以下、図面に基づいて本発明の実施の形� ��を説明する。なお、以下の図面において同� ��または相当する部分には同一の参照番号を� ��し、その説明は繰返さない。

 (実施の形態1)
 まず、本発明の一実施の形態である実施の� ��態1について説明する。

 図1を参照して、深溝玉軸受1は、環状の� �輪11と、外輪11の内側に配置された環状の内� ��12と、外輪11と内輪12との間に配置され、円� ��状の保持器14に保持された転動体としての� �数の玉13とを備えている。外輪11の内周面に� ��外輪転走面11Aが形成されており、内輪12の� �周面には内輪転走面12Aが形成されている。� �して、内輪転走面12Aと外輪転走面11Aとが互� �に対向するように、外輪11と内輪12とは配置� ��れている。さらに、複数の玉13は、玉転走� �13Aにおいて内輪転走面12Aおよび外輪転走面11 Aに接触し、かつ保持器14により周方向に所定 のピッチで配置されることにより、円環状の 軌道上に転動自在に保持されている。以上の 構成により、深溝玉軸受1の外輪11および内輪 12は、互いに相対的に回転可能となっている� ��

 ここで、機械部品である外輪11、内輪12お よび玉13は、0.77質量%以上0.85質量%以下の炭素 と、0.01質量%以上0.25質量%以下の珪素と、0.01� ��量%以上0.35質量%以下のマンガンと、0.01質量 %以上0.15質量%以下のニッケルと、3.75質量%以� ��4.25質量%以下のクロムと、4質量%以上4.5質量 %以下のモリブデンと、0.9質量%以上1.1質量%以 下のバナジウムとを含有し、残部鉄および不 純物からなる鋼から構成されている。そして 、図2を参照して、外輪11、内輪12および玉13� �表面である外輪転走面11A、内輪転走面12Aお� �び玉転走面13Aを含む領域には、窒素濃度が0. 05質量%以上である外輪窒素富化層11B、内輪窒 素富化層12Bおよび玉窒素富化層13Bが形成され ている。さらに、外輪窒素富化層11B、内輪窒 素富化層12Bおよび玉窒素富化層13Bにおける炭 素濃度と窒素濃度との合計値は0.82質量%以上1 .9質量%以下である。ここで、上記不純物は、 鋼の原料に由来するもの、あるいは製造工程 において混入するものなどの不可避的不純物 を含む。

 本実施の形態における機械部品である外� ��11、内輪12および玉13においては、上記適切� ��成分組成を有する鋼からなるとともに、表� ��に形成された外輪転走面11A、内輪転走面12A� ��よび玉転走面13Aを含む領域に窒素濃度が0.05 質量%以上である外輪窒素富化層11B、内輪窒� �富化層12Bおよび玉窒素富化層13Bが形成され� �いる。そして、外輪窒素富化層11B、内輪窒� �富化層12Bおよび玉窒素富化層13Bにおける炭� �濃度と窒素濃度との合計値が適切な範囲で� �る0.82質量%以上1.9質量%以下とされることに� �り、表層部に十分な硬度が付与されるとと� �に、粒界析出物の形成が抑制されている。� �の結果、本実施の形態における機械部品で� �る外輪11、内輪12および玉13は、3.75質量%以上 のクロムを含有する鋼からなるとともに、表 層部に窒素富化層が形成されており、かつ疲 労強度および靭性が十分に確保された機械部 品となっている。また、外輪11、内輪12およ� �玉13を備えた転がり軸受である深溝玉軸受1� �、長寿命な転がり軸受となっている。

 さらに、外輪11、内輪12および玉13に形成� ��れた外輪窒素富化層11B、内輪窒素富化層12B� ��よび玉窒素富化層13Bの厚みは、0.11mm以上で� ��ることが好ましい。これにより、外輪11、� �輪12および玉13に十分な強度が付与される。

 さらに、外輪窒素富化層11B、内輪窒素富� ��層12Bおよび玉窒素富化層13Bは、830HV以上の� �度を有していることが好ましい。これによ� �、外輪11、内輪12および玉13の強度を一層確� �に確保することが可能となる。

 さらに、外輪窒素富化層11B、内輪窒素富� ��層12Bおよび玉窒素富化層13Bを顕微鏡にて観� ��した場合、アスペクト比2以上、長さ7.5μm以 上の鉄の窒化物の数が、一辺150μmの正方形領 域5視野内に1個以下であることが好ましい。� ��れにより、外輪11、内輪12および玉13の疲労� ��度を向上させることができる。

 次に、図3および図4を参照して、本実施� �形態における第1の変形例であるスラストニ� ��ドルころ軸受について説明する。

 図3を参照して、スラストニードルころ軸 受2は、円盤状の形状を有し、互いに一方の� �面が対向するように配置された転動部材と� �ての一対の軌道輪21と、転動部材としての複 数のニードルころ23と、円環状の保持器24と� �備えている。複数のニードルころ23は、一対 の軌道輪21の互いに対向する主面に形成され� ��軌道輪転走面21Aに、その外周面であるころ� ��走面23Aにおいて接触し、かつ保持器24によ� �周方向に所定のピッチで配置されることに� �り円環状の軌道上に転動自在に保持されて� �る。以上の構成により、スラストニードル� �ろ軸受2の一対の軌道輪21は、互いに相対的� �回転可能となっている。

 ここで、図4を参照して、本変形例におけ るスラストニードルころ軸受2の軌道輪21は上 記深溝玉軸受1の外輪11および内輪12に、ニー� ��ルころ23は玉13に該当し、同様の構成を有し ており、同様の効果を奏する。すなわち、機 械部品である軌道輪21およびニードルころ23� �、0.77質量%以上0.85質量%以下の炭素と、0.01質 量%以上0.25質量%以下の珪素と、0.01質量%以上0 .35質量%以下のマンガンと、0.01質量%以上0.15� �量%以下のニッケルと、3.75質量%以上4.25質量% 以下のクロムと、4質量%以上4.5質量%以下のモ リブデンと、0.9質量%以上1.1質量%以下のバナ� ��ウムとを含有し、残部鉄および不純物から� ��る鋼から構成されている。そして、図4を参 照して、軌道輪21およびニードルころ23の表� �である軌道輪転走面21Aおよびころ転走面23A� �含む領域には、窒素濃度が0.05質量%以上であ る軌道輪窒素富化層21Bおよびころ窒素富化層 23Bが形成されている。さらに、軌道輪窒素富 化層21Bおよびころ窒素富化層23Bにおける炭素 濃度と窒素濃度との合計値は0.82質量%以上1.9� ��量%以下である。

 本変形例における機械部品である軌道輪2 1およびニードルころ23においては、上記適切 な成分組成を有する鋼からなるとともに、表 面に形成された軌道輪転走面21Aおよびころ転 走面23Aを含む領域に窒素濃度が0.05質量%以上� ��ある軌道輪窒素富化層21Bおよびころ窒素富� ��層23Bが形成されている。そして、軌道輪窒� ��富化層21Bおよびころ窒素富化層23Bにおける� ��素濃度と窒素濃度との合計値が適切な範囲� ��ある0.82質量%以上1.9質量%以下とされること� ��より、表層部に十分な硬度が付与されると� ��もに、粒界析出物の形成が抑制されている� ��その結果、本変形例における機械部品であ� ��軌道輪21およびニードルころ23は、3.75質量%� ��上のクロムを含有する鋼からなるとともに� ��表層部に窒素富化層が形成されており、か� ��疲労強度および靭性が十分に確保された機� ��部品となっている。また、軌道輪21および� �ードルころ23を備えた転がり軸受であるスラ ストニードルころ軸受2は、長寿命な転がり� �受となっている。

 次に、図5~図9を参照して、本実施の形態� ��おける第2の変形例である等速ジョイントに ついて説明する。

 図5および図6を参照して、等速ジョイン� �3は、軸35に連結されたインナーレース31と、 インナーレース31の外周側を囲むように配置� ��れ、軸36に連結されたアウターレース32と、 インナーレース31とアウターレース32との間� �配置されたトルク伝達用のボール33と、ボー ル33を保持するケージ34とを備えている。ボ� �ル33は、インナーレース31の外周面に形成さ� ��たインナーレースボール溝31Aと、アウター� ��ース32の内周面に形成されたアウターレー� �ボール溝32Aとにボール転走面33Aにおいて接� �して配置され、脱落しないようにケージ34に よって保持されている。

 インナーレース31の外周面およびアウタ� �レース32の内周面のそれぞれに形成されたイ ンナーレースボール溝31Aとアウターレースボ ール溝32Aとは、図3に示すように、軸35および 軸36の中央を通る軸が一直線上にある状態に� ��いて、それぞれ当該軸上のジョイント中心O から当該軸上の左右に等距離離れた点Aおよ� �点Bを曲率中心とする曲線(円弧)状に形成さ� �ている。すなわち、インナーレースボール� �31Aおよびアウターレースボール溝32Aに接触� �て転動するボール33の中心Pの軌跡が、点A(イ ンナーレース中心A)および点B(アウターレー� �中心B)に曲率中心を有する曲線(円弧)となる� ��うに、インナーレースボール溝31Aおよびア� ��ターレースボール溝32Aのそれぞれは形成さ� ��ている。これにより、等速ジョイントが角� ��をなした場合(軸35および軸36の中央を通る� �が交差するように等速ジョイントが動作し� �場合)においても、ボール33は、常に軸35およ び軸36の中央を通る軸のなす角(∠AOB)の2等分� ��上に位置する。

 次に、等速ジョイント3の動作について説 明する。図5および図6を参照して、等速ジョ� ��ント3においては、軸35、36の一方に軸まわ� �の回転が伝達されると、インナーレースボ� �ル溝31Aおよびアウターレースボール溝32Aに� �め込まれたボール33を介して、軸35、36の他� �の軸に当該回転が伝達される。ここで、図7� ��示すように軸35、36が角度θをなした場合、� ��ール33は、前述のインナーレース中心Aおよ� ��アウターレース中心Bに曲率中心を有するイ ンナーレースボール溝31Aおよびアウターレー スボール溝32Aに案内されて、中心Pが∠AOBの� �等分線上となる位置に保持される。ここで� �ジョイント中心Oからインナーレース中心Aま での距離と、アウターレース中心Bまでの距� �とが等しくなるように、インナーレースボ� �ル溝31Aおよびアウターレースボール溝32Aが� �成されているため、ボール33の中心Pからイ� �ナーレース中心Aおよびアウターレース中心B までの距離はそれぞれ等しく、三角形OAPと三 角形OBPとは合同である。その結果、ボール33� ��中心Pから軸35、36までの距離Lは互いに等し� ��なり、軸35、36の一方が軸まわりに回転した 場合、他方も等速で回転する。このように、 等速ジョイント3は、軸35、36が角度をなした� ��合でも、等速性を確保することができる。� ��お、ケージ34は、軸35、36が回転した場合に� ��インナーレースボール溝31Aおよびアウター� ��ースボール溝32Aからボール33が飛び出すこ� �をインナーレースボール溝31Aおよびアウタ� �レースボール溝32Aとともに防止すると同時� �、等速ジョイント3のジョイント中心Oを決定 する機能を果たしている。

 ここで、本変形例における等速ジョイン� ��3のインナーレース31およびアウターレース3 2は上記深溝玉軸受1の外輪11および内輪12に、 ボール33は玉13に該当し、同様の構成を有し� �おり、同様の効果を奏する。すなわち、機� �部品であるインナーレース31、アウターレー ス32およびボール33は、0.77質量%以上0.85質量%� ��下の炭素と、0.01質量%以上0.25質量%以下の珪 素と、0.01質量%以上0.35質量%以下のマンガン� �、0.01質量%以上0.15質量%以下のニッケルと、3 .75質量%以上4.25質量%以下のクロムと、4質量%� ��上4.5質量%以下のモリブデンと、0.9質量%以� �1.1質量%以下のバナジウムとを含有し、残部� ��および不純物からなる鋼から構成されてい� ��。そして、図8および図9を参照して、イン� �ーレース31、アウターレース32およびボール3 3の表面に形成されたインナーレースボール� �31Aの表面、アウターレースボール溝32Aの表� �およびボール転走面33Aを含む領域には、窒� �濃度が0.05質量%以上であるインナーレース窒 素富化層31B、アウターレース窒素富化層32Bお よびボール窒素富化層33Bが形成されている。 さらに、インナーレース窒素富化層31B、アウ ターレース窒素富化層32Bおよびボール窒素富 化層33Bにおける炭素濃度と窒素濃度との合計 値は0.82質量%以上1.9質量%以下である。

 本変形例における機械部品であるインナ� ��レース31、アウターレース32およびボール33� ��おいては、上記適切な成分組成を有する鋼� ��らなるとともに、表面に形成されたインナ� ��レースボール溝31Aの表面、アウターレース� ��ール溝32Aの表面およびボール転走面33Aを含� ��領域に窒素濃度が0.05質量%以上であるイン� �ーレース窒素富化層31B、アウターレース窒� �富化層32Bおよびボール窒素富化層33Bが形成� �れている。そして、インナーレース窒素富� �層31B、アウターレース窒素富化層32Bおよび� �ール窒素富化層33Bにおける炭素濃度と窒素� �度との合計値が適切な範囲である0.82質量%以 上1.9質量%以下とされることにより、表層部� �十分な硬度が付与されるとともに、粒界析� �物の形成が抑制されている。その結果、本� �形例における機械部品であるインナーレー� �31、アウターレース32およびボール33は、3.75� ��量%以上のクロムを含有する鋼からなるとと もに、表層部に窒素富化層が形成されており 、かつ疲労強度および靭性が十分に確保され た機械部品となっている。また、インナーレ ース31、アウターレース32およびボール33を備 えた自在継手である等速ジョイント3は、長� �命な等速自在継手となっている。

 次に、上記本発明の実施の形態1における 機械部品、および上記機械部品を備えた転が り軸受、等速ジョイントなどの機械要素の製 造方法について説明する。

 図10を参照して、まず、0.77質量%以上0.85� �量%以下の炭素と、0.01質量%以上0.25質量%以下 の珪素と、0.01質量%以上0.35質量%以下のマン� �ンと、0.01質量%以上0.15質量%以下のニッケル� ��、3.75質量%以上4.25質量%以下のクロムと、4� �量%以上4.5質量%以下のモリブデンと、0.9質量 %以上1.1質量%以下のバナジウムとを含有し、� ��部鉄および不純物からなる鋼からなり、機� ��部品の概略形状に成形された鋼部材を準備� ��る鋼部材準備工程が実施される。具体的に� ��、たとえば、上記成分を含有する棒鋼、鋼� ��などを素材とし、当該棒鋼、鋼線などに対� ��て切断、鍛造、旋削などの加工が実施され� ��ことにより、機械部品としての外輪11、軌� �輪21、インナーレース31などの機械部品の概� ��形状に成形された鋼部材が準備される。

 次に、鋼部材準備工程において準備され� ��上述の鋼部材に対して、焼入処理および窒� ��処理を含む熱処理を行なう熱処理工程が実� ��される。この熱処理工程の詳細については� ��述する。

 次に、熱処理工程が実施された鋼部材に� ��して、仕上げ加工などが施される仕上げ工� ��が実施される。具体的には、たとえば、熱� ��理工程が実施された鋼部材の内輪転走面12A� ��軌道輪転走面21A、アウターレースボール溝3 2Aなどに対する研磨加工が実施される。これ� ��より、本実施の形態における機械部品は完� ��し、本実施の形態における機械部品の製造� ��法は完了する。

 さらに、完成した機械部品が組合わされ� ��機械要素が組立てられる組立て工程が実施� ��れる。具体的には、上述の工程により製造� ��れた本発明の機械部品である、たとえば外� ��11、内輪12、玉13と保持器14とが組合わされ� �、深溝玉軸受1が組立てられる。これにより� ��本発明の機械部品を備えた機械要素が製造� ��れる。

 次に、図11を参照して、上述の熱処理工� �の詳細について説明する。図11において、横 方向は時間を示しており右に行くほど時間が 経過していることを示している。また、図11� ��おいて、縦方向は温度を示しており上に行� ��ほど温度が高いことを示している。

 図11を参照して、本実施の形態における機� �部品の製造方法の熱処理工程においては、� �ず、被処理物としての鋼部材が焼入処理さ� �る焼入工程が実施される。具体的には、鋼� �材が減圧雰囲気中(真空中)または塩浴中でA ₁ 変態点以上の温度である温度T ₁ に加熱され、時間t ₁ の間保持された後、A ₁ 変態点以上の温度からM _S 点以下の温度に冷却されることにより、鋼部 材が焼入処理される。

 ここで、A ₁ 点とは鋼を加熱した場合に、鋼の組織がフェ ライトからオーステナイトに変態を開始する 温度に相当する点をいう。また、M _s 点とはオーステナイト化した鋼が冷却される 際に、マルテンサイト化を開始する温度に相 当する点をいう。

 次に、焼入処理が実施された鋼部材に対し� ��焼戻処理を行なう第1焼戻工程が実施される 。具体的には、たとえば鋼部材が真空中でA ₁ 変態点未満の温度である温度T ₂ に加熱され、時間t ₂ の間保持された後、冷却されることにより鋼 部材が焼戻処理される。これにより、鋼部材 の焼入処理による残留応力を緩和し、熱処理 によるひずみが抑制される等の効果が得られ る。

 次に、第1焼戻工程が実施された鋼部材に対 し、サブゼロ処理を行なうサブゼロ工程が実 施される。具体的には、鋼部材がたとえば液 体窒素を噴霧されて0℃未満の温度である温� �T ₃ に冷却され、時間t ₃ の間保持されることによりサブゼロ処理され る。これにより、鋼部材の焼入処理により生 成した残留オーステナイトがマルテンサイト に変態し、鋼の組織が安定化する等の効果が 得られる。

 次に、サブゼロ工程が実施された鋼部材に� ��し、焼戻処理を行なう第2焼戻工程が実施さ れる。具体的には、たとえば鋼部材が真空中 でA ₁ 変態点未満の温度である温度T ₄ に加熱され、時間t ₄ の間保持された後、冷却されることにより焼 戻処理される。これにより、鋼部材のサブゼ ロ処理による残留応力が緩和され、ひずみが 抑制される等の効果が得られる。

 次に、第2焼戻工程が実施された鋼部材に対 し、再度焼戻処理を行なう第3焼戻工程が実� �される。具体的には、たとえば上記第2焼戻� ��程と同様に鋼部材が真空中でA ₁ 変態点未満の温度である温度T ₅ に加熱され、時間t ₅ の間保持された後、冷却されることにより、 焼戻処理される。ここで、温度T ₅ およびt ₅ は第2焼戻工程の温度T ₄ およびt ₄ と同様の条件とすることができる。これによ り、第2焼戻工程と同様に、鋼部材のサブゼ� �処理による残留応力を緩和し、ひずみが抑� �される等の効果が得られる。なお、第2焼戻� ��程および第3焼戻工程は、1つの工程で実施� �てもよい。

 次に、第3焼戻工程が実施された鋼部材に対 し、プラズマ窒化処理を行なうプラズマ窒化 工程が実施される。具体的には、たとえば圧 力50Pa以上5000Pa以下となるように窒素(N ₂ )と、水素(H ₂ )、メタン(CH ₄ )およびアルゴン(Ar)からなる群から選択され� ��少なくともいずれか1つ以上とが導入された プラズマ窒化炉に、鋼部材が挿入され、放電 電圧50V以上1000V以下、放電電流0.001A以上100A以 下の条件下で温度T ₆ に加熱されて時間t ₆ の間保持された後、冷却されることにより鋼 部材がプラズマ窒化処理される。これにより 、鋼部材の表層部に窒素が侵入して窒素富化 層が形成され、当該表層部の強度が向上する 。ここで、温度T ₆ は、たとえば300℃以上550℃以下、時間t ₆ は1時間以上80時間以下とすることができる。 この温度T ₆ 、時間t ₆ などの熱処理条件は、仕上げ工程で実施され る仕上げ加工における取りしろを考慮し、プ ラズマ窒化処理において形成される粒界析出 物層の厚みが、仕上げ加工において除去可能 な厚みとなるように決定することができる。

 なお、鋼部材を構成する鋼がAMS規格6490(AISI� ��格M50)である場合、プラズマ窒化工程におけ る上記圧力は50Pa以上1000Pa以下、放電電圧は50 V以上600V以下、放電電流は0.001A以上300A以下、 温度T ₆ は350℃以上450℃以下、時間t ₆ は1時間以上50時間以下とすることが好ましい 。

 次に、プラズマ窒化工程が実施された鋼部� ��に対し、拡散処理を行なう拡散工程が実施� ��れる。具体的には、たとえば真空中で温度T ₇ に加熱され、時間t ₇ の間保持されることにより鋼部材が拡散処理 される。ここで、温度T ₇ は、300℃以上480℃以下、好ましくは300℃以上 430℃以下、時間t ₇ は50時間以上300時間以下とすることができる� ��これにより、窒化層形成による表層部の硬� ��上昇が相殺されることを抑制しつつ、鋼に� ��入した窒素を所望の領域にまで到達させる� ��とができる。そして、この拡散工程を実施� ��ることにより、プラズマ窒化工程において� ��素が侵入する深さを、仕上げ加工での粒界� ��出物層の除去が可能な範囲にとどめても、� ��に侵入した窒素を所望の領域にまで到達さ� ��ることができる。以上の工程により、本実� ��の形態における熱処理工程は完了する。

 以上のように、本実施の形態における鋼� ��熱処理方法によれば、3.75質量%以上のクロ� �を含有する鋼の表層部を窒化処理して高硬� �な窒素富化層を形成するとともに、拡散処� �により粒界析出物の発生を抑制することが� �きる。

 また、上記実施の形態における機械部品� ��製造方法によれば、3.75質量%以上のクロム� �含有する鋼からなり、表層部が窒化処理さ� �て高硬度な窒素富化層が形成されるととも� �、粒界析出物の発生が抑制された機械部品(� ��輪11、軌道輪21、インナーレース31など)を製 造することができる。その結果、上述のよう に、本実施の形態における機械部品(外輪11、 軌道輪21、インナーレース31など)の表面(外輪 転走面11A、軌道輪転走面21A、インナーレース ボール溝31Aの表面など)を含む領域に窒素濃� �が0.05質量%以上、炭素濃度と窒素濃度との合 計値が0.82質量%以上1.9質量%以下である厚み0.1 1mm以上、硬度830HV以上の窒素富化層を形成す� ��とともに、当該窒素富化層を表面に垂直な� ��面で切断し、当該断面を光学顕微鏡またはS EMを用いて、表面を含む一辺150μmの正方形の� ��野をランダムに5視野観察した場合、粒界析 出物の検出数を1個以下とすることができる� �ここで、窒素富化層における炭素濃度およ� �窒素濃度は、たとえばプラズマ窒化工程に� �いて実施されるプラズマ窒化の処理時間、� �よび拡散工程において実施される拡散処理� �処理時間を調整することにより、コントロ� �ルすることができる。

 (実施の形態2)
 次に、図12を参照して、本発明の一実施の� �態である実施の形態2におけるターボファン� ��ンジンの構成について説明する。

 図12を参照して、ターボファンエンジン70 は、圧縮部71と、燃焼部72と、タービン部73と を備えている。そして、ターボファンエンジ ン70は、圧縮部71から、燃焼部72を通り、ター ビン部73に至るように配置された、低圧主軸7 4と、低圧主軸74の外周面を取り囲むように配 置された高圧主軸77とを備えている。

 圧縮部71は、低圧主軸74に接続され、低圧 主軸74から径方向外側に突出するように形成� ��れた複数のファンブレード75Aを有するファ� ��75と、ファン75の外周側を取り囲むとともに 燃焼部72に向けて延在するファンナセル76と� �ファン75から見て燃焼部72側に配置されたコ� ��プレッサ81とを含んでいる。コンプレッサ81 は、低圧コンプレッサ81Aと、低圧コンプレッ サ81Aから見て燃焼部72側に配置される高圧コ� ��プレッサ81Bとを有している。低圧コンプレ� ��サ81Aは、低圧主軸74に接続され、低圧主軸74 側から径方向外側に向けて突出し、かつファ ン75側から燃焼部72に近づく方向に並べて配� �される複数のコンプレッサブレード88を有し ている。また、高圧コンプレッサ81Bは、高圧 主軸77に接続され、高圧主軸77側から径方向� �側に向けて突出し、かつファン75側から燃焼 部72に近づく方向に並べて配置される複数の� ��ンプレッサブレード88を有している。さら� �、低圧コンプレッサ81Aの外周側を取り囲む� �うに、コアカウル78が配置されている。この コアカウル78とファンナセル76との間の環状� �空間は、バイパス流路79を構成する。

 燃焼部72は、圧縮部71の高圧コンプレッサ 81Bに接続され、燃料供給部材および点火部材 (図示しない)を有する燃焼室82を含んでいる� �タービン部73は、高圧タービン83Bと、高圧タ ービン83Bから見て燃焼部72とは反対側に配置� ��れる低圧タービン83Aとを有するタービン83� �含んでいる。さらに、低圧タービン83Aから� �て高圧タービン83Bとは反対側には、タービ� �83内の燃焼ガスを外部に排出するタービンノ ズル84が配置されている。低圧タービン83Aは� ��低圧主軸74に接続され、低圧主軸74側から径 方向外側に向けて突出し、かつ燃焼室82側か� ��タービンノズル84に近づく方向に並べて配� �される複数のタービンブレード87を有してい る。また、高圧タービン83Bは、高圧主軸77に� ��続され、高圧主軸77側から径方向外側に向� �て突出し、かつ燃焼室82側からタービンノズ ル84に近づく方向に並べて配置される複数の� ��ービンブレード87を有している。

 そして、主軸または当該主軸の回転を受� ��て回転する部材である回転部材としての低� ��主軸74および高圧主軸77は、転がり軸受89に� ��り、低圧主軸74および高圧主軸77に隣接して 配置される部材に対して回転自在に支持され ている。すなわち、転がり軸受89は、ガスタ� ��ビンエンジンであるターボファンエンジン7 0の内部において、主軸または当該主軸の回� �を受けて回転する部材である回転部材とし� �の低圧主軸74または高圧主軸77を、低圧主軸7 4または高圧主軸77に隣接する部材に対して回 転自在に支持している。

 次に、本実施の形態におけるターボファ� ��エンジン70の動作について説明する。図12を 参照して、ファン75から見て燃焼部72とは反� �側、すなわちターボファンエンジン70の前方 側の空気は、低圧主軸74の軸周りに回転する� ��ァン75により、ファンナセル76に囲まれる空 間に取り込まれる(矢印α)。取り込まれた空� �の一部は、矢印βに沿った方向に流れ、バイ パス流路79を通って空気噴流として外部に排� ��される。この空気噴流は、ターボファンエ� ��ジン70によって発生される推力の一部とな� �。

 一方、ファンナセル76に囲まれる空間に� �り込まれた空気の残部は、矢印γに沿ってコ ンプレッサ81の内部に流入する。コンプレッ� ��81の内部に流入した空気は、低圧主軸74の軸 周りに回転する複数のコンプレッサブレード 88を有する低圧コンプレッサ81Aの内部を高圧� ��ンプレッサ81Bに向けて流れることにより圧� ��され、高圧コンプレッサ81Bに流入する。さ� ��に、高圧コンプレッサ81Bに流入した空気は� ��高圧主軸77の軸周りに回転する複数のコン� �レッサブレード88を有する高圧コンプレッサ 81Bの内部を燃焼室82に向けて流れることによ� ��さらに圧縮され、燃焼室82に流入する(矢印� �)。

 コンプレッサ81において圧縮され、燃焼� �82に流入した空気は、燃料供給部材(図示し� �い)により燃焼室内に供給された燃料と混合� ��れた上で、点火部材(図示しない)により点� �される。これにより、燃焼ガスが燃焼室82内 に発生する。この燃焼ガスは、燃焼室82から� ��出し、タービン83内に流入する(矢印ε)。

 タービン83内に流入した燃焼ガスは、高� �タービン83B内において、高圧主軸77に接続さ れたタービンブレード87に衝突することによ� ��、高圧主軸77を軸周りに回転させる。これ� �より、高圧主軸77に接続されたコンプレッサ ブレード88を有する高圧コンプレッサ81Bが駆� ��される。さらに、高圧タービン83B内を通過� ��た燃焼ガスは、低圧タービン83A内において� ��低圧主軸74に接続されたタービンブレード87 に衝突することにより、低圧主軸74を軸周り� ��回転させる。これにより、低圧主軸74に接� �されたコンプレッサブレード88を有する低圧 コンプレッサ81Aと、低圧主軸74に接続された� ��ァンブレード75Aを有するファン75とが駆動� �れる。

 そして、低圧タービン83A内を通過した燃� ��ガスは、タービンノズル84から外部へと排� �される。この排出される燃焼ガスの噴流は� �ターボファンエンジン70によって発生される 推力の一部となる。

 ここで、ターボファンエンジン70の内部� �おいて、低圧主軸74または高圧主軸77を、低� ��主軸74または高圧主軸77に隣接する部材に対 して回転自在に支持する転がり軸受89は、タ� ��ボファンエンジン70において発生する熱の� �響により、高温環境下で使用される。また� �転がり軸受89の内部には、金属粉やカーボン 粉などの硬質の異物が侵入するおそれがある 。そのため、転がり軸受89には、高温環境下� ��おける軸受部品の硬度低下の抑制および異� ��混入環境における耐久性の向上が求められ� ��。また、低圧主軸74または高圧主軸77の高速 回転を支持するため、スミアリングの発生を 抑制する必要がある。さらに、ターボファン エンジン70が航空機に装備される場合、何ら� ��の原因で転がり軸受89の潤滑が一時的に遮� �された場合でも、当該潤滑が回復するまで� �間、焼き付くことなく低圧主軸74または高圧 主軸77を回転自在に支持し続けるドライラン� ��能が転がり軸受89には求められる。

 これに対し、転がり軸受89が、以下に説� �する本発明の実施の形態2における転がり軸� ��であることにより、上記要求を満たすこと� ��できる。

 図13を参照して、3点接触玉軸受4は、基本 的には実施の形態1における深溝玉軸受1と同� ��の構成を有し、同様の効果を奏する。すな� ��ち、3点接触玉軸受4は、軌道部材である環� �の外輪41と、外輪41の内側に配置された軌道� ��材である環状の内輪42と、外輪41と内輪42と� ��間に配置され、円環状の保持器44に保持さ� �た転動体としての複数の玉43とを備えている 。外輪41の内周面には外輪転走面41Aが形成さ� ��ており、内輪42の外周面には内輪転走面42A� �形成されている。そして、内輪転走面42Aと� �輪転走面41Aとが互いに対向するように、外� �41と内輪42とは配置されている。内輪42は、� �1内輪421と第2内輪422とを含んでおり、軸方向 中央部において分割された構造を有している 。第1内輪421および第2内輪422の外周面には、� ��れぞれ第1内輪転走面421Aおよび第2内輪転走� ��422Aが形成されている。この第1内輪転走面42 1Aおよび第2内輪転走面422Aは、内輪転走面42A� �構成する。さらに、複数の玉43は、外周面で ある玉転走面43Aにおいて、第1内輪転走面421A� ��第2内輪転走面422Aおよび外輪転走面41Aに接� �可能となっており、かつ保持器44により周方 向に所定のピッチで配置されることにより、 円環状の軌道上に転動自在に保持されている 。以上の構成により、3点接触玉軸受4の外輪4 1および内輪42は、互いに相対的に回転可能と なっている。

 ここで、軌道部材である外輪41および内� �42は、0.77質量%以上0.85質量%以下の炭素と、0. 01質量%以上0.25質量%以下の珪素と、0.01質量%� �上0.35質量%以下のマンガンと、0.01質量%以上0 .15質量%以下のニッケルと、3.75質量%以上4.25� �量%以下のクロムと、4質量%以上4.5質量%以下� ��モリブデンと、0.9質量%以上1.1質量%以下の� �ナジウムとを含有し、残部鉄および不純物� �らなる鋼から構成されている。そして、図13 を参照して、外輪41および内輪42の表面であ� �外輪転走面41Aおよび内輪転走面42Aを含む領� �には、窒素濃度が0.05質量%以上である外輪窒 素富化層41Bおよび内輪窒素富化層42Bが形成さ れている。さらに、外輪窒素富化層41Bおよび 内輪窒素富化層42Bにおける炭素濃度と窒素濃 度との合計値は0.82質量%以上1.9質量%以下であ る。ここで、上記不純物は、鋼の原料に由来 するもの、あるいは製造工程において混入す るものなどの不可避的不純物を含む。

 さらに、転動体である玉43はセラミックス� �らなっている。より具体的には、本実施の� �態においては、玉43は、窒化珪素を主成分と し、残部不純物からなる焼結体からなってい る。なお、当該焼結体は、酸化アルミニウム (Al ₂ O ₃ )、酸化イットリウム(Y ₂ O ₃ )などの焼結助剤を含んでいてもよい。

 本実施の形態における3点接触玉軸受4の� �道部材である外輪41および内輪42においては� ��上記適切な成分組成を有する鋼からなると� ��もに、表面に形成された外輪転走面41Aおよ� ��内輪転走面42Aを含む領域に窒素濃度が0.05質 量%以上である外輪窒素富化層41Bおよび内輪� �素富化層42Bが形成されている。そして、外� �窒素富化層41Bおよび内輪窒素富化層42Bにお� �る炭素濃度と窒素濃度との合計値が適切な� �囲である0.82質量%以上1.9質量%以下とされる� �とにより、表層部に十分な硬度が付与され� �とともに、粒界析出物の形成が抑制されて� �る。その結果、本実施の形態における軌道� �材である外輪41および内輪42は、3.75質量%以� �のクロムを含有する鋼からなるとともに、� �層部に窒素富化層が形成されており、かつ� �労強度および靭性が十分に確保された軸受� �品となっている。

 さらに、本実施の形態における3点接触玉 軸受4においては、転動体である玉43がセラミ ックスからなっている。これにより、スミア リングの発生が抑制されるとともに、互いに 接触する外輪41および内輪42と玉43とが異種材 料となるため、耐焼付き性が向上する。その 結果、耐スミアリング性の向上と同時に、潤 滑が不十分な環境下における耐久性、たとえ ばドライラン性能の向上が達成される。また 、鋼に比べて硬度の高いセラミックスを玉43� ��素材に採用することにより、異物混入環境� ��おける玉43の耐久性が向上する。さらに、� �43がセラミックスからなることにより、高温 環境下における玉43の硬度低下が抑制される� ��また、玉43がセラミックスからなることに� �り、玉43が鋼からなる場合に比べて玉43が軽� ��化され、玉43に作用する遠心力が低減され� �ため、3点接触玉軸受4は、特に高速回転する 部材を支持する転がり軸受として好適である 。

 以上のように、本実施の形態における3点 接触玉軸受4においては、軌道部材である外� �41および内輪42が3.75質量%以上のクロムを含� �する鋼からなるとともに、転動体である玉43 がセラミックスからなることにより高温環境 下における軸受部品の硬度低下が抑制されて いる。また、適切な成分組成を有する鋼から なる外輪41および内輪42の外輪転走面41Aおよ� �内輪転走面42Aを含む領域に、炭素濃度と窒� �濃度との合計値を適切な範囲とした外輪窒� �富化層41Bおよび内輪窒素富化層42Bを形成す� �とともに、玉43がセラミックスからなること により、異物混入環境における軸受部品の耐 久性が向上している。さらに、鋼からなる外 輪41および内輪42にセラミックスからなる玉43 を組み合わせることにより、耐スミアリング 性の向上とともに、ドライラン性能の向上が 達成されている。その結果、3点接触玉軸受4� ��、高温環境下における軸受部品の硬度低下� ��抑制、異物混入環境における耐久性の向上� ��よび耐スミアリング性の向上のみならず、� ��ライラン性能の向上をも達成した転がり軸� ��となっている。

 次に、図15および図16を参照して、本実施 の形態の変形例である円筒ころ軸受について 説明する。

 図15を参照して、円筒ころ軸受5は、環状� ��外輪51と、外輪51の内側に配置された環状の 内輪52と、外輪51と内輪52との間に配置され、 円環状の保持器54に保持された転動体として� ��複数のころ53とを備えている。ころ53は、円 筒形状を有している。外輪51の内周面には外� ��転走面51Aが形成されており、内輪52の外周� �には内輪転走面52Aが形成されている。そし� �、内輪転走面52Aと外輪転走面51Aとが互いに� �向するように、外輪51と内輪52とは配置され� ��いる。さらに、複数のころ53は、外周面で� �るころ転走面53Aにおいて内輪転走面52Aおよ� �外輪転走面51Aに接触し、かつ保持器54により 周方向に所定のピッチで配置されることによ り、円環状の軌道上に転動自在に保持されて いる。以上の構成により、円筒ころ軸受5の� �輪51および内輪52は、互いに相対的に回転可� ��となっている。

 ここで、図16を参照して、本変形例にお� �る円筒ころ軸受5の外輪51および内輪52は、上 記3点接触玉軸受4の外輪41および内輪42に、こ ろ53は玉43に該当し、同様の構成を有してお� �、同様の効果を奏する。すなわち、軌道部� �である外輪51および内輪52は、0.77質量%以上0. 85質量%以下の炭素と、0.01質量%以上0.25質量%� �下の珪素と、0.01質量%以上0.35質量%以下のマ� ��ガンと、0.01質量%以上0.15質量%以下のニッケ ルと、3.75質量%以上4.25質量%以下のクロムと� �4質量%以上4.5質量%以下のモリブデンと、0.9� �量%以上1.1質量%以下のバナジウムとを含有し 、残部鉄および不純物からなる鋼から構成さ れている。

 そして、図16を参照して、外輪51および内 輪52の表面である外輪転走面51Aおよび内輪転� ��面52Aを含む領域には、それぞれ窒素濃度が0 .05質量%以上である外輪窒素富化層51Bおよび� �輪窒素富化層52Bが形成されている。また、� �輪窒素富化層51Bおよび内輪窒素富化層52Bに� �ける炭素濃度と窒素濃度との合計値は0.82質� ��%以上1.9質量%以下である。

 さらに、転動体であるころ53は、セラミ� �クス、たとえば窒化珪素を主成分とする焼� �体からなっている。

 本変形例における円筒ころ軸受5において は、上記3点接触玉軸受4と同様に、軌道部材� ��ある外輪51および内輪52が3.75質量%以上のク� ��ムを含有する鋼からなるとともに、転動体� ��あるころ53がセラミックスからなることに� �り、高温環境下における軸受部品の硬度低� �が抑制されている。また、適切な成分組成� �有する鋼からなる外輪51および内輪52の外輪� ��走面51Aおよび内輪転走面52Aを含む領域に、� ��素濃度と窒素濃度との合計値を適切な範囲� ��した外輪窒素富化層51Bおよび内輪窒素富化� ��52Bをそれぞれ形成するとともに、ころ53が� �ラミックスからなることにより、異物混入� �境における軸受部品の耐久性が向上してい� �。さらに、鋼からなる外輪51および内輪52に� ��ラミックスからなるころ53を組み合わせる� �とにより、耐スミアリング性の向上ととも� �、ドライラン性能の向上が達成されている� �その結果、円筒ころ軸受5は、高温環境下に� ��ける軸受部品の硬度低下の抑制、異物混入� ��境における耐久性の向上および耐スミアリ� ��グ性の向上のみならず、ドライラン性能の� ��上をも達成した転がり軸受となっている。

 次に、上記本発明の実施の形態2における転 がり軸受の製造方法について説明する。
 図17を参照して、本実施の形態における転� �り軸受の製造方法は、工程(S10)~(S90)を含む軌 道部材作製工程と、工程(S110)~(S150)を含む転� �体作製工程と、工程(S200)として実施される� �立て工程とを備えている。

 まず、軌道部材作製工程について説明す� ��。工程(S10)として実施される鋼部材準備工� �では、0.77質量%以上0.85質量%以下の炭素と、0 .01質量%以上0.25質量%以下の珪素と、0.01質量%� ��上0.35質量%以下のマンガンと、0.01質量%以上 0.15質量%以下のニッケルと、3.75質量%以上4.25� ��量%以下のクロムと、4質量%以上4.5質量%以下 のモリブデンと、0.9質量%以上1.1質量%以下の� ��ナジウムとを含有し、残部鉄および不純物� ��らなる鋼からなり、軌道部材の概略形状に� ��形された鋼部材が準備される。具体的には� ��たとえば、上記成分を含有する棒鋼、鋼線� ��どを素材とし、当該棒鋼、鋼線などに対し� ��切断、鍛造、旋削などの加工が実施される� ��とにより、軌道部材としての外輪41,51、内� �42,52などの概略形状に成形された鋼部材が準 備される。

 次に、工程(S10)において準備された上述� �鋼部材に対して、焼入処理および窒化処理� �含む熱処理を行なう熱処理工程が実施され� �。熱処理工程は、工程(S20)として実施される 焼入工程、工程(S30)として実施される第1焼戻 工程、工程(S40)として実施されるサブゼロ工� ��、工程(S50)として実施される第2焼戻工程、� ��程(S60)として実施される第3焼戻工程、工程( S70)として実施されるプラズマ窒化工程およ� �工程(S80)として実施される拡散工程を含んで いる。この熱処理工程は、上記実施の形態1� �場合と同様に実施することができる。

 次に、熱処理工程が実施された鋼部材に� ��して、仕上げ加工などが施される仕上げ工� ��が工程(S90)として実施される。具体的には� �たとえば、熱処理工程が実施された鋼部材� �外輪転走面41A,51A、内輪転走面42A,52Aなどに対 する研磨加工が実施される。これにより、本 実施の形態における軌道部材は完成し、本実 施の形態における軌道部材作製工程は完了す る。

 上記実施の形態における軌道部材作製工� ��によれば、3.75質量%以上のクロムを含有す� �鋼からなり、表層部が窒化処理されて高硬� �な窒素富化層が形成されるとともに、粒界� �出物の発生が抑制された軌道部材(外輪41,51� �内輪42,52など)を製造することができる。そ� �結果、本実施の形態における軌道部材(外輪4 1,51、内輪42,52など)の表面(外輪転走面41A,51A、 内輪転走面42A,52Aなど)を含む領域に窒素濃度� ��0.05質量%以上、炭素濃度と窒素濃度との合� �値が0.82質量%以上1.9質量%以下である厚み0.1mm 以上、硬度830HV以上の窒素富化層を形成する� ��ともに、当該窒素富化層を表面に垂直な断� ��で切断し、当該断面を光学顕微鏡またはSEM� ��用いて、表面を含む一辺150μmの正方形の視� ��をランダムに5視野観察した場合、粒界析出 物の検出数を1個以下とすることができる。

 一方、図17を参照して、転動体作製工程� �おいては、まず、工程(S110)として、セラミ� �クスの粉末を準備する粉末準備工程が実施� �れる。具体的には、転動体を構成する素材� �して採用されるセラミックス、たとえば窒� �珪素の粉末が準備される。次に、工程(S120)� �して、工程(S110)において準備されたセラミ� �クスの粉末に、焼結助剤を添加して混合す� �混合工程が実施される。

 次に、図17を参照して、上記セラミック� �の粉末と焼結助剤との混合物を、転動体の� �略形状に成形する成形工程が工程(S130)とし� �実施される。具体的には、上記セラミック� �の粉末と焼結助剤との混合物に、プレス成� �、鋳込み成形、押し出し成形、転動造粒な� �の手法を用いた成形を実施することにより� �転動体である玉43、ころ53などの概略形状に� ��形された成形体が作製される。

 次に、工程(S140)として、上記成形体が焼� ��される焼結工程が実施される。具体的には� ��上記成形体が、HIP(Hot Isostatic Press;熱間静� �圧焼結法)、GPS(Gas Pressure Sintering;ガス圧焼� �法)などの加圧焼結法を用いて焼結されるこ� ��により、外輪41,51、内輪42,52などの概略形状 を有する焼結体が得られる。

 次に、工程(S140)において得られた焼結体� ��表面が加工され、当該表面を含む領域が除� ��される仕上げ加工が実施されることにより� ��転動部材を完成させる仕上げ工程が、工程( S150)として実施される。具体的には、焼結工� ��において得られた焼結体の表面(転走面)を� �磨することにより、転動体としての玉43、こ ろ53などを完成させる。以上の工程により、� ��実施の形態における転動体作製工程は完了� ��る。

 そして、図17を参照して、完成した軸受� �品が組合わされて転がり軸受が組立てられ� �組立て工程が、工程(S200)として実施される� �具体的には、たとえば上述の工程により作� �された外輪41、内輪42および玉43と別途準備� �れた保持器44とが組合わされて、3点接触玉� �受4が組立てられる。これにより、上記本実� ��の形態における転がり軸受が完成する。

 (実施の形態3)
 次に、本発明の他の実施の形態である実施� ��形態3について説明する。実施の形態3にお� �る機械部品は基本的には上記実施の形態1と� ��様の構成を有し、同様に製造することがで� ��る。しかし、以下に示すように、素材とな� ��鋼の成分組成および熱処理方法において実� ��の形態3は実施の形態1の場合とは異なって� �る。

 すなわち、図1および図2を参照して、実� �の形態3における機械部品である外輪11、内� �12および玉13は、0.11質量%以上0.15質量%以下の 炭素と、0.1質量%以上0.25質量%以下の珪素と、 0.15質量%以上0.35質量%以下のマンガンと、3.2� �量%以上3.6質量%以下のニッケルと、4質量%以� ��4.25質量%以下のクロムと、4質量%以上4.5質量 %以下のモリブデンと、1.13質量%以上1.33質量%� ��下のバナジウムとを含有し、残部鉄および� ��純物からなる鋼から構成されている。そし� ��、図2を参照して、外輪11、内輪12および玉13 の表面である外輪転走面11A、内輪転走面12Aお よび玉転走面13Aを含む領域には、窒素濃度が 0.05質量%以上である外輪窒素富化層11B、内輪� ��素富化層12Bおよび玉窒素富化層13Bが形成さ� ��ている。さらに、外輪窒素富化層11B、内輪� ��素富化層12Bおよび玉窒素富化層13Bにおける� ��素濃度と窒素濃度との合計値は0.55質量%以� �1.9質量%以下である。ここで、上記不純物は� ��鋼の原料に由来するもの、あるいは製造工� ��において混入するものなどの不可避的不純� ��を含む。

 本実施の形態における機械部品である外� ��11、内輪12および玉13においては、上記適切� ��成分組成を有する鋼からなるとともに、表� ��に形成された外輪転走面11A、内輪転走面12A� ��よび玉転走面13Aを含む領域に窒素濃度が0.05 質量%以上である外輪窒素富化層11B、内輪窒� �富化層12Bおよび玉窒素富化層13Bが形成され� �いる。そして、外輪窒素富化層11B、内輪窒� �富化層12Bおよび玉窒素富化層13Bにおける炭� �濃度と窒素濃度との合計値が適切な範囲で� �る0.55質量%以上1.9質量%以下とされることに� �り、表層部に十分な硬度が付与されるとと� �に、粒界析出物の形成が抑制されている。� �の結果、本実施の形態における機械部品で� �る外輪11、内輪12および玉13は、4質量%以上の クロムを含有する鋼からなるとともに、表層 部に窒素富化層が形成されており、かつ疲労 強度および靭性が十分に確保された機械部品 となっている。また、外輪11、内輪12および� �13を備えた転がり軸受である深溝玉軸受1は� �長寿命な転がり軸受となっている。

 さらに、外輪11、内輪12および玉13に形成� ��れた外輪窒素富化層11B、内輪窒素富化層12B� ��よび玉窒素富化層13Bの厚みは、0.11mm以上で� ��ることが好ましい。これにより、外輪11、� �輪12および玉13に十分な強度が付与される。

 さらに、外輪窒素富化層11B、内輪窒素富� ��層12Bおよび玉窒素富化層13Bは、800HV以上の� �度を有していることが好ましい。これによ� �、外輪11、内輪12および玉13の強度を一層確� �に確保することが可能となる。

 さらに、外輪窒素富化層11B、内輪窒素富� ��層12Bおよび玉窒素富化層13Bを顕微鏡にて観� ��した場合、アスペクト比2以上、長さ7.5μm以 上の鉄の窒化物の数が、一辺150μmの正方形領 域5視野内に1個以下であることが好ましい。� ��れにより、外輪11、内輪12および玉13の疲労� ��度を向上させることができる。

 また、図3および図4を参照して、本実施� �形態における第1の変形例であるスラストニ� ��ドルころ軸受2の軌道輪21は上記本実施の形� ��における深溝玉軸受1の外輪11および内輪12� �、ニードルころ23は玉13に該当し、同様の構� ��を有しており、同様の効果を奏する。すな� ��ち、機械部品である軌道輪21およびニード� �ころ23は、0.11質量%以上0.15質量%以下の炭素� �、0.1質量%以上0.25質量%以下の珪素と、0.15質� ��%以上0.35質量%以下のマンガンと、3.2質量%以 上3.6質量%以下のニッケルと、4質量%以上4.25� �量%以下のクロムと、4質量%以上4.5質量%以下� ��モリブデンと、1.13質量%以上1.33質量%以下の バナジウムとを含有し、残部鉄および不純物 からなる鋼から構成されている。そして、図 4を参照して、軌道輪21およびニードルころ23� ��表面である軌道輪転走面21Aおよびころ転走� ��23Aを含む領域には、窒素濃度が0.05質量%以� �である軌道輪窒素富化層21Bおよびころ窒素� �化層23Bが形成されている。さらに、軌道輪� �素富化層21Bおよびころ窒素富化層23Bにおけ� �炭素濃度と窒素濃度との合計値は0.55質量%以 上1.9質量%以下である。

 本変形例における機械部品である軌道輪2 1およびニードルころ23においては、上記適切 な成分組成を有する鋼からなるとともに、表 面に形成された軌道輪転走面21Aおよびころ転 走面23Aを含む領域に窒素濃度が0.05質量%以上� ��ある軌道輪窒素富化層21Bおよびころ窒素富� ��層23Bが形成されている。そして、軌道輪窒� ��富化層21Bおよびころ窒素富化層23Bにおける� ��素濃度と窒素濃度との合計値が適切な範囲� ��ある0.55質量%以上1.9質量%以下とされること� ��より、表層部に十分な硬度が付与されると� ��もに、粒界析出物の形成が抑制されている� ��その結果、本変形例における機械部品であ� ��軌道輪21およびニードルころ23は、4質量%以� ��のクロムを含有する鋼からなるとともに、� ��層部に窒素富化層が形成されており、かつ� ��労強度および靭性が十分に確保された機械� ��品となっている。また、軌道輪21およびニ� �ドルころ23を備えた転がり軸受であるスラス トニードルころ軸受2は、長寿命な転がり軸� �となっている。

 また、図5~図9を参照して、本実施の形態� ��おける第2の変形例である等速ジョイント3� �インナーレース31およびアウターレース32は� ��記本実施の形態における深溝玉軸受1の外輪 11および内輪12に、ボール33は玉13に該当し、� ��様の構成を有しており、同様の効果を奏す� ��。すなわち、機械部品であるインナーレー� ��31、アウターレース32およびボール33は、0.11 質量%以上0.15質量%以下の炭素と、0.1質量%以� �0.25質量%以下の珪素と、0.15質量%以上0.35質量 %以下のマンガンと、3.2質量%以上3.6質量%以下 のニッケルと、4質量%以上4.25質量%以下のク� �ムと、4質量%以上4.5質量%以下のモリブデン� �、1.13質量%以上1.33質量%以下のバナジウムと� ��含有し、残部鉄および不純物からなる鋼か� ��構成されている。そして、図8および図9を� �照して、インナーレース31、アウターレース 32およびボール33の表面に形成されたインナ� �レースボール溝31Aの表面、アウターレース� �ール溝32Aの表面およびボール転走面33Aを含� �領域には、窒素濃度が0.05質量%以上であるイ ンナーレース窒素富化層31B、アウターレース 窒素富化層32Bおよびボール窒素富化層33Bが形 成されている。さらに、インナーレース窒素 富化層31B、アウターレース窒素富化層32Bおよ びボール窒素富化層33Bにおける炭素濃度と窒 素濃度との合計値は0.55質量%以上1.9質量%以下 である。

 本変形例における機械部品であるインナ� ��レース31、アウターレース32およびボール33� ��おいては、上記適切な成分組成を有する鋼� ��らなるとともに、表面に形成されたインナ� ��レースボール溝31Aの表面、アウターレース� ��ール溝32Aの表面およびボール転走面33Aを含� ��領域に窒素濃度が0.05質量%以上であるイン� �ーレース窒素富化層31B、アウターレース窒� �富化層32Bおよびボール窒素富化層33Bが形成� �れている。そして、インナーレース窒素富� �層31B、アウターレース窒素富化層32Bおよび� �ール窒素富化層33Bにおける炭素濃度と窒素� �度との合計値が適切な範囲である0.55質量%以 上1.9質量%以下とされることにより、表層部� �十分な硬度が付与されるとともに、粒界析� �物の形成が抑制されている。その結果、本� �形例における機械部品であるインナーレー� �31、アウターレース32およびボール33は、4質� ��%以上のクロムを含有する鋼からなるととも に、表層部に窒素富化層が形成されており、 かつ疲労強度および靭性が十分に確保された 機械部品となっている。また、インナーレー ス31、アウターレース32およびボール33を備え た自在継手である等速ジョイント3は、長寿� �な等速自在継手となっている。

 次に、実施の形態3における機械部品、お よび上記機械部品を備えた転がり軸受、等速 ジョイントなどの機械要素の製造方法につい て説明する。

 図18を参照して、まず、0.11質量%以上0.15� �量%以下の炭素と、0.1質量%以上0.25質量%以下� ��珪素と、0.15質量%以上0.35質量%以下のマンガ ンと、3.2質量%以上3.6質量%以下のニッケルと� ��4質量%以上4.25質量%以下のクロムと、4質量%� ��上4.5質量%以下のモリブデンと、1.13質量%以� ��1.33質量%以下のバナジウムとを含有し、残� �鉄および不純物からなる鋼からなり、機械� �品の概略形状に成形された鋼部材を準備す� �鋼部材準備工程が実施される。具体的には� �たとえば、上記成分を含有する棒鋼、鋼線� �どを素材とし、当該棒鋼、鋼線などに対し� �切断、鍛造、旋削などの加工が実施される� �とにより、機械部品としての外輪11、軌道輪 21、インナーレース31などの機械部品の概略� �状に成形された鋼部材が準備される。

 次に、鋼部材準備工程において準備され� ��上述の鋼部材に対して、焼入処理および窒� ��処理を含む熱処理を行なう熱処理工程が実� ��される。この熱処理工程の詳細については� ��述する。

 次に、熱処理工程が実施された鋼部材に� ��して、仕上げ加工などが施される仕上げ工� ��が実施される。具体的には、たとえば、熱� ��理工程が実施された鋼部材の内輪転走面12A� ��軌道輪転走面21A、アウターレースボール溝3 2Aなどに対する研磨加工が実施される。これ� ��より、本実施の形態における機械部品は完� ��し、本実施の形態における機械部品の製造� ��法は完了する。

 さらに、完成した機械部品が組合わされ� ��機械要素が組立てられる組立て工程が実施� ��れる。具体的には、上述の工程により製造� ��れた本発明の機械部品である、たとえば外� ��11、内輪12、玉13と保持器14とが組合わされ� �、深溝玉軸受1が組立てられる。これにより� ��本発明の機械部品を備えた機械要素が製造� ��れる。

 次に、図18および図19を参照して、上述の 熱処理工程の詳細について説明する。図19に� ��いて、横方向は時間を示しており右に行く� ��ど時間が経過していることを示している。� ��た、図19において、縦方向は温度を示して� �り上に行くほど温度が高いことを示してい� �。

 図18を参照して、本実施の形態における機� �部品の製造方法の熱処理工程においては、� �ず、被処理物としての鋼部材が浸炭処理さ� �る浸炭工程が実施される。具体的には、図19 を参照して、たとえば鋼部材が一酸化炭素と 水素を含む浸炭ガスの雰囲気中でA ₁ 変態点以上の温度である温度T ₁₁ に加熱され、時間t ₁₁ の間保持されることにより、鋼部材の表層部 に炭素が侵入する。これにより、鋼部材の表 面を含む領域に、当該表面を含む領域以外の 領域である内部領域に比べて炭素濃度の高い 浸炭層が形成される。

 次に、図18を参照して、浸炭処理が実施さ� �た鋼部材が焼入処理される焼入工程が実施� �れる。具体的には、図19を参照して、当該鋼 部材が、A ₁ 変態点以上の温度である温度T ₁₁ からM _S 点以下の温度に冷却されることにより、焼入 硬化される。

 次に、図18を参照して、焼入処理が実施さ� �た鋼部材に対し、焼戻処理を行なう第1焼戻� ��程が実施される。具体的には、図19を参照� �て、たとえば鋼部材が減圧雰囲気中(真空中) でA ₁ 変態点未満の温度である温度T ₁₂ に加熱され、時間t ₁₂ の間保持された後、冷却されることにより焼 戻処理される。これにより、鋼部材の焼入処 理による残留応力を緩和し、熱処理によるひ ずみが抑制される等の効果が得られる。

 次に、図18を参照して、第1焼戻工程が実施� ��れた鋼部材に対し、サブゼロ処理を行なう� ��1サブゼロ工程が実施される。具体的には、 図19を参照して、鋼部材が、たとえば液体窒� ��を噴霧されて0℃未満の温度である温度T ₁₃ に冷却され、時間t ₁₃ の間保持されることによりサブゼロ処理され る。これにより、鋼部材の焼入処理により生 成した残留オーステナイトがマルテンサイト に変態し、鋼の組織が安定化する等の効果が 得られる。

 次に、図18を参照して、第1サブゼロ工程が� ��施された鋼部材に対し、焼戻処理を行なう� ��2焼戻工程が実施される。具体的には、図19� ��参照して、たとえば鋼部材が真空中でA ₁ 変態点未満の温度である温度T ₁₄ に加熱され、時間t ₁₄ の間保持された後、冷却されることにより焼 戻処理される。これにより、鋼部材のサブゼ ロ処理による残留応力を緩和し、ひずみが抑 制される等の効果が得られる。

 次に、図18を参照して、第2焼戻工程が実施� ��れた鋼部材に対し、再度サブゼロ処理を行� ��う第2サブゼロ工程が実施される。具体的に は、図19を参照して、鋼部材が、たとえば液� ��窒素を噴霧されて0℃未満の温度である温度 T ₁₅ に冷却され、時間t ₁₅ の間保持されることによりサブゼロ処理され る。これにより、鋼部材の焼入処理により生 成した残留オーステナイトがさらにマルテン サイトに変態し、鋼の組織が一層安定化する 等の効果が得られる。

 次に、図18を参照して、第2サブゼロ工程が� ��施された鋼部材に対し、再度焼戻処理を行� ��う第3焼戻工程が実施される。具体的には、 図19を参照して、上記第2焼戻工程と同様に、 鋼部材が真空中でA ₁ 変態点未満の温度である温度T ₁₆ に加熱され、時間t ₁₆ の間保持された後、冷却されることにより焼 戻処理される。ここで、温度T ₁₆ およびt ₁₆ は第2焼戻工程の温度T ₁₄ およびt ₁₄ と同様の条件とすることができる。これによ り、第2サブゼロ工程における鋼部材のサブ� �ロ処理により発生し得る残留応力を緩和し� �ひずみが抑制される等の効果が得られる。

 次に、図18を参照して、第3焼戻工程が実施� ��れた鋼部材に対し、プラズマ窒化処理を行� ��うプラズマ窒化工程が実施される。具体的� ��は、図19を参照して、たとえば圧力50Pa以上5 000Pa以下となるように窒素(N ₂ )と、水素(H ₂ )、メタン(CH ₄ )およびアルゴン(Ar)からなる群から選択され� ��少なくともいずれか1つ以上とが導入された プラズマ窒化炉に、鋼部材が挿入され、放電 電圧50V以上1000V以下、放電電流0.001A以上100A以 下の条件下で温度T ₁₇ に加熱されて時間t ₁₇ の間保持された後、冷却されることにより鋼 部材がプラズマ窒化処理される。これにより 、鋼部材の表層部に窒素が侵入して窒素富化 層が形成され、当該表層部の強度が向上する 。ここで、温度T ₁₇ は、たとえば300℃以上550℃以下、時間t ₁₇ は1時間以上80時間以下とすることができる。 この温度T ₁₇ 、時間t ₁₇ などの熱処理条件は、仕上げ工程で実施され る仕上げ加工における取りしろを考慮し、プ ラズマ窒化処理において形成される粒界析出 物層(粒界析出物が形成されている層)の厚み� ��、仕上げ加工において除去可能な厚み以下� ��なるように決定することができる。

 なお、鋼部材を構成する鋼がAMS規格6278(AISI� ��格M50NiL)である場合、プラズマ窒化工程にお ける上記圧力は50Pa以上1000Pa以下、放電電圧� �50V以上600V以下、放電電流は0.001A以上300A以下 、温度T ₁₇ は350℃以上450℃以下、時間t ₁₇ は1時間以上50時間以下とすることが好ましい 。

 次に、図18を参照して、プラズマ窒化工程� �実施された鋼部材に対し、拡散処理を行な� �拡散工程が実施される。具体的には、図19を 参照して、たとえば真空中で温度T ₁₈ に加熱され、時間t ₁₈ の間保持されることにより鋼部材が拡散処理 される。ここで、温度T ₁₈ は、300℃以上480℃以下、好ましくは300℃以上 430℃以下、時間t ₁₈ は50時間以上300時間以下とすることができる� ��これにより、窒化層形成による表層部の硬� ��上昇が相殺されることを抑制しつつ、鋼に� ��入した窒素を所望の領域にまで到達させる� ��とができる。そして、この拡散工程を実施� ��ることにより、プラズマ窒化工程において� ��素が侵入する深さを、仕上げ加工での粒界� ��出物層の除去が可能な範囲にとどめても、� ��に侵入した窒素を所望の領域にまで到達さ� ��ることができる。以上の工程により、本実� ��の形態における熱処理工程は完了する。

 以上のように、本実施の形態における鋼� ��熱処理方法によれば、4質量%以上のクロム� �含有する鋼の表層部を窒化処理して高硬度� �窒素富化層を形成するとともに、粒界析出� �の発生を抑制することができる。

 また、上記実施の形態における機械部品� ��製造方法によれば、4質量%以上のクロムを� �有する鋼からなり、表層部が窒化処理され� �高硬度な窒素富化層が形成されるとともに� �粒界析出物の発生が抑制された機械部品(外� ��11、軌道輪21、インナーレース31など)を製造 することができる。その結果、上述のように 、本実施の形態における機械部品(外輪11、軌 道輪21、インナーレース31など)の表面(外輪転 走面11A、軌道輪転走面21A、インナーレースボ ール溝31Aの表面など)を含む領域に窒素濃度� �0.05質量%以上、炭素濃度と窒素濃度との合計 値が0.55質量%以上1.9質量%以下である厚み0.11mm 以上、硬度800HV以上の窒素富化層を形成する� ��ともに、当該窒素富化層を表面に垂直な断� ��で切断し、当該断面を光学顕微鏡またはSEM� ��用いて、表面を含む一辺150μmの正方形の視� ��をランダムに5視野観察した場合、粒界析出 物の検出数を1個以下とすることができる。� �こで、窒素富化層における炭素濃度および� �素濃度は、たとえばプラズマ窒化工程にお� �て実施されるプラズマ窒化の処理時間、お� �び拡散工程において実施される拡散処理の� �理時間を調整することにより、コントロー� �することができる。

 (実施の形態4)
 次に、本発明の他の実施の形態である実施� ��形態4について説明する。実施の形態4にお� �る転がり軸受は基本的には上記実施の形態2� ��同様の構成を有し、同様に製造することが� ��きる。しかし、以下に示すように、素材と� ��る鋼の成分組成および熱処理方法において� ��施の形態4は実施の形態2の場合とは異なっ� �いる。

 すなわち、図12~図14を参照して、ターボ� �ァンエンジン70の内部において、低圧主軸74� ��たは高圧主軸77を、低圧主軸74または高圧主 軸77に隣接する部材に対して回転自在に支持� ��る転がり軸受89は、ターボファンエンジン70 において発生する熱の影響により、高温環境 下で使用される。また、転がり軸受89の内部� ��は、金属粉やカーボン粉などの硬質の異物� ��侵入するおそれがある。そのため、転がり� ��受89には、高温環境下における軸受部品の� �度低下の抑制および異物混入環境における� �久性の向上が求められる。また、低圧主軸74 または高圧主軸77の高速回転を支持するため� ��スミアリングの発生を抑制する必要がある� ��さらに、ターボファンエンジン70が航空機� �装備される場合、何らかの原因で転がり軸� �89の潤滑が一時的に遮断された場合でも、当 該潤滑が回復するまでの間、焼き付くことな く低圧主軸74または高圧主軸77を回転自在に� �持し続けるドライラン性能が転がり軸受89に は求められる。

 これに対し、転がり軸受89が、以下に説� �する実施の形態4における転がり軸受である� ��とにより、上記要求を満たすことができる� ��

 すなわち、図13および図14を参照して、軌 道部材である外輪41および内輪42は、0.11質量% 以上0.15質量%以下の炭素と、0.1質量%以上0.25� �量%以下の珪素と、0.15質量%以上0.35質量%以下 のマンガンと、3.2質量%以上3.6質量%以下のニ� ��ケルと、4質量%以上4.25質量%以下のクロムと 、4質量%以上4.5質量%以下のモリブデンと、1.1 3質量%以上1.33質量%以下のバナジウムとを含� �し、残部鉄および不純物からなる鋼から構� �されている。そして、図2を参照して、外輪4 1および内輪42の表面である外輪転走面41Aおよ び内輪転走面42Aを含む領域には、窒素濃度が 0.05質量%以上である外輪窒素富化層41Bおよび� ��輪窒素富化層42Bが形成されている。さらに� ��外輪窒素富化層41Bおよび内輪窒素富化層42B� ��おける炭素濃度と窒素濃度との合計値は0.55 質量%以上1.9質量%以下である。ここで、上記� ��純物は、鋼の原料に由来するもの、あるい� ��製造工程において混入するものなどの不可� ��的不純物を含む。

 さらに、転動体である玉43はセラミックス� �らなっている。より具体的には、本実施の� �態においては、玉43は、窒化珪素を主成分と し、残部不純物からなる焼結体からなってい る。なお、当該焼結体は、酸化アルミニウム (Al ₂ O ₃ )、酸化イットリウム(Y ₂ O ₃ )などの焼結助剤を含んでいてもよい。

 本実施の形態における3点接触玉軸受4の� �道部材である外輪41および内輪42においては� ��上記適切な成分組成を有する鋼からなると� ��もに、表面に形成された外輪転走面41Aおよ� ��内輪転走面42Aを含む領域に窒素濃度が0.05質 量%以上である外輪窒素富化層41Bおよび内輪� �素富化層42Bが形成されている。そして、外� �窒素富化層41Bおよび内輪窒素富化層42Bにお� �る炭素濃度と窒素濃度との合計値が適切な� �囲である0.55質量%以上1.9質量%以下とされる� �とにより、表層部に十分な硬度が付与され� �とともに、粒界析出物の形成が抑制されて� �る。その結果、本実施の形態における軌道� �材である外輪41および内輪42は、4質量%以上� �クロムを含有する鋼からなるとともに、表� �部に窒素富化層が形成されており、かつ疲� �強度および靭性が十分に確保された軸受部� �となっている。

 さらに、本実施の形態における3点接触玉 軸受4においては、転動体である玉43がセラミ ックスからなっている。これにより、スミア リングの発生が抑制されるとともに、互いに 接触する外輪41および内輪42と玉43とが異種材 料となるため、耐焼付き性が向上する。その 結果、耐スミアリング性の向上と同時に、潤 滑が不十分な環境下における耐久性、たとえ ばドライラン性能の向上が達成される。また 、鋼に比べて硬度の高いセラミックスを玉43� ��素材に採用することにより、異物混入環境� ��おける玉43の耐久性が向上する。さらに、� �43がセラミックスからなることにより、高温 環境下における玉43の硬度低下が抑制される� ��また、玉43がセラミックスからなることに� �り、玉43が鋼からなる場合に比べて玉43が軽� ��化され、玉43に作用する遠心力が低減され� �ため、3点接触玉軸受4は、特に高速回転する 部材を支持する転がり軸受として好適である 。

 以上のように、本実施の形態における3点 接触玉軸受4においては、軌道部材である外� �41および内輪42が4質量%以上のクロムを含有� �る鋼からなるとともに、転動体である玉43が セラミックスからなることにより高温環境下 における軸受部品の硬度低下が抑制されてい る。また、適切な成分組成を有する鋼からな る外輪41および内輪42の外輪転走面41Aおよび� �輪転走面42Aを含む領域に、炭素濃度と窒素� �度との合計値を適切な範囲とした外輪窒素� �化層41Bおよび内輪窒素富化層42Bを形成する� �ともに、玉43がセラミックスからなることに より、異物混入環境における軸受部品の耐久 性が向上している。さらに、鋼からなる外輪 41および内輪42にセラミックスからなる玉43を 組み合わせることにより、耐スミアリング性 の向上とともに、ドライラン性能の向上が達 成されている。その結果、3点接触玉軸受4は� ��高温環境下における軸受部品の硬度低下の� ��制、異物混入環境における耐久性の向上お� ��び耐スミアリング性の向上のみならず、ド� ��イラン性能の向上をも達成した転がり軸受� ��なっている。

 また、図15および図16を参照して、本実施 の形態の変形例である円筒ころ軸受5の外輪51 および内輪52は、上記3点接触玉軸受4の外輪41 および内輪42に、ころ53は玉43に該当し、同様 の構成を有しており、同様の効果を奏する。 すなわち、軌道部材である外輪51および内輪5 2は、0.11質量%以上0.15質量%以下の炭素と、0.1� ��量%以上0.25質量%以下の珪素と、0.15質量%以� �0.35質量%以下のマンガンと、3.2質量%以上3.6� �量%以下のニッケルと、4質量%以上4.25質量%以 下のクロムと、4質量%以上4.5質量%以下のモリ ブデンと、1.13質量%以上1.33質量%以下のバナ� �ウムとを含有し、残部鉄および不純物から� �る鋼から構成されている。

 そして、図16を参照して、外輪51および内 輪52の表面である外輪転走面51Aおよび内輪転� ��面52Aを含む領域には、それぞれ窒素濃度が0 .05質量%以上である外輪窒素富化層51Bおよび� �輪窒素富化層52Bが形成されている。また、� �輪窒素富化層51Bおよび内輪窒素富化層52Bに� �ける炭素濃度と窒素濃度との合計値は0.55質� ��%以上1.9質量%以下である。

 さらに、転動体であるころ53は、セラミ� �クス、たとえば窒化珪素を主成分とする焼� �体からなっている。

 本変形例における円筒ころ軸受5において は、上記3点接触玉軸受4と同様に、軌道部材� ��ある外輪51および内輪52が4質量%以上のクロ� ��を含有する鋼からなるとともに、転動体で� ��るころ53がセラミックスからなることによ� �、高温環境下における軸受部品の硬度低下� �抑制されている。また、適切な成分組成を� �する鋼からなる外輪51および内輪52の外輪転� ��面51Aおよび内輪転走面52Aを含む領域に、炭� ��濃度と窒素濃度との合計値を適切な範囲と� ��た外輪窒素富化層51Bおよび内輪窒素富化層5 2Bをそれぞれ形成するとともに、ころ53がセ� �ミックスからなることにより、異物混入環� �における軸受部品の耐久性が向上している� �さらに、鋼からなる外輪51および内輪52にセ� ��ミックスからなるころ53を組み合わせるこ� �により、耐スミアリング性の向上とともに� �ドライラン性能の向上が達成されている。� �の結果、円筒ころ軸受5は、高温環境下にお� ��る軸受部品の硬度低下の抑制、異物混入環� ��における耐久性の向上および耐スミアリン� ��性の向上のみならず、ドライラン性能の向� ��をも達成した転がり軸受となっている。

 次に、上記実施の形態4における転がり軸受 の製造方法について説明する。
 図20を参照して、本実施の形態における転� �り軸受の製造方法は、工程(S310)~(S410)を含む� ��道部材作製工程と、工程(S510)~(S550)を含む転 動体作製工程と、工程(S600)として実施される 組立て工程とを備えている。

 まず、軌道部材作製工程について説明す� ��。工程(S310)として実施される鋼部材準備工� ��では、0.11質量%以上0.15質量%以下の炭素と、 0.1質量%以上0.25質量%以下の珪素と、0.15質量%� ��上0.35質量%以下のマンガンと、3.2質量%以上3 .6質量%以下のニッケルと、4質量%以上4.25質量 %以下のクロムと、4質量%以上4.5質量%以下の� �リブデンと、1.13質量%以上1.33質量%以下のバ� ��ジウムとを含有し、残部鉄および不純物か� ��なる鋼からなり、軌道部材の概略形状に成� ��された鋼部材が準備される。具体的には、� ��とえば、上記成分を含有する棒鋼、鋼線な� ��を素材とし、当該棒鋼、鋼線などに対して� ��断、鍛造、旋削などの加工が実施されるこ� ��により、軌道部材としての外輪41,51、内輪42 ,52などの概略形状に成形された鋼部材が準備 される。

 次に、工程(S310)において準備された上述� ��鋼部材に対して、焼入処理および窒化処理� ��含む熱処理を行なう熱処理工程が実施され� ��。熱処理工程は、工程(S320)として実施され� ��浸炭工程、工程(S330)として実施される焼入� ��程、工程(S340)として実施される第1焼戻工程 、工程(S350)として実施される第1サブゼロ工� �、工程(S360)として実施される第2焼戻工程、� ��程(S370)として実施される第2サブゼロ工程、 工程(S380)として実施される第3焼戻工程、工� �(S390)として実施されるプラズマ窒化工程お� �び工程(S400)として実施される拡散工程を含� �でいる。この熱処理工程は、上記実施の形� �3の場合と同様に実施することができる。

 次に、熱処理工程が実施された鋼部材に� ��して、仕上げ加工などが施される仕上げ工� ��が工程(S410)として実施される。具体的には� ��たとえば、熱処理工程が実施された鋼部材� ��外輪転走面41A,51A、内輪転走面42A,52Aなどに� �する研磨加工が実施される。これにより、� �実施の形態における軌道部材は完成し、本� �施の形態における軌道部材作製工程は完了� �る。

 上記実施の形態における軌道部材作製工� ��によれば、4質量%以上のクロムを含有する� �からなり、表層部が窒化処理されて高硬度� �窒素富化層が形成されるとともに、粒界析� �物の発生が抑制された軌道部材(外輪41,51、� �輪42,52など)を製造することができる。その� �果、上述のように、本実施の形態における� �道部材(外輪41,51、内輪42,52など)の表面(外輪� ��走面41A,51A、内輪転走面42A,52Aなど)を含む領� ��に窒素濃度が0.05質量%以上、炭素濃度と窒� �濃度との合計値が0.55質量%以上1.9質量%以下� �ある厚み0.1mm以上、硬度800HV以上の窒素富化� ��を形成するとともに、当該窒素富化層を表� ��に垂直な断面で切断し、当該断面を光学顕� ��鏡またはSEMを用いて、表面を含む一辺150μm� ��正方形の視野をランダムに5視野観察した場 合、粒界析出物の検出数を1個以下とするこ� �ができる。

 一方、図20を参照して、転動体作製工程� �おいては、粉末準備工程、混合工程、成形� �程、焼結工程および仕上げ工程が工程(S510)~( S550)として順次実施される。この工程(S510)~(S5 50)は、実施の形態2における工程(S110)~(S150)と� ��様に実施することができる。そして、図20� �参照して、完成した軸受部品が組合わされ� �転がり軸受が組立てられる組立て工程が、� �程(S600)として実施される。具体的には、た� �えば上述の工程により作製された外輪41、内 輪42および玉43と別途準備された保持器44とが 組合わされて、3点接触玉軸受4が組立てられ� ��。これにより、上記本実施の形態における� ��がり軸受が完成する。

 なお、上記実施の形態においては、本発� ��の機械部品の一例として、深溝玉軸受、ス� ��ストニードルころ軸受、等速ジョイントを� ��成する機械部品について説明したが、本発� ��の機械部品はこれに限られず、表層部の疲� ��強度、耐摩耗性等が要求される機械部品、� ��とえばハブ、ギア、シャフト等を構成する� ��械部品であってもよい。また、上記実施の� ��態においては、本発明の転がり軸受の一例� ��して、3点接触玉軸受および円筒ころ軸受に ついて説明したが、本発明の転がり軸受はこ れに限られず、たとえば深溝玉軸受、アンギ ュラ玉軸受、スラストニードルころ軸受など 、種々の転がり軸受に適用することができる 。

 (実施例1)
 以下、本発明の実施例1について説明する。 本発明の機械部品と同様の構成を有するサン プルを、上記実施の形態1における鋼の熱処� �方法を採用した機械部品の製造方法により� �際に作製し、表層部における粒界析出物の� �生が抑制されていることを確認する実験を� �なった。実験の手順は以下のとおりである� �

 まず、0.77質量%以上0.85質量%以下の炭素と 、0.01質量%以上0.25質量%以下の珪素と、0.01質� ��%以上0.35質量%以下のマンガンと、0.01質量%� �上0.15質量%以下のニッケルと、3.75質量%以上4 .25質量%以下のクロムと、4質量%以上4.5質量%� �下のモリブデンと、0.9質量%以上1.1質量%以下 のバナジウムとを含有し、残部鉄および不純 物からなる鋼であるAMS規格6490(AISI規格M50)の� �材を準備し、これを加工することにより外� �φ40mm、内径φ30mm、厚みt16mmの試験片を作製し た。

 次に、この試験片に対し、上記実施の形態� ��おいて図11に基づいて説明した鋼の熱処理� �法を用いた熱処理工程を実施した。ここで� �T ₁ 、t ₁ 、T ₂ 、t ₂ 、T ₃ 、t ₃ 、T ₄ 、t ₄ 、T ₅ およびt ₅ は、第3焼戻工程後の試験片の硬度が58HRC以上 65HRC以下となるように決定し、T ₆ は430℃、t ₆ は10時間、T ₇ は430℃、t ₇ は160時間とした。また、プラズマ窒化工程に おいては、プラズマ窒化時の処理温度T ₆ が430℃となるように、放電電圧を200V以上450V� ��下、放電電流を1A以上5A以下の範囲で制御し た。さらに、プラズマ窒化工程においては、 プラズマ窒化時の炉内の圧力が267Pa以上400Pa� �下となるように、窒素(N ₂ ):水素(H ₂ )=1:1の割合で炉内にガスを導入した。

 さらに、拡散工程では、窒素雰囲気に調� ��された雰囲気炉内において試験片が加熱さ� ��、試験片の表面における炭素濃度と窒素濃� ��との和が1.9質量%以下となるように、拡散処 理が実施された。以上のように本発明の鋼の 熱処理方法が実施された試験片を、本発明の 実施例のサンプルとした(実施例A)。

 一方、同様に作製されたAMS規格6490からなる 試験片に対し、上記実施の形態において図11� ��基づいて説明した鋼の熱処理方法から、拡� ��工程を省略した熱処理工程を実施した。こ� ��で、T ₁ 、t ₁ 、T ₂ 、t ₂ 、T ₃ 、t ₃ 、T ₄ 、t ₄ 、T ₅ およびt ₅ は、第3焼戻工程後の試験片の硬度が58HRC以上 65HRC以下となるように決定し、T ₆ は480℃、t ₆ は30時間とした。また、プラズマ窒化工程に� ��いては、プラズマ窒化時の処理温度T ₆ が480℃となるように、放電電圧を200V以上450V� ��下、放電電流を1A以上5A以下の範囲で制御し た。さらに、プラズマ窒化工程においては、 プラズマ窒化時の炉内の圧力が267Pa以上400Pa� �下となるように、窒素(N ₂ ):水素(H ₂ ):メタン(CH ₄ )=79:80:1の割合で炉内にガスを導入した。以上 の熱処理方法が実施された試験片を、本発明 の比較例のサンプルとした(比較例A)。

 そして、上述のように作製された実施例A および比較例Aのサンプルを表面に垂直な断� �にて切断し、当該断面を研磨した。さらに� �研磨された断面を腐食液にて腐食した後、� �面を含む一辺150μmの正方形の視野をランダ� �に5視野観察した。

 次に、図21~図26を参照して、実験結果に� �いて説明する。図21および図24において、写� ��上部がサンプルの表面側に該当する。また� ��図22および図25において、横軸は表面からの 深さ(距離)、縦軸は硬度(単位はビッカース硬 さ)を示している。また、図23および図26にお� ��て、横軸は表面からの深さ(距離)、縦軸は� �素および窒素の濃度を示しており、図中に� �素濃度(C濃度)、窒素濃度(N濃度)および炭素� �度と窒素濃度との合計値(C+N濃度)が示されて いる。

 図21を参照して、本発明の実施例Aのサン� ��ルにおける表層部には、粒界析出物(アスペ クト比2以上で、かつ7.5μm以上の長さで形成� �れた鉄の窒化物)は観察されず、良好なミク� ��組織となっている。また、図22および図23を 参照して、実施例Aのサンプルの表面から深� �0.5mm以内の領域は、950HV以上という十分な硬� ��を有しているとともに、十分な量の窒素が� ��入している。そのため、実施例Aと同様の熱 処理を実施した鋼部材の表面に対して研磨な どの仕上げ加工を施すことにより、窒素濃度 が0.05質量%以上、炭素濃度と窒素濃度との合� ��値が0.82質量%以上1.9質量%以下、厚み0.11mm以� ��、硬度830HV以上の窒素富化層が形成される� �ともに、当該窒素富化層を顕微鏡にて観察� �た場合、粒界析出物が一辺150μmの正方形領� �5視野内に1個以下である機械部品を製造する ことができる。

 一方、図24を参照して、本発明の範囲外� �ある比較例Aのサンプルにおける表層部には� ��多数の粒界析出物90が観察される。また、� �25および図26を参照して、比較例Aのサンプル の表面から深さ0.5mm以内の領域は、実施例Aと 同様に、950HV以上という十分な硬度を有して� ��るとともに、十分な量の窒素が侵入してい� ��。そのため、比較例Aと同様の熱処理を実施 した鋼部材の表面に対して研磨などの仕上げ 加工を施しても、高硬度な表層部が形成され ているものの、表層部に粒界析出物が残存す る機械部品が得られる。このような機械部品 は、上述のように、十分な疲労強度や靭性を 有しているとはいえない。

 以上より、上記実施の形態における鋼の� ��処理方法を採用した機械部品の製造方法に� ��れば、3.75質量%以上のクロムを含有する鋼� �らなるとともに、表層部に窒素富化層が形� �されており、かつ疲労強度および靭性が十� �に確保された本発明の機械部品を製造可能� �あることが確認された。

 (実施例2)
 以下、本発明の実施例2について説明する。 上記実施の形態1において説明した鋼の熱処� �方法の拡散工程における、適切な加熱温度� �範囲を調査する実験を行なった。実験の手� �は以下のとおりである。

 まず、0.77質量%以上0.85質量%以下の炭素と 、0.01質量%以上0.25質量%以下の珪素と、0.01質� ��%以上0.35質量%以下のマンガンと、0.01質量%� �上0.15質量%以下のニッケルと、3.75質量%以上4 .25質量%以下のクロムと、4質量%以上4.5質量%� �下のモリブデンと、0.9質量%以上1.1質量%以下 のバナジウムとを含有し、残部鉄および不純 物からなる鋼であるAMS規格6490(AISI規格M50)の� �材を準備し、これを加工することにより外� �φ40mm、内径φ30mm、厚みt16mmの試験片を作製し た。

 次に、この試験片に対し、上記実施の形� ��において図11に基づいて説明した鋼の熱処� �方法を用いた熱処理工程のうち、焼入工程� �ら第3焼戻工程までを上記実施例1の実施例A� �場合と同様に実施した。そして、当該試験� �を430℃~570℃の温度に種々の時間保持するこ� ��により、拡散工程と同様の工程を実施し、� ��験片の硬度を測定した。さらに、当該測定� ��果を反応速度論に基づき解析し、拡散工程� ��各加熱温度における加熱処理時間(拡散時間 )と硬度との関係を算出した。

 一方、同様の試験片に焼入工程から第3焼戻 工程までを上記実施例1の実施例Aの場合と同� ��に実施した後、実際にプラズマ窒化工程お� ��び拡散工程を実施して、試験片の硬度分布� ��確認する実験も行なった。プラズマ窒化工� ��においては、プラズマ窒化時の処理温度T ₆ が480℃となるように、放電電圧を200V以上450V� ��下、放電電流を1A以上5A以下の範囲で制御し 、1時間保持することによりプラズマ窒化を� �なった。さらに、プラズマ窒化工程では、� �ラズマ窒化時の炉内の圧力が267Pa以上400Pa以� ��となるように、窒素(N ₂ ):水素(H ₂ )=1:1の割合で炉内にガスを導入した。さらに� ��プラズマ窒化工程が完了した試験片に対し� ��、480℃で50時間保持する拡散工程を行なっ� �。そして、拡散工程を実施する前後におけ� �試験片の表層部における硬度分布を測定し� �。

 次に、図27および図28を参照して、実験の 結果について説明する。図27において、横軸� ��加熱処理時間(拡散時間)、縦軸は試験片の� �度を示している。図28において、横軸は表面 からの深さ(距離)、縦軸は硬度を示している� ��また、図28において、菱形は拡散工程を行� �う前の試験片、四角形は480℃で50時間保持す る拡散工程を行なった試験片の硬度を示して いる。

 図27を参照して、試験片の硬度は、拡散� �度が高いほど短時間で低下しているが、拡� �温度が480℃になると、200時間拡散処理を行� �った場合でも硬度の低下幅が40HV以下となり� ��母材の硬度(プラズマ窒化による窒素の侵入 の影響がない領域における硬度)の低下が表� �部の硬度に及ぼす影響が小さくなる。また� �拡散温度が460℃になると、200時間拡散処理� �行なった場合でも硬度の低下幅が25HV以下と� ��り、母材の硬度の低下が表層部の硬度に及� ��す影響が一層小さくなる。さらに、拡散温� ��が430℃になると、200時間拡散処理を行なっ� ��場合でも硬度の低下幅が10HV以下となり、母 材の硬度の低下は、表層部の硬度にほとんど 影響を及ぼさなくなる。

 一方、図28を参照して、480℃で50時間保持 する拡散工程を行なった場合、実際の母材硬 度の低下幅は、図27の解析結果とほぼ一致し� ��おり、図27の解析結果は、実際の熱処理の� �果に一致しているものと考えられる。

 以上の実験結果より、拡散工程における� ��熱温度(拡散温度)は、母材の硬度の低下が� �層部の硬度に及ぼす影響を抑制しつつ、鋼� �侵入した窒素を所望の領域にまで到達させ� �観点から、480℃以下とする必要があり、460� �以下とすることが好ましい。さらに、当該� �熱温度を430℃以下とすることにより、母材� �硬度の低下を表層部の硬度にほとんど影響� �せることなく、拡散工程を実施することが� �きる。なお、母材の硬度の低下が表層部の� �度に及ぼす影響を抑制する観点からは、拡� �工程における加熱温度を一層低くすること� �好ましいが、鋼に侵入した窒素を所望の領� �にまで到達させるために要する時間が実際� �生産工程における許容限度を超えて長くな� �ことを回避するため、当該加熱温度は300℃� �上とすることが好ましい。

 (実施例3)
 以下、本発明の実施例3について説明する。 本発明の機械部品と同様の構成を有するサン プルを、上記実施の形態3における鋼の熱処� �方法を採用した機械部品の製造方法により� �際に作製し、表層部における粒界析出物の� �生が抑制されていることを確認する実験を� �なった。実験の手順は以下のとおりである� �

 まず、0.11質量%以上0.15質量%以下の炭素と 、0.1質量%以上0.25質量%以下の珪素と、0.15質� �%以上0.35質量%以下のマンガンと、3.2質量%以� ��3.6質量%以下のニッケルと、4質量%以上4.25質 量%以下のクロムと、4質量%以上4.5質量%以下� �モリブデンと、1.13質量%以上1.33質量%以下の� ��ナジウムとを含有し、残部鉄および不純物� ��らなる鋼であるAMS規格6278(AISI規格M50NiL)の鋼 材を準備し、これを加工することにより外径 φ40mm、内径φ30mm、厚みt16mmの試験片を作製し� ��。

 次に、この試験片に対し、上記実施の形態3 において図19に基づいて説明した鋼の熱処理� ��法を用いた熱処理工程を実施した。ここで� ��T ₁₁ 、t ₁₁ 、T ₁₂ 、t ₁₂ 、T ₁₃ 、t ₁₃ 、T ₁₄ 、t ₁₄ 、T ₁₅ 、t ₁₅ 、T ₁₆ およびt ₁₆ は、第3焼戻工程後の試験片の硬度が58HRC以上 65HRC以下となるように決定し、T ₁₇ は430℃、t ₁₇ は10時間、T ₁₈ は430℃、t ₁₈ は160時間とした。また、プラズマ窒化工程に おいては、プラズマ窒化時の処理温度T ₁₇ が430℃となるように、放電電圧を200V以上450V� ��下、放電電流を1A以上5A以下の範囲で制御し た。さらに、プラズマ窒化工程においては、 プラズマ窒化時の炉内の圧力が267Pa以上400Pa� �下となるように、窒素(N ₂ ):水素(H ₂ )=1:1の割合で炉内にガスを導入した。

 さらに、拡散工程では、窒素雰囲気に調� ��された雰囲気炉内において試験片が加熱さ� ��、試験片の表面における炭素濃度と窒素濃� ��との和が1.9質量%以下となるように、拡散処 理が実施された。以上のように本発明の鋼の 熱処理方法が実施された試験片を、本発明の 実施例のサンプルとした(実施例B)。

 一方、同様に作製されたAMS規格6278からなる 試験片に対し、上記実施の形態3において図19 に基づいて説明した鋼の熱処理方法から、拡 散工程を省略した熱処理工程を実施した。こ こで、T ₁₁ 、t ₁₁ 、T ₁₂ 、t ₁₂ 、T ₁₃ 、t ₁₃ 、T ₁₄ 、t ₁₄ 、T ₁₅ 、t ₁₅ 、T ₁₆ およびt ₁₆ は、第3焼戻工程後の試験片の硬度が58HRC以上 65HRC以下となるように決定し、T ₁₇ は480℃、t ₁₇ は30時間とした。また、プラズマ窒化工程に� ��いては、プラズマ窒化時の処理温度T ₁₇ が480℃となるように、放電電圧を200V以上450V� ��下、放電電流を1A以上5A以下の範囲で制御し た。さらに、プラズマ窒化工程においては、 プラズマ窒化時の炉内の圧力が267Pa以上400Pa� �下となるように、窒素(N ₂ ):水素(H ₂ ):メタン(CH ₄ )=79:80:1の割合で炉内にガスを導入した。以上 の熱処理方法が実施された試験片を、本発明 の比較例のサンプルとした(比較例B)。

 そして、上述のように作製された実施例B および比較例Bのサンプルを表面に垂直な断� �にて切断し、当該断面を研磨した。さらに� �研磨された断面を腐食液にて腐食した後、� �面を含む一辺150μmの正方形の視野をランダ� �に5視野観察した。

 次に、図29~図34を参照して、実験結果に� �いて説明する。図29および図32において、写� ��上部がサンプルの表面側に該当する。また� ��図30および図33において、横軸は表面からの 深さ(距離)、縦軸は硬度(単位はビッカース硬 さ)を示している。また、図31および図34にお� ��て、横軸は表面からの深さ(距離)、縦軸は� �素および窒素の濃度を示しており、細線が� �素濃度、太線が窒素濃度を示している。

 図29を参照して、本発明の実施例Bのサン� ��ルにおける表層部には、粒界析出物(アスペ クト比2以上で、かつ7.5μm以上の長さで形成� �れた鉄の窒化物)は観察されず、良好なミク� ��組織となっている。また、図30および図31を 参照して、実施例Bのサンプルの表面から深� �0.5mm以内の領域は、950HV以上という十分な硬� ��を有しているとともに、十分な量の窒素が� ��入している。そのため、実施例Bと同様の熱 処理を実施した鋼部材の表面に対して研磨な どの仕上げ加工を施すことにより、窒素濃度 が0.05質量%以上、炭素濃度と窒素濃度との合� ��値が0.55質量%以上1.9質量%以下、厚み0.11mm以� ��、硬度800HV以上の窒素富化層が形成される� �ともに、当該窒素富化層を顕微鏡にて観察� �た場合、粒界析出物が一辺150μmの正方形領� �5視野内に1個以下である機械部品を製造する ことができる。

 一方、図32を参照して、本発明の範囲外� �ある比較例Bのサンプルにおける表層部には� ��多数の粒界析出物90が観察される。また、� �33および図34を参照して、比較例Bのサンプル の表面から深さ0.5mm以内の領域は、実施例Bと 同様に、950HV以上という十分な硬度を有して� ��るとともに、十分な量の窒素が侵入してい� ��。そのため、比較例Bと同様の熱処理を実施 した鋼部材の表面に対して研磨などの仕上げ 加工を施しても、高硬度な表層部が形成され ているものの、表層部に粒界析出物が残存す る機械部品が得られる。このような機械部品 は、上述のように、十分な疲労強度や靭性を 有しているとはいえない。

 以上より、上記実施の形態3における鋼の 熱処理方法を採用した機械部品の製造方法に よれば、4質量%以上のクロムを含有する鋼か� ��なるとともに、表層部に窒素富化層が形成� ��れており、かつ疲労強度および靭性が十分� ��確保された本発明の機械部品を製造可能で� ��ることが確認された。

 (実施例4)
 以下、本発明の実施例4について説明する。 上記実施の形態3において説明した鋼の熱処� �方法の拡散工程における、適切な加熱温度� �範囲を調査する実験を行なった。実験の手� �は以下のとおりである。

 まず、0.11質量%以上0.15質量%以下の炭素と 、0.1質量%以上0.25質量%以下の珪素と、0.15質� �%以上0.35質量%以下のマンガンと、3.2質量%以� ��3.6質量%以下のニッケルと、4質量%以上4.25質 量%以下のクロムと、4質量%以上4.5質量%以下� �モリブデンと、1.13質量%以上1.33質量%以下の� ��ナジウムとを含有し、残部鉄および不純物� ��らなる鋼であるAMS規格6278(AISI規格M50NiL)の鋼 材を準備し、これを加工することにより外径 φ40mm、内径φ30mm、厚みt16mmの試験片を作製し� ��。

 次に、この試験片に対し、上記実施の形� ��3において図19に基づいて説明した鋼の熱処� ��方法を用いた熱処理工程のうち、浸炭工程� ��ら第3焼戻工程までを上記実施例3の実施例B� ��場合と同様に実施した。そして、当該試験� ��を430℃~570℃の温度に種々の時間保持するこ とにより、拡散工程と同様の工程を実施し、 浸炭層の硬度を測定した。より具体的には、 試験片の表面からの距離が0.2mm以上0.4mm以下� �領域において硬度を9点測定し、そのうちの� ��低硬度を算出した。さらに、当該測定結果� ��反応速度論に基づき解析し、拡散工程の各� ��熱温度における加熱処理時間(拡散時間)と� �炭層の硬度との関係を算出した。

 一方、同様の試験片に浸炭工程から第3焼戻 工程までを上記実施例3の実施例Bの場合と同� ��に実施した後、実際にプラズマ窒化工程お� ��び拡散工程を実施して、試験片の硬度分布� ��確認する実験も行なった。プラズマ窒化工� ��においては、プラズマ窒化時の処理温度T ₁₇ が480℃となるように、放電電圧を200V以上450V� ��下、放電電流を1A以上5A以下の範囲で制御し 、1時間保持することによりプラズマ窒化を� �なった。さらに、プラズマ窒化工程では、� �ラズマ窒化時の炉内の圧力が267Pa以上400Pa以� ��となるように、窒素(N ₂ ):水素(H ₂ )=1:1の割合で炉内にガスを導入した。さらに� ��プラズマ窒化工程が完了した試験片に対し� ��、480℃で50時間保持する拡散工程を行なっ� �。そして、拡散工程を実施する前後におけ� �試験片の表層部における硬度分布を測定し� �。

 次に、図35および図36を参照して、実験の 結果について説明する。図35において、横軸� ��加熱処理時間(拡散時間)、縦軸は浸炭層の� �度を示している。図36において、横軸は表面 からの深さ(距離)、縦軸は硬度を示している� ��また、図36において、菱形は拡散工程を行� �う前の試験片、四角形は480℃で50時間保持す る拡散工程を行なった試験片の硬度を示して いる。

 図35を参照して、試験片の浸炭層の硬度� �、拡散温度が高いほど短時間で低下してい� �が、拡散温度が480℃になると、200時間拡散� �理を行なった場合でも硬度の低下幅が50HV以� ��となり、母材の硬度(浸炭層のうちプラズマ 窒化による窒素の侵入の影響がない領域にお ける硬度)の低下が表層部の硬度に及ぼす影� �が小さくなる。また、拡散温度が460℃にな� �と、200時間拡散処理を行なった場合でも硬� �の低下幅が30HV以下となり、母材の硬度の低� ��が表層部の硬度に及ぼす影響が一層小さく� ��る。さらに、拡散温度が430℃になると、200� ��間拡散処理を行なった場合でも硬度の低下� ��が10HV以下となり、母材の硬度の低下は、表 層部の硬度にほとんど影響を及ぼさなくなる 。

 一方、図36を参照して、480℃で50時間保持 する拡散工程を行なった場合、実際の母材硬 度の低下幅は、図35の解析結果とほぼ一致し� ��おり、図35の解析結果は、実際の熱処理の� �果に一致しているものと考えられる。

 以上の実験結果より、拡散工程における� ��熱温度(拡散温度)は、母材の硬度の低下が� �層部の硬度に及ぼす影響を抑制しつつ、鋼� �侵入した窒素を所望の領域にまで到達させ� �観点から、480℃以下とする必要があり、460� �以下とすることが好ましい。さらに、当該� �熱温度を430℃以下とすることにより、母材� �硬度の低下を表層部の硬度にほとんど影響� �せることなく、拡散工程を実施することが� �きる。なお、母材の硬度の低下が表層部の� �度に及ぼす影響を抑制する観点からは、拡� �工程における加熱温度を一層低くすること� �好ましいが、鋼に侵入した窒素を所望の領� �にまで到達させるために要する時間が実際� �生産工程における許容限度を超えて長くな� �ことを回避するため、当該加熱温度は300℃� �上とすることが好ましい。

 今回開示された実施の形態および実施例� ��すべての点で例示であって、制限的なもの� ��はないと考えられるべきである。本発明の� ��囲は上記した説明ではなくて請求の範囲に� ��って示され、請求の範囲と均等の意味、お� ��び範囲内でのすべての変更が含まれること� ��意図される。