Beschreibung Die Erfindung betrifft eine Laseranordnung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren zum Herstellen einer Laseranordnung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 27.

Eine derartige Laseranordnung weist einen elektroabsorptionsmodulierten Laser (EML) auf, d.h. einen Laser, der eine Lasersektion zum Erzeugen von Laserstrahlung und eine Elektro- absorptionsmodulatorsektion zum Modulieren der in der Lasersektion erzeugten Laserstrahlung aufweist. Eine Laseranordnung mit einem EML ist beispielsweise in der US 9,1 16,367 B2 offenbart. Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, eine Laseranordnung mit einem EML möglichst energieeffizient zu betreiben.

Dieses Problem wird durch die Bereitstellung der Laseranordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie durch die Bereitstellung des Verfahrens gemäß Anspruchs 27 gelöst. Wei- terbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben. Danach wird eine Laseranordnung bereitgestellt, mit

- einem elektroabsorptionsmodulierten Laser (EML), der eine Lasersektion und eine Elektro- absorptionsmodulatorsektion aufweist;

- einer Stromquelle zur Stromversorgung der Lasersektion;

- einer zusätzlich zu der Stromquelle angeordneten Gleichspannungsquelle, über die eine Gleichspannung an eine Diodenstruktur der Elektroabsorptionsmodulatorsektion angelegt werden kann;

- einem Treiber, mit dem dem Laser ein HF-Signal zuführbar ist;

- einer elektrische Verbindung, über die der Treiber mit dem Laser verbunden ist, wobei - über die elektrische Verbindung eine Gleichstromverbindung, also eine DC-Kopplung, zwischen dem Treiber und dem Laser derart besteht und der Treiber derart ausgebildet ist, dass ein in der Elektroabsorptionsmodulatorsektion des Lasers durch Beleuchtung mit Licht der Lasersektion erzeugter Fotostrom zumindest teilweise dem Treiber zufließt und zur Energieversorgung des Treibers zumindest beiträgt.

Die erfindungsgemäße Laseranordnung nutzt somit den bei Betrieb des Lasers entstehenden und sonst ungenutzten Fotostrom, wodurch die dem Treiber von au ßen zuzuführende Energie reduziert wird oder dem Treiber gar keine zusätzliche Energie zugeführt werden muss. Mit der erfindungsgemäßen Laseranordnung kann insbesondere ein energieeffizienter optischer Transmitter realisiert werden.

Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung besteht über die elektrische Verbindung auch eine HF-Verbindung zwischen dem Treiber und dem Laser, d.h. eine Verbindung, über die ein hochfrequentes Signal von dem Treiber an den Laser übermittelbar ist. Insbesondere handelt es sich bei der elektrischen Verbindung um eine impedanzangepasste Leitung; z.B. um eine Leitung, deren Impedanz einer Ausgangsimpedanz des Treibers und/oder einer Impedanz des Lasers angepasst ist. Der Treiber umfasst insbesondere eine Treiberschaltung, die wiederum mindestens einen Verstärker aufweist. Der Fotostrom, der zumindest teilweise zur Speisung des Treibers verwendet wird, entsteht bei Beleuchtung der Elektroabsorptionsmodulatorsektion des Lasers mit Licht, das in der Lasersektion des Lasers erzeugt wird.

Bei dem Treiber handelt es sich beispielsweise um einen single-ended (und damit insbeson- dere nicht um einen differentiellen) Verstärker. So ist dem Treiber das HF-Signal insbesondere dadurch zuführbar, dass ein Eingang des Treibers mit einem zeitlich variierendem Potential beaufschlagt wird, wobei sich das HF-Signal als Differenz des variierenden Potentials mit einem zeitlich im Wesentlichen konstanten Referenzpotential ergibt. Denkbar ist, dass ein weiterer Eingang des Treibers mit dem Referenzpotential (z.B. einem Massepotential) beaufschlagt wird. Die Erfindung ist jedoch nicht auf einen single-ended Verstärker als Treiber be- schränkt. Denkbar ist auch, dass der Treiber eine andere Treiberschaltung umfasst; z.B. eine Treiberschaltung, die einen differentiellen Betrieb ermöglicht.

Denkbar ist insbesondere, dass der Treiber so ausgebildet ist und derart mit dem Laser verschaltet ist, dass der Treiber ausschließlich durch den in der Elektroabsorptionsmodulatorsek- tion des Lasers erzeugten Fotostrom (über die Gleichstromverbindung) mit Energie versorgbar ist. Möglich ist zudem, dass ein von der Stromquelle generierter Strom zumindest im Wesentlichen nicht in den Treiber fließt.

Beispielsweise ist der Treiber so ausgebildet ist und derart mit dem Laser verschaltet, dass der Treiber seine Verstärkungseigenschaften zumindest im Wesentlichen auch dann beibehält, wenn er ausschließlich durch den in der Elektroabsorptionsmodulatorsektion des Lasers erzeugten Fotostrom mit Energie versorgt wird; d.h. insbesondere in dem Fall, dass eine Gleichstromversorgung des Treiber ausschließlich über die Gleichstromverbindung und z.B. ausschließlich über einen mit der Gleichstromverbindung gekoppelten HF-Ausgang des Trei- bers erfolgt.

Möglich ist darüber hinaus, dass zwischen der Stromquelle und der Elektroabsorptionsmodu- latorsektion keine elektrische Verbindung besteht oder eine während des Betriebes der Laseranordnung zumindest im Wesentlichen nicht stromführende elektrische Verbindung, z.B. aus- schließlich über mindestens eine dotierte (insbesondere n-dotierte) Halbleiterschicht des Lasers, ausgebildet ist. Insbesondere besteht auch keine elektrische Verbindung zwischen der Stromquelle und dem Treiber (abgesehen von einer möglichen nicht stromführenden Verbindung, z.B. über die dotierte Halbleiterschicht). Es erfolgt somit kein Stromfluss von der Stromquelle der Lasersektion in den Treiber. Darüber hinaus kann auch zwischen der Gleichspan- nungsquelle und der Lasersektion keine elektrische Verbindung bestehen oder es ist eine stromlose elektrische Verbindung, insbesondere ausschließlich über mindestens eine dotierte Halbleiterschicht des Lasers, ausgebildet.

Diese (insbesondere strikte) elektrische Trennung der Laser- und der Elektroabsorptionsmo- dulatorsektion umfasst insbesondere auch eine Trennung eines zum Betreiben der Lasersektion ausgebildeten Schaltkreises der Laseranordnung und eines zum Beaufschlagen der Elekt- roabsorptionsmodulatorsektion mit einem Modulationssignal vorgesehenen Schaltkreises. Mit einer derartigen Trennung dieser Schaltkreise können störende Kopplungen zwischen den Schaltkreisen vermieden werden, wodurch z.B. einer Entstehung eines optischen Chirps entgegengewirkt wird. Zudem ist mit Hilfe der Spannungsquelle z.B. eine stabile Spannungsversorgung und/oder eine Arbeitspunkteinstellung der Elektroabsorptionsmodulatorsektion ohne eine Beeinflussung des Betriebs der Lasersektion möglich. Darüber hinaus ermöglicht die elektrische Trennung der Stromquelle der Lasersektion von dem Treiber eine Stromversorgung des Treibers ausschließlich oder zumindest im Wesentlichen ausschließlich mit dem in der Elektroabsorptions- modulatorsektion generierten Fotostrom und somit einen besonders energiesparenden Betrieb des Lasers.

Denkbar ist wie oben bereits erwähnt, dass die Energieversorgung des Treibers hauptsächlich durch den in der Elektroabsorptionsmodulatorsektion des Lasers erzeugten Fotostrom erfolgt. Es ist demnach möglich, dass eine separate Spannungsquelle zur Versorgung des Treibers vorhanden ist, über die zusätzlich zu dem Fotostrom elektrische Energie an den Treiber geliefert wird. Denkbar ist allerdings auch, dass die Energieversorgung des Treibers zumindest im Wesentlichen allein durch den in dem Laser generierten Fotostrom erfolgt und z.B. die Spannungsquelle zur Versorgung des Treibers entfällt. Entsprechend kann dann auch auf eine (teure, HF-kritische und platzbeanspruchende) HF-Entkopplungsspule verzichtet werden, über die eine externe Versorgungsspannung in den Treiber eingekoppelt wird. Ein Verzicht auf die HF-Entkopplungsspule kann insbesondere wegen des geringeren Platzbedarfs z.B. bei einem Array mit mehreren erfindungsgemäßen Laseranordnungen günstig sein. Gemäß einer anderen Weiterbildung der Erfindung ist die Laseranordnung so ausgebildet, dass zumindest im Wesentlichen der gesamte in der Elektroabsorptionsmodulatorsektion des Lasers erzeugte Fotostrom zur Energieversorgung des Treibers genutzt wird. Gemäß dieser Variante wird also im Wesentlichen der gesamte in dem EML entstehende Fotostrom über die Gleichstromverbindung dem Treiber zugeführt. Denkbar ist jedoch durchaus auch, dass nur ein Teil des Fotostroms dem Treiber zufließt und z.B. ein anderer Teil des Fotostroms zur Speisung eines weiteren Verbrauchers der Laseranordnung verwendet wird oder über einen Widerstand abfließt.

Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung handelt es sich bei dem Treiber um einen Wanderwellenverstärker („Travelling Wave Amplifier" - TWA), wobei der Fotostrom insbesondere verstärkenden Transistoren des Wanderwellenverstärkers zugeleitet wird. Beispielsweise sind die einzelnen Verstärker (Transistoren) in einer single-ended Konfiguration ausgeführt und werden beispielsweise entsprechend nicht differentiell betrieben. Die Erfindung ist jedoch nicht auf eine bestimmte Ausgestaltung des Treibers beschränkt. Vielmehr können im Prinzip beliebige geeignete Treiber (insbesondere Verstärkerschaltungen) verwendet werden. Geeignete Treiber sind z.B. so ausgebildet ist und derart mit dem Laser verschal- tet, dass der Treiber seine Verstärkungseigenschaften beibehält, wenn er ausschließlich durch den in der Elektroabsorptionsmodulatorsektion des Lasers erzeugten Fotostrom mit Energie versorgt wird, wie oben bereits erläutert.

Möglich ist auch, dass die erfindungsgemäße Laseranordnung eine Impedanzanpassungs- Schaltung aufweist, die eine Anpassungsinduktivität, einen Anpassungswiderstand und/oder eine Gleichstromblockierkapazität (realisiert z.B. durch einen Gleichstromblockierkondensator -„DC-Blocking-Kondensator") aufweist. Die Gleichstromblockierkapazität wirkt insbesondere bei einer Spannungsversorgung des Treibers zusätzlich zu der Energieversorgung durch den Fotostrom einem DC-Leistungsverlust, insbesondere in einer Terminierungsimpedanz des Treibers, entgegen. Denkbar ist allerdings auch, dass die Impedanzanpassungsschaltung keine Gleichstromblockierkapazität aufweist.

Die Impedanzanpassungsschaltung ist insbesondere ein Teil des Lasers und z.B. durch die Elektroabsorptionsmodulatorsektion ausgebildet oder mit ihr verbunden; insbesondere ist die Impedanzanpassungsschaltung mit einer Diodenstruktur der Elektroabsorptionsmodulator- sektion gekoppelt. Denkbar ist jedoch auch, dass die Impedanzanpassungsschaltung in die elektrische Verbindung zwischen dem Treiber und dem EML integriert ist; insbesondere ist die Impedanzanpassungsschaltung Bestandteil einer flexiblen Leitung, die die elektrische Verbindung ausbildet. Durch Verlagerung der Impedanzanpassungsschaltung in die elektrische Ver- bindung kann z.B. die Herstellung der Elektroabsorptionsmodulatorsektion des Lasers vereinfacht werden. Denkbar ist beispielsweise, dass die Impedanzanpassungsschaltungen bei der Herstellung eines Arrays mit einer Mehrzahl erfindungsgemäßer Laseranordnungen in die jeweilige elektrische Verbindung verlagert sind. Darüber hinaus können der Treiber, die elektrische Verbindung und der Laser der erfindungsgemäßen Laseranordnung monolithisch integriert sein, d.h. diese Bauelemente sind insbesondere auf einem gemeinsamen Substrat ausgebildet. Eine monolithische Integration kann z.B. mit InP-, GaAs-, SiGe-, SiP- CMOS-Technologie oder einer ähnlichen Technologie realisiert werden. Beipspielsweise ist hierbei aufgrund des verminderten Energiebedarfs der erfindungs- gemäßen Laseranordnung eine thermische Entkopplung des Treibers und des EMLs nicht zwingend erforderlich. Denkbar ist allerdings auch ein hybrider Aufbau, bei dem der Treiber und der EML auf separaten Substraten angeordnet und insbesondere über eine ebenfalls separat ausgebildete elektrische Verbindung miteinander verbunden sind; z.B. über eine weiter unten erläuterte „Flexline".

Möglich ist auch, dass die erfindungsgemäße Laseranordnung eine Gleichstromspannungsquelle aufweist, über die eine Gleichspannung an eine aktive Region der Elektroabsorptions- modulatorsektion angelegt werden kann. Die Gleichstromspannungsquelle dient z.B. zum Anlegen einer Sperrspannung an eine Diodenstruktur der Elektroabsorptionsmodulatorsektion des EMLs.

Gemäß einer anderen Weiterbildung der Erfindung ist die elektrische Verbindung durch eine flexible Leitung ausgebildet. Beispielsweise handelt es sich bei der flexiblen Leitung um eine „Flexline", d.h. um eine flexible Leitung, die ein dielektrisches flexibles Trägermaterial aufweist, auf dem eine Mehrzahl von (insbesondere metallischen) Leitungen (z.B. in Form von Leiterbahnen) angeordnet ist. Als Trägermaterial weist die flexible Leitung z.B. ein Polymer (etwa ein Polyimid) auf. Beispielsweise ist die flexible Leitung als Koplanarstreifenleitung ausgebildet. Mit Hilfe der flexiblen Leitung ist eine Verbindung des Treibers mit dem Laser auch bei einer größeren Entfernung dieser Komponenten möglich, so dass der Treiber in einem Abstand von dem Laser angeordnet werden kann, um eine möglichst gute thermische Entkopplung des Treibers und des Lasers voneinander zu realisieren. Die Verbindung der flexiblen Leitung (o- der einer sonstigen Leitung, die die elektrische Verbindung ausbildet) mit dem Treiber und/o- der dem Laser erfolgt z.B. per Flip-Chip-Bonding.

Gemäß einer anderen Weiterbildung der Erfindung umfasst die Laseranordnung eine thermo- elektrische Kühlvorrichtung zum Kühlen des elektroabsorptionsmodulierten Lasers; insbesondere, um die Temperatur des Lasers (insbesondere der Elektroabsorptionsmodulatorsektion) möglichst konstant zu halten. Beispielsweise ist der EML auf der thermoelektrischen Kühlvorrichtung angeordnet.

Es wird jedoch darauf hingewiesen, dass die erfindungsgemäße Laseranordnung aufgrund der Nutzung des anderenfalls zur Erwärmung des Lasers beitragenden Fotostroms nicht zwin- gend eine Kühlvorrichtung benötigt. Auch muss nicht unbedingt ein größerer Abstand zwischen dem Treiber und dem Laser vorgesehen werden. Vielmehr ist auch eine monolithische Integration möglich, wie oben bereits erläutert. Wie oben bereits angedeutet kann die Erfindung auch ein Array mit einer Mehrzahl von erfindungsgemäßen Laseranordnungen betreffen, z.B. ein Array mit 2, 4, 8, ... Laseranordnungen (Kanälen).

Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Herstellen einer Laseranordnung, insbesondere einer wie oben beschrieben ausgebildeten Laseranordnung, wobei das Verfahren die Schritte aufweist:

- Bereitstellen eines elektroabsorptionsmodulierten Lasers, der eine Lasersektion und eine Elektroabsorptionsmodulatorsektion aufweist;

- Bereitstellen einer Stromquelle zur Stromversorgung der Lasersektion und einer zusätzlich zu der Stromquelle angeordneten Gleichspannungsquelle, über die eine Gleichspannung an eine Diodenstruktur der Elektroabsorptionsmodulatorsektion angelegt werden kann;

- Bereitstellen eines Treibers, mit dem dem Laser ein HF-Signal zuführbar ist;

- Herstellen einer elektrischen Verbindung zwischen dem Treiber und dem Laser, wobei

- die Laseranordnung so konfiguriert wird, dass über die elektrische Verbindung eine Gleichstromverbindung zwischen dem Treiber und dem Laser derart besteht, dass ein in der Elekt- roabsorptionsmodulatorsektion des Lasers durch Beleuchtung mit Licht der Lasersektion erzeugter Fotostrom zumindest teilweise dem Treiber zufließt und zur Energieversorgung des Treibers zumindest beiträgt.

Das Bereitstellen des elektroabsorptionsmodulierten Lasers und/oder des Treibers umfasst insbesondere auch ein Herstellen des Lasers bzw. des Treibers. Darüber hinaus können die oben in Verbindung mit der erfindungsgemäßen Laseranordnung beschriebenen Ausfüh- rungsbeispiele natürlich analog auch zur Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens verwendet werden.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Figuren näher erläutert. Es zeigen:

Figur 1 schematisch eine Laseranordnung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung; eine Laseranordnung gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung in perspektivischer Ansicht; ein Schaltbild einer Laseranordnung gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung; eine Abwandlung der Laseranordnung aus Figur 3; eine weitere Abwandlung der der Laseranordnung aus Figur 3; ein Schaltbild einer Laseranordnung gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel der Erfindung; eine Abwandlung der Laseranordnung aus Figur 6; ein Schaltbild einer Laseranordnung gemäß einem fünften Ausführungsbeispiel der Erfindung; ein Schaltbild einer Laseranordnung gemäß einem sechsten Ausführungsbeispiel der Erfindung; und

Figur 10 ein Schaltbild einer Laseranordnung gemäß einem siebten Ausführungsbeispiel der Erfindung.

Die in Figur 1 dargestellte erfindungsgemäße Laseranordnung 1 umfasst einen elektroabsorp- tionsmodulierten Laser (EML) 1 1 , der eine Lasersektion 1 1 1 (zum Beispiel in Form eines DFB- oder DBR-Lasers) und eine Elektroabsorptionsmodulatorsektion 1 12 aufweist. Zur Kühlung des Lasers 1 1 kann eine (z.B. thermoelektrische) Kühlvorrichtung 12 vorhanden sein, auf der der Laser 1 1 angeordnet ist. Die Kühlvorrichtung 12 ist jedoch lediglich optional.

Zur Ansteuerung des Lasers 1 1 , insbesondere zur Übermittlung eines HF-Signals, umfasst die Laseranordnung 1 einen Treiber 13, insbesondere in Form eines Wanderwellenverstärkers (TWA). Der Treiber 13 dient insbesondere zur Verstärkung eines hochfrequenten Eingangssignals V _RF in und zum Speisen des Lasers 1 1 mit dem verstärkten HF-Signal über eine elektrische Verbindung 14.

Die elektrische Verbindung 14 realisiert nicht nur eine HF- Verbindung zwischen dem Treiber 13 und dem Laser 1 1 , sondern stellt gleichzeitig auch eine Gleichstromverbindung zwischen dem Treiber 13 und dem Laser 1 1 bereit. Darüber hinaus ist die Laseranordnung 1 so konfiguriert, dass ein in der Elektroabsorptionsmodulatorsektion 1 12 des Lasers 1 1 bei Bestrahlung mit Licht der Lasersektion 1 1 1 erzeugter Fotostrom l _ph0 to zumindest teilweise über die elektrische Verbindung 14 dem Treiber 1 3 zufließt und zur Energieversorgung des Treibers 13 zumindest beiträgt. Denkbar ist insbesondere, dass die Energieversorgung des Treibers 13 ausschließlich durch den Fotostrom l _ph0 to erfolgt. Möglich ist allerdings z.B. auch, dass dem Treiber 1 3 über eine Spannungsquelle eine zusätzliche Versorgungsspannung VTWA zugeführt wird. Insbesondere ist der Treiber 1 3 so beschaffen, dass er sowohl eine Energieversorgung ausschließlich durch den Fotostrom Ip _h oto als auch mit der zusätzlichen Versorgungsspannung VTWA ermöglicht.

Eine mögliche hybride Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Laseranordnung 1 ist in Figur 2 dargestellt. Dort ist der Treiber 13 als integrierter Schaltkreis auf einem ersten Substrat 130 angeordnet, während der EML 1 1 als Halbleiterstruktur auf einem separaten zweiten Substrat 1 10 ausgebildet ist.

Der Treiber 13 und der EML 1 1 sind über eine ebenfalls separate elektrische Verbindung 14 miteinander gekoppelt, wobei die elektrische Verbindung 14 als flexible Leitung ausgeformt ist, d.h. als eine Leitung, die mehrere auf einem flexiblen Substrat 141 angeordnete Leiterbahnen 142 umfasst. Die Leiterbahnen 142 sind über Kontakte (Bumps) 143 mit Ausgangsleitun- gen des Treibers 1 3 bzw. Eingangsleitungen des Lasers 1 1 verbunden.

Der Treiber 13 ist zudem mit einer breitbandigen Terminierungsspule (Entkopplungsspule) 131 gekoppelt, über die dem Treiber 13 eine Versorgungsspannung zuführbar ist. Die Versorgungsspannung wird zusätzlich zu der Versorgung durch den über die elektrische Verbindung 14 zugeführten Fotostrom des Lasers 1 1 bereitgestellt. Eine derartige zusätzliche Spannungsversorgung und somit auch die Terminierungsspule 1 31 sind jedoch lediglich optional.

In Figur 3 ist ein Schaltbild eines weiteren Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Laseranordnung 1 gezeigt. Danach weist die Laseranordnung 1 zudem eine Gleichspannungs- quelle 15 auf, über die eine Gleichspannung (Sperrspannung V _rev ) an eine Diodenstruktur 1 121 der Elektroabsorptionsmodulatorsektion 1 1 2 des Lasers 1 1 angelegt werden kann. Des Weiteren ist eine Stromquelle 1 7 zur Stromversorgung der Lasersektion 1 1 1 vorhanden (Versorgungsstrom IDFB) . Auf eine separate Spannungsversorgung des Treibers 13 wurde jedoch verzichtet, d.h. die Energie zum Betrieb des Treibers 1 3 wird allein durch den über die elektrische Verbindung 14 von dem Laser 1 1 zugeführten Gleichstrom l* _ph0 to zur Verfügung gestellt, so dass die einzigen zum Betrieb der Laseranordnung 1 benötigten Energiequellen die Gleichspannungsquelle 1 5 und die Stromquelle 1 7 sind.

Mittels der Diodenstruktur 1 1 21 und in Abhängigkeit von der dem Laser 1 1 über den Treiber 1 3 zugeführten HF-Spannung wird die von der Lasersektion 1 1 1 erzeugte kontinuierliche Lichtstrahlung (Poptcw) moduliert, wobei der EML modulierte Strahlung (P _op tmod) emittiert und in der Elektroabsorptionsmodulatorsektion 1 1 2 der Fotostrom l _ph0 to entsteht. Der Fotostrom Iphotowird wie oben bereits erläutert über die elektrische Leitung 1 4 dem Treiber 1 3, und zwar insbesondere dessen Verstärkungstransistoren 1 33 (TWA) zugeführt.

Des Weiteren umfasst die Laseranordnung 1 eine Impedanzanpassungsschaltung 1 6 zur Anpassung insbesondere der Impedanz der Elektroabsorptionsmodulatorsektion 1 1 2 des Lasers 1 1 an die Impedanz der Verbindung 1 4 und des Treibers 1 3, um Reflexionen des Treibersignals möglichst gering zu halten. Die Impedanzanpassungsschaltung 1 6 ist im Ausführungs- beispiel der Figur 3 entsprechend als Abschlussimpedanzschaltung des Lasers 1 1 ausgebildet und umfasst eine Anpassungsinduktivität 1 61 („Uerm"), einen Anpassungswiderstand 1 62 (Abschlusswiderstand Rterm) sowie eine Gleichstromblockierkapazität 1 63 („Cbiock") . Die Anpassungsinduktivität 1 61 , der Anpassungswiderstand 1 62 und die Gleichstromblockierkapazität 1 63 sind in Serie geschaltet.

Die Gleichstromblockierkapazität 1 63 verhindert insbesondere ein Abfließen eines Teils des Fotostroms l _P hoto und eines auf die Spanungsquelle 1 5 zurückgehenden Stromes IRTERM über den Abschlusswiderstand R _te rm. Entsprechend wird der Treiber 1 3 zumindest im Wesentlichen durch den von dem Laser 1 1 zum Treiber 1 3 fließenden Gleichstrom l* _pho to gespeist, wobei hier der dem Treiber 1 3 zufließende Gleichstrom l ^* _ph0 to dem erzeugten Fotostrom l _ph oto entspricht (d.h. I ^* _P hoto l _P hoto) .

Denkbar ist auch, dass auf die Gleichstromblockierkapazität 1 63 verzichtet und dieser durch einen Kurzschluss ersetzt wird, wodurch die Herstellung der Impedanzanpassungsschaltung vereinfacht werden kann. Diese Abwandlung ist in Figur 4 dargestellt. In diesem Fall wird der Gleichstrom I RTERM zusammen mit dem in der Elektroabsorptionsmodulatorsektion 1 1 2 generierten Fotostrom l _ph0 to dem Treiber 1 3 zufließen, so dass sich für den den Treiber 1 3 speisenden Strom l* _P hoto ergibt: l* _ph oto = l _P hoto + IRTERM. Denkbar ist auch, dass der Abschlusswiderstand R _te rm den Ausgangswiderstand („pull-up"-Wi- derstand) RL des Treibers 1 3 ersetzt (insbesondere bei einer monolithischen Ausführung der Laseranordnung 1 ) und die Speisung des Treibers 1 3 unterstützend zum Fotostrom aus der Elektroabsorptionsmodulatorsektion 1 12 über den Abschlusswiderstand R _te rm (= RL) erfolgt. Auf den treiberseitigen Widerstand RL am Transistor Q wird verzichtet („Open-Collector"-Trei- berkonfiguration), wie dies in Figur 5 gezeigt ist. Hierdurch vereinfacht sich insbesondere der Aufbau des mit einem Geringstrom der Spannungsquelle 15 (V _rev ) versorgten treiberseitigen Basisspannungsteilers (umfassend die Widerstände RB2 und Rb); insbesondere dadurch, dass die mit dem Widerstand Rb in Reihe geschaltete Induktivität Lb nun unmittelbar geerdet ist. Über eine Kapazität Ci _np ut und einem Widerstand R _g sowie den Basisspannungsteiler wird ein modulierter Hochfrequenzeingangsstrom l _PRB s den Transistoren 133 zugeführt. Figur 6 zeigt ein Schaltbild einer erfindungsgemäßen Laseranordnung 1 , die analog zum Ausführungsbeispiel der Figur 3 ausgebildet ist, wobei jedoch weitere Einzelheiten des als Wanderwellenverstärker ausgebildeten Treibers 13 dargestellt sind. Ebenfalls analog zur Figur 3 umfasst die Laseranordnung der Figur 6 eine als Abschlussimpedanzschaltung der Elektroab- sorptionsmodulatorsektion 1 12 des Lasers 1 1 ausgebildete Impedanzanpassungsschaltung 16.

Des Weiteren ist die elektrische Leitung 14 als flexible Leitung mit einem flexiblen Substrat 141 und darauf angeordneten Leiterbahnen 142 ausgebildet. Der Treiber 13 kann zudem zusätzlich über eine Spannungsquelle 132 (Versorgungsspannung VTWA) und eine HF- Terminie- rungsspule 131 versorgt werden. Durch die Nutzung des Fotostroms l _P hoto, der wie oben erläutert aufgrund des vorhandenen Blockingkondensators 163 dem tatsächlich dem Treiber 13 zufließendem Gleichstrom l ^* _ph0 to entspricht, ergibt sich eine Energieeinsparung beim Betrieb des Treibers 13 von VTWA X Iphoto. Der Wanderwellenverstärker weist insbesondere mehr als eine Verstärkerstufe auf. Wanderwellenverstärker sind an sich jedoch bekannt, so dass von weiteren Erläuterungen abgesehen wird. Es wird allerdings darauf hingewiesen, dass die Erfindung nicht auf die Verwendung von Wanderwellenverstärkern begrenzt ist. So könnte durchaus auch ein Verstärker mit nur einer Verstärkerstufe als Treiber verwendet werden.

Des Weiteren zeigt Fig. 6 Kapazitäten Cin.term, Cext.EAM, Cirrt and Cextjc, über die ein HF-Masse- anschluss der Laseranordnung 1 (des Treibers 13 und der Elektroabsorptionsmodulatorsek- tion 1 12) erfolgt, wobei ein Abfließen des Fotostroms Iphoto nach Masse jedoch verhindert wird. Ausgangsseitig bezüglich der rücklaufenden Wellen umfasst der Treiber 13, dem ein Ein- gangssignal VRFIN zugeführt wird, ein Terminierungsnetzwerk mit einem Widerstand R _ou t,term und Kapazitäten C _ou t,term, C _ou t,ext. Im Übrigen wird auf die Erläuterungen zur Figur 4 verwiesen. Figur 7 zeigt eine zur Figur 4 analoge Abwandlung der Figur 6, wonach die Impedanzanpassungsschaltung 16 ohne die Gleichstromblockierkapazität 1 63 ausgebildet ist. Dies reduziert z.B. die zur Herstellung der Elektroabsorptionsmodulatorsektion 1 1 2 erforderlichen Herstellungsschritte. Denkbar ist zudem, dass die treiberseitige Spannungsquelle 1 32 (V ) entfällt.

Figur 8 betrifft eine weitere Abwandlung der erfindungsgemäßen Laseranordnung 1 , wonach die Impedanzanpassungsschaltung 16 nicht als Abschlussimpedanzschaltung ausgebildet ist, sondern in die als flexible Leitung ausgefomte elektrische Verbindung 14 integriert ist. Entsprechend sind zwischen den Leiterbahnen 142 der elektrischen Verbindung 14 Anpassungs- Induktivitäten 161 a, 1 61 b (Lfi _ex , _a , Lfiex.b) , Anpassungswiderstände 162a, 162b (Rfi _ex ,a, Rfiex.b) sowie Gleichstromblockierkapazitäten 1 63a, 1 63b (Qiex.a, Cfi _ex ,b) angeordnet; insbesondere in Form von Strukturen, die ebenfalls auf dem Träger 141 der elektrischen Verbindung 14 und dort zwischen den Leiterbahnen 142 angeordnet sind. Denkbar ist, dass der erzeugte Fotostrom Iphoto über den Anpassungswiderstand 1 62 unterstützt wird. Möglich ist auch, dass in Bezug auf die elektrische Verbindung 14 ein Potential verwendet wird (mit dem z.B. die äu ßeren der Leiterbahnen verbunden sind), das höher liegt als die Masse des Treibers 1 3 und einem Abfließen eines Teils des Fotostroms über den Anpassungswiderstand 1 62 somit entgegengewirkt wird. Von den Induktivitäts-, Widerstands-, und Kapazitätsstrukturen L _fl ex,a, Lfiex.b , Rflex,a, Rfiex.b, Cilex, a, Cfiex.b befindet sich jeweils eine zwischen zwei benachbarten Leiterbahnen 142 , wobei die Strukturenzusammen eine Gesamtanpassungsinduktivität, einen Gesamtanpassungswider- stand und eine Gesamtblockierkapazität ergeben. Die Induktivitäts-, Widerstands-, und Kapazitätsstrukturen Lfiex.a, Lfiex.b , Rfiex,a, Rfiex.b, Cfiex.a, Cfiex.b befinden sich auf einer dem Laser 1 1 (ins- besondere der Elektroabsorptionsmodulatorsektion 1 1 2) zugewandten Hälfte der elektrischen Verbindung 14 (insbesondere im Bereich eines der Elektroabsorptionsmodulatorsektion 1 1 2 zugewandten Endes der elektrischen Verbindung 14).

Das Ausführungsbeispiel der Figur 9 entspricht demjenigen der Figur 8, wobei jedoch auf die mit dem Treiber 1 3 gekoppelte HF-Terminierungsspule 131 verzichtet wurde. Entsprechend wird hier eine Versorgungsspannung V unter Verwendung einer parallelen Kapazität C _ou t, ext über einen Anpassungswiderstand Rout. term dem Wanderwellenverstärker zugeführt. Die Kapazität Cout.ext zusammen mit einer weiteren Kapazität C _ou t,term realisieren eine breitbandige HF- Verbindung des Anpassungswiderstands R out, term mit Masse.

Die Energieeinsparung bei der Versorgung des Treibers ergibt sich nach V l* _P hoto, wobei

V V + Rout.term l l I Gemäß dem Ausführungsbeispiel der Figur 1 0 entfällt auch die separate Spannungsquelle 132 zur zusätzlichen Versorgung des Treibers 13; d.h. der Treiber 1 3 wird allein durch den in der Elektroabsorptionsmodulatorsektion 1 12 des Lasers 1 1 erzeugten Fotostrom gespeist, wobei optional zusätzlich zu dem Fotostrom der über den Widerstand Rfi _ex fließende Strom zur Versorgung des Treibers 1 3 dienen kann. Denkbar ist dafür, dass auf die Kapazität Cfi _ex verzichtet wird.

Es wird darauf hingewiesen, dass Elemente der vorstehend beschriebenen Ausführungsbei- spiele natürlich auch in Kombination miteinander verwendet werden können. Des Weiteren ist die Erfindung wie oben bereits erwähnt nicht auf einen hybriden Aufbau der Laseranordnung beschränkt. Insbesondere können die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele analog auch mit einem monolithischen Aufbau der Laseranordnung realisiert werden.