Login| Sign Up| Help| Contact|

Patent Searching and Data


Title:
MAGNETIC BEARING WITH DAMPING
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2001/086151
Kind Code:
A2
Abstract:
The invention relates to a magnetic bearing for rapidly rotating machines (1), in particular, for turbo compressors, drag vacuum pumps, or similar, comprising two bearings (3, 4), each with a stator magnetic-ring set (5, 7) and a rotor magnetic-ring set (6, 8) and means (31) for damping the rotor movement, preferably in a radial direction. According to the invention, the damping agent may be simplified, whereby the magnetic bearing (3, 4) consists of magnetic-ring sets (5, 6; 7, 8) arranged concentrically to each other, in which the fixed magnetic-ring set (5 or 7) is arranged externally and the rotating magnetic-ring set (6 or 8) is arranged internally and the damping agent (32, 54, 55) is connected to the outer circumference surfaces of at least one part of the magnetic ring of each of the stator-side magnetic-ring sets (5, 7) and is made from a non-magnetic, material with good electrical conducting properties.

Inventors:
BEYER CHRISTIAN (DE)
ENGLAENDER HEINRICH (DE)
HODAPP JOSEF (DE)
Application Number:
PCT/EP2001/004166
Publication Date:
November 15, 2001
Filing Date:
April 11, 2001
Export Citation:
Click for automatic bibliography generation   Help
Assignee:
LEYBOLD VAKUUM GMBH (DE)
BEYER CHRISTIAN (DE)
ENGLAENDER HEINRICH (DE)
HODAPP JOSEF (DE)
International Classes:
F04D19/04; F04D29/056; F04D29/058; F16C32/04; F16C39/06; H02K5/128; H02K7/09; (IPC1-7): F04D29/04
Foreign References:
EP0413851A11991-02-27
Attorney, Agent or Firm:
Leineweber, Jürgen (Aggerstrasse 24 Köln, DE)
Download PDF:
Claims:
Magnetlagerung mit Dämpfung PATENTANSPRÜCHE
1. Magnetlagerung für schnell drehende Maschinen (1), insbesondere für Turboverdichter, Reibungsvakuum pumpen oder dergleichen, mit zwei Lagern (3,4), die jeweils ein Statormagnetringpaket (5,7) und ein Rotormagnetringpaket (6, 8) umfassen, sowie mit Mitteln (31) zur Dämpfung der Rotorbewegung vorzugsweise in radialer Richtung, dadurch gekenn zeichnet, dass die Magnetlager (3,4) aus konzen trisch zueinander angeordneten Magnetringpaketen (5,6 ; 7,8) bestehen, bei denen das ortsfeste Ma gnetringpaket (5 bzw. 7) außen und das rotierende Magnetringpaket (6 bzw. 8) innen angeordnet ist, dass die Dämpfungsmittel (32,54,55) den äußeren Umfangsflächen von mindestens einem Teil der Ma gnetringe der jeweils statorseitigen Magnetringpa kete (5,7) zugeordnet sind und aus nicht magneti sierbarem, elektrisch gut leitendem Werkstoff be stehen.
2. Magnetlagerung nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, dass die Dämpfungsmittel aus Distanz ringscheiben (31) bestehen, die zwischen den be troffenen Magnetringen angeordnet sind, und dass spaltnahe Ränder (54) der Distanzringscheiben (31) verstärkt sind.
3. Magnetlagerung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge kennzeichnet, dass als Dämpfungsmittel Hülsen (32) vorgesehen sind, die die äußeren Umfangsflächen der statorseitigen Magnetringpakete (5,7) umfas sen.
4. Magnetlagerung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass Magnetringe gekapselt sind (Beschichtung 55) und dass die Schichten der Kap selung die Funktion der Dämpfungsmittel haben.
5. Magnetlagerung nach einem der vorhergehenden An sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auch die ro tierenden Magnetringpakete (6,8) mit Dämpfung mitteln nach den vorhergehenden Ansprüchen ausge rüstet sind.
6. Magnetlagerung nach einem der vorhergehenden An sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine von einem Lagesensor (21) gesteuerte Spule (23) sowie Polbauteile (24) das äußere Magnetring paket (8) des axial geregelten Lagers (4) umgeben.
7. Magnetlagerung nach einem der vorhergehenden An sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl der Magnetringe der beiden Ringpakete (7,8) eines Magnetlagers (3,4) verschieden ist.
8. Magnetlagerung nach Anspruch 7, dadurch gekenn zeichnet, dass die Anzahl der Magnetringe des ro tierenden Magnetringpaketes (6,8) größer ist als die Anzahl der Magnetringe des ortsfesten Magne tringpaares (5,7).
9. Magnetlagerung nach einem der vorhergehenden An sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Durchmesser der einander zugewandten Umfangsflä chen der Ringe eines Ringpaketpaares (5,6 bzw. 7, 8) stufenweise ändern.
10. Reibungspumpe mit Rotor und Stator, dadurch ge kennzeichnet, dass der Rotor (2) in einer Magnet lagerung nach den vorhergehenden Ansprüchen aufge hängt ist.
11. Reibungspumpe nach Anspruch 10, dadurch gekenn zeichnet, dass die Magnetringe der Ringpakete (5, 6,7,8) in Aufnahmen befestigt sind und dass als Aufnahme für die Magnetringe des äußeren Ringpak tes (8) des axial aktiven Lagers (4) eine rohrför mige Armierung dient, die mit einem ersten Ab schnitt am rotierenden System (2) befestigt ist und mit einem zweiten Abschnitt die Magnetringe des Ringpaketes (8) trägt.
12. Reibungspumpe nach Anspruch 11, dadurch gekenn zeichnet, dass die Armierung (14) auch den Anker (48) eines Antriebsmotors (46) umgibt.
13. Reibungspumpe nach Anspruch 10, 11 oder 12, da durch gekennzeichnet, dass zentral angeordnete Träger (15,16) für die ortsfesten Magnetringpake te (5,7) vorgesehen sind, dass einer der Träger (16,16) mit einer zentralen Bohrung (19) ausgerü stet ist, dass ein Wellenstumpf (20) des rotieren den Systems (2) die Bohrung (19) durchsetzt und dass der freien Stirnseite des Wellenstumpfes (20) ein Axialsensor (21) zugeordnet ist.
14. Reibungspumpe nach Anspruch 13, dadurch gekenn zeichnet, dass einer der Träger (15,16) axial ju stierbar ist.
15. Reibungspumpe nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass ein Antriebsmotor (46) mit einem Spaltrohr (49) vorgesehen ist und dass das Spaltrohr (49) den Spalt (28) des axial aktiven Lagers (4) durchsetzt.
16. Reibungspumpe nach einem der Ansprüche 10 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass das passive Lager (3) auf der Hochvakuumseite, das axial aktive Lager (4) auf der Vorvakuumseite angeordnet ist.
Description:
Magnetlagerung mit Dämpfung Die Erfindung bezieht sich auf eine Magnetlagerung für schnell drehende Maschinen, insbesondere für Turbover- dichter, Reibungsvakuumpumpen oder dergleichen, mit zwei Magnetlagern, die jeweils aus einem statorseitigen Magnetringpaket und einem rotorseitigen Magnetringpaket bestehen, sowie mit Mitteln zur Dämpfung der Rotorbewe- gung.

Aus der EP 413 851 A1 ist eine Magnetlagerung dieser Art bekannt. Sie besteht aus zwei Lagern. Das erste, passiv ausgebildete Lager weist ineinander greifende Stator-und Rotormagnetringe auf. Das zweite, axial ak- tiv ausgebildete Lager ist mit zwei axial voneinander beabstandeten Rotormagnetringen ausgerüstet. In den von diesen Ringen gebildeten Ringraum greift von außen eine Ringscheibe aus nicht magnetisierbarem Material hoher elektrischer Leitfähigkeit ein, welche die gewünschte Dämpfung insbesondere der radialen Rotorbewegungen be- wirkt. Diese Dämpfung beruht auf der Induktion von Wir- belströmen durch Veränderungen der magnetischen Durch- flutung in dem elektrisch gut leitenden Werkstoff. Die dabei in der senkrecht vom Magnetfeld durchsetzten Scheibe induzierten Wirbelströme erzeugen elektromagne- tische Gegenkräfte, die radialen Auslenkungen des Ro- torsystems entgegenwirken und damit diese Bewegungen dämpfen.

Nachteilig an der vorbekannten Lösung ist zunächst, dass sowohl die Magnetringe des passiven Lagers als auch die Magnetringe und die dazwischen angeordnete Ringscheibe miteinander verzahnt sind. Dadurch ergibt sich ein hoher Montageaufwand. Außerdem bereiten Ände- rungen in der Länge des Rotors, welche bei Temperatur- belastungen auftreten, Lagerprobleme. Weiterhin ist die Dämpfung auf den Ort des aktiven Lagers beschränkt, das heißt, dass die Dämpfung bewirkende Gegenkräfte nur lo- kal auftreten.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Magnetlagerung mit den eingangs genannten Merkma- len zu schaffen, bei der die Dämpfung nicht nur auf ei- nes der beiden Lager beschränkt ist und die einfacher hergestellt und montiert werden kann.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die kennzeich- nenden Merkmale der Patentansprüche gelöst.

Dadurch, dass die Dämpfungsmittel jedem der Magnet- ringe, zugeordnet werden können, vorzugsweise minde- stens einem Teil der Magnetringe der jeweils statorsei- tigen Magnetringpakete zugeordnet ist, können in beiden Magnetlagern die Rotorbewegung dämpfende Gegenkräfte erzeugt werden, also nicht nur im aktiv geregelten La- ger. Eine Verzahnung von statorseitigen und rotorseiti- gen Ringen ist nicht mehr erforderlich. Herstellung und Montage der Lager sind dadurch im Vergleich zum Stand der Technik einfacher.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren 1 bis 10 erläutert werden. Es zeigen -Figuren 1 und 2 eine schematische Darstellung von Maschinen mit Rotoren, die sich jeweils in ei- ner erfindungsgemäß ausgebildeten Magnetlage- rung abstützen, -Figur 3 eine Turbomolekular-/Molekularvakuumpumpe mit der erfindungsgemäßen Lagerung, -Figuren 4 bis 7 Teilschnitte durch Magnetlager nach der Erfindung mit unterschiedlich gestal- teten Mitteln zur Axialregelung und -Figuren 8 bis 10 Beispiele für Ausführungen der Magnetlager mit Dämpfungsmitteln.

Bei den in den Figuren 1 und 2 schematisch dargestell- ten Maschinen ist das rotierende System 2 in zwei Ma- gnetlagern 3,4 aufgehängt. Jedes der Magnetlager 3,4 besteht aus zwei Ringpaketen 5,6 (Lager 3) bzw. 7,8 (Lager 4). Das jeweils innere Ringpaket 5,7 ist orts- fest montiert, die äußeren Ringpakete 6,8, die das je- weils innere Ringpaket konzentrisch und berührungsfrei (Spalt 9) umgeben, sind Bestandteile des rotierenden Systems 2. Der Aufbau ist insgesamt rotationssymme- trisch. Ein Antriebsmotor ist nicht dargestellt.

Das rotierende System 2 ist auf beiden Stirnseiten mit zentralen Ausnehmungen 11,12 versehen. Die Wandungen dieser Ausnehmungen bilden Aufnahmen 13,14 für die ro- tierenden Magnetringpakete 6,8. Bei der Aufnahme 14 handelt es sich um eine rohrförmige Armierung aus nicht magnetisierbarem Werkstoff, z. B. CFK, welche vorzugs- weise über einen Presssitz am rotierenden System 2 be- festigt ist. Ein die Ausnehmung 12 umgebender Abschnitt der Armierung 14 trägt auf seiner Innenseite das Magne- tringpaket 8.

In die Ausnehmungen 11,12 ragen ortsfeste Träger 15, 16 mit Aufnahmen 17,18 für die ortsfesten Magnetring- pakete 5,7 derart hinein, dass die äußeren Ringpakete 6,8 die inneren Pakete 5,6 konzentrisch umfassen. Die in den Figuren jeweils unteren Träger 16 weisen eine zentrale Bohrung 19 für einen Wellenstumpf 20 des ro- tierenden Systems 2 auf, dessen Stirnseite ein Axial- sensor 21 zugeordnet ist.

Der Axialsensor 21 ist Bestandteil der Mittel zur Axialregelung des Magnetlagers 4. Ein oder mehrere-Spu- len 23 mit jeweils einem U-förmigen, zum Ringpaket 8 hin offenen Joch 24 erzeugen die mit gestrichelten Li- nien und Pfeilen 25 angedeuteten Magnetfelder. In den Figuren 1 und 2 sind jeweils zwei das Ringpaket 8 umge- bende Spulen 23 vorgesehen. Ihre Jochbauteile 24 sind durch eine Distanzscheibe 26 aus nicht-ferritischem Werkstoff voneinander getrennt.

Der Steuerung der Spulen bzw. der von den Spulen 23 er- zeugten Magnetfelder in Abhängigkeit der vom Sensor 21 gelieferten Signale dient ein Regler 27. Im Spalt 28 zwischen den jeweils äußeren, rotierenden Ringpaketen 6,8 und den Spulen 23 bzw. Stirnseiten der Schenkel der Jochbauteile 24 werden die der Axial-Regelung die- nenden Magnetkräfte wirksam.

Die Ringpakete 5 bis 8 bestehen jeweils aus in axialer Richtung magnetisierten Ringen, die derart polwechselnd (beispielhaft angedeutet im Lager 3 nach Figur 1) ange- ordnet sind, dass die Ringpakete 5,6 bzw. 7,8 der Ma- gnetlager 3,4 einander abstoßen. Vorzugsweise sind so viele Außen-und Innenringpaare vorgesehen, dass jedes der Magnetringpakete auf beiden Seiten mit dem gleichen Magnetpol endet. Bei der Lösung nach Figur 1 bilden die Ringpakete 5,6 bzw. 7,8 jeweils zwei konzentrisch zu- einander angeordnete Zylinder. Die Abmessungen der Ma- gnetringe der Magnetringpakete 5,7 bzw. 6,8 sind zweckmäßig jeweils identisch. Bei der Lösung nach Figur 2 verändern sich die Durchmesser der einander zugewand- ten Umfangsflächen der Ringe beider Ringpakete 5,6 bzw. 7,8 der Lager 3,4 stufenweise (gleichsinnig), so dass auch der Spalt 9 Stufenform hat. Auch der Spalt 28 im Lager, 4 kann (anders als in Figur 2 dargestellt) Stufenform haben.

Im oberen Lager 3 kann der Querschnitt des rotierenden Magneten kleiner gehalten werden als im Lager 4. Dies spart Kosten für Magnetmaterial.

In Lager 4 ist es erforderlich, dass der Spalt 28 zwi- schen Polflächen der Jochbauteile und den Magneten, die über den konstanten Innendurchmesser des CFK-Rohres ge- halten werden, klein ist, damit das Axiallager auf die Magneten wirken kann.

Die Ringe der Magnetringpakete 5 bis 8 sind fest in ih- ren Aufnahmen 13,14,17,18 gehaltert. Beiden Stirn- seiten eines jeden Magnetringes liegen kreisringförmige Distanzscheiben 31 an, die aus nicht ferritischen Werk- stoffen bestehen, damit die magnetischen Kräfte vor- zugsweise in den Spalten 9 bzw. 28 wirksam werden. Hat der Werkstoff der Distanzringscheiben 31 zusätzlich elektrisch gut leitende Eigenschaften (z. B. Kupfer), wird bereits eine Dämpfung der Rotorbewegungen erzielt.

Besonders wirksam sind die Dämpfungsmittel jedoch, wenn sie den äußeren Umfangsflächen der Magnetringe der sta- torseitigen Magnetringpakete 5,7 zugeordnet sind. Bei der Ausführung nach Figur 1 werden diese Dämpfungsmit- tel von einer Hülse 32 bzw. 33 aus elektrisch gut lei- tendem Werkstoff gebildet, die die Magnetringpakete 5, 7 umgeben.

Die Hülsen haben darüberhinaus die Wirkung, dass sie die Magnetringe der Magnetringpakete 5,7 kapseln. Da- durch sind die Magnetwerkstoffe vor aggressiven Gasen (z. B. Wasserstoff bei Reibungsvakuumpumpen) geschützt.

Als Beispiel sind in Figur 2 gestufte Hülsen 32,33 für die jeweils ortsfesten Ringpakete 5,7 dargestellt. Sie sind seitlich von den Ringpaketen mit den zugehörigen Aufnahmen gasdicht verbunden, z. B. verschweißt. Auch die rotierenden Magnetringpakete 6,8 können ähnlich gekapselt sein.

Vorzugsweise sind die Innen-und Außenringe der Ringpa- kete 5,6 bzw. 7,8 jeweils paarweise angeordnet. Zur Verbesserung der Axialregelung kann es zweckmäßig sein, dem äußeren, rotierenden Ringpaket 8 des axial aktiven Magnetlagers 4 weitere Ringe hinzuzufügen. Varianten dieser Art sind in den Figuren 2 und 2 dargestellt. Das Ringpaket 8 weist zwei Ringe mehr als das Ringpaket 7 auf. Die beiden äußeren, mit 29 bezeichneten Ringe wur- den dem Paket 8 hinzugefügt. Dabei kann es sich um weich-ferritische Ringe handeln ; vorzugsweise sind aber zwei weitere Magnetringe hinzugefügt.

Bei der in Figur 3 dargestellten Maschine 1, eine Tur- bomolekular-/Molekularpumpe, sind im Gehäuse 35 mit dem Anschlussflansch 36 Statorschaufeln 37 montiert. Der magnetisch gelagerte Rotor 2 trägt Rotorschaufeln 38, die zwischen den Statorschaufeln 37 umlaufen und die Förderung der Gase bewirken. Bei der Pumpe 1 handelt es sich um eine Compound-Pumpe. An den mit Schaufeln aus- gerüsteten Abschnitt schließt sich ein Molekularpumpen- abschnitt 39 an.

Der Rotor 2 ist in den beiden Magnetlagern 3 und 4 auf- gehängt. Das Magnetlager 3 befindet sich auf der Hoch- vakuumseite. Der Träger 15 des ortsfesten MagnetringpaT ketes 5 mit seiner Aufnahme 17 ist Bestandteil eines Lagersterns 41.

Das Magnetlager 4 befindet sich auf der Vorvakuumseite der Pumpe 1. Beide Lager haben etwa die gleiche Stei- figkeit. Der Schwerpunkt des rotierenden Systems 2 ist mit 42 bezeichnet.

Die Pumpe 1 ist mit Notlauflagern oder Fanglagern 44, 45 ausgerüstet. Das hochvakuumseitige Fanglager 44 be- findet sich in der Rotorausnehmung 11. Das vorvakuum- seitige Fanglager 45 ist unterhalb des Magnetlagers 4 zwischen dem Wellenstumpf 20 und dem ortsfesten Träger 16 angeordnet.

Als Antriebsmotor 46 ist ein Hochfrequenzmotor mit Sta- tor 47 und Anker 48 vorgesehen. Statorseitig ist wei- terhin ein Spaltrohr 49 vorgesehen, das den Statorraum 50 vakuumdicht zur Vorvakuumseite hin abdichtet. Das Spaltrohr 49 durchsetzt den Spalt 28 zwischen den Spu- len 23 mit ihren Jochbauteilen 24 und dem rotierenden Magnetringpaket 8. Es besteht deshalb zweckmäßig aus nicht magnetisierbarem und elektrisch schlecht leiten- dem Werkstoff, z. B. CFK.

Rotorseìtig ist die bereits beschriebene rohrförmige Armierung 14 vorgesehen. Sie armiert nicht nur das Ringpaket 8 sondern auch den Motoranker 48.

Um Toleranzen auszugleichen, lässt sich das Lager 4 über Justierschrauben 52 einstellen, auf denen der Tra- ger 16 des ortsfesten Ringpaketes 7 ruht. Zweckmäßig wird so justiert, dass sich das rotierende System axial im labilen Arbeitspunkt befindet. Um diesen Punkt er- folgt die axiale Regelung mit wenig Energie.

Die Figuren 4 bis 7 zeigen verschiedene Ausführungen für das aktive Magnetlager 4. Bei der Lösung nach den Figuren 4 (ohne Magnetfeldlinien) und 5 (mit Magnet- feldlinien) bilden jeweils vier Magnetringe die Ringpa- kete 7 und 8. Nur eine Spule 23 mit ihrem U-förmigen Joch 24 ist vorgesehen. Der Abstand der Stirnseiten der U-Schenkel des Jochs 24 entspricht etwa der axialen Ab- messung eines Magnetringes des Ringpaketes 8. Zur Er- zielung einer optimalen Wechselwirkung der Magnetkräfte liegen die Stirnseiten der U-Schenkel in Höhe der Mit- ten zweier benachbarter Magnetringe des Ringpaketes 8, bei der dargestellten Ausführung in Höhe der Mitten der beiden mittleren Magnetringe.

Bei der Ausführung nach Figur 6 ist ebenfalls nur eine Spule 23 mit ihrem Joch 24 vorgesehen. Der Abstand der den Ringen des Ringpaketes 8 zugewandten Stirnseiten der Schenkel des U-förmigen Jochs 24 entspricht etwa dem doppelten der axialen Abmessung eines Magnetringes.

Figur 7 zeigt eine Lösung mit fünf Spulen 23 und Jochen 24. Das'Ringpaket 8 weist sechs Magnetringe auf. Die Stirnseiten der insgesamt sechs Jochschenkel liegen et- wa in der Höhe der Mitten der Magnetringe.

Zwischen jedem der Ringe der Magnetringpakete 7,8 be- finden sich-wie bereits beschrieben-Distanz- ringscheiben 31, die je nach Werkstoff Einfluss auf die Ausbildung der Magnetfeldlinien und/oder dämpfende Wir- kung haben.

Zweckmäßige Gestaltungen der Distanzringscheiben 31, vorzugsweise zur Erzielung einer Dämpfungswirkung, so- wie ergänzende Beschichtungen der Magnetringe werden an Hand von in den Figuren 8 bis 10 dargestellten Ausfüh- rungen des Magnetlagers 3 erläutert.

Besteht der Werkstoff der Distanzringscheiben 31 aus einem für die Erzielung der Dämpfungswirkung zweckmäßi- gen Werkstoff mit hoher elektrischer Leitfähigkeit, kann es zur Verbesserung der Dämpfungswirkung zweckmä- ßig sein, die Ränder der Distanzringscheiben 31 dort, wo das Magnetfeld in den Spalt 9 eintritt, zu verstär- ken, z. B. kontinuierlich nach außen zunehmend, und die Form der Magnetringe diesen Rändern anzupassen. In Fi- gur 8 ist diese Ausführung dargestellt. Der spaltnahe verstärkte Rand der mittleren Distanzringscheibe 31 ist mit 54 bezeichnet. Dadurch, dass die Magnetfelder mehr leitendes Material durchfluten, werden die von Wirbel- strömen erzeugten, die Dämpfung bewirkenden Gegenkräfte größer. Bei der'Ausführung nach Figur 9 sind beispielsweise die Magnetringe des Ringpaketes 5 allseitig beschichtet (Beschichtung 55). Seitlich haben sie die Funktion der Distanzscheiben 31, so dass sie bei ausreichender Dicke der Beschichtung 55 und geeigneter Werkstoffauswahl die die Magnetfeldlinien beeinflussende und/oder dämpfende- Wirkung haben. Zusätzlich wird erreicht, dass die Ma- gnetringe vor aggressiven Gasen geschützt sind. Dieser Schutz kann auch dadurch erreicht werden, dass eine Hülse 32 vorgesehen ist, sei sie stufenförmig, wie be- reits zu Figur 2 beschrieben, oder zylindrisch, wie beispielsweise in Figur 10 (Ringpaket 5) dargestellt.

Die Distanzringscheiben 31 (bzw. Beschichtung 55) der Magnetringe müssen ausreichend dick sein, um ihre Zwek- ke zu erfüllen, zumal auch die gewünschte Steifigkeit des Lagers von der Dicke der Distanzscheiben abhängt.

Bei Reibungspumpen mittlerer Größenordnung hat sich ei- ne Dicke im Bereich von 0,25 bis 1 mm als zweckmäßig erwiesen.

Weiterhin hat sich die Verwendung von spiralförmig ge- wickelten Folienspulen 23 als zweckmäßig erwiesen, da ihr Raumbedarf relativ klein ist.




 
Previous Patent: METERING PUMP FOR LIQUID PRODUCTS

Next Patent: FILTER SILENCER