| JP03114129 | GAS CHROMATOGRAPH MASS SPECTROMETER |
| JP10050672 | PLASMA-ETCHING APPARATUS |
| JP02288146 | SECONDARY ION MASS SPECTROSCOPIC DEVICE |
张阳天 (中国北京市海淀区双清路同方大厦A座2层, Beijing 4, 100084, CN)
PENG, Hua (2nd Floor, Block A TongFang Building,Shuangqinglu,Haidian District, Beijing 4, 100084, CN)
彭华 (中国北京市海淀区双清路同方大厦A座2层, Beijing 4, 100084, CN)
同方威视技术股份有限公司 (中国北京市海淀区双清路同方大厦A座2层, Beijing 4, 100084, CN)
ZHANG, Yangtian (2nd Floor, Block A TongFang Building,Shuangqinglu,Haidian District, Beijing 4, 100084, CN)
张阳天 (中国北京市海淀区双清路同方大厦A座2层, Beijing 4, 100084, CN)
PENG, Hua (2nd Floor, Block A TongFang Building,Shuangqinglu,Haidian District, Beijing 4, 100084, CN)
| 权 利 要 求 1. 一种离子迁移管， 其特征在于， 包括沿前后方向顺序叠置在一起的具有 中心离化源舱孔的离化源舱、离子门、具有中心迁移管腔的迁移区单元、抑制栅、 和法拉第盘，其中所述迁移区单元包括第一绝缘体和分别同心地固定在第一绝缘 体正面和背面上的第一金属极片。 2. 根据权利要求 1所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第一绝缘体形成 有分别位于第一金属极片径向外侧的第一电子元件容纳孔。 3. 根据权利要求 2所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第一绝缘体进一 步形成有位于第一金属极片径向外侧的第一走线孔。 4. 根据权利要求 1所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述离化源舱包括第 二绝缘体和分别同心地固定在第二绝缘体正面和背面上且彼此连接的第二金属 极片。 5. 根据权利要求 4所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第二绝缘体形成 有分别位于第二金属极片径向外侧的第二电子元件容纳孔。 6. 根据权利要求 5所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第二绝缘体进一 步形成有位于第二金属极片径向外侧的第二走线孔。 7. 根据权利要求 6所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述离化源舱形成有 贯通第二绝缘体和第二金属极片的第二电气过孔。 8. 根据权利要求 1所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述离子门包括第三 绝缘体和分别同心地固定在第三绝缘体正面和背面上的第三金属极片。 9. 根据权利要求 8所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第三绝缘体形成 有分别位于第三金属极片径向外侧的第三电子元件容纳孔。 10. 根据权利要求 9所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第三绝缘体形成 有位于第三金属极片径向外侧的第三走线孔。 11. 根据权利要求 1所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述抑制栅包括第四 绝缘体和分别同心地固定在第四绝缘体正面和背面上且彼此连接的第四正面金 属极片和第四背面金属极片， 且第四背面金属极片为环形。 12. 根据权利要求 11所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第四绝缘体上 形成有分别位于第四正面金属极片和第四背面金属极片径向外侧的第四电子元 件容纳孔。 13.根据权利要求 12所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第四绝缘体上形 成有位于第四正面金属极片和第四背面金属极片径向外侧的第四走线孔。 14. 根据权利要求 13所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述抑制栅形成有 贯通第四绝缘体用于连接第四正面金属极片和第四背面金属极片的第四电气过 孔。 15. 根据权利要求 1所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述法拉第盘包括第 五绝缘体和分别同心地固定在第五绝缘体正面和背面上且彼此连接的第五金属 极片。 16. 根据权利要求 15所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第五绝缘体形 成有分别位于第五金属极片径向外侧的第五电子元件容纳孔。 17. 根据权利要求 16所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述法拉第盘进一 步包括分别同心地固定在第五绝缘体正面和背面上、分别套在第五金属极片径向 外侧且彼此连接的环形金属极片，其中所述第五电子元件容纳孔位于环形金属极 片径向外侧。 18.根据权利要求 17所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第五绝缘体进一 步形成有位于环形金属极片径向外侧的第五走线孔。 19. 根据权利要求 18所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第五绝缘体形 成有位于环形金属极片内侧与第五金属极片外侧的通风孔。 20. 根据权利要求 19所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述法拉第盘形成 有用于连接环形金属极片的第五电气过孔。 21. 根据权利要求 1所述的离子迁移管， 其特征在于， 进一步包括顺序叠置 在法拉第盘后面的法拉第盘后盖环和法拉第盘后盖板，所述法拉第盘后盖板包括 第六绝缘体和分别同心地固定在第六绝缘体正面和背面上且彼此相连的第六金 属极片，且所述法拉第盘后盖环包括具有第七中心孔的第七绝缘体和分别同心地 固定在第七绝缘体正面和背面的第七环形金属极片。 22. 根据权利要求 21所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述第六绝缘体上 形成有分别位于第六金属极片径向外侧的第六走线孔，且所述第七绝缘体上形成 有分别位于第七环形金属极片径向外侧的第七走线孔。 23. 根据权利要求 22所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述法拉第盘后盖 板形成有分别贯通第六绝缘体和第六金属极片的第六电气过孔。 24. 根据权利要求 23所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述法拉第盘后盖 板在背面安装有气嘴。 25. 根据权利要求 1所述的离子迁移管， 其特征在于， 所述离化源舱、 离子 门、迁移区单元、 抑制栅、法拉第盘和法拉第盘后盖板分别形成有安装孔且它们 通过穿过安装孔的螺栓叠置在一起。 26. 根据权利要求 1所述的离子迁移管， 其特征在于， 第一绝缘体为陶瓷， 且所述第一金属极片分别通过腐蚀、 电镀、 沉积或喷涂形成在第一绝缘体上。 |
离子迁移管是基于离子迁移原理的检测设备的 核心部件， 通常包括离化源舱、离 子门、 迁移区、 抑制栅、 法拉第盘。 传统迁移管的上述构件分别采用独立的金属极 片 构成各个组成部分， 极片之间用绝缘材料隔开， 金属极片连接外部线缆或者在金属极 片之间焊接分立的分压电阻， 或者将分压电阻放到迁移管的外部。这样的迁 移管结构 复杂， 引线较多， 并且由于两个极片相互通过导线或电子元件焊 接在一起而不容易拆 卸。 此外， 在传统的离子迁移管中， 离子门、 抑制栅等结构都采用网状或丝状的薄金 属制成， 强度较差， 由于变形导致的性能变化明显， 影响了检测精确度。 发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问 题之一。为此， 本发明的一个目的 在于提出一种结构简单、 制造和拆卸方便的离子迁移管。
根据本发明的离子迁移管包括沿前后方向顺序 叠置在一起的具有中心离化源舱 孔的离化源舱、 离子门、 具有中心迁移管腔的迁移区单元、 抑制栅、 和法拉第盘， 其 中所述迁移区单元包括第一绝缘体和分别同心 地固定在第一绝缘体正面和背面上的 第一金属极片。
根据本发明实施例的迁移管，迁移区单元由一 体的第一绝缘体和第一金属极片构 成， 因此制造简单， 拆卸和安装方便。
另外， 根据本发明实施例的离子迁移管还具有如下附 加技术特征：
所述第一绝缘体形成有分别位于第一金属极片 径向外侧的第一电子元件容纳孔。 第一绝缘体进一步形成有位于第一金属极片径 向外侧的第一走线孔。
所述离化源舱包括第二绝缘体和分别同心地固 定在第二绝缘体正面和背面上且 彼此连接的第二金属极片。
所述第二绝缘体形成有分别位于第二金属极片 径向外侧的第二电子元件容纳孔。 第二绝缘体进一步形成有位于第二金属极片径 向外侧的第二走线孔。 离化源舱形成有贯通第二绝缘体和第二金属极 片的第二电气过孔。
所述离子门包括第三绝缘体和分别同心地固定 在第三绝缘体正面和背面上的第 三金属极片。
所述第三绝缘体形成有分别位于第三金属极片 径向外侧的第三电子元件容纳孔。 所述第三绝缘体形成有位于第三金属极片径向 外侧的第三走线孔。
所述抑制栅包括第四绝缘体和分别同心地固定 在第四绝缘体正面和背面上且彼 此连接的第四正面金属极片和第四背面金属极 片， 其中第四背面金属极片为环形。
所述第四绝缘体上形成有分别位于第四正面金 属极片和第四背面金属极片径向 外侧的第四电子元件容纳孔。
所述第四绝缘体上形成有位于第四正面金属极 片和第四背面金属极片径向外侧 的第四走线孔。
所述抑制栅形成有贯通第四绝缘体用于连接第 四正面金属极片和第四背面金属 极片的第四电气过孔。
所述法拉第盘包括第五绝缘体和分别同心地固 定在第五绝缘体正面和背面上且 彼此连接的第五金属极片。
所述第五绝缘体形成有分别位于第五金属极片 径向外侧的第五电子元件容纳孔。 所述法拉第盘进一步包括分别同心地固定在第 五绝缘体正面和背面上、分别套在 第五金属极片径向外侧且彼此连接的环形金属 极片，其中所述第五电子元件容纳孔位 于环形金属极片径向外侧。
第五绝缘体进一步形成有位于环形金属极片径 向外侧的第五走线孔。
所述第五绝缘体形成有位于环形金属极片内侧 与第五金属极片外侧的通风孔。 所述法拉第盘形成有用于连接环形金属极片的 第五电气过孔。
根据本发明实施例的离子迁移管进一步包括顺 序叠置在法拉第盘后面的法拉第 盘后盖环和法拉第盘后盖板，所述法拉第盘后 盖板包括第六绝缘体和分别同心地固定 在第六绝缘体正面和背面上且彼此相连的第六 金属极片，且所述法拉第盘后盖环包括 具有第七中心孔的第七绝缘体和分别同心地固 定在第七绝缘体正面和背面的第七环 形金属极片。
所述第六绝缘体上形成有分别位于第六金属极 片径向外侧的第六走线孔，且所述 第七绝缘体上形成有分别位于第七环形金属极 片径向外侧的第七走线孔。
所述法拉第盘后盖板形成有分别贯通第六绝缘 体和第六金属极片的第六电气过 孔。
所述法拉第盘后盖板在背面安装有气嘴。
所述离化源舱、 离子门、 迁移区单元、 抑制栅、 法拉第盘和法拉第盘后盖板分别 形成有安装孔且它们通过穿过安装孔的螺栓叠 置在一起。
第一绝缘体为陶瓷， 且所述第一金属极片分别通过腐蚀、 电镀、沉积或喷涂形成 在第一绝缘体上。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部 分给出，部分将从下面的描述中变 得明显， 或通过本发明的实践了解到。 附图说明 本发明的上述和 /或附加的方面和优点从结合下面附图对实施 的描述中将变得 明显和容易理解， 其中：
图 1是根据本发明实施例的离子迁移管处于组装 态的透视图；
图 2是图 1所示离子迁移管的离化源舱的立体图；
图 3是图 2所示离化源舱的正面视图；
图 4是图 3所示离化源舱的侧视图；
图 5是图 1所示离子迁移管的离子门的立体图；
图 6是图 5所示离子门的正面视图；
图 7是图 6所示离子门的侧视图；
图 8是图 1所示离子迁移管的迁移区单元的立体图；
图 9是图 8所示迁移区单元的正面视图；
图 10是图 9所示迁移区单元的侧视图；
图 11是多个迁移区单元叠置在一起的局部透视图
图 12是图 1所示离子迁移管的抑制栅的立体图；
图 13是图 12所示抑制栅的正面视图；
图 14是图 13所示抑制栅的背面视图；
图 15是图 1所示离子迁移管的法拉第盘的立体图；
图 16是图 15所示法拉第盘的正面视图；
图 17是图 1所示离子迁移管的法拉第盘后盖板的正面立 图；
图 18是图 1所示离子迁移管的法拉第盘后盖板的背面立 图； 和
图 19是图 1中所示离子迁移管的法拉第盘后盖环的正面 体图。 具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例， 所述实施例的示例在附图中示出， 其中自始至终 相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具 有相同或类似功能的元件。下面通过参 考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释 本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中， 术语 "正"、 "背"、 "左"、 "右"、 "径向"、 "轴向"、 "前"、 "后"等指示的方位或位置关系为基于附图所示 方位或位置关系，仅是为了便于描 述本发明而不是要求本发明必须以特定的方位 构造和操作，因此不能理解为对本发明 的限制。
下面参考附图详细描述根据本发明实施例的离 子迁移管。
如图 1所示， 根据本发明一个实施例的离子迁移管包括离化 源舱 1、 离子门 2、 迁移区单元 3、 抑制栅 4、 和法拉第盘 5。 在本发明的一些实施例中， 离子迁移管进 一步包括法拉第盘后盖板 6。
如图 1所示， 离化源舱 1、 离子门 2、 迁移区单元 3、 抑制栅 4、 法拉第盘 5、 法 拉第盘后盖环 7和法拉第盘后盖板 6沿前后方向（图 1中的左右方向）顺序地叠置在 一起。
在图 1所示的示例中， 离化源舱 1、 离子门 2、 迁移区单元 3、 抑制栅 4、 法拉第 盘 5和法拉第盘后盖板 6的左上角和右下角分别形成有安装孔， 螺栓 8穿过安装孔， 从而将它们沿前后方向顺序组装在一起。
下面参考附图详细描述根据本发明实施例的离 子迁移管的各个组成部分。
如图 8-11所示， 迁移区单元 3具有中心迁移管腔 314， 并且包括第一绝缘体 31 和分别同心地固定在第一绝缘体 31的正面 （图 10中的左侧表面） 和背面 （图 10中 的右侧表面）上的第一金属极片 32。 第一金属极片 32具有与中心迁移管腔 314对应 的第一金属极片中心孔 321。
第一金属极片 32可以通过电子元件 8连接， 换言之， 第一金属极片 32通过电阻 连接。 例如， 电子元件 8分别通过从正面和北面的第一金属极片 32引出的引线 322 将正面和背面的第一金属极片 32连接。
在本发明的一些实施例中， 第一绝缘体 31为陶瓷， 由此耐高温高压， 第一金属 极片 32可以通过腐蚀、 电镀、 沉积或喷涂形成在第一绝缘体 31上， 从而绝缘体 31 与正面和背面的第一金属极片 32构成一个一体的单元。 当然， 本发明并不限于此， 例如第一绝缘体 31也可以用像普通电路板一样的材料制成，第 金属极片 32像在电 路板上印刷电路一样形成在第一绝缘体 31上。在图 8-10所示的实施例中，第一绝缘 体 31和第一金属极片 32为大体正方形， 但本发明并不限于此。
根据本发明的实施例， 由于迁移区单元由一体的第一绝缘体 31和第一金属极片 32 构成， 因此， 迁移区单元可以直接串接而成， 只需要单元之间彼此的金属部分能 够互相接触， 这样安装和拆卸简单， 降低了成本。
如图 1所示， 迁移管的迁移区可以由多个迁移区单元 3构成， 换言之， 迁移区由 多个叠置在一起的正面和背面分别固定有第一 金属极片 32的第一绝缘体 31构成，如 图 11所示。 迁移区单元 3的具体数量可以根据具体应用选择， 可以方便地调整迁移 管的迁移区长度。
在本发明的一些实施例中， 如图 8和 9所示， 第一绝缘体 31形成有分别位于第 一金属极片 32径向外侧的第一电子元件容纳孔 313， 在图 8和图 9所示的示例中， 第一电子元件容纳孔 313形成在第一绝缘体 31的右上角。 第一电子元件容纳孔 313 用于容纳相邻迁移区单元 3上焊接的电子元件 8。 如图 11所示， 一个迁移区单元 3 上的第一电子元件容纳孔 313与其上的电子元件 8的位置相对，因此一个迁移区单元 3上的第一电子元件容纳孔 313与相邻迁移区单元 3上的第一电子元件容纳孔 313的 位置相对， 因此当多个迁移区单元 3叠置在一起时，一个迁移区单元 3上的电子元件 容纳在相邻一个迁移区单元 3上的第一电子元件容纳孔 313内。 由此，无需从第一金 属极片 32上引出引线用于与外部的电子元件相连， 从而减少了迁移区单元 3上的引 线， 简化了结构， 便于制造和安装， 且外观整齐， 提高了电子元件连接的可靠性。
如图 8和图 9所示， 在本发明进一步的实施例中， 第一绝缘体 31进一步形成有 位于第一金属极片 32径向外侧的第一走线孔 312， 第一走线孔 312用于穿过电缆， 从而迁移管的电缆无需暴露在迁移管的外面， 保证了连接的可靠性， 外观整齐， 连接 方便。在图 8和图 9所示的示例中，第一走线孔 312形成在第一绝缘体 31的周边沿。 在第一绝缘体 31的左上角和右下角分别形成有安装孔 311，用于穿过螺栓 8， 从而将 迁移区单元 3和迁移管的其他构件顺序地叠置在一起构成 移管。
下面参考图 2-4描述根据本发明实施例的迁移管的离化源舱 1。
离化源舱 1具有离化源舱中心孔， 离化源舱 1包括第二绝缘体 11和分别同心地 固定在第二绝缘体 11正面 （图 4中的左侧表面） 和背面 （图 4中的右侧表面） 上且 彼此连接的第二金属极片 12。 绝缘体 11具有第二绝缘体中心孔 114， 相应地， 第二 金属极片 12具有第二金属极片中心孔 121。
如图 2和 3所示， 在第二绝缘体 11的左上角和右下角分别设有安装孔 113， 用 于穿过螺栓 8将离化源舱 3与迁移管的其他构件叠置在一起。 与迁移区单元 3类似， 第二绝缘体 11也可以为陶瓷， 第二金属极片 12可以通过 腐蚀、 电镀、 沉积或喷涂形成在第二绝缘体 12上。 此外， 第二绝缘体 11也可以用像 普通电路板一样的材料制成， 第二金属极片 12像在电路板上印刷电路一样形成在第 二绝缘体 11上。
如图 2和 3所示，第二绝缘体 11形成有分别位于第二金属极片 12径向外侧的第 二电子元件容纳孔 112， 更具体而言，第二电子元件容纳孔 112形成在第二绝缘体 11 的右上角，用于容纳电子元件。第二绝缘体 11和第二金属极片 12在图 2和 3所示的 示例中为大体正方形， 但是本发明并不限于此。
如图 2和 3所示， 在本发明的一些实施例中， 第二绝缘体 11进一步形成有位于 第二金属极片 12径向外侧的第二走线孔 111， 第二走线孔 111与第一走线孔 312类 似， 用于穿过电缆， 并且当迁移管组装后， 第二走线孔 111与第一走线孔 312对齐。
在图 2和图 3所示的示例中， 离化源舱 1形成有贯通第二绝缘体 11和第二金属 极片 12的第二电气过孔 122， 第二电气过孔 122用于连接第二绝缘体 11正面和背面 的第二金属极片 12。 需要理解的是， 第二绝缘体 11 正面和背面的第二金属极片 12 并不限于通过第二电气过孔 122连接， 例如也可以通过在第二绝缘体 11和第二金属 极片 12的中心孔内设置金属连接两侧的第二金属极 12。
下面参考图 5-图 7描述根据本发明实施例的迁移管的离子门 2。
如图 5-7所示， 离子门 2包括第三绝缘体 21和分别同心地固定在第三绝缘体 21 正面和背面上的第三金属极片 22。第三绝缘体 21例如可以为陶瓷，第三金属极片 22 可以通过上述合适的方式固定在第三绝缘体 21的正面和背面上。
第三绝缘体 21形成有分别位于第三金属极片 22径向外侧的第三电子元件容纳孔 213， 例如在图 6中， 第三电子元件容纳孔 213形成在第三绝缘体 21的右上角， 第三 电子元件容纳孔 213用于容纳电子元件， 电子元件例如分别通过从第三绝缘体 21正 面和背面的第三金属极片 22引出的引线 223与正面和背面的第三金属极片 22连接， 从而连接正面和背面的两个第三金属极片 22。在第三绝缘体 21的左上角和右下角分 别形成有安装孔 211， 用于穿过螺栓 8。类似地， 第三绝缘体 21形成有位于第三金属 极片 22径向外侧的第三走线孔 212， 用于穿过电缆。
第三绝缘体 21正面和背面上的第三金属极片 22形成有离子通过孔 221，相应地， 第三绝缘体 21也形成有与离子通过孔 221对齐的离子通过孔， 用于通过离子， 这与 现有技术类似， 不再详细描述。
下面参考图 13和 14描述根据本发明实施例的迁移管的抑制栅 4。 抑制栅 4包括第四绝缘体 41和分别同心地固定在第四绝缘体 41正面和背面上且 彼此连接的第四正面金属极片 42和第四背面金属极片 43，其中第四背面金属极片 43 为环形。 与第一至第三绝缘体类似， 第四绝缘体 41上形成有分别位于第四正面金属 极片 42和第四背面金属极片 43径向外侧的第四电子元件容纳孔 413， 用于容纳电子 元件。在进一步的实施例中，第四绝缘体 41上形成有位于第四正面金属极片 42和第 四背面金属极片 43径向外侧的第四走线孔 412， 用于穿过电缆。 此外， 第四绝缘体 41还形成有安装孔 411， 用于穿过螺栓 8。
如图 13和 14所示，第四绝缘体 41上形成有贯通第四绝缘体 41用于连接第四正 面金属极片 42和第四背面金属极片 43的第四电气过孔 421。相应地，第四绝缘体 41 可以形成有对应的过孔 414。 第四电气过孔 421用于连接第四正面金属极片 42和第 四背面金属极片 43， 但是本发明并不限于此。
与离子门 2类似， 第四正面金属极片 42形成有离子通过孔 422， 对应地， 第四 绝缘体 4形成有通过孔 415， 用于通过离子， 这与现有技术类似， 不再详细描述。
如图 13和 14所示， 第四正面金属极片 42为大体圆形， 离子通过孔 422形成在 中心部位。 第四背面金属极片 43为环形， 离子通过孔 422和通过孔 415形成在第四 背面金属极片 43的中心孔内。
第四绝缘体 41也可以为陶瓷， 第四正面金属极片 42和第四背面金属极片 43可 以通过上述合适的方式形成和固定在第四绝缘 体 41上。
下面参考图 15和 16描述根据本发明实施例的离子迁移管的法拉 盘 5。
如图 15和 16所示， 法拉第盘 5包括第五绝缘体 51和分别同心地固定在第五绝 缘体 51正面和背面上且彼此连接的第五金属极片 53。 第五绝缘体 51形成有分别位 于第五金属极片 53径向外侧的第五电子元件容纳孔 513， 用于容纳电子元件。 此外， 第五绝缘体 51还形成有安装孔 511， 用于穿过螺栓 8。
法拉第盘 5进一步包括分别同心地固定在第五绝缘体 51正面和背面上、 分别套 在第五金属极片 53径向外侧且彼此连接的环形金属极片 52， 其中第五电子元件容纳 孔 513位于环形金属极片 52径向外侧。在环形金属极片 52的径向外侧，在第五绝缘 体 51上形成第五走线孔 512， 用于穿过电缆。 法拉第盘 5还可以形成有用于连接环 形金属极片 52的第五电气过孔 521。 第五金属极片 53可以通过中心孔 531连接， 对 应地第五绝缘体 51上形成有中心孔 515。 如图 15和 16所示， 在第五绝缘体 51上在 第五金属极片 53和环形金属极片 52之间形成有第一通风孔 514， 用于将空气导入到 迁移管内。 第五绝缘体 51可以为陶瓷， 第五金属极片 53和环形金属极片 52可以通过上述 合适的方式形成和固定在第五绝缘体 51上。
下面参考图 17和 18描述根据本发明实施例的离子迁移管的法拉 盘后盖环 7和 法拉第盘后盖板 6。 法拉第盘后盖板 6包括第六绝缘体 61和分别同心地固定在第六 绝缘体 61正面和背面上且彼此相连的第六金属极片 62。 第六绝缘体 61上形成有安 装孔 611， 用于穿过螺栓 8。 第六绝缘体 61上形成有分别位于第六金属极片 62径向 外侧的第六走线孔 612， 用于穿过电缆。 法拉第盘后盖板 6形成有分别贯通第六绝缘 体 61和第六金属极片 62的第六电气过孔 621 (第六绝缘体 61上的对应电气过孔为 613)， 用于连接第六绝缘体 61两侧的第六金属极片 62。
如图 17和 18所示， 在第六绝缘体 61的中心部位可以安装有弹簧 9， 用于与法 拉第盘 5的第五金属极片 53接触。在第六绝缘体 61的背面安装有气嘴，用于通过通 风孔向迁移管内部通风。
第六绝缘体 61也可以为陶瓷，第六金属极片 62可以通过上述合适的方式形成和 固定在第六绝缘体 61的正面和背面。
如图 1和图 19所示， 法拉第盘后盖环 7设置在法拉第盘后盖板 6与法拉第盘 5 之间， 用于为弹簧 9提供行程空间， 以保证良好的接触。 具体地， 法拉第盘后盖环 7 包括具有中心孔 714的第七绝缘体 71， 和分别设置在第七绝缘体正面和背面的第七 环形金属极片 72。 第七绝缘体 71上在第七金属环形极片 72径向外侧形成有贯穿它 的安装孔 711用于穿过螺栓 8， 例如安装孔 711形成在第七绝缘体 71的左上角和右 下角。第七绝缘体 71进一步形成有位于第七金属环形极片 72径向外侧的第七走线孔 712， 用于穿过电缆。
根据本发明实施例的离子迁移管， 通过螺栓 8可以将离化源舱 1、 离子门 2、 迁 移区单元 3、 抑制栅 4、 法拉第盘 5和法拉第盘后盖板 6顺序地叠置在一起， 并且上 述每个构件都是用绝缘体和金属极片构成的一 体单元，电子元件可以容纳在相应的电 子元件容纳孔内，无需外部引线和外部链接电 子元件， 电缆可以通过走线孔穿过迁移 管。 因此， 根据本发明的迁移管制造简单， 组装和拆卸方便， 外观整齐， 可靠性高， 检测精度高。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例， 本领域的普通技术人员可以理解： 在不 脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些 实施例进行多种变化、修改、替换和变 型， 本发明的范围由权利要求及其等同物限定。