Stand der Technik

Die Erfindung betrifft ein Interferometrisches System mit einem eine Lichtquelle und eine Beleuchtungsoptik aufweisenden Beleuchtungsarm zum Bilden eines Be¬ leuchtungsstrahlengangs, einem ein Referenzelement zur Vermessung eines Objektes mit einer zu vermessenden Objektfläche aufweisenden Objektarm zum Bilden eines Abbildungsstrahlengangs, wobei das zu vermessenden Objekt eine der direkten Beleuchtung nicht zugänglichen Objektfläche aufweist, einem Referenzarm mit einem Referenzelement und einem Detektorarm mit einem Detektor und einem Strahlteiler.

Die Erfindung betrifft weiterhin ein mit der Vorrichtung durchführbares Messverfahren.

Die Fertigung von Präzisionsteilen erfordert zur Sicherung der Qualität der ent- sprechenden Teile Meßmethoden zur Erfassung der Geometrie und der Beschaffen¬ heit der Teile. Optische Meßmethoden, wie beispielsweise die Bilderfassung und

Bildauswertung, die Interferometrie, insbesondere die Weißlichtinterferometrie leistet hier einen wichtigen Beitrag.

Das Prinzip des Weißlichtinterferometers beruht darauf, dass eine kurzkohärente Lichtquelle für die Beleuchtung eines abbildenden Systems benutzt wird. Das abbildende System besitzt zusätzlich zur normalen Abbildungsoptik einen Re¬ ferenzarm, welcher von einem Teil des eingestrahlten Lichts durchlaufen wird. Besitzen nun der Laufweg des Lichtes A ₀ Jm Objektarm und der Laufweg im Re¬ ferenzarm ΛR einen Wegunterschied, der geringer ist als die Kohärenzlänge Ic des Lichts, d.h.

so können die wieder zusammengeführten Lichtfelder eine messbare Interferenz auf- weisen. Dies wird ausgenutzt, indem während der Messung der Wegunterschied der Lichtfelder definiert durch Verschiebung des Objektes oder des Referenzelementes entlang der optischen Achse verändert wird. Gleichzeitig wird die Intensität der wieder zusammengeführten Lichtfelder auf einem flächenhaft messenden Detektor, üblicherweise einer CCD-Kamera, gemessen. Da eine konstruktive oder destruktive Interferenz nur innerhalb der Kohärenzlänge der Weißlichtquelle erfolgen kann, liefert die pixelweise Auswertung der durch die Interferenz erzeugten Intensitätsmodulation, das Intensitätskorrelogramm, eine eindeutige Höheninformation für jedes einzelne Pixel. Dies führt, für das gesamte Pixelfeld ausgeführt, zu einer vollständigen Höheninformation des Objektes.

Kommerzielle Weißlichtinterferometer weisen typisch folgende Spezifikationen auf:

Die Höhenauflösung Δz ist durch die verwendete mittlere Wellenlänge des Lichtes λ _m , die Kohärenzlänge Ic und die Art des Korrelogrammauswertungsalgorithmus gegeben. Typische Parameter wie λ _m = 600 nm, Ic = 2 μm ermöglichen Werte von Δz = 1 nm.

Die laterale Auflösung δ gleicht der eines konventionellen abbildenden Systems und ist prinzipiell beschränkt durch λ _m und die Numerische Apertur NA der Abbildungsoptik.

δ ≥ 0,61 λ _m / NA (2)

Der maximale messbare Gesamthöhenunterschied z _max bestimmt sich aus der tech¬ nischen Machbarkeit, einen Wegunterschied in Referenzarm und Objektarm zu er- zeugen, der über die gesamte Strecke präzise geführt wird. Geregelte Piezosysteme ermöglichen heute Werte von z _ma χ ≤ 400 μm.

Konventionelle Interferometer, insbesondere Weißlichtinterferometer-Systeme können dann für die oben beschriebenen Aufgaben benutzt werden, wenn die zu vermessende Stelle leicht zugänglich ist und eine vorwiegend ebene Geometrie aufweist. Ist dies nicht der Fall, kommen Interferometer zum Einsatz, die eine auf das zu vermessende Objekt angepasste Sonderoptik haben. Nachteilig bei diesen Interferometern ist jedoch, dass Hinterschneidungen am Messobjekt im Schatten¬ bereich der Beleuchtung liegen und somit nicht erfasst werden können. Zur Vermessung dieser Flächen muss das Objekt demontiert und in einem zweiten Messvorgang erfasst werden.

Es ist Aufgabe der Erfindung, ein interferometrisches System zur Verfügung zu stellen, das eine 3-dimensionale Vermessung von Objekten mit schwer zugänglichen Flächen mit einer einzigen Aufnahme erlaubt.

Vorteile der Erfindung

Die die Vorrichtung betreffende Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst, dass das Referenzelement eine oder mehrere verspiegelte Zonen aufweist. Hierdurch wird erreicht, dass Lichtstrahlen hinterschnittene Flächen erreichen, die somit im selben

Messvorgang wie die übrigen Flächen vermessen werden können. Insbesondere kann die Lage der hinterschnittenen Flächen relativ zu den übrigen Flächen bestimmt werden.

Hinterschnitte jeder Form, auch solche mit nicht ebenen Flächen können vermessen werden, indem die verspiegelte Zone an das Objekt dahingehend angepasst ist, dass die verspiegelte Zone im jeweils halben Winkel zur Senkrechten zur optischen Achse des Abbildungsstrahlenganges wie eine zu vermessende Teilfläche der Objektfläche ausgebildet ist.

Eine gegenüber Umwelteinflüssen wie Temperatureinflüssen besonders unempfindliche Ausführungsform sieht vor, dass die verspiegelte Zone einstückig mit dem Referenzelement verbunden ist.

Wird die verspiegelte Zone als getrennte Einheit ausgeführt und ist sie mit dem Referenzelement beispielsweise durch kleben oder schrauben mechanisch verbunden, kann sie in einem getrennten Bearbeitungsschritt auf die Form der Objektfläche angepasst und gegebenenfalls bei einem gleichartigen Objekt in einem anderen Referenzelement wiederverwendet werden.

Eine bevorzugte Ausführungsform sieht vor, dass im Referenzelement neben der verspiegelten Zone eine zweite Referenzfläche zur Vermessung der Objektfläche ausgebildet ist. Hierdurch wird erreicht, dass die relative Lage einer dem üblichen Messverfahren zugänglichen Objektfläche und der üblicherweise nicht zugänglichen Fläche bestimmt werden kann.

Ist im Referenzelement neben der verspiegelten Zone mindestens eine zweite Referenzfläche zur Vermessung mindestens einer zweiten Objektfläche ausgebildet, kann in einem Tiefenscan die Lage sämtlicher interessierender Objektflächen in Bezug auf das Referenzelement in einem Tiefenscan bestimmt werden.

Die das Verfahren betreffende Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst, dass von einer Objektfläche reflektierte Lichtstrahlen mit von einer zugehörigen Referenzfläche reflektierten Lichtstrahlen zur Interferenz gebracht werden, während von der der direkten Beleuchtung nicht zugänglichen Objektfläche reflektierte Lichtstrahlen zusätzlich über eine verspiegelte Zone reflektiert und dann mit von einer zugehörigen Referenzfläche reflektierten Lichtstrahlen zur Interferenz gebracht werden. Hierdurch wird erreicht, dass Bauteile mit Hinterschnitten in einem einzigen Meßvorgang vermessen werden können und insbesondere die relative Lage der Hinterschnitte zu den übrigen Flächen bestimmt werden kann.

Zeichnungen

Die Erfindung wird im folgenden anhand eines in den Figuren dargestellten Ausfüh¬ rungsbeispiels näher erläutert. Es zeigen:

Figur 1 schematisch eine Weißlichtinterferometer-Anordnung gemäß dem Stand der Technik; Figur 2 schematisch ein interferametrisches System in erfinderischer Ausführung; Figur 3 schematisch ein interferametrisches System, das gleichzeitigen Messung dem Objektiv zugewandter und abgewandter Flächen geeignet ist.

Beschreibung der Ausführungsbeispiele

Das interferometrische System 1 einer in Fig. 1 schematisch gezeigten Weißlicht- interferometer-Anordnung gemäß dem Stand der Technik umfasst einen Objektarm 40, in dem sich die zu messende Oberfläche eines Objektes 41 befindet, einen Beleuchtungsarm 20, der eine Lichtquelle 21 und eine aus einer oder mehreren Linsen aufgebauten Beleuchtungsoptik 22 aufweist, die einen Beleuchtungsstrahlen- gang 60 ausbilden. Orthogonal zum Beleuchtungsarm 20 und zum Objektarm 40 angeordnet weist das interferometrische System 1 einen Referenzarm 10 mit einem

Referenzelement 11 auf, das mechanisch mit einem Verstellelement 12, üblicher¬ weise einem Piezosystem, gekoppelt ist. Gegenüberliegend zum Referenzarm 10 befindet sich ein Detektorarm 30, der einen Detektor 31 , üblicherweise einen flächenhaft messenden Detektor 31 , wie beispielsweise eine CCD-Kamera, sowie eine Linse 32 zur Abbildung einer auszuwertenden Intensitätsverteilung im Abbildungsstrahlengang 70 aufweist. Für die Auswertung ist eine (nicht näher gezeigte) Auswerteeinrichtung vorhanden.

Ein Strahlteiler 50 teilt dabei die verschiedenen Lichtstrahlen auf bzw. führt sie wieder zusammen, so dass die Lichtstrahlen aus dem Referenzarm 10 und die aus dem Objektarm 40 im Detektorarm 30 am Detektor 31 in der oben beschriebenen Weise interferieren können.

Die Abtastung des Objektes kann dabei durch Verschiebung des Referenzelementes 11 mit dem Verstellelement 12 oder alternativ durch Verschiebung des Objektes 41 mit einem gleichartigen Verstellelement erfolgen.

Die Architektur eines interferometrischen Systems 1 gemäß dem Stand der Technik erlaubt nur die Vermessung von Flächen am Objekt 41 , die der Beleuchtung direkt zugänglich sind. Hinterschnitte im Objekt 41 erfordern, dass das Objekt demontiert wird und in einem zweiten Vorgang diese Flächen sowie weitere Objektflächen vermessen werden um die Lage der Hinterschnitte zu den im ersten Schnitt vermessenen Objektflächen zu bestimmen.

Dem gegenüber zeigt Fig. 2 schematisch ein interferometrisches System 1 , bei dem erfindungsgemäß Objektflächen 45 am Objekt 41 vermessen werden, die der direkten Beleuchtung nicht zugänglich sind. Das Objekt 41 ist hierzu mit einem Referenzelement 42 verbunden, das mindestens eine verspiegelte Zone 46 aufweist.

Durch eine Linse 48 tritt das Licht aus dem hier nicht dargestellten Beleuchtungsarm 20 in Richtung des Objektes 41 aus. Der die verspiegelte Zone 46 treffende Anteil

wird in Richtung der der direkten Beleuchtung nicht zugänglichen Objektfläche 45 reflektiert. Von dort rückreflektiert und über die verspiegelte Zone 46 tritt er durch die Linse 48 und wird über den hier nicht dargestellten Strahlteiler 50 dem ebenfalls nicht dargestellten Detektor 31 zugeführt. Als Referenz für die Objektfläche 45 dient eine S Referenzfläche 47, deren reflektiertes Licht die selbe optische Weglänge durchläuft wie das von der Objektfläche 45 reflektierte und somit die selben Interferenzmuster erzeugt.

Fig. 3 zeigt eine Ausführungsform für das interferometrische System 1 , die eine 0 Vermessung eines kompletten Objektes 41 mit Hinterschnitten ermöglicht. Im

Objektarm 40 wird hierzu die Linse 48 in mindestens eine zweite Position gebracht, hier durch die Linse 49 dargestellt. Dies bewirkt einen Tiefenscan über das Objekt 41. Während in der Position der Linse 48 die Objektfläche 43 und die zugehörige Referenzfläche 44 zur Interferenz beitragen, werden in der Position der Linse 49 die S Objektfläche 45 mittels der verspiegelten Zone 46 und die zugehörige Referenz¬ fläche 47 vermessen. Auf diese Weise können sämtliche interessierenden Flächen des Objektes 41 relativ zueinender vermessen werden. Bei entsprechender Ausge¬ staltung des Referenzelementes 42 mit verspiegelten Zonen 46 sind somit alle interessierenden Flächen des Objektes erreichbar. 0