、電極318A、418BのX軸に沿� ��て同じ方向の端部1318A、1418Bは、電極320A、42 0BのX軸に沿って同じ方向の端部1320A、1420Bに� �れぞれ対向している。加速度が発生してい� �い状態で、電極318Aの端部1318Aは電極418Bの端� ��1418Bに対してX軸に沿って方向D402で少しずれ ている。また、加速度が発生していない状態 で、電極320Aの端部1320Aは、電極420Bの端部1420B に対して方向D401に少しずれている。電極317A� ��417Bの同じ方向の端部1317A、1417Bは、電極319A� ��419Bの同じ方向の端部1319A、1419Bにそれぞれ� �向している。加速度が発生していない状態� �、電極317Aの端部1317Aは電極417Bの端部1417Bに� �して方向D402で少しずれている。また、加速� ��が発生していない状態で、電極319Aの端部131 9Aは、方向D401に少しずれている。同様に、電 極321A、321Bの同じ方向の端部1321A、1321Bは、電 極323A、323Bの同じ方向の端部1323A、1323Bにそれ ぞれ対向している。加速度が発生していない 状態で、電極321Aの端部1321Aは電極321Bの端部13 21Bに対して方向D402で少しずれている。また� �加速度が発生していない状態で、電極323Aの� ��部1323Aは、方向D401に少しずれている。電極3 14A、414Bは、X軸に沿って端部1314A、1414Bの反対 側にある端部3314A、3414Bをそれぞれ有する。� �速度が発生していない状態で、電極314Aの端� ��3314Aは電極414Bの端部3414Bに対してX軸に沿っ� ��方向D402で少しずれている。電極316A、416Bは� ��X軸に沿って端部3316A、3416Bの反対側にある� �部3316A、3416Bをそれぞれ有する。加速度が発� ��していない状態で、電極316Aの端部3316Aは、� ��極416Bの端部3416Bに対して方向D401に少しずれ ている。電極317A、417Bは、X軸に沿って端部131 7A、1417Bの反対側にある端部3317A、3417Bをそれ� ��れ有する。加速度が発生していない状態で� ��電極317Aの端部3317Aは電極417Bの端部3417Bに対� ��てX軸に沿って方向D402で少しずれている。� �極319A、419Bは、X軸に沿って端部3319A、3419Bの� ��対側にある端部3319A、3419Bをそれぞれ有する 。加速度が発生していない状態で、電極319A� �端部3319Aは、電極419Bの端部3419Bに対して方向 D401に少しずれている。

 X軸に沿った方向の加速度が生じた場合、 慣性力センサ1004は実施の形態3による慣性力� ��ンサ1003と同様にその加速度を検出すること ができる。慣性力センサ1004では、電極414B、4 16B、417B、418B、419B、420B、421B、423Bの電極314A� �316A、317A、318A、319A、320A、321A、323Aに対して� ��れている方向が図21に示す実施の形態3によ� ��慣性力センサ1003の電極314B、316B、317B、318B� �319B、320B、321B、323Bと逆である。したがって� ��加速度が発生した場合の対向電極部414X、416 X、417X、418X、419X、420X、421X、423Xの静電容量� �変化は実施の形態3による慣性力センサ1003の 対向電極部314X、316X、317X、318X、319X、320X、321 X、323Xと逆になる。それ以外は、慣性力セン� ��1004は慣性力センサ1003と同様にX軸に沿った� ��速度を検出でき、同様の効果を有する。

 図27はY軸に沿った加速度が生じていない� ��きの検出素子401を示す。電極314A、414CのY軸� ��沿って同じ方向の端部2314A、2414Cは、電極316 A、416CのY軸に沿って同じ方向の端部2316A、2416 Cにそれぞれ対向している。加速度が発生し� �いない状態で、電極314Aの端部2314Aは電極414C� ��端部2414Cに対してY軸に沿って方向D403で少し ずれている。また、加速度が発生していない 状態で、電極316Aの端部2316Aは、電極416Cの端� �2416Cに対して方向D403と反対の方向D404に少し� ��れている。同様に、電極318A、418CのY軸に沿� ��て同じ方向の端部2318A、2418Cは、電極320A、42 0CのY軸に沿って同じ方向の端部2320A、2420Cに� �れぞれ対向している。加速度が発生してい� �い状態で、電極318Aの端部2318Aは電極418Cの端� ��2418Cに対してY軸に沿って方向D403で少しずれ ている。また、加速度が発生していない状態 で、電極320Aの端部2320Aは、電極420Cの端部2420C に対して方向D404に少しずれている。電極317A� ��417Cの同じ方向の端部2317A、2417Cは、電極319A� ��419Cの同じ方向の端部2319A、2419Cにそれぞれ� �向している。加速度が発生していない状態� �、電極317Aの端部2317Aは電極417Cの端部2417Cに� �して方向D403で少しずれている。また、加速� ��が発生していない状態で、電極319Aの端部231 9Aは、方向D404に少しずれている。同様に、電 極321A、321Cの同じ方向の端部2321A、2321Cは、電 極323A、323Cの同じ方向の端部2323A、2323Cにそれ ぞれ対向している。加速度が発生していない 状態で、電極321Aの端部2321Aは電極321Cの端部23 21Cに対して方向D403で少しずれている。また� �加速度が発生していない状態で、電極323Aの� ��部2323Aは、方向D404に少しずれている。電極3 14A、414Cは、Y軸に沿って端部2314A、2414Cの反対 側にある端部3314A、4414Cをそれぞれ有する。� �速度が発生していない状態で、電極314Aの端� ��3314Aは電極414Cの端部4414Cに対してY軸に沿っ� ��方向D403で少しずれている。電極316A、416Cは� ��Y軸に沿って端部3316A、4416Cの反対側にある� �部3316A、4416Cをそれぞれ有する。加速度が発� ��していない状態で、電極316Aの端部3316Aは、� ��極416Cの端部4416Cに対して方向D404に少しずれ ている。電極317A、417Cは、Y軸に沿って端部231 7A、2417Cの反対側にある端部3317A、4417Cをそれ� ��れ有する。加速度が発生していない状態で� ��電極317Aの端部3317Aは電極417Cの端部4417Cに対� ��てY軸に沿って方向D403で少しずれている。� �極319A、419Cは、Y軸に沿って端部3319A、4419Cの� ��対側にある端部3319A、4419Cをそれぞれ有する 。加速度が発生していない状態で、電極319A� �端部3319Aは、電極419Cの端部4419Cに対して方向 D404に少しずれている。

 Y軸に沿った方向の加速度が生じた場合、 慣性力センサ1004は実施の形態3による慣性力� ��ンサ1003と同様にその加速度を検出すること ができ、同様の効果を有する。

 図28は基板305に設けられた電極の平面図� �ある。慣性力センサ1004を実装して信号線を� ��続するように構成されたランド432が検出素� ��401の周囲に設けられている。基板305の面305A に設けられた電極414B、414C、416B、416C、418B、4 18C、420B、420Cのそれぞれと接地電極430とは静� ��容量C101~C112を介して結合している。隣り合� ��電極414C、416C、418C、420Cは静電容量C121~C124を 介して結合している。電極414B、416B、418B、420 Bは静電容量C125~C128を介してランド432に結合� �ている。電極414C、416C、418C、420Cは、互いに� ��立して変位する電極414A、416A、417A、418Aにそ れぞれ対向しており、ランド432は検出素子401 の外部の処理回路461に接続される。静電容量 C125~C128に起因して電極414B、416B、418B、420Bに� �イズが発生する場合がある。接地電極430に� �り発生した静電容量C101~C112は静電容量C125~C12 8を低減してそのノイズの発生を抑制するこ� �ができる。

 図29は基板315に設けられた電極の平面図� �ある。慣性力センサ1004を実装して信号線を� ��続するように構成されたランド442が検出素� ��401の周囲に設けられている。基板305の面305A に設けられた電極417B、417C、419B、419C、421B、4 21C、423B、423Cのそれぞれと接地電極430とは静� ��容量C201~C212を介して結合している。隣り合� ��電極417C、419C、421C、423Cは静電容量C221~C224を 介して結合している。電極417B、419B、421B、423 Bは静電容量C225~C228を介してランド442に結合� �ている。電極417C、419C、421C、423Cは、互いに� ��立して変位する電極417A、419A、417A、421Aにそ れぞれ対向しており、ランド442は検出素子401 の外部の処理回路461に接続される。慣性力セ ンサ1004は電極間の静電容量に基づいて加速� �を検出するので、静電容量C225~C228に起因し� �電極417B、419B、421B、423Bにノイズが発生する� ��合がある。接地電極430による発生した静電� ��量C201~C212は静電容量C225~C228を低減してその� ��イズの発生を抑制することができる。

 したがって、実施の形態4による慣性力セ ンサ1004はノイズによる誤差を発生しにくい� �で、加速度を高感度にかつ高精度に検出す� �ことができる。