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Patent Searching and Data


Title:
MEASUREMENT DEVICE AND MEASUREMENT METHOD FOR SMALL GAS VOLUMES
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2018/095854
Kind Code:
A1
Abstract:
The invention relates to a gas flow meter (100) comprising a linear measuring tube (1) having an inner volume (1f); a gas inlet (1a) at a proximal end (1b) of the measuring tube (1) and a gas outlet (1c) at a distal end (1d) of the measuring tube (1); a piston (2) in the inner volume (1f), wherein the piston (2) comprises at least one gas seal (3) which forms a seal with the measuring tube (1) and the piston can be moved in a gas-tight manner at least between the gas inlet (1a) and the gas outlet (1c) by means of a force application; at least one switching means (4, 11, 16) for controlling the movement of the piston (2) in the direction of the proximal end (1b) of the measuring tube (1); and at least one means for temporally repeatedly detecting the position of the piston (2) in the measuring tube (1) as well as an evaluation unit (17) which is designed to establish and metrologically determine at least one relationship between a time profile of the movement of the piston (2) in the measuring tube (1) and the quantity of gas delivered to the measuring tube (1), wherein the measuring tube (1) is made of a non-magnetic material; the piston (2) is permanently magnetically configured with a dipole moment along the axis (1e) of the measuring tube (1); the gas seal (3) which closes off the measuring tube (1) is designed as a ferrofluid surrounding the piston (2); with respect to the measuring tube (1), the piston (2) has an undersize that is at least so large that the pressure generated by the magnetic field gradient of the piston (2) in the ferrofluid (3) is sufficient to largely compensate for the adhesive forces between the piston, the ferrofluid and the measuring tube; with respect to the measuring tube (1), the piston (2) has an undersize that is so small that, for the intended pressure range of the gas to be measured, the sealing tightness of the gas seal consisting of ferrofluid (3) and situated between the measuring tube (1) and the piston (2) is ensured but, at a gas pressure outside the intended pressure range, the gas flows through the seal; and the at least one means for temporally repeatedly detecting the position of the piston (2) comprises at least one magnetic field sensor (8, 9) which is disposed at a predetermined location of the measuring tube (1) and which indicates at least the presence of the piston (2) at a predetermined location of the inner volume (1f).

Inventors:
HUTH MARCUS (DE)
TÖLLE RAINER (DE)
Application Number:
PCT/EP2017/079753
Publication Date:
May 31, 2018
Filing Date:
November 20, 2017
Export Citation:
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Assignee:
PROMETHANO GMBH (DE)
International Classes:
G01F3/16; G01F3/04; G01F15/10
Domestic Patent References:
WO1992021941A11992-12-10
WO2011076415A22011-06-30
WO2011083125A12011-07-14
Foreign References:
US20050217346A12005-10-06
DE102009007652A12010-08-26
AT512619B12015-02-15
DE3129365C21991-07-18
DE19539551C21997-07-17
US5456107A1995-10-10
DE3224285A11983-12-29
DE69931787T22007-05-24
DE102010000690A12011-07-07
DE102008024166B42014-11-27
EP0012556B11983-08-10
Attorney, Agent or Firm:
MÜLLER & SCHUBERT PATENTANWÄLTE (DE)
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Claims:
Patentansprüche

Gasflussmesser (100), aufweisend ein lineares Messrohr (1 ) mit einem Innenvolumen (1f), mit einem Gaseinlass (1 a) an einem proximalen Ende (1 b) des Messrohres (1 ) und mit einem Gasauslass (1 c) an einem distalen Ende (1d) des Messrohres (1 ), mit einem Kolben (2) im Innenvolumen (1f), wobei der Kolben (2) zumindest eine mit dem Messrohr (1 ) abschließende Gasdichtung (3) aufweist und durch einen Kraftangriff wenigstens zwischen Gaseinlass (1 a) und Gasauslass (1 c) gasdicht beweglich ist, mit wenigstens einem Schaltmittel (4, 1 1 , 16) zum Steuern der Bewegung des Kolbens (2) in Richtung auf das proximale Ende (1 b) des Messrohres (1 ) und mit mindestens einem Mittel zur zeitlich wiederholten Lageerfassung des Kolbens (2) im Messrohr (1 ) sowie einer Auswerteeinheit (17), die dazu ausgebildet ist, wenigstens eine Relation zwischen einem Zeitverlauf der Bewegung des Kolbens (2) im Messrohr (1 ) und der dem Messrohr (1 ) zugeführte Gasmenge herzustellen und messtechnisch zu bestimmen, wobei

a. das Messrohr (1 ) aus einem nicht-magnetischen Material gebildet ist, b. der Kolben (2) permanentmagnetisch mit einem Dipolmoment entlang der Achse (1 e) des Messrohres (1 ) ausgebildet ist,

c. die mit dem Messrohr (1 ) abschließende Gasdichtung (3) als ein den Kolben (2) umgebendes Ferrofluid ausgebildet ist,

d. der Kolben (2) gegenüber dem Messrohr (1 ) ein Untermaß aufweist das mindestens so groß ist, dass der vom Magnetfeldgradienten des Kolbens (2) im Ferrofluid (3) erzeugte Druck ausreicht, um die Adhäsionskräfte zwischen Kolben, Ferrofluid und Messrohr weitgehend zu kompensieren,

e. der Kolben (2) gegenüber dem Messrohr (1 ) ein Untermaß aufweist das so klein ist, dass für den konzipierten Druckbereich des zumessenden Gases die Dichtheit der zwischen Messrohr (1 ) und Kolben (2) befindlichen Gasdichtung aus Ferrofluid (3) gegeben ist, die Dichtung jedoch bei einem Gasdruck außerhalb des konzipierten Druckbereichs vom Gas durchströmt wird und

f. mindestens ein Mittel zur zeitlich wiederholten Lageerfassung des Kolbens (2) wenigstens eines Magnetfeldsensor (8, 9) angeordnet an einer vorbestimmten Stelle des Messrohres (1 ) umfasst, der wenigstens die Anwesenheit des Kolbens (2) an einer vorbestimmten Stelle des In- nenvolumens (1f) anzeigt

2. Gasflussmesser, gemäß Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Druck in der Gasquelle konstant gehalten wird, indem ein 3-Wege- Ventil (4) zwischen Gaseinlass (1 a) und Gasauslass (7a) umgeschaltet, bevor der Kolben (2) seine mechanischen Endanschläge erreicht.

3. Gasflussdurchmesser, gemäß Anspruch 1oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das lineare Messrohr (1 ) so ausgerichtet ist, dass wenigstens eine von Null verschiedene Komponente einer Schwerkraft des Kolbens (2) auf das proximale Ende (1 b) des Messrohres gerichtet ist, insbesondere ist das Messrohr (1 ) vertikal ausgerichtet.

4. Gasflussmesser, gemäß mindestens einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein permanentmagnetischer Kontermagnet (10) mit einer magnetischen Polung entgegengesetzt zu einer magnetischen Polung des Kolbens (2) am distalen Ende (1 d) des Messrohres (1 ) verstellbar fest angeordnet ist.

5. Gasflussmesser, gemäß mindestens einem der voranstehenden Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine Einrichtung (16) zur Erzeugung eines Störmagnetfeldes an einem vorbestimmten Störort des Messrohres (1 ) angeordnet ist, wobei bei einer Annäherung des Kolbens (2) an den Störort eine Superposition des Störmagnetfeldes und des Magnetfeldes des Kolbens (2) die Gasdichtung aus Ferrofluid (3) durch eine Umverteilung des Ferrofluids (3) aufhebt.

6. Gasflussmesser, gemäß Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Störmagnetfeld den permanentmagnetischen Kolben (2) bei einer definierbaren Annäherung an den Störort festhält.

7. Gasflussmesser, gemäß einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Einrichtung (16) zur Erzeugung eines Störmagnetfeldes steuerbar oder regelbar, ausgebildet ist.

8. Gasflussmesser, gemäß mindestens einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Einrichtung (16) zur Erzeugung eines Störmagnetfeldes entlang des linearen Messrohres (1 ) bewegbar gelagert ist.

9. Gasflussmesser, gemäß Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegung der zumindest einen Einrichtung (16) zur Erzeugung eines Störmagnetfeldes durch zumindest einen Stellantrieb (12) erfolgt, wobei eine Längenbestimmung des Stellweges erfolgt.

10. Gasflussmesser, gemäß Anspruch 6 und einem der Ansprüche 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass bei Bewegung der aktivierten Einrichtung (16) zum Erzeugen eines Störmagnetfeldes der Kolben (2) mitbewegt wird.

1 1 . Gasflussmesser, gemäß einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung (16) zur Erzeugung des Störmagnetfeldes und der wenigstens eine Magnetfeldsensor (8, 9) unter Beibehaltung einer vorbestimmten Lage zueinander gemeinsam beweglich ausgebildet sind.

Description:
Messvorrichtung und Messverfahren für kleine Gasvolumen

Die Erfindung betrifft einen Gasflussmesser und Messverfahren für kleinste Gasvolumenströme, die bei einer Verschiebung kleinster Gasmengen mit sehr geringen Verlusten der Antriebsenergie aus dem Gas selbst auskommt.

Die AT 512619 B1 zeigt ein Durchflussmessgerät, mit einem Verdrängerzähler, bei dem in einer Umgehungsleitung ein Druckdifferenzaufnehmer parallel geschaltet ist, wobei ein mit dem Verdrängerzähler drehverbundener Motor (M) abhängig von einem vom Druckdifferenzaufnehmer festgestellten Differenzdruck zwischen Zu- und Abströmseite des Verdrängerzählers zum stetigen Differenzdruck-Ausgleich angesteuert wird und der Druckdifferenzauf- nehmer einen in einem Zylinderbereich der Umgehungsleitung frei bewegli- chen Kolben aufweist. Die durch den Differenzdruck bedingte Auslenkung des Kolbens wird durch einen Magnetfeldsensor gemessen und ein entsprechendes Sensorsignal erzeugt, welches über eine Regeleinheit zu einer Drehzahlanpassung des Motors des Verdrängerzählers verwendet wird. Aus der DE 31 29 365 C2 ist ein Dosiergerät mit Ventilumschaltung bekannt.

Mit der DE 195 39 551 C2 werden ein Messsystem und ein Messverfahren zur Erfassung der Position eines Kolbens beansprucht, der mit magnetischen Bauteilen und Sensorik zur Erfassung von magnetischen Feldern arbeitet.

In der US 5 456 107 A wird ein„Modular Gas Flowmeter" beschrieben. Dieses Gerät misst periodisch die Geschwindigkeit des einströmenden Gases. Die Geschwindigkeit wird aus der Bewegung eines sich gegen die Schwerkraft aufwärts bewegenden Kolbens abgeleitet. Der Kolben wird periodisch vom einströmenden Gas aufwärts bewegt. Der dabei zurückgelegte Weg wird durch das Erreichen jeweils einer von vielen Markierungen erfasst.

Die DE 32 24 285 A1 beschreibt ein Durchflussmesssystem mit einem vom Differenzdruck eines Venturirohrs beaufschlagten Messkörper. Die DE 699 31 787 T2 zeigt eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Verabreichung einer vorbestimmten Menge von Tropfen. Darin wird ein Ventilele- ment aus einem harten Magnetmaterial vorgeschlagen, das durch ein externes Magnetfeld betätigt wird. Dafür wird nur eine Spule benötigt, da nur die Richtung des Stroms umgekehrt werden muss, um das Ventil zu öffnen und zu schließen.

Eine Dosiervorrichtung und Dosierverfahren unter Einsatz von Ferrofluid beschreibt DE 10 2010 000 690 A1 .

Die DE 10 2008 024 166 B4 offenbart weiterhin ein Kolben-Zylinderaggregat.

Die EP 12556 B1 schließlich zeigt allgemeine Konstruktionsmerkmale eines "magnetic liquid shaft seal". Hier sind die typischen Verteilungen von Ferro- fluid auf permanentmagnetischen Dichtungselementen dargestellt.

Beim derzeitigen Stand der Technik werden damit verfahrenstechnische und vorrichtungstechnische Wege beschritten, bei denen gerade die Effekte des angewandten Verdrängungsprinzips eine relativ hohe Ungenauigkeit bzw. Verfälschung der Messergebnisse zwingend herbeiführen und daher für die hohen Anforderungen an eine genaue, kontinuierliche Messung nicht in Frage kommen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Gasvolumenströme über einen großen Messbereich hinweg möglichst genau zu erfassen und dabei eine

Vorrichtung bereitzustellen, welche einfach, skalierbar und im Aufbau konstruktiv variabel an die technischen Aufgabenstellungen der Anwendungsgebiete anpassbar ist. Dabei soll die Messvorrichtung zum Betrieb nur sehr geringe Druckunterschiede zwischen Gasein- und Gasausgang benötigen und deshalb mit sehr geringen Verlusten an Antriebsenergie aus dem Gas selbst auskommen.

Diese Aufgabe wird durch Merkmale des Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen gekenn- zeichnet. Gegenstand der Erfindung ist ein Gasflussmesser, aufweisend ein lineares Messrohr mit einem Innenvolumen, mit einem Gaseinlass an einem proximalen Ende des Messrohres und mit einem Gasauslass an einem distalen Ende des Messrohres, mit einem Kolben im Innenvolumen, wobei der Kolben zu- mindest eine mit dem Messrohr abschließende Gasdichtung aufweist und durch einen Kraftangriff wenigstens zwischen Gaseinlass und Gasauslass gasdicht beweglich ist, mit wenigstens einem Schaltmittel zum Steuern der Bewegung des Kolbens in Richtung auf das proximale Ende des Messrohres und mit mindestens einem Mittel zur zeitlich wiederholten Lageerfassung des Kolbens im Messrohr sowie einer Auswerteeinheit, die dazu ausgebildet ist, wenigstens eine Relation zwischen einem Zeitverlauf der Bewegung des Kolbens im Messrohr und der dem Messrohr zugeführte Gasmenge herzustellen und messtechnisch zu bestimmen, wobei

a. das Messrohr aus einem nicht-magnetischen Material gebildet ist, b. der Kolben permanentmagnetisch mit einem Dipolmoment entlang der Achse des Messrohres ausgebildet ist,

c. die mit dem Messrohr abschließende Gasdichtung als ein den Kolben umgebendes Ferrofluid ausgebildet ist,

d. der Kolben gegenüber dem Messrohr ein Untermaß aufweist das mindes- tens so groß ist, dass der vom Magnetfeldgradienten des Kolbens im Ferrofluid erzeugte Druck ausreicht, um die Adhäsionskräfte zwischen Kolben, Ferrofluid und Messrohr weitgehend zu kompensieren,

e. der Kolben gegenüber dem Messrohr ein Untermaß aufweist das so klein ist, dass für den konzipierten Druckbereich des zu messenden Gases die Dichtheit der zwischen Messrohr und Kolben befindlichen Gasdichtung aus

Ferrofluid gegeben ist, die Dichtung jedoch bei einem Gasdruck außerhalb des konzipierten Druckbereichs vom Gas durchströmt wird und

f. mindestens ein Mittel zur zeitlich wiederholten Lageerfassung des Kolbens wenigstens eines Magnetfeldsensor angeordnet an einer vorbestimmten Stelle des Messrohres umfasst, der wenigstens die Anwesenheit des Kolbens an einer vorbestimmten Stelle des Innenvolumens anzeigt.

Bevorzugt ist dabei, dass der Druck in der Gasquelle konstant gehalten wird, indem ein 3-Wege-Ventil zwischen Gaseinlass und Gasauslass umgeschal- tet, bevor der Kolben seine mechanischen Endanschläge erreicht. Erfindungsgemäß bevorzugt ist ferner, dass das lineare Messrohr so ausgerichtet ist, dass wenigstens eine von Null verschiedene Komponente einer Schwerkraft des Kolbens auf das proximale Ende des Messrohres gerichtet ist, insbesondere ist das Messrohr vertikal ausgerichtet.

Weiterhin bevorzugt ist ein erfindungsgemäßer Gasflussmesser, bei welchem ein permanentmagnetischer Kontermagnet mit einer magnetischen Polung entgegengesetzt zu einer magnetischen Polung des Kolbens am distalen Ende des Messrohres verstellbar fest angeordnet ist.

Besonders bevorzugt ist auch ein Gasflussmesser, bei welchem zumindest eine Einrichtung zur Erzeugung eines Störmagnetfeldes an einem vorbestimmten Störort des Messrohres angeordnet ist, wobei bei einer Annäherung des Kolbens an den Störort eine Superposition des Störmagnetfeldes und des Magnetfeldes des Kolbens die Gasdichtung aus Ferrofluid durch eine Umverteilung des Ferrofluids aufhebt.

Dabei ist es besonders bevorzugt, dass das Störmagnetfeld den permanentmagnetischen Kolben bei einer definierbaren Annäherung an den Störort festhält.

Bevorzugt ist dabei ferner, dass die zumindest eine Einrichtung zur Erzeugung eines Störmagnetfeldes steuerbar oder regelbar, ausgebildet ist.

Weiterhin ist dabei besonders bevorzugt, dass die zumindest eine Einrichtung zur Erzeugung eines Störmagnetfeldes entlang des linearen Messrohres bewegbar gelagert ist.

Bevorzugt ist dabei auch, dass die Bewegung der zumindest einen Einrichtung zur Erzeugung eines Störmagnetfeldes durch zumindest einen Stellantrieb erfolgt, wobei eine Längenbestimmung des Stellweges erfolgt.

Bevorzugt ist erfindungsgemäß ferner, dass bei Bewegung der aktivierten Einrichtung zum Erzeugen eines Störmagnetfeldes der Kolben mitbewegt wird.

Besonders bevorzugt ist ebenfalls, dass die Einrichtung zur Erzeugung des Störmagnetfeldes und der wenigstens eine Magnetfeldsensor unter Beibehaltung einer vorbestimmten Lage zueinander gemeinsam beweglich ausgebil- det sind. Die Erfindung betrifft somit einen Gasflussmesser, aufweisend ein lineares Messrohr mit einem Innenvolumen, mit einem Gaseinlass an einem proximalen Ende des Messrohres und mit einem Gasauslass an einem distalen Ende des Messrohres. Zudem ist ein Kolben im Innenvolumen vorgesehen, wobei der Kolben eine mit dem Messrohr abschließende Gasdichtung aus Ferroflu- id aufweist und durch einen Kraftangriff wenigstens zwischen Gaseinlass und Gasauslass gasdicht beweglich ist. Des Weiteren ist wenigstens ein Schaltmittel zum Steuern der Bewegung des Kolbens in Richtung auf das proximale Ende des Messrohres und mindestens ein Mittel zur zeitlich wiederholten Lageerfassung des Kolbens im Messrohr sowie eine Auswerteeinheit vorgesehen. Die Auswerteeinheit ist dazu ausgebildet, wenigstens eine Relation zwischen einem Zeitverlauf der Bewegung des Kolbens im Messrohr und der dem Messrohr zugeführte Gasmenge herzustellen und messtechnisch zu bestimmen. Nach der Erfindung bestehen das Messrohr aus einem nicht- magnetischen Material und der Kolben aus einem permanentmagnetischen Werkstoff mit einem Dipolmoment, das entlang der Achse des Messrohres ausgebildet ist. Erfindungsgemäß weist der Kolben gegenüber dem Messrohr ein Untermaß von mindestens 5% seines Durchmessers auf und besitzt ein Durchmesser- zu Längenverhältnis von mindestens 1 zu 1 ,4. Dabei umfasst das mindestens eine Mittel zur zeitlich wiederholten Lageerfassung des Kolbens wenigstens einen Magnetfeldsensor angeordnet an einer vorbestimmten Stelle des Messrohres, der wenigstens die Anwesenheit des Kolbens an einer vorbestimmten Stelle des Innenvolumens anzeigt. Auf einfache Weise kann hierdurch das Gasvolumen sehr genau fortlaufend bestimmt werden.

Hierdurch werden die Mängel des Standes der Technik behoben und zudem ist der Aufbau einfach und konstruktiv variabel an die Aufgabenstellungen anpassbar. Es gelingt der Einsatz in Bereichen der Technik in denen der Nachweis einer

Verschiebung kleinster Gasmengen zum Zwecke der Auslösung von Schaltvorgängen realisiert werden soll. Damit können geringste Druckschwankungen regelungstechnisch verarbeitet werden. Durch die vom System gelieferten Dämpfungseigenschaften werden die Schaltvorgänge entprellt und der Nachweis von Gasmengen unter einem Mikroliter kann mit geringem technischem Aufwand realisiert werden. Das eröffnet zum Beispiel der mikrobio- logischen Forschung neue Möglichkeiten zur Bestimmung der gasförmigen Stoffwechselprodukte in kleinstem Maßstab. Geringste Druckunterschiede werden messbar, wodurch die Rückwirkungen auf das untersuchte System minimiert werden.

Insbesondere bei der Beobachtung des Gasstoffwechsels von Mikroorganismen in Laborversuchen können sehr geringe Gasströme über lange Zeiträume hinweg auftreten. Das erfordert schon ab dem Nullpunkt des Volumenstroms eine sehr feine Auflösung der Messung des transportierten Gas- volumens. Andererseits reagieren die Messvorrichtung und das Messverfahren auch dann adäquat, wenn sich die Volumenströme über einen kurzen Zeitraum hinweg stark ändern. Um Rückwirkungen auf den laufenden Versuch gering zu halten, kommt das Messverfahren mit einem geringen, gleichbleibenden Druckunterschied zwischen Quelle und Senke aus. Weiter- hin wird ein höherer Gasdruck in der Gasquelle unabhängig vom äußeren Luftdruck an den Gasausgang weitergegeben. Damit wird auf der Seite des Gasausgangs ein Gas-Depot zur anschließenden Gasanalyse anschließbar. Um dem Trend zur Miniaturisierung in den Lebenswissenschaften zu entsprechen, kann die Messvorrichtung für sehr kleine Gasbildungsraten auch selbst sehr klein gestaltet werden.

Weiterhin stellt die Messvorrichtung eine hohe Eigensicherheit bereit. So kann es z. B. bei einem Ausfall der Energieversorgung zu einem hohen Druckanstieg in der Gasquelle kommen, auf den das Messgerät sinnvoll rea- gieren muss. Deshalb wird von der Messvorrichtung außerhalb des angestrebten Bereichs des Arbeitsdrucks auch die Funktion eines Sicherheitsventils erfüllt. Das trifft sowohl auf Überdruck, als auch auf Unterdruck zu. Diese Funktion wird erreicht, indem der Kolben gegenüber dem Messrohr ein solches Untermaß aufweist, das bei einer hohen Druckdifferenz zwischen Ga- seingang und Gasausgang das Gas die Kolbendichtung aus Ferrofluid durchbricht. Deshalb kann durch die Wahl der magnetischen Feldstärke des Kolbens und seines Untermaßes die obere und untere Grenze der Druckdifferenz festgelegt werden, bei der die Funktion als Sicherheitsventils aktiviert wird. Für das Untermaß sollte jedoch die Grenze von 5% des Kolbendurch- messers nicht unterschritten werden, da sich sonst die Adhäsionskraft des Ferrofluides stark bremsend auf die Bewegung des Kolbens auswirkt. Ist das lineare Messrohr so ausgerichtet, dass wenigstens eine von Null verschiedene Komponente einer Schwerkraft des Kolbens auf das proximale Ende des Messrohres gerichtet ist, lässt sich ein Messprozess unter Einsatz der Schwerkraft einfach verwirklichen. Dazu ist insbesondere bei senkrecht stehendem Messrohr erfindungsgemäß ein Durchmesser zu Längenverhältnis des Kolbens von mindestens 1 zu 1 ,4 vorzusehen. Die für die Bewegung des Kolbens notwendige Druckdifferenz muss größer sein als die Gewichtskraft des Kolbens plus Wandreibung geteilt durch die wirksame Querschnitts- fläche des Kolbens. Deshalb wird im Interesse einer geringen Druckdifferenz zwischen Gas-Eingang und Gas-Ausgang die Kolbenlänge gering gewählt.

Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist in Kontermagnet mit einer magnetischen Polung entgegengesetzt zu einer magnetischen Po- lung des Kolbens am distalen Ende des Messrohres angeordnet. Über den verstellbar fest angeordneten Kontermagneten kann der Messprozess auf einfache Weise beeinflusst werden. Wird ein größerer Druck in der Gasquelle gewünscht, ist dieser Druck an der Messeinrichtung einstellbar. Durch entsprechende Auswahl der Feldstärke des Kontermagneten und den eingestell- ten Abstand zum distalen Ende des Messrohres wird die Höhe der Druckdifferenz zwischen Gaseingang und Gasausgang festgelegt, die für einen vollständigen Zyklus des Messprozesses notwendig ist. Damit kann der Messprozess an die Gasbildungsrate der Gasquelle und die dort gewünschten Druckverhältnisse angepasst werden.

Nach einer Ausführungsform der Erfindung ist zumindest eine Einrichtung zur Erzeugung eines Störmagnetfeldes an einem vorbestimmten Störort des Messrohres angeordnet, wobei bei einer Annäherung des permanentmagnetischen Kolbens an den Störort eine Superposition des Störmagnetfeldes und des Magnetfeldes des Kolbens die Gasdichtung aus Ferrofluid durch eine

Umverteilung des Ferrofluids aufhebt. Hierdurch kann ebenfalls der Messprozess auf einfache Weise gesteuert werden. Vorzugsweise hält dabei das Störmagnetfeld den permanentmagnetischen Kolben bei einer definierbaren Annäherung an den Störort fest. Insbesondere ist die zumindest eine Ein- richtung zur Erzeugung eines Störmagnetfeldes schaltbar oder regelbar aus- gebildet und die zumindest eine Einrichtung zur Erzeugung eines Störmagnetfeldes entlang des linearen Messrohres bewegbar gelagert.

Dabei kann die Bewegung der zumindest einen Einrichtung zur Erzeugung eines Störmagnetfeldes durch einen Stellantrieb erfolgen, wobei auch eine Längenbestimmung des Stellweges erfolgt. Möglich ist es auch, dass bei Bewegung der Einrichtung zum Erzeugen eines Störmagnetfeldes der Kolben mitbewegt wird. Da das Störmagnetfeld sowohl den Kolben festhält als auch die Gasdichtung des Ferrofluides aufhebt, kann der Kolben ohne Druckdifferenz auf seiner Ober- und Unterseite im Messrohr bewegt werden. Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung sind die Einrichtung zur Erzeugung des Störmagnetfeldes und wenigstens ein Magnetfeldsensor unter Beibehaltung einer vorbestimmten Lage zueinander gemeinsam beweglich ausgebildet. Dadurch kann der Magnetfeldsensor sowohl das Magnetfeld des Kolbens als auch die Superposition mit dem Störmagnetfeld erfassen und so die Messwerte zur Regelung des Störmagnetfelds bereitstellen.

Die Erfindung betrifft somit eine Messvorrichtung für kleine Gasvolumen und ein damit realisiertes Messverfahren bestehend aus einem Messrohr, das aus einem Material mit sehr geringer magnetischer Suszeptibilität gebildet ist. Der in das Rohr eingesetzte Kolben weist einen geringeren Durchmesser als die Rohrbohrung auf und besteht aus permanentmagnetischem Material mit einem permanenten Magnetfeld in axialer Richtung. Der Raum zwischen Messrohrwand und Kolben ist mit einer magnetisierbaren Flüssigkeit gefüllt. Dafür wird insbesondere ein Ferrofluid verwendet. Bis zu einem bestimmten

Verhältnis von Durchmesser zu Gewicht wird ein solcher permanentmagnetischer Kolben in einem Führungsrohr mit einem etwas größeren Durchmesser auf seiner Mantelfläche vollständig vom Ferrofluid umflossen. Dadurch wird der Kolben von durch die magnetische Flüssigkeit übertragenen Kräften im Führungsrohr zentriert, weshalb der Kolben keine Berührung mit der Wand des Rohres aufweist. Deshalb treten nur geringe Reibungskräfte zwischen Kolben und Messrohr auf. Diese Zentrierung kann bei ausreichender magnetischer Feldstärke des Kolbens auch gegen die Schwerkraft erreicht werden. Deshalb bewegt sich der Kolben auch in horizontaler Richtung schon bei ge- ringen Druckunterschieden auf beiden Seiten des Kolbens bis der Druckausgleich weitgehend abgeschlossen ist. Steht das Führungsrohr senkrecht, muss zur Bewegung des Kolbens ein Gasdruck aufgebaut werden. Der zum Start der Bewegung notwendige Druck liegt nur sehr wenig über dem, der sich rechnerisch aus der Kolbenquerschnittsfläche multipliziert mit der Gewichtskraft des Kolbens ergibt. Hat sich der Kolben in Bewegung gesetzt, ist für die weitere Aufwärtsbewegung nur noch ein Zustrom von Gas aus der Quelle, aber kaum weiterer Druckanstieg mehr nötig. Damit kann bei senkrecht stehendem Führungsrohr unter dem Kolben Gas entnommen werden ohne dass sich der Gasdruck in der Quelle ändert. Damit können die Druckschwankungen in der Gasquelle während des Messzyklus sehr gering gehal- ten werden und der Einfluss des Gasvolumens der Quelle auf den Messvorgang reduziert sich gegenüber vorbeschriebenen Anordnungen deutlich.

Außerhalb des Rohres sind ein oder mehrere Magnetfeldsensoren in einer solchen Entfernung angebracht, dass sie das Magnetfeld des Kolbens erfas- sen. Aus den magnetischen Messwerten kann auf die Position des Kolbens im Rohr geschlossen werden. Mit jeder Änderung der Position des Kolbens geht eine Änderung des Gasvolumens im Rohr einher, die auf diese Art und Weise gemessen werden kann. Durch die Ausbildung nach der Erfindung können nicht nur Messaufgaben, welche die Erfassung der Anzahl vollstän- diger Messzyklen erfordern, gelöst werden, sondern auch Teilvolumen in Verdrängungszählern bestimmt werden. Beispielsweise kann dies auch durch eine Vielzahl von schaltenden Sensoren entlang der Messstrecke oder einem analog messenden Sensor realisiert werden. Ist die Messaufgabe nicht zeitkritisch kann nach Stand der Technik auch mit nur einem bewegli- chen Sensor, von dem die jeweilige aktuelle Position bekannt ist, gearbeitet werden. Bei dem erfindungsgenäßen Gasflussmesser und Messverfahren für kleinste Gasvolumen handelt es sich somit um ein mechanisch- volumetrisches Durchflussmessverfahren, das nach dem bekannten Prinzip des Verdrängungszählers arbeitet. Es kommt ein Kolben zum Einsatz, der sich in einem Führungsrohr bewegt. Aus der periodisch ausgeführten Kolbenbewegung wird auf das bewegte Gasvolumen geschlossen. Die jeweils erreichten Kolbenpositionen werden entsprechend dem Stand der Technik mit am Messrohr angebrachten Magnetfeldsensoren erfasst. Weitere Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung in Verbindung mit den in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispielen. In der Beschreibung, in den Ansprüchen und in der Zeichnung werden die in der unten aufgeführten Liste der Bezugszeichen verwendeten Begriffe und zugeordneten Bezugszeichen verwendet.

Die Figuren 1 a bis f zeigen ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungs- gemäßen Gasflussmessers und eines Verfahrens zur Bestimmung des Volumens eines von einer Gasquelle je Zeiteinheit gelieferten Gases. Dabei wird durch ein senkrecht stehendes Führungsrohr die Rückstellung des Kol- bens durch seine Gewichtskraft angetrieben, was vorteilhaft zum Entleeren des Gasraumes genutzt werden kann.

Die Figuren 2a bis f zeigen ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Gasflussmessers und eines Verfahrens zur Bestimmung des Volumens eines sich in einer Gasquelle bildenden Gases. Dabei wird für die Rückstellung des Kolbens ein Störmagnetfeld benutzt.

Die Figuren 3a bis d zeigen ein drittes Ausführungsbeispiel eines erfindungs- genäßen Gasflussmessers und eines Verfahrens, bei dem das Volumen ei- nes sich in einem Gefäß bildenden Gases kontinuierlich bestimmt wird und das Gas zur Analyse seiner Bestandteile in einen Analysator geleitet wird.

Die Figuren 4a bis e zeigen ein viertes Ausführungsbeispiel eines erfin- dungsgenäßen Gasflussmessers und eines Verfahrens, wobei bei senkrecht stehendem Führungsrohr neben der Gewichtskraft des Kolbens auch eine magnetische Kraft für dessen Rückstellung in die Ausgangsposition zur Verfügung steht.

Alle im Folgenden beschriebenen Ausführungsbeispiele zeigen jeweils einen Gasflussmesser 100. Dieser ist mit einem linearen, vertikal ausgerichteten

Führungsrohr 1 , auch Messrohr genannt, versehen. Das Führungsrohr 1 begrenzt dabei ein Innenvolumen 1f und ist mit einem Gaseinlass 1 a an einem proximalen Ende 1 b des Führungsrohres 1 versehen. An einem distalen Ende 1 d des Führungsrohres 1 ist ein Gasauslass 1 c vorgesehen. Ein Kolben 2 ist im Innenvolumen 1f angeordnet, wobei der Kolben 2 eine mit dem Führungsrohr 1 abschließende Gasdichtung aufweist, welche durch Ferrofluid 3 gebildet ist. Der Kolben ist zwischen Gaseinlass 1 a und Gasauslass 1 c gasdicht beweglich gelagert. Des Weiteren sind Schaltmittel 4, 1 1 , 16 zum Steuern der Bewegung des Kolbens 2 in Richtung auf das proximale Ende 1 b des Führungsrohres 1 vorgesehen, auf weiche weiter unten im Detail noch ein- gegangen wird. Zudem sind ein Magnetfeldsensor 9 oder zwei Magnetfeldsensoren 8, 9 zur zeitlich wiederholten Lageerfassung des Kolbens 2 im Führungsrohr 1 vorgesehen, welche mit einer Auswerteeinheit 17 zusammenwirken. Die Auswerteeinheit 17 stellt wenigstens eine Relation zwischen einem Zeitverlauf der Bewegung des Kolbens 2 im Führungsrohr 1 und der dem Führungsrohr 1 zugeführten Menge an Gas 5 her und bestimmt diese messtechnisch. Das Führungsrohr 1 ist aus einem nichtmagnetischen Material gebildet. Der Kolben 2 ist permanentmagnetisch mit einem Dipolmoment entlang der Achse 1 e des Führungsrohres 1 ausgebildet. Der Magnetfeldsensor 9 oder die Magnetfeldsensoren 8, 9 sind an einer vorbestimmten Stel- le des Führungsrohres 1 angeordnet, die wenigstens die Anwesenheit des Kolbens 2 an der vorbestimmten Stelle des Innenvolumens 1 f anzeigt.

In dem in Fig. 1 a bis 1f gezeigten ersten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Gasflussmessers 100 wird das Volumen eines von einer Gasquelle je Zeiteinheit gelieferten Gases 5 bestimmt und das gemessene Gas 6 danach über den Auslass 7a abgegeben. Während der Messung wird das Gas 5 durch ein 3-Wege-Ventil 4 abwechselnd in das Führungsrohr 1 ein- und ausgelassen, wodurch sich der permanentmagnetische Kolben 2 periodisch auf- und abwärts bewegt. Erfindungsgemäß wird der Druck in der Gasquelle konstant gehalten, indem zwischen Gaseinlass 1 a und Gasauslass 7a umgeschaltet wird, bevor der Kolben 2 seine mechanischen Endanschläge erreicht. Der Ablauf einer einzelnen Messung ist in den Abbildungen 1 a bis 1f dargestellt.

Fig. 1 a zeigt, wie der Kolben 2 am unteren Magnetfeldsensor 8 angekommen ist, wodurch das 3-Wege-Ventil 4 auf Einlass geschaltet wurde. Mit steigendem Druck des Gases 5 wird der permanentmagnetische Kolben 2 sukzessive angehoben und gleichzeitig Gas 6 aus dem Raum über dem Kolben durch einen Überströmkanal 7 in Richtung Auslass 7a verdrängt, siehe Fig. 1 b. In Fig. 1 c wird dies fortgesetzt bis der Kolben 2 vom oberen Magnetfeld- sensor 9 erfasst wird. In dieser oberen Position des Kolbens schaltet das Ventil 4 um und der Raum über und unter dem Kolben 2 wird mit dem Aus- lass 7a verbunden, siehe Fig. 1 d. Dadurch erfolgt ein Druckausgleich zwischen den Räumen ober- und unterhalb des Kolbens 2 und dieser bewegt sich dann durch sein Eigengewicht nach unten. Der beim Füllen durch das Eigengewicht des Kolbens aufgebaute Gasdruck entspannt sich durch aus- strömendes Gas 6, siehe Fig. 1 e. Gleichzeitig wird in den Raum über dem sinkenden Kolben 2 ein Teil des Gases 6 eingesaugt. Nähert sich der Kolben 2 seinem tiefsten Arbeitspunkt wird er vom unteren Magnetfeldsensor 8 erfasst. Daraufhin wird das 3-Wege-Ventil 4 auf Einlass geschaltet und der Mess-Zyklus beginnt von neuem. Da sich der Kolben 2 fast reibungsfrei im Führungsrohr 1 bewegt, muss durch das einströmende Gas 5 nur so viel

Druck aufgebaut werden, wie durch die Gewichtskraft des Kolbens 2 auf seiner Querschnittsfläche erzeugt wird. Deshalb bleibt der Gasdruck während der Aufwärtsbewegung des Kolbens 2 nahezu konstant und der zurückgelegte Weg des Kolbens 2 ist ein gutes Maß für das während des Messzyklus eingeströmte Gas 5. Durch den Überströmkanal 7 sind die Druckverhältnisse im Führungsrohr 1 unabhängig vom Umgebungsdruck und ein sich erhöhender Druck am Gaserzeuger kann auf den Gasausgang übertragen werden, obwohl zu keinem Zeitpunkt Gaseingang und Gasausgang direkt miteinander verbunden sind. Diese Anschaltung des 3-Wege-Ventils stellt gleichzeitig sicher, dass der zur Anhebung des Kolbens 2 notwendige Gasdruck in der Gasquelle erhalten bleibt, sodass nach erneutem Umschalten des 3-Wege- Ventils die Kolben beweg ung sofort beginnen kann. Andererseits kann es beispielsweise bei Stromausfall zu starkem Überdruck in der Gasquelle kommen. Die Abbildung 1f zeigt den Fall von starkem Überdruck in der Gas- quelle, in dem der Gasflussmesser 100 die Funktion eines Sicherheitsventils erfüllt. Das aus dem Spalt zwischen Kolben 2 und Messrohr 1 verdrängte Ferrofluid 3 haftet weiterhin auf der Oberseite des Kolbens 2 und wird bei Erreichen des Arbeitsdruckes von den magnetischen Kräften wieder in den Spalt gezogen wodurch die Dichtung wiederhergestellt wird.

In den Figuren 2a bis 2f ist jeweils ein Beispiel für einen erfindungsgemäßen Gasflussmesser und eines Verfahrens zur Bestimmung des sich in einem Gefäß bildenden Gasvolumens dargestellt, wobei für die Rückstellung des Kolbens ein Störmagnetfeld benutzt wird. Dazu wird das zuströmende Gas 5 in die nachfolgend beschriebene

Messanordnung eingeleitet. In Fig. 2a sind das Führungsrohr 1 und der permanentmagnetische Kolben 2 wieder senkrecht ausgerichtet und der Koben innerhalb des Führungsrohrs 1 angeordnet. In dieser Anordnung wird das Gewicht des in Ferrofluid 3 gelagerten Kolbens 2 von der aus dem Gasdruck resultierenden Kraft getragen und der Kolben 2 bewegt. Das wird in diesem Ausführungsbeispiel am Druckmessgerät 14 veranschaulicht. Unterhalb des sich aufwärts bewegenden Kolbens 2 sammelt sich das zu messende Gas 5 im Führungsrohr 1 . Das weiter zuströmende Gas 5 bewegt den Kolben 2 nach oben. Der Gasdruck bleibt über den Weg des Kolbens 2 hinweg annähernd konstant, siehe Fig. 2b.

Nachfolgend zu einem beliebigen Zeitpunkt, spätestens jedoch wenn der Kolben 2 in die Höhe des Magnetfeldsensors 9 kommt, wird das bewegliche Überrohr 15, an dem der Magnetfeldsensor 9 und der Elektromagnet 16 befestigt sind, durch den Antrieb mit Wegmessung 12 so weit verfahren, bis der Magnetfeldsensor 9 auslöst und sich der Elektromagnet 16 auf der Höhe des Kolbens 2 befindet. Diese von der Wegmessung des Antriebs 12 ermittelte Position wird als Ausgangspunkt der Volumenmessung gespeichert, siehe Fig. 2c. Der Magnetfeldsensor 9, der Antrieb 12 mit der Wegmessung und wahlweise auch das Druckmessgerät wirken mit der Auswerteeinheit 17 zusammen. Fig. 2d zeigt, wie an diesem Ausgangspunkt der Volumenmessung der Elektromagnet 16 eingeschaltet wird. Die Stromstärke ist so bemessen, dass sich in dem einseitig einwirkenden Magnetfeld des Elektromagneten das Ferrofluid 3 auf der Seite des Elektromagneten 16 konzentriert und damit die Dichtwirkung des Kolbens 2 aufgehoben wird. Diese Wirkung des Elektromagneten 16 kann bei Bedarf mit dem Magnetfeldsensor 9 überprüft werden. Im Führungsrohr 1 kommt es zum Druckausgleich mit der freien Atmosphäre, ersichtlich am Drucksensor 14, da das Gas am Kolben 2 vorbei ent- weicht. Trotz Druckausgleich verbleibt der Kolben 2 an seiner Position, da er vom Magnetfeld des Elektromagneten festgehalten wird.

Mit eingeschaltetem Elektromagnet 16 und damit aufgehobener Dichtwirkung des Ferrofluides 3 am Kolben 2 bewegt der Antrieb mit Wegmessung 12 das bewegliche Überrohr 15 weiter nach unten. Dabei wird der Kolben 2 ohne

Druckaufbau im Führungsrohr 1 in die untere Ausgangslage gebracht, siehe Fig. 2e. Aus der Geometrie des Führungsrohres 1 und der Wegmessung am Antrieb 12 kann mittels der Auswerteeinheit auf das ursprünglich unter dem Kolben 2 vorhandene Gasvolumen geschlossen werden. In Fig. 2f. wird der Elektromagnet 16 in der unteren Ausgangslage abgeschaltet. Damit stellt 5 sich anschließend die Dichtheit wieder her, da das Magnetfeld des Kolbens 2 für eine erneute Gleichverteilung des Ferrofluides 3 auf der Oberfläche des Kolbens 2 sorgt. Das bewegliche Überrohr 15 wird in die obere Stellung verfahren, ohne dass der Kolben 2 seine Position verändert. Mit Herstellung der Dichtheit baut sich der Druck im zuströmenden Gas 5 wieder unter dem Kol- 10 ben 2 auf und der nächste Messzyklus beginnt.

In Fig. 3a bis 3d ist ein Beispiel für einen erfindungsgemäßen Gasflussmesser 100 gezeigt, bei dem das Volumen eines sich in einem Gefäß bildenden Gases kontinuierlich bestimmt und das Gas 5 zur Analyse seiner Bestandteil s le in einen Analysator geleitet wird. Dabei übernehmen der magnetische Kolben 2 und ein Ausströmkanal 13 die Funktion eines Auslassventils.

In Fig. 3a muss das einströmende Gas 5 einen Druck aufbauen, der die Gewichtskraft des magnetischen Kolbens 2 auf seiner Querschnittsfläche kom- 20 pensiert. In Fig. 3b ist ein genügend hoher Druck aufgebaut mit dem sich der magnetische Kolben 2 bei sehr geringem Druckanstieg durch das nachströmende Gas 5 nach oben bewegt. Dabei schwächt sich das vom Magnetfeldsensor 8 detektierte Signal ab.

25 In Fig. 3c hat der Kolben 2 eine bestimmte, definierte Höhe erreicht. Der Antrieb 12 der Spritze 1 1 beginnt zu arbeiten und die Spritze 1 1 saugt Gas 5 an. Dadurch wird der magnetische Kolben 2 wieder in die Ausgangsstellung gebracht. Da der magnetische Kolben 2 fast reibungsfrei läuft, ändert sich der Druck im Gaserzeuger nur minimal.

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In Fig. 3d wird das Gas 5 aus der gefüllten Spritze 1 1 dem Analysator zugeführt. Dabei entleert der Antrieb 12 die Spritze 1 1 in Richtung Führungsrohr 1 mit magnetischem Kolben 2. Dadurch steigt der magnetische Kolben 2 so hoch, dass ein im oberen Teil des Führungsrohrs 1 angeordneter Ausström- 35 kanal 13 unter dem Boden des Kolbens 2 freigegeben wird. Durch diesen

Ausströmkanal 13 gelangt das Gas 6 zum nicht dargestellten Analysator. Da das Ferrofluid 3 vom magnetischen Feld des permanentmagnetischen Kolbens 2 gehalten wird, kann nur das Gas entweichen, das Ferrofluid 3 verbleibt am Kolben 2. Ist die Spritze 1 1 vollständig entleert, kehrt der Antrieb 12 die Arbeitsrichtung kurzzeitig um und bringt damit den magnetischen Kol- ben 2 wieder in seine Arbeitsposition. Aus der Wegmessung des Antriebs 12 kann jederzeit auf die gebildete und in der Spritze 1 1 gespeicherte Gasmenge geschlossen werden. In dieser Ausführung können mehrere Ausströmkanäle 13 miteinander zu einer gemeinsamen Ausgangsleitung verbunden werden, ohne dass sich die Messungen gegenseitig beeinflussen. Denn be- findet sich der Kolben 2 bei Freigabe des Ausströmkanals 13 am oberen mechanischen Anschlag, verhindert der Gaseintritt in den Ausströmkanals 13 dieser so geöffneten Messanordnung durch Druckerhöhung in der gemeinsamen Ausgangsleitung den Gasaustritt an allen anderen Messanordnungen. Auch bietet diese Ausführung die Möglichkeit, das Führungsrohr 1 hori- zontal anzuordnen. In der horizontalen Anordnung muss von der Gasquelle nur ein sehr geringer Überdruck aufgebaut werden, um den Kolben 2 vorwärts zu bewegen. Die Energie für die Rückwärtsbewegung des Kolbens 2 stammt in diesem Fall aus einem relativen Unterdruck am Gaseinlass 1 a, der periodisch von der Spritze 1 1 angelegt wird. Wird das Führungsrohr 1 , der Kolben 2 und die Spritze 1 1 klein ausgeführt, können Gasmengen in der Größenordnung von Mikrolitern gemessen werden.

In Fig. 4a bis 4e ist ein Beispiel für einen erfindungsgenäßen Gasflussmesser 100 ähnlich der Fig. 1 gezeigt, wobei bei senkrecht stehendem Führungs- rohr neben der Gewichtskraft des Kolbens 2 auch eine magnetische Kraft für dessen Rückstellung in die Ausgangsposition zur Verfügung steht. Die Rückstellung des Kolbens 2 wird neben einer geringen Wandreibung auch vom Strömungswiderstand im Überström kanal 7 verzögert. Dauert bei hohen Volumenströmen des Gases 5 die Rückstellung des Kolbens 2 länger als sein Anstieg, hat die für die Rückstellung notwendige Zeit großen Einfluss auf den maximal messbaren Volumenstrom. Deshalb wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, eine zusätzliche Magnetkraft auf den Kolben 2 wirken zu lassen, was im folgenden Beispiel ausgeführt wird. In den Fig. 4a bis 4e ist eine weitere Ausführungsform der Erfindung dargestellt. Im ersten Messzyklus steigt der Kolben 2 nach Öffnen des 3-Wege- Ventils 4 angetrieben vom geringstmöglichen Druck, welcher sich aus der Gewichtskraft des in Ferrofluid 3 gelagerten Kolbens 2 multipliziert mit der Kolbenquerschnittsfläche ergibt, siehe Fig. 4a. Kommt der Kolben 2 in die räumliche Nähe eines am distalen Ende 1 d des Führungsrohrs 1 angeordne- ten Kontermagneten 10 und wirkt dessen Magnetfeld der Bewegung des Kolbens 2 entgegen. Dadurch baut sich bei weiterer Aufwärtsbewegung im Führungsrohr 1 unter dem Kolben 2 ein messbar höherer Druck auf, siehe Fig. 4b. Der Gasdruck steigt mit dem weiteren Aufsteigen des Kolbens 2 progressiv an bis das Magnetfeld am Magnetfeldsensor 9 zu einem Schaltvor- gang führt. Die zu diesem Zeitpunkt im Magnetfeld zwischen Kolben 2 und Kontermagnet 10 gespeicherte Energie bewirkt eine schnellere Abwärtsbewegung des Kolbens 2 als sie allein aus der Gewichtskraft des Kolbens 2 zu erreichen wäre. Dadurch wird unter anderem eine erhöhte Messfrequenz möglich.

Wird ein kontinuierlicher Zufluss von Gas in die Messanordnung angenommen, verlangsamt sich die Kolbenbewegung unter dem Einfluss des magnetischen Gegenfeldes eines Kontermagneten 10 mit steigender Höhe im Führungsrohr 1 , wodurch in der Umgebung des Magnetsensors 9 mehr Zeit für die Positionsbestimmung des Kolbens 2 zur Verfügung steht. Das hilft insbesondere bei einer hohen Messfrequenz den aus der Geschwindigkeit des Kolbens 2 resultierenden dynamischen Messfehler gering zu halten.

Die Höhe des maximalen Druckes im zuströmenden Gas 5 kann durch Ver- stellen der Position des Kontermagneten 10 festgelegt werden, siehe Fig. 4c.

In Fig. 4d ist gezeigt, wie sich nach dem Umschalten des 3-Wege-Ventils 4 der Druck über das ausströmende Gas 6 entspannt. Die Abwärtsbewegung des Kolbens 2 wird nun durch die magnetischen Kräfte zwischen Kontermagnet 10 und dem magnetischem Kolben 2 beschleunigt. Zusätzlich be- wirkt je nach Beschaffenheit des Überströmkanals 7 und des Ausströmkanals 13 ein Druckunterschied zwischen Ober- und Unterseite von Kolben 2 eine schnellere Abwärtsbewegung des Kolbens 2. Hat sich während des ersten Messzyklus durch den Kontermagneten 10 ein höherer Druck in der Gasquelle und damit im zuströmenden Gas 5 aufgebaut, bleibt dieses Druckniveau nach Umschalten des 3-Wege-Ventils 4 bis zu nächsten

Messzyklus bestehen, wodurch sich der Raum unter dem Kolben 2 im Füh- rungsrohr 1 schneller füllt und der Kolben dadurch schneller steigt. Durch den Überströmkanal 7 kann dieses höhere Druckniveau auf den Auslass 7a wirken, wo es beispielsweise zum Betrieb einer Gassammeleinrichtung benutzt werden kann. Voraussetzung für eine bestimmte Druckhöhe am Aus- lass 7a ist die Bereitstellung eines mindestens gleich hohen Drucks im zuströmenden Gas 5 durch den Gaserzeuger. Damit erhält das Messsystem durch den Kontermagneten 10 eine Dynamik, die auf steigenden Druck des zuströmenden Gases 5 mit einer Erhöhung der maximal möglichen Messfrequenz reagiert. Die Magnetfeldsensoren 8 und 9, das 3-Wege-Ventil 4 sind wie im Ausführungsbeispiel 1 mit der Auswerteeinheit 17 verbunden.

Bezugszeichenliste

1 Führungsrohr, Messrohr

1 a Gaseinlass

1 b proximales Ende des Führungsrohrs 1

1 c Gasauslass

1 d distales Ende des Führungsrohrs 1

1 e Achse des Führungsrohrs 1

1f Innenvolumen des Führungsrohrs 1

2 Magnetischer Kolben

3 Ferrofluid

4 3-Wege-Ventil

5 zuströmendes Gas

6 ausströmendes Gas

7 Überströmkanal

7a Auslass

8 Magnetfeldsensor 1

9 Magnetfeldsensor 2

10 Kontermagnet

1 1 Spritze

12 Antrieb mit Wegmessung

13 Ausströmkanal

14 Druckmessgerät

15 bewegliches Überrohr

16 Elektromagnet

17 Auswerteeinheit

100 Gasdurchflussmesser