以下、本発明の実施形態を図面に基づい� ��詳細に説明する。なお、以下の各実施形態� ��おいて、他の実施形態と同様の機能を有す� ��構成要素については同一の符号を付して適� ��説明を省略する。

 (実施形態1)
 図1は、本発明の実施形態1に係る被処理流� �浄化システム100を示し、本実施形態では一� �として、このシステム100を、工作機械101の� �ーラント液(被処理流体)の浄化システムに適 用した例を示す。

 すなわち、上記被処理流体浄化システム1 00は、工作機械101において、クーラント液(す なわち被処理流体)の中に混入する切粉(磁性� ��子j)或いは該切粉と砥粒との溶着したもの� �からなる切削屑である磁性粒子j(図5及び図14 参照)と、クーラント液とを分離し、該磁性� �子jを分離回収する場合に適用したものであ� ��。より具体的には、このシステム100は、ダ� ��ティタンク102と、ダスト分離用タンク103と� ��サイクロン供給用貯留タンク109と、サイク� ��ン式分離除去装置1(磁性粒子分離装置)と、� ��性粒子除去装置50と、スーパクリーンタン� �104とを備えている。

 工作機械101から排出されたダーティ液(磁 性粒子jを除去する前の被処理流体)は先ず、� ��ーティタンク102内へと導かれて貯留される� ��ダーティタンク102内に貯留された被処理流� ��はポンプ115により汲み上げられて、ダスト� ��離用タンク103へと導かれる。ダスト分離用� ��ンク103では、後述するマグネットプレート1 08f等に吸着され、または自重で速やかに沈殿 する比較的大きなダストなどが除去され、残 りのダストを含む被処理流体がサイクロン供 給用貯留タンク109に貯留される。

 サイクロン供給用貯留タンク109に貯留さ� ��た被処理流体は、ポンプ105により汲み上げ� ��れてサイクロン式分離除去装置1へと導かれ る。サイクロン式分離除去装置1では、後述� �るように、比重が比較的小さい磁性粒子jが� ��上物排出口21(図5参照)からダスト分離用タ� �ク103へと排出された後、比重が比較的大き� �磁性粒子jが遠心力により分離されて排出口4 (図5参照)から、ダスト分離用タンク103へと排 出され、浄化処理後の被処理流体が、筒状排 出管6から排出されて磁性粒子除去装置50へと 導かれる。

 磁性粒子除去装置50では、サイクロン式� �離除去装置1で除去しきれなかった磁性粒子j を含む被処理流体が分離されてサイクロン供 給用貯留タンク109へと戻される一方、浄化処 理後の被処理流体はスーパクリーンタンク104 内に排出される。尚、図1中、符号106は、後� �するように磁性粒子除去装置50にて分離した 磁性粒子jを吸引するためのエジェクタバル� �(吸引手段に相当)である。

 上記スーパクリーンタンク104に導かれて� ��留された、磁性粒子除去後のクリーンな被� ��理流体は、不図示のポンプにより工作機械1 01に供給されてクーラント液として使用され� ��。尚、スーパクリーンタンク104内の被処理� ��体は、その水位が所定水位h2に達すると戻� �管104bからサイクロン供給用貯留タンク109へ� ��戻されるようになっている。これに伴って� ��軽くてスーパクリーンタンク104内で表面に� ��いたダストも、サイクロン供給用貯留タン� ��109へと戻される。また、磁性粒子除去装置5 0によっても除去されずスーパクリーンタン� �104内で沈殿したダストは、スーパクリーン� �ンク104の底部に設けられた排出管104c、およ� ��排出バルブ104dを介してダーティタンク102に 排出されるようになっている。

 上記のように、工作機械101から排出され� ��被処理流体が直接サイクロン式分離除去装� ��1に供給されず、一旦ダスト分離用タンク103 によって比較的大きなダストなどが除去され てから供給されることによって、より小さな ダストを含む被処理流体が遠心分離の対象と なるので、サイクロン式分離除去装置1にお� �る比較的小さな磁性粒子jの除去効率を容易� ��高めることができる。また、さらに磁性粒� ��除去装置50を組み合わせることによって、� �り小さな磁性粒子jの除去効率を高めること� ��できる。すなわち、例えば、各装置の特性� ��ダストの性状等に応じて特化させて、種々� ��大きさのダストに対する全体的な除去効率� ��大幅に高めることなどができる。

 なお、上記のシステム構成例は一例であ� ��、種々の変形構成が可能である。例えば、� ��作機械101から排出された被処理流体は、ダ� ��ティタンク102を介してダスト分離用タンク1 03に供給されるのに限らず、直接ダスト分離� ��タンク103に供給されるようにしてもよい。� ��た、ダスト分離用タンク103から排出された� ��処理流体は、サイクロン供給用貯留タンク1 09に貯留された後にサイクロン式分離除去装� ��1に供給されるのに限らず、ダスト分離用タ ンク103から直接供給されるようにしてもよい 。もっとも、上記のようにダスト分離用タン ク103の前後にダーティタンク102および/また� �サイクロン供給用貯留タンク109を設ける場� �には、ダスト分離用タンク103の流入、流出� �を適切に設定、または制御して、ダストの� �去効率を向上させることが、より容易にな� �。また、サイクロン式分離除去装置1から排� ��される磁性粒子jや浮上物は、通常はダスト 分離用タンク103に戻されるのが、ダストボッ クス107、浮上物回収ボックス103mへの回収を� �ムーズに行いやすい点で好ましいが、これ� �限らず、ダーティタンク102やサイクロン供� �用貯留タンク109に戻されるなどしてもよい� �、別途分離処理されるようにしてもよく、� �終的にダスト等の回収が可能であればよい� �

 -ダスト分離用タンク103の構成-
 ダスト分離用タンク103は、例えば図2~図4に� ��すような構成を有している。流入管103aから 流入した被処理流体は、タンク流入口103cか� �タンク本体内に流入し、流入口仕切板103jを� ��り込み、排出口下方仕切板103gと排出口側方 仕切板103hとの間を通過して、排出管103bから� ��出されるようになっている。

 上記被処理流体が流れる経路付近には、� ��グネット103d、およびマグネットプレート108 fが設けられ、ダスト(磁性粒子)が、自重で沈 殿するのに加えて、強制的に吸着、沈殿させ られて、捕捉されるようになっている。タン ク流入口103cの近傍のマグネット103dに捕捉さ� ��たダストは、転がり落ちてタンク内に沈殿� ��るか、または、切り屑排出口103eから強制的 に排出できるようになっている。上記切り屑 排出口103eは、通常の運転時には、蓋103fで塞� ��れている。

 一方、マグネットプレート108fに吸着され 、またはタンク内に沈殿したダストは、コン ベア式のダスト分離装置108によって、ダスト ボックス107に排出される。ダスト分離装置108 は、モータ108aにより駆動される駆動軸108bと� ��従動軸108cと、両者間に掛け渡されたチェー ンベルト108dとを備えている。上記チェーン� �ルト108dには適宜間隔でスクレーパ108eが立設 され、このスクレーパ108eによって、マグネ� �トプレート108fに吸着され、またはタンク内� ��沈殿したダストが掻き出される。

 上記ダスト分離装置108は、限定はされな� ��が、例えばユニット化されて、斜め上方に� ��き抜くことができるよう脱着自在に設けら� ��、メインテナンスが容易にできるようにさ� ��るようになっている。また、ダスト分離装� ��108を引き抜いた状態でも、ダスト分離用タ� ��ク103内に沈殿したダスト等を手動で掻き出� ��ことが容易にできるようになっている。な� ��ダスト分離装置108は、上記のような構成に� ��るものではなく、例えば特開2003-251542号公� �に示されるものなど、公知の種々の構造を� �するものを適用してもよい。

 ダスト分離用タンク103には、また、後に� ��述するサイクロン式分離除去装置1から排出 された磁性粒子j、および浮上物も回収管121� �122を介して回収されるようになっている。� �収管121によって回収された磁性粒子jは、ダ� ��ト分離用タンク103の底に沈殿し、またはマ� ��ネットプレート108fに吸着されて、上記のよ うにダスト分離装置108によりダストボックス 107に排出される。浮上物が回収される回収管 122は、ダスト分離用タンク103内で下方を除く 周囲を浮上物仕切板103iに囲まれている。こ� �により、回収された浮上物は上記浮上物仕� �板103iに囲まれた範囲内に止められ、サイク� ��ン供給用貯留タンク109に送られる被処理流� ��中に混入するのが防止されるようになって� ��る。上記浮上物は、ダスト分離用タンク103� ��の水位が上昇すると浮上物回収ボックス103m に排出される(図3)。

 また、必須な構成要素ではないが、ダス� ��分離用タンク103の側方には、内部の液位な� ��を視認するための監視窓103k(図3)が設けられ ている。

 -サイクロン式分離除去装置の構成-
 サイクロン式分離除去装置1は、図5に示す� �うに、ステンレス、アルミニウムや樹脂等� �非磁性体からなるサイクロン式処理容器2と� ��該サイクロン式処理容器2の上側に配設され る浮上物回収タンク15と、サイクロン式処理� ��器2内の浄化後の被処理流体を該サイクロン 式処理容器2外(サイクロン式分離除去装置1外 )へと排出する筒状排出管6とを備えている。� ��サイクロン式処理容器2及び浮上物回収タン ク15は、上端部が閉塞された略円筒状の本体� ��2aと、該本体部2aの下端部に接続される略円 筒状の流体渦流部2eとで構成されている。よ� ��具体的には、本体部2aの内側空間13は、仕切 り板18により上下に仕切られており、この仕� ��り板18がサイクロン式処理容器2の上壁部を� ��成するとともに、浮上物回収タンク15の底� �部を構成している。

 このサイクロン式処理容器2は、上下方向 に延びる内周面2gに、上側逆円錐状部2b,下側� ��円錐状部2d等を形成した槽体からなるもの� �あって、後述するように、磁性粒子jを含む� ��処理流体を該内周面2gに沿って旋回流動さ� �ることでその遠心力により該磁性粒子jを分� ��する。

 より詳細には、サイクロン式処理容器2の 内周面2gは、その上端部に形成されて内径が� ��下方向の全体に亘って略一定となる円筒状� ��2fと、該円筒状部2fの下側に連設され、下側 ほど内径が小さくなる上記上側逆円錐状部2b� ��、該上側逆円錐状部2bに隣接してその下側� �形成された下側逆円錐状部2dと、両逆円錐状 部2b,2d同士を接続する円錐状部2cとからなる� �該円筒状部2f、両逆円錐状部2b,2d、及び円錐� ��部2cの軸心は一致しており、この軸心が、� �イクロン式処理容器2の中心軸1Cとされる。� �して、この中心軸1Cは、被処理流体の旋回中 心軸に略一致している。尚、円筒状部2fは、� ��記本体部2aの内周面における仕切り板18より も下側の部分とされ、両逆円錐状部2b,2d及び� ��錐状部2cは、上記流体渦流部2eの内周面とさ れている。

 上記円筒状部2fの上端部(つまりサイクロ� ��式処理容器2の上端部)には、図6に示すよう� ��、上記サイクロン式処理容器2内に被処理流 体を導入するための導入口3が形成されてい� �。この導入口3は、該円筒状部2fに対してそ� �接線方向から貫通して開口するとともに、� �開口からサイクロン式処理容器2内に流入す� ��被処理流体を該円筒状部2fの中心軸(サイク� ��ン式処理容器2の中心軸1C)周りに反時計回り 方向に旋回流動させるように構成されている (なお、図5に示す断面には、実際には導入口3 は現れないが、図5では、便宜上、ほぼ同図� �断面に投影した位置に表している。)。こう� ��て、被処理流体は、該円筒状部2fにおいて� �時計回り方向に旋回流動されることで、そ� �勢いで流体渦流部2e内においても同方向(反� �計回り方向)に旋回流動される。ここで、例� ��ば導入口3の位置に応じて被処理流体を時計 回り方向に旋回流動させるようにしてもよい ことは言うまでもない。

 上記上側逆円錐状部2bには、被処理流体� �旋回および下降流動に対応する方向の螺旋� �2jが形成されている。より具体的には、螺旋 溝2jは、例えば断面形状が矩形、リード角が3 0°で、3条形成されている。ここで、螺旋溝2j の方向(右ネジ方向か左ネジ方向か)は、例え� ��旋回流動の方向に応じて決定すればよい。

 上記下側逆円錐状部2dの上端の内径は、� �側逆円錐状部2bの下端の内径よりも大きくな っており(つまり拡径している)、上記下側逆� ��錐状部2dの上端と上側逆円錐状部2bの下端と は、下側ほど拡径する円錐状部2cを介して接� ��されている。磁性粒子jは、後述するように 、上記下側逆円錐状部2dの上端部に分離集約� ��れるようになっている。

 下側逆円錐状部2dの下端(つまりサイクロ� ��式処理容器2(流体渦流部2e)の底部)には、磁� ��粒子jを排出するための排出口4が設けられ� �いる。これらの両逆円錐状部2b,2d及び円錐状 部2cが構成される流体渦流部2eは、円筒外筒5� ��嵌合挿入されて着脱可能になっている。尚� ��円筒外筒5はステンレス、合成樹脂等の非磁 性体で構成するが、後述する永久磁石10の磁� ��の作用上で影響が無ければ、鋼管としても� ��い。また、本体部2a及び流体渦流部2eは別体 で構成しているが、一体でもよい。

 円筒外筒5は、その上端部の外周面に形成 された雄ねじ部9bを本体部2aの下端部に形成� �れた雌ねじ部9aに螺合してねじ込み固定され ている。流体渦流部2eの上端面の外周縁、及� ��、円筒外筒5の上端面の内周縁は共に面取り 加工が施されていて、両面取り面によりV字� �の溝部が形成され、この溝部にOリング8がセ ットされている。こうすることで、本体部2a� ��流体渦流部2eとの接続部から被処理流体が� �出するのを防止している。特に、円筒外筒5� ��上端部がねじ込まれて本体部2aの下端部に� �しつけられ、且つ流体渦流部2eの上端面がス プリング(図示省略)で上方に押しつけられる� ��とで、組み付けでき且つシールできるので� ��組付性及びメンテナンス性に優れる。

 サイクロン式処理容器2の中心部には、上 下方向に延びる筒状排出管6が配設されてい� �。筒状排出管6の下端部に設けられた流体排� ��口7の高さ位置は、下側逆円錐状部2dの上端� ��ほぼ同じ高さ位置か、その近傍(例えば、下 側逆円錐状部2dの上端よりも上側で上側逆円� ��状部2bの下端よりも下側)に位置するように� ��けられている。

 上記浮上物回収タンク15は、サイクロン� �処理容器2内の上部に浮上した比較的比重の� ��さい浮上物(例えば、比重の小さい磁性粒子 、油成分、浮遊カーボン、浮遊ゴミ等であり 、以下浮上物と称す)を回収するためのもの� �あって、上述のように、底壁部がサイクロ� �式処理容器2の上壁部(仕切り板18)で構成され ている。

 浮上物回収タンク15の内周面15aは、上記� �イクロン式処理容器2の円筒状部2fと同軸の� �筒状をなしていて、上下方向において径寸� �が略一定となるように形成されている。

 また、浮上物回収タンク15の内周面15aに� �、回収した浮上物を含む被処理流体を該浮� �物回収タンク15外(装置1外)へと排出するため の浮上物排出口21が形成されている。この浮� ��物排出口21は、図6に併せて示すように、該� ��上物回収タンク15の内周面15aに対してその� �線方向から貫通して開口している。より詳� �には、該浮上物排出口21は、上記導入口3に� �して、サイクロン式処理容器2の中心軸1C(浮� ��物回収タンク15の中心軸)を挟んで略相対向� ��る位置に形成されており、該浮上物排出口2 1の軸心方向は、該導入口3の軸心方向に対し� ��垂直な関係にある。

 上記浮上物回収タンク15の底壁部(つまり� ��イクロン式処理容器2の上壁部)を構成する� �切り板18には、該サイクロン式処理容器2の� �部に浮上した浮上物を浮上物回収タンク15内 に導くための回収用貫通孔が形成されている 。

 この回収用貫通孔は、複数のスリット19� �らなり、各スリット19は、上側から見てサイ クロン式処理容器2(円筒状部2f)の中心部側か� ��径方向外側に延びるとともに、該サイクロ� ��式処理容器2の中心軸1C(円筒状部2fの中心軸) 周りに周方向に等間隔(本実施形態では90°間� ��)に配設されている。

 各スリット19は、仕切り板18の該各スリッ ト19に対応する部分を切り欠いて下側に折り� ��げることで形成されている。該仕切り板18� �該折り曲げた部分である折曲げ片20は、図7� �示すように各スリット19から回収タンク15内� ��と浮上物を案内する案内用折曲げ片20a(本実 施形態では、4つの折曲げ片20のうちの3つ)と� ��図8に示すように仕切り板18の下面近傍の流� ��(サイクロン式処理容器2内の上端部の流れ)� ��整流するための整流用折曲げ片20bとで構成� ��れている。

 上記案内用折曲げ片20aは、仕切り板18の� �リット19に対応する部分をその幅方向の旋回 下流側(被処理流体の旋回方向の下流側であ� �て、図7の右側)の側縁部に沿って(側縁部を� �端部として)、旋回上流側が下方に傾斜する� ��うに折り曲げることで形成されている。

 一方、上記整流用折曲げ片20bは、仕切り� ��18のスリット19に対応する部分をその幅方向 の旋回上流側(被処理流体の旋回方向の上流� �であって、図8の左側)の側縁部に沿って(側� �部を基端部として)、旋回下流側が下方に傾� ��するように折り曲げることで形成されてい� ��。

 なお、実施形態では、案内用折曲げ片20a� ��整流用折曲げ片20bとを設けたが、旋回流の� ��流形成状態によれば、案内用折曲げ片20aだ� ��として、整流用折曲げ片20bを省略すること� ��あり得る。

 上記筒状排出管6(図1参照)は、サイクロン 式処理容器2及び浮上物回収タンク15の中心部 を通って上下方向に延びるとともに、該サイ クロン式処理容器2の内外を連通することで� �サイクロン式処理容器2内のクリーンな被処� ��流体を該サイクロン式処理容器2外(装置1外) へと導くように構成されている。

 より詳細には、筒状排出管6は、その下端 部がサイクロン式処理容器2内に位置してい� �、そこから上側に向かって延びるとともに� �該サイクロン式処理容器2の上壁部(仕切り板 18であって浮上物回収タンク15の底壁部)及び� ��上物回収タンク15の上壁部(本体部2aの上端� �)を貫通して該サイクロン式処理容器2外(装� �1外)へと延設されている。換言すると、上記 筒状排出管6は、浮上物回収タンク15を串刺す ようにその中心部を通って上下方向に延設さ れている。後述するように、磁性粒子jが除� �されたクリーンな被処理流体は、該流体排� �口7から筒状排出管6内を通って装置1外へと� �かれる。また、流体排出口7が設けられた筒� ��排出管6の下端部の外周面は僅かに外側に拡 径しており、こうすることで、流体により確 実に遠心力が作用するようになっている。し かし、場合によれば、該下端部は筒状排出管 6の本体部分(該下端部を除く部分)と同径のま までもよい。

 上記サイクロン式処理容器2(流体渦流部2e )における下側逆円錐状部2dの上端部および上 側逆円錐状部2bの下端部付近の外周面2h(側壁� ��2iの外周面)には、図9に示すように円周溝12, 11が形成され、それぞれ8個の永久磁石10が嵌� ��込まれている。これらの永久磁石10は、例� �ば矩形の薄板状をなし、円周方向に隣り合� �2個ずつがヨーク22によって連結されている� �上記ヨーク22は、例えばパーマロイの薄板が 折り曲げられて形成されている。各永久磁石 10の円周方向の位置決めは、間に交互に配置� ��れた薄肉スペーサ16および厚肉スペーサ17に よってなされている。また、ヨーク22の円周� ��向の位置決めは、上記厚肉スペーサ17によ� �てなされている。上記のようにヨーク22を設 けることによって、該永久磁石10による磁気� ��引力をより一層強めることができる。すな� ��ち、ヨーク22を永久磁石10の径方向外側に配 置し、2個ずつの永久磁石10を連結することで 、径方向外側に逃げる磁力線を減らせるので 、永久磁石10の径方向内側に作用する磁力が� ��くなる。したがって、永久磁石10のコンパ� �ト化を図ることができる。また、永久磁石10 の径方向外側に、鉄製部材等の強磁性体を配 設したとしても該強磁性体に対して永久磁石 10からの磁気吸引力の影響が低減される。こ� ��ため、サイクロン式処理容器2やその周辺装 置を設計する際の設計自由度を高めることが できる。

 なお、図9においてはヨーク22の厚さを永� ��磁石10の厚さよりも薄く描いているが、例� �ば、永久磁石10としてネオジム磁石やサマリ ウムコバルト磁石などを用い、ヨーク22とし� ��鋼板を用いる場合には、ヨーク22を永久磁� �10と同等以上の厚さに設定するなどしてもよ い。

 また、上記ヨーク22に加えて、例えば図5� ��2点鎖線で示すように、円筒外筒5の外周に� �らに同様のヨーク22’を設け、吸引力をより 大きくできるようにしてもよい。

 各永久磁石10は、円周溝11,12共に、半径方 向内側がS極になるものとN極になるものとが� ��互いに隣り合うように配設されている。

 また、上方側の円周溝11に設けられる永� �磁石10の上下方向の長さおよび位置は、例え ば1ピッチ以上の螺旋溝2jが形成されている範 囲に設定される。

 なお、永久磁石10を設ける方法は、上記� �ように円周溝11,12に嵌め込むのに限らず、例 えば、永久磁石10の外形に対応する凹部を側� ��部2iの外周面2hに形成して嵌め込むなどして もよい。また、ヨーク22によって連結される� ��久磁石10の個数は2個に限らず、より多くて� ��よく、さらには、ヨーク22をリング状にし� �全部の永久磁石10を連結するようにしたりし てもよい。一方、永久磁石10とほぼ同形状の� ��性体を各永久磁石10の背面に重ねるように� �けるだけでもよい。また、永久磁石10は、筒 状排出管6における流体排出口7の上下付近で� ��下2段に設けるのに限らず、何れか一方だけ 設けるなどしてもよい。

 また、サイクロン式分離除去装置1として は、上記のような構成のものに限らず、遠心 分離機能を備えた種々の装置が適用できる。 具体的には、例えば浮上物回収タンク15を備� ��ず、遠心分離による磁性粒子jの除去などを 主とする装置を用いるなどしてもよい。

 -サイクロン式分離除去装置の動作-
 以上のように構成されたサイクロン式分離� ��去装置1における磁性粒子jの分離回収動作� �ついて説明する。

 先ず、磁性粒子jを含む被処理流体が、高 速で、導入口3(図5参照)からサイクロン式処� �容器2内に導入される。導入された被処理流� ��は、該サイクロン式処理容器2の内周面2gの� ��筒状部2fに沿って筒状排出管6周りに旋回運� ��することで旋回流が生じる。ここで、被処� ��流体中に含まれる比重の小さい浮上物は、� ��れを浮上させようとする浮力によって、サ� ��クロン式処理容器2内の上部に浮上集約され ることとなる。この浮上集約された浮上物は 、被処理流体が筒状排出管6周りに旋回流動� �る過程で、スリット19から浮上物回収タンク 15内へと流入する。より具体的には、サイク� ��ン式処理容器2内の上端部(仕切り板18の下面 近傍)に集約された浮上物は、被処理流体の� �回流動により該処理流体と共にその旋回上� �側から旋回下流側へと流れる中で、上記案� �用折曲げ片の案内面に衝突することでその� �路を上方へと変更し、浮上物回収タンク15内 へと導かれる。浮上物回収タンク15内へと導� ��れた浮上物を含む被処理流体は、その旋回� ��性により該浮上物回収タンク15内において� �その内周面15aに沿って上記筒状排出管6周り� ��旋回流動して、上記浮上物排出口21から接� �方向に排出され、装置1外へと導かれる。

 一方、上記導入口3からサイクロン式処理 容器2内に流入した被処理流体のうち、浮上� �回収タンク15内に流入しなかった残りの流体 (つまり比重の小さい浮上物が除去された被� �理流体)は、上側逆円錐状部2bに導かれて下� �に行くほど回転速度を増加させていく。こ� �に伴って、被処理流体中の磁性粒子jは、遠� ��力が作用して径方向外側に移動し、螺旋溝2 jに捕捉され、または内周面2gに沿って旋回し ながら下降する。そして、被処理流体の回転 速度が最も速くなる上側逆円錐状部2bの下端� ��にて、被処理流体中の磁性粒子jには、大き な遠心力が作用するとともに、上方側の円周 溝11に嵌入された永久磁石10から径方向外側� �と向かう磁気吸引力が作用することとなる� �この結果、該磁性粒子jは、内周面2g側(径方� ��外側)に分離される。特に、螺旋溝2jに捕捉� ��れた磁性粒子jは、永久磁石10との距離がよ� ��近いことから螺旋溝2jの底に押しつけられ� �力が強いので、径方向内側への移動は大幅� �抑制される。

 一方、磁性粒子jが極めて少なくなったク リーンな流体は上側逆円錐状部2bの中心部寄� ��に残ることとなる。ここで、磁性粒子jが極 めて少なくなったクリーンな流体と表現した 理由は、1μm~5μmの磁性粒子が、軽いためにク リーンな流体と共に筒状排出管6に導かれる� �とがあり、僅かに磁性粒子が含まれている� �能性があるからである。

 そして、被処理流体は、主として5μm以上 の磁性粒子jが内周面2g側に偏って分離された 状態のまま円錐状部2cに導かれる。

 円錐状部2cにおいては、被処理流体の旋� �流速は若干低下するものの、上記のように� �螺旋溝2jに捕捉され、または既に内周面2g側� ��偏った状態にある磁性粒子jは、さらに径方 向外側へと移動する。

 そうして、円錐状部2cを通過した被処理� �体中の磁性粒子jは、下側逆円錐状部2dの上� �部に流入すると、その径方向外側への流動� �性力に加えて、下方側の円周溝12に嵌入され た永久磁石10から径方向外側へと向かう磁気� ��引力を受けて、下側逆円錐状部2dの上端部� �分離集約される。上記下側逆円錐状部2dの上 端部に分離集約された磁性粒子jは、いずれ� �塊状になってその自重により下側逆円錐状� �2dの傾斜面に沿って落下し、排出口4から排� �され、該排出された磁性粒子jは、図示しな� ��回収容器内に回収される。

 一方、下側逆円錐状部2dに流入した被処� �流体は、旋回流動(渦流)するとともに、中心 部の被処理流体には上向き軸方向の力が作用 して、流体排出口7から筒状排出管6を通って� ��性粒子除去装置50へと供給される。

 上記実施形態では、下側逆円錐状部2dの� �壁に吸着した磁性粒子は自重で落下するが� �更に吸着した磁性粒子の落下を促進したい� �合には、磁石部材の磁力を弱める機構、例� �ば、磁石部材及び/またはヨークを上下動さ� ��るような機構を設けて積極的に分離除去す� ��ようにしてもよい。

 上記のように、上側逆円錐状部2bに螺旋� �2jが形成されていることによって、遠心力に よって径方向外側に移動した被処理流体中の 磁性粒子jは、螺旋溝2jに捕捉されると径方向 内側へ移動しにくくなるので、被処理流体か らの除去効率を大幅に向上させることができ る。具体的には、例えば、同様の構成で螺旋 溝2jを形成しない場合に比べて、5μmの磁性粒 子jの除去率を83%から95%に向上させることな� �ができる。

 ここで、螺旋溝2jの条数は、3条に限らず� ��1条でもよいし、2条や4条以上でもよいが、� ��ね、多い方が磁性粒子jの捕捉効果が大きい 。また、リード角も、30°に限らず、例えば10 °以上30°未満でもよいし、さらに10°未満や� �30°より大きくてもよい。また、例えば条数� ��2条で5°にしたり1条でより小さい角度にす� �など、条数などに対応して設定したりして� �よい。さらに、リード角を被処理流体の旋� �下降方向に対応させて下方ほど小さくした� �大きくしたりするなどしてもよい。すなわ� �、螺旋溝2jの方向が被処理流体の旋回下降流 の方向に一致している場合には、被処理流体 の流れがスムーズになって磁性粒子jが安定� �て内周面2gや螺旋溝2jの底に押しつけられる� ��用が大きくなる。一方、螺旋溝2jの方向が� �処理流体の旋回下降流の方向と異なる場合� �は、被処理流体が螺旋溝2jを横切ることにな るので、磁性粒子jが螺旋溝2jに引っかかって 捕捉されやすくなる作用が大きくなる。また 、被処理流体の旋回下降流の方向よりも螺旋 溝2jのリード角を小さく設定し、回転速度を� ��加させるようにして、より大きな遠心力を� ��用させるようにすることもできる。それゆ� ��、被処理流体の流速や粘度、磁性粒子jの大 きさ、形状、比重の相異などに応じて、螺旋 溝2jのリード角や条数、断面形状などを設定� ��ればよい。

 -磁性粒子除去装置の構成-
 上記磁性粒子除去装置50は、図1に示すよう� ��、スーパクリーンタンク104の上壁部104aにお けるタンク長さ方向の一方側端部に取付けら れていて、上述のように、サイクロン式分離 除去装置1から供給される被処理流体中の磁� �粒子j(サイクロン式分離除去装置1で除去し� �れなかった磁性粒子j)を分離除去する。

 より具体的には磁性粒子除去装置50は、� �10~図14に示すように、磁性粒子jを吸着する� �着面51aを有する円板状吸着部60と、該吸着面 51aに吸着された磁性粒子jを掻き取る掻取り� �81a(図14参照)を有する除去本体部80(掻取り部) と、円板状吸着部60をその軸心回りに図13で� �時計回り方向に回転駆動させる駆動モータ56 とを備えている。

 円板状吸着部60は、図11に示すように、金 属性の円板本体52と、該円板本体52の上面に� �設される矩形板状の永久磁石55及びヨーク54� ��、永久磁石55の間隔を一定に保つスペーサ57 と、該永久磁石55等を覆うように配設された� ��形プレート51とを備えている。より具体的� �は、円板本体52の上面には、その軸心周りに 形成された2重の円周溝53に、それぞれ、同図 に示す極性が上面側になるように、永久磁石 55とヨーク54が積層された状態で嵌め込まれ� �いる。なお、ヨークとしては、例えばパー� �ロイから成るものが用いられるが、これに� �られるものではなく、磁力を強くする磁性� �であれば良く、ニッケルメッキを施した鉄� �部材などでもよい。

 上記円形プレート51は、非磁性体(本実施� ��態ではステンレス)からなるものであって、 下面を上記永久磁石55の上面55aに当接させて� ��設されている。該円形プレートの上面が上� ��吸着面51aを構成している。尚、円形プレー� ��51は、図示しない接着補強材により円板本� �52に接着固定されている。

 上記円板状吸着部60(円板本体52及び円形� �レート51)は、その中心部にて上下方向に延� �る駆動シャフト61の下端部にナット62により� ��定されている。該駆動シャフト61の上端部� �、ギヤケース63内の減速機(図示省略)を介し� ��モータ56の駆動軸に動力伝達可能に連結さ� �ている。モータ56およびギヤケース63は、ス� ��パクリーンタンク104の上側を覆うタンク上� ��部104aに支持プレート64を介して固定されて� ��る。

 支持プレート64には、サイクロン式分離� �去装置1から排出された浄化後の被処理流体� ��磁性粒子除去装置50内に導くための導入口64 aが形成されている。導入口64aは、上側から� �て円板状吸着部60の径方向外側端部(本実施� �態では、タンク長さ方向の一方側の周縁部)� ��重なる位置に配置されている。

 支持プレート64の上面64bには、該導入口64 aと略同軸に配設されたオス型の配管継手65が ボルト66により固定されている。そして、サ� ��クロン式分離除去装置1の筒状排出管6は、� �の配管継手65を介して上記導入口64aに接続さ れており、これにより、該排出管6から導入� �64aへと被処理流体が導かれる。

 支持プレート64の下面64cにおける上記導� �口64aに対応する部分には、該導入口64aから� �入する被処理流体を、上記円板状吸着部60(� �着面51a)へと案内する案内ダクト67がビス73に より固定されている。この案内ダクト67は、� ��面略矩形状(図13参照)をなしていて、支持プ レート64の下面64cから下側に向かって延設さ� ��ている。案内ダクト67の下端部には、タン� �長さ方向の他方側に開放する開口部68が設け られている。この開口部68は、タンク長さ方� ��から見て、タンク幅方向に長い略矩形状を� ��している。

 より詳細には、この案内ダクト67は、タ� �ク長さ方向に並ぶ内側ダクト壁67a及び外側� �クト壁67bと、タンク幅方向に並設されて該� �側及び外側ダクト壁67a,67bを連結するダクト� ��壁67g,67hとを備えて構成されており、上記内 側ダクト壁67aは、上下方向に延びてその下端 縁が外側ダクト壁67bの下端縁よりも上側に位 置するように形成されている。そして、この 内側ダクト壁67aの下端縁が上記開口部68の上� ��辺を構成している。

 また、上記外側ダクト壁67bは、支持プレ� ��ト64の下面64cから上記内側ダクト壁67aの下� �縁と略同高さ位置まで延びる垂直壁部67cと� �該垂直壁部67cの下端に連設され下側に向か� �てタンク長さ方向の他方側に傾斜する傾斜� �67dと、該傾斜部67dの下端部に連設され、タ� �ク長さ方向の他方側に突出する水平突出片� �67eとで構成されている。上記水平突出片部67 eは、吸着面51aに沿って略平行に形成されて� �り、該吸着面51aと水平突出片部67eの下面と� �間には、互いに擦れない程度の若干の隙間� �形成されている。そして、該水平突出片部67 eのタンク長さ方向の他方側端部が、上記開� �部68の下側辺部を構成している。

 上記案内ダクト67の下端部には、該案内� �クト67の開口部68から流出する被処理流体が� ��ーパクリーンタンク104内に拡散するのを防� ��する案内ケーシング69が接続されている。

 この案内ケーシング69は、吸着面51aに対� �て所定間隔を隔てて略平行に延びる水平部69 aと、該水平部69aのタンク幅方向の両側縁部� �ら下側に延びる側壁部69c(図13参照)とで構成� ��れている。

 より詳細には、上記案内ケーシング69の� �平部69aは、上側から見てタンク長さ方向の� �側端縁がそれぞれタンク幅方向に延びる直� �状をなしかつタンク幅方向の両側端縁が円� �本体52の外周縁に沿った円弧状をなすように 形成されており、該水平部69aのタンク長さ方 向の他方側端縁におけるタンク幅方向の中央 部には、駆動シャフト61との干渉を避けるた� ��のU字状の切欠き部69b(図13参照)が形成され� �いる。

 上記案内ケーシング69の側壁部69cは、水� �部69aの外周縁に沿うアーチ状を呈していて� �その内径が円板本体52の内径よりも若干大き めになるように形成されている。これにより 、後述の垂直部69dの上下方向の取付位置を調 整することで、案内ケーシング69の上下方向� ��位置調整が可能になっている。

 上記案内ケーシング69の水平部69aのタン� �長さ方向の一方側の端縁部には、上下方向� �延びる垂直部69d(図10及び図13参照)が接続さ� �ており、案内ケーシング69は、上記案内ダク ト67の内側ダクト壁67aに該垂直部69dをボルト� ��結することで固定されている。この案内ケ� ��シング69の固定状態における、該ケーシン� �69の水平部69aと吸着面51aとの間の空間が被処 理流体の流路70を形成している。ここで、案� ��ケーシング69のタンク長さ方向の両側は開� �しており、該案内ケーシング69における該タ ンク長さ方向の一方側の開放部72から被処理� ��体が流路70内に流入し、他方側の開放部71か ら被処理流体が流出するようになっている。

 ここで、垂直部69dを内側ダクト壁67aにボ� ��ト締結するためのボルト挿通孔は、上下方� ��に延びる長孔69fとされており、こうするこ� ��で、垂直部69dの上下方向の取付位置(つまり 案内ケーシング69の水平部69aの高さ位置)を調 整して、吸着面51a上を流れる被処理流体の流 路断面積を調整可能になっている。

 上記除去本体部80は、図10、図12、図13に� �すように、駆動シャフト61に対してタンク長 さ方向の他方側に配設されていて、円板状吸 着部60が上記モータ56により装置上方から見� �反時計回り方向に回転駆動されることで、� �着面51aに対して時計回り方向に相対移動す� �ように構成されている。

 この除去本体部80は、下面が上記吸着面51 aに当接しかつ装置中心部側から径方向外側(� ��実施形態では、タンク長さ方向の一方側か� ��他方側)に向かって延びる上面視略矩形状の 掻取り部材81(図14参照)を有しており、掻取り 部材81の上記相対移動方向の前側面が上記掻� ��り面81aとされている。掻取り面81aは、上記� ��対移動方向の後側に行くにしたがって上記� ��着面51aから離れるように傾斜する傾斜面と� ��れている。また、掻取り部材81は、上記ス� �ンレス製の円形プレート51(吸着面51a)との間� ��摺動抵抗を減らすべくアクリル材で構成さ� ��ている。

 上記除去本体部80はさらに、上記掻取り� �81aで掻き取った磁性粒子jを回収するための� ��収用空間82を内部に形成してなるハウジン� �部材83を有している。

 このハウジング部材83は、略直方体状の� �ロック体の長手方向の一方側の端面83aから� �長手方向に延びる円筒穴を形成してなるも� �であって、非磁性体であるアルミニウム材� �構成されている。そして、この円筒穴が回� �用空間82を構成している。ハウジング部材83� ��は、この回収用空間82(円筒穴)と同軸で貫通 細孔83bが形成されている。貫通細孔83bの直径 は、該円筒孔の径よりも小さく設定されてい る。

 上記ハウジング部材83は、その長手方向� �上記タンク長さ方向(スーパクリーンタンク1 04の長さ方向)に向けた状態で掻取り部材81の� ��面81bに配設されている。ハウジング部材83� �上記相対移動方向の前側面83kには、上記回� �用空間82に連通する粒子吸込口83cが形成され ている。この粒子吸込口83cは、上記相対移動 方向の前側から見て上記タンク長さ方向に長 い略矩形状とされていて、連通路84を介して� ��収用空間82に連通している。この連通路84は 、上記相対移動方向の後側に向かって上側に 傾斜している。

 上記回収用空間82の上記タンク長さ方向� �他方側端部の開口は、該回収用空間82内に吸 込まれた磁性粒子jを排出するための粒子排� �口83gを構成しており、該粒子排出口83gは、� �管継手85を介して磁性粒子排出管87が接続さ� ��、該磁性粒子排出管87がサイクロン供給用� �留タンク109に接続されている。

 上記磁性粒子排出管87の途中には、エジ� �クタバルブ106が設けられており、このエジ� �クタバルブ106の流体供給ポート106aに不図示� ��エア源からエアを供給することで、上記回� ��用空間82内に被処理流体を吸込むようにな� �ている。なお、エジェクタバルブ106の流体� �給ポート106aから空気を供給することで、掻� ��り面81aにて掻き取った磁性粒子jを含む被処 理流体を回収用空間82内に吸込むのに限らず� ��例えば流体供給ポート106aから空気を供給す る代わりに、水や被処理流体等の流体を供給 することで磁性粒子jを回収用空間82内に吸込 むようにしてもよい。

 上記掻取り部材81の上面81bには、板状の� �気シールド部材86が積層されている。この磁 気シールド部材86は、ニッケルメッキを施し� ��磁性体からなるものであって、上記相対移� ��方向の前側から見て径方向に2列に設けられ た永久磁石55に跨るように装置中心部側から� ��方向外側に延びている。

 また、磁気シールド部材86は、上側から� �てその幅方向の内側に回収用空間82が位置す るように形成されている。なお、磁気シール ド部材86としては、適切な透磁率を有する磁� ��体であれば、どのような部材であっても良� ��、上記実施形態に限られるものではない。� ��えば、一般的に磁石の一面に接触させて設� ��られ磁石の磁力を強くするためのヨークと� ��て用いられるものなどでも良く、より具体� ��には例えばパーマロイや磁性体等が使用で� ��る。特に、この磁性体の大きさや、配置の� ��定等に応じて、適切な磁気シールド性能を� ��する透磁率のシールド部材を選定すること� ��よって、上記磁性粒子jの吸着面51aへの吸着 状態や該吸着面51aからの掻き取り状態、掻き 取られた磁性粒子jの吸引状態などを制御で� �る。したがって、被処理流体中に含まれる� �性粒子jの大きさや量に応じて、この磁性体� ��透磁率等を設定することで、磁性粒子jを効 率的に除去することができる。

 上記ハウジング部材83の下面83dには、磁� �シールド部材86の平面形状に対応した凹部83f が形成されており、この該凹部83fに磁気シー ルド部材86を嵌込んだ状態でハウジング部材8 3の下面83dを掻取り部材81の上面81bに接着固定 することで、磁気シールド部材86がハウジン� ��部材83と掻取り部材81との間に挟まれて固定 されている。換言すると、除去本体部80にお� ��る回収用空間82と上記吸着面51aとの間には� �気シールド部材86が配設されているとも言え る。

 上記ハウジング部材83の上面83eには、上� �方向に延びるとともに上記タンク長さ方向� �互いに所定間隔を隔てて並ぶ2本のガイドシ� ��フト90が接続されている。各ガイドシャフ� �90は、下側に開放する断面略コ字状のホルダ 部材91(図14参照)を介してハウジング部材83の� ��面83eに連結されており、各ガイドシャフト9 0の上部は、ガイドプレート92(図10参照)に形� �されたガイド孔92aに上下方向に摺動可能に� �挿されている。ガイドシャフト90には、圧縮 コイルスプリング93が外挿されており、各コ� ��ルスプリング93は、その上端面をワッシャ94 を介してガイドプレート92の下面92bに当接さ� ��かつ下端面をホルダ部材91の上面91a(図14参� �)に当接させて圧縮状態で配設されている。

 上記ガイドプレート92は、上側から見て� �ンク長さ方向に延びる略矩形状をなしてお� �、該ガイドプレート92は、そのタンク長さ方 向の上記一方側端部を垂直支柱95の下側フラ� ��ジ部95aにボルト締結されて水平支持されて� ��る。垂直支柱95は、上下方向に延びる支柱� �体部95cと、該支柱本体部95cの上下両端部に� �れぞれ接続された上側及び下側フランジ部95 a,95bとで構成されており、上側フランジ部95b� ��上面には、位置決めピン96が突設されてい� �。そして、該垂直支柱95は、位置決めピン96� ��、支持プレート64に形成されたノック孔64d� �嵌入した状態で支持プレート64の下面にボル ト97で固定されている。

 また、上記ガイドプレート92は、駆動シ� �フト61が挿通される挿通孔92fが形成されてい る。この挿通孔92fには、メタル製の円筒状ガ イドブッシュ98が圧入されており、駆動シャ� ��ト61の上下方向の中間部が、該ガイドブッ� �ュ98により回動自在に支持されている。

 -磁性粒子除去装置の動作-
 以上のように構成された被処理流体浄化シ� ��テム100において、サイクロン式分離除去装� ��1から排出されて磁性粒子除去装置50へと導� ��れた軽量の(1μm~5μmの)磁性粒子jを含む被処� ��流体は、該装置50の導入口64aから該装置50内 へと流入する。すなわち、該導入口64aから流 入した被処理流体は、案内ダクト67内を通っ� ��下側へと流れるとともにその下端部にて上� ��開口部68から流出する。該開口部68から流出 した被処理流体は、案内ケーシング69と吸着� ��51aとの間に形成される流路70内をタンク長� �方向の一方側から他方側に向かって流れる(� ��10及び図13参照)。そうして、被処理流体が� �流路70内を流れる間に、該被処理流体中に含 まれる磁性粒子jは、上記永久磁石55からの磁 気吸引力を受けて吸着面51aに吸着されること となる。

 上記吸着面51aに吸着された磁性粒子jは、 除去本体部80により掻き取られて除去される� ��すなわち、円板状吸着部60がモータ56により シャフト61回りに反時計回り方向に回転駆動� ��れることにより、除去本体部80が該吸着面51 aに対して時計回り方向に相対移動する。こ� �結果、除去本体部80の掻取り部材81の上記相� ��移動方向の前側に形成された掻取り面81aに� ��り磁性粒子j(図14参照)が掻き取られる。掻� �取られた磁性粒子jは、エジェクタバルブ106� ��吸引作用によって、粒子吸込口83cから連通� ��84を通って該回収用空間82内へと吸引され、 吸引された磁性粒子jはその周辺の被処理流� �と共に、粒子排出口83gから磁性粒子排出管87 内へと導かれてその下流側のサイクロン供給 用貯留タンク109に排出される。なお、ダーテ ィタンク102やダスト分離用タンク103に排出さ れるようにしてもよい。こうして、磁性粒子 jが除去されたクリーンな被処理流体は、案� �ケーシング69の開放部71(図10参照)からスーパ クリーンタンク104内へと排出されて、工作機 械101に供給される。

 以上の如く上記実施形態1では、磁性粒子 除去装置50の除去本体部80は、吸着面51aに吸� �された磁性粒子jを掻き取る掻取り面81aと、� ��掻取り面81aにて掻き取った磁性粒子jを回収 するためのハウジング部材83とを有しており� ��ハウジング部材83には、回収用空間82に連通 する粒子吸込口83cと粒子排出口83gとが形成さ れており、磁性粒子除去装置50はさらに、回� ��用空間82内に被処理流体を吸引するための� �ジェクタバルブ106を備えている。

 これにより、掻取り面81aにて掻き取られ� ��磁性粒子jが、永久磁石55の磁気吸引力によ� ��吸着面51aに再度吸着される前に、該磁性粒� ��jをその周辺の被処理流体と共に、ハウジン グ部材83内(回収用空間82)に吸引して除去する ことができる。したがって、装置50全体とし� ��の磁性粒子jの除去効率を向上させることが できる。

 また、上記実施形態1では、上記除去本体 部80は、下面(厚さ方向の下側面)が上記吸着� �51aに当接しかつ上記相対移動方向の前側側� �が上記掻取り面81aとされる板状の掻取り部� �81を有し、掻取り部材81の上面81b(厚さ方向の 上側面)には、磁性体からなる磁気シールド� �材86が積層されている。

 これにより、磁気シールド部材86及び永� �磁石55には、互いに引き合う方向の磁気吸引 力が作用することとなる。このため、磁気シ ールド部材86と吸着面51aとの間に挟まれた掻� ��り部材81は、該磁気シールド部材86によって 吸着面51a側(下側)へと押付けられる。この結� ��、掻取り部材81の下面(吸着面側の面)が吸着 面51aに押付けられることとなる。したがって 、掻取り面81aの吸着面51a側(下側)の端縁81fを� ��着面51aに押付けて極力密着させることがで� ��、このことで、比較的小さな磁性粒子jをも 逃さずに該掻取り面81aで掻き取ることができ る。よって、磁性粒子jの除去効率を可及的� �向上させることができる。 

 また、上記実施形態1では、除去本体部80� ��おける回収用空間82と上記吸着面51aとの間� �は、磁気シールド部材86が配設されている。 これによれば、磁気シールド部材86が永久磁� ��55の磁力を遮断する結果、回収用空間82内に 吸引された磁性粒子jに磁気吸引力が作用す� �のを防止することができる。したがって、� �回収用空間82内の磁性粒子jの流動性を十分� �確保することができる。このため、回収用� �間82内に磁性粒子jが堆積したり、粒子吸込� �83cが該堆積した磁性粒子jで閉塞されたりし� ��、磁性粒子jの回収効率が低下するのを確実 に防止することができる。

 また、上記実施形態1では、上記粒子吸込 口83cは、ハウジング部材83における上記相対� ��動方向の前側面83kに形成されており、掻取� ��部材81の掻取り面81aは、上記相対移動方向� �後側に行くにしたがって吸着面51aとの垂直� �離が大きくなる傾斜面とされ、掻取り面81a� �上記相対移動方向の後側端部は、上記粒子� �込口83cの吸着面側(下側)の端縁部に連接され ている。

 これによれば、掻取り面81aで掻き取られ� ��磁性粒子jを、該掻取り面81aに沿って粒子吸 込口83cまで案内することができる。よって、 磁性粒子jを粒子吸込口83cから回収用空間82内 に確実に案内回収することができる。

 また、上記実施形態1では、ハウジング部 材83には、回収用空間82(円筒穴)と同軸で貫通 細孔83bが形成されている。こうすることで、 流路70内をタンク長手方向の一方側から他方� ��へと流れる被処理流体が、貫通細孔83bから� ��収用空間82を通って粒子排出口83gへと流通� �ることとなり、これによって、該回収用空� �82内の被処理流体(磁性粒子j)の流動性を高め ることができる。よって、磁性粒子jの回収� �空間82内への回収効率をより一層向上させる ことができる。

 また、上記実施形態1では、サイクロン式 処理容器2の上側には、底壁部が該処理容器2� ��上壁部(つまり仕切り板18)で構成された浮上 物回収タンク15が設けられ、該仕切り板18に� �、浮上物を該回収タンク15内へと導くための スリット19(回収用貫通孔)が形成されている� �

 こうすることで、処理容器2内に流入した 被処理流体を流体渦流部2eにて遠心分離処理� ��る前に、該被処理流体中に含まれる比重の� ��さい磁性粒子jを該処理容器2の上部に浮上� �せて、スリット19から浮上物回収タンク15内� ��と導くことができる。したがって、流体渦� ��部2eにおける遠心分離処理では除去しきれ� �い比重の小さな浮上物をも確実に除去する� �とができて、装置1全体の浮上物や磁性粒子j の除去効率を向上させることができる。

 また、上記実施形態1では、仕切り板18の� ��面には、該仕切り板18の該スリット19に対応 する部分を切欠いて下側に折り曲げることに より形成される案内用折曲げ片20a及び整流用 折曲げ片20bが設けられており、案内用折曲げ 片20aは、その基端部から下側に行くにしたが って旋回上流側に傾斜するように形成されて いる。これにより、サイクロン式処理容器2� �の上部に浮上した浮上物を該案内用折曲げ� �20aの案内面20jに沿って浮上物回収タンク15内 に確実かつ容易に案内することができる。

 また、整流用折曲げ片20bは、その基端部� ��ら下側に行くにしたがって旋回下流側に傾� ��するように形成されている。これにより、� ��切り板18の下面近傍の被処理流体が、案内� �折曲げ片20aに衝突することで乱れた流れを� �該整流用折曲げ片20bの下面20kで押さえ込む� �うにして整流することができる。したがっ� �、該被処理流体の流れが乱れることに起因� �て浮上物の挙動が乱れるのを防止すること� �でき、延いては、該浮上物を上記案内用折� �げ片20aにより浮上物回収タンク15内へと確実 に案内することができる。

 また、上記実施形態1では、浮上物回収タ ンク15の内側周側壁面15aは、サイクロン式処� ��容器2の円筒状部2fと略同軸に形成された略� ��筒状をなしており、筒状排出管6は、浮上物 回収タンク15を串刺すようにその中心部を通� ��て上下方向に延設されている。

 こうすることで、スリット19から回収タ� �ク15内へと流入した被処理流体を、その旋回 慣性を持続したまま、筒状排出管6周りに旋� �流動させることができる。よって、回収タ� �ク15内の被処理流体が流体抵抗となることで スリット19から該回収タンク15内への被処理� �体(延いては磁性粒子j)の流入が妨げられる� �を確実に防止することができる。

 また、上記実施形態1では、浮上物排出口 21は、上側から見て浮上物回収タンク15の内� �周側壁面15aに対してその接線方向に貫通し� �開口している。これにより、該回収タンク15 内に流入してその内側周側壁面15aに沿って旋 回流動する被処理流体を、旋回接線方向に高 速で確実に排出することができる。したがっ て、該回収タンク15内の被処理流体の排出性� ��を十分に高めることができて、該回収タン� ��15内の被処理流体が流体抵抗となるのを確� �に防止することができる。

 (実施形態2)
 上記の例では、永久磁石10が、サイクロン� �処理容器2(流体渦流部2e)の外周面2h(側壁部2i� ��外周面)に形成された円周溝11,12に設けられ� ��例を示したが、これに限らず、例えば図15� �示すように、円筒外筒5の外周に設けるよう� ��してもよい。

 永久磁石10は、円筒状のヨーク201によっ� �円周方向の位置決めがなされるとともに、� �ーク201の上下に配置された位置決めリング20 2が押しボルト203によって円筒外筒5に固定さ� ��ることにより、上下方向の位置決めがなさ� ��るようになっている。なお、上下の永久磁� ��10の間隔を広げる場合には、間にスペーサ� �介在させてもよい。

 また、例えば図16に示すように、上下の� �久磁石10を一体化して、構成の簡素化を図る ようにしてもよい。

 これらのように構成することにより、永� ��磁石10の位置を実際の動作条件に応じて調� �し、磁性粒子jの分離効率を容易に高めるこ� ��ができる。

 (実施形態3)
 螺旋溝2jによる磁性粒子jの分離効率向上効� ��は、上記のように逆円錐状部に形成する場� ��に限らず、例えば図17に示すように、円筒� �部302bを有するサイクロン式分離除去装置1に 適用し、上記円筒状部302bに形成した場合で� �同様に得られる。上記のような円筒状部302b� ��を被処理流体が旋回下降する場合には、下� ��速度とともに回転速度も円筒状部302bの上端 から下端に亘って略一定になる。そこで、螺 旋溝2jのリード角が一定であれば、螺旋溝2j� �方向(リード角)と旋回下降流の方向(リード� �に相当する角度)との関係が一定に保たれる� ��で、比較的一様に、磁性粒子jを螺旋溝2jに� ��捉させて分離効率を向上させることができ� ��。

 なお、図17の例では、浮上物回収タンクが� �けられていない例を示しているが、実施形� �1と同様に浮上物回収タンク15を設けてもよ� �。(逆に実施形態1等において浮上物回収タン ク15を設けなくてもよい。)
 また、下側逆円錐状部2dは2つ設けられる例� ��示しているが、実施形態1と同様に1つでも� �いし、3つ以上設けてもよい。(逆に実施形態 1等において複数の下側逆円錐状部2dを設けて もよい。)
 また、側壁部2i(上側逆円錐状部2bと円錐状� �2c、および2つの下側逆円錐状部2d)は、それ� �れ別体で構成されている例を示しているが� �これに限らず、1つ以上が一体的に構成され� ��もよい。

 また、上記側壁部2iは円筒外筒5の底部と� ��間に設けられたコイルばね311によって上方� ��付勢される例を示しているが、側壁部2iの� �定方法はこれに限るものではない。

 (実施形態4)
 また、例えば図18に示すように、下側逆円� �状部を有さず、例えば流体渦流部2eの全長に 亘って設けられた上側逆円錐状部2bに螺旋溝2 jを形成してもよい。この場合、螺旋溝2jの下 端は、限定されないが、例えば筒状排出管6� �下端から筒状排出管6の略直径d程度下方まで 形成すればよい。

 (実施形態5)
 また、例えば図19に示すように、筒状排出� �6の外周に螺旋突起6aを形成してもよい。こ� �によって、より磁性粒子jが螺旋溝2jに捕捉� �れやすいようにすることができる。上記の� �うな螺旋突起6aの断面形状は、螺旋溝2jの断� ��形状に対応させてもよいし、異ならせても� ��い。また、螺旋突起6aの位置も、螺旋溝2jに 対応させてもよいし、所定のピッチだけずら して設けたりしてもよい。

 さらに、上記のような螺旋突起6aに代え� �(または螺旋突起6aと伴に)、図20に示すよう� �螺旋溝6bを形成したりしてもよい。なお、同 図の例では螺旋溝6bが形成されたスリーブ6c� �筒状排出管6に嵌挿される例を示しているが� ��これに限らず、肉厚を厚くした筒状排出管6 に、直接、螺旋溝6bを形成してもよい。

 またさらに、各実施形態で説明したよう� ��上側逆円錐状部2bの螺旋溝2jは形成されてい ないサイクロン式分離除去装置1に、上記の� �うに螺旋突起6aや螺旋溝6bが形成された筒状� ��出管6を適用したりしてもよい。

 また、上記のようなスリーブを用いる手� ��を図22に示すように螺旋突起6aを形成するた めに用いてもよい。このサイクロン式分離除 去装置1では、サイクロン式処理容器2の内周� ��2gは、その上端部に形成されて内径が上下� �向の全体に亘って略一定となる円筒状部2fと 、該円筒状部2fの下側に連設され、概ね下方� ��ど内径が小さくなる上側逆円錐状部2bと、� �の下に順に連接される円錐状部2cと、2段の� �側逆円錐状部2dとが形成されて成っている。 上側逆円錐状部2bは、上部付近の頂角が大き� ��、その下方に頂角の小さい部分、及び円筒� ��の部分を有している。円錐状部2cは、下側� �ど拡径し、上記円筒状部分と、その下方の� �側逆円錐状部2dとを接続するようになってい る。ここで、同図の例では、流体渦流部2eは3 つの側壁部2iに分割されている例を示すが、� ��れに限らず、一体でもよいし、2分割などで もよい。また、下側逆円錐状部2dは1段だけ設 けるなどしてもよい。

 浮上物回収タンク15と上記円筒状部2fとを 仕切る仕切り板18は、仕切り部18aと、ボス部1 8bとから構成され、ボス部18bが筒状排出管6に 嵌挿されることによって取付けられている。

 また、筒状排出管6の下部には、スリーブ 6cが嵌挿されている。スリーブ6cの外周には� �被処理流体の旋回および下降流動に対応す� �方向の螺旋突起6aが形成されている。より具 体的には、螺旋突起6aは、例えば断面形状が� ��形、リード角が30°で、2条形成されている� �ここで、螺旋突起6aの方向(右ネジ方向か左� �ジ方向か)は、例えば旋回流動の方向に応じ� ��決定すればよい。なお、上記の例では、筒� ��排出管6の内径、及びスリーブ6cにおける螺� ��突起6a以外の部分の外形は、一定である例� �示すが、筒状排出管6の下端部の外周面又は� ��周面を僅かに外側に拡径して、流体に、よ� ��確実に遠心力が作用するようにしてもよい� ��また、上方側の円周溝11に設けられる永久� �石10の上下方向の長さおよび位置は、例えば 1ピッチ以上の螺旋突起6aが形成されている範 囲に設定される。

 これらにより、やはり、磁性粒子jが外周 側に集約されやすくなるようにすることがで きる。

 (その他のサイクロン式分離除去装置1の変� �例)
 上記各実施形態では、螺旋溝2jの断面形状� �矩形である例を示したが、これに限らず、� �えば図21に示すように、略半円状などに形成 してもよい。この場合、矩形の場合と幅およ び深さが同じであれば、螺旋溝2jの断面積(容 積)は矩形の場合よりも小さくなるが、螺旋� �2jの幅および/または深さを矩形の場合より� �大きくして、矩形の場合と断面積が等しく� �るようにしてもよい。

 また、螺旋溝2jの深さを一定にするのに� �らず、螺旋溝2jの底の内径が一定になるよう にしてもよい。この場合には、上側逆円錐状 部2bの内径に係わらず、中心軸1Cに対する位� �関係が一定の切削をすればよいので、螺旋� �2jの形成が容易になる場合がある。

 また、上側逆円錐状部2bに螺旋溝を形成� �るのに代えて、中心軸1Cに平行な方向の溝や 突起を設けたり、被処理流体の旋回下降方向 と逆ネジの関係になるようなリード角の螺旋 溝2jを設けるなどしてもよい。

 また、永久磁石10の数や配置、連結数な� �は上記に限らず、例えば全ての永久磁石10を リング状のヨーク20で連結したり、逆に、各� ��久磁石10を連結せず、それぞれの裏側(径方� ��外側)に個別に同形状などのヨーク20を重ね� ��ように配設するだけにしたりしてもよい。

 また、上記の例では筒状排出管6の外形は (流体排出口7の部分を除き)一定である例を示 したが、例えば実施形態4で説明したような� �リーブを嵌挿するなどして下方ほど拡径す� �ようにして、被処理流体の流路を絞るよう� �したりしてもよい。

 また、上記各実施形態や変形例で説明し� ��構成要素は、論理的に可能な範囲で種々組� ��合わせてもよい。具体的には、例えば実施� ��態2~4(図15~図18)に示した構成で、永久磁石10� ��、実施形態1等で説明したように、サイクロ ン式処理容器2(流体渦流部2e)の外周面2h(側壁� ��2iの外周面)に形成された円周溝11,12や円筒� �筒5の外周に、上下に分割して設けてもよい� ��また、例えば実施形態5で説明したような筒 状排出管6の外周に螺旋突起6aや螺旋溝6bを形� ��する構成を実施形態2等に適用してもよい。

 (実施形態6)
 被処理流体浄化システム100に用いられる磁� ��粒子除去装置50の他の例について、図23~図26 に基づいて説明する。本実施形態2の磁性粒� �除去装置50は、実施形態1の磁性粒子除去装� �50と比べ、主として、円板状吸着部60と対向� ��せて対向磁性板161が設けられている点(図24) 、および除去本体部80の形状、構造、磁性粒� ��jの吸引方向(図26)等が異なる。

 -磁性粒子除去装置の構成-
 磁性粒子除去装置50は、図23に示すように、 スーパクリーンタンク104における上壁部104a� �上に載置されている。被処理流体から除去� �れた磁性粒子jを吸引するエジェクタバルブ1 06は、ポンプ105からサイクロン式分離除去装� ��1に供給される被処理流体のうちの一部が分 流して供給されることにより、吸引力を生じ るようになっている。

 磁性粒子除去装置50のケーシング150は、� �24に示すように、側壁部151と、底壁部152と、 上壁部153とを有している。底壁部152には、排 出筒部154が立設されている。排出筒部154の上 部には、水位調節スリーブ155がねじ込まれ、 そのねじ込み量を調整することによって、ケ ーシング150内の被処理流体の水位を調節でき るようになっている。

 円板状吸着部60を回転駆動する駆動シャ� �ト61に駆動力を伝達するモータ56、およびギ� ��ケース63は、ケーシング150の上壁部153に、� �持プレート64を介して固定されている。

 サイクロン式分離除去装置1から筒状排出 管6を介して排出される被処理流体を円板状� �着部60の吸着面51aへと案内する案内ダクト67� ��、図25に示すように、タンク幅方向に広が� �向きの内側ダクト壁67a及び外側ダクト壁67b� �、これらの内側及び外側ダクト壁67a,67bの幅� ��向両縁部をそれぞれ連結するダクト側壁67g, 67hとを備えて構成されている。

 上記外側ダクト壁67bは、支持プレート64� �下面64cから下方に延びる垂直壁部67cと、該� �直壁部67cの下端に連設され下側に向かって� �ンク長さ方向の他方側に傾斜する傾斜部67d� �、該傾斜部67dの下端部に連設され、タンク� �さ方向の他方側に突出する水平突出片部67e� �で構成されている。上記水平突出片部67eは� �吸着面51aに沿って略平行に配置されており� �該吸着面51aと水平突出片部67eの下面との間� �は、互いに擦れない程度の若干の隙間が形� �されている。水平突出片部67eにおけるタン� �長さ方向の他方側縁部には、円板状吸着部60 の半径よりもわずかに小さい半径の円弧状切 欠き67fが形成されている。すなわち、円板状 吸着部60は、水平突出片部67eによっては周縁� ��だけが覆われるようになっている。

 上記内側ダクト壁67aは、支持プレート64� �下面64cから下方に延びてその下端縁が外側� �クト壁67bにおける垂直壁部67cの下端よりも� �側に位置するように形成されている。そし� �、この内側ダクト壁67aの下端縁が案内ダク� �67における開口部68の上側辺を構成している� ��なお、後述するように、上記開口部68の一� �は対向磁性板ブラケット69’及び対向磁性板 161によって覆われ、案内ダクト67を介して供� ��される被処理流体の流路70となるのは、対� �磁性板161の下面と円板状吸着部60の上面との 間になる。

 また、上記内側及び外側ダクト壁67a,67bを 連結するダクト側壁67g,67hには、タンク幅方� �外方側に、円板状吸着部60の駆動シャフト61� ��近まで延びる側板67i,67jが設けられ、被処理 流体が円板状吸着部60のタンク幅方向側に逃� ��にくいようにされている。

 案内ダクト67の内側ダクト壁67aには、垂� �部69dと水平部69aとから成る対向磁性板ブラ� �ット69’の上記垂直部69dが、ビス止め又はボ ルト締結によって取付けられている。対向磁 性板ブラケット69’の水平部69aには、対向磁� ��板161が、ビス止め又はボルト締結によって� ��付けられている。これにより、対向磁性板1 61と、円板状吸着部60の吸着面51aとが、所定� �間隔を空けて対向するように配置され、間� �、被処理流体の流路70が形成されるようにな っている。

 上記垂直部69dを内側ダクト壁67aにボルト� ��結するためのボルト挿通孔は、上下方向に� ��びる長孔69fとされており、こうすることで� ��対向磁性板ブラケット69’の上下方向の取� �位置(つまり対向磁性板161の高さ位置)を調整 して、円板状吸着部60の吸着面51a上を流れる� ��処理流体の流路断面積を調整することが可� ��になっている。

 ここで、対向磁性板ブラケット69’の水� �部69a、及び対向磁性板161のタンク長さ方向� �他方側部分におけるタンク幅方向の中央部� �は、駆動シャフト61との干渉を避けるための U字状の切欠き部69b,161a(図25参照)が形成され� �いる。

 円板状吸着部60に吸着された磁性粒子jを� ��き取る除去本体部80は、図26に示すように、 板状の掻取り部材81と、板状の磁気シールド� ��材86と、ハウジング部材83とを備えて構成さ れている。

 掻取り部材81は、図25に示すように、円板 状吸着部60の中心側から径方向外側(本実施形 態では、タンク長さ方向の一方側から他方側 )に向かって延びる上面視略矩形状を有し、� �面が円板状吸着部60の吸着面51aに当接するよ うに設けられている。掻取り部材81には、上� ��相対移動方向の前側から後側に向けて、吸� ��面51aからの距離が大きくなる傾斜を有する� ��取り面81aが形成されている。掻取り部材81� �材料は特に限定されないが、例えば、ステ� �レス製の円形プレート51(吸着面51a)との間の� ��動抵抗を減らすべくアクリル材で構成され� ��いる。

 磁気シールド部材86は、掻取り部材81の上 面に積層され、掻取り部材81の掻取り面81aに� ��続する傾斜面を有している。また、円板状� ��着部60に設けられた内周側の永久磁石55から 外周側の永久磁石55に跨るように、装置中心� ��側から径方向外側に延びる形状を有してい� ��。この磁気シールド部材86は、例えば、ニ� �ケルメッキを施した磁性体から構成されて� �る。このように構成された磁気シールド部� �86は、円板状吸着部60の永久磁石55に吸引さ� �ることによって、掻取り部材81を円板状吸着 部60の吸着面51aに密着させる作用を果たす。� ��た、81により掻き取られて磁気シールド部� �86の上方に至った磁性粒子jに対する永久磁� �55の吸引力を低減し、粒子排出口83gから排出 させやすくする作用も果たす。

 ハウジング部材83は、例えば非磁性体で� �るアルミニウムから成り、上記掻取り部材81 及び磁気シールド部材86を覆うように設けら� ��て、間に回収用空間82が形成されている。� �の回収用空間82は、図25に示すように、上記� ��対移動方向の前側に開口した粒子吸込口83c� ��有し、上記相対移動方向の後側に向けて幅� ��狭くなる略直角二等辺三角形状を成してい� ��。回転方向側の略頂点の箇所には、除去本� ��部80の上方に開口する粒子排出口83gが形成� �れている。すなわち、掻取り部材81によって 円板状吸着部60の吸着面51aから掻き取られた� ��性粒子jは、徐々に粒子排出口83g付近に集約 されて、後述するように粒子排出口83gから上 方に吸引されるようになっている。

 また、ハウジング部材83の上壁には、水� �き穴88が形成されている。このような水抜き 穴88を設けることによって、粒子吸込口83cか� ��流入して水抜き穴88から逃げる被処理流体� �流れを生じさせ、磁性粒子jの流動性を高め� ��、効率よく回収用空間82内に導入すること� �容易になる。なお、被処理流体の流量や磁� �粒子jの量、大きさなどの条件によっては、� ��ずしも水抜き穴88を設けなくてもよい。後� �する変形例のような構成を用いる場合も同� �である。

 上記粒子排出口83gには、配管継手85を介� �て磁性粒子排出管87が接続され、該磁性粒子 排出管87がサイクロン供給用貯留タンク109に� ��続されている。上記磁性粒子排出管87の途� �には、エジェクタバルブ106が設けられてお� �、このエジェクタバルブ106の流体供給ポー� �106aに、ポンプ105(図23参照)からサイクロン式 分離除去装置1に供給される処理流体の一部� �分岐させて供給することで、回収用空間82内 に掻き取られた磁性粒子jを粒子排出口83gか� �吸引するようになっている。

 -磁性粒子除去装置の動作-
 以上のように構成された磁性粒子除去装置5 0を備えた被処理流体浄化システム100におい� �、サイクロン式分離除去装置1から排出され� ��磁性粒子除去装置50へと導かれた軽量の(1μm ~5μmの)磁性粒子jを含む被処理流体は、該磁� �粒子除去装置50の導入口64aから該磁性粒子除 去装置50内へと流入する。すなわち、該導入� ��64aから流入した被処理流体は、案内ダクト6 7内を通って下側へと流れるとともに、その� �端部にて、円板状吸着部60の吸着面51aと対向 磁性板161との間に形成された流路70に流れ込� ��、タンク長さ方向の一方側から他方側に向� ��って流れる(図24及び図25参照)。そうして、� ��処理流体が該流路70内を流れる間に、該被� �理流体中に含まれる磁性粒子jは、上記永久� ��石55からの磁気吸引力を受けて吸着面51aに� �着されることとなる。

 ここで、上記のように円板状吸着部60の� �久磁石55に対向して対向磁性板161が設けられ ていることによって、被処理流体中の磁性粒 子jには、単に永久磁石55が設けられている場 合に比べて大きな磁気吸引力が働く。それゆ え、磁性粒子jは効率よく吸着面51aに吸着さ� �る。

 上記吸着面51aに吸着された磁性粒子jは、 除去本体部80により掻き取られて除去される� ��すなわち、円板状吸着部60がモータ56により 駆動シャフト61回りに装置上方から見て反時� ��回り方向に回転駆動されることにより、除� ��本体部80が該吸着面51aに対して時計回り方� �に相対移動する。この結果、除去本体部80の 掻取り部材81に形成された掻取り面81aにより� ��性粒子j(図26参照)が掻き取られる。掻き取� �れた磁性粒子jは、エジェクタバルブ106の吸� ��作用によって、粒子吸込口83cから回収用空� ��82内へと吸引され、吸引された磁性粒子jは� ��の周辺の被処理流体と共に、粒子排出口83g� ��ら磁性粒子排出管87内へと導かれて、その� �流側のサイクロン供給用貯留タンク109に排� �される。こうして、磁性粒子jが除去された� ��リーンな被処理流体は、ケーシング150内に� ��まり、所定の水位を超えると、水位調節ス� ��ーブ155(図24参照)からスーパクリーンタンク 104内へと排出されて、工作機械101に供給され る。

 以上の如く上記実施形態では、円板状吸� ��部60の永久磁石55に対向して対向磁性板161が 設けられていることによって、被処理流体中 の磁性粒子jには、単に永久磁石55が設けられ ている場合に比べて大きな磁気吸引力が働く 。それゆえ、磁性粒子jは効率よく吸着面51a� �吸着される。しかも、対向磁性板161が設け� �れていない部分では、吸着力は小さくなる� �で、吸着された磁性粒子jを効率よく掻き取� ��ことができる。

 また、上記実施形態では、ハウジング部� ��83には、水抜き穴88が形成されている。こう することで、流路70内をタンク長手方向の一� ��側から他方側へと流れる被処理流体が、粒� ��吸込口83cから水抜き穴88へと流通すること� �なり、これによって、該回収用空間82内の被 処理流体(磁性粒子j)の流動性を高めることが できる。よって、磁性粒子jの回収用空間82内 への回収効率をより一層向上させることがで きる。

 なお、上記の例では、除去本体部80には� �略直角二等辺三角形状の回収用空間82が形成 される例を示したが、これに限らず、頂角を より大きくしたり小さくしたりしてもよい。 また、円板状吸着部60の半径方向位置による� ��性粒子jの量の相違等に応じて、粒子排出口 83gが外周側に寄った形状に形成するなどして もよい。

 また、磁性粒子jが粒子排出口83gから磁性 粒子排出管87内へと導かれる方向が、円板状� ��着部60上を被処理流体の流れる方向と同じ� �なるように、回収用空間82の形状や除去本体 部80の配置方向などを設定して、被処理流体� ��自然な流れによって磁性粒子jがより排出さ れやすくなるようにしてもよい。

 (実施形態7)
 掻取り部材81によって掻き取られた磁性粒� �jの吸引方向は、構成要素のレイアウト等に� ��じて種々設定することができ、例えば実施� ��態1と同じく水平方向で、しかし実施形態1� �は異なる方向に吸引されるようにすること� �できる。具体的には、例えば図27~図29に示す ように、回収用空間82に連通する粒子排出口8 3gには、磁性粒子排出管87が、円板状吸着部60 に対する除去本体部80の相対移動方向の後側� ��ら水平方向に接続されている。そこで、掻� ��り部材81によって円板状吸着部60の吸着面51a から掻き取られ、粒子吸込口83cから粒子排出 口83g付近に集約された磁性粒子jは、エジェ� �タバルブ106の吸引力により、粒子排出口83g� �ら水平方向に吸引される。これにより、吸� �された磁性粒子jをより容易に磁性粒子排出� ��87を介してサイクロン供給用貯留タンク109� �排出させることができる。

 (実施形態8)
 掻取り部材81によって掻き取られた磁性粒� �jを積極的に回収する手段としては、エジェ� ��タバルブ106により吸引するのに代えて、例� ��ば図30~図32に示すように、ポンプ105から供� �される被処理流体によって、除去本体部80の 粒子吸込口83cから回収用空間82に流入する流� ��を生じさせ、押し流すようにしてサイクロ� ��供給用貯留タンク109に排出させるようにし� ��もよい。より詳しくは、粒子吸込口83c付近� ��はノズルヘッド89aが設けられている。ノズ� ��ヘッド89aに形成されたノズル89bからは、回� ��用空間82の内部に向けて被処理流体が噴出� �れる。掻取り部材81によって円形プレート51� ��吸着面51aから掻き取られた粒子吸込口83c付� ��の磁性粒子jは、上記噴出した被処理流体の 流れにつられて、または押し流されるように して、磁性粒子排出管87に流入し、その勢い� ��よび/または自重による落下によって、サイ クロン供給用貯留タンク109に排出される。

 なお、流体供給管89に供給される流体と� �て、上記のようにポンプ105からサイクロン� �分離除去装置1に供給される被処理流体の一� ��を流体供給管89に分岐させて流用すること� �より、製造コストを安く抑えることが容易� �できるが、これに限らず、別途ポンプを設� �て、スーパクリーンタンク104からクリーン� �被処理流体を供給するようにしてもよい。� �の場合には、ノズル89bから噴出した被処理� �体が粒子吸込口83cから回収用空間82に流入せ ずに漏れてスーパクリーンタンク104に戻った としても、これによるスーパクリーンタンク 104内の磁性粒子jの増加を防止することが容� �にできる。

 また、上記のように磁性粒子jを押し流す 構成と、実施形態1等のように吸引する構成� �を組み合わせて用いるなどして、磁性粒子j� ��より確実に回収できるようにしてもよい。

 (実施形態9)
 図33は、本発明の実施形態9の磁性粒子除去� ��置50の配設構造及びそのドラム状吸着部411� �構成を上記実施形態1とは異ならせたもので� ��る。尚、図10等と実質的に同じ又は相当す� �機能を有する構成要素については同じ符号� �付してその詳細な説明を適宜省略する。す� �わち、本実施形態では、磁性粒子除去装置50 は、スーパクリーンタンク104とは別に、被処 理流体を処理する処理槽110を有していて、浄 化処理後の処理液を接続配管111を介してスー パクリーンタンク104へと供給するように構成 されている。また、磁性粒子除去装置50のド� ��ム状吸着部411は、円筒ドラム状を呈してお� ��、該ドラム状吸着部411の外周面が吸着面51a� ��されている。

 上記処理槽110は、スーパクリーンタンク1 04の上壁部104aの上面に配設されており、該処 理槽110の上壁部110aには、導入口64aが形成さ� �、サイクロン式処理容器2から排出された被� ��理流体が該導入口64aから処理槽110内に流入� ��る。

 導入口64aから処理槽110内に流入した被処� ��流体は、案内ケーシング74により案内され� �上記ドラム状吸着部411の吸着面51aに沿って� �ャフト61回りに反時計回り方向に流動した後 に接続配管111から排出される。

 案内ケーシング74は、吸着面51aと該案内� �ーシング74との間の流路70の流路断面積を可� ��とするべくその径方向位置を調整可能にな� ��ている。この調整により、例えば1μm~5μmの� ��細のスラッジ(磁性粒子j)を確実に除去する� ��とができる。

 上記ドラム状吸着部411は、円筒状の非磁� ��体からなる円筒本体112と、該円筒本体112の� ��周側面112aに周方向に互いに所定間隔を隔て て配設される永久磁石(図示省略)とで構成さ� ��、各永久磁石のドラム径方向内側面にはヨ� ��ク(本実施形態ではパーマロイ)が積層され� �いる。上記円筒本体112は、その軸心部を貫� �する駆動シャフト61に回転一体に固定されて おり、この駆動シャフト61は、不図示のモー� ��の出力軸に動力伝達可能に連結されている� ��なお、ヨークとしては、一面の永久磁石の� ��力を強くすることができれば他のものでも� ��く、この実施形態に限られるものではなく� ��ニッケルメッキを施した磁性体、単なる磁� ��体等でもよい。

 ドラム状吸着部411の上端部の吸着面51aに� ��、除去本体部80が配設されている。尚、除� �本体部80の基本的な構成は、上記実施形態1� �と同様であるため、ここではその説明を省� �する。

 除去本体部80は、モータ56により円筒本体 112(ドラム状吸着部411)がシャフト61回りに反� �計回り方向に回転駆動されることで、該吸� �面51aに沿って時計回り方向に相対移動する� �そして、除去本体部80は、該吸着面51a上を時 計回り方向に相対移動しながら、吸着面51a上 の磁性粒子jを掻取り面81aにて掻き取るとと� �に、掻き取った磁性粒子jをハウジング部材8 3内(回収用空間82内)に吸引して除去する。こ� ��して、上記実施形態1等と同様に、吸着面51a 上に吸着された磁性粒子jを、吸着面51aに再� �着される前に吸引除去することができ、上� �実施形態1等と同様の作用効果を得ることが� ��きる。

 また、本実施形態では、ドラム状吸着部4 11の回転方向と、被処理流体の回転流動方向� ��は共に、シャフト61回りに反時計回り方向� �一致しており、このため、被処理流体中の� �性粒子jを効率的に除去することができる。

 特に、本実施形態では、永久磁石を円筒� ��の吸着面51aの内側に配置できるので、永久� ��石の設置範囲が広く、吸着される面が広い� ��で、コンパクトな形状で吸着率を上げる上� ��は効果的である。

 (実施形態10)
 図34は、上記実施形態9と同様のドラム状吸� ��部411に、実施形態6で説明したような除去本 体部80を組み合わせたものである。また、必� ��の構成要素ではないが、この実施形態では� ��案内ケーシング74の外周側に、円筒本体112� �内周側面112aに設けられた永久磁石に対向す� ��対向磁性板461が設けられ、実施形態9と同様 に磁気吸引力が強められるようになっている 。なお、同様に実施形態6~実施形態8で説明し たような除去本体部80を組み合わせるなどし� ��もよい。

 このように構成する場合にも、やはり、� ��記実施形態9と同様に、吸着面51a上に吸着さ れた磁性粒子jを、吸着面51aに再吸着される� �に吸引除去することができ、同様の作用効� �を得ることができる。

 (その他の磁性粒子除去装置50の変形例)
 円板状吸着部60における永久磁石55の配置は 、図11に示すものに限らず、例えば、図35に� �すように配置するなどしてもよい。また、� �久磁石55の極性の配置も種々設定してもよい 。具体的には、例えば図35のように半径方向� ��3列設ける場合であれば、表面側の極性を内 周側からNSNとしたり、SNNとしたり、SSNとした りするなどしてもよい。また、円周方向で極 性を異ならせたりしてもよい。

 また、ヨーク54は、各永久磁石55と対応さ せて設けるのに限らず、複数の永久磁石55、� ��に、表面側の極性の異なるものが磁気的に� ��合されるように設けるなどしてもよ。より� ��体的には、例えば図11のように永久磁石55が 配置される場合、内周側の永久磁石55と外周� ��の永久磁石55とに亘る幅の円弧状またはド� �ナツ状のヨーク54を設けるなどしてもよい。

 また、上記のように、ダスト分離装置108� ��備えたダスト分離用タンク103と、サイクロ� ��式分離除去装置1と、磁性粒子除去装置50と� ��組み合わせることによって、例えば、自重� ��沈殿しやすい程度の比較的大きなダスト、� ��重で速やかな沈殿はしにくくても遠心力が� ��用すれば捕捉されやすい程度の磁性粒子、� ��力による吸引によって効率的な除去が可能� ��たは容易になる微細な磁性粒子などをそれ� ��れ効率よく除去できるが、必ずしも、これ� ��の構成要素の組み合わせ、配置順序に限る� ��のではなく、被処理流体の性状や要求され� ��処理能力などに応じて種々設定可能である� ��

 具体的には、例えば図36に示すように磁� �粒子除去装置を省略して、ダスト分離用タ� �ク103とサイクロン式分離除去装置1とを組み� ��わせるなどしてもよい。また、その場合、� ��図に併せて示すように、仕切り壁104e・104f� �設けて、スーパクリーンタンク104内でのダ� �トの沈殿による除去効果を簡便に得るよう� �してもよい。また、磁性粒子除去装置50と仕 切り壁104e・104fとを併用するなどしてもよい� ��

 これらの場合、磁性粒子除去装置50によ� �ても除去されず、または磁性粒子除去装置50 が設けられない場合に、スーパクリーンタン ク104内で沈殿したダストは、例えば、スーパ クリーンタンク104の底部に設けられた排出管 104c、および排出バルブ104dを介してダーティ� ��ンク102に排出させることができる。また、� ��に、軽くてスーパクリーンタンク104内で表� ��に浮いたダストは、例えば、スーパクリー� ��タンク104に貯留された被処理流体の水位が� ��定水位h2に達したときに戻り管104bからサイ� ��ロン供給用貯留タンク109へと戻されるよう� ��することができる。これらのような戻り管1 04bや排出管104c等の構成によって、スーパク� �ーンタンク104内のダストが所定量以上に蓄� �されることを防止することができ、スーパ� �リーンタンク104からのクリーンな液を工作� �械101に供給してクーラント液として使用す� �ことができる。

 また、必ずしも、被処理流体がダスト分� ��用タンク103で比較的大きなダスト除去後に� ��サイクロン式分離除去装置1に供給されるの に限らず、図37に示すように、ダーティタン� ��102の被処理流体がサイクロン式分離除去装� ��1に供給され、分離されたダストが、ダスト 分離用タンク103に送られ、排出されるように してもよい。すなわち、このような場合でも 、サイクロン式分離除去装置1と磁性粒子除� �装置50とを組み合わせることによる磁性粒子 などの効率的な除去効果は得られる。

 また、上記各実施形態では、磁性粒子除� ��装置50にて被処理流体中の磁性粒子jを分離� ��去する前に、サイクロン式分離除去装置1で 予め磁性粒子jの分離除去処理を行うように� �ているが、必ずしもこれに限ったものでは� �い。例えば、被処理流体やダストの性状、� �量、含有量などに応じては、磁性粒子除去� �置50にて分離除去処理を行った後にサイクロ ン式分離除去装置1にて分離除去処理を行う� �うにしてもよいし、また、サイクロン式分� �除去装置1を設けず、50だけによって除去す� �ようにしてもよい。すなわち、サイクロン� �分離除去装置1、磁性粒子除去装置50、およ� �ダスト分離装置108の選択的組み合わせや、� �理順序は、被処理流体やダストの性状等に� �じて、種々設定することができる。

 《その他の事項》
 また、上記各実施形態では、除去本体部80� �、アクリル製の掻取り部材81と、アルミニウ ム製のハウジング部材83との2部材からなるも のとされているが、これに限ったものではな く、例えば、アルミニウム製又はアクリル製 の一体品としてもよい。

 また、上記各実施形態では、磁性粒子jを 回収用空間82内に吸引するための吸引手段と� ��てエジェクタバルブ106を採用するようにし� ��いるが、これに限ったものではなく、例え� ��ダイヤフラムポンプを採用するようにして� ��よい。

 また、上記各実施形態では、円板状吸着� ��60やドラム状吸着部411をモータ56により駆動 することで、除去本体部80を吸着面51aに沿っ� ��相対移動させるようになっているが、これ� ��限ったものではなく、例えば、円板状吸着� ��60やドラム状吸着部411を固定しておいて除� �本体部80をモータ56により吸着面51aに沿って� ��動させるようにしてもよい。

 また、上記各実施形態では、吸着面51aは� ��非磁性体からなるプレート材(実施形態1で� �円形プレート51,実施形態9、実施形態10では� �筒本体112の周側壁)で構成されているが、こ� ��に限ったものではなく、吸着面51aを永久磁� ��等の磁石部材で構成するようにしてもよい� ��

 また、上記各実施形態では、掻取り面81a� ��、上記相対移動方向の後側に行くにしたが� ��て吸着面51aから離れる側に傾斜する傾斜面� ��されているが、これに限ったものではなく� ��例えば、吸着面51aに対して垂直な面であっ� ��もよい。

 なお、以上の実施形態は、本質的に好ま� ��い例示であって、本発明、その適用物、あ� ��いはその用途の範囲を制限することを意図� ��るものではなく、それ以外の種々の構成を� ��含するものである。

 また、上記各実施形態や変形例で説明し� ��構成要素等は、論理的に可能な範囲で種々� ��み合わせたりしてもよい。