実施の形態1.
 図1は、この発明を実施するための実施の形 態1を示すリニアモータの断面図である。図1� ��おいて、リニアモータ1は、固定子11と可動� ��21とによって構成されている。本実施の形� �では、4極6ティース構成を例示しているが、 いずれの極数・ティース数の組合せであって もよい。固定子11および可動子21は、互いに� �動自在となるように所定のギャップを設け� �支持されている。可動子21が固定子11に対し� ��摺動する方向を摺動方向とする。固定子11� �、界磁コア12と界磁磁極である永久磁石13と� ��よって構成されている。複数の永久磁石13� �、摺動方向に隣り合う磁極が交互に異極と� �るように界磁コア12に直線状に配列されてい る。永久磁石13の配置ピッチを磁極ピッチτ� �する。また、可動子21は、永久磁石13の磁極� ��に所定の間隙を介して対向する複数のティ� ��ス24を有する電機子コア22と、これらのティ ース24に巻回されたコイル23とによって構成� �れている。なお、ティース24に対向する永久 磁石13の面を磁極面とし、摺動方向と垂直で� ��つ磁極面と並行な方向をA方向(積層方向)と� ��る。

 図2は、図1で示した電機子コア22の斜視図 である。電機子コア22には、ティース24が設� �られ、ティース24の先端部には、可動子21の� ��動方向に張り出された張り出し部が形成さ� ��ている。そして、それぞれのティース24の� �端部は、可動子21の摺動方向に垂直でかつ永 久磁石13の磁極面に並行な方向であるA方向に 対して複数の領域である2つのコアブロック� �それぞれ分けられており、一方を第1のコア� ��ロック24a、他方を第2のコアブロック24bとす る。隣り合う領域間である第1のコアブロッ� �24aと第2のコアブロック24bとの間で摺動方向� ��両方の張り出し部の張り出し量が異なって� ��る。つまり、ティースの先端部の張り出し� ��をコアブロック24a,24bによって異なる形状と している。ここでは、このような構成を段ス キューとする。なお、本実施の形態において 、第1のコアブロック24aのA方向の長さL1と第2� ��コアブロック24bのA方向の長さL2との関係がL 1:L2=1:1となるようにそれぞれの長さを決めて� ��るが、これ以外の関係であってもよい。

 第1のコアブロック24aにおいては、ティー スの先端部における摺動方向の一方の側の張 り出し量をA、他方の側の張り出し量をBとし� ��いる。第2のコアブロック24bにおいては、テ ィースの先端部における摺動方向の一方の側 の張り出し量をC、他方の側の張り出し量Dと� ��ている。ここで、張り出し量の差分を式(1)� ��式(2)により電気角に直したものを段スキュ� ��角θ1およびθ2とする。

   θ1=(A-C)×180°/τ ---(1)
   θ2=(D-B)×180°/τ ---(2)
 段スキュー角θ1およびθ2を、適切な角度に� ��定することで、スロットコギング推力と可� ��子の端効果によって生じるコギング推力と� ��同時に低減することができる。本実施の形� ��では、可動子21を構成する複数のティース� �先端部全てに同一の段スキュー角を設けて� �る。

 図3は、段スキューの理論的効果を段スキ ュー角毎に計算した結果であり、段スキュー が構成されない段スキュー角0°の場合(すな� �ちA=C、B=Dの場合)の成分を1としたとき、コギ ングの各次数の成分の比率を示す。図3の表� �、マイナスの符号がついた箇所は、コギン� �波形の位相が反転することを示している。� �スキュー角を構成することによって、段ス� �ュー角に応じてコギングの各次数の成分を� �3の表に示した比率で低減することができる� ��

 図4に、段スキュー角θ1=θ2=30°とした場合 におけるコギング推力波形の例を示す。図4� �おいて、横軸は電気角、縦軸はコギング波� �の大きさである。縦軸の大きさは各波形を� �対的に比較すればよいので任意である。こ� �コギング推力波形は、磁界解析による計算� �果である。本実施の形態では、固定子11の極 数と可動子21のティース数との組合せが4極6� �ィースであるので、スロットコギング推力� �して6次成分が生じる。ここで、図3の表に示 すように、段スキュー角を30°に設定すると� �6次成分をほぼゼロにすることができるよう� ��効果が期待できる。

 図4において、第1のコアブロック24a群が� �じるコギング推力FC1と、第2のコアブロック2 4b群が生じるコギング推力FC2とを分けて表示� ��ており、FC1とFC2とを合成することによりト� ��タルのコギング推力FCTが得られる。図4には 、段スキューを適用しない場合のコギング推 力FCOも示している。トータルのコギング推力 FCTとコギング推力FCOとを比べると、段スキュ ーを適用することによってコギング推力が小 さくなっていることが分かる。

 図5に、図4に示した段スキュー角θ1=θ2=30� �とした場合のトータルのコギング推力FCTと� �スキューを適用しない場合のコギング推力FC Oとをそれぞれ次数分解した結果を示す。図5� ��おいて、横軸は各次数、縦軸はコギング成� ��の大きさである。図5において、段スキュー 角θ1=θ2=30°の段スキューを適用することによ って、段スキューを適用しない場合に比べて 、2次成分は0.884倍、4次成分は0.497倍、6次成� �は0.065倍(ほぼゼロ)、12次成分は-0.984倍とな� �ている。スロットコギング推力として生じ� �6次成分がほぼゼロに低減できるだけでなく� ��全体としてスロットコギング推力(6次成分)� ��外の次数成分も低減できている。このため� ��スロットコギング推力が低減できると共に� ��可動子の端効果によって生じるコギング推� ��を同時に低減できることがわかる。なお、� ��れらのコギング推力FCOに対するトータルの� ��ギング推力FCTの各次数の倍率は、図3の表に おける段スキュー角30°に示した倍率とほぼ� �致している。

 図6は、段スキュー角θ1=θ2=45°とした場合 におけるコギング推力波形の例を示す。図6� �おいて、第1のコアブロック24a群が生じるコ� ��ング推力FC1と、第2のコアブロック24b群が生 じるコギング推力FC2とを分けて表示しており 、FC1とFC2とを合成することによりトータルの コギング推力FCTが得られる。図6には、図4と� ��様に段スキューを適用しない場合のコギン� ��推力FCOも示している。トータルのコギング� ��力FCTとコギング推力FCOとを比べると、段ス� ��ューを適用することによって段スキューを� ��用することによってスロットコギング推力� ��他、端効果によるコギング推力も小さくな� ��ていることが分かる。

 図7は、図6に示した段スキュー角θ1=θ2=45� �とした場合のトータルのコギング推力FCTと� �スキューを適用しない場合のコギング推力FC Oとをそれぞれ次数分解した結果を示す。図7� ��おいて、段スキュー角θ1=θ2=45°の段スキュ� ��を適用することによって、段スキューを適� ��しない場合に比べて、2次成分は0.767倍、4次 成分は0.250倍、6次成分は-0.677倍、12次成分は- 0.070倍となっている。スロットコギング推力� ��して生じる6次成分を低減できるだけでなく 、全体としてスロットコギング推力(6次成分) 以外の次数成分も低減できている。このため 、スロットコギング推力が低減できると共に 、可動子の端効果によって生じるコギング推 力を同時に低減できることがわかる。なお、 これらのコギング推力FCOに対するトータルの コギング推力FCTの各次数の倍率は、図3の表� �おける段スキュー角45°に示した倍率とほぼ� ��致している。

 なお、段スキュー角を決定するにあたっ� ��、隣り合うコアブロック(領域)のうちの一� �のコアブロックである第1のコアブロック24a� ��おける摺動方向の一方の張り出し部の張り� ��し量Aと隣り合うコアブロックのうちの他方 のコアブロックである第2のコアブロック24b� �おける摺動方向の他方の張り出し部の張り� �し量Dとを同一とし、さらに、第1のコアブロ ック24aにおける摺動方向の他方の張り出し部 の張り出し量Bと第2のコアブロック24bにおけ� ��摺動方向の一方の張り出し部の張り出し量C とを同一とすることが望ましい。つまり、張 り出し量A,B,C,Dが、A=DかつB=Cの関係を満たす� �うに設定したほうが望ましい。このような� �成によって、第1のコアブロック24aを反転す� ��ば、第1のコアブロック24aと第2のコアブロ� �ク24bとの形状が同一形状となるため、部品� �共通化できるので、部品点数が低減できる� �

 以上のように、電機子コア22を摺動方向� �垂直で永久磁石13の磁極面と並行な方向に2� �のコアブロック24a,24bに分け、それぞれのテ� ��ースの先端部の張り出し部の長さが異なる� ��状とし、段スキュー角を所望の値に設定す� ��ことにより、スロットコギング推力と可動� ��の端効果によって生じるコギング推力とを� ��時に低減することができる。また、固定子� ��片側に1つしか備えていない対向型リニアモ ータにおいても、スロットコギング推力と可 動子の端効果によって生じるコギング推力と を同時に低減することができる。

実施の形態2.
 図8は、この発明を実施するための実施の形 態2を示すリニアモータの断面図である。本� �施の形態のリニアモータ30は、摺動方向の両 端に位置する2つのティースの先端部のそれ� �れ外側のみに段スキューを設けないという� �で実施の形態1と異なっている。図8において 、図1と同一の符号を付したものは、同一ま� �はこれに相当するものであり、このことは� �細書の全文において共通することである。� �た、明細書全文に表れている構成要素の態� �は、あくまで例示であってこれらの記載に� �定されるものではない。

 図9は、図8で示した電機子コア32の斜視図 である。電機子コア32には、ティース24,35,36� �設けられ、それぞれのティース24,35,36の先端 部には、可動子31の摺動方向に張り出された� ��り出し部が形成されている。そして、ティ� ��ス24,35,36の先端部は、可動子31の摺動方向に 垂直でかつ永久磁石13の磁極面に並行な方向� ��あるA方向に対して複数の領域である2つの� �アブロックにそれぞれ分けられている。こ� �で、一方を第1のコアブロック24a,35a,36a、他� �を第2のコアブロック24b,35b,36bとする。なお� �電機子コア32の摺動方向の両端に設けられた 2つのティース35,36以外の内側のティ-ス24の先 端部には、実施の形態1に示したものと同様� �摺動方向の両側の張り出し部に段スキュー� �設けられている。

 また、両端のティース35,36の先端部の内� �(隣にティースが有る側)には実施の形態1に� �したものと同様に、張り出し部に段スキュ� �が設けられている。一方、両端のティース35 ,36の先端部の外側(隣にティースが無い側)に� ��ける張り出し部の形状は、A方向に隣り合う 領域であるコアブロック間で同一形状として いる。つまり、隣り合う領域間である第1の� �アブロック35a(36a)と第2のコアブロック35b(36b) との間で摺動方向の少なくとも一方の張り出 し部の張り出し量が異なっている。このため 、摺動方向の両端に位置する2つのティース35 ,36の先端部のそれぞれ外側(隣にティースが� �い側)には段スキューが設けられていない。

 図10に、このような構成のリニアモータ30 における、段スキュー角θ1=θ2=30°とした場合 におけるコギング推力波形の例を示す。また 、図11に図10に示した段スキュー角θ1=θ2=30°� �した場合のトータルのコギング推力FCTと段� �キューを適用しない場合のコギング推力FCO� �をそれぞれ次数分解した結果を示す。図10お よび図11に示すように、摺動方向の両端に位� ��する2つのティースの先端部のそれぞれ外側 のみに段スキューを設けない構成にすること によって、全てのティースの先端部に同じよ うに段スキューを設け構成に比べ、コギング 推力が低減し、特にコギング推力の2次成分� �低減することができる。

 このことから、図3の表に示すように、段 スキュー角として60°以下の角度を選択する� �、コギング推力の2次成分をほとんど低減で� ��ない。しかしながら、本実施の形態のよう� ��段スキューの構成にすることによって、段� ��キュー角として60°以下の小さい角度を選ん でもトータルのコギング推力を小さくできる 。なお、好ましくは、コギング推力の4次成� �や6次成分も低減できる段スキュー角として2 5°~50°を選択することが望ましい。

実施の形態3.
 図12は、本発明の実施の形態3のリニアモー� ��を示す断面図である。本実施の形態のリニ� ��モータ40は、摺動方向の両端に位置する2つ� ��ティースの先端部のそれぞれ内側のみに段� ��キューを設けたという点で実施の形態1と異 なっている。図12において、電機子コア42に� �、ティース44,45,46が設けられ、ティース44,45, 46の先端部には、可動子41の摺動方向に張り� �された張り出し部が形成されている。そし� �、電機子コア42の摺動方向の両端に設けられ たティース45,46の先端部は、可動子41の摺動� �向に垂直でかつ永久磁石13の磁極面に並行な 方向であるA方向(積層方向)に対して複数の領 域である2つのコアブロックにそれぞれ分け� �れており、一方を第1のコアブロック45a,46a、 他方を第2のコアブロック45b,46bとする。

 隣り合う領域間である第1のコアブロック 45aと第2のコアブロック45bとの間で摺動方向� �内側(隣にティースが有る側)の張り出し部の 張り出し量が異なっている。同様に、第1の� �アブロック46aと第2のコアブロック46bとの間� ��摺動方向の内側の張り出し部の張り出し量� ��異なっている。つまり、摺動方向の両端に� ��置する2つのティース45,46の先端部のそれぞ� ��内側には段スキューが設けられている。一� ��、両端のティース45,46の先端部の外側(隣に� ��ィースが無い側)における張り出し部の形状 は、A方向に隣り合うコアブロック間で同一� �状としている。つまり、摺動方向の両端に� �置する2つのティース45,46の先端部のそれぞ� �外側には段スキューが設けられていない。� �お、摺動方向の両端に位置する2つのティー� ��45,46以外の内側のティ-ス44の先端部には段� �キューを設けない構成であり、張り出し部� �形状をA方向に隣り合うコアブロック間で同� ��形状としている。

 図13に、このような構成のリニアモータ40 における、段スキュー角θ1=θ2=30°とした場合 のトータルのコギング推力FCTと段スキューを 適用しない場合のコギング推力FCOとをそれぞ れ次数分解した結果を示す。図13に示すよう� ��、摺動方向の両端に位置する2つのティース の先端部のそれぞれ内側のみに段スキューを 設けた構成は、段スキューを設けない構成に 比べ、コギング推力の8次成分をほぼゼロに� �ることができる。

実施の形態4.
 図14は、本発明の実施の形態4のリニアモー� ��を示す断面図である。本実施の形態のリニ� ��モータ50は、摺動方向の両端に位置する2つ� ��ティースの先端部のそれぞれ内側の段スキ� ��ーのみ他の段スキューと段スキュー角が異� ��るという点で実施の形態1と異なっている。 電機子コア52には、ティース24,55,56が設けら� �、ティース24,55,56の先端部には、可動子51の� ��動方向に張り出された張り出し部が形成さ� ��ている。そして、ティース24,55,56の先端部� �、可動子51の摺動方向に垂直でかつ永久磁石 13の磁極面に並行な方向であるA方向(積層方� �)に対して複数の領域である2つのコアブロッ クにそれぞれ分けられており、一方を第1の� �アブロック24a,55a,56a、他方を第2のコアブロ� �ク24b,55b,56bとする。そして、電機子コア52の� ��動方向の両端に設けられた2つのティース55, 56以外の内側のティ-ス24の先端部には、実施� ��形態1に示したものと同様に、両側の張り出 し部に段スキューが設けられている。また、 両端のティース55,56の先端部の外側(隣にティ ースが無い側)についても、片側だけである� �、実施の形態1に示したものと同様に、張り� ��し部に段スキューが設けられている。

 一方、両端のティース55,56の先端部にお� �る摺動方向の内側(隣にティースが有る側)の 張り出し部は、両端以外に設けられたティー ス24の先端部における張り出し部および両端� ��ティース55,56の先端部における摺動方向の� �側の張り出し部に対して、複数の領域であ� �2つのコアブロック55a,55b(56a,56b)のうちの少な くとも一方のコアブロックで張り出し部の張 り出し量を異ならせている。つまり、両端の ティース55,56の内側における張り出し部の形� ��をA方向に隣り合うコアブロック間で異なる 形状としているが、他のティースの先端部の 張り出し部と比べて、張り出し量を異なるよ うにしている。このため、摺動方向の両端に 位置する2つのティース55,56の先端部のそれぞ れ内側(隣にティースが有る側)の段スキュー� ��み他の段スキューと段スキュー角が異なる� ��

 このような構成のリニアモータ50におい� �、実施の形態1の効果と実施の形態3の効果を 同時に得ることができる。図15に、両端に位� ��する2つのティース55,56の先端部の外側の段� ��キュー角およびの内側のティ-ス24の先端部� ��段スキュー角を15度とし、両端に位置する2� ��のティース55,56の先端部の内側の段スキュ� �角を30度とした場合におけるトータルのコギ ング推力FCTと、段スキューを適用しない場合 におけるコギング推力FCOとをそれぞれ次数分 解した結果を示す。図15に示すように、摺動� ��向の両端に位置する2つのティースの先端部 のそれぞれ内側の段スキューのみ他の段スキ ューと段スキュー角が異なるようにした構成 は、段スキューを設けない構成に比べ、コギ ング推力の8次成分および12次成分をほぼゼロ にすることができる。本実施の形態は、実施 の形態1で段スキュー角を15°とした構成およ� ��実施の形態3の構成を併せたような構成にな っているが、コギング推力の12次成分および8 次成分がそれぞれキャンセルされており、実 施の形態1および実施の形態3の両方の効果を� ��に得ることができる。

実施の形態5.
 図16は、本発明の実施の形態5のリニアモー� ��を示す断面図である。本実施の形態のリニ� ��モータ60は、摺動方向の両端に位置する2つ� ��ティースの先端部のそれぞれ内側の段スキ� ��ーのみ他の段スキューと段スキュー角が異� ��るという点で実施の形態2と異なっている。 図16において、電機子コア62には、ティース24 ,65,66が設けられ、ティース24,65,66の先端部に� ��、可動子61の摺動方向に張り出された張り� �し部が形成されている。そして、ティース24 ,65,66の先端部は、可動子61の摺動方向に垂直� ��かつ永久磁石13の磁極面に並行な方向であ� �A方向(積層方向)に対して複数の領域である2� ��のコアブロックにそれぞれ分けられている� ��一方を第1のコアブロック24a,65a,66a、他方を� ��2のコアブロック24b,65b,66b(図示せず)とする� �電機子コア62の摺動方向の両端に設けられた 2つのティース65,66以外の内側のティ-ス24の先 端部には、実施の形態1に示したものと同様� �、両側の張り出し部に段スキューが設けら� �ている。しかしながら、摺動方向の両端に� �置する2つのティース65,66の先端部の外側(隣� ��ティースが無い側)においては、実施の形態 2に示したものと同様に、張り出し部に段ス� �ューが設けられていない。

 一方、両端のティース65,66の先端部にお� �る摺動方向の内側(隣にティースが有る側)の 張り出し部は、両端以外に設けられたティー ス24の先端部における張り出し部に対して、� ��数の領域である2つのコアブロック65a,65b(66a, 66b)のうちの少なくとも一方のコアブロック� �張り出し部の張り出し量を異ならせている� �つまり、摺動方向の両端に位置する2つのテ� ��ース65,66の先端部においては、摺動方向の� �側における張り出し部のA方向に隣り合うコ� ��ブロック間で異なる形状としているが、他� ��ティースの先端部と比べて、張り出し量を� ��なるようにしている。つまり、摺動方向の� ��端に位置する2つのティース65,66の先端部の� ��れぞれ内側の段スキューは、内側のティ-ス 24の先端部の段スキューと段スキュー角が異� ��る。

 図17に、内側のティ-ス24の先端部の段ス� �ュー角を15度とし、両端に位置する2つのテ� �ース65,66の先端部の内側の段スキュー角を30� ��とした場合におけるトータルのコギング推� ��FCTと、段スキューを適用しない場合におけ� ��コギング推力FCOとをそれぞれ次数分解した� ��果を示す。図17に示すように、摺動方向の� �端に位置する2つのティースの先端部のそれ� ��れ内側の段スキューのみ他の段スキューと� ��スキュー角が異なるようにし、2つのティー スの先端部のそれぞれ外側に段スキューがな い構成は、段スキューを設けない構成に比べ 、コギング推力の8次成分および12次成分に加 えて2次成分もほぼゼロにすることができる� �

実施の形態6.
 図18は、本発明の実施の形態6の電機子コア� ��斜視図である。本実施の形態は、コアブロ� ��クが3つに分かれている点で実施の形態1と� �なっている。図18において、電機子コア72に� ��、ティース74が設けられ、ティース74の先端 部には、可動子の摺動方向に張り出された張 り出し部が形成されている。そして、ティー ス74の先端部は、可動子の摺動方向に垂直で� ��つ磁極面に並行な方向であるA方向(積層方� �)に対して3つのコアブロックである第1のコ� �ブロック74a、第2のコアブロック74c、第3のコ アブロック74eに分けられており構成されてい る。

 ここで、磁極面に垂直な方向から見て、� ��ィース74の先端部のA方向の両端の中心を通� ��摺動方向に沿った中心線(A方向の中心線)に� ��して線対称となるように各コアブロック74a, 74c,74eの摺動方向の幅が調節されている。な� �、本実施の形態において、第1のコアブロッ� ��74aのA方向の長さL1と第2のコアブロック74cの A方向の長さL2と第3のコアブロック74eのA方向� ��長さL3との関係がL1:L2:L3=1:2:1となるようにそ れぞれの長さを決めているが、これ以外の関 係であってもよい。

 ここで、ティース74の先端部を3つのコア� ��ロックに分けた場合に得られる効果につい� ��説明する。図19に示すように、実施の形態1~ 5のように電機子コアがA方向に2つのコアブロ ックに分ける場合は、第1のコアブロック24a� �第2のコアブロック24bのそれぞれから永久磁� ��にA方向に磁気吸引力が働く。この際、第1� �コアブロック24aと第2のコアブロック24bとは� ��動方向に相対的にずれて配置されている。� ��のため、第1のコアブロック24aと第2のコア� �ロック24bとの境界の中心から見ると、第1の� ��アブロック24aと永久磁石13との間の磁気吸� �力と第2のコアブロック24bと永久磁石13との� �の磁気吸引力とによって、回転力が生じて� �ることになる。この回転力が可動子21を支持 するリニアガイドに伝わると、可動子21の振� ��・騒音の原因となり、リニアガイドの寿命� ��悪化させてしまう場合がある。

 しかしながら、本実施の形態のように、3 つのコアブロックを摺動方向へ交互にずらし て配置することによって、3つのコアブロッ� �全体の中心から見ると、3つのコアブロック� ��それぞれと永久磁石との間のそれぞれの磁� ��吸引力が相互にキャンセルするため、リニ� ��ガイドに回転力が加わらず、上記のような� ��題が発生しない。

実施の形態7.
 図20は、本発明の実施の形態7の電機子コア� ��斜視図である。本実施の形態は、コアブロ� ��クが5つに分かれている点で実施の形態6と� �なっている。図20において、電機子コア82に� ��、ティース84が設けられ、ティース84の先端 部には、可動子の摺動方向に張り出された張 り出し部が形成されている。そして、ティー ス84の先端部は、可動子の摺動方向に垂直で� ��つ磁極面に並行な方向であるA方向(積層方� �)に対して5つのコアブロック84a~84eに分けら� �て構成されている。ここで、磁極面に垂直� �方向から見て、ティース84の先端部のA方向� �両端の中心を通る摺動方向に沿った中心線(A 方向の中心線)に対して線対称となるように� �アブロック84a~84eの摺動方向の幅が調節され� ��いる。

 ここで、追加領域であるコアブロック84b� ��張り出し量の設定について説明する。コア� ��ロック84bの摺動方向の一方の張り出し部の� ��り出し量は、隣り合うコアブロック84a,84cの 摺動方向の一方の張り出し部の張り出し量の うち短い張り出し量(例えばコアブロック84c� �張り出し量)とほぼ同一とする。コアブロッ� ��84bの摺動方向の他方の張り出し部の張り出� ��量は、隣り合うコアブロック84a,84cの摺動方 向の他方の張り出し部の張り出し量のうち短 い張り出し量(例えばコアブロック84aの張り� �し量)とほぼ同一とする。追加領域であるコ� ��ブロック84dの張り出し量も同様に設定する� ��すなわち、第1のコアブロック84a、第3のコ� �ブロック84c、第5のコアブロック84eのティー� ��の先端部の張り出し部のうち、短い方を両� ��に備えたコアブロックを第2のコアブロック 84b、第4のコアブロック84dとして挿入した構� �となっている。

 実施の形態6で示したティースの先端部を 3つに分けた構成では、図18に示すように、テ ィース74の先端部のコアブロック74cの張り出� ��部と隣のティースの先端部のコアブロック7 4aの張り出し部とが近接している。同様に、� ��ィース74の先端部のコアブロック74cの張り� �し部と隣のティースの先端部のコアブロッ� �74eの張り出し部とが近接している。これに� �り、隣接ティース間の張り出し部による近� �箇所で磁束が漏れてリニアモータの効率が� �くなってしまう。

 これに対し、本実施の形態のように、第2 のコアブロック84b、第4のコアブロック84dを� �入することで、例えば、ティース841の先端� �のコアブロック84cの張り出し部と隣のティ� �ス842の先端部のコアブロック84aの張り出し� �との距離を長くすることができるので、漏� �磁束を低減でき、リニアモータの効率を高� �ることができる。

 好ましくは、次のように各コアブロック8 4a~84eを設置したほうがよい。図20に示すよう� ��、第一ティース841の摺動方向に隣り合うテ� ��ースを第二ティース842とし、第一ティース8 41の先端部における追加領域であるのコアブ� ��ック84dを挟んで隣り合う2つのコアブロック 84c,84eの張り出し部のうちの第二ティース842� �へ突出するコアブロック84cの張り出し部を� �一張り出し部とする。第一ティース841のコ� �ブロック84dに対応する第二ティース842のコ� �ブロック84dを挟んで隣り合う2つのコアブロ� ��ク84c,84eの張り出し部のうちの第一ティース 841へ突出するコアブロック84eの張り出し部を 第二張り出し部とする。そして、対向する第 一張り出し部と第二張り出し部との最短距離 をT1とし、第一ティースと第二ティースとの� ��の摺動方向スロット開口幅をT2とした場合� �、T1≧T2の関係を満たすように各コアブロッ� ��84a~84eを設置する。このように構成より、隣 接するティース間の漏れ磁束を低減でき、高 効率なリニアモータを得ることができる。

実施の形態8.
 図21は、本発明の実施の形態8の電機子コア� ��斜視図である。本実施の形態は、コアブロ� ��クが3つに分かれている点で実施の形態1と� �なっており、各ブロックの張り出し部の張� �出し量が、可動子の摺動方向に垂直でかつ� �極面に並行な方向であるA方向(積層方向)に� �って単調に長く又は短くなっている点で実� �の形態6と異なる。また、図22は、磁極面に� �直な方向から見たティースの先端部の外観� �である。図21において、電機子コア202には、 ティース204が設けられ、ティース204の先端部 には、可動子の摺動方向に張り出された張り 出し部が形成されている。そして、ティース 204の先端部は、A方向に対して複数の領域で� �る3つのコアブロックにそれぞれ分けられて� ��る3段スキュー構造で、それぞれ第1のコア� �ロック204a、第2のコアブロック204b、第3のコ� ��ブロック204cとする。ここで、第1のコアブ� �ック204aは、複数の領域のうちの積層方向の� ��端の領域であり、第3のコアブロック204cは� �複数の領域のうちの積層方向の他端の領域� �ある。

 隣り合う領域間である第1のコアブロック 204aと第2のコアブロック204bとの間、第2のコ� �ブロック204bと第3のコアブロック204cとの間� �、それぞれ摺動方向の両方の張り出し部の� �り出し量が異なっている。つまり、ティー� �204の先端部の張り出し部をコアブロック204a, 204b,204cによって異なる形状としている。なお 、本実施の形態において、第1のコアブロッ� �204aのA方向の長さL1と第2のコアブロック204b� �A方向の長さL2と第3のコアブロック204cのA方� �の長さL3との関係がL1:L2:L3=1:1:1となるように� ��れぞれの長さを決めているが、これ以外の� ��係であってもよい。

 図22に示すように、第1のコアブロック204a においては、ティース204の先端部における摺 動方向の一方の側の張り出し量をA、他方の� �の張り出し量をBとしている。第2のコアブロ ック204bにおいては、ティース204の先端部に� �ける摺動方向の一方の側の張り出し量をE、� ��方の側の張り出し量をFとしている。第3の� �アブロック204cにおいては、ティース204の先� ��部における摺動方向の一方の側の張り出し� ��をC、他方の側の張り出し量をDとしている� �図22では、一方の側の張り出し量の関係をA&g t;E>Cとし、他方の側の張り出し量の関係をB <F<Dとしているが、一方の側の張り出し� �の関係をA<E<Cとし、他方方の側の張り出 し量の関係をB>F>Dとしてもよい。ここで� ��張り出し量の差分を実施の形態1で示した式 (1)、式(2)により電気角に直したものを段スキ ュー角θ1およびθ2とする。

 段スキュー角θ1およびθ2を、適切な角度� ��設定することで、スロットコギング推力と� ��動子の端効果によって生じるコギング推力� ��を同時に低減することができる。本実施の� ��態では、電機子コア202を構成する複数のテ� ��ース204の先端部全てに同一の段スキュー角� ��設けている。なお、本実施の形態では、各� ��アブロック204a~204c間での張り出し量の差分� ��均等になるように、第2のコアブロック204b� �張り出し量をそれぞれ、E=(A+C)/2、F=(B+D)/2に� �定している。

 図23は、段スキューの理論的効果を段ス� �ュー角毎に計算した結果であり、段スキュ� �が構成されない段スキュー角0°の場合(すな� ��ちA=E=C、B=F=Dの場合)の成分を1としたとき、� ��ギングの各次数の成分の比率を示す。図23� �表で、マイナスの符号がついた箇所は、コ� �ング波形の位相が反転することを示してい� �。段スキュー角を構成することによって、� �スキュー角に応じてコギングの各次数の成� �を図23の表に示した比率で低減することがで きる。図23の表からわかるように、ティース2 04の先端部を3段スキュー構造にしたことによ って、実施の形態1の構成に比べて、特に段� �キュー角30°付近でコギングの6次~16次成分の 低減効果が大きくなる。

 なお、段スキュー角を決定するにあたっ� ��、第1のコアブロック204aにおける摺動方向� �一方の張り出し部の張り出し量Aと第3のコア ブロック204cにおける摺動方向の他方の張り� �し部の張り出し量Dとを同一とし、さらに、� ��1のコアブロック204aにおける摺動方向の他� �の張り出し部の張り出し量Bと第3のコアブロ ック204cにおける摺動方向の一方の張り出し� �の張り出し量Cとを同一とすることが望まし� ��。つまり、張り出し量A,B,C,Dが、A=DかつB=Cの 関係を満たすように設定したほうが望ましい 。このような構成によって、第1のコアブロ� �ク204aを反転すれば、第1のコアブロック204a� �第3のコアブロック204cとの形状が同一形状と なるため、部品を共通化できるので、部品点 数が低減できる。

 以上のように、ティース204の先端部を3つ のコアブロック204a,204b、204cに分け、それぞ� �のティース204の先端部の張り出し部の長さ� �異なるような形状とし、段スキュー角を所� �の値に設定することにより、スロットコギ� �グ推力と可動子の端効果によって生じるコ� �ング推力とを同時に低減することができる� �また、固定子を片側に1つしか備えていない� ��向型リニアモータにおいても、スロットコ� ��ング推力と可動子の端効果によって生じる� ��ギング推力とを同時に低減することができ� ��。

実施の形態9.
 図24は、本発明の実施の形態9の電機子コア� ��斜視図である。本実施の形態は、コアブロ� ��クが4つに分かれている点で実施の形態8と� �なる。また、図25は、磁極面に垂直な方向か ら見たティースの先端部の外観図である。図 24において、電機子コア212には、ティース214� ��設けられ、ティース214の先端部には、可動� ��の摺動方向に張り出された張り出し部が形� ��されている。そして、ティース214の先端部� ��、可動子の摺動方向に垂直でかつ磁極面に� ��行な方向であるA方向(積層方向)に対して複� ��の領域である4つのコアブロックにそれぞれ 分けられている4段スキュー構造で、それぞ� �第1のコアブロック214a、第2のコアブロック21 4b、第3のコアブロック214c、第4のコアブロッ� ��214dとする。ここで、第1のコアブロック214a� ��、複数の領域のうちの積層方向の一端の領� ��であり、第4のコアブロック214dは、複数の� �域のうちの積層方向の他端の領域である。

 隣り合う領域間である第1のコアブロック 214aと第2のコアブロック214bとの間、第2のコ� �ブロック214bと第3のコアブロック214cとの間� �第3のコアブロック214cと第4のコアブロック21 4dとの間で、それぞれ摺動方向の両方の張り� ��し部の張り出し量が異なっている。つまり� ��ティース214の先端部の張り出し部をコアブ� ��ック214a,214b,214c,214dによって異なる形状とし ている。なお、本実施の形態において、第1� �コアブロック214aのA方向の長さL1と第2のコア ブロック214bのA方向の長さL2と第3のコアブロ� ��ク214cのA方向の長さL3と第4のコアブロック21 4dのA方向の長さL4との関係がL1:L2:L3:L4=1:1:1:1と なるようにそれぞれの長さを決めているが、 これ以外の関係であってもよい。

 図25に示すように、第1のコアブロック214a においては、ティース214の先端部における摺 動方向の一方の側の張り出し量をA、他方の� �の張り出し量をBとしている。第2のコアブロ ック214bにおいては、ティース214の先端部に� �ける摺動方向の一方の側の張り出し量をE、� ��方の側の張り出し量をFとしている。第3の� �アブロック214cにおいては、ティース214の先� ��部における摺動方向の一方の側の張り出し� ��をG、他方の側の張り出し量をHとしている� �第4のコアブロック214dにおいては、ティース 214の先端部における摺動方向の一方の側の張 り出し量をC、他方の側の張り出し量をDとし� ��いる。図25では、一方の側の張り出し量の� �係をA>E>G>Cとし、他方方の側の張り出� ��量の関係をB<F<H<Dとしているが、一方 の側の張り出し量の関係をA<E<G<Cとし� �他方の側の張り出し量の関係をB>F>H>D� ��してもよい。ここで、張り出し量の差分を� ��施の形態1で示した式(1)、式(2)により電気角 に直したものを段スキュー角θ1およびθ2とす る。

 段スキュー角θ1およびθ2を、適切な角度� ��設定することで、スロットコギング推力と� ��動子の端効果によって生じるコギング推力� ��を同時に低減することができる。本実施の� ��態では、電機子コア212を構成する複数のテ� ��ース214の先端部全てに同一の段スキュー角� ��設けている。なお、本実施の形態では、各� ��アブロック214a~214d間での張り出し量の差分� ��均等になるように、第2および第3のコアブ� �ック214b,214cの張り出し量をそれぞれ、E=(2×A+ C)/3、G=(A+2×C)/3、F=(2×B+D)/3、H=(B+2×D)/3に設定� �ている。

 図26は、段スキューの理論的効果を段ス� �ュー角毎に計算した結果であり、段スキュ� �が構成されない段スキュー角0°の場合(すな� ��ちA=E=G=C、B=F=H=Dの場合)の成分を1としたとき 、コギングの各次数の成分の比率を示す。図 26の表で、マイナスの符号がついた箇所は、� ��ギング波形の位相が反転することを示して� ��る。段スキュー角を構成することによって� ��段スキュー角に応じてコギングの各次数の� ��分を図26の表に示した比率で低減すること� �できる。図26の表からわかるように、ティー ス214の先端部を4段スキュー構造にしたこと� �よって、実施の形態1の構成に比べて、特に� ��スキュー角30°~45°の領域においてコギング� ��6次~16次成分の低減効果が大きくなる。

 なお、段スキュー角を決定するにあたっ� ��、第1のコアブロック214aにおける摺動方向� �一方の張り出し部の張り出し量Aと第4のコア ブロック214dにおける摺動方向の他方の張り� �し部の張り出し量Dとを同一とし、さらに、� ��1のコアブロック214aにおける摺動方向の他� �の張り出し部の張り出し量Bと第4のコアブロ ック214dにおける摺動方向の一方の張り出し� �の張り出し量Cとを同一とすることが望まし� ��。同様に、第2のコアブロック214bの張り出� �量Eと第3のコアブロック214cの張り出し量Hと� ��同一とし、さらに、第2のコアブロック214b� �張り出し量Fと第3のコアブロック214cの張り� �し量Gとを同一とすることが望ましい。つま� ��、張り出し量A~Hが、A=D,B=C,E=H,F=Gの関係を満� ��すように設定したほうが望ましい。このよ� ��な構成によって、第1のコアブロック214aを� �転すれば、第1のコアブロック214aと第4のコ� �ブロック214dとの形状が同一形状となり、第2 のコアブロック214bを反転すれば、第2のコア� ��ロック214bと第3のコアブロック214cとの形状� ��同一形状となるため、部品を共通化できる� ��で、部品点数が低減できる。

 以上のように、ティース214の先端部を4つ のコアブロック214a,214b、214c,214dに分け、それ ぞれのティース214の先端部の張り出し部の長 さが異なる形状とし、段スキュー角を所望の 値に設定することにより、スロットコギング 推力と可動子の端効果によって生じるコギン グ推力とを同時に低減することができる。ま た、固定子を片側に1つしか備えていない対� �型リニアモータにおいても、スロットコギ� �グ推力と可動子の端効果によって生じるコ� �ング推力とを同時に低減することができる� �

実施の形態10.
 図27は、本発明の実施の形態10の電機子コア の斜視図である。本実施の形態は、各ティー スの先端部が多数のコアブロックよって分割 され、各ティースの先端部の可動子方向の両 側部が、可動子の摺動方向に垂直でかつ磁極 面に並行な方向であるA方向(積層方向)に対し て傾斜するように形成された斜めスキュー構 造となっている点が実施の形態1と異なる。� �27において、電機子コア222には、ティース224 が設けられている。ティース224の先端部は、 複数の領域である多数のコアブロックにそれ ぞれ分けられ、可動子の摺動方向に張り出さ れた張り出し部が形成されている。多数のコ アブロックの隣り合うコアブロック同士の間 で、張り出し部の張り出し量が異なっている ので、ティース224の先端部の張り出し部の輪 郭線はA方向に対して略傾斜している。つま� �、ティース224の先端部の摺動方向の端部は� �A方向に対して傾斜する斜めスキュー構造に� ��っている。なお、電機子コアを積層鋼鈑で� ��製する場合には、コアブロックに相当する1 枚~数枚の鋼鈑の張り出し量を少しずつ変化� �せ、積層することで、斜めスキュー構造を� �する電機子コアを得ることができる。

 図27に示すように、ティース224の先端部� �おける摺動方向の一方の側のA方向の一端の� ��り出し量をA、A方向の他端の張り出し量をC� ��し、ティース224の先端部における摺動方向� ��他方の側のA方向の一端の張り出し量をB、A� ��向の他端の張り出し量をDとしている。ここ で、張り出し量の差分を式(3)、式(4)により電 気角に直したものを斜めスキュー角θ1’およ びθ2’とする。

   θ1’=(A-C)×180°/τ ---(3)
   θ2’=(D-B)×180°/τ ---(4)
 斜めスキュー角θ1’およびθ2’を、適切な� ��度に設定することで、スロットコギング推� ��と可動子の端効果によって生じるコギング� ��力とを同時に低減することができる。本実� ��の形態では、電機子コア222を構成する複数� ��ティース224の先端部全てに同一の斜めスキ� ��ー角を設けている。

 図28は、斜めスキューの理論的効果を斜� �スキュー角毎に計算した結果であり、斜め� �キューが構成されない斜めスキュー角0°の� �合(すなわちA=C、B=Dの場合)の成分を1とした� �き、コギングの各次数の成分の比率を示す� �図28の表で、マイナスの符号がついた箇所は 、コギング波形の位相が反転することを示し ている。斜めスキュー角を構成することによ って、斜めスキュー角に応じてコギングの各 次数の成分を図28の表に示した比率で低減す� ��ことができる。図28の表からわかるように� �ティース224の先端部を斜めスキュー構造に� �たことによって、実施の形態1の構成に比べ� ��、特に斜めスキュー角30°~45°の領域でコギ� ��グの6次~16次成分の低減効果が大きくなる。

 以上のように、ティース224の先端部を多� ��のコアブロックによって斜めスキュー構造� ��することにより、斜めスキュー角を所望の� ��に設定することにより、スロットコギング� ��力と可動子の端効果によって生じるコギン� ��推力とを同時に低減することができる。ま� ��、固定子を片側に1つしか備えていない対向 型リニアモータにおいても、スロットコギン グ推力と可動子の端効果によって生じるコギ ング推力とを同時に低減することができる。

実施の形態11.
 図29は、本発明の実施の形態11の電機子コア の斜視図である。本実施の形態の電機子コア は、摺動方向の両端に位置する2つのティー� �の先端部のそれぞれ外側のみに段スキュー� �設けないという点で実施の形態8と異なって� ��る。

 図29において、電機子コア232には、ティ� �ス204,235,236が設けられ、それぞれのティース 204,235,236の先端部には、可動子の摺動方向に� ��り出された張り出し部が形成されている。� ��して、ティース204,235,236の先端部は、可動� �の摺動方向に垂直でかつ永久磁石の磁極面� �並行な方向であるA方向(積層方向)に対して� �数の領域である3つのコアブロックにそれぞ� ��分けられている3段スキュー構造である。そ れぞれのコアブロックは、第1のコアブロッ� �204a,235a,236a、第2のコアブロック204b,235b,236b、 第3のコアブロック204c,235c,236cとする。なお、 電機子コア232の摺動方向の両端に設けられた 2つのティース235,236以外の内側のティ-ス204の 先端部には、実施の形態8に示したものと同� �に摺動方向の両側に張り出し部が設けられ� �おり、3段スキュー構造となっている。

 ここで、両端のティース235,236の先端部の 内側(隣にティースが有る側)には実施の形態8 に示したものと同様に、張り出し部が設けら れているが、両端のティース235,236の先端部� �外側(隣にティースが無い側)における張り出 し部の形状は、A方向に隣り合う領域である� �アブロック間で同一形状としている。つま� �、隣り合う領域間である第1のコアブロック2 35a(236a)と第2のコアブロック235b(236b)との間、� ��よび第2のコアブロック235b(236b)と第3のコア� ��ロック235c(236c)との間で摺動方向の少なくと も一方の張り出し部の張り出し量が異なって いる。このため、摺動方向の両端に位置する 2つのティース235,236の先端部のそれぞれ外側( 隣にティースが無い側)には張り出し部が設� �られておらず、段スキュー構造となってい� �い。

 このように、摺動方向の両端に位置する2 つのティース235,236の先端部のそれぞれ外側� �みに段スキューを設けない構成にすること� �よって、全てのティースの先端部に同じよ� �に段スキューを設けた構成に比べ、コギン� �推力が低減し、特にコギング推力の2次成分� ��低減することができる。また、ティース204, 235,236の先端部を3段スキュー構造にしたこと� ��よって、実施の形態2の構成に比べて、特に 段スキュー角30°付近でコギングの6次~16次成� ��の低減効果が大きくなる。

 なお、本実施の形態では、ティースの先� ��部を3段スキュー構造としたが、ティースの 先端部を実施の形態9で示した4段スキュー構� ��、実施の形態10で示した斜めスキュー構造� �して、摺動方向の両端に位置する2つのティ� ��スの先端部のそれぞれ外側(隣にティースが 無い側)にはスキュー構造が設けられていな� �構成にしてもよい。このような構成によっ� �、さらに段スキュー角30°~45°の領域でコギ� �グの6次~16次成分の低減が大きくなるという� ��果が得られる。

実施の形態12.
 図30は、本発明の実施の形態12の電機子コア の斜視図である。本実施の形態の電機子コア は、摺動方向の両端に位置する2つのティー� �の先端部のそれぞれ外側のみにスキューを� �けず、かつ、張り出し部の形状をマイナス� �突部である切り欠いた形状とした点で実施� �形態10と異なっている。

 図30において、電機子コア242には、ティ� �ス224,245,246が設けられている。それぞれのテ ィース224,245,246の先端部は、複数の領域であ� ��多数のコアブロックにそれぞれ分けられ、� ��動子の摺動方向に張り出された張り出し部� ��形成されている。多数のコアブロックの隣� ��合うコアブロック同士の間で、張り出し部� ��張り出し量が異なっているので、ティース2 24,245,246の先端部の張り出し部の輪郭線はA方� ��に対して略傾斜している。つまり、ティー� ��224,245,246(ティース245,246は内側のみ)の先端� �は、可動子の摺動方向に垂直でかつ磁極面� �並行な方向であるA方向(積層方向)に対して� �めスキュー構造になっている。なお、電機� �コアを積層鋼鈑で作製する場合には、コア� �ロックに相当する1枚~数枚の鋼鈑の張り出し 量を少しずつ変化させ、積層することで、斜 めスキュー構造を有する電機子コアを得るこ とができる。

 ここで、両端のティース245,246の先端部の 内側(隣にティースが有る側)には実施の形態1 0に示したものと同様に、張り出し部が斜め� �キュー構造となっているが、両端のティー� �245,246の先端部の外側(隣にティースが無い側 )においては、張り出し部を設けず、逆に角� �を一定量だけ切り欠いた形状としている。

 このように、摺動方向の両端に位置する2 つのティース245,246の先端部のそれぞれ外側� �みにスキュー構造を設けず、かつ、張り出� �部を切り欠いた形状することによって、全� �のティースの先端部に同じように段スキュ� �を設ける構成に比べ、コギング推力が低減� �、特にコギング推力の2次成分を低減するこ� ��ができる。さらに、斜めスキュー角30°~45°� ��領域でコギングの6次~16次成分の低減が大き くなるという効果が得られる。

 なお、本実施の形態では、ティースの先� ��部を斜めスキュー構造としたが、ティース� ��先端部を実施の形態8で示した3段スキュー� �造、ティースの先端部を実施の形態9で示し� ��4段スキュー構造として、摺動方向の両端に 位置する2つのティースの先端部のそれぞれ� �側(隣にティースが無い側)にはスキュー構造 を設けず、かつ、張り出し部を切り欠いた形 状にしてもよい。

実施の形態13.
 図31は、本発明の実施の形態13の電機子コア の斜視図である。本実施の形態は、コアブロ ックが6つに分かれている点で実施の形態6と� ��なっている。図31において、電機子コア252� �は、ティース254が設けられ、ティース254の� �端部には、可動子の摺動方向に張り出され� �張り出し部が形成されている。そして、テ� �ース254の先端部は、可動子の摺動方向に垂� �でかつ磁極面に並行な方向であるA方向(積層 方向)に対して6つのコアブロックである第1の コアブロック254a、第2のコアブロック254b、第 3のコアブロック254c、第4のコアブロック254d� �第5のコアブロック254e、第6のコアブロック25 4fに分けられて構成されている。

 ここで、磁極面に垂直な方向から見て、� ��ィース254の先端部のA方向の両端の中心を通 る摺動方向に沿った中心線(A方向の中心線)に 対して線対称となるように各コアブロック254 a~254fが配置されている。つまり、第1のコア� �ロック254aと第6のコアブロック254f、第2のコ� ��ブロック254bと第5のコアブロック254e、第3の コアブロック254cと第4のコアブロック254dが、 それぞれA方向の中心線に対して線対称とな� �ように配置されている。

 ティース254の先端部をA方向の中心線に対 して線対称となるように6つのコアブロック� �分けて配置することによって、実施の形態6� ��おいて説明したように、6つのコアブロック 全体の中心から見ると、隣接するティース254 における6つのコアブロックのそれぞれと固� �子の永久磁石との間のそれぞれの磁気吸引� �が相互にキャンセルするため、リニアガイ� �に回転力が加わらないので、可動子の振動� �騒音を低減することができる。さらに、実� �の形態6に比べて、段スキューの段数を増や� ��ているので、特に段スキュー角30°付近でコ ギングの6次~16次成分の低減し、スロットコ� �ング推力と可動子の端効果によって生じる� �ギング推力とを同時に低減することができ� �。

 なお、本実施の形態では、ティースの先� ��部を6段スキュー構造としたが、ティースの 先端部をA方向の中心線に対して線対称とな� �ようにすれば、さらに多段のスキュー構造� �してもよい。また、図32に示すように、電機 子コア262の各ティース264の先端部をA方向の� �心線に対して線対称になるように斜めスキ� �ー構造としてもよい。図32において、ティー ス264の先端部の張り出し部の輪郭線はA方向� �対して略傾斜し、かつ、A方向の中心線に対� ��て線対称である。このような構成によって� ��さらに段スキュー角30°~45°の領域でコギン� ��の6次~16次成分の低減が大きくなるという効 果が得られる。

 また、本実施の形態では、全てのティー� ��の先端部を同一ものとして電機子コアを構� ��しているが、実施の形態11で説明したよう� �摺動方向の両端に位置する2つのティースの� ��端部のそれぞれ外側のみに段スキューを設� ��ない構成にしてもよい。図33に6段スキュー� ��造で、摺動方向の両端に位置する2つのティ ース275,276の先端部のそれぞれ外側のみに段� �キューを設けない電機子コア272の斜視図を� �す。このような構成によって、全てのティ� �スの先端部に同じようにスキューを設けた� �成に比べ、さらにコギング推力が低減し、� �にコギング推力の2次成分を低減することが� ��きる。

 また、実施の形態12で説明したような摺� �方向の両端に位置する2つのティースの先端� ��のそれぞれ外側のみにスキュー構造を設け� ��、かつ、張り出し部の形状をマイナスの突� ��である切り欠いた形状にしてもよい。図34� �斜めスキュー構造で、摺動方向の両端に位� �する2つのティース285,286の先端部のそれぞれ 外側のみに張り出し部の形状を切り欠いた電 機子コア282の斜視図を示す。このような構成 によって、全てのティースの先端部に同じよ うにスキューを設けた構成に比べ、さらにコ ギング推力が低減し、特にコギング推力の2� �成分を低減することができる。

 なお、各実施の形態1~11において、ティー スの先端部の張り出し部の形状をプラスの突 部として例示しているが、図35に示すように� ��ィース94の先端部の張り出し部の形状をマ� �ナスの突部である切り欠いた形状95にしても 同様の効果を得ることができる。例えば、電 機子コアの摺動方向の両端に設けられたティ ースの先端部における摺動方向の外側の一部 を切り欠いた構造とし、隣り合うコアブロッ ク間を切り欠いた形状と同一としてもよい。

 また、いずれの実施の形態においても、4 極6ティースの組合せで例示しているが、い� �れの極数・ティース数の組合せであっても� �発明を適用することが出来る。

 さらに、永久磁石の磁極面が1平面で形成 される対向型リニアモータを例示しているが 、図36に示したような可動子121の両側に固定� ��111が備えられ、磁極面が2平面で形成された タイプの相殺型リニアモータ100にも本発明を 適用することができる。