本发明涉及基板制造技术领域,特别涉及一种� �板减压干燥方法及装置。 背景技术

目前的减压干燥（VCD )设备的排气孔设置有两种方式， 一种是中心排 气， 另一种是四周排气。但无论哪种排气方式， 对于大尺寸的玻璃基板来说， 会由于排气孔数量少及分布问题， 造成排气不均匀。 此外， 由于光刻胶本身 的流动性较差， 导致基板表面的气流不均， 基板表面的湿度不同等原因， 在 减压干燥后， 会产生减压干燥斑点， 最常见的是类似月牙形的斑点。 目前业 内无法对减压干燥的斑点进行有效控制， 增加了基板质量的误判率， 不利于 对基板质量的检测， 影响了基板的品质， 给后续工作带来不便。 发明内容

(一）要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是提供一种基板减压 干燥方法及装置， 以解决 现有基板减压干燥过程中存在的减压干燥斑点 的问题。

(二）技术方案

根据本发明实施例， 提供了一种基板减压干燥方法， 其包括以下步骤： S1 : 将基板置于密封空间；

S2: 将所述基板的待干燥面划分为设定个密封区；

S3: 对所述密封区抽气减压；

S4: 对所述密封区吹气干燥， 从密封空间取出基板。

优选， 所述步骤 S3可以包括：

S31 : 选择一个所述密封区作为第一减压区进行抽气 减压； 当所述第一 减压区内的压力小于设定压力值时进入步骤 S32;

S32: 若第一减压区有相邻的密封区， 则将所述第一减压区和所述第一 减压区相邻的一个密封区连通后形成的区域作 为第一减压区，进入步骤 S33; 否则， 第一减压区没有相邻的密封区， 抽气结束；

S33: 对此时的第一减压区进行抽气减压， 当第一减压区内的压力小于 所述设定压力值时， 返回步骤 S32。

更优选地， 在所述步骤 S32中， 抽气结束之后还包括： 将第一减压区重 新划分为所述设定个密封区。

优选， 所述步骤 S4可以包括：

S41 : 选择一个所述密封区作为第一干燥区进行吹气 干燥， 当所述第一 干燥区内的湿度小于设定湿度值时进入步骤 S42;

S42: 若第一干燥区有相邻的密封区， 则将所述第一干燥区和所述第一 干燥区相邻的一个密封区连通后形成的区域作 为第一干燥区，进入步骤 S43; 否则， 第一干燥区没有相邻的密封区， 干燥结束， 从密封空间取出基板；

S43: 对此时的第一干燥区进行吹气干燥， 当第一干燥区内的湿度小于 所述设定湿度值时， 返回步骤 S42。

根据本发明实施例， 还提供一种实施上述方法的基板减压干燥装置 ， 其 中， 该装置包括： 由第一挡板、 第二挡板、 第三挡板、 底板、 密封盖和控制 板围成的干燥仓， 用于放置待干燥的基板， 其中所述第一挡板、 第二挡板、 第三挡板、 底板和控制板构成矩形槽， 所述密封盖设置在与所述底板相反的 一侧， 用于将所述干燥仓和外部空气隔绝； 其中所述控制板用于控制基板的 干燥过程。

优选， 所述控制板上间隔设置有槽。

在所述第一挡板和控制板位于所述干燥仓的相 反两侧的情况下， 优选所 述第一挡板上对应所述控制板上的槽间隔地设 置有槽。

优选所述第二挡板上间隔设置有槽。

优选， 所述第三挡板对应所述第二挡板上的槽间隔地 设置有槽。

优选， 所述装置还包括隔离挡板， 用于通过所述第一挡板上的槽和控制 板上的槽或第二挡板上的槽和第三挡板上的槽 划分所述矩形槽。

优选， 所述隔离挡板上设有连通隔离挡板两侧的压力 控制阀。

优选， 所述控制板上的槽之间设有抽气端口。

优选， 所述控制板上的槽之间设有吹气端口。

优选， 所述控制板上的槽之间设有压力传感器。 优选， 所述控制板上的槽之间设有湿度传感器。

优选， 所述控制板上设有用于监控减压干燥过程的控 制面板。

优选， 所述控制板内设有空气泵， 所述空气泵的一端与所述控制面板连 接； 所述空气泵的另一端与所述抽气端口和吹气端 口连接。

(三)有益效果

根据本发明不同实施例， 可以实现以下优点中的一个或多个：

1.将大尺寸的基板划分小的密封区进行减压干� ��， 降低了减压干燥过程 的难度， 易于实现；

2.对密封区逐个进行减压 /干燥， 最大限度地保证了压力和湿度的均匀， 避免了减压干燥斑点的形成；

3. 干燥仓可通过第一挡板、 第二挡板、 第三挡板、 底板和控制板构成的 矩形槽可根据基板的形状进行调整， 能对各种尺寸的基板进行减压干燥；

4. 第一挡板、 第二挡板、 第三挡板和控制板上对应设置有用于安装隔离 挡板的槽， 可以对密封区的大小灵活控制；

5.相邻的密封区通过压力控制阀进行连通控制� �� 结构筒单有效， 过程容 易控制， 压力控制阀设置筒单；

6.抽气端口和吹气端口可以通过一个端口实现� �� 减少了成本， 节约了控 制流程；

7.控制板上的槽之间设有压力传感器和湿度传� ��器，能够实时对密封区 内的压力值和湿度值进行监控；

8.本发明的方法和装置不仅适用于对基板的减� ��干燥， 也适用于其他需 要减压干燥的有平整平面的器件。 附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案， 下面将对实施例的附图作 筒单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图 仅仅涉及本发明的一些实施例， 而非对本发明的限制。

图 1是根据本发明实施例的基板减压干燥方法的� �程图； 以及

图 2是根据本发明实施例的基板减压干燥装置的� �构示意图。 具体实施方式

为使本发明实施例的目的、 技术方案和优点更加清楚， 下面将结合本发 明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案 进行清楚、 完整地描述。显然， 所描述的实施例是本发明的一部分实施例， 而不是全部的实施例。 基于所描 述的本发明的实施例， 本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提 下所获 得的所有其他实施例， 都属于本发明保护的范围。

为了解决现有基板减压干燥过程中存在的干燥 斑的问题， 本发明提出了 一种基板减压干燥方法及装置。

本发明方法的流程图如图 1所示，参照图示，该方法具体包括以下步骤� � S1 : 将基板置于密封空间。

S2: 将所述基板的待干燥面划分为依次相邻的设定 个密封区。

依次相邻是指根据基板的实际形状， 按从左到右或从上到下等方式， 将 基板划分为筒单的几何形密封区以便减压干燥 。 设定个是指根据实际的基板 尺寸将基板要减压干燥的面划分为密封区的数 量。

S3: 对所述密封区抽气减压。 S3可以包括以下步骤：

S31 : 选择一个所述密封区作为第一减压区进行抽气 减压； 当所 述第一减压区内的压力小于设定压力值时进入 步骤 S32。

S32: 若第一减压区有相邻的密封区， 则将所述第一减压区和所 述第一减压区相邻的一个密封区连通后形成的 区域作为第一减压区， 进入步 骤 S33; 否则， 第一减压区没有相邻的密封区， 说明基板已经全部减压过了， 抽气结束， 将第一减压区重新划分为所述设定个密封区。 其中重新划分密封 区时， 可以将此刻的第一减压区恢复成抽气减压前的 设定个密封区即可。

S33: 对此时的第一减压区进行抽气减压， 当第一减压区内的压 力小于所述设定压力值时， 返回步骤 S32。 进入步骤 S33时， 连通后形成的 第一减压区内的压力会升高， 然后再逐渐降低。 最大限度地保证了压力和湿 度的均匀， 避免了减压干燥斑点的形成。

S4: 对所述密封区吹气干燥， 从密封空间取出基板。 步骤 S4 又可以包 括以下步骤：

S41 : 选择一个所述密封区作为第一干燥区进行吹气 干燥， 当所 述第一干燥区内的湿度小于设定湿度值时进入 步骤 S42。 S42: 若第一干燥区有相邻的密封区， 则将所述第一干燥区和所 述第一干燥区相邻的一个密封区连通后形成的 区域作为第一干燥区， 进入步 骤 S43; 否则， 第一干燥区没有相邻的密封区， 说明基板已经全部干燥过了， 干燥结束， 从密封空间取出基板。

S43: 对此时的第一干燥区进行吹气干燥， 当第一干燥区内的湿 度小于所述设定湿度值时， 返回步骤 S42。 进入步骤 S43时， 连通后形成的 第一干燥区内的湿度会升高， 然后再逐渐降低。

根据本发明实施例， 还提供一种实现上述方法的装置。 如图 2所示， 该 装置包括：

由控制板 1、 第一挡板 2、 第二挡板 3、 第三挡板 4、 底板 11、 和密封盖

(图中未示出） 围成的干燥仓， 用于放置待干燥的基板，

其中所述第一挡板 2、 第二挡板 3、 第三挡板 4、 底板 11和控制板 1构 成矩形槽，所述密封盖设置在与所述底板 11相反的一侧，用于将所述干燥仓 和外部空气隔绝；

其中所述控制板 1用于控制基板的干燥过程。

第一挡板 2、 第二挡板 3和第三挡板 4在干燥仓内的位置可调， 以适应 基板的形状。

在图 2所示的示例中， 所述控制板 1与第一挡板 2位于干燥仓的相反两 侧， 第二挡板 3和第三挡板 4位于干燥仓的相反两侧。

如图 2所示， 控制板 1和第一挡板 2上对应地间隔设置有槽 6。 对应是 指控制板 1上的槽和第一挡板 2上的槽之间平行设置， 数量和间距也对应相 等。

所述第二挡板 3上可以间隔设置有槽 6。 所述第三挡板 4可以对应所述 第二挡板 3上的槽也间隔地设置有槽 6。 第二挡板 3和第三挡板 4之间的对 应关系同控制板 1和第一挡板 2之间的对应关系。

所述装置还包括隔离挡板 12,用于通过所述第一挡板 2上的槽 6和控制 板 1上的槽 6或第二挡板 3上的槽 6和第三挡板 4上的槽 6划分所述矩形槽， 以形成大小适当的区域进行干燥。 这样就将大尺寸的基板划分 d、的密封区进 行减压干燥， 降低了减压干燥过程的难度， 易于实现。

所述隔离挡板 12上设有连通隔离挡板两侧的压力控制阀 7,压力控制阀 7开启时能连通隔离挡板 12两侧的密封区。 该压力控制阀 7的压力值可控， 可通过自动或手动方式调节。

所述控制板 1上的槽 6之间设有抽气端口 13和吹气端口 5。吹气端口 13 和抽气端 5口可用一个端口实现。

所述控制板 1上的槽 6之间设有压力传感器 9和湿度传感器 10。压力传 感器 9和湿度传感器 10可在控制板 1上的槽 6之间的每个间隔设置，也可选 择几个间隔设置。

所述控制板 1上设有用于监控减压干燥过程的控制面板 8。

所述控制板 1内设有空气泵（图中未示出 ),所述空气泵的一端与所述控 制面板 8连接； 所述空气泵的另一端与所述抽气端口 13和吹气端口 5连接。 当抽气减压时，吹气端口 5封闭，抽气端口 13和空气泵连通从基板内向外进 行抽气； 当吹气干燥时，抽气端口 13封闭， 吹气端口 5和空气泵连通从外向 基板内进行吹气。 所述控制板 1和外部电源连接。

根据本发明实施例的上述装置的具体操作过程 为：

首先， 打开密封盖， 将基板放在干燥仓的底板上， 使得需要减压干燥的 面对应密封盖， 并使基板的一个边靠紧控制板。 调整第一挡板、 第二挡板和 第三挡板的位置和尺寸使得调整第一挡板、 第二挡板、 第三挡板、 底板和控 制板紧密接触（各部件连接处能隔绝空气）。 这样能适应各种基板的形状， 能 对各种尺寸的基板进行减压干燥。 按需要通过隔离挡板将基板划分为几个密 封区 （隔离挡板安装在控制板和第一挡板、 第二挡板和第三挡板上的槽里）, 并调整隔离挡板上的压力控制阀的参数。 最后， 将密封盖盖上。 此时， 通过 密封盖、 第一挡板、 第二挡板、 第三挡板、 底板和控制板形成了密封空间。 隔离挡板又将密封空间划分为小的密封区。 将大尺寸的基板划分小的密封区 进行减压干燥， 降低了减压干燥过程的难度， 易于实现。

然后， 对密封区进行抽气减压。 通常选择干燥仓最外侧的密封区作为第 一减压区进行抽气减压。 若选择从中间的密封区进行减压， 则需要将抽气端 口和吹气端口移动到相应的密封区。 当选择最外侧作为第一减压区抽气减压 时， 控制板上的控制面板通过控制板内的空气泵和 抽气端口对第一减压区进 行抽气，当第一减压区内的压力传感器检测到 压力值小于设定的压力阈值时， 控制第一减压区和第一减压区相邻的一个密封 区之间的隔离挡板上的压力控 制阀打开， 使得第一减压区和该密封区形成联通区进行抽 气减压， 此时， 第 一减压区内的压力值会升高，和第一减压区相 邻的密封区内的压力值会降低， 最后两个区内的压力值相等并同时降低。 当压力传感器测得压力值小于设定 的压力阈值时， 控制压力控制阀打开下一个相邻的密封区， 以此类推， 使得 所有的密封区都连通进行减压抽气。 最大限度地保证了压力和湿度的均匀， 避免了减压干燥斑点的形成。 相邻的密封区通过压力控制阀进行连通控制， 结构筒单有效， 过程容易控制， 压力控制阀设置筒单。 压力传感器和湿度传 感器， 能够实时对密封区内的压力值和湿度值进行监 控。

抽气减压完成后， 需要将各个密封区之间的隔离挡板上的压力控 制阀闭 合， 重新构成密封区， 之后再进行吹气干燥过程。

吹气干燥过程和抽气减压过程， 此处不再赘述。

根据本发明实施例的方法和装置， 通过将大尺寸的基板， 分阶段的进行 减压干燥， 保证在每个阶段的小区域内排气均匀， 通过改变减压干燥方式， 避免了对高品质光刻胶的需求， 降低了材料成本， 同时该方式满足单件产品 生产时间 （tact time ), 极大降低了减压干燥斑点的产生， 提高了产品品质。

以上实施方式仅用于说明本发明， 而并非对本发明的限制， 有关技术领 域的普通技术人员， 在不脱离本发明的精神和范围的情况下， 还可以做出各 种变化和变型， 因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴 ， 本发明的专 利保护范围应由权利要求限定。