Die Erfindung betrifft eine Laserschutzvorrichtung zum Abschirmen von Laserstrahlung, insbesondere eine Laserschutzvorrichtung mit einer Anordnung zur Erfassung von un- zulässig starkem Energieeintrag in das Material einer Schutzumhausung oder eines Gerätegehäuses durch z. B. direkte oder gestreute Laserstrahlung.

In vielen Bereichen - z. B. in der Industrie zur Materialbearbeitung - werden Laser eingesetzt, wobei der Verlauf des Laserstrahls oftmals bewegbar geführt ist, z. B. indem der Laserstrahl über bewegbare Umlenkspiegel geleitet wird oder indem ein den Laserstrahl emittierender Laserkopf an einem bewegbaren Roboterarm angebracht ist. Beim Bearbeiten von Werkstücken mittels Lasers (z. B. Laserschweißen, Laserschneiden) werden oftmals hohe Lichtintensitäten verwendet, wobei Licht des Laserstrahls durch Reflexion oder Streuung an dem Werkstück oder Teilen der Bearbeitungsvorrichtung umgelenkt werden kann. Um eine Gefährdung von Personen durch (z. B. derart umgelenktes) Laserlicht zu vermeiden, werden solche Laserbearbeitungsvorrichtungen daher in der Regel in einer Sicherheits- bzw. Schutzkabine betrieben, welche ein Abschirmen der Umgebung vor der Laserstrahlung gewährleistet. Im einfachsten Fall kann eine solche Sicherheitskabine aus passiv wirkenden Schutzbzw. Abschirmwänden bestehen, welche z. B. aus Metall sein können und derart angeordnet sind, dass von ihnen die Laserbearbeitungsvorrichtung bzw. der Laser nach außen hin lichtdicht abgeschirmt wird. Solche passiven Schutzwände wirken, indem sie die darauf auftreffende Laserstrahlung absorbieren oder reflektieren.

Es können jedoch auch aktiv wirkende Sicherheitskabinen vorgesehen sein. Als Beispiel hierfür beschreibt die DE 20 2009 004 927 U1 eine Laserschutzkabine mit einer Umfangswandung aus doppelwandigen Wandungselementen mit einer Innenwand und einer zu dieser beabstandeten Außenwand, wobei ein Sensor zur Detektierung von La- serlicht an einer vorgegebenen Position im Zwischenraum zwischen den beiden Wänden angeordnet ist. Gemäß dieser Anordnung kann die bei Laserdurchbruch am Sensor vorliegende Lichtintensität und somit auch das von derselben am Sensor hervorgerufene Signal mit der Position des Laserauftreffpunktes (z. B. mit dem Abstand zwischen der Laserauftreffposition und der Sensorposition) variieren. Zudem können gemäß die- ser Anordnung, um Totbereiche zu vermeiden, keine stabilisierenden Verstrebungen oder Füllstoffe im Inneren des Zwischenraums angeordnet werden. Dementsprechend muss die Stabilität der Anordnung mittels stärkerer Wände realisiert werden, was mit entsprechend hohem Gewicht bzw. hohen Material kosten einhergeht. Des Weiteren sind die beschriebenen aktiven Wandelemente nicht für verformbare Elemente einer Laserschutzkabine, wie z. B. Rolltore bzw. Rolltüren, geeignet.

Ein anderes Konzept zur Laserschutzüberwachung sieht vor, dass die für einen gegebenen Zeitpunkt vorausberechnete Prozessstelle mittels einer Kamera als Sensor überwacht wird, wobei das Vorhandensein von Laserstrahlung an diesem Ort zur zuge- hörigen Zeit nicht nur zulässig, sondern eine notwendige Bedingung ist. Der Sensor löst aus und schaltet den Laser ab, sobald der Sensor bei aktivem Laser an dem programmierten Betrachtungspunkt keine Strahlung feststellen kann. Diese Anordnung erfordert jedoch eine aufwendige Programmierung, wobei das System ausschließlich für voll automatisierte Anlagen anwendbar ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Laserschutzvorrichtung zum Abschirmen von Laserstrahlung bereitzustellen, die ein zuverlässiges Erfassen von auftreffender Laserstrahlung und einen stabilen Aufbau bei geringem Materialaufwand und beliebiger Formgebung ermöglicht sowie einfach und kostengünstig herstellbar ist.

Gemäß der Erfindung wird eine Laserschutzvorrichtung zum Abschirmen von Laserstrahlung bereitgestellt, aufweisend mindestens ein (flächiges) Wandungs- bzw. Abschirmelement zum Abschirmen der Laserstrahlung, wobei das Abschirmelement eine Sensor-Schichtanordnung aus einer oder mehreren Schichten aufweist. Die Sensor- Schichtanordnung weist vorgegebene elektrische Eigenschaften und (mindestens) eine diesen entsprechende vorgegebene elektrische Kenngröße auf und ist derart ausgebildet, dass sich bei Energieeintrag durch Auftreffen der Laserstrahlung auf das Abschirmelement - zumindest wenn der Energieeintrag einen vorgegebenen Schwellenwert überschreitet - ihre elektrischen Eigenschaften bzw. die Kenngröße ändern (d. h. der Wert der Kenngröße sich ändert). Die Laserschutzvorrichtung weist ferner eine Überwachungsvorrichtung auf, die mit der Sensor-Schichtanordnung elektrisch verbunden ist und derart ausgebildet ist, dass von ihr eine solche Änderung der elektrischen Eigenschaften bzw. der elektrischen Kenngröße der Sensor-Schichtanordnung (als Messwert) erfassbar ist. Der Energieeintrag (in die Sensor-Schichtanordnung) durch auf das Abschirmelement auftreffendes Laserlicht kann z. B. mittels einer durch das auftreffende Laserlicht hervorgerufenen Erwärmung der Sensor-Schichtanordnung erfolgen, wobei die Erwärmung der Sensor-Schichtanordnung entweder direkt durch auf die Schichtanordnung auftref- fendes Laserlicht oder indirekt mittels thermischen Kontakts zwischen der Schichtanordnung und einer von dem Laserlicht bestrahlten (anderen) Lage des Abschirmelements erfolgen kann. Der Energieeintrag in die Sensor-Schichtanordnung kann jedoch auch durch die direkte Wechselwirkung der Photonen des Laserlichts mit dem Material einer Schicht der Schichtanordnung - z. B. mittels Photoeffekts - erfolgen.

Unter dem„Abschirmen von Laserstrahlung" wird vorliegend das Abschirmen von gewollt oder ungewollt (z. B. durch Streuung oder Reflexion von einer mittels des Abschirmelements abgeschirmten Laserbearbeitungsvorrichtung her) auf das Abschirmelement auftreffender gebündelter oder ungebündelter, sichtbarer oder nicht sichtbarer elektromagnetischer Strahlung verstanden; wobei insbesondere das von einer abzuschirmenden Laservorrichtung emittierte Laserlicht abgeschirmt werden soll.

Das Wandungs- bzw. Abschirmelement weist eine Innenseite, d. h. eine zum Auftreffen von Laserstrahlung darauf vorgesehene (d. h. beim bestimmungsgemäßen Betrieb der die Laserstrahlung emittierenden Lichtquelle zugewandte) Seite, und eine derselben abgewandte Außenseite, d. h. eine der Laserlichtquelle abgewandte Seite, auf. Die Sensor-Schichtanordnung erstreckt sich bevorzugt über die gesamte Fläche bzw. Ab- schirm-Fläche des Abschirmelements (z. B. über die gesamte Fläche der Innenseite des Abschirmelements) bzw. nimmt dieselbe ein, wobei sich insbesondere jede der Schichten der Sensor-Schichtanordnung über die gesamte (Abschirm-)Fläche des Abschirmelements (z. B. über die gesamte Fläche der Innenseite des Abschirmelements) erstrecken bzw. dieselbe einnehmen kann. Die Abschirm-Fläche bezeichnet die von dem Abschirmelement überspannte bzw. eingenommene (abschirmende) Fläche.

Demgemäß ist die Sensor-Schichtanordnung als großflächiges Sensorelement ausge- führt, das üblicherweise eine mehrere Quadratmeter große Fläche, jedoch bevorzugt bei ein Laserschutzkabine mindestens eine 0,25 m ² und bei einem Gehäuse mind. 0,05 m ² große Fläche, umfasst bzw. einnimmt.

Es kann auch vorgesehen sein, dass das Abschirmelement von der Sensor-Schicht- anordnung gebildet ist, d. h. das Abschirmelement aus der Sensor-Schichtanordnung besteht; wobei z. B. vorgesehen sein kann, zum Gewährleisten der mechanischen Stabilität eines solchen Abschirmelements die Schichten der Sensor-Schichtanordnung mit einer entsprechend großen Schichtdicke auszubilden. In jedem Fall kann die gesamte Abschirm-Fläche des Abschirmelements von der Sensor-Schichtanordnung (flächig) über- bzw. abgedeckt sein.

Das Abschirmelement kann z. B. ein Teil einer Schutzumhausung bzw. eines Gehäuses zum Umhausen einer Laservorrichtung (z. B. einer Laserbearbeitungsvorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks mittels der Laserstrahlung) sein oder eine solche Umhau- sung bilden. Es kann vorgesehen sein, dass die Laserschutzvorrichtung eine Schutzumhausung zum Umhausen einer Laservorrichtung aufweist, wobei die Schutzumhausung aus einem oder mehreren (flächigen) Abschirmelementen der beschriebenen Art besteht. Es kann z. B. vorgesehen sein, dass die Schutzumhausung eine Umfangs- wandung, eine Deckenwandung und/oder eine Bodenwandung aufweist, wobei jede dieser Wandungen aus einem oder mehreren Abschirmelementen der beschriebenen Art mit einer Sensor-Schichtanordnung bestehen kann. Insbesondere kann vorgesehen sein, gegebenenfalls in der Schutzumhausung vorgesehene Zutrittstüren oder Sichtfenster ebenfalls in Form eines Abschirmelements der beschriebenen Art auszubilden. Gemäß dieser Ausführung kann die Überwachungsvorrichtung mit der Sensor- Schichtanordnung jedes der Abschirmelemente verbunden sein und derart ausgebildet sein, dass von ihr eine Änderung der elektrischen Kenngröße der jeweiligen Sensor- Schichtanordnung erfassbar ist. Es kann auch vorgesehen sein, vorhandene (z. B. passive) Abschirmwandungen nachträglich mit der beschriebenen Sensor-Schichtanordnung nachzurüsten, z. B. mittels Aufbringens einer Sensor-Schichtanordnung - etwa in Form einer vorgefertigten (ggf. mehrlagigen) Folie oder mittels (z. B. galvanischen) Beschichtens - auf die Innenseite einer passiven Abschirmwandung. Es kann auch vorgesehen sein, die Sensor- Schutzschicht separat in Form einer (ggf. mehrlagigen) Folie auszubilden; wobei eine solche Folie z. B. fest mit der Innenwand einer passiven Abschirmwandung verbunden oder lediglich lose vor einer solchen Innenwand angeordnet vorgesehen sein kann. Zum Beispiel kann vorgesehen sein, eine solche Folie in Form eines„Zeltes" bzw. einer flexiblen Umhüllung innerhalb einer passiven Laserschutzumhausung über die abzu- schirmende Laservorrichtung bzw. den Bearbeitungsort gestülpt anzuordnen. Als ein anderes Beispiel kann vorgesehen sein, eine solche Folie in Form eines auf einer angetriebenen Welle aufrollbaren Schutzvorhangs auszuführen, der bei Laserbetrieb (z. B. während einer Materialbearbeitung mittels des abzuschirmenden Laserlichts) abgerollt und somit abgesenkt wird.

Indem die Abschirmelemente entlang ihrer (gesamten) Abschirm-Fläche die Sensor- Schichtanordnung aufweisen, kann das bei auftreffendem Laserlicht in Form der Änderung der elektrischen Kenngröße der Sensor-Schichtanordnung hervorgerufene Signal unabhängig von der Position des Auftreffpunktes des Laserlichts auf dem Abschirm- element sein, wodurch ein zuverlässiges Erfassen des Auftreffens von Laserstrahlung ermöglicht ist. Zudem können Abschirmelemente beliebiger Formen (und z. B. auch flexible oder verformbare Abschirmelemente) auf einfache Art und Weise mit der Sensor- Schichtanordnung ausgebildet bzw. versehen werden. Des Weiteren erfordert der beschriebene Aufbau keine doppelwandigen Wandungselemente und kann somit materi- alsparend einen stabilen Aufbau ermöglichen.

Die Sensor-Schichtanordnung ist eine als Sensorelement fungierende Schichtanordnung, die aus einer einzigen Schicht oder aus mehreren (in einem Abstand zueinander oder einander kontaktierend übereinander angeordneten) Schichten besteht, wobei jede dieser Schichten z. B. aus einem elektrisch leitfähigen (z. B. einem Metall wie etwa Kupfer oder Eisen), elektrisch halbleitenden (z. B. einem Halbleiter wie etwa Silizium) oder elektrisch isolierenden (z. B. einem Dielektrikum wie etwa einer Keramik) Material bestehen kann. Die Sensor-Schichtanordnung bildet sozusagen ein elektrisches Bauteil bzw. einen Teil eines Sensors zum Erfassen einer elektrischen Kenngröße, welche sich bei Energieeintrag (z. B. Erwärmung) durch die Laserstrahlung über einen kritischen Wert hinaus signifikant ändert. Die Schichten bzw. Materialschichten der Sensor- Schichtanordnung können auch (in Form von Schichten mit einer jeweils entsprechend großen Schichtdicke) als Platten oder Folien ausgeführt sein. Die elektrischen Eigenschaften der einzelnen Schichten und die Geometrie der Anordnung der Schichten bestimmen die elektrischen Eigenschaften der Sensor- Schichtanordnung, wobei der Begriff„elektrische Eigenschaften" hier jegliche zur elektrischen Charakterisierung geeignete physikalische Größe bzw. Kenngröße umfasst, z. B. die elektrische Leitfähigkeit, den elektrischen Widerstand, die Kapazität, die Induktivi- tät usw. der Sensor-Schichtanordnung. Diese Kenngrößen können mittels geeigneter elektrischer Kontaktierung der Sensor-Schichtanordnung in dem Fachmann bekannter Art und Weise ermittelt und überwacht werden.

Die Sensor-Schichtanordnung ist derart ausgebildet, dass sich ihre elektrischen Eigen- Schäften bei Energieeintrag (z. B. Erwärmung) durch auf das Abschirmelement auftreffende Laserstrahlung ändern. Die Überwachungsvorrichtung ist mit der Sensor- Schichtanordnung elektrisch verbunden und derart eingerichtet, dass von ihr eine solche Änderung der elektrischen Eigenschaften via die Änderung der überwachten elektrischen Kenngröße der Sensor-Schichtanordnung erfasst werden kann und z. B. ein (elektrisches, akustisches oder optisches) Signal erzeugt und abgegeben werden kann, wenn der Betrag der erfassten Änderung einen vorgegebenen Schwellenwert überschreitet.

Die Überwachungsvorrichtung kann z. B. derart eingerichtet sein, dass von ihr die Änderung der elektrischen Eigenschaften der Sensor-Schichtanordnung mittels Vergleichs eines momentan vorliegenden Ist-Werts einer elektrischen Kenngröße der Sensor- Schichtanordnung mit einem vorgegebenen Soll-Wert dieser elektrischen Kenngröße erfolgt, wobei die Änderung z. B. in Form des Betrages der Differenz zwischen dem Ist- Wert und dem Soll-Wert erfasst werden kann. Der Soll-Wert kann z. B. dem Wert der elektrischen Kenngröße bei ausgeschaltetem Laser entsprechen.

Die Überwachungsvorrichtung kann ferner derart ausgebildet sein, dass von ihr die momentan vorliegenden elektrischen Eigenschaften bzw. Kenngrößen der Sensor- Schichtanordnung mittels Beaufschlagens der Sensor-Schichtanordnung mit einem elektrischen Eingangssignal (z. B. in Form einer elektrischen Spannung oder eines elektrischen Stroms) und Empfangens und Auswertens des daraus resultierenden Antwortsignals erfassbar ist.

Gemäß einer Ausführungsform ist die Überwachungsvorrichtung ferner mit dem die La- serstrahlung emittierenden Laser elektrisch verbunden und derart eingerichtet, dass von ihr der Laser ausgeschaltet wird, sobald der Betrag der erfassten Änderung der elektrischen Kenngröße - z. B. der Betrag der Differenz zwischen dem Ist-Wert und dem Soll- Wert der elektrischen Kenngröße - der Sensor-Schichtanordnung größer ist als ein vorgegebener Schwellenwert. Zum Beispiel kann die Überwachungsvorrichtung über An- bindung an einen vorhandenen Sicherheitskreis des Lasers bzw. der Laservorrichtung mittelbar mit dem Laser verbunden sein.

Gemäß einer Ausführungsform ist die Sensor-Schichtanordnung derart ausgebildet, dass die Änderung der elektrischen Kenngröße der Sensor-Schichtanordnung mittels einer (durch den Energieeintrag durch Laserlicht hervorgerufenen) Änderung der elektrischen Eigenschaften des Materials zumindest einer Schicht der Sensor-Schichtanordnung hervorgerufen wird. So kann z. B. zumindest eine der Schichten der Sensor-Schichtanordnung aus einem Material bestehen, das bei einer durch den Energieeintrag hervorgerufenen Erwärmung der Schichtanordnung seine elektrische Leitfähigkeit bzw. seinen Leitwert ändert, wobei sich mittels dieser Leitfähigkeitsänderung auch die elektrischen Eigenschaften bzw. die mittels der Überwachungsvorrichtung überwachte elektrische Kenngröße der gesamten Sensor-Schichtanordnung ändern.

Zum Beispiel kann vorgesehen sein, dass die Sensor-Schichtanordnung eine erste Schicht bzw. Platte aus einem elektrisch leitfähigen Material (z. B. einem Metall), eine zweite Schicht bzw. Platte aus einem elektrisch leitfähigen Material (z. B. einem Metall), und eine zwischen der ersten und der zweiten Schicht angeordnete dritte Schicht aus einem dielektrischen Material aufweist; wobei diese drei Schichten in Form eines Schichtstapels einander kontaktierend aufeinandergeschichtet sind.

Gemäß einer Ausführung kann vorgesehen sein, zwischen der ersten und der zweiten Schicht bzw. Platte (z. B. mittels der Überwachungsvorrichtung) eine elektrische Spannung anzulegen, wobei die Spannung so bemessen ist, dass ohne Energieeintrag durch auf das Abschirmelement auftreffendes Laserlicht aufgrund der Isolierwirkung der dielektrischen dritten Schicht der Stromfluss zwischen der ersten und der zweiten Schicht (im Wesentlichen) Null ist bzw. unterhalb eines vorgegebenen Strom- Schwellenwertes liegt. Ferner kann gemäß dieser Ausführung das dielektrische Material der dritten Schicht derart beschaffen sein, dass es bei Energieeintrag durch auf das Abschirmelement (z. B. direkt auf die Schichtanordnung) auftreffendes Laserlicht aufgrund der damit einhergehenden Erwärmung bei einer vorgegebenen kritischen Temperatur unter Absenkung seiner Isolationsfähigkeit bzw. Durchschlagsfestigkeit degra- diert (d. h. in einen Zustand mit einer geringeren Durchschlagsfestigkeit übergeht, z. B. aufschmilzt oder verdampft); wobei die elektrische Spannung zwischen der ersten und der zweiten Schicht zudem so bemessen ist, dass bei degradiertem

Dielektrikum ein Spannungsdurchschlag zwischen der ersten und der zweiten Schicht erfolgt. Dieser Spannungsdurchschlag geht mit einer (ggf. kurzzeitigen) Erhöhung des elektrischen Stromflusses zwischen der ersten und der zweiten Schicht über den

Strom-Schwellenwert hinaus einher, wobei diese Erhöhung von der Überwachungsvorrichtung als Änderung der Leitfähigkeit der Sensor-Schichtanordnung (als elektrischer Kenngröße) erfasst und ausgewertet werden kann. Alternativ zur Absenkung der Durchschlagsfestigkeit des Dielektrikums kann auch vorgesehen sein, dass das Dielektrikum der dritten Schicht derart beschaffen ist, dass es bei einer Erwärmung seine elektrische Leitfähigkeit ändert - z. B. oberhalb einer vorgegebenen kritischen Temperatur von einem isolierenden Zustand mit einer (verschwindend) geringen elektrischen Leitfähigkeit in einen leitfähigen Zustand mit einer demge- genüber höheren elektrischen Leitfähigkeit übergeht oder umgekehrt. Die Änderung der elektrischen Leitfähigkeit des Materials der dritten Schicht geht mit einer entsprechenden Änderung (d. h. Erhöhung oder Absenkung) des Widerstandes zwischen der ersten und der zweiten Schicht einher, wobei diese Änderung des elektrischen Widerstandes der Sensor-Schichtanordnung (als elektrischer Kenngröße) von der Überwachungsvor- richtung erfasst und ausgewertet werden kann.

Die jeweilige Zustandsänderung bzw. Leitfähigkeitsänderung (oder Leitwertänderung) des Dielektrikums mit der Temperatur kann entweder irreversibel oder reversibel sein. Im letzteren Fall geht das Dielektrikum bei abnehmender Temperatur wieder in seinen ursprünglichen Zustand über, sodass das Abschirmelement bzw. die Sensor-Schichtanordnung nach einem Auslösen (d. h. nach einer einmal erfolgten Zustandsänderung des Dielektrikums) ohne aktive Reparaturmaßnahmen wieder verwendbar ist.

Gemäß einer weiteren Ausführung weist die Sensor-Schichtanordnung (mindestens) eine Schicht aus einem halbleitenden Material (z. B. dotiertem Silizium) auf; wobei das halbleitende Material insbesondere eine Bandlücke aufweisen kann, die kleiner ist als die Energie der Photonen der abzuschirmenden Laserstrahlung.

Bei Auftreffen von Licht entsprechend hoher Photonenenergie auf einen Halbleiter er- höht sich die elektrische Leitfähigkeit desselben aufgrund des photoelektrischen Effekts. Es kann vorgesehen sein, mittels der Überwachungsvorrichtung die elektrische Leitfähigkeit der Schicht aus dem halbleitenden Material als elektrische Kenngröße der Sensor-Schichtanordnung zu erfassen und ein Auftreffen von Laserstrahlung darauf mittels der damit einhergehenden Erhöhung der Leitfähigkeit zu erfassen. Es kann auch vor- gesehen sein, mittels der Überwachungsvorrichtung eine aufgrund des photoelektrischen Effekts erzeugte Spannung als elektrische Kenngröße zu erfassen und auszuwerten. Zudem kann vorgesehen sein, der halbleitenden Schicht an der für den Laserlicht-Einfall vorgesehenen Seite eine Streuschicht zum Streuen bzw. Aufweiten von darauf auftreffendem Laserlicht vorzulagern.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die Sensor-Schichtanordnung derart ausgebildet, dass die Änderung der elektrischen Kenngröße der Sensor-Schichtanordnung mittels einer (durch die Energie der Laserstrahlung hervorgerufenen) Formänderung zumindest einer Schicht der Sensor-Schichtanordnung hervorgerufen wird. So können z. B. die elektrischen Eigenschaften der Sensor-Schichtanordnung von deren Geometrie abhängen, wobei sich bei einer Änderung dieser Geometrie auch die mittels der Überwachungsvorrichtung überwachte elektrische Kenngröße der Sensor- Schichtanordnung ändert. Die Formänderung bzw. Verformung der mindestens einen Schicht und die damit einhergehende Geometrieänderung kann z. B. mittels partiellen Aufschmelzens, thermischer Ausdehnung oder thermischen Verzugs dieser Schicht aufgrund einer Erwärmung durch das Laserlicht erfolgen.

Zum Beispiel kann vorgesehen sein, dass die Sensor-Schichtanordnung eine erste Schicht bzw. Platte aus einem elektrisch leitfähigen Material (z. B. einem Metall) und eine zweite Schicht bzw. Platte aus einem elektrisch leitfähigen Material (z. B. einem Metall) aufweist, wobei die zweite Schicht in einem Abstand zu der ersten Schicht derselben gegenüberliegend (z. B. parallel zu derselben verlaufend) angeordnet ist.

Gemäß einer Ausführung kann vorgesehen sein, zwischen der ersten und der zweiten Schicht bzw. Platte (z. B. mittels der Überwachungsvorrichtung) eine elektrische Spannung anzulegen, wobei die Spannung so bemessen ist, dass bei unverformter Geometrie der Schichtanordnung der Stromfluss zwischen der ersten und der zweiten Schicht (im Wesentlichen) Null ist bzw. unterhalb eines vorgegebenen Strom-Schwellenwertes liegt. Ferner können gemäß dieser Ausführung die Materialien der ersten und der zwei- ten Schicht hinsichtlich ihrer thermischen (wie z. B. thermischer Ausdehnungskoeffi- zient, Schmelzpunkt) und geometrischen (wie z. B. Schichtdicke) Eigenschaften derart beschaffen sein, dass sich die Geometrie der Schichtanordnung bei Erwärmung durch (z. B. direkt auf die Schichtanordnung) auftreffendes Laserlicht derart ändert, dass bei verformter Geometrie nunmehr ein (oberhalb eines entsprechenden Strom- Schwellenwertes liegender) Stromfluss zwischen der ersten und der zweiten Schicht stattfindet, wobei die Änderung dieses Stromflusses bzw. die damit einhergehende Änderung des elektrischen Widerstandes zwischen der ersten und der zweiten Schicht (als elektrischer Kenngröße) von der Überwachungsvorrichtung erfasst und ausgewertet werden kann.

Es kann z. B. vorgesehen sein, dass die erste und die zweite Schicht bzw. Platte derart beschaffen und angeordnet sind, dass sich bei einer Erwärmung (durch auf das Abschirmelement auftreffende Laserstrahlung) der Abstand zwischen ihnen aufgrund thermischen Verzugs verringert und z. B. (bei Erreichen eines vorgegebenen Energie- eintrags bzw. einer vorgegebenen Temperatur) gänzlich aufgehoben wird; wobei die Änderung des Stromflusses zwischen den beiden Schichten z. B. (bei Unterschreiten eines durch die anliegende Spannung vorgegebenen Plattenabstands) mittels Durchschlagens der zwischen ihnen anliegenden Spannung oder (unabhängig von dem Betrag der anliegenden Spannung) mittels Inkontakttretens der beiden Schichten erfolgen kann.

Als ein anderes Beispiel kann vorgesehen sein, dass die an der für den Laserstrahl- Einfall vorgesehenen Seite der Sensor-Schichtanordnung angeordnete Schicht derart beschaffen ist, dass sie beim Auftreffen der Laserstrahlung (bei Erreichen eines vorge- gebenen Energieeintrags bzw. ihrer Schmelztemperatur) durchgeschmolzen wird, wobei der Abstand zwischen der ersten und der zweiten Schicht durch die beim Durchschmelzen entstehenden Aufwürfe bzw. Schmelzränder verringert oder sogar gänzlich aufgehoben werden kann; und wobei die Änderung des Stromflusses zwischen den beiden Schichten z. B. - wie oben erläutert - mittels Durchschlagens der zwischen ih- nen anliegenden Spannung oder mittels Inkontakttretens der beiden Schichten erfolgen kann.

Diesbezüglich kann vorgesehen sein, dass die erste Schicht an der für den Laserlicht- Einfall vorgesehenen (d. h. beim bestimmungsgemäßen Betrieb der Laserlichtquelle zugewandten) Seite der Sensor-Schichtanordnung angeordnet ist und eine (wesentlich) niedrigere Schmelztemperatur aufweist als die (von der Laserlichtquelle abgewandte) zweite Schicht, sodass die für die Verringerung des Plattenabstands erforderlichen Schmelzränder aus dem Material der ersten Schicht bzw. Platte stammen und nach Durchstrahlen der ersten Schicht die Abschirmwirkung mittels der zweiten Schicht auf- rechterhalten werden kann. Allgemein kann vorgesehen sein, dass die der Laserlichtquelle zugewandte erste Schicht derart beschaffen ist (z. B. hinsichtlich ihrer Schichtdicke und ihres Materials), dass sie bei Auftreffen von Laserlicht darauf schneller durchwärmt oder durchstrahlt wird als die von der Laserlichtquelle abgewandte zweite Schicht.

Auch gemäß diesen Ausführungsformen kann zwischen der erste und der zweiten Schicht zur Stabilisierung eine dritte Schicht aus einem dielektrischen Material angeordnet sein, wobei diese dritte Schicht bevorzugt aus einem flexiblen oder elastischen Dielektrikum besteht und somit einer Formänderung der ersten und/oder zweiten Schicht folgt. Für den Fall, dass die Geometrieänderung mittels Aufschmelzens der ersten Schicht erfolgt, kann zudem vorgesehen sein, dass das Material der dritten Schicht einen geringeren Schmelzpunkt aufweist als das Material der ersten Schicht und somit mittels des Schmelzmaterials der ersten Schicht einfach überbrückt werden kann. Es kann jedoch auch vorgesehen sein, zwischen der ersten Schicht und der zweiten Schicht statt der dritten Schicht einen Luftspalt zu belassen.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann vorgesehen sein, mittels der Überwachungsvorrichtung die mit einer der oben beschriebenen Verformungen einhergehende Änderung der elektrischen Kapazität (der Anordnung aus der ersten und der zweiten Schicht bzw. Platte) als elektrischer Kenngröße der Sensor-Schichtanordnung zu erfassen und auszuwerten. Da die elektrische Kapazität zweier in einem Abstand zueinander angeordneter Schichten bzw. Platten aus einem elektrisch leitfähigen Material sowohl vom Abstand als auch von der Flächengröße dieser Schichten abhängt, ändert sich bei einer der oben beschriebenen Verformungen auch die Kapazität der Sensor- Schichtanordnung, wobei diese Änderung mittels der Überwachungsvorrichtung erfasst und ausgewertet werden kann.

Es kann auch vorgesehen sein, dass die Sensor-Schichtanordnung eine Schicht aus einem piezoelektrischen Material aufweist; wobei diese Schicht derart angeordnet ist, dass sich bei einer (durch eine Erwärmung der Sensor-Schichtanordnung hervorgeru- fenen) Verformung der Sensor-Schichtanordnung die von dem piezoeletrischen Material erzeugte elektrischen Spannung ändert. Die Änderung dieser Piezo-Spannung (als elektrische Kenngröße der Sensor-Schichtanordnung) kann mittels der Überwachungsvorrichtung erfasst und ausgewertet werden.

Gemäß einer Ausführungsform sind die Abschirmelemente als einwandige Abschirmelemente, d. h. als Abschirmelemente ohne innenliegenden Hohlraum, ausgebildet; wobei alle Schichten eines solchen Abschirmelements (d. h. die Schichten der Sensor- Schichtanordnung und - falls vorhanden - alle übrigen Schichten des Abschirmele- ments) unter Ausbildung einer Einfachwand einander kontaktierend ohne dazwischenliegende Luftspalte bzw. Hohlräume angeordnet sind. Dadurch ist eine räum- und materialsparende Ausbildung der Abschirmelemente ermöglicht.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann vorgesehen sein, eine oder mehrere der Schichten der Sensor-Schichtanordnung mit Mikrostrukturen auszubilden, deren Eigenschaften sich bei Erwärmung in Folge von direkter Laserbestrahlung oder indirekter Erwärmung kapazitiv oder induktiv ändern; wobei diese Änderung mittels der Überwachungsvorrichtung, die in diesem Fall bevorzugt in Form bzw. unter Einbindung eines elektrischen Schwingkreises ausgeführt ist, ausgewertet werden kann.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist bei einer Sensor-Schichtanordnung mit einer ersten Schicht aus einem elektrisch leitfähigen Material, einer zweiten Schicht aus einem elektrisch leitfähigen Material und einer zwischen der ersten und der zweiten Schicht angeordneten dritten Schicht aus einem dielektrischen Material das

Dielektrikum der dritten Schicht derart beschaffen, dass es zugleich (z. B. unter Ausbildung einer stoffschlüssigen oder mechanischen Verbindung mit der ersten und der zweiten Schicht) als Verbindungsmittel zum Verbinden der ersten und der zweiten Schicht miteinander fungiert, wodurch der Aufbau die mechanischen Eigenschaften eines so genannten Sandwichmaterials erhält und somit bei geringem Gewicht eine hohe Stabilität aufweisen kann.

Um ein höheres Sicherheitslevel zu erreichen, ist auch vorgesehen, dass mehrere, bevorzugt zwei, gleichartige oder, bevorzugt, nach unterschiedlichen Prinzipien arbeitende Sensoren parallel betrieben werden. Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen veranschaulicht, wobei gleiche oder ähnliche Merkmale mit gleichen Bezugszeichen versehen sind; hierbei zeigen schematisch: Fig. 1A, B: die Funktionsweise eines Abschirmelements unter Ausnutzung einer Leit- fähigkeitsänderung einer dielektrischen Schicht,

Fig. 2: die Funktionsweise eines Abschirmelements unter Ausnutzung einer Leitfähigkeitsänderung einer halbleitenden Schicht, und

Fig. 3A, B die Funktionsweise eines Abschirmelements unter Ausnutzung einer

Formänderung einer elektrisch leitfähigen Schicht.

Die Figuren 1 A B, 2 und 3 A B zeigen jeweils einen Querschnitt eines Abschirmelements senkrecht zur Abschirm-Fläche desselben. Gemäß den Figuren 1 A/B weist eine Laserschutzvorrichtung 1 gemäß einer Ausführungsform ein flächiges Abschirmelement 3 und eine Überwachungsvorrichtung 5 auf. Das Abschirmelement 3 weist eine Innenseite 7 und eine Außenseite 9 auf, wobei die Innenseite 7 zum Auftreffen von Laserlicht darauf vorgesehen ist, d. h. bei bestimmungsgemäßem Gebrauch der abzuschirmenden Laserstrahlung zugewandt ist. Das Abschirmelement 3 weist eine Sensor- Schichtanordnung 1 1 und eine mechanische Schutzschicht 13 auf. Die Sensor- Schichtanordnung 1 1 besteht aus einer elektrisch leitfähigen ersten Schicht 15, einer elektrisch leitfähigen zweiten Schicht 17 und einer zwischen der ersten und der zweiten Schicht angeordneten (und dieselben kontaktierenden) dritten Schicht 19 aus einem dielektrischen Material. Jede der Schichten 15, 17, 19 - und somit auch die gesamte Sensor-Schichtanordnung 1 1 - erstreckt sich über die gesamte (Abschirm-) Fläche des Abschirmelements 3. Die mechanische Schutzschicht 1 3 fungiert als passive Schutzbzw. Abschirmwandung.

Die Überwachungsvorrichtung 5 ist mit der Sensor-Schichtanordnung 1 1 elektrisch verbunden und derart eingerichtet, dass von ihr die elektrische Leitfähigkeit zwischen der ersten Schicht 15 und der zweiten Schicht 17 (sowie deren Änderung) erfassbar ist, d. h. gemäß dieser Ausführung ist die mittels der Überwachungsvorrichtung 5 überwachte elektrische Kenngröße der Sensor-Schichtanordnung 1 1 durch die Leitfähigkeit zwischen der ersten Schicht 15 und der zweiten Schicht 17 gegeben. Mittels der Überwachungsvorrichtung 5 ist eine elektrische Spannung zwischen der ersten 15 und der zweiten 17 Schicht angelegt, wobei diese Spannung so bemessen ist, dass ohne Ener- gieeintrag durch auftreffendes Laserlicht kein Stromfluss zwischen der ersten 15 und der zweiten Schicht 17 stattfindet. Das dielektrische Material der dritten Schicht 19 ist derart beschaffen, dass bei Überschreiten einer kritischen Temperatur infolge einer Erwärmung bei darauf auftreffendem Laserlicht 21 (siehe Fig. 1 B) an der Auftreffposition des Laserlichts 21 in einem Raumbereich 23 entweder seine elektrische Durchschlagsfestigkeit derart abnimmt, dass in diesem Bereich 23 ein Spannungsdurchschlag zwischen der ersten 15 und der zweiten 17 Schicht erfolgt, oder seine elektrische Leitfähigkeit derart zunimmt, dass nunmehr ein Stromfluss zwischen der ersten 15 und der zweiten 17 Schicht stattfindet.

Bei Auftreffen von Laserlicht 21 ändert sich somit die elektrische Kenngröße der Leitfähigkeit zwischen der ersten 15 und der zweiten 17 Schicht, und zwar mittels einer Änderung der elektrischen Eigenschaften (Durchschlagsfestigkeit bzw. Leitfähigkeit) des Materials der dritten Schicht 19 der Sensor-Schichtanordnung 1 1 .

Die Überwachungsvorrichtung 5 ist ferner mit der die Laserstrahlung 21 emittierenden Laserlichtquelle elektrisch verbunden (nicht dargestellt) und derart eingerichtet, dass von ihr die Laserlichtquelle ausgeschaltet wird, sobald der Betrag der erfassten Änderung der elektrischen Leitfähigkeit (wobei dieser Betrag vorliegend - da ohne Energie- eintrag durch Laserlicht die Leitfähigkeit im Wesentlichen Null ist - im Wesentlichen gleich der jeweils erfassten Leitfähigkeit ist) zwischen der ersten 15 und der zweiten 17 Schicht größer ist als ein vorgegebener Schwellenwert.

Figur 2 veranschaulicht eine Laserschutzvorrichtung 1 gemäß einer anderen Ausfüh- rungsform mit einem Abschirmelement 3 und einer Überwachungsvorrichtung 5. Gemäß Figur 2 weist das Abschirmelement 3 an seiner Außenseite 9 eine mechanische Schutzschicht 13 und an seiner Innenseite 7 eine Sensor-Schichtanordnung 1 1 auf, wobei die Sensor-Schichtanordnung 1 1 aus einer Schicht 25 aus einem elektrisch halbleitenden Material und einer Streuschicht 27 besteht und sich über die gesamte (Ab- schirm-)Fläche des Abschirmelements 3 erstreckt. Die Streuschicht 27 ist zum räumlichen Verteilen bzw. Aufweiten von darauf auftreffendem Laserlicht 21 mittels optischer Streuung vorgesehen. Die Überwachungsvorrichtung 5 ist mit der halbleitenden Schicht 25 elektrisch verbunden und zum Erfassen der elektrischen Leitfähigkeit der Schicht 25 als elektrischer Kenngröße eingerichtet. Das Material der halbleitenden Schicht 25 ist derart beschaffen, dass seine Bandlücken-Energie kleiner ist als die Photonenenergie der abzuschirmenden Laserstrahlung 21 , sodass bei auftreffendem Laserlicht 21 aufgrund des photoelektrischen Effekts die elektrische Leitfähigkeit der halbleitenden Schicht 25 ansteigt, wobei diese Änderung der Leitfähigkeit (als elektrischer Kenngröße der Sensor-Schichtanordnung) von der Überwachungsvorrichtung 5 erfassbar und aus- wertbar ist.

Die Figuren 3 A/B veranschaulichen eine Laserschutzvorrichtung 1 gemäß einer weiteren Ausführungsform mit einem Abschirmelement 3 und einer Überwachungsvorrichtung 5. Gemäß den Figuren 3 A B weist das Abschirmelement 3 eine Sensor- Schichtanordnung 1 1 und eine mechanische Schutzschicht 13 auf. Die Sensor- Schichtanordnung 1 1 erstreckt sich über die gesamte (Abschirm-)Fläche des Abschirmelements 3 und besteht aus einer elektrisch leitfähigen ersten Schicht 15, einer davon beabstandeten, elektrisch leitfähigen zweiten Schicht 17 und einer zwischen der ersten 15 und der zweiten Schicht 17 angeordneten (und dieselben kontaktierenden) dritten Schicht 19 aus einem dielektrischen Material. Die Überwachungsvorrichtung 5 ist mit der Sensor-Schichtanordnung 1 1 elektrisch verbunden und derart eingerichtet, dass von ihr die elektrische Leitfähigkeit zwischen der ersten Schicht 15 und der zweiten Schicht 17 erfassbar ist. Mittels der Überwachungsvorrichtung 5 ist eine elektrische Spannung zwischen der ersten 15 und der zweiten 17 Schicht angelegt, wobei diese Spannung so bemessen ist, dass ohne Energieeintrag durch auftreffendes Laserlicht kein Stromfluss zwischen der ersten Schicht 15 und der zweiten Schicht 17 stattfindet.

Die erste Schicht 15 ist derart beschaffen, dass sie beim Auftreffen der Laserstrahlung 21 (bei Erreichen eines vorgegebenen Energieeintrags bzw. ihrer Schmelztemperatur) durchgeschmolzen wird, wobei der Abstand zwischen der ersten 15 und der zweiten 17 Schicht durch die beim Durchschmelzen entstehenden Aufwürfe bzw. Schmelzränder 29 verringert oder - wie in Fig. 3 B veranschaulicht - sogar gänzlich aufgehoben wird. Aufgrund der mit dem Durchschmelzen einhergehenden Formänderung der ersten Schicht 15 ändert sich die Geometrie der Sensor-Schichtanordnung 1 1 , wobei gemäß Fig. 3B via die Schmelzränder 29 eine Kontaktierung der ersten 15 mit der zweiten 17 Schicht erfolgt. Aufgrund dieser Kontaktierung erfolgt nunmehr ein Stromfluss zwischen der ersten 15 und der zweiten 17 Schicht, sodass sich die Leitfähigkeit der Sensor- Schichtanordnung 1 1 gegenüber der in Fig. 3 A veranschaulichten, unverformten Geometrie der Schichtanordnung ändert und diese Änderung von der Überwach ungsvor- richtung 5 erfasst und ausgewertet werden kann. Gemäß den Figuren 3 A/B ändert sich somit bei Auftreffen von Laserlicht 21 die elektrische Kenngröße der Leitfähigkeit zwischen der ersten 15 und der zweiten 17 Schicht, und zwar mittels einer Formänderung der ersten Schicht 15 der Sensor- Schichtanordnung 1 1 .

Aufgrund des Durchschmelzens der ersten Schicht 15 ändert sich sowohl deren Fläche (da an der durchschmolzenen Stelle ein Loch entsteht) als auch deren (minimaler) Abstand zu der zweiten Schicht 17 (da die Schmelzränder 29 sich von der ersten Schicht 15 in Richtung zu der zweiten Schicht 17 hin erstrecken). Durch diese Formänderungen ändert sich auch die Kapazität der Anordnung aus der ersten 15 und der zweiten 17 Schicht, wobei die Überwachungsvorrichtung 5 auch zum Überwachen und Auswerten dieser Kapazität als elektrischer Kenngröße eingerichtet sein kann. Die Abschirmelemente 3 gemäß den Figuren 1 A/B, 2 und 3 A/B sind jeweils als einwandige Abschirmelemente, die aus mehreren einander kontaktierenden Wandlagen bzw. Schichten bestehen, ausgebildet. Zudem trifft bei den Ausführungen gemäß den Figuren 1 A/B, 2 und 3 A/B das Laserlicht 21 stets direkt auf die Sensor- Schichtanordnung 1 1 .

Es kann jedoch auch vorgesehen sein, die Abschirmelemente 3 zusätzlich zu der an der Außenseite 9 angeordneten (außenseitigen) mechanischen Schutzschicht 13 auch an ihrer Innenseite 7 mit einer entsprechenden (innenseitigen) mechanischen Schutzschicht (nicht dargestellt) auszubilden. In diesem Fall würde bei den Ausführungen ge- mäß den Figuren 1 A/B und 3 A/B die Erwärmung der Sensor-Schichtanordnung 1 1 bei auf das Abschirmelement 3 auftreffender Laserstrahlung indirekt mittels thermischen Kontakts zwischen der innenseitigen mechanischen Schutzschicht und der Sensor- Schichtanordnung 1 1 erfolgen; bei der Ausführung gemäß Figur 2 wäre zudem ein Erfassen von auf das Abschirmelement 3 auftreffendem Laserlicht erst nach Durch- schmelzen einer solchen innenseitigen mechanischen Schutzschicht möglich. Liste der verwendeten Bezugszeichen

I Laserschutzvorrichtung

3 Abschirmelement

5 Überwachungsvorrichtung

7 Abschirmelement-Innenseite

9 Abschirmelement-Außenseite

I I Sensor-Schichtanordnung

13 mechanische Schutzschicht

15 elektrisch leitfähige erste Schicht

17 elektrisch leitfähige zweite Schicht

19 dielektrische dritte Schicht

21 Laserlicht

23 Bereich mit veränderter Leitfähigkeit 25 halbleitende Schicht

27 Streuschicht

29 Schmelzränder