以下、この発明の好適な実施の形態につい� ��図面を参照して説明する。
 実施の形態1.
 図1はこの発明の実施の形態1による磁気式� �置センサの断面図である。図において、筐� �1内には、例えば鉄等の強磁性体からなる平� ��状の第1及び第2の固定コア(検出側コア)2,3が 固定されている。固定コア2,3は、検出ギャッ プg1を挟んで一直線上に並設されている。検� ��ギャップg1には、磁気検出素子5が配置され� ��いる。

 筐体1内には、固定コア2,3に沿って検出ギ ャップg1に直交する方向(図の左右方向)へス� �イド変位可能な可動体(磁石ユニット)6が設� �られている。可動体6は、保持部品7、例えば 鉄等の強磁性体からなる第1及び第2の可動コ� ��(磁石側コア)8,9、及び平板状の磁石(永久磁� ��)10を有している。

 可動コア8,9は、保持部品7により保持され ている。また、可動コア8,9は、断面L字形で� �り、互いに反対向きに配置されている。さ� �に、可動コア8,9は、原点ギャップg2を挟んで 互いに対向する原点ギャップ面8a,9aと、固定� ��ア2,3に対向し接触する固定コア対向面8b,9b� �を有している。

 磁石10は、固定コア2,3と可動コア8,9との� �に挟持されている。磁石10は、二極着磁され ており、その着磁方向は図の上下方向である 。

 可動体6の移動方向の両端部には、非磁性 材製の第1及び第2のシャフト11,12が固定され� �いる。第1のシャフト11には、測定対象物13が 当接されている。第2のシャフト12は、ばね14� ��挿通されている。ばね14は、筐体1と可動体6 との間に設けられ、可動体6及び第1のシャフ� ��11を測定対象物13側へ付勢する。

 図2は図1の磁気検出素子5を示す正面図で� ��る。磁気検出素子5としては、例えばホール ICなど、一軸のみの感度を持つ磁気センサが� ��いられている。磁気検出素子5には、例えば ホール素子からなる感磁部5aが設けられてい� ��。また、磁気検出素子5の感磁方向は、図1� �左右方向、即ち可動体6の移動方向に平行な� ��向である。

 図3は図1の磁気式位置センサに発生する� �束ループの一例を示す説明図、図4は図3の可 動体6が変位した場合の磁束ループの一例を� �す説明図である。上記のような磁気式位置� �ンサでは、原点ギャップg2を境として2つの� �束ループが発生される。可動コア8,9と磁石10 とは一体化されており、これらが図の左右方 向へ移動することにより、磁束ループも左右 に移動する。このとき、磁気検出素子5を通� �する磁束が可動体6の位置に比例して変化す� ��ため、磁気検出素子5が検出された磁束に基 づいて測定対象物13の位置を検出することが� ��きる。

 例えば、図4は最大ストローク位置におけ る磁束ループを示している。また、例えば図 3に示すように、磁束ループの分岐点(原点ギ� ��ップg2)が磁気検出素子5の位置と一致した場 合、磁気検出素子5を通過する磁束は図の上� �方向のみとなり、一軸の感度を持つ磁気検� �素子5で検出される磁束はゼロとなる。

 ここで、磁気検出素子5による誤差(絶対� �)は、磁気検出素子5の出力に比例して増加す るため、最も測定したい部分に磁気検出素子 5の原点(ゼロ点)が来るように調整することに よって、測定精度の低下を抑制することがで きる。例えば、磁気検出素子5の原点が測定� �象位置から5mmずれている場合、5mmの位置の� �定を行っても、磁気検出素子5の原点からは1 0mmの位置に相当するため、誤差の絶対量が2� �となる。

 上記のような磁気式位置センサによれば� ��原点ギャップg2の位置によって磁束ループ� �分岐点の位置を調整することが可能であり� �適用場所に応じて原点位置を調整すること� �でき、測定精度の低下を抑制することがで� �る。

 また、実施の形態1では、図4に示すよう� �、可動体6が位置検出可能な最大ストローク� ��置に移動した場合でも、磁石10が第1及び第2 の固定コア2,3に重なっている。即ち、磁石10� ��端部が第1の固定コア2に重なっている。こ� �ため、最大ストローク位置においても、検� �ギャップg1を通過する磁束を磁気検出素子5� �感磁方向に平行に保つことができる。これ� �より、最大ストローク位置付近でのセンサ� �力のリニアリティを向上させることができ� �。

 これに対して、図5に示すように、最大ス トローク位置で磁石10の端部が第1の固定コア 2に重ならない場合、検出ギャップg1を通過す る磁束が磁気検出素子5の感磁方向に対して� �めになる。これにより、最大ストローク位� �付近でのセンサ出力のリニアリティが低下� �る。

 さらに、実施の形態1では、図4に示すよ� �に、可動体6が位置検出可能な最大ストロー� ��位置に移動した場合でも、第1及び第2の可� �コア8,9が第1及び第2の固定コア2,3の範囲内に 位置している。即ち、第2の可動コア9が第2の 固定コア3の端面から外側へ突出しない。こ� �ため、最大ストローク位置においても、漏� �磁束の発生を防止することができ、測定精� �の低下を防止できる。

 これに対して、図6に示すように、最大ス トローク位置で第2の可動コア9が第2の固定コ ア3の端面から外側へ突出する場合、磁路の� �部に磁束飽和が生じ、漏れ磁束が発生して� �まう。

 図7は図1の磁気式位置センサをエレベー� �の秤装置に適用した例を示す構成図、図8は� ��7のVIII部を拡大して示す構成図である。図� �おいて、乗客を収容するかご15は、主索16に� ��り昇降路内に吊り下げられ、巻上機(図示せ ず)の駆動力により昇降される。かご15は、か ご枠17と、かご枠17に支持されたかご室18とを 有している。

 かご室18の床部とかご枠17の下梁との間に は、かご室18内の積載重量に応じて伸縮され� ��ばね(弾性体)19と、かご室18の床部の変位を� ��出する秤装置としての磁気式位置センサ20� �が設けられている。磁気式位置センサ20の基 本原理は図1と同様であり、測定対象物13がか ご室18に相当する。磁気式位置センサ20から� �、かご室18の床部の位置に応じた信号、即ち 積載重量に応じた信号が得られる。従って、 磁気式位置センサ20を秤装置として用いるこ� ��ができる。

 なお、秤装置は、例えばロープシャック� ��や綱止め部など、エレベータの他の場所に� ��けることもできる。

 次に、図9は図1の磁気式位置センサを自� �車の排気ガス再循環弁の開度測定器に適用� �た例を示す構成図である。図において、エ� �ジン21には、エアクリーナ22及びスロットル� ��ルブ23を介して空気が供給される。エンジ� �21からの排気ガスは、触媒24を通して外部に� ��出される。また、排気ガスの一部は、排気� ��ス再循環弁25を介してエンジン21に再供給さ れる。

 排気ガス再循環弁25は、アクチュエータ26 により開閉される。アクチュエータ26には、� ��気ガス再循環弁25の開度を測定するための� �度測定器として磁気式位置センサ27が設けら れている。磁気式位置センサ27の基本原理は� ��1と同様であり、測定対象物13が排気ガス再� ��環弁25又はアクチュエータ26の駆動軸に相当 する。磁気式位置センサ27からは、排気ガス� ��循環弁25の開度に応じた信号が得られる。� �って、磁気式位置センサ27を開度測定器とし て用いることができる。

 このように、この発明の磁気式位置セン� ��は、あらゆる用途に適用することができ、� ��用場所に応じて原点位置を調整することが� ��き、測定精度の低下を抑制することができ� ��。

 実施の形態2.
 次に、図10はこの発明の実施の形態2による� ��気式位置センサの要部を示す構成図である� ��この例では、第1の可動コア8の長さ寸法が� �2の可動コア9の長さ寸法よりも短くなってい る。これにより、原点の両側でストロークが 非対称となっている。他の構成は、実施の形 態1と同様である。

 このように、ストロークを非対称として� ��よく、適用場所に応じて原点位置を調整す� ��ことができ、測定精度の低下を抑制するこ� ��ができる。

 実施の形態3.
 次に、図11はこの発明の実施の形態3による� ��気式位置センサの要部を示す構成図である� ��この例では、固定コア2,3と可動コア8,9及び� ��石10との間に、変動抑制ギャップg3が設けら れている。即ち、可動体6(図1)は、間隔をお� �て固定コア2,3に対向している。従って、可� �体6の変位を案内するガイド部材(図示せず)� �用いられている。他の構成は、実施の形態1� ��同様である。

 このような磁気式位置センサでは、変動� ��制ギャップg3により、固定コア2,3に接離す� �方向(図の上下方向)への可動コア8,9及び磁石 10の変位によるギャップ変動に対する耐性が� ��くなる。

 例えば、初期状態として可動コア8,9及び� ��石10を固定コア2,3に接触させた場合、両者� �間に0.1mmでもギャップが生じると、強磁性体 と比較して空気の磁気抵抗は3桁以上も高い� �め、全体としての磁気抵抗の変動は何倍も� �きくなる。これに対して、予め変動抑制ギ� �ップg3が存在する場合、変動抑制ギャップg3� ��例えば1.0mmから0.1mm変動しても、全体として の磁気抵抗の変化率は10%程度に抑えられる。

 ここで、磁気検出素子5は、検出ギャップ g1を通過する磁束に応じて信号を発生するも� ��であるが、上記の磁気抵抗変化の影響も少� ��くはない。従って、変動抑制ギャップg3を� �め設けておくことにより、固定コア2,3に接� �する方向への可動コア8,9及び磁石10の変位に 対して安定した出力を得ることができる。

 また、変動抑制ギャップg3の大きさを調� �することにより、磁気検出素子5の感度に適� ��た磁束密度に調整することができる。

 実施の形態4.
 次に、図12はこの発明の実施の形態4による� ��気式位置センサの要部を示す構成図である� ��この例では、磁石10の可動コア8,9側の磁極� �と可動コア8,9との間に変動抑制ギャップg4が 設けられている。他の構成は、実施の形態1� �同様である。

 このような磁気式位置センサであっても� ��磁束ループの一部に予め磁気的なギャップ� ��設けられているため、実施の形態3と同様に 、固定コア2,3に接離する方向への可動コア8,9 及び磁石10の変位に対して安定した出力を得� ��ことができる。

 実施の形態5.
 次に、図13はこの発明の実施の形態5による� ��気式位置センサの要部を示す構成図である� ��この例では、磁石10の移動方向の両端面と� �動コア8,9との間に、磁石端ギャップg5が設け られている。他の構成は、実施の形態1と同� �である。

 ここで、図14は図13の磁石端ギャップg5を� ��けない場合の最大ストローク位置における� ��束ループを示す説明図、図15は図13の磁石端 ギャップg5を設けた場合の最大ストローク位� ��における磁束ループを示す説明図である。

 磁石端ギャップg5を設けない場合、最大� �トローク位置において、検出ギャップg1を通 過する磁束が磁気検出素子5の感磁方向に対� �て斜めになる。これにより、最大ストロー� �位置付近でのセンサ出力のリニアリティが� �下する。これに対して、磁石端ギャップg5を 設けた場合、最大ストローク位置においても 、検出ギャップg1を通過する磁束を磁気検出� ��子5の感磁方向に平行に保つことができる。 これにより、最大ストローク位置付近でのセ ンサ出力のリニアリティを向上させることが できる。

 図16は図13の第1及び第2の可動コア8,9及び� ��石10の保持部品7への組付構成例を示す分解� ��視図である。保持部品7には、磁石10が挿入� ��れる磁石挿入孔7aと、可動コア8,9の端部が� �入されるコア挿入孔7b,7cとが設けられている 。磁石端ギャップg5を設けたことにより、磁� ��10の両端部は磁束密度の大きさに殆ど影響� �与えないため、磁石端ギャップg5に保持部品 7を挿入することにより、可動コア8,9及び磁� �10を容易に一体化できる。

 実施の形態6.
 次に、図17はこの発明の実施の形態6による� ��気式位置センサの要部を示す構成図である� ��この例では、可動コア8,9及び磁石10の移動� �向への原点ギャップg2の寸法が、同方向への 検出ギャップg1の寸法よりも大きくなってい� ��(g2>g1)。他の構成は、実施の形態1と同様� �ある。

 このような磁気式位置センサでは、原点� ��ャップg2が検出ギャップg1よりも広いため、 原点ギャップg2の磁気抵抗が高くなり、磁束� ��ープの分岐を明確にすることができ、原点� ��設定を容易にすることができる。

 実施の形態7.
 次に、図18はこの発明の実施の形態7による� ��気式位置センサの要部を示す構成図である� ��この例では、磁石10の固定コア2,3側の磁極� �と固定コア2,3との間に変動抑制ギャップg3が 設けられている。

 また、磁石10の固定コア2,3側の磁極面が� �固定コア対向面8b,9bよりも固定コア2,3側へ突 出している。逆に言うと、固定コア対向面8b, 9bと固定コア2,3との間の間隔は、磁石10と固� �コア2,3との間の間隔よりも大きくなってい� �。他の構成は、実施の形態1と同様である。

 このような磁気式位置センサでは、可動� ��ア8,9及び磁石10が固定コア2,3に対して傾い� �場合の誤差を低減することができる。例え� �図19に示すように、可動コア8,9及び磁石10が� ��斜した場合、変動抑制ギャップg3のギャッ� �変動は、固定コア対向面8b,9b付近で大きくな る。これに対して、固定コア対向面8b,9bと固� ��コア2,3との間の距離を大きくすることによ� ��、ギャップ変動に対する耐性を高めること� ��できる。

 実施の形態8.
 次に、図20はこの発明の実施の形態8による� ��気式位置センサの要部を示す構成図である� ��この例では、可動コア8,9及び磁石10と固定� �ア2,3との間に変動抑制ギャップg3が設けられ ている。

 また、磁気検出素子5の端部が固定コア2,3 から磁石10側及びその反対側へ突出している� ��逆に言うと、固定コア2,3の厚さ寸法が同方� ��への磁気検出素子5の寸法よりも小さくされ ている。他の構成は実施の形態1と同様であ� �。

 固定コア2,3の厚さは、磁気検出素子5に平 行な磁束を供給できるように設定される。ま た、変動抑制ギャップg3を設けた場合、磁気� ��出素子5の一部を固定コア2,3から突出させて も磁石10に干渉しない。このため、固定コア2 ,3の厚さ寸法を同方向への磁気検出素子5の寸 法より小さくしても、感磁部5aには平行な磁� ��を供給することができ、磁気式位置センサ� ��小型軽量化及び低コスト化(材料費)を図る� �とができる。

 実施の形態9.
 次に、図21はこの発明の実施の形態9による� ��気式位置センサの断面図、図22は図21のXXII-X XII線に沿う断面図、図23は図21の固定コアを� �す斜視図、図24は図21の可動コアを示す斜視� ��である。

 図において、円筒状の筐体31内には、例� �ば鉄等の強磁性体からなる円筒状の第1及び� ��2の固定コア(検出側コア)32,33が固定されて� �る。固定コア32,33は、リング状の検出ギャッ プg1を挟んで同軸線上に配置されている。検� ��ギャップg1の周方向の1箇所には、磁気検出� ��子5が配置されている。

 固定コア32,33内には、固定コア32,33に沿っ て固定コア32,33の軸方向(図の左右方向)へス� �イド変位可能な可動体(磁石ユニット)36が設� ��られている。可動体36は、例えば鉄等の強� �性体からなる円筒状の第1及び第2の可動コア (磁石側コア)38,39、及び円筒状の磁石(永久磁� ��)40を有している。

 可動コア38,39の軸方向一端部には、図24に 示すようにフランジ部38a,39aが設けられてい� �。フランジ部38a,39aの径は、可動コア38,39の� �ランジ部38a,39aを除く部分の径よりも大きい� ��可動コア38,39は、フランジ部38a,39aとは反対� ��の端面がリング状の原点ギャップg2を挟ん� �互いに対向するように、同軸線上に互いに� �向きに配置されている。

 磁石40は、可動コア38,39のフランジ部38a,39 aを除く部分と原点ギャップg2とを囲繞してい る。磁石40は、二極着磁されており、その着� ��方向は半径方向(肉厚方向)である。

 可動体36には、非磁性材製のシャフト41が 貫通されている。シャフト41には、可動コア3 8,39が固定されている。シャフト41には、測定 対象物13が当接されている。筐体31と可動体36 との間には、可動体36及びシャフト41を測定� �象物13側へ付勢するばね44が設けられている� ��

 このような磁気式位置センサの固定コア3 2,33、可動コア38,39及び磁石40の構成は、実施� ��形態1の固定コア2,3、可動コア8,9及び磁石10� ��回転させて円筒形にしたものである。従っ� ��、位置検出の基本原理は実施の形態1と同様 であり、適用場所に応じて原点位置を調整す ることができ、測定精度の低下を抑制するこ とができる。

 また、固定コア32,33、可動コア38,39及び磁 石40をそれぞれ円筒形としたことにより、ギ� ��ップ変動による誤差に対して差動構造とな� ��ため、測定精度を向上させることができる� ��

 さらに、可動コア8,9及び磁石40が固定コ� �32,33のどの方向へ偏ったとしても、固定コア 32,33に比べて空気の磁気抵抗が非常に大きい� ��め、検出ギャップg1を渡る磁束密度はほぼ� �一化される。従って、検出ギャップg1の周方 向の1箇所のみに磁気検出素子5を配置しても� ��十分な測定精度を得ることができる。

 なお、実施の形態9では、固定コア32,33、可� ��コア38,39及び磁石40をそれぞれ円筒形とした が、断面に3つ以上の角部を有する多角形筒� �としてもよい。
 また、実施の形態2に示したように、原点の 両側でストロークが非対称となっていてもよ い。
 さらに、実施の形態3に示したように、固定 コア32,33と可動コア38,39及び磁石40との間に変 動抑制ギャップを設けてもよい。
 さらにまた、実施の形態4に示したように、 磁石40の可動コア38,39側の磁極面と可動コア38 ,39との間に変動抑制ギャップを設けてもよい 。

 また、実施の形態5に示したように、磁石40� ��移動方向の両端面と可動コア38,39との間に� �石端ギャップを設けてもよい。
 さらに、実施の形態6に示したように、可動 コア38,39及び磁石40の移動方向への原点ギャ� �プの寸法を、同方向への検出ギャップの寸� �よりも大きくしてもよい。
 さらにまた、実施の形態7に示したように、 可動コア38,39の固定コア32,33に対向する面と� �定コア32,33との間の間隔を、磁石40と固定コ� ��32,33との間の間隔よりも大きくしてもよい� �
 また、実施の形態8に示すように、磁気検出 素子5の端部を固定コア32,33から磁石40側及び� ��の反対側へ突出させてもよい。

 実施の形態10.
 次に、図25はこの発明の実施の形態10による 磁気式位置センサの第1及び第2の固定コア32,3 3と磁気検出素子5との関係を示す説明図であ� ��。この例では、固定コア32,33の周方向に互� �に等間隔をおいて4個の磁気検出素子5が配置 されている。他の構成は、実施の形態9と同� �である。

 このような磁気式位置センサでは、4個の 磁気検出素子5からの出力を平均化すること� �より、検出ギャップg1間を渡る磁束密度の位 置による僅かな誤差を補正することができ、 測定精度をさらに向上させることができる。

 実施の形態11.
 次に、図26はこの発明の実施の形態11による 磁気式位置センサの可動コア38,39を示す斜視� ��である。この例では、可動コア38,39に中空� �を設けず、可動コア38,39を円柱状としたもの である。他の構成は、実施の形態9と同様で� �る。

 このように、可動コア38,39の貫通孔を省� �することにより、可動コア38,39の構造が単純 化され、製作コストを低減することができる 。

 実施の形態12.
 次に、図27はこの発明の実施の形態12による 磁気式位置センサの要部を示す構成図、図28� ��図27のXXVIII-XXVIII線に沿う断面図である。図� ��おいて、固定コア32,33の互いに対向する端� �の周方向の一部には、磁気検出素子5へ向け� ��突出した突起部32a,33aが設けられている。他 の構成は、実施の形態9と同様である。

 このような磁気式位置センサでは、突起� ��32a,33a間の磁気抵抗を低減することができ、 磁力の弱い磁石40(図21)を用いた場合でも、十 分な測定精度を得ることができる。

 実施の形態13.
 次に、図29はこの発明の実施の形態13による 磁気式位置センサの要部を示す構成図、図30� ��図29のXXX-XXX線に沿う断面図、図31は図29のXXX I-XXXI線に沿う断面図である。

 図において、固定コア32,33の互いに対向� �る端部には、径方向外側へ突出した突起部32 b,33bが設けられている。突起部32b,33bは、固定 コア32,33の周方向の磁気検出素子5と同じ位置 に設けられている。即ち、磁気検出素子5の� �部は、突起部32b,33b間に配置されている。他� ��構成は、実施の形態9と同様である。

 このような磁気式位置センサでは、固定� ��ア32,33の外周部に突起部32b,33bを設け、突起� ��32b,33b間に磁気検出素子5を配置したので、� �気検出素子5への磁束の供給を確保しつつ、� ��定コア32,33の突起部32b,33bを除く部分の肉厚� ��薄くすることができる。これにより、セン� ��全体の小型軽量化を図ることができる。

 実施の形態14.
 次に、図32はこの発明の実施の形態14による 磁気式位置センサの要部断面図である。この 例では、実施の形態13の突起部32b,33bの代わり に、固定コア32,33とは別体の突起部45,46が固� �コア32,33の外周部に取り付けられている。突 起部45,46は、例えば接着剤47により固定コア32 ,33に接着されている。

 このように、固定コア32,33と突起部45,46と の間のギャップが検出ギャップg1に比べて十� ��に小さければ、突起部45,46を固定コア32,33と は別体で構成することが可能であり、固定コ ア32,33の構造を複雑にすることなく、固定コ� ��32,33の肉厚を薄くすることができる。

 実施の形態15.
 次に、図33はこの発明の実施の形態15による 磁気式位置センサの要部を示す分解斜視図、 図34は図33の磁気式位置センサの要部断面図� �ある。図において、筐体31の軸方向の中間部 には、開口部(窓部)31aが設けられている。突� ��部45,46は、開口部31aに挿入され、固定コア32 ,33の外周部に接着されている。磁気検出素子 5は、開口部31aを通して検出ギャップg1に配置 されている。

 このような磁気式位置センサでは、筐体3 1に開口部31aを設けたので、固定コア32,33を筐 体31に挿入した後に突起部45,46及び磁気検出� �子5の装着が可能であり、筐体31及び固定コ� �32,33の形状を単純化でき、かつ突起部45,46及� ��磁気検出素子5と固定コア32,33との位置合わ� ��が容易である。

 なお、磁気検出素子5は、突起部45,46を開� ��部31aに挿入する前に予め突起部45,46間に固� �しておいてもよい。この場合、突起部45,46と 磁気検出素子5との間には、接着剤や非磁性� �ペーサ等が介在してもよい。

 実施の形態16.
 次に、図35はこの発明の実施の形態16による 磁気式位置センサの要部断面図である。この 例では、固定コア32,33間の間隔よりも突起部4 5,46間の間隔(検出ギャップg1)が小さくなって� ��る。他の構成は、実施の形態15と同様であ� �。

 このように構成することにより、実施の� ��態12と同様に、突起部45,46間の磁気抵抗を低 減することができ、磁力の弱い磁石40(図21)を 用いた場合でも、十分な測定精度を得ること ができる。

 実施の形態17.
 次に、図36はこの発明の実施の形態17による 磁気式位置センサの要部断面図である。この 例では、突起部45,46が、固定コア32,33の外周� �ではなく、軸方向の端面に接着されている� �このような構成によっても、実施の形態15と 同様の効果を得ることができる。

 実施の形態18.
 次に、図37はこの発明の実施の形態18による 磁気式位置センサの要部を示す構成図、図38� ��図37のXXXVIII-XXXVIII線に沿う断面図である。� �において、固定コア32,33の互いに対向する端 部には、径方向外側へ突出した突起部32c,33c� �設けられている。突起部32c,33cは、固定コア3 2,33の全周に渡って設けられている。他の構� �は、実施の形態13と同様である。

 このような磁気式位置センサでは、固定� ��ア32,33の外周部に突起部32c,33cを設け、突起� ��32c,33c間に磁気検出素子5を配置したので、� �気検出素子5への磁束の供給を確保しつつ、� ��定コア32,33の突起部32b,33bを除く部分の肉厚� ��薄くすることができる。これにより、セン� ��全体の小型軽量化を図ることができる。ま� ��、突起部32b,33bを固定コア32,33の全周に渡っ� ��設けたので、固定コア32,33の形状を単純化� �ることができる。

 実施の形態19.
 次に、図39はこの発明の実施の形態19による 磁気式位置センサの要部を示す構成図、図40� ��図39のXXXX-XXXX線に沿う断面図、図41は図39の� ��定コア32,33を示す斜視図である。

 この例では、固定コア32,33の端部に突起� �32c,33cを設ける代わりに、固定コア32,33の外� �が固定コア32,33の軸方向に沿って連続的に変 化されている。即ち、固定コア32,33の互いに� ��向する端部の外径は、反対側の端部の外径� ��りも大きくなっている。但し、固定コア32,3 3の内径は、軸方向に沿って一定である。こ� �構成は、実施の形態9と同様である。

 このような磁気式位置センサでは、固定� ��ア32,33の磁気検出素子5側の端部の外径を反� ��側の端部の外径よりも大きくしたので、磁� ��検出素子5への磁束の供給を確保しつつ、固 定コア32,33の肉厚を磁気検出素子5とは反対側 の端部へ向けて徐々に薄くすることができる 。これにより、センサ全体の小型軽量化を図 ることができる。

 実施の形態20.
 次に、図42はこの発明の実施の形態20による 磁気式位置センサの要部断面図である。図に おいて、磁石40は、周方向に複数に分割され� ��いる。即ち、磁石40は、断面半円状の第1及� ��第2の磁石片40a,40bに分割されている。磁石� �40a,40b間には、磁石片ギャップg6,g7が設けら� �ている。可動コア38,39及び磁石40と固定コア3 2,33との間には、実施の形態3で説明したよう� ��変動抑制ギャップg3が設けられている。

 固定コア32,33の断面は、楕円形状である� �また、変動抑制ギャップg3の大きさは、セン サの周方向について、磁石片ギャップg6,g7の� ��近で最も小さくされ(d1)、磁石片ギャップg6, g7から最も離れた位置で最も大きくされてい� ��(d2)。他の構成は、実施の形態9と同様であ� �。

 このように、円筒形の磁石40を磁石片40a,4 0bに分割することにより、磁石40の製作を容� �にすることができる。また、磁石片40a,40b間� ��磁石片ギャップg6,g7を設けることにより、� �石片40a,40bの製作精度を低くすることができ� ��とともに、可動コア38,39への磁石片40a,40bの� ��み付けを容易にすることができる。

 但し、磁石片ギャップg6,g7を設けた場合� �磁石片ギャップg6,g7の部分で磁束密度が低下 するため、センサを円筒形にしたことによる 差動構造の効果が低下する。これに対して、 変動抑制ギャップg3の大きさを磁石片ギャッ� ��g6,g7の位置で他の位置よりも小さくするこ� �により、磁束ループの強度をセンサの周方� �で均等化し、差動構造による効果の低減を� �制することができる。

 実施の形態21.
 次に、図43はこの発明の実施の形態21による 磁気式位置センサの要部断面図である。この 例では、固定コア32,33の断面は円形である。� ��た、磁石片40a,40bの断面の厚さ寸法は、磁石 片ギャップg6,g7に隣接する両端部で最も大き� ��、中間部で最も小さくなっている。他の構� ��は、実施の形態20と同様である。

 このような磁気式位置センサでは、磁束� ��度は磁石40の肉厚に比例するので、磁石片� �ャップg6,g7付近の磁石片40a,40bの肉厚を他の� �分の肉厚よりも厚くすることにより、磁石� �ギャップg6,g7付近の磁束密度を高め、磁束ル ープの強度をセンサの周方向で均等化するこ とができる。

 実施の形態22.
 次に、図44はこの発明の実施の形態22による 磁気式位置センサの要部断面図、図45は図44� �可動コア38,39を示す正面図である。図におい て、可動コア38,39のフランジ部38a,39aの断面は 、楕円形状である。即ち、フランジ部38a,39a� �外周面と固定コア32,33の内周面との間の距離 は、センサの周方向について、磁石片ギャッ プg6,g7の付近で最も小さくされ、磁石片ギャ� ��プg6,g7から最も離れた位置で最も大きくさ� �ている。他の構成は、実施の形態20と同様で ある。

 このように、磁石片ギャップg6,g7の位置� �おける磁束密度を高めるようにフランジ部38 a,39aの外周形状を変形させた場合にも、磁束� ��ープの強度をセンサの周方向で均等化する� ��とができる。

 実施の形態23.
 次に、図46はこの発明の実施の形態23による 磁気式位置センサの要部断面図である。図に おいて、磁石40は、断面円弧状の第1ないし第 3の磁石片40c~40eに分割されている。磁石片40c~ 40e間には、磁石片ギャップg8~g10が設けられて いる。可動コア38,39及び磁石40と固定コア32,33 との間には、実施の形態3で説明したような� �動抑制ギャップg3が設けられている。

 固定コア32,33の断面は、三角形である。� �た、変動抑制ギャップg3の大きさは、センサ の周方向について、磁石片ギャップg8~g10の付 近で最も小さくされ、磁石片ギャップg8~g10か ら最も離れた位置で最も大きくされている。 他の構成は、実施の形態9と同様である。

 このように、固定コア32,33の断面形状を� �石片ギャップg8~g10の数に対応した多角形と� �ることによっても、変動抑制ギャップg3の大 きさを磁石片ギャップg6,g7の位置で他の位置� ��りも小さくすることができ、磁束ループの� ��度をセンサの周方向で均等化し、差動構造� ��よる効果の低減を抑制することができる。

 なお、この発明の磁気式位置センサの用途� ��、エレベータの秤装置及び弁の開度測定器� ��限定されるものではない。
 また、上記の例では、第1及び第2の検出側� �アを固定し、磁石ユニットを移動可能とし� �が、逆であってもよい。
 さらに、第1及び第2の検出側コア、第1及び� ��2の磁石側コア、及び磁石を筒状にする場合 、磁石ユニットの内側に第1及び第2の検出側� ��アを配置することもできる。