以下、本発明を実施するための最良の形� ��を、図面を参照しながら説明する。図1、図 2は、本発明に係るダイヤフラムの第1実施形� ��を示している。

 図1、図2に示すように、本実施形態に係� �金属製ダイヤフラム(以下、単に「ダイヤフ� ��ム」という)1は、平面視円形状に構成され� �とともに、所定の圧力によって弾性変形可� �な膜部1aと、この膜部1aの膜厚よりも厚い厚� ��部1bと、この厚肉部1bの厚さ方向の外面に重 ねられる厚肉部材11とを備える。

 本実施形態では、ダイヤフラム1は、膜部 1aの直径が約100mmとされ、膜部1aの厚さが約0.1 mmとされ、厚肉部1bを構成する円環状の板部� �の厚さが約1.5mmとされている。

 膜部1aおよび厚肉部1bは、所定の金属材料 により構成されている。本実施形態では、膜 部1aは、例えば、低ヤング率で高弾性変形能� ��有する金属(例えばチタン合金)によって構� �されている。また、厚肉部1bは、例えば、純 チタン(Ti)その他の金属により構成されてい� �。

 厚肉部1bは、その半径方向外側に、厚さ� �一定の第1厚肉部1cを備え、この第1厚肉部1c� �内側に、その半径方向内方に向かうにつれ� �、その厚さが徐々に薄くなるように構成さ� �た第2厚肉部1dを備える。

 本実施形態では、第1厚肉部1cの半径方向� ��方側の部分が膜部1aと溶接(例えばEB溶接)に� ��って固着されている。第2厚肉部1dは、膜部1 aに固着されておらず、この膜部1aに接触した 状態となっている。

 また、第2厚肉部1dは、その厚さ方向にお� ��て、膜部1aと対向する面が、平坦面状に構� �されており、その反対側の面1eが所定の曲率 半径(例えば曲率半径4mm)の曲面(1e)となってい る。これにより、第2厚肉部1dは、膜部1aが所� ��の圧力によって弾性変形したときに、この� ��部1aの弾性変形に伴って弾性変形可能に構� �されている。

 厚肉部材11は、例えば合成樹脂、好まし� �はPTFEその他のフッ素樹脂によって円環状の� ��板状に構成されており、その厚さが膜部1a� �膜厚よりも厚くなっている。この厚肉部材11 の半径方向における幅は、前記第1厚肉部1cの 半径方向における幅とほぼ等しくなっている 。この厚肉部材11は、膜部1aおよび厚肉部1bと は別体に構成されており、その厚さ方向の一 方の面が、第1厚肉部1cの厚さ方向の外面に接 触した状態(重なった状態)で使用されるよう� ��なっている。

 上記構成のダイヤフラム1によれば、膜部 1aの周縁部に厚肉部1bを形成することにより� �この厚肉部1bを介して所定の固定位置に確実 かつ強固に固定できるようになる。すなわち 、この厚肉部1bの第1厚肉部1cを挟み込むよう� ��してダイヤフラム1を固定すれば、第1厚肉� �1cの厚さ方向への変形(弾性変形)によって摩� ��力が生じ、これによって、ダイヤフラム1の 位置がずれにくくなり、確実かつ強固に所定 の固定位置に固定できるようになる。また、 この第1厚肉部1cに、別体の厚肉部材11を重ね� ��固定することにより、さらに確実かつ強固� ��ダイヤフラム1を固定できるようになる。

 また、厚肉部1bは、円環状に構成される� �ともに、膜部1aの周縁部に設けられているこ とから、この膜部1aは、厚肉部1bによってそ� �機能が損われるということもなく、所定の� �性変形によって所望の機能を発揮できるよ� �になっている。また、厚肉部材11も円環状に 構成されていることから、膜部1aが弾性変形� ��たときに、その動きを妨げることがなく、� ��イヤフラム1は所望の機能を発揮できるもの となっている。

 また、厚肉部1bは、その第2厚肉部1dが、� �部1aの弾性変形に伴って弾性変形可能に構成 されていることから、第1厚肉部1cの半径方向 内側の端部は、膜部1aが弾性変形したときに� ��この膜部1aを傷つけることもなく、しかも� �膜部1aを常に覆って保護するようになってい る。

 すなわち、この第2厚肉部1dは、第1厚肉部 1cと膜部1aとの間に設けられ、膜部1aの弾性変 形に伴って弾性変形することにより、この膜 部1aを保護する保護部となっている。このよ� ��に、第1厚肉部1cと膜部1aとの間に保護部(第2 厚肉部1d)を設けることにより、第1厚肉部1cと 膜部1aとの境界部分で、膜部1aに応力集中が� �じにくくなり、これによって膜部1aの損傷を 防止できるようになる。これにより、ダイヤ フラム1は、その寿命を長期化できる構成と� �っている。

 また、この第2厚肉部1dの一方の面を曲面1 eとすることにより、第2厚肉部1dが弾性変形� �繰り返したとしても、その中途部から亀裂� �生じにくくなっており、これによってもダ� �ヤフラム1の寿命を長期化できるようになっ� ��いる。

 また、厚肉部1bを溶接によって膜部1aに固 着してダイヤフラム1を構成することにより� �このダイヤフラム1を製造し易くなり、これ� ��よって製造コストを可及的に低減できるよ� ��になる。

 また、この第2厚肉部1dは、膜部1aが弾性� �形したとときに、この膜部1aに接触した状態 で、この膜部1aと相対的に摺動することとな� ��、膜部1aに付着した異物を除去することが� �き、この点においても特に有用である。

 図3は、ダイヤフラム1の第2実施形態を示� ��ている。この第2実施形態では、ダイヤフラ ム1は、所定の圧力によって弾性変形可能な� �部材1aと、この膜部材1aの周縁に設けられる� ��数の厚肉部材12,13,14を有する。この膜部材1a は、第1実施形態と同様に、例えば、チタン� �金によって平面視円形の薄膜状(または薄板� ��)に構成されている。

 本実施形態では、複数の厚肉部材12,13,14� �、膜部材1aと接する複数(図例では2つ)の第1� �部材(保護部材)12,12、この第1板部材12,12に接� ��る複数(図例では2つ)の第2板部材13,13、およ� ��この第2板部材13,13に接する複数(図例では2� �)の第3板部材14,14を有する。

 第1板部材12,12は、その厚さが膜部材1aよ� �も厚くなっており、第2板部材13,13は、その� �さが第1板部材12,12よりも厚くなっている。� �3板部材14,14は、その厚さが第1板部材12,12と� �ぼ同じになっている。

 第1板部材12,12は、例えば、合成樹脂、好� ��しくはPTFEその他のフッ素樹脂により平面視 円環状の薄板形状とされている。第2板部材13 ,13は、例えば、チタン等の金属によって構成 されている。この第2板部材13,13は、その厚さ が第1板部材12,12の厚さよりも厚い円環状に構 成されている。第3板部材14,14は、例えば、合 成樹脂、好ましくは、PTFEその他のフッ素樹� �により平面視円環状の薄板形状とされてい� �。

 各板部材12,13,14は、それぞれ膜部材1aを挟 むようにして、この膜部材1aの一方の面側と� ��他方の面側に設けられている。より具体的� ��は、2つの第1板部材12,12は、膜部材1aの周縁� ��に接触するように重ねられ、第2板部材13,13� ��、この第1板部材12、12に重ねられている。� �して、各第3板部材14,14は、第2板部材13,13に� �ねられている。

 これにより、ダイヤフラム1は、膜部材1a� ��一部(中央部)が、弾性変形によって、所定� �流体を搬送可能な膜部となり、第2板部材13� �13等によって厚肉部が構成されたものとなる 。

 この状態で、ダイヤフラム1は所定の固定 位置に固定される。このように、ダイヤフラ ム1の膜部材1aの周縁に、複数の板部材12,13,14� ��厚肉部として設け、この板部材12,13,14を挟� �込むように固定することにより、第1実施形� ��と同様に、ダイヤフラム1を確実かつ強固に 固定できるようになる。

 また、厚肉部を構成する第2板部材14と膜� ��材1aとの間に設けられている第1板部材12は� �膜部材(膜部)1aが弾性変形するときに、これ� ��伴って弾性変形し、これによって、膜部材1 aを保護する。すなわち、第1板部材12は、膜� �材1aと第2板部材14との境界部分に、応力集中 が生じないように、膜部材1aの変形に伴って� ��性変形することで、この膜部材1aを保護す� �保護部として機能する。これによってダイ� �フラム1は、その寿命を長期化できる構成と� ��っている。

 図4は、ダイヤフラム1の第3実施形態を示� ��ている。この第3実施形態に係るダイヤフラ ム1は、膜部1aと厚肉部1bの第2厚肉部(保護部)1 dの構成が第1実施形態と異なる。

 図4(a)は、厚肉部1bが膜部1aに対して一体� �される前の状態を示している。本実施形態� �は、第2厚肉部1dは、その半径方向の内方に� �かうにつれて、その厚さが徐々に薄くなる� �うに形成されており、さらに、半径方向の� �方側の端部1fが膜部1aに向かうように、その� ��途部が屈曲して形成されている(以下、この 屈曲した部分を「屈曲部」1gという)。

 このように、第2厚肉部1dの中途部に屈曲� ��1gを形成することにより、第2厚肉部1dの先� �部1fは、第1厚肉部1cにおいて膜部1aと接する� ��よりも、膜部1a側に突出して設けられるこ� �になる。このようにすることで、厚肉部1bを 膜部1aに固着したときに(図4(b)参照)、この第2 厚肉部1dの先端部1fが膜部1aに当接し、これに よって屈曲部1gとその近傍部分(第2厚肉部1dに おいて屈曲部1gよりも第1厚肉部1bよりの部分) が常に弾性変形した状態となる。

 屈曲部1gとその近傍部分が常に弾性変形� �ていることから、その弾性力によって、第2� ��肉部1dの先端部は膜部1aの表面に押しつけら れた状態となる。これによって、第2厚肉部1d は、膜部1aに対し、より強く密着した状態で� ��膜部1aが弾性変形したときに、この弾性変� �に応じて迅速に弾性変形するようになる。� �れにより、膜部1aを保護する保護部である第 2厚肉部1dは、膜部1aが損傷しないように、よ� ��確実に保護することができる。また、この� ��端部1fによって、膜部1aに付着した異物を効 果的に除去できるようになる。

 図5は、ダイヤフラム1の第4実施形態を示� ��ている。上述した第1実施形態に係るダイヤ フラム1では、膜部1aと厚肉部1bとが別体とさ� ��ていて、厚肉部1bを溶接によって膜部1aに固 着したものであったが、本実施形態では、膜 部1aと厚肉部1bが同じ金属材料によって一体� �形成されている。

 厚肉部1bは、第1実施形態と同様に第1厚肉 部1c、第2厚肉部(保護部)1dを有する。第2厚肉� ��1dには、膜部1aと第1厚肉部1cを繋ぐ曲面1hが� ��成されている。本実施形態のダイヤフラム1 は、所定の厚さの円形の金属製板部材を切削 、研削等を行うことにより、膜部1aと厚肉部1 bとが形成される。

 このように、厚さの異なる膜部1aと厚肉� �1bの間に曲面1hを形成することによって、膜� ��1aが弾性変形したときに、膜部1aの保護部で ある第2厚肉部1dの中途部に亀裂が生じにくく なり、より長期にわたって膜部1aを保護する� ��とができる。これによって、ダイヤフラム1 の寿命を長期化できるようになる。なお、第 1厚肉部1cの厚さ方向の外面には、第1実施形� �と同様な厚肉部材11が重ねられている。その 他、本実施形態においても、第1実施形態と� �様の作用効果を奏する。

 図6は、ダイヤフラム1の第5実施形態を示� ��ている。この第5実施形態では、第2厚肉部1d の形状が第1実施形態と異なる。第1実施形態� ��は、第2厚肉部1dに所定の曲率半径の曲面1e� �形成していたが、第2実施形態では、この曲� ��1eに代えて、所定の角度で傾斜する傾斜面1i が形成されている。この傾斜面1iは、第1厚肉 部1cから膜部1aの半径方向内方に向かうにつ� �て徐々に膜部1aに近づくように傾斜するよう に形成されている。

 このように、第2厚肉部1dに傾斜面1iを形� �することにより、第2厚肉部1dは、ダイヤフ� �ム1の半径方向内方に向かうにつれてその厚� ��が徐々に薄くなっている。これによって、� ��実施形態においても、第2厚肉部1dは、第1実 施形態と同様に、膜部1aの弾性変形に伴って� ��性変形することで、膜部1aを保護する保護� �として機能するようになっている。本実施� �態のその他の構成は第1実施形態と同様であ� ��、本実施形態においても第1実施形態と同様 の作用効果を奏する。

 上記の構成のダイヤフラム1は、流体を搬 送するポンプの流体搬送手段、ダイヤフラム センサ等の検知手段、ダイヤフラム弁等の流 体制御手段、ブレーキダイヤフラム等の制動 手段その他の種々の用途に用いることができ る。

 以下、ダイヤフラム1の使用例として、ダ イヤフラム1を流体搬送手段として用いた往� �動ポンプについて説明する。

 図7に示すように、往復動ポンプは、2つ� �ダイヤフラム1,1を周期的に弾性変形させる� �とにより、所定の往復動をさせて流体を搬� �するように構成されている。この往復動ポ� �プは、各ダイヤフラム1,1を内部に有する左� �2つの流体搬送部10,10と、前記ダイヤフラム1, 1を駆動させるべく適切なタイミングで作動� �を流体搬送部10,10に供給する駆動力供給部40� ��、回転運動を生ずる電動モータとこの電動� ��ータの回転力を駆動力供給部40に伝達する� �めのギヤ等を有する駆動部(図示略)とを備え ている。

 各流体搬送部10,10は、駆動力供給部40から の作動油をダイヤフラム1,1に供給するための 左右の作動油供給部31,31と、これら作動油供� ��部31,31の間に設けられたポンプヘッド32と、 作動油供給部31,31内の作動油に混入したガス� ��外部に排出するガス排出機構20を備える。

 各流体搬送部10,10は、ポンプヘッド32と左 右の作動油供給部31,31とを用いて各ダイヤフ� ��ム1,1を挟持することにより構成されている� ��この場合、各ダイヤフラム1,1は、厚肉部1b� �たは、厚肉部材11~15の部分がポンプヘッド32� ��左右の作動油供給部31,31とによって挟持さ� �ることによって、その間に確実かつ強固に� �定される。

 そして、この作動油供給部31とポンプヘ� �ド32とを用いて、ダイヤフラム1を内部に備� �たダイヤフラム駆動室2が構成されている。� ��た、各作動油供給部31,31内には、ダイヤフ� �ム1,1に連接された弁体3,3およびこれに対応� �た弁座4,4を備えた作動油制限室5が設けられ� ��いる。

 さらに、ポンプヘッド32には、搬送流体� �流入させるために機能する流入側逆止弁33お よび搬送流体を流出させるために機能する流 出側逆止弁34が設けられており、搬送流体は� ��その流入経路33aおよび流入側逆止弁33を通� �てダイヤフラム駆動室2の流体搬送室2aに流� �し、流出側逆止弁34およびその流出経路34aを 通じて所定の搬送経路に流出するようになっ ている。

 ダイヤフラム駆動室2においては、駆動部 からの駆動力を、駆動力供給部40を介してダ� ��ヤフラム1,1が受け、この駆動力に基づいて� ��イヤフラム1,1が往復動すべく構成されてい� ��。具体的には、駆動力供給部40と作動油供� �部31,31とが作動油配管部35,35を介して連通さ� ��、作動油配管部35,35および作動油供給部31,31 内は作動油で満たされており、後述する駆動 力供給部40のピストン部43,44の往復動が、作� �油配管部35,35および作動油供給部31,31内の作� ��油を介して、ダイヤフラム1,1に伝達される� ��ととなる。

 各作動油制限室5,5内の弁体3,3は、弁体支� ��部6,6にコイルスプリング等の付勢手段7,7を� ��して取り付けられるとともに、作動油制限� ��5,5とダイヤフラム駆動室2,2との間を連絡す� ��シャフト8,8に固着されている。

 各シャフト8,8の一方端部は、ダイヤフラ� ��1,1の作動油制限室5,5側の面に固定されると� ��もに、付勢手段7,7および弁体3,3を介してダ� ��ヤフラム1,1側に付勢されるようになってい� ��。

 作動油制限室5,5とダイヤフラム駆動室2,2� ��の間には、シャフト8,8を支持するシャフト� ��持部9,9が設けられており、各シャフト支持� ��9,9には、作動油制限室5,5からダイヤフラム� ��動室2,2に作動油を流通させるための貫通孔� ��形成されている。同様に、弁体支持部6につ いても、作動油を流通させるための貫通孔が 形成されている。

 上記構成の作動油制限室5,5によって、作� ��油配管部35,35を介して作動油供給部31,31に流 入した作動油によってダイヤフラム1,1が弾性 変形して所定の往復動をしたときに、このダ イヤフラム1,1とともに弁体3も往復動するこ� �となる。作動油制限室5,5に必要以上の圧力� �作用した場合には、この弁体3が移動して、� ��座4に当接するようになっている。

 これによって、作動油制限室5,5は、ダイ� ��フラム1,1に過大な圧力が加わらないように� ��て、ダイヤフラム1,1の破損を防止できるよ� ��になっている。なお、作動油制限室5,5と駆� ��力供給部40との間には、リリーフ機構37,37が 設けられており、作動油制限室5,5に必要以上 の圧力が作用した場合には、このリリーフ機 構37,37によって所定量の作動油を排出して圧� ��を適正な状態で維持できるようになってい� ��。

 この往復動ポンプは、ダイヤフラム駆動� ��2,2および作動油制限室5,5が形成されている� ��め、作動油中に空気等のガスが混入した場� ��には、各室2,5の最上部にガスが溜まりやす� ��。そこで、ダイヤフラム駆動室2,2および作� ��油制限室5,5内のガスを適切に排出させるた� ��に、前記ガス排出機構20が往復動ポンプに� �けられている。ガス排出機構20は、作動油制 限室5に設けられた第1ガス排出経路21と、ダ� �ヤフラム駆動室2に設けられた第2ガス排出経 路22と、これらのガス排出経路21、22を通じて 排出されるガスおよび作動油の流量を調整す る流量調整部25を備える。

 第1ガス排出経路21は、その一方端部が作� ��油制限室5内における弁座4よりも作動油配� �部35側の上方位置に設けられ、第1ガス排出� �路22は、その一方端部が、ダイヤフラム駆動 室2内におけるダイヤフラム1と弁座4との間の 上方位置に設けられている。

 そして、それぞれの排出経路21,22の他方� �部は、流量調整部25と作動油供給部31との間� ��形成された連通部24に連通すべく近接して� �けられている。さらに、第1ガス排出経路21� �、第2ガス排出経路22上には、それぞれ逆流� �止のためのボール体23a,23b(逆流防止体)が設� �られている。

 流量調整部25は、逆流防止のためのボー� �体28と、このボール体28のリフト量(可動可能 領域)を調整する調節バルブ27を有する。調整 バルブ27は、その内部にバルブ内排出経路を� ��している。そして、この調整バルブ27の外� �部には流量調整部25に対して螺合すべく雄ね じ部が形成されており、ボール体28のリフト� ��は、この調整バルブ27のねじ込み量にて調� �されている。流量調整部25は、調整バルブ27� ��よってボール体28のリフト量を調整するこ� �により、この流量調整部25を流通するガスお よび作動油の流量を調整できるようになって いる。

 また、流量調整部25,25は、流体排出配管� �36を介して駆動力供給部40の作動油貯留部(ケ ーシング50内)に接続されている。また、流量 調整部25における調整バルブ27の上部には、� �の調整バルブ27を覆うと共に、調整バルブ27� ��調整の際に着脱可能(あるいは開閉可能)な� �護カバー29が設けられている。

 上記構成のガス排出機構20では、調整バ� �ブ27を操作して、ボール体28を所定のリフト� ��にて移動可能な状態にすることにより、ダ� ��ヤフラム駆動室2および作動油制限室5に混� �したガスが、第1ガス排出経路21、第2ガス排� ��経路22を通じて、各ボール体23a、23b、28を押 し上げ、調整バルブ27のバルブ内排出経路を� ��じて外部に排出されるようになっている。� ��た、このガスの排出とともに溢流した作動� ��は、流体排出配管部36を通じて駆動力供給� �40に回収されるようになっている。

 駆動力供給部40は、駆動部のギヤから駆� �力を受ける駆動力伝達軸41と、この駆動力伝 達軸41に取り付けられた偏心カム42と、この� �心カム42の動きに応じて往復動するピストン 部(第1ピストン部43および第2ピストン部44)と� ��第1ピストン部43内のベアリング47の内輪で� �持された第1回動軸45と、第2ピストン部44内� �ベアリング48の内輪で支持された第2回動軸46 と、第2ピストン部44内にて第1ピストン部43と 第2ピストン部44とを適切に付勢して、各ピス トン部43,44内に設けられている各回動軸45,46� �偏心カム42に接触させるべく機能する調整手 段たる位置規制付勢手段49と、これらの各要� ��を内包しているケーシング部50等とを用い� �構成されている。そして、以上のような要� �を有する駆動力供給部40においては、ケーシ ング部50内壁とピストン部43,44との間の密閉� �間に、作動油が充填されている。

 駆動力供給部40は、第2ピストン部44が中� �状に形成されている。すなわち、第2ピスト� ��部44は、その内部に、駆動力伝達軸41、偏心 カム42、第1ピストン部43、ベアリング48、お� �び位置規制付勢手段49等が包含可能であるべ く形成されている。

 そして、第2ピストン部44の内壁部(内面部 )と第1ピストン部43の外壁部(外面部)との間に は、位置規制付勢手段49が挟持されている。� ��なわち、この位置規制付勢手段49によって� �第1ピストン部43および第2ピストン部44が偏� �カム42の位置する方向に付勢されることとな る。換言すれば、この位置規制付勢手段49に� ��って、第1ピストン部43内の第1回動軸45と、� ��2ピストン部44内の第2回動軸45とが、常に偏� ��カム42の外周面に接すべく、適切に付勢さ� �ることとなる。

 なお、この駆動力供給部40は、第1ピスト� ��部43、第2ピストン部44に対応して、ガス排� �機構20から流体排出配管部36を通じて、この� ��動力供給部40に作動油が回収されることに� �る駆動力の低下を防止するための補助プラ� �ジャ機構60、作動油供給弁70,70を備えている� ��

 本実施形態にかかる往復動ポンプは、通� ��運転時においては、次のように機能する。� ��の往復動ポンプは、まず、電動モータを回� ��させて、この回転力を、ギヤ部を介して駆� ��力伝達軸41に伝える。

 次に、この駆動力伝達軸41によって偏心� �ム42を回転させ、この偏心カム42の回転によ� ��て、第1および第2ピストン部43,44を往復動さ せる。ここでは、上述した構成に基づいて、 第1ピストン部43と第2ピストン部44とが一体的 に、一つの偏心カム42によって往復動する。� ��して、このピストン部43,44の往復動によっ� �作動油に対して所定の力および方向の圧力� �作用し、その作動油が、配管部35,35に送排出 されることとなる。

 次に、配管部35,35を介して流通する作動� �に基づいて、ダイヤフラム1,1が適切なタイ� �ングで往復動し、このダイヤフラム1,1の動� �によって、流入側逆止弁33および流出側逆止 弁34が作動して、所望の液体が搬送されるこ� ��となる。

 通常運転時において、本実施形態にかか� ��往復動ポンプは、各構成要素が以上のよう� ��機能して、ダイヤフラム1,1の往復動を繰り� ��し行わせることによって、所望流体を定量� ��に搬送させることが可能となる。なお、こ� ��往復動ポンプは、2つのダイヤフラム1,1の往 復動を異ならせることにより、流体を無脈動 で搬送できるようになっている。

 図8~図10は、本発明に係るダイヤフラムの 第6実施形態を示している。ダイヤフラム1は� ��円形とされるとともに、厚肉部1b(第1厚肉部 1c、保護部としての第2厚肉部1d)、及び膜部1a� ��有する。このダイヤフラム1は、第4実施形� �と同様に、厚肉部1bと膜部1aが同じ金属材料( 例えばチタン合金)によって一体に形成され� �いる。このダイヤフラム1は、板部材に切削� ��工、及び研削加工を施すことによって形成� ��れる。

 本実施形態に係るダイヤフラム1は、膜部 1aの構成が第4実施形態と異なる。すなわち、 膜部1aは、その中途部が断面視において、波� ��状に構成されている。ダイヤフラム1の半径 方向における膜部1aの最も外側の部分には、� ��状とならない、直線状の部分(以下「直線部 」という)16が形成されている。この直線部16� ��、その半径方向の外端部が、第2厚肉部1dに� ��げられている。

 また、膜部1aの中央部には、一定厚さの� �肉部(以下「第3厚肉部」という)17と、円周方 向に沿って第3厚肉部17の周囲を囲むように形 成された厚肉部(以下「第4厚肉部」という)18� ��有する。第3厚肉部17及び第4厚肉部18の厚さ� ��、膜部1aよりも厚くなっている。

 膜部1aは、図8、図9に示すように、凸部19a と凹部19bが所定のピッチで交互に形成された 波形状とされている。

 第3厚肉部17は、厚さが一定の円板状に構� ��されている。また、第3厚肉部17は、ダイヤ� ��ラム1の半径方向に平行な2つの平坦面17a,17b� ��有する。この2つ平坦面17a,17bのうち、一方� �面17aには、例えば、上述したポンプのシャ� �ト8のような当接部材が当接する。すなわち� ��この第3厚肉部17の一方の平坦面17aは、当接� ��材が当接する当接部となっている。ダイヤ� ��ラム1aが適用される往復動ポンプには、上� �したような油圧によって膜部1aを弾性変形さ せるものの他、ピストン、プランジャ等のよ うな部材によって、機械的に膜部1aを変形さ� ��るものも含まれる。このような往復動ポン� ��の場合、前記当接部は、ピストン、プラン� ��ャのような当接部材が当接して押圧される� ��ととなる。

 第4厚肉部18は、図10に示すように、ダイ� �フラム1の半径方向外方に向かうにつれてそ� ��厚さが徐々に薄くなるように構成される。� ��り具体的には、第4厚肉部18は、ダイヤフラ� ��1の半径方向外方に向かうにつれて、その厚 さが徐々に薄くなるように、所定の曲率半径 で湾曲した曲面18a,18bを有する。第4厚肉部18� �厚さ方向の一方側の面及び他方側の面の両� �に形成されている。

 図10に示すように、第4厚肉部18は、第3厚� ��部17の厚さ方向の中心を通る中心線に対し� �、第3厚肉部17の厚さ方向の一方側に片寄っ� �形成される。具体的には、この第4厚肉部18� �、ダイヤフラム1の半径方向の外方に向かう� ��つれて、前記中心線よりも第3厚肉部17の当� ��部(17a)側に片寄るように形成される。より� �体的には、第4厚肉部18の厚さ方向における� �心線X2を引いたとき、この中心線は、第3厚� �部17の中心線と所定の角度で交差する。第4� �肉部18の中心線X2は、ダイヤフラム1の半径方 向外方(第3厚肉部17から第1厚肉部1cに向かう� �向)に向かうにつれて、第3厚肉部17から離れ� ��ように、第3厚肉部17の中心線X1に対して斜� �に交差している。

 本実施形態では、例えば、ダイヤフラム1 の直径が約120mm、膜部1aの厚さが0.20mm、第1厚� ��部1cの厚さが2mm、第3厚肉部17の直径が約4.5mm 、第3厚肉部17の厚さが約1.7mm、第2厚肉部1dの� ��面1e、及び第4厚肉部18の曲面18a,18bの曲率半� ��が4mm、となっている。

 この第6実施形態によれば、保護部として の第2厚肉部1dが、第1厚肉部1cと膜部1aとの間� ��設けられ、膜部1aの弾性変形に伴って弾性� �形することにより、第1厚肉部1cと膜部1aとの 境界部分で、膜部1aに応力集中が生じにくく� ��り、これによって膜部1aの損傷を防止でき� �ようになる。これにより、ダイヤフラム1は� ��その寿命を長期化できる構成となっている� ��

 また、当接部材が当接する第3厚肉部17が� ��部1aよりも厚く形成されることで、この第3� ��肉部17の強度が高められ、長期の使用に耐� �得るダイヤフラム1を実現できる。

 また、膜部1aが弾性変形するときに、膜� �1aと第3厚肉部17との間の第4厚肉部18が、この 膜部1aに追従するように弾性変形して膜部1a� �損傷を防止する保護部となる。これによっ� �、ダイヤフラム1の長寿命化を実現できる。� ��かも、第4厚肉部18の表面18a,18bが曲面状に形 成されることにより、第4厚肉部18に亀裂等が 生じにくくなり、これによってダイヤフラム 1の更なる長寿命化を実現できる。

 また、第4厚肉部18は、第3厚肉部17の当接� ��側に片寄って形成されていることから、こ� ��当接部の近傍部位を補強することができる� ��つまり、上述したポンプの作動油制限室5に 過大な負圧が生じた場合には、ダイヤフラム 1の作動制限室側の面(当接部17aが形成されて� ��る側の面)にその圧力が作用する。これによ り、ダイヤフラム1の膜部1aは、この圧力によ って、大きく弾性変形する。このとき、第3� �肉部17の当接部寄りの部分が第4厚肉部18によ って補強されているので、この第4厚肉部18の 弾性変形によって、過大な負圧を吸収できる 。これによって、膜部1aが損傷し難くなり、� ��イヤフラム1の更なる長寿命化を実現できる 。

 なお、本発明は上記の実施形態に限らず� ��種々の変形・変更が可能である。

 例えば、上記の実施形態では、平面視円� ��のダイヤフラム1を例示したが、ダイヤフラ ム1の形状はこれに限らず、平面視四角形そ� �他の多角形、楕円形、異形形状に構成して� �よい。

 上記の第1実施形態では、2枚の円環状の� �部材によって膜部1aを挟んで固着することに よって厚肉部1bを構成していたが、1枚の円環 状の板部材を膜部1aの一方の面に固着するこ� ��により厚肉部1bを構成するようにしてもよ� �。

 上記の第1実施形態では、直径100mm、膜部1 aの膜厚0.1mm、各厚肉部1bの厚さ1.5mmのダイヤ� �ラム1を例示したが、これに限らず、ダイヤ� ��ラム1はその用途に応じて種々の大きさ、厚 さのものを使用できる。本発明に係るダイヤ フラムは、第6実施形態で例示した寸法に限� �されない。

 上記の実施形態では、膜部1aが平面視円� �の平板状とされたダイヤフラム1を例示した� ��、これに限らず、例えば、膜部1aを断面視� �波状に形成したものを用いてもよい。これ� �よって、膜部1aは、より大きく弾性変形でき るようになる。

 上記の実施形態では、膜部1a、膜部材1aを チタン合金によって形成したダイヤフラム1� �例示したが、これに限らず、他の種々の金� �によってダイヤフラム1を構成してもよい。

 上記の第1実施形態では、厚肉部1bにさら� ��厚肉部材11を重ねるようにしてダイヤフラ� �1を構成した例を示したが、厚肉部材11を介� �ずに、厚肉部1bを直接所定の固定位置に固定 するようにしてもよい。

 上記の第1実施形態で示した厚肉部材11、� ��2実施形態で示した第1厚肉部材12、第2厚肉� �材13、第3厚肉部材14は、および第3実施形態� �示した厚肉部材15は、それぞれ2つずつ膜部1a または膜部材1aに設けられていたが、これに� ��らず、各厚肉部材11~15を3つ以上の複数とし� ��もよい。

 上記の実施形態では、1枚の膜部(膜部材)1 aの周縁部に厚肉部1bを形成した例を例示した が、これに限らず、例えば、2以上の複数の� �部(膜部材)1a,1aを重ね合わせ、この周縁部を� ��接等によって一体に固着するとともに、こ� ��周縁部に厚肉部1bを形成するようにしても� �い。これによって、複数の膜部1aの一部が破 損した場合であっても、他の膜部1aが機能し� ��流体を搬送でき、ダイヤフラム1の寿命を長 期化できるようになる。