MESSAUFBAU FÜR DIE OPTISCHE ABSORPTIONS - SPEKTROSKOPIE IN

HEISSEN UMGEBUNGEN Die Erfindung betrifft einen Messaufbau für die optische Ab ^¬ sorptions-Spektroskopie, insbesondere für die in-situ-Messung in heißen Umgebungen.

Die Absorptionsspektroskopie ermöglicht eine genaue und vor allem gasselektive Ermittlung des Vorhandenseins und der Kon ^¬ zentration von Gasen. Für die Messung wird Licht durch eine Absorptionsmessstrecke geleitet, die das auszumessende Gas enthält. Nach Durchlaufen der Absorptionsmessstrecke trifft das Licht in einen Photodetektor. Gase, die in der Absorpti- onsmessstrecke vorhanden sind, absorbieren Teile des Lichts. Diese Absorption trifft dabei häufig sehr spezifische Wellen ^¬ längen oder Wellenlängenbereiche und so lässt sich aus einer spektralen Analyse des vom Photodetektor aufgenommenen Lichts auf die Konzentration der absorbierenden Gase schließen.

Zur Erzeugung des Lichts und als Photodetektor werden dabei häufig Halbleiterbauelemente verwendet. Beispielsweise wird das Licht mit einer Laserdiode erzeugt und mit einer Photodi ^¬ ode aufgenommen. Die Halbleiterbauelemente weisen je nach Ausführung eine maximale Betriebstemperatur von unter 0°C bis zu 120°C auf. Sie können deshalb nicht direkt in oder an Kam ^¬ mern mit einer Temperatur oberhalb ihrer jeweiligen Betriebstemperatur verwendet werden. Soll Gas in einer heißen Kammer vermessen werden, dann werden die Lichtquelle und der Photo- detektor außerhalb der Kammer in einem ausreichenden Abstand zur Kammerwand angeordnet. Das Licht der Lichtquelle durch ^¬ strahlt dann einen Teil der Kammer, wofür die Kammer zweckmäßig mit entsprechenden Fenstern versehen ist. Nachteilig an dem genannten Aufbau ist, dass das von der

Lichtquelle emittierte Licht auf dem Weg zum Photodetektor auch die Umgebungsluft durchquert. Diese Umgebungsluft verän ^¬ dert unter Umständen das Messergebnis. Nähert man wiederum Lichtquelle und den Photodetektor an die Kammer mit heißem Gas an, so muss dafür Sorge getragen werden, dass die maxima ^¬ len Betriebstemperaturen dennoch nicht überschritten werden.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Messanordnung für die optische Absorptionsspektroskopie anzugeben, mittels derer die oben genannten Probleme vermieden oder verringert werden .

Diese Aufgabe wird durch eine Messanordnung mit den Merkmalen von Anspruch 1 gelöst. Die Unteransprüche betreffen vorteil ^¬ hafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung.

Die erfindungsgemäße Messanordnung zur Durchführung einer optischen Spektroskopie an einem Gas oder Gasgemisch in einem Gasbehältnis umfasst wenigstens ein Befestigungselement zur Befestigung der Messanordnung in einer Wandung des Gasbehältnisses. Weiterhin umfasst die Messanordnung ein erstes und ein zweites Lichtführungselement zur Transmission von Licht. Die Lichtführungselemente durchdringen jeweils das Befesti ^¬ gungselement .

Weiterhin ist eine Lichtquelle zur Emission von Licht durch eine Gasmessstrecke vorgesehen. Die Lichtquelle ist dabei mit dem ersten Lichtführungselement so verbunden, dass das emit ^¬ tierte Licht in das erste Lichtführungselement eintritt, es durchläuft und dabei durch das Befestigungselement geführt wird und dann das erste Lichtführungselement an einer ersten Austrittsfläche wieder verlässt. Dabei muss nicht das gesamte von der Lichtquelle emittierte Licht tatsächlich in das erste Lichtführungselement eintreten. Bevorzugt werden allerdings das Lichtführungselement und die Lichtführungsquelle so zu ^¬ einander ausgerichtet, dass ein überwiegender Teil des von der Lichtquelle emittierten Lichts ins Lichtführungselement eintritt .

Darüber hinaus umfasst die Messanordnung ein Reflexionsele ^¬ ment. Dieses ist bevorzugt so im Bereich der ersten Aus- trittsfläche angebracht, dass es einen Teil des aus dem ers ^¬ ten Lichtführungselement kommenden Lichts zu einer zweiten Eintrittsfläche des zweiten Lichtführungselements reflek ^¬ tiert. Das reflektierte Licht tritt sodann wenigstens teil ^¬ weise in das zweite Lichtführungselement ein, wird darin durch das Befestigungselement geführt und tritt an einer zweiten Austrittsfläche im Bereich des Photodetektors wieder aus dem zweiten Lichtführungselement aus.

Schließlich umfasst die Messanordnung einen Photodetektor zur Aufnahme von Teilen des Lichts nach Durchlaufen des ersten Lichtführungselements und des zweiten Lichtführungselements . Dabei ist der Photodetektor im Bereich der zweiten Austrittsfläche des zweiten Lichtführungselements angeordnet.

Für die Erfindung wurde erkannt, dass sich eine wesentliche Verbesserung bekannter Aufbauten für die optische Spektroskopie durch Lichtführungselemente ergibt. Die Lichtführungsele ^¬ mente durchdringen die Befestigungselemente, mit denen die gesamte Messanordnung am Gasbehältnis angebracht ist. Über die Lichtführungselemente wird das Licht, das zur Messung dient, also von außen in das Gasbehältnis hineingeführt und wieder herausgeführt.

Ein Vorteil der Lichtführungselemente liegt somit darin, eine Lichtleitung in das Gasbehältnis und aus dem Gasbehältnis heraus zu ermöglichen, und durch die Nähe von Lichtquelle und Photodetektor zu den Lichtführungselementen gleichzeitig den Einfluss der Umgebungsluft zu eliminieren oder gering zu hal ^¬ ten. Damit zur gleichen Zeit eine ausreichende thermische Isolation der Lichtquelle und/oder des Photodetektors vom Gasbehältnis gegeben ist, ist es sehr vorteilhaft, wenn eines der Lichtführungselemente oder beide Lichtführungselemente eine Länge von wenigstens 1 cm aufweisen. In einer verbesserten Ausgestaltung beträgt die Länge wenigstens 3 cm und be ^¬ sonders vorteilhaft ist es, wenn die Länge wenigstens 6 cm beträgt. Dabei ist mit Länge die Ausdehnung entlang des

Lichtweges von der Lichtquelle durch das Befestigungselement hinein m das Gasbehältnis gemeint. Em Lichtführungselement mit großer Länge garantiert gleichzeitig eine gute thermisch Isolation und vermeidet trotzdem entgegen bekannter Lösungen lange Lichtwege durch die Umgebungsluft außerhalb des Gasbe ^¬ hältnisses .

Gleichzeitig ist es vorteilhaft, wenn die Lichtquelle sehr nahe am ersten Lichtführungselement angeordnet ist, so dass nur ein geringer oder gar kein Luftspalt zwischen beiden Ele menten verbleibt. Dadurch wird der Einfluss von Umgebungsluf auf die Messung minimiert. Gleiches gilt für den Photodetek ^¬ tor. Der Photodetektor ist zweckmäßig nahe an dem zweiten Lichtführungselement angeordnet, so dass auch hier das Licht nur einen geringen Luftspalt überwinden muss, und somit ein geringer Einfluss der Umgebungsluft auf die Messung auftritt In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung sind Lichtquelle und/oder Photodetektor direkt und ohne Luftspalt auf dem jeweiligen Lichtführungselement aufgebracht. In anderen Ausgestaltungen beträgt der Abstand höchstens 5 mm.

Die Lichtführungselemente sind ausgestaltet zur Transmission von Licht. Die Lichtführungselemente können beispielsweise ein Mineralglas, Quarzglas oder andere lichtleitende Stoffe aufweisen. Sie können stabförmig, quaderförmig oder in anderer geometrischer Ausgestaltung realisiert sein. Sie durchdringen das Befestigungselement und dienen somit zur Führung des Lichts von außerhalb des Gasbehältnisses nach innerhalb des Gasbehältnisses oder in umgekehrter Richtung. Dabei ist zweckmäßig gleichzeitig sichergestellt, dass die Lichtfüh ^¬ rungselemente so mit dem Befestigungselement verbunden sind, dass ein gasdichter Abschluss für das Gasbehältnis erreicht ist .

Die Dicke der Lichtführungselemente beträgt bevorzugt wenigs tens 6 mm, bevorzugt wenigstens 9 mm. In einer besonderen Ausgestaltung beträgt die Dicke wenigstens 12 mm. Mit Dicke ist dabei der Durchmesser bei zylindrischen Lichtführungsele menten oder die Breite oder Höhe der Lichtführungselemente bei quaderförmigen Lichtführungselementen gemeint, jeweils in einer Richtung senkrecht zur Lichtlaufrichtung. Eine größere Dicke ist vorteilhaft, weil Lichtreflexe durch Reflexion des Lichts wegen Divergenz von Laserlicht weitgehend unterblei- ben. Solche Reflexe, die bei einer Glasfaser erwünscht sind, da das Licht in der Faser bleiben soll, sind hier unerwünscht, da sie dem Licht verschiedene Laufwege zum Detektor ermöglichen, was wiederum wegen Interferenzerscheinungen unerwünscht ist. Die Dicke wird bevorzugt so gewählt, dass Licht aus einem Raumwinkel von typischerweise 5° bis 20° ge ^¬ sammelt wird.

Das Reflektionselement kann auf verschiedene Art und Weise ausgestaltet sein. In einer Alternative ist es als ebenes spiegelndes Element ausgestaltet. In einer zweiten Alternati ^¬ ve ist es als gekrümmtes spiegelndes Element ausgestaltet. In einer weiteren, vorteilhaften Alternative ist das Reflektion- selement als diffuser Reflektor ausgestaltet. Mit anderen Worten wird in der letzten Alternative das Licht nicht spie- gelnd reflektiert, sondern analog zu einer weißen, matten Schicht nur diffus reflektiert.

Werden spiegelnde Reflektionselemente verwendet, haben diese den Vorteil, dass ein überwiegender Anteil des Lichts, das vom ersten Lichtführungselement kommt, auch zur zweiten Eintrittsfläche des zweiten Lichtführungselements reflektiert werden kann. Der tatsächlich reflektierte Anteil des Lichts hängt aber von der Sauberkeit der reflektierenden Fläche des Reflektionselements ab. Bei einem diffusen Reflektor hingegen wird ein geringerer Anteil des von dem ersten Lichtführungs ^¬ element kommenden Lichts zum zweiten Lichtführungselement re ^¬ flektiert. Im Unterschied zu den spiegelnden Reflektionsele- menten ist der nutzbar reflektierte Anteil hier jedoch nicht so stark von der Sauberkeit des Reflektionselements abhängig. Weiterhin ist bei einem diffusen Reflektor die Justierung des optischen Aufbaus vereinfacht. In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung dienen die Lichtführungselemente jeweils als mechanische Träger für die Lichtquelle bzw. den Photodetektor. Mit anderen Worten ist eine anderweitige Halterung für Lichtquelle und Photodetektor unnötig. Die Lichtführungselemente sind hierzu abweichend von beispielsweise Glasfasern oder anderen Lichtwellenleitern ausgestaltet. Es handelt sich mit anderen Worten nicht um fa ^¬ serbasierten Lichtwellenleiter. Vorteilhaft ist es, wenn die Lichtquelle und/oder der Photo ^¬ detektor in einem Kühlkörper eingebettet sind. Der Kühlkörper kann dabei wiederum bevorzugt als Trägerelement für Licht ^¬ quelle bzw. Photodetektor dienen und seinerseits mit dem je ^¬ weiligen Lichtführungselement verbunden sein. Der Kühlkörper wiederum kann mit einer aktiven Kühleinrichtung, beispielsweise einem Ventilator, gekoppelt sein.

Vorteilhaft ist es, wenn im Bereich des Reflektionselementes eine Heizvorrichtung vorgesehen ist. Die Heizvorrichtung ist dabei zweckmäßig ausgestaltet, das Reflektionselement sowie die in das Gasbehältnis hineinragenden Teile der Lichtführungselemente auf eine Temperatur zu heizen, die wenigstens einige Grad Celsius, bevorzugt 20°C über der Temperatur des Gases im Gasbehältnis liegt. Hierdurch wird vorteilhaft die Oberfläche der Elemente freigehalten von beispielsweise Russ ^¬ partikeln. Somit werden die Lebensdauer des Gesamtaufbaus bzw. die Wartungsintervalle vergrößert.

In einer alternativen Ausgestaltung sind die optischen Ober- flächen mit einem geeigneten Material beschichtet, beispiels ^¬ weise einem Katalysator wie Platin. Hierdurch wird vorteilhaft erreicht, dass die optischen Teile immer genügend trans- missiv sind, so dass für eine Absorptionsmessung genügend Licht zur Verfügung steht.

Vorteilhaft ist es, wenn bei der Messanordnung parallele Flä ^¬ chen vermieden werden, durch die das Licht treten muss. Damit werden Interferenzerscheinungen verringert. So können in ei- ner Ausführungsalternative die erste Austrittsfläche des ers ^¬ ten Lichtführungselements und/oder die zweite Eintrittsfläche des zweiten Lichtführungselements abgeschrägt sein. Mit ande ^¬ ren Worten sind die Austrittsfläche bzw. die Eintrittsfläche schräg gegenüber einem rechten Winkel zur Lichtlaufrichtung. In einer weiteren Alternative sind die erste Austrittsfläche und/oder die zweite Eintrittsfläche sphärisch oder asphärisch gekrümmt. Hierdurch wird vorteilhaft neben der Wirkung, pa ^¬ rallele Flächen zu vermeiden, auch noch eine Fokussierung des aus- bzw. eintretenden Lichts vorgenommen. Bei der Krümmung ist es sehr vorteilhaft, wenn die Austrittsfläche bzw. Ein ^¬ trittsfläche kein zur jeweiligen gegenüberliegenden Eintrittsfläche bzw. Austrittsfläche paralleles Stück aufweist. Mit anderen Worten sollte der Krümmungsausschnitt aus einer gedachten Kugel- oder Linsenoberfläche aus deren Randbereich stammen und nicht deren Mitte überstreichen.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist das zweite Lichtführungselement abseits der jeweiligen Ein- und Austrittsfläche teilweise nach innen verspiegelt. Damit wird erreicht, dass das im Inneren des zweiten Lichtführungsele ^¬ ments laufende Licht an den Innenflächen des Lichtführungs ^¬ elements gespiegelt und so im Inneren des zweiten Lichtfüh ^¬ rungselements gehalten wird, bis es die zweite Austrittsflä ^¬ che erreicht. Somit wird der Anteil des Lichts, das den Pho ^¬ todetektor erreicht, erhöht.

Eine weitere Erhöhung der Lichtausbeute im zweiten Lichtführungselement kann erreicht werden, wenn das zweite Lichtfüh ^¬ rungselement im Bereich der zweiten Austrittsfläche eine Krümmung aufweist. Diese ist bevorzugt so gestaltet, dass das im zweiten Lichtführungselement laufende Licht auf den Photo ^¬ detektor konzentriert wird. Bevorzugt ist das Koppelelement mittels entsprechende Krümmung und Verspiegelung im Bereich der Krümmung ausgestaltet als parabolischer Reflektor.

Eine analoge Ausgestaltung wie für das zweite Lichtführungs ^¬ element ist auch beim ersten Lichtführungselement möglich. Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen dargestellt. Die Figuren zeigen dabei schematisch und nicht maßstabsgerecht:

Figur 1 eine Messanordnung mit spiegelndem, sphärischem Reflektor,

Figur 2 eine Messanordnung mit spiegelndem, planem Reflektor, Figur 3 eine Messanordnung mit diffusem Reflektor und

Figur 4 ein abgewinkeltes Einkoppelelement.

Figur 1 zeigt einen Ausschnitt aus einer Wandung 1 eines Gas ^¬ behältnisses, das mit heißem Gas 2 befüllt ist. Auf der Au ^¬ ßenseite 3 des Gasbehältnisses herrschen normale Umgebungsbe ^¬ dingungen .

Die Zusammensetzung des Gases 2 bzw. die Konzentration einzelner Komponenten des Gases 2 soll mit einer ersten Messvorrichtung 10 ausgemessen werden. Die erste Messvorrichtung 10 ist mit einem Träger 11 an einer Öffnung der Wandung 1 befestigt. Der Träger 11 und die weiteren Komponenten der ersten Messvorrichtung 10 verschließen dabei die Öffnung in der Wandung 1 gasdicht. Der Träger ist in diesem Ausführungsbeispiel eine runde metallische Scheibe. Der Träger 11 wird durchdrun ^¬ gen von einem ersten Einkoppelelement 12 und einem ersten Auskoppelelement 13. Die Einkoppelelemente 12, 13 sind reali ^¬ siert als Stäbe aus Quarzglas. Ihre Länge beträgt 60 mm und ihr Durchmesser 12 mm. Sie ragen dabei ca. 50 mm aus dem Gasbehältnis heraus und ca. 10 mm in das Gasbehältnis, also in das heiße Gas 2, hinein.

Die Verwendung von Quarzglas ist vorteilhaft, da manche Mine ^¬ ralgläser gegenüber korrosiven Gasen empfindlich sind. Ein chemisches Anätzen der Oberfläche durch korrosive Gase be ^¬ wirkt eine Verschlechterung der optischen Transmission bzw. Reflektion. Daher ist es vorteilhaft, ein chemisch robustes Glas zu verwenden für die Koppelelemente 12, 13, 21, 22.

Quarzglas weist die beste chemische Beständigkeit auf und ist daher bevorzugt zu verwenden. Eine Alternative dazu besteht darin, als Material ein Mineralglas zu wählen, und die Ober ^¬ fläche durch eine Beschichtung mit einem optisch transparenten, aber chemisch stabilen Oxid zu schützen. Als Beschich- tung kann beispielsweise Aluminiumoxid AI ₂ O ₃ oder Galliumoxid Ga ₂ 03 verwendet werden. Weitere Möglichkeiten sind Oberflä- chenbeschichtungen mit Siliziumoxid S 1O ₂ und Siliziumnitrid S 13N4 . Der Abstand zur Laserdiode 16 ist möglichst kurz, bevorzugt kleiner als 0,3 mm. Besonders bevorzugt ist es, wenn zwischen der Lichtquelle, also der Laserdiode 16, und der Koppelein ^¬ richtung 12, 21 kein Luftspalt verbleibt. Am außenseitigen Ende des ersten Einkoppelelements 12 ist ei ^¬ ne Laserdiode 16 angeordnet. Die Laserdiode 16 ist in diesem Beispiel selbst in einem bekannten TO-Gehäuse aufgebaut. Das TO-Gehäuse ist dabei mit einem Stickstoff-Schutzgas gefüllt und mit einer transparenten Scheibe abgeschlossen. Die trans- parente Scheibe wird mittels eines Klebers am außenseitigen Ende des ersten Einkoppelelements 12 befestigt. Der Kleber ist dabei bevorzugt so gewählt, dass sein Brechungsindex dem des ersten Einkoppelelements 12 entspricht. Die Laserdiode 16 ist also abgesehen von ihrer eigenen Schutzatmosphäre direkt und ohne Luftspalt mit dem ersten Einkoppelelement 12 verbun ^¬ den. In dem beschriebenen Ausführungsbeispiel weist die inne ^¬ re Fensteroberfläche im TO-Gehäuse eine Antireflex- Beschichtung auf. Die Laserdiode 16 ist weiterhin umgeben von einem ersten

Kühlkörper 14. Das in das Gasbehältnis ragende Ende 12a des ersten Einkoppelelements 12 ist in diesem Ausführungsbeispiel abgeschrägt. Von der Laserdiode 16 ausgesandtes Licht läuft durch das erste Einkoppelelement 12 und durchdringt dabei so- wohl den Träger 11 als auch die Wandung 1. An der abgeschrägten Endfläche 12a des ersten Einkoppelelements 12 wird das Licht gebrochen und auf einen sphärischen, konkaven Spiegel 18 geleitet. Der sphärische Spiegel 18 reflektiert das Licht zu einer ebenfalls abgeschrägten Endfläche 13a des ersten Auskoppelelements 13. Dort wird es durch das erste Auskoppel ^¬ element 13 wieder durch die Wandung 1 und den Träger 11 hindurchgeleitet bis zu einem Photodetektor 17, der am außensei- tigen Ende des ersten Auskoppelelements 13 angebracht ist. Der Photodetektor 17 ist dabei ebenso wie die Laserdiode 16 mit einem Klebstoff am zweiten Einkoppelelement befestigt. Dabei bleibt ebenfalls kein Luftspalt bestehen. Der Photode ^¬ tektor 17 ist von einem zweiten Kühlkörper 15 umgeben.

In diesem Beispiel ist der sphärische Reflektor 18 als spie ^¬ gelndes Reflektionselement ausgestaltet. Die abgeschrägten Endflächen 12a, 13a der Koppelelemente 12, 13 brechen das von der Laserdiode 16 kommende Licht auf den sphärischen Reflek- tor 18 bzw. wieder zurück in das erste Auskoppelelement 13. Gleichzeitig vermeiden die abgeschrägten Endflächen 12a, 13a Interferenzerscheinungen durch parallele Flächen.

Zweckmäßig ist es, wenn die Kühlkörper 14, 15 noch durch ei- nen nicht in den Figuren dargestellten Ventilator mit Kühlluft angeblasen werden. Mit diesem Aufbau und der Länge der Koppelelemente 12, 13 kann beispielsweise ein 300°C heißes Gas 2 vermessen werden, während die Laserdiode 16 und der Photodetektor 17 eine Temperatur von < 60°C aufweist.

Vorteilhaft an dem beispielhaften Aufbau ist, dass die Re- flektionsgeometrie zu einer kompakten Bauform mit einer Montage an einem einzelnen Loch in der Wandung 1 führt. Eine Justierung der Optik im eingebauten Zustand ist unnötig. Die ersten Koppelelemente 12, 13 sind fest mit dem Träger 11 verbunden und halten ihrerseits die Laserdiode 16, den Photode ^¬ tektor 17 und die Kühlelemente 14, 15. Dabei ist vorteilhaft, dass weitere wärmeleitende Verbindungen zwischen der Wandung 1, dem Träger 11 und der Laserdiode bzw. dem Photodetektor 16, 17 entfallen. Die vergleichsweise gute Isolation der ersten Koppelelemente 12, 13 sorgt für einen hohen Temperaturgradienten über ihre Länge. Gleichzeitig wird vorteilhaft jegliche Messung von Gasanteilen der Umgebungsluft vermieden. Ein zweites Ausführungsbeispiel für die Erfindung zeigt Figur 2. Hierbei sind analog die Wandung 1 des Gasbehältnisses und der Träger 11 vorhanden. Weiterhin sind ebenfalls wieder die Laserdiode 16, der Photodetektor 17 und die Kühlelemente 14, 15 vorhanden. Die zweite Messvorrichtung 20 der Figur 2 unterscheidet sich von der ersten Messvorrichtung 10 der Figur 1 durch die Ausgestaltung der zweiten Koppelelemente 21, 22 sowie dem ebenen spiegelnden Reflektor 23. Ein weiterer Un- terschied besteht darin, dass in der zweiten Messvorrichtung 20 auf der Seite des Trägers 11, die in das Gasbehältnis hin ^¬ einragt, eine Heizung 24 vorgesehen ist.

Die Heizung 24 ist dabei als Heizwendel ausgeführt. Sie wird elektrisch betrieben und ist so ausgestaltet, dass sie die im Gasbehältnis befindlichen Komponenten, d.h. Teile der zweiten Koppeleinrichtungen 21, 22 sowie den ebenen spiegelnden Reflektor 23, auf eine Temperatur von beispielsweise 10°C oder 20°C mehr oder mehr als der Temperatur des Gases 2 aufheizen kann. Hierdurch wird vorteilhaft eine Belegung der Oberflä ^¬ chen mit Russpartikeln o.ä. vermieden. Die Heizwendel kann dabei um den gesamten Aufbau auf einer Seite des Trägers ge ^¬ führt sein. Alternativ kann die Heizwendel auch beispielswei ^¬ se einzeln um jedes der Koppelelemente 21, 22 gewickelt sein. Neben der Belegung mit Ruß, beispielsweise beim Betrieb im

Abgas von Verbrennungsanlagen, verhindert die Heizung 24 bei geeigneter Temperatur auch eine Kondensation von Wasser und Kohlenwasserstoffen. Darüber hinaus wird auch die Ablagerung von Ruß verhindert.

Die Endflächen 21a, 22a der zweiten Koppelelemente 21, 22 sind im Gegensatz zur ersten Messvorrichtung 10 gekrümmt. Bevorzugt wird als Oberfläche der Randbereich einer bevorzugt asphärischen Linse verwendet. Die Verwendung des Randbereichs vermeidet dabei über die gesamten Endflächen 21a, 22a einen

Bereich, der parallel zur außenseitigen Endfläche der zweiten Koppelelemente 21, 22 ist. Im dritten Ausführungsbeispiel gemäß der Figur 3 ist eine dritte Messvorrichtung 30 dargestellt. Sie unterscheidet sich von der zweiten Messvorrichtung 20 dadurch, dass der planare spiegelnde Reflektor 23 durch einen diffusen Reflektor 31 er- setzt ist.

Ein vorteilhaft ausgestaltetes drittes Auskoppelelement 41 zeigt Figur 4. Hierbei ist das dritte Auskoppelelement 41 ab ^¬ gewinkelt ausgestaltet. Das Auskoppelelement 41 weist zwei abbildende Elemente auf, wobei eines als Reflektor ausgeführt ist. Das erste dieser Elemente stellt die Eintrittsfläche 41a dar. Das zweite Element wird durch eine innenseitige Verspie- gelung der Oberfläche des Auskoppelelements 41 erreicht. Die Verspiegelung sorgt dafür, dass das Licht innerhalb des Aus- koppelelements 41 bleibt. Das Licht verlässt das Auskoppel ^¬ element 41 erst bei der Austrittsfläche direkt beim Photode ^¬ tektor 17. Eine Anordnung wie die gemäß Figur 4 kann neben den Auskoppelelementen 13, 22 auch für die Einkoppelelemente 12, 21 verwendet werden.

Die beschriebenen Messvorrichtungen 10, 20, 30 können zu verschiedensten Zwecken verwendet werden, z. B.: a) Messung von Feuchte und/oder CO ₂ im Garraum von Geräten zur Zubereitung von Speisen durch Erhitzen. Typischerweise treten bei diesen Geräten Temperaturen von Raumtemperatur bis etwa 300°C auf bei einem Feuchtegehalt, der bis zu 100 Vol.-% betragen kann. Im Betrieb kommt es zeitweise zur Kondensation von Feuchte und ebenso zur Kondensation von Kohlenwasserstof- fen, wenn keine geeigneten Maßnahmen dagegen geschaffen werden. Die Messung erfolgt hier mittels einer Laserdiode 16 bei einer geeigneten Absorptionsbande von Wasser, beispielsweise bei ca. 950 nm, oder in einer anderen Absorptionsbande, bei der Kohlendioxid und Wasser gleichzeitig mit einer Laserdiode spektral aufgelöst gemessen werden kann, z. B. zwischen 2003 und 2004 nm. b) Messung von Abgaskomponenten wie CO, CO ₂ , O ₂ oder Wasser im Abgas von Feuerungsanlagen mit Laserdiodenspektroskopie, wobei eine Kondensation von Wasser (Brennwerttechnik) und/oder Verrußung auftreten können. c) Messung des Kohlendioxidgehalts des Abgases in Verbren ^¬ nungsmotoren in der Abgasrückführung mit Laserdiodenspektroskopie, beispielsweise in der Adsorptionsbande von Kohlendi ^¬ oxid bei ca. 2000 nm. Hier treten hohe Temperaturen und Verschmutzung durch Ruß auf. b) Messung von Prozessgasen, beispielsweise O ₂ , H ₂ O, CO oder kurzkettige Kohlenwasserstoffe in chemischen Prozessen und Prozessgasleitungen .