本発明の実施形態を図面を参照して以下� ��説明する。本明細書、請求の範囲および図� ��を通じて、前方、後方、左方および右方は� ��図面中にそれぞれFF、FR、LおよびRと記され� ��方向と定義する。かかる定義は説明の便宜� ��ためであって、本発明は必ずしもこれに限� ��されない。

 浮上搬送装置は、対象物Wを垂直方向に浮 上させて水平な搬送方向(例えば前方FFから後 方FRに向かう方向)に搬送するための装置であ る。対象物Wとしては、全体的に平面状であ� �比較的に薄い物体、たとえば、LCD(液晶表示� ��)用のガラス基板等の薄板が好適である。対 象物Wは、必ずしも全体的に平面状である必� �はなく、その下面の少なくとも一部が平面� �であればよい。浮上させるために例えば空� �のような流体が利用される。

 対象物Wが、LCD用の薄いガラス基板等のク リーンな環境下で搬送する必要がある物であ る場合には、前記浮上搬送装置1はクリーン� �ーム内等のクリーンな環境下で使用される� �

 本発明の第1の実施形態を図1から7を参照� ��て以下に説明する。本実施形態による浮上� ��送装置1は、図1および2に示すように、縦方� ��に伸びた基台3と、基台3上に縦方向に列を� �した搬送装置5と、基台3上に縦方向および横 方向の両方に間隔を置いてそれぞれ列をなし た複数の浮上装置21とを備えている。浮上搬� ��装置1の前端は図1の下方に示されており、� �端は図1の上方の視野の外にある。対象物Wは 、浮上搬送装置1の、例えば前端から後端へ� �けて搬送される。浮上装置21には、図示され ていないが、圧縮空気を供給するための空気 供給装置が連結されている。圧縮空気に代え て、窒素やアルゴン等の他の与圧されたガス 、あるいは液体等の他の与圧された流体を利 用してもよい。

 搬送装置5は、基台3上の左端および右端� �近に、対象物Wの搬送方向にそれぞれ列をな� ��複数のローラ7を有する。各ローラ7は、そ� �ぞれ回転軸7sを介してウォームホイール11と� ��体的に連結されており、ブラケット9により 回転自在に支持されている。基台3を縦方向� �貫くようにして、一対の駆動軸13が備えられ ており、各駆動軸13は各ウォームホイール11� �駆動可能に噛み合うウォーム15を備える。各 駆動軸13の前端には、カップリング等を介し� ��モータ17の出力軸17sが駆動可能に連結して� �る。このことにより、各ローラ7は、モータ1 7の駆動力を受けて、同じ回転速度で回転す� �ようになっている。図2に示すように、前記� ��ローラ7の上端部は、前記浮上装置21の上面� ��りも僅かに上方に突出して、単一の面上に� ��うように配置されている。対象物Wは、浮上 した状態においても、図2に示すごとく、駆� �力を受けるべくローラ7に接触できる。

 モータ17は一対である必要はなく、両駆� �軸13はチェーン等の適宜の結合手段を介して 単一のモータに連結してもよい。また、ロー ラの代わりに、駆動可能なクランパやベルト コンベヤ等の搬送手段を搬送装置5に適用し� �もよい。

 図4および5を参照するに、各々の浮上装� �21は、基部23を備えており、各基部23は、ブ� �ケット25を介して基台3上に固定されている� �各基部23は、その内側に空気供給装置から供 給された圧縮空気が一時的に通過するチャン バ27を区画している。

 基部23は、その上部の中央に、チャンバ27 を覆うように矩形の島部材31を備えている。� ��部材31の上面は、ほぼ水平な平面状である� �島部材31の側面は、ほぼ鉛直な面と、前記上 面に隣接し、前記上面の中心に向かって傾い た斜面31aと、よりなる。

 基部23は、さらに、島部材31を囲むように 、下部外郭部材29と上部外郭部材33とよりな� �外郭部材29,33を備えている。上部外郭部材33� ��頂上面は、島部材31の上面と単一な平面を� �成するべく、前記平面と高さを揃えられて� �る。上部外郭部材33の前端(対象物の搬送方� �において上流側に向いた端)は、前記頂上面� ��りも下方に後退した段差面39を有する。

 外郭部材29,33の内面と、斜面31aを含む島� �材31の側面とは、ほぼ平行であり、即ち上部 外郭部材33の内面33aは斜面31aに沿って傾いて� ��る。斜面33aを含む外郭部材29,33の内面と斜� �31aを含む島部材31の側面とは、チャンバ27と� ��通した均一な幅を有する隙間を区画してお� ��、この隙間はチャンバ27中の圧縮空気を導� �て上方へ噴出せしめる噴出孔37として作用す る。

 図3に示されるように、噴出孔37の浮上装� ��21の上面への開口は、矩形の環状である。� �なわち、図3から図5に示されるように、噴出 孔37の全体は前記矩形の環状開口に連通する� ��リットである。段差面39は、上述のごとく� �上装置21の上面よりも下方に後退している。 そのため、島部材31の斜面31aのうち、前端に� ��向した面は、部分的に前方に向かって露出� ��ており、噴出孔37の開口の一部は、段差面39 上にある。

 上述のごとく、斜面31a,33aは、島部材31の� ��面の中心に向かって傾いているので、噴出� ��37は、少なくとも浮上装置21の上面近傍では 、島部材31の上面の中心に向かって(内方に向 かって)傾いている。傾きは例えば45°が望ま� ��いが、これに限られない。

 噴出孔37は、矩形の環状に限られず、楕� �形の環状や、環の一部が閉塞された形状な� �、他の種々の形状であってもよい。島部材31 は、噴出孔37の幅を均一にするべく、その傾� ��した外周31a面上に、同一の高さを有する複� ��の突起35を備えてもよい。

 好ましくは、複数の浮上装置21は、その� �面同士が単一の平面をなすように揃えられ� �。これは、対象物Wの浮上高さを安定化する� ��に有利である。

 各浮上装置21の各チャンバ27は、図示され ていない配管によって互いに連通しており、 さらに空気供給装置に連通している。空気供 給装置は、配管を介して圧縮空気を各浮上装 置21に制御可能に供給する。空気供給装置と� ��ては、インバータ電源に電気的に接続され� ��ブロワモータと、ブロワモータにより駆動� ��れるブロワと、を備えたものが好適である� ��、これに限られない。空気供給装置は、対� ��物Wの情報を読み取る適宜の読み取り装置や 、空気の流量を制御するコントローラなどを 備えてもよい。

 空気供給装置から各チャンバ27へ圧縮空� �を供給すると、各噴出孔37から圧縮空気が噴 出する。噴出した圧縮空気は、図3から5に示� ��ように、島部材31の上面と対象物Wの下面と� ��間であって、噴出孔37の開口が囲む空間に� �前記圧縮空気が均一な圧力を生じる空間Sを� ��ぜしめる。均一な圧力を有する空間Sで支持 されることにより、前記対象物Wに浮力が与� �られて浮上する。一方、一対のモータ17を駆 動することにより、一対の駆動軸13が同期し� ��回転する。ウォームホイール11とウォーム15 の噛み合いによって、駆動軸13の回転は各ロ� ��ラ7に伝えられる。回転するローラ7に接触� �ることにより、浮上搬送装置1上に搬入され� ��対象物Wは、浮上した状態で搬送される。

 図6を参照するに、対象物Wが、図中左方� �示す一の浮上装置21上から、図中右方に示す 他の浮上装置21上へ移行するとき、対象物Wの 先端は一時的に浮力を受けられない。もし対 象物Wが撓み易い材質の場合には、対象物Wの� ��端は下方に垂れて、浮上装置21の前端に突� �当たる虞が生ずる。しかしながら本実施形� �によれば、上部外郭部材33の前端の段差面39� ��浮上装置21の上面よりも下方に後退してい� �ため、対象物Wの先端が多少下方に垂れても� ��上装置21に突き当たる問題が回避される。� �らに、前方に部分的に露出した島部材31の斜 面31aに沿って圧縮空気が上方に噴出している ので、対象物Wの先端は上方に吹き上げられ� �、浮力の得られる空間S上へ移行しうる。浮� ��搬送装置1は、このような対象物の移行を補 助する手段を備えているために、対象物の浮 上高さを特別に高くしなくても対象物の先端 が浮上装置21に突き当たる問題が生じにくい� ��対象物の浮上高さを変動させることにより� ��上装置21への突き当たりを回避するのに比� �、消費エネルギの点から有利である。

 各浮上装置21は、図7に示す変形例のごと� ��、前端側と後端側の両方に、上面よりも下� ��に後退した段差面39が備えられていてもよ� �。島部材31の斜面31aは、前方と後方の両方に 向かって部分的に露出している。かかる変形 例によれば、対象物Wを前方FFから後方FRに搬� ��する場合のみならず、その逆方向に搬送す� ��場合にも、対象物Wの先端が浮上装置21に突� ��当たる問題を回避しうる。

 本発明の第2の実施形態を図8から12を参照 して以下に説明する。本実施形態による浮上 搬送装置41は、上述の段差面39に代えて、他� �形態による対象物の移行を補助する手段を� �えている。以下の説明では上述の要素と実� �的に同一の要素には同じ参照番号を付して� �の詳細な説明を省略し、もっぱら第1の実施� ��態との相違について説明する。

 浮上搬送装置41は、図8に示すように、基� ��上に縦方向および横方向の両方に間隔を置� ��てそれぞれ列をなした複数の浮上装置43を� �える。各々の浮上装置43は、図10に示すよう� ��、内側にチャンバ27を区画する基部23と、チ ャンバ27を覆うように島部材31と、を備える� �島部材31を囲むように、下部外郭部材29と上� ��外郭部材33とよりなる外郭部材29,33が備えら れている。

 図9および10を参照するに、上部外郭部材3 3の前端は、段差面39に代えて段差45と、段差4 5上にブラケット49により回転可能に支持され たローラ47と、を備える。段差45は、上部外� �部材33の頂上面よりも下方に後退しており、 ローラ47の頂点は上部外郭部材33の頂上面よ� �も僅かに上方に突出している。ただし、ロ� �ラ47の頂点が上部外郭部材33の頂上面よりも� ��出する高さは、対象物Wの標準的な浮上高さ よりも低いことが望ましい。またローラ47は� ��前方に露出しているため、前方から接近し� ��くる対象物Wに最初に接触しうる。ローラ47� ��軸は、ローラ47の縦方向の回転を許容する� �く、基台3に関する横方向と一致する向きに� ��けられている。ローラ47の幅は頂上面の幅� �揃えられていることが好ましいが、これに� �られない。

 島部材31の斜面31aのうち、前端に対向し� �面は、第1の実施形態の場合と異なり、上部� ��郭部材33に隠れており、前方に向かって露� �していない。あるいは、この面をローラ47に 向かって露出させてもよい。

 図10を参照するに、対象物Wが、図中左方� ��示す一の浮上装置43上から、図中右方に示� �他の浮上装置43上へ移行するとき、対象物W� �先端は一時的に浮力を受けられない。もし� �象物Wが撓み易い材質の場合には、対象物Wの 先端は下方に垂れて、浮上装置43の前端に突� ��当たる虞が生ずる。しかしながら本実施形� ��によれば、上部外郭部材33の前端は、浮上� �置43の上面よりも下方に後退した段差45上に� ��ーラ47を備えているため、対象物Wの先端が� ��少下方に垂れてもローラ47に接触して上方� �乗り越えるので、浮力の得られる空間S上へ� ��行しうる。浮上搬送装置41は、このような� �象物の移行を補助する手段を備えているた� �に、対象物の浮上高さを特別に高くしなく� �も対象物の先端が浮上装置43に突き当たる問 題が生じにくい。対象物の浮上高さを変動さ せることにより浮上装置43への突き当たりを� ��避するのに比べ、消費エネルギの点から有� ��である。

 各浮上装置43は、図12に示す変形例のごと く、前端側と後端側の両方に、ローラ47が備� ��られていてもよい。かかる変形例によれば� ��対象物Wを前方FFから後方FRに搬送する場合� �みならず、その逆方向に搬送する場合にも� �対象物Wの先端が浮上装置21に突き当たる問� �を回避しうる。

 本発明を好適な実施形態を参照して説明� ��たが、本発明は上記実施形態に限定される� ��のではない。上記開示内容に基づき、本技� ��分野の通常の技術を有する者が、実施形態� ��修正ないし変形により本発明を実施するこ� ��が可能である。