EMPILEMENT DE COUCHES MINCES à BASSE éMISSIVITé

("LOW-E")

L'invention concerne un système de couches à faible émissivité ("Low-E") et haute résistance thermique pour des substrats transparents, en particulier pour des vitres, qui présente dans l'ordre un revêtement antireflet inférieur, constitué d'une couche ou de plusieurs couches partielles, une couche fonctionnelle à base d'argent, un revêtement barrière au-dessus de la couche fonctionnelle, un revêtement antireflet supérieur constitué d'une couche ou de plusieurs couches partielles et un revêtement de recouvrement constitué d'une couche ou de plusieurs couches partielles, les couches étant déposées par pulvérisation sous vide.

Par systèmes de couches à haute résistance thermique, on entend des systèmes de couches qui résistent sans être détruits aux températures d'environ 600 à 750 ⁰ C nécessaires pour une opération de bombage ou de trempe du verre et sans que leurs propriétés essentielles, à savoir une transmission élevée dans la plage visible du spectre, une réflexion élevée dans la plage du rayonnement thermique, une faible dispersion, une haute neutralité de la teinte, une haute résistance mécanique et une haute résistance chimique soient compromises.

On connaît différents modes de réalisation de systèmes de couches à haute résistance thermique. Dans un premier groupe de systèmes de couches à haute résistance thermique, les couches antireflets sont constituées de Si ₃ N ₄ qui sont séparées de la couche fonctionnelle en argent par une mince couche de métal sacrifié en NiCr. Des systèmes de couches qui présentent ces structures sont décrits par exemple dans les documents EP 0 567 735 Bl, EP 0 717 014 Bl, EP 0 771 766 Bl, EP 0 646 551 Bl et EP 0 796 825 Bl. Ces systèmes de couches sont très stables thermiquement, mais

leur fabrication est rendue très coûteuse par les problèmes connus que pose la pulvérisation.

Comme la plupart des couches oxydées peuvent être pulvérisées avec moins de problème que les couches nitrurées et que leur fabrication est plus économique, les systèmes de couches constitués au moins en partie de couches oxydées sont avantageux. Parmi les systèmes de couches de ce type, on connaît différents systèmes de couches dans lesquels au moins une couche antireflet ou une couche partielle d'un revêtement antireflet est constituée d'oxydes mixtes d'un alliage de titane. Cette couche antireflet oxydée est en général réalisée par pulvérisation réactive d'une cible constituée d'un alliage de titane.

Par le document EP 0 718 250 Bl, on connaît des systèmes de couches aptes à être trempés, qui présentent des couches antireflet à base d'oxyde, de nitrure ou de carbure, dans lesquels une couche métallique barrière est disposée sur la couche fonctionnelle en argent et peut être constituée de Nb, Ta, Ti, Cr ou Ni ou encore d'un alliage d'au moins deux de ces métaux. Dans ce cas, la couche barrière sera cependant constituée de préférence de NbTa, NbCr, TaCr ou NiCr.

Un système de couches à haute résistance thermique du type indiqué au début, qui présente une couche barrière à base d'un alliage de titane, est également divulgué par le document DE 10 235 154 B4. Dans ce système de couches, la couche barrière située au-dessus de la couche d'argent contient de l'hydrogène lié chimiquement et est constituée de Ti ou d'un alliage de Ti et de Zn et/ou Al. Dans ce système, le revêtement de recouvrement est constitué de ZnO:Al / TiO ₂ , ZnO:Al / Ti, Zn _x Sn _y O _z / TiO ₂ , Zn _x Sn _y O _z / Ti, Zn _x Ti _y Al _z O _r , Ti _x Al _y O _z , Ti _x Al _y , Ti _x Al _y N _z , Ti _x Al _y O _z N _r , TiN, Ti, Zn _x Sn _y Sb _z O _r / TiO ₂ , Zn _x Sn _y Sb _z O _r / Ti ou Zn _x Sn _y Al _z O _r / TiO ₂ .

Un système de couches à haute résistance thermique est également décrit dans le document EP 1 060 140 Bl. Dans ce

système de couches, la couche fonctionnelle contient un alliage d'argent qui contient comme composants Al, Ti, W, Ta, Zr, Hf, Ce, V, Ni, Cr, Zn ou Nb ou encore un mélange de ces métaux. Au-dessus de cette couche fonctionnelle est disposée une couche barrière en Nb ou en un alliage ou mélange de Ni et Cr.

Le document DE 196 40 800 Al (= EP 0 834 483) décrit un système de couches thermiquement isolant et à haute résistance thermique dans lequel une couche barrière métallique, par exemple en Al, CrNi, Ti ou Ta, est disposée sur la couche fonctionnelle, une couche intermédiaire diélectrique constituée d'un oxyde, nitrure ou oxynitrure d'un autre métal que celui de la couche barrière, en particulier Ti, Ta, Zr, Al ou Si ou un mélange de ces métaux, étant disposée sur cette couche barrière.

Par le document DE 101 05 199, on connaît une structure de couches à haute résistance thermique dans laquelle une couche en nitrure métallique, par exemple Si ₃ N ₄ ou AlN, est disposée entre la couche fonctionnelle en argent et la couche métallique barrière en Cr, Ni, Al, Ti, Mg, Mn, Si, Zn ou Cu ou en un alliage de ces métaux.

Parmi les systèmes de couches qui ne sont pas à haute résistance thermique, c'est-à-dire qui ne conviennent pas pour des substrats en verre qui doivent être bombés à haute température et/ou trempés thermiquement avec leur revêtement, on en connaît qui présentent une ou plusieurs couches individuelles en un alliage oxydé de titane. Le document DE 101 52 211 Cl décrit par exemple une structure de couches qui contient une couche d'oxyde mixte qui est préparée par pulvérisation cathodique réactive d'une cible d'alliage métallique constituée de 10 à 60 % en poids de Ti, 90 à 40 % en poids de Zn et 0,5 à 8 % en poids d'un ou plusieurs des métaux Al, Ga et Sb. Cette couche d'oxyde mixte peut être une couche antireflet inférieure et/ou supérieure ou une couche partielle de revêtement antireflet

inférieur et/ou supérieur, mais aussi la couche de recouvrement proprement dite.

Par le document EP 0 304 234 Bl, on connaît une structure de couches qui n'a pas une haute résistance thermique, pour une vitre, dans laquelle la couche barrière est réalisée en titane et dans laquelle plusieurs couches d'oxyde métallique sont disposées au-dessus de la couche métallique barrière, une couche constituée d'un oxyde de Ti, Zr, Hf ou d'un mélange de ceux-ci étant disposée entre deux couches d'un oxyde de Zn, Sn, In ou Bi ou d'un mélange de ces métaux .

A partir du document DE 195 20 843 Al, on connaît un système de couches qui ne peut être trempé et dans lequel un alliage de titane peut être disposé sur la couche d'argent à titre de couche barrière. Dans ce cas, la couche barrière est une couche métallique ou une couche sous- stoechiométrique d'oxyde d'un mélange de Ti, Cr et Nb.

Le système de couches décrit dans le document DE 103 33 619 B3 fait également partie des systèmes de couches qui ne peuvent être trempés. Dans ce système de couches connu, la couche de recouvrement est une couche d'oxyde mixte de TiZrHfO _x . La couche d'oxyde mixte est déposée par pulvérisation réactive dans une atmosphère de gaz de travail d'Ar et d'02. Comme couches barrière, on utilise des couches de CrNi.

L'invention est basée sur un système de couches à haute résistance thermique qui présente la structure fondamentale indiquée au début. Le problème à la base de l'invention est d'améliorer encore les propriétés de ce système de couches et en particulier d'augmenter encore la transmission dans la plage visible, de diminuer encore la résistance superficielle et donc les valeurs d'émission et d'atteindre des valeurs de réflexion aussi hautes que possible dans la plage du rayonnement thermique.

Selon l'invention, ce problème est résolu avec les caractéristiques mentionnées dans la revendication 1.

Le revêtement barrière comporte ainsi selon l'invention une couche barrière disposée au-dessus et au contact de la couche fonctionnelle qui est une couche métallique ou faiblement nitrurée d'un alliage de titane constitué de 50 à 97 % en poids de Ti et de 3 à 50 % en poids d'un ou de plusieurs des métaux Cr, Fe, Zr et Hf et qui comporte en particulier du chrome.

Si le substrat porteur du système de couche subi après le dépôt du système un traitement thermique du type bombage ou trempe, la couche barrière selon l'invention devient alors au moins partiellement oxydée.

Il s'est avéré que la couche barrière selon l'invention permet une notable amélioration des propriétés, en particulier des valeurs de transmission dans la plage visible du spectre, tout en conservant des valeurs élevées de réflexion dans la plage du rayonnement thermique.

Ces avantages sont atteints en particulier lorsque le revêtement antireflet inférieur comporte une couche de mouillage constituée essentiellement de ZnO à laquelle se raccorde la couche fonctionnelle.

A l'évidence, lors d'un traitement thermique, la couche barrière il se transforme en une couche d'oxyde mixte ou d'oxynitrure mixte particulièrement régulière. Cela est probablement dû au fait que le titane qui constitue le composant principal de l'alliage et les additifs d'alliage Cr, Fe, Zr, Al et Hf ont des enthalpies de formation assez similaires lors de l'oxydation et éventuellement des rayons ioniques comparables pour les étages d'oxydation présents. Ainsi, sur base des valences principales de ces composants d'alliage, les enthalpies de formation sont de -940 à -1 145 kJ / mole et les rayons ioniques des différents oxydes sont de 0,63 à 0,75 â.

Pour préparer la couche barrière, on utilise de préférence des alliages de titane constitués de 55 à 60 % en poids de Ti, 35 à 45 % en poids de Zr et 1 à 5 % en poids de Hf. Le Hf peut ainsi être considéré comme un dopant.

La couche barrière selon 1 ' invention présente de préférence une épaisseur de 1 à 5 nm. Un développement avantageux de l'invention consiste à disposer sur la couche barrière métallique ou faiblement nitrurée une couche barrière supplémentaire sous-oxydée d'une épaisseur de 1 à 3 nm, déposée par pulvérisation d'un alliage de titane.

Dans une variante, le revêtement barrière comporte ainsi une couche supplémentaire sous-oxydée d'un alliage de titane et d'une épaisseur de 1 à 3 nm disposée au-dessus de la couche barrière métallique ou faiblement nitrurée.

L'alliage de titane utilisé pour la couche barrière au contact de la couche fonctionnelle à base d'argent peut également être utilisé de manière particulièrement avantageuse pour la couche de recouvrement ou la couche partielle supérieure du revêtement de recouvrement du système de couches, et ce dans un composé nitruré ou oxynitruré et indépendamment de l'utilisation ou non du revêtement barrière suivant l'invention. Dans ce cas on peut utiliser également l'Ai comme autre métal d'alliage. Lors de l'opération de précontrainte ou de trempe, la couche nitrurée fortement absorbante se convertit en une couche faiblement absorbante et donc exempte de défaut visible. Le composant principal du TiN est en effet complètement oxydé en TiO ₂ , et les autres composants nitrurés, par exemple CrN, ZrN ou AlN, se transformant en des structures d' oxynitruré moins fortement absorbantes. Cette couche nitrurée de recouvrement joue donc le rôle d'un piège à oxygène dans l'opération de traitement thermique, de sorte que moins d'oxygène diffuse dans le système de couches et que la couche barrière proprement dite peut ainsi être plus mince. Ces dispositions

permettent d'améliorer d'autres propriétés des couches, telles que leur dureté et les contraintes dans le système de couches conforme au préambule de la revendication 1.

Le revêtement de recouvrement peut ainsi comporter une couche nitrurée ou oxynitrurée d'un alliage de titane constitué de 50 à 97 % en poids de Ti et de 3 à 50 % en poids d'un ou plusieurs des métaux Cr, Fe, Zr, Al et Hf.

Dans une variante particulière le système de couches à basse émissivité et haute résistance thermique pour substrats transparents, en particulier pour des vitres, selon l'invention comporte une couche inférieure antireflet, oxydée, éventuellement constituée de plusieurs couches partielles, une couche essentiellement constituée de ZnO à laquelle se raccorde une couche fonctionnelle en argent, une couche barrière essentiellement métallique en un alliage de titane disposée au-dessus de la couche d'argent, une couche supérieure antireflet éventuellement constituée de plusieurs couches partielles et une couche de recouvrement éventuellement constituée de plusieurs couches partielles, les couches étant appliquées par pulvérisation sous vide, la couche de barrière disposée au-dessus de la couche fonctionnelle étant une couche métallique ou faiblement nitrurée d'un alliage de titane constitué de 50 à 97 % en poids de Ti et de 3 à 50 % en poids d'un ou de plusieurs des métaux Cr, Fe, Zr et Hf.

Le système de couches selon l'invention peut en particulier présenter les structures avantageuses suivantes : verre / SnO ₂ / ZnO:Al / Zn / Ag / TiZrHfN ₇ / ZnO:Al / Si ₃ N ₄ / ZnSnSbO _x / Zn ₂ TiO ₄ .

verre / SnO ₂ / ZnO:Al / Zn / Ag / TiZrHfN ₇ / ZnO:Al / Si ₃ N ₄ / TiZrHfN _y .

verre / SnO ₂ / ZnO:Al / Zn / Ag / TiZrHfN ₇ / TiCrO _x / ZnO: Al / Si ₃ N ₄ / ZnSnSbO _x / Zn ₂ TiO ₄ .

La présente invention se rapporte aussi, bien sûr, au substrat transparent, plat ou bombé, doté du système de couches selon l'invention, en particulier lorsque le substrat présente la forme d'une vitre trempée thermiquement après le dépôt du système de couches.

Des compositions préférées du système de couches ainsi que les plages d'épaisseurs préférées des couches individuelles ressortent des revendications dépendantes et des exemples de réalisation qui suivent.

L'invention est décrite plus en détail à l'aide de deux exemples de réalisation qui sont comparés à deux exemples comparatifs de l'état de la technique. Comme les dispositions selon l'invention optimisent en particulier les propriétés optiques et énergétiques, l'évaluation de la qualité des couches est basée fondamentalement sur les mesures de la lumière diffusée, de la résistance superficielle et de 1 ' émissivité . Par conséquent, pour évaluer les propriétés des couches, on réalise sur les vitres revêtues les mesures et tests donnés ci-dessous.

A. Mesure de l'épaisseur (d) de la couche d'argent par analyse de fluorescence de rayons X.

B. Mesure de la lumière diffusée (H) en % à l'aide de l'appareil de mesure de lumière diffusée de la firme Gardner .

C. Mesure de la transmission (T) en % à l'aide de l'appareil de mesure de la firme Gardner.

D. Mesure de la résistance électrique superficielle (R) en ω/D à l'aide de l'appareil FPP 5000 Veeco Instr. et de l'appareil de mesure manuelle SQOHM-I.

E. Mesure de l' émissivité (E _n ) en % avec l'appareil de mesure MK2 de la firme Sten Lofring.

Après la mesure de 1 ' émissivité, on calcule les valeurs d ¹ émissivité à l'aide des valeurs de résistance superficielle par la formule E _n = 0,0106 x R (voir H. -J. Glâser : "Dunnfilmtechnologie auf Flachglas", Verlag Karl Hofmann 1999, page 144) et les valeurs de mesure E _n sont comparées aux valeurs calculées E ^* _n . Plus la différence entre les valeurs de mesure E _n et les valeurs calculées E ^* _n est petite, meilleure est la stabilité thermique du système de couches.

Pour chacune des mesures, on utilise des éprouvettes de dimensions 40 x 50 cm découpées dans la partie centrale de vitre revêtue d'une épaisseur de 4 mm. Les éprouvettes sont chauffées à une température de 720 à 730 ⁰ C dans un four de trempe de la firme EFKO type 47067 et ensuite trempées thermiquement par brusque refroidissement à l'air. Toutes les éprouvettes subissent de cette manière la même sollicitation thermique.

II faut par ailleurs indiquer que le système de couches selon l'invention n'atteint ses meilleures valeurs en termes d'isolation thermique, de réflexion de l'infrarouge et de transmission de la lumière sur des vitres qu'après le traitement thermique des substrats sur lesquels il est déposé (trempe) . La couche barrière à la diffusion joue également un rôle essentiel lors des traitements thermiques. Cependant, le système de couches décrit ici peut être utilisé commercialement avec de légers défauts d'isolation thermique et de transmission de lumière même sans avoir été traité thermiquement, et donc en particulier sur des vitres non trempées, sur des vitres en matière synthétique et également sur des films. Les exemples de réalisation ci-après concernent cependant tous l'utilisation du système de couches sur des substrats constitués de vitres en verre trempées thermiquement.

Dans les données de composition des couches individuelles qui suivent, lorsqu'on désigne des teneurs en oxygène par O _x et en azote par N _y , on entend des composés dont le degré

d'oxydation ou de nitruration n'est pas défini de manière claire parce que les couches correspondantes ne sont pas complètement oxydées ou nitrurées. Ces teneurs sont établies de manière connue en soi lors de la production dans les installations de revêtement sous vide par l'intermédiaire du rapport entre l'argon et l'oxygène ou entre l'argon et l'azote. Par exemple, une couche est complètement oxydée ou complètement nitrurée à une teneur >_ 50 % d'O ₂ ou de N ₂ dans le gaz de travail (avec Ar), partiellement oxydée ou partiellement nitrurée à 30 % d'C>2 ou de N ₂ dans le gaz de travail. Une couche est faiblement oxydée ou nitrurée à environ 5 % d'C>2 ou de N ₂ dans le gaz de travail.

Ainsi, dans un même empilement, les valeurs désignées par x et y ne sont pas forcement identique d'une couche à 1' autre .

Exemple comparatif 1

Sur une installation industrielle de revêtement en continu, à l'aide du procédé de pulvérisation cathodique réactive assistée par champ magnétique, on dépose un système de couches à basse émissivité qui correspond à l'état de la technique (DE 102 35 154 B4) sur des vitres en verre flotté d'une épaisseur de 4 mm, les chiffres qui précèdent les symboles chimiques indiquant pour chaque couche l'épaisseur en nm :

verre / 25 SnO ₂ / 9 ZnO:Al / 1,5 Zn / 11,5 Ag / 2 TiAl (TiHi) / 5 ZnO:Al / 30 Si ₃ N ₄ / 3 ZnSnSbO _x / 2 Zn ₂ TiO ₄

Les couches de ZnO:Al sont obtenues par pulvérisation d'une cible métallique de ZnAl à 2 % d'Al. La mince couche de Zn métallique est déposée par pulvérisation du même matériau de cible mais dans des conditions non réactives. La couche barrière disposée sur la couche d'argent est déposée par pulvérisation d'une cible métallique qui contient 64 % en poids de Ti et 36 % en poids d'Al dans un mélange de gaz de

travail d'Ar / H ₂ (90 / 10 % en volume) . Dans TiHi, 1 peut être compris entre 1 et 2, en incluant ces limites.

La couche antireflet supérieure est déposée par pulvérisation réactive d'une cible de Si dans un mélange de gaz de travail d'Ar/N ₂ .

La couche de recouvrement inférieure est réalisée par pulvérisation d'une cible métallique d'un alliage de ZnSnSb à 68 % en poids de Zn, 30 % en poids de Sn et 2 % en poids de Sb dans un gaz de travail Ar / O ₂ , et la couche de recouvrement supérieure (couche finale) est déposée par pulvérisation réactive d'une cible métallique en un alliage de ZnTi à 73 % en poids de Zn et 27 % en poids de Ti.

Après la trempe, les éprouvettes sont optiquement transparentes, mais on observe une lisière légèrement blanche sur les bords. Sur les éprouvettes revêtues trempées de cet exemple comparatif, on détermine les valeurs suivantes:

Epaisseur d de la couche d'argent 11,6 nm

Lumière diffusée H 0,30 %

Transmission T 88,3 %

Résistance superficielle R 4,28 ω / D

Emissivité E _n mesurée 5,5 %

Emissivité E* _n calculée 4,5 % so-

Exemple comparatif 2

Pour poursuivre la comparaison, on étudie une vitre obtenue sur le marché et également trempée thermiquement, dont le système de couches présente la structure suivante :

verre / 12 TiO ₂ / 12 SnO ₂ / 8 Zn:Al / 2 CrNiO _x / 2 CrNiN _y / 11 Ag / 2 CrNiN _y / 2 CrNiO _x / 10 SnO ₂ / 24 Si ₃ N ₄ / 2 SiON _y

Les mesures réalisées sur les éprouvettes trempées thermiquement dans les mêmes conditions que dans l'exemple comparatif 1 donnent les valeurs suivantes:

Epaisseur d de la couche d'argent 11,5 nm Lumière diffusée H 0,25 %

Transmission T 87,2 %

Résistance superficielle R 4,3 ω / D

Emissivité E _n mesurée 5,5 %

Emissivité E* _n calculée 4,6 %

E _n - E* _n 0,9 %

Les éprouvettes trempées sont optiquement transparentes, mais ces éprouvettes présentent également une lisière blanche sur leurs bords. De même que dans l'exemple comparatif 1, la différence entre l' emissivité calculée et 1' emissivité mesurée, de 0,9 %, est relativement élevée.

Exemple de réalisation 1

Sur la même installation de revêtement que pour l'exemple comparatif 1, on prépare un système de couches modifié selon l'invention, qui présente la structure suivante :

verre / 25 SnO ₂ / 9 ZnO:Al / 1,5 Zn / 11,7 Ag / 2,5 TiZrN _y :Hf / 5 ZnO:Al / 30 Si ₃ N ₄ / 3 ZnSnSbO _x / 2 Zn ₂ TiO ₄

La modification par rapport à l'exemple comparatif 1 réside en ce qu'au lieu de la couche barrière qui contient de l'hydrogène, on utilise une couche barrière nitrurée selon l'invention. La cible métallique pour la réalisation de la couche barrière est constituée d'un alliage de 57,6 % en poids de Ti, 41,4 % en poids de Zr et 1,0 % en poids de Hf. La couche barrière est déposée par pulvérisation dans un gaz de travail d'Ar / N ₂ dont la teneur en N ₂ n'est que de 5 % en volume, d'où il résulte une faible nitruration.

Les éprouvettes sont trempées de la même manière que les éprouvettes des exemples comparatifs. Les mesures réalisées

sur les éprouvettes revêtues et trempes donnent les valeurs suivantes :

Epaisseur d de la couche d'argent 11,7 nm

Lumière diffusée H 0,17 %

Transmission T 89,0 %

Résistance superficielle R 3,23 ω / D

Emissivité E _n mesurée 3,6 % (3,2 à 3,8)

Emissivité E* _n calculée 3,4 % so-

Les éprouvettes sont optiquement transparentes sur toute leur surface et sans défaut même dans leurs bordures. Au bon aspect visuel correspond la proportion mesurée de lumière diffusée, qui n'est que de 0,17 %. Pour une même épaisseur de la couche d'Ag, l' emissivité diminue de 5,5 % pour les deux exemples comparatifs à 3,6 %. La différence E _n - E* _n , qui est une mesure de la stabilité thermique du système de couches, est nettement moindre. Dans la couche barrière oxydée par l'opération de chauffage, on peut détecter de l'azote (N) par la méthode SIMS.

Exemple de réalisation 2

Sur la même installation de revêtement que pour l'exemple comparatif 1, on réalise un système de couches modifié selon l'invention, qui présente la structure suivante :

verre / 25 SnO ₂ / 9 ZnO:Al / 1,5 Zn / 11,7 Ag / 2,5 TiZrHfN _y / 7 ZnO:Al / 30 Si ₃ N ₄ / 2 TiZrHfN ₇

Par rapport à l'exemple de réalisation 1, le revêtement de recouvrement constitué de la couche inférieure de recouvrement en ZnSnSbO _x de 3 nm et de la couche supérieure de recouvrement en Zn ₂ TiO ₄ de 2 nm est remplacé par une couche de recouvrement selon l'invention, en nitrure mixte

TiZrHfN _y . Ce nitrure mixte est déposé par pulvérisation dans un mélange de gaz de travail d'Ar / N ₂ à 50 / 50, d'où il résulte un haute degré de nitruration.

Après le traitement de chauffage et de trempe qui a lieu dans les mêmes conditions que pour les exemples précédents, on détermine les valeurs suivantes sur les éprouvettes :

Epaisseur d de la couche d'argent 11,7 nm Lumière diffusée H 0,30 %

Transmission T 88,3 %

Résistance superficielle R 3,6 ω / D

Emissivité E _n mesurée 4,3 % (4,0 à 4,6)

Emissivité E* _n calculée 3,8 %

E _n - E* _n 0,5 %

Les éprouvettes sont de nouveau optiquement transparentes sur toute leur surface et sans défaut, même dans leurs bordures. La différence E _n - E* _n , qui est une mesure de la stabilité thermique du système de couches, est nettement plus petite que les valeurs obtenues pour les exemples comparatifs. La légère diminution de la transmission peut s'expliquer par des résidus des composants absorbants ZrN et HfN dans la couche de recouvrement.

Exemple de réalisation 3

Ce système de couches correspond au système de couches de l'exemple de réalisation 1, mais ici, on dispose directement sur la couche métallique barrière une couche barrière supplémentaire déposée en conditions partiellement oxydantes à partir d'un alliage de titane. Dans ce but, une cible en un alliage de titane qui contient 10 % en poids de Cr s'est avérée convenir particulièrement bien. Le système de couches a la structure suivante:

verre / 25 SnO ₂ / 9 ZnO:Al / 1,5 Zn / 11,5 Ag / 2,5 TiZrHfN _y / 2 TiCrO _x / 5 ZnO:Al / 30 Si ₃ N ₄ / 3 ZnSnSbO _x / 2 Zn ₂ TiO ₄

Les mesures effectuées sur les éprouvettes trempées donnent les mêmes valeurs que dans l'exemple de réalisation 1. La dispersion des valeurs d' emissivité est notablement améliorée; alors que dans l'exemple de réalisation 1, on

mesure des valeurs comprises entre 3,2 et 3,8 %, les valeurs mesurées sur cet exemple de réalisation 3 sont de 3,5 % et 3,6 %.