図1は本願発明の一実施例(実施例1)にかか る開磁路型の積層コイル部品(この実施例1で� ��積層インダクタ)の構成を示す断面図、図2� �その斜視図である。

 図1,2に示すように、この積層コイル部品1 は、開磁路型の積層コイル部品であり、磁性 層が積層された積層体11と、積層体11に内蔵� �れた、複数のコイル用導体5を電気的に接続� ��てなる螺旋状のコイルLと、積層体11の積層� ��向において、コイルLの略中央の位置に配設 された非磁性層(非磁性セラミック層)4と、積 層体11の両端側に、コイルLの端部L1,L2と導通� ��るように配設された外部電極21,22とを備え� �おり、螺旋状のコイルLによって発生した磁� ��φが、非磁性層4を横切るように構成されて� ��る。

 そして、この実施例1の積層コイル部品1に� �いては、積層体11における、非磁性層4より� �側部分11aおよび下側部分11bを構成する磁性� �の材料として、Ni-Cu-Zn系フェライトを主成分 とする磁性材料が用いられている。
 また、積層体11の上側部分11aおよび下側部� �11bの間に挿入、配設された非磁性層4の構成� ��料としては、Cu-Zn系フェライトを主成分と� �る非磁性材料が用いられている。

 そして、非磁性層4には、焼結速度を制御 する機能を果たす酸化ジルコニウムが、磁性 層と非磁性層の焼結速度が互いに近似するよ うな割合で添加されている。

 具体的には、非磁性層4には、酸化ジルコ ニウムが0.05重量%となるような割合で添加さ� ��ており、磁性層には酸化ジルコニウムは添� ��されていない。

 その結果、焼成工程における、磁性層と� ��磁性層の収縮速度の差が小さく、磁性層と� ��磁性層の界面における割れ、欠け、剥離な� ��の発生や、積層体の反りなどの発生がなく� ��開磁路型の積層コイル部品の特徴である、� ��気飽和しにくく、直流重畳特性が良好であ� ��という特徴を備えた積層コイル部品を提供� ��ることが可能になる。

 次に、この積層コイル部品1の製造方法につ いて、図3を参照しつつ説明する。
 (1)まず、Ni-Cu-Zn系フェライト粉末に、有機� �または水系バインダ、可塑剤、分散材、消� �材などを加え、混合することによりセラミ� �クスラリーを調製した。
 それから、このセラミックスラリーを、キ� ��リアフィルム上にコンマコーター法、ドク� ��ーブレード法などの方法で膜状に塗布し、� ��れらを乾燥させて磁性層用セラミックグリ� ��ンシートを作製した。

 (2)同様にCu-Zn系フェライト粉末に、有機系� �たは水系バインダ、可塑剤、分散材、消泡� �等を加え、さらに、酸化ジルコニウムを0.05� ��量%となるような割合で添加し、混合するこ とによりセラミックスラリーを調製した。
 それから、このセラミックスラリーをキャ� ��アフィルム上にコンマコーター法、ドクタ� ��ブレード法などの方法で膜状に塗布し、こ� ��らを乾燥させて非磁性層用セラミックグリ� ��ンシートを作製した。

 (3)次に、レーザー加工機を使用し、上記( 1)および(2)の方法で作製したセラミックグリ� ��ンシートの所定位置にビアホールとなるべ� ��貫通孔を形成した。

 (4)それから、セラミックグリーンシート� ��所定の領域に、AgあるいはAg合金を主成分と する導電性ペーストをスクリーン印刷して、 コイル導体パターンを形成した。

 (5)そして、これらのセラミックグリーンシ� ��トを、螺旋状のコイルL(図1)が形成されるよ うに、図3に示すような態様で、順次積層し� �熱圧着した。
 すなわち、この実施例1では、図3に示すよ� �に、コイル用導体パターン5aおよび層間接続 用ビアホール(導体)10をそれぞれ設けた磁性� �用セラミックグリーンシート2aと、コイル用 導体パターン5aおよび層間接続用ビアホール( 導体)10をそれぞれ設けた磁性層用セラミック グリーンシート2bと、導体が設けられていな� ��外層磁性層用セラミックグリーンシート2c� �、コイル用導体パターン5aおよび層間接続用 ビアホール(導体)10をそれぞれ設けた非磁性� �用セラミックグリーンシート4aを、図3に示� �ような態様で積層し、磁路ギャップを形成� �るための非磁性層用のセラミックグリーン� �ート4aが、積層体11の積層方向における略中� ��の位置に介在する積層構造体を形成し、熱� ��着した。

 (6)次に、熱圧着した後の積層構造体を必� ��な形状に切断し、積層コイル部品1となる未 焼成積層体を形成した。

 (7)それから、この未焼成積層体を、温度� ��300℃、180分間の条件で加熱して積層体に含� ��されているバインダ樹脂を燃焼させて除去� ��た後、大気中で、温度約800~900℃、150分間の 条件で焼成処理を行い、焼結済みの積層体(� �結セラミック積層体)を得た。

 (8)そして、焼結済みの積層体にバレル研� ��を施し、稜線部(コーナー部)に丸みを付け� �(R(アール)を付ける)加工を施した。

 (9)その後、浸漬法により焼結済みの積層� ��11の両端に、Agを主成分とする導電性ペース トを塗布し、温度約700℃、60分間の条件で焼� ��け処理を行い、外部電極21,22を形成した。� �れにより図1,2に示すような構造を有する積� �コイル部品(積層インダクタ)1が得られる。

 この実施例1の積層コイル部品1において� �、上述のように、非磁性層に0.05重量%の割合 で酸化ジルコニウムを添加して、磁性層と非 磁性層の、上記熱処理工程における収縮速度 に大きな差が生じないようにしているので、 磁性層と非磁性層の界面における割れや欠け 、剥離などの発生や、積層体の反りなどの発 生を抑制、防止しつつ、磁気飽和しにくく、 直流重畳特性の良好な積層コイル部品を確実 に製造することができる。

 この実施例2では、磁性層と、非磁性層の両 方に酸化ジルコニウムを添加した開磁路型の 積層コイル部品について説明する。
 なお、この実施例2の積層コイル部品の構成 および製造方法は、基本的に上記実施例1の� �合と同じであることから、図1,2および3に基� ��いて、この実施例2の積層コイル部品の構成 および製造方法について説明する。

 図1,2に示すように、この積層コイル部品1 は、開磁路型の積層コイル部品であり、磁性 層が積層された積層体11と、積層体11に内蔵� �れた、複数のコイル用導体5を電気的に接続� ��てなる螺旋状のコイルLと、積層体11の積層� ��向において、コイルLの略中央の位置に配設 された非磁性層(非磁性セラミック層)4と、積 層体11の両端側に、コイルLの端部L1,L2と導通� ��るように配設された外部電極21,22とを備え� �おり、螺旋状のコイルLによって発生した磁� ��φが、非磁性層4を横切るように構成されて� ��る。

 そして、この実施例2の積層コイル部品1に� �いては、積層体11における、非磁性層4より� �側部分11aおよび下側部分11bを構成する磁性� �の材料として、Ni-Cu-Zn系フェライトを主成分 とする磁性材料が用いられている。
 また、積層体11の上側部分11aおよび下側部� �11bの間に挿入、配設された非磁性層4の構成� ��料としては、Cu-Zn系フェライトを主成分と� �る非磁性材料が用いられている。

 そして、非磁性層4より上側部分11aおよび 下側部分11bを構成する磁性層および非磁性層 4には、焼結速度を制御する機能を果たす酸� �ジルコニウムが、磁性層と非磁性層の焼結� �度が互いに近似するような割合で添加され� �いる。

 具体的には、磁性層には、酸化ジルコニウ� ��が0.01重量%となるような割合で添加されて� �る。
 また、非磁性層には、酸化ジルコニウムが0 .03重量%となるような割合で添加されている� �

 その結果、焼成工程における、磁性層と� ��磁性層の収縮速度の差が小さく、磁性層と� ��磁性層の界面における割れ、欠け、剥離な� ��の発生や、積層体の反りなどの発生がなく� ��開磁路型の積層コイル部品の特徴である、� ��気飽和しにくく、直流重畳特性が良好であ� ��という特徴を備えた積層コイル部品を提供� ��ることが可能になる。

 次に、この積層コイル部品1の製造方法につ いて、図3を参照しつつ説明する。
 (1)まず、Ni-Cu-Zn系フェライト粉末に、有機� �または水系バインダ、可塑剤、分散材、消� �材などを加え、さらに酸化ジルコニウムを0. 01重量%となるような割合で添加し、混合する ことによりセラミックスラリーを調製した。
 それから、このセラミックスラリーを、キ� ��リアフィルム上にコンマコーター法、ドク� ��ーブレード法などの方法で膜状に塗布し、� ��れらを乾燥させて磁性層用セラミックグリ� ��ンシートを作製した。

 (2)同様にCu-Zn系フェライト粉末に、有機系� �たは水系バインダ、可塑剤、分散材、消泡� �等を加え、さらに、酸化ジルコニウムを0.03� ��量%となるような割合で添加し、混合するこ とによりセラミックスラリーを調製した。
 それから、このセラミックスラリーをキャ� ��アフィルム上にコンマコーター法、ドクタ� ��ブレード法などの方法で膜状に塗布し、こ� ��らを乾燥させて非磁性層用セラミックグリ� ��ンシートを作製した。

 (3)次に、レーザー加工機を使用し、上記( 1)および(2)の方法で作製したセラミックグリ� ��ンシートの所定位置にビアホールとなるべ� ��貫通孔を形成した。

 (4)それから、セラミックグリーンシート� ��所定の領域に、AgあるいはAg合金を主成分と する導電性ペーストをスクリーン印刷して、 コイル導体パターンを形成した。

(5)そして、これらのセラミックグリーンシー トを、螺旋状のコイルL(図1)が形成されるよ� �に、図3に示すような態様で、順次積層し、� ��圧着した。
 すなわち、この実施例2では、図3に示すよ� �に、コイル用導体パターン5aおよび層間接続 用ビアホール(導体)10をそれぞれ設けた磁性� �用セラミックグリーンシート2aと、コイル用 導体パターン5aおよび層間接続用ビアホール( 導体)10ををそれぞれ設けた磁性層用セラミッ クグリーンシート2bと、導体が設けられてい� ��い外層磁性層用セラミックグリーンシート2 cと、コイル用導体パターン5aおよび層間接続 用ビアホール(導体)10をそれぞれ設けた非磁� �層用セラミックグリーンシート4aを、図3に� �すような態様で積層し、磁路ギャップを形� �するための非磁性層用のセラミックグリー� �シート4aが、積層体11の積層方向における略� ��央の位置に介在する積層構造体を形成し、� ��圧着した。

 (6)次に、熱圧着した後の積層構造体を必� ��な形状に切断し、積層コイル部品1となる未 焼成積層体を形成した。

 (7)それから、この未焼成積層体を、温度� ��300℃、180分間の条件で加熱して積層体に含� ��されているバインダ樹脂を燃焼させて除去� ��た後、大気中で、温度800~900℃、150分間の条 件で焼成処理を行い、焼結済みの積層体(焼� �セラミック積層体)を得た。

 (8)そして、焼結済みの積層体にバレル研� ��を施し、稜線部(コーナー部)に丸みを付け� �(R(アール)を付ける)加工を施した。

 (9)その後、浸漬法により焼結済みの積層� ��11の両端に、Agを主成分とする導電性ペース トを塗布し、温度約700℃、60分間の条件で焼� ��け処理を行い、外部電極21,22を形成した。� �れにより図1,2に示すような構造を有する積� �コイル部品(積層インダクタ)1が得られる。

 この実施例2の積層コイル部品1においては� �上述のように、磁性層に0.01重量%、非磁性層 に0.03重量%の割合で酸化ジルコニウムを添加� ��て、磁性層と非磁性層の、上記熱処理工程� ��おける収縮速度に大きな差が生じないよう� ��しているので、磁性層と非磁性層の界面に� ��ける割れや欠け、剥離などの発生や、積層� ��の反りなどの発生を抑制、防止しつつ、磁� ��飽和しにくく、直流重畳特性の良好な積層� ��イル部品を確実に製造することができる。
 また、磁性層にも酸化ジルコニウムを添加� ��ていることから、機械的強度の大きい積層� ��イル部品を得ることができる。

[評価]
 また、上記実施例1および実施例2に示した� �成を有する積層コイル部品において、磁性� �中の酸化ジルコニウムの含有率を0.00重量%(� �添加)、0.01重量%、0.1重量%、0.5重量%、1.0重量 %の範囲で変化させるとともに、非磁性層中� �酸化ジルコニウムの含有量を0.00重量%(無添� �)~2.0重量%の範囲(図4および図5参照)で変化さ� ��て、積層体の割れの発生割合を調べた。そ� ��結果を、図4および図5に示す。

 図4および図5に示すように、磁性層中の� �化ジルコニウムが1.0重量%以上になると、上� ��範囲で非磁性層中の酸化ジルコニウムの量� ��変化させた場合のいずれの条件でも割れの� ��生が認められ、好ましくないことが確認さ� ��た。

 一方、非磁性層中の酸化ジルコニウムを0 .02重量%以上、1.0重量%未満とすることにより� ��磁性層中の酸化ジルコニウムを1.0重量%未満 とした場合に、積層体の割れの発生を効率よ く、抑制、防止できることが確認された。

 この結果より、本願発明における磁性層お� ��び非磁性層中の酸化ジルコニウムの割合は� ��磁性層では1.0重量%未満、非磁性層では0.02� �量%以上、1.0重量%未満とすることが望ましい ものと考えられる。
 なお、上記の各実施例に示すNi-Cu-Zn系フェ� �イト材料のみを用いた焼結体を構成し、そ� �酸化ジルコニウムの含有量を調べたところ� �焼結前のスラリーに含有されている酸化ジ� �コニウムの含有量と大差のないことが確認� �れた。また、同様に、上記の各実施例に示� �Cu-Zn系フェライト材料のみを用いた焼結体を 構成し、その酸化ジルコニウムの含有量を調 べたところ、焼結前のスラリーに含有されて いる酸化ジルコニウムの含有量と大差のない ことが確認された。

 図6は、本願発明のさらに他の実施例(実施� �3)にかかる積層コイル部品(積層インダクタ)� ��示す断面図である。
 この積層コイル部品1aは、図6に示すように� ��内部に螺旋状のコイルLが配設された、磁性 層が積層されてなる積層体11に、積層方向に� ��定の間隔をおいて2層の非磁性層4が配設さ� �た構造を有する開磁路型の積層コイル部品(� ��層インダクタ)である。

 そして、この実施例3の積層コイル部品にお いても、積層体11を構成する磁性層および非� ��性層4には、焼結速度を制御する機能を果た す酸化ジルコニウムが、磁性層と非磁性層の 焼結速度を互いに近似させることが可能な割 合で添加されている。
 具体的には、磁性層には、酸化ジルコニウ� ��が0.01重量%となるような割合で添加されて� �り、非磁性層には、酸化ジルコニウムが0.03� ��量%となるような割合で添加されている。

 なお、この実施例3の積層コイル部品1aの� ��その他の部分の基本的な構成は実施例1,2の� ��合と同様であり、実施例1,2の場合と同様の� ��法で製造することが可能であり、図6におい て、図1~3と同一符号を付した部分は図1~3と同 一または相当する部分を示す。

 この実施例3の積層コイル部品1aにおいて� ��、焼成工程における、磁性層と非磁性層の� ��縮速度の差が小さいため、磁性層と非磁性� ��の界面における割れ、欠け、剥離の発生や� ��積層体の反りなどの発生を抑制、防止しつ� ��、開磁路型の積層コイル部品の特徴である� ��磁気飽和しにくく、直流重畳特性の良好な� ��層コイル部品を提供することができる。

 特に、この実施例3の積層コイル部品1aの� ��うに、非磁性層4を2層配設することにより� �非磁性層4を一層とした実施例1および2の積� �コイル部品の場合に比べて、磁界がより多� �コイルLの外部に漏れるようにすることが可� ��になり、さらに効率よく磁気飽和を緩和す� ��ことができる。

 図7は、本願発明のさらに他の実施例(実施� �4)にかかる積層コイル部品(積層インダクタ)� ��示す断面図である。
 この実施例4の積層コイル部品1bは、図7に示 すように、内部に螺旋状のコイルLが配設さ� �た、磁性層が積層されてなる積層体11の、コ イルLを構成するコイル導体5を取り囲むよう� ��、非磁性層からなる非磁性領域20が配設さ� �た構造を有する、開磁路型の積層コイル部� �(積層インダクタ)である。

 この実施例4の積層コイル部品のように、 コイル導体5を取り囲むように、コイル導体5� ��周囲に非磁性層からなる非磁性領域20を配� �するようにした場合にも、磁路の磁気抵抗� �増加させて、磁気飽和しにくく、直流重畳� �性に優れた、開磁路型の積層コイル部品を� �ることができる。

 なお、この実施例4の積層コイル部品は、 例えば、図8(a)に示すように、中央部と、周� �部に、磁性体セラミックを主成分とするセ� �ミックスラリー31を印刷し、磁性体セラミッ クを主成分とするセラミックスラリー31が印� ��されていない環状の領域に、図8(b)に示すよ うに、非磁性体セラミックを主成分とするセ ラミックスラリー32を印刷し、形成されたセ� ��ミックグリーンシート33上にコイル導体パ� �ーン5aを印刷した電極形成セラミックグリー ンシート33aを用意し、この電極形成セラミッ クグリーンシート33aを所定の順序で積層し、 その上下両側に、全面が磁性層からなり、コ イル導体パターンの形成されていない外層用 セラミックグリーンシートを積層して積層体 を形成する工程を経て製造することができる 。

 なお、上記の各実施例にかかる積層コイ� ��部品は、上述のように、いずれもセラミッ� ��グリーンシートを積層する工程を備えたい� ��ゆるシート積層工法により製造することが� ��能であるが、磁性体セラミックスラリー、� ��磁性体セラミックスラリー、および電極ペ� ��ストを用意し、これらを、各実施例で示し� ��ような構成を有する積層体が形成されるよ� ��に印刷してゆく、いわゆる逐次印刷工法に� ��っても製造することが可能である。

 さらに、例えば、キャリアフィルム上に� ��ラミックスラリーを印刷(塗布)することに� �り形成されたセラミック層をテーブル上に� �写し、その上に、キャリアフィルム上に電� �ペーストを印刷(塗布)することにより形成さ れた電極ペースト層を転写し、これを繰り返 して、各実施例で示したような構成を有する 積層体を形成する、いわゆる逐次転写工法に よっても製造することが可能である。

 本願発明の積層コイル部品は、さらに他の� ��法によっても製造することが可能であり、� ��の具体的な製造方法に特別の制約はない。
 そして、いずれの方法を用いる場合にも、� ��述のような本願発明に特有の作用効果を得� ��ことが可能である。

 また、上記の各実施例では、1個ずつ積層 コイル部品を製造する場合(個産品の場合)を� ��にとって説明しているが、量産する場合に� ��、多数のコイル導体パターンをマザーセラ� ��ックグリーンシートの表面に印刷し、この� ��ザーセラミックグリーンシートを複数枚積� ��圧着して未焼成の積層体ブロックを形成し� ��後、積層体ブロックをコイル導体パターン� ��配置に合わせてカットし、個々の積層コイ� ��部品用の積層体を切り出す工程を経て多数� ��の積層コイル部品を同時に製造する、いわ� ��る多数個取りの方法を適用して製造するこ� ��が可能である。

 また、上記各実施例では、積層コイル部� ��が積層インダクタである場合を例にとって� ��明したが、本願発明は、積層インピーダン� ��素子や積層トランスなど種々の開磁路型の� ��層コイル部品に適用することが可能である� ��

 また、上記各実施例では、磁性層と非磁� ��層とが積層された構造を有する積層コイル� ��品を例にとって説明したが、非磁性層の全� ��あるいは一部が低透磁率層である場合にも� ��願発明を適用することが可能であり、その� ��合にも、上記各実施例の場合に準じる作用� ��果を得ることができる。

 本願発明はさらにその他の点においても� ��記実施例に限定されるものではなく、非磁� ��層の配設態様、コイル導体の具体的な構成� ��磁性層および非磁性層を構成する材料など� ��関し、発明の範囲内において種々の応用、� ��形を加えることができる。