Title:
ION MICROSCOPE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/001600
Kind Code:
A1
Abstract:
Provided are a large-current and highly stable gas field ionization ion source, and a high-resolution ion microscope with a large focal depth.
In an ion microscope provided with a gas field ionization ion source, a refrigerator for cooling the gas field ionization ion source is installed independently of the main body of the ion microscope, and a refrigerant circulation circuit cooling mechanism for circulating a refrigerant between the gas field ionization ion source and the refrigerator is provided. Consequently it is possible to reduce the mechanical vibration of the refrigerator, which propagates to the gas field ionization ion source, and achieve both the improvement of the brightness of the ion source and the improvement of ion beam focusing properties.
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Inventors:
SAHO, Norihide (HITACHI LTD., 832-2, Horiguchi, Hitachinaka-sh, Ibaraki 34, 〒3120034, JP)
佐保典英 (〒34 茨城県ひたちなか市堀口８３２番地２ 株式会社 日立製作所 機械研究所内 Ibaraki, 〒3120034, JP)
TANAKA, Hiroyuki (HITACHI LTD., 832-2, Horiguchi, Hitachinaka-sh, Ibaraki 34, 〒3120034, JP)
田中弘之 (〒34 茨城県ひたちなか市堀口８３２番地２ 株式会社 日立製作所 機械研究所内 Ibaraki, 〒3120034, JP)
Arai, Noriaki (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
佐保典英 (〒34 茨城県ひたちなか市堀口８３２番地２ 株式会社 日立製作所 機械研究所内 Ibaraki, 〒3120034, JP)
TANAKA, Hiroyuki (HITACHI LTD., 832-2, Horiguchi, Hitachinaka-sh, Ibaraki 34, 〒3120034, JP)
田中弘之 (〒34 茨城県ひたちなか市堀口８３２番地２ 株式会社 日立製作所 機械研究所内 Ibaraki, 〒3120034, JP)
Arai, Noriaki (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
Application Number:
JP2010/003730
Publication Date:
January 06, 2011
Filing Date:
June 04, 2010
Export Citation:
Assignee:
HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION (24-14, Nishi Shimbashi 1-chome Minato-k, Tokyo 17, 〒1058717, JP)
株式会社 日立ハイテクノロジーズ (〒17 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo, 〒1058717, JP)
SAHO, Norihide (HITACHI LTD., 832-2, Horiguchi, Hitachinaka-sh, Ibaraki 34, 〒3120034, JP)
佐保典英 (〒34 茨城県ひたちなか市堀口８３２番地２ 株式会社 日立製作所 機械研究所内 Ibaraki, 〒3120034, JP)
TANAKA, Hiroyuki (HITACHI LTD., 832-2, Horiguchi, Hitachinaka-sh, Ibaraki 34, 〒3120034, JP)
田中弘之 (〒34 茨城県ひたちなか市堀口８３２番地２ 株式会社 日立製作所 機械研究所内 Ibaraki, 〒3120034, JP)
株式会社 日立ハイテクノロジーズ (〒17 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo, 〒1058717, JP)
SAHO, Norihide (HITACHI LTD., 832-2, Horiguchi, Hitachinaka-sh, Ibaraki 34, 〒3120034, JP)
佐保典英 (〒34 茨城県ひたちなか市堀口８３２番地２ 株式会社 日立製作所 機械研究所内 Ibaraki, 〒3120034, JP)
TANAKA, Hiroyuki (HITACHI LTD., 832-2, Horiguchi, Hitachinaka-sh, Ibaraki 34, 〒3120034, JP)
田中弘之 (〒34 茨城県ひたちなか市堀口８３２番地２ 株式会社 日立製作所 機械研究所内 Ibaraki, 〒3120034, JP)
International Classes:
H01J37/26; H01J27/26; H01J37/08; H01J37/16
Attorney, Agent or Firm:
INOUE, Manabu (6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-k, Tokyo 20, 〒1008220, JP)
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