Titel

Verfahren zur Carbonitrierunq mindestens eines Bauteils in einer

Behandlunqskammer

Stand der Technik

Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 , sowie eine Behandlungskammer und eine Steuer- und/oder Regeleinrichtung nach den nebengeordneten Patentansprüchen.

Verfahren zur Carbonitrierung von Metallteilen sind aus DE 199 09 694 A1 , DE 101 18 494 A1 und DE 103 22 255 A1 bekannt. Carbonitrieren von metallischen Bauteilen ist ein thermochemisches Verfahren, bei dem in die Randschicht eines Eisenbasiswerkstoffs Kohlenstoff und Stickstoff eingebracht werden. Es ist eine besondere Art des "Einsatzhärtens". DE 199 09 694 A1 beschreibt ein

Carbonitrierungsverfahren, in dem die Eindiffusion des Stickstoffs während des gesamten Prozesses oder bei Verwendung von Stickstoff als Spendergas vorzugsweise in der letzten Prozessphase erfolgt. DE 101 18 494 C2 beschreibt ein Niederdruck-Carbonitrierungsverfahren, in dem Stahlteile zunächst aufgekohlt und anschließend mit einem Stickstoffspendergas aufgestickt werden. DE 103 22 255 A1 beschreibt ein Verfahren zur Aufkohlung von Stahlteilen, in dem sowohl während der Aufheizphase als auch während der Diffusionsphase stickstoffabgebendes Gas zugegeben wird. Der beim Carbonitrieren

eindiffundierte Stickstoff führt in der Randschicht zu einem besseren

Reibverschleißwiderstand und einer besseren Anlassbeständigkeit.

Die Prozessführung beim Carbonitrieren erfolgt in mindestens einer

Behandlungskammer durch Vorgabe von Druck, Temperatur, Zeit,

Prozessgaszusammensetzung und Prozessgasdurchsatz. Während der

Carbonitrierung kann als Nebenprodukt aus den Kohlenstoff- und Stickstoffspendergasen molekularer Wasserstoff entstehen. Der

Wasserstoffanteil kann durch geeignete Sensorik ermittelt werden. Die eingesetzten Sensoren müssen für den Einsatz in Niederdruck- bzw.

Vakuumanlagen ausgelegt sein.

Kommerziell verfügbare Wasserstoffsensoren erlauben bei konventionellen Gas- Nitrierprozessen die Regelung der Prozessgasatmosphäre mit Hilfe der

Nitrierkennzahl. Die Nitrierkennzahl ist wie folgt definiert: k _N = p _NH3 /(p _H2 ) ^l>5 , wobei

k _N = Nitrierkennzahl,

PNH3 = Druck des Ammoniaks, und

P _H 2 = Druck des Wasserstoffs, und beschreibt das Verhältnis zwischen Ammoniakangebot und -umsatz und legt somit das Ammoniaküberangebot fest. Durch die Regelung nach Nitrierkennzahl können bei Gasnitrierprozessen über die Prozessdauer hinweg gleichbleibende, reproduzierbare Nitrierbedingungen unabhängig von der Größe der Oberfläche der Bauteil-Charge eingestellt werden.

Bei Niederdruck-Carbonitrierprozessen ist eine Regelung nach Nitrierkennzahl nicht möglich, da sich während der Prozessführung an der Bauteiloberfläche die Kohlenstoff- und Stickstoffkonzentration und damit die Kohlenstoff- und

Stickstoffaufnahme ständig ändert, wodurch sich bei konstant halten der Nitrierkennzahl keine gleichbleibenden, reproduzierbaren Aufkohlungs- und Nitrierbedingungen einstellen lassen. Der Fortschritt des Gaszerfalls bzw. der einsetzenden Reaktionen erfolgt in Abhängigkeit von Druck, Temperatur und reaktiver bzw. katalytisch wirkender Oberfläche der Bauteil-Charge bzw.

Ofenauskleidung.

Entscheidend für die Atmosphärenzusammensetzung in der

Behandlungskammer ist somit die aus der Durchflussmenge resultierende Verweilzeit der Gase in der Kammer. Aus diesem Grund werden in der Praxis durch aufwendige Versuchsreihen

Festgasmengen für die Prozessführung empirisch ermittelt, die jedoch nur für den untersuchten Chargenaufbau, die Behandlungskammer und den

verwendeten Werkstoff der metallischen Bauteile gelten. Eine Übertragung der Festgasmengen auf andere Prozessführungen, Werkstoffe, Chargenaufbau, Behandlungskammern ist nicht direkt möglich, diese müssen erneut empirisch ermittelt werden. DE 101 18 494 C2 beschreibt in einem Ausführungsbeispiel eine Niederdruck-Carbonitrierung mit Festgasmengen.

Offenbarung der Erfindung

Das der Erfindung zugrunde liegende Problem wird durch ein Verfahren nach Anspruch 1 sowie durch eine Behandlungskammer und eine Steuer- und/oder Regeleinrichtung nach den nebengeordneten Ansprüchen gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in Unteransprüchen angegeben. Für die Erfindung wichtige Merkmale finden sich ferner in der nachfolgenden Beschreibung und in den

Zeichnungen, wobei die Merkmale sowohl in Alleinstellung als auch in unterschiedlichen Kombinationen für die Erfindung wichtig sein können, ohne dass hierauf nochmals explizit hingewiesen wird. Das erfindungsgemäße Verfahren weist den Vorteil auf, mittels einer Erfassung eines Wasserstoffanteils in einer Behandlungskammer eine gleichmäßige, reproduzierbare Carbonitrierung mittels Niederdruck-Carbonitrierung unabhängig von einer Chargengröße oder einer Ofenanlage an mindestens einem in der Behandlungskammer befindlichen Bauteil durchführen zu können.

Erfindungsgemäß wird in der Behandlungskammer zur Niederdruck- Carbonitrierung von Bauteilen mit Hilfe eines Wasserstoff-Sensors ein

Wasserstoffanteil einer Prozessgasatmosphäre überwacht und dadurch mittels vorgegebener Grenzwerte für den Wasserstoffanteil ein Kohlenstoff- bzw.

Stickstoffspendergasangebot eingestellt bzw. geregelt. Dem liegt die Überlegung zu Grunde, dass unabhängig vom Aufbau der Bauteil-Charge und/oder der Behandlungskammer mittels der Messgröße des Wasserstoffanteils auf ein Kohlenstoff- bzw. Stickstoffspendergasangebot in der Prozessgasatmosphäre geschlossen werden kann, so dass hierauf aufbauend die in die

Behandlungskammer einströmende Menge des Prozessgases hinsichtlich

Zeitpunkt und/oder Zeitraum und/oder Menge geregelt werden kann. Das Verfahren kann grundsätzlich bei verschiedenartigen Bauteilen zur Anwendung kommen und eignet sich besonders gut für metallische Bauteile, insbesondere für Eisenbasiswerkstoffe. Im Folgenden wird daher die Anwendung des

Verfahrens auf metallische Bauteile beschrieben.

Bei einer Prozessphase des so genannten "Unterdruckaufkohlens",

beispielsweise unter Verwendung von Acetylen, sollte ein maximaler

Wasserstoffanteil in der Prozessgasatmosphäre ("Atmosphäre") von

beispielsweise 75 Vol.-% nicht überschritten werden. Bei einer Prozessphase, in welcher ein Stickstoffspendergas, beispielsweise Ammoniak, in die

Behandlungskammer eingebracht wird, sollte aufgrund der bekannten

Stickstoffeffusion ein maximaler Wasserstoffanteil in der Atmosphäre von beispielsweise 50 Vol.-% nicht überschritten werden. Der Vorteil der Erfindung ist, dass lokal an einem oder mehreren metallischen Bauteilen einer Charge vergleichbare Kohlenstoff- bzw. Stickstoffangebote vorliegen und somit ein gleichmäßiger Kohlenstoff- bzw. Stickstoffeintrag in die Oberfläche(n) der metallischen Bauteile ermöglicht wird. Allgemein sieht das Verfahren vor, die einzelnen Prozessphasen in einer beliebigen Anzahl und/oder Reihenfolge durchzuführen.

Ferner verändert sich die Kohlenstoff- bzw. die Stickstoffaufnahme während der Prozesszeit durch den bereits aufgenommen Kohlenstoff bzw. Stickstoff und wegen der begrenzten Löslichkeit beider Elemente in der metallischen Matrix der Oberflächen der Bauteile. Durch die Regelung des Prozesses bzw. der

Prozessgasatmosphäre mit Hilfe des von dem Wasserstoff-Sensor erfassten

Wasserstoffanteil kann auch ein unnötig hohes Kohlenstoff- bzw.

Stickstoffangebot vermieden werden, wodurch ein möglichst effizienter

Prozessgaseinsatz und damit eine Reduzierung der Prozesskosten erreicht wird. Weiterhin kann durch eine durch die Erfassung des Wasserstoffanteils mögliche

Überwachung der Prozessgasatmosphäre die Bildung von toxischen

Verbindungen, wie z.B. Cyaniden minimiert oder verhindert werden.

Vorzugsweise wird zwischen aufeinander folgenden Prozessphasen, bei denen verschiedenartige Gaszusammensetzungen angewandt werden, die

Behandlungskammer evakuiert oder mit einem Inertgas, wie etwa Stickstoff oder

Argon, gespült, um eine gleichzeitige Anwesenheit beispielsweise von Kohlenstoff- und Stickstoffspendergas zu vermeiden. Damit können ungewollte chemische Reaktionen, wie z.B. die Bildung von Cyaniden unterbunden werden. Der beim Prozessgaswechsel erfasste Wasserstoffanteil in der Atmosphäre der Behandlungskammer kann indirekt auch als Messgröße für die Anteile der Kohlenstoff- bzw. Stickstoffspendergase verwendet werden. Wird bei einem

Prozessgaswechsel mit einem Inertgas gespült, kann bei Wasserstoffanteilen kleiner 5 Vol. -%, wünschenswerterweise kleiner 1 Vol.-% davon ausgegangen werden, dass die Konzentrationen der Kohlenstoff- bzw. Stickstoffspendergase genügend gering sind, um eine Umweltschädigung ausreichend zu reduzieren oder zu vermeiden. Wird bei einem Prozessgaswechsel die Behandlungskammer evakuiert, ist es erforderlich einen Druck in der Behandlungskammer von mindestens kleiner 1 x10 ^"1 mbar, wünschenswerterweise kleiner 1 x10 ^"2 mbar zu unterschreiten, wodurch davon ausgegangen werden kann, dass die

Konzentration der Kohlenstoff- bzw. Stickstoffspendergase genügend gering sind, um eine Umweltschädigung ausreichend zu reduzieren oder zu vermeiden.

Das Verfahren ist besonders einfach anzuwenden, wenn eine Durchflussmenge des in die Behandlungskammer eingebrachten Prozessgases geregelt wird. Beispielsweise kann durch ein verstellbares Ventil an einem Einlass der

Behandlungskammer die Menge des eingebrachten Prozessgases gesteuert und/oder geregelt werden.

Ferner sieht das Verfahren vor, dass das Prozessgas ein Kohlenstoffspendergas umfasst. Damit wird ein erstes Gas bzw. eine erste Gaszusammensetzung für eine Prozessphase zur Carbonitrierung von Bauteilen bereit gestellt, mit dem der für die Carbonitrierung wichtige Kohlenstoffanteil direkt beeinflusst wird, was eine schnelle und präzise Steuerung bzw. Regelung gestattet.

Besonders günstig ist es, wenn das Kohlenstoffspendergas eine Verbindung, ausgewählt aus einer Gruppe bestehend aus Acetylen, Ethylen, Propan, Propen,

Methan, Cyclohexan, Cyclopentan oder Mischungen davon, umfasst. Damit steht eine Auswahl handelsüblicher und damit vergleichsweise preiswerter Gase als Kohlenstoffspendergas zur Verfügung, um das Verfahren anzuwenden. Ferner sieht das Verfahren vor, dass das Prozessgas ein Stickstoffspendergas umfasst. Damit wird ein zweites Gas bzw. eine zweite Gaszusammensetzung für eine Prozessphase zur Carbonitrierung von Bauteilen bereit gestellt, mit dem der für die Carbonitrierung wichtige Stickstoffanteil direkt beeinflusst wird, was eine schnelle und präzise Steuerung bzw. Regelung gestattet. Dabei ist es günstig, wenn das Stickstoffspendergas eine Verbindung, ausgewählt aus einer Gruppe bestehend aus Ammoniak, Stickstoff oder

Mischungen davon, umfasst. Damit steht eine Auswahl handelsüblicher und damit vergleichsweise preiswerter Gase als Stickstoffspendergas zur Verfügung, um das Verfahren anzuwenden.

Das Verfahren arbeitet besonders vorteilhaft, wenn mindestens zwei chemisch verschiedene Prozessgase nacheinander auf das eine Bauteil chemisch einwirken, und dass zwischen den gasförmigen Prozessphasen die

Behandlungskammer mindestens teilweise evakuiert wird. Durch die

verschiedenartigen Gaszusammensetzungen, welche in verschiedenen

Prozessphasen nacheinander auf das mindestens eine Bauteil einwirken - also beispielsweise ein Kohlenstoffspendergas und ein Stickstoffspendergas - können jeweils spezifische chemische Wirkungen in Bezug auf das Verfahren erreicht werden. Sinnvoll ist es dabei, diese Gaszusammensetzungen beim Wechsel der Prozessphasen nicht miteinander zu vermengen. Mittels des mindestens teilweisen Evakuierens der Behandlungskammer kann dies auf eine einfache Weise erreicht werden.

Alternativ ist vorgesehen, dass mindestens zwei chemisch verschiedene

Prozessgase nacheinander auf das Bauteil chemisch einwirken, und dass zwischen den gasförmigen Prozessphasen die Behandlungskammer mit einem Inertgas gespült wird. Damit kann der Wechsel zwischen zwei gasförmigen Prozessphasen erfolgen, wobei der in der Behandlungskammer bestehende Druck im Wesentlichen unverändert bleiben kann.

Weiterhin ermöglicht es das erfindungsgemäße Verfahren, dass die Spülung oder die Evakuierung beendet wird, wenn der erfasste Wasserstoffanteil bzw. der Gesamtdruck der Atmosphäre einen vorgegebenen Schwellwert unterschreitet. Damit kann vorteilhaft die Erfassung des Wasserstoffanteils auch zwischen den Prozessphasen benutzt werden, um die Wirkung der Evakuierung bzw. der

Spülung zu ermitteln. Damit können ungewollte chemische Reaktionen vermieden und die Menge des benötigten Spülgases bzw. die Stärke und/oder die Dauer der Evakuierung begrenzt werden.

Eine Ausgestaltung des Verfahrens sieht vor, dass zwei Prozessphasen mit einem gleichartigen Prozessgas durchgeführt werden, und dass zwischen beiden

Prozessphasen eine Evakuierung oder Spülung durchgeführt wird. Auf diese Weise wird zwischen beiden Prozessphasen vorteilhaft eine so genannte Diffusionsphase eingerichtet. Eine weitere Ausgestaltung des Verfahrens sieht vor, dass zwei Prozessphasen mit einem gleichartigen Prozessgas durchgeführt werden, und dass zwischen beiden Prozessphasen kein Prozessgas der Behandlungskammer zugeführt und keine Evakuierung oder Spülung durchgeführt wird. Auf diese Weise wird zwischen den beiden Prozessphasen eine Diffusionsphase eingerichtet, bei der das noch in der Behandlungskammer verbliebene Prozessgas weiterhin auf die

Bauteiloberfläche reaktiv wirksam bleiben kann.

Das Verfahren arbeitet besonders wirkungsvoll, wenn die Behandlungskammer, das Prozessgas und/oder die Atmosphäre beheizt wird. Die erwünschten chemischen Reaktionen an den Oberflächen der Bauteile laufen allgemein bei höheren Temperaturen der sich in der Behandlungskammer ergebenden Atmosphäre intensiver und/oder schneller ab. Dabei kann die

Behandlungskammer selbst, ein darin befindlicher Heizkörper, die Atmosphäre und/oder das zugeführte Prozessgas beheizt bzw. aufgeheizt werden.

In einer Ausgestaltung sieht das Verfahren vor, dass die Behandlungstemperatur in einem Bereich von 750 °C bis 1050 °C liegt. Damit wird ein für viele

Anwendungen günstiger Temperaturbereich beschrieben. Ergänzend sieht das Verfahren vor, dass die Durchflussmenge des

Kohlenstoffspendergases so weit abgesenkt wird, dass eine Rußbildung innerhalb der Atmosphäre der Behandlungskammer verringert oder vermieden wird. Auf diese Weise kann der ermittelte Wasserstoffanteil vorteilhaft dazu benutzt werden, eine Verrußung der Behandlungskammer bzw. der darin befindlichen Elemente oder Bauteile zu verringern oder zu verhindern. Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens bzw. der erfindungsgemäßen Vorrichtungen werden durch die Zeichnung veranschaulicht und in der nachfolgenden Beschreibung erläutert. Dabei ist zu beachten, dass die Zeichnung nur beschreibenden Charakter hat und nicht dazu gedacht ist, die Erfindung in irgendeiner Form einzuschränken. In der Zeichnung zeigen:

Figur 1 eine schematische Darstellung einer Behandlungskammer zur

Niederdruck-Carbonitrierung von Bauteilen;

Figur 2 ein Zeitdiagramm eines Niederdruck-Carbonitrierungsverfahrens mit einer Darstellung von Prozessphasen und Prozesstemperaturen; und

Figur 3 ein Zeitdiagramm des Niederdruck-Carbonitrierungsverfahrens mit einer Darstellung eines Wasserstoffanteils in einer Atmosphäre der

Behandlungskammer.

Es werden für funktionsäquivalente Elemente und Größen in allen Figuren auch bei unterschiedlichen Ausführungsformen die gleichen Bezugszeichen verwendet.

Figur 1 zeigt in einer schematischen Darstellung eine Anlage 10 zur Niederdruck- Carbonitrierung von metallischen Bauteilen 12, welche auf einer Auflage 14 in einer Behandlungskammer 16 angeordnet sind. Die Bauteile 12 können mittels einer im unteren Bereich der Zeichnung befindlichen Heizeinrichtung 18 aufgeheizt werden. Ein erster Einlass 20 und ein zweiter Einlass 22 mit zugehörigen Durchflussregelventilen 24 und 26 ermöglichen das Einbringen von Kohlenstoffspendergas 28 und Stickstoffspendergas 30. Ein Temperatursensor 32, ein Drucksensor 34 und ein für die Niederdruck-Carbonitrierung geeigneter Wasserstoffsensor 36 sind in der Zeichnung im oberen Bereich der

Behandlungskammer 16 angeordnet. Eine oberhalb davon dargestellte Steuer- und/oder Regeleinrichtung 38 nimmt unter anderem die von dem

Temperatursensor 32, dem Drucksensor 34 und dem Wasserstoffsensor 36 kommenden Signale auf. Ein Auslass 40 der Behandlungskammer 16 führt auf den Eingang einer Pumpe 42. Im Betrieb werden in verschiedenen Prozessphasen nacheinander mittels der Durchflussregelventile 24 und 26 das Kohlenstoffspendergas 28 bzw. das Stickstoffspendergas 30 in die Behandlungskammer 16 eingebracht. Die Steuer- und/oder Regeleinrichtung 38 überwacht und steuert oder regelt unter anderem mittels der Sensoren 32, 34 und 36 den Prozess bzw. die einzelnen

Prozessphasen. Insbesondere ist ein durch den Wasserstoffsensor 36 erfasster Wasserstoffanteil 44 von Bedeutung, der sich in einer Atmosphäre 46 der Behandlungskammer 16 ergibt, wie in den nachfolgenden Figuren 2 und 3 noch erläutert werden wird. Die Pumpe 42 wirkt zugleich als ein Ventil am Auslass 40 und wird prozessabhängig eingeschaltet, um die Behandlungskammer 16 teilweise zu evakuieren oder die darin befindlichen Gase auszulassen oder auszutauschen. Die Durchflussregelventile 24 und 26 werden von der Steuer- und/oder Regeleinrichtung 38 unter anderem abhängig von dem vom

Wasserstoffsensor 36 erfassten Wasserstoffanteil 44 geregelt.

In Figur 2 ist ein Zeitdiagramm einer Prozessführung einer Niederdruck- Carbonitrierung dargestellt, welches beispielsweise bei der in der Figur 1 gezeigten Anlage 10 Anwendung findet. Auf der Abszisse des Diagramms ist die Zeit t und auf der Ordinate die Temperatur T der Atmosphäre 46 aufgetragen. Eine Kurve 48 zeigt den zeitlichen Verlauf der Temperatur T. Die Niederdruck-

Carbonitrierung umfasst eine Aufheizphase A, eine

Temperaturvergleichmäßigungsphase B, drei Aufstickungsphasen C1 , C2 und C3, drei Aufkohlungsphasen D1 , D2 und D3, vier Prozessgaswechselphasen E1 , E2, E3 und E4, sowie eine Diffusionsphase F und eine Abkühlungsphase G. Zwei Unterbrechungen 50 deuten an, das die dargestellten Prozessphasen nicht die jeweils gezeichneten Dauern aufweisen müssen, sondern auch beliebig von der Darstellung der Figur 2 abweichen können.

Der Unterschied zwischen der Diffusionsphase F und den durch die

Bezugszeichen E1 bis E4 dargestellten Prozessgaswechselphasen ist, dass der erfasste Wasserstoffanteil 44 während der Prozessgaswechselphasen E1 bis E4 zur Überwachung und damit zur Reduzierung oder Vermeidung unerwünschter Reaktionsprodukte, wie z.B. Cyanide, eingesetzt wird, wobei kein Prozessgas zugeführt wird und kein Prozessgaswechsel stattfindet. Somit kann in einem Störfall, z.B. bei einem Ausfall der Pumpe 42 oder der Durchflussregelventile 24 und 26, der Prozess oder das Verfahren unterbrochen werden, um eine Umweltgefährdung zu verringern oder auszuschließen. Grundsätzlich wird im gesamten dargestellten Zeitraum der Figur 2 der Wasserstoffanteil 44 vom Wasserstoffsensor 36 erfasst und zur Prozesssteuerung benutzt. Figur 2 zeigt, dass während der Aufheizphase A die Temperatur T mit einer in etwa konstanten Aufheizrate kontinuierlich bis auf eine Behandlungstemperatur von etwa 950 °C erhöht wird. Somit befindet sich die Temperatur T in einem für die vorliegende Anwendung optimalen Bereich von 750°C bis 1050°C. In der an die Aufheizphase A anschließenden

Temperaturvergleichmäßigungsphase B wird die Behandlungstemperatur konstant auf etwa 950 °C gehalten. Während der Aufheizphase A und der Temperaturvergleichmäßigungsphase B wird weder ein Stickstoffspendergas 30 noch ein Kohlenstoffspendergas 28 zugeführt.

In der an die Temperaturvergleichmäßigungsphase B anschließenden ersten Aufstickungsphase C1 wird ein Stickstoffspendergas 30, beispielsweise

Ammoniak, mit einem Stickstoffspendergas-Partialdruck von etwa 50 mbar zugeführt. Dies ist auf der rechten senkrechten Achse des Diagramms der Figur 2 abzulesen. Daran anschließend erfolgt ein erster Prozessgaswechsel E1 bei dem die Behandlungskammer 16 evakuiert oder mit einem Inertgas, z.B.

Stickstoff oder Argon gespült wird. In dieser Prozessphase wird der Gesamtdruck der Behandlungskammer 16 bzw. der erfasste Wasserstoffanteil 44 dazu verwendet, den noch verbleibenden Anteil des Stickstoffspendergases 30 aus der Aufstickungsphase C1 zu überwachen, um umweltgefährdende

Reaktionsprodukte, wie z.B. Cyanide, während der anschließenden

Aufkohlungsphase D1 zu reduzieren oder vermeiden zu können. Wird während der Prozessgaswechselphase E1 mit einem Inertgas gespült und wird der Wasserstoffanteil 44 kleiner als 5 Vol.-% idealerweise kleiner als 1 Vol.-%, kann die Aufkohlungsphase D1 beginnen. Wird während der

Prozessgaswechselphase E1 evakuiert und der Gesamtdruck der

Behandlungskammer 16 wird kleiner 1 x10 ^"1 mbar, idealerweise kleiner 1 x10 ^"2 mbar, kann die Aufkohlungsphase D1 beginnen. Anderenfalls erfolgt ein

Warnhinweis durch die Steuer- und/oder Regeleinrichtung 38 und es muss ein Eingriff des Anlagenbetreibers erfolgen. An den ersten Prozessgaswechsel E1 schließt sich eine Aufkohlungsphase D1 mit einem Partialdruck des Kohlenstoffspendergases 28 von etwa 10 mbar an.

Die weitere Prozessführung wird analog durchgeführt, wobei zwischen den beiden Aufkohlungsphasen D2 und D3 eine Diffusionsphase F ohne

Prozessgaswechsel stattfindet. In der Diffusionsphase F wird die

Behandlungskammer 16 evakuiert oder alternativ mit einem Inertgas, z.B.

Stickstoff oder Argon gespült. Nach der letzten Aufstickungsphase C3 wird die Temperatur T der Atmosphäre

46 (Behandlungstemperatur) von 950 °C nicht weiter aufrecht gehalten und eine rasche Abkühlung in der Abkühlungsphase G auf Raumtemperatur durchgeführt, um die gewünschte Gefügezusammensetzung der metallischen Bauteile 12 einzustellen.

Es versteht sich von selbst, dass auf diese Weise zahlreiche Verfahren zur geregelten Carbonitrierung bzw. geregelten Niederdruck-Carbonitrierung möglich sind und die Erfindung nicht auf die in der Figur 2 erläuterte Abfolge und Anzahl von drei Aufstickungsphasen C1 , C2 und C3, drei Aufkohlungsphasen D1 , D2 und D3, vier Prozessgaswechsel El, E2, E3 und E4 sowie eine Diffusionsphase F beschränkt ist.

In Figur 3 ist ein Zeitdiagramm zur Regelung eines Kohlenstoff- und

Stickstoffspendergasangebots während einer Aufkohlungsphase D und einer nachfolgenden Aufstickungsphase C dargestellt. Die Abszisse des Diagramms der Figur 3 stellt die Zeit t dar, und die Ordinate stellt den Volumenanteil des Wasserstoffs (H ₂ ) in Vol.-% dar. Die Skala überstreicht dabei den Bereich von 0% bis 100%. Eine Kurve 43 gibt also den zeitlichen Verlauf des

Wasserstoffanteils 44 wieder. Eine waagerechte Linie bedeutet einen

Schwellwert 45 für den Wasserstoffanteil 44. Nach der Aufkohlungsphase D und vor der Aufstickungsphase C erfolgt eine Prozessgaswechselphase E.

Beim Start der Aufkohlungsphase D wird Kohlenstoffspendergas 28 in die Behandlungskammer 16 eingeleitet. Durch den Zerfall des

Kohlenstoffspendergases 28 an der Oberfläche eines oder mehrerer metallischer

Bauteile 12 wird Wasserstoff frei gesetzt und in Folge dessen steigt der gemessene Wasserstoffanteil 44 in der Atmosphäre 46 (Prozessgasatmosphäre) an. Gleichzeitig sinkt der Anteil des Kohlenstoffspendergases 28 in der

Behandlungskammer 16 ab. Um eine ungleichmäßige Aufkohlung eines oder mehrerer metallischer Bauteile 12 durch einen zu geringen Anteil des

Kohlenstoffspendergases 28 zu verhindern, wird der Anteil des

Kohlenstoffspendergases 28 beispielsweise durch Variation des

Durchflussregelventils 24 eingestellt oder geregelt. Dies ist in der Figur 3 durch einen Pfeil 51 dargestellt. Ein in der Figur 3 vorgesehener Bereich 55 für den Wasserstoffanteil 44 erstreckt sich zwischen 60 Vol.-% und 70 Vol.-%.

Im Anschluss an die Aufkohlungsphase D wird die Behandlungskammer 16 evakuiert oder mit einem Inertgas, z.B. Stickstoff oder Argon gespült. Dies wird durch einen Pfeil 52 veranschaulicht. Dadurch reduziert sich der gemessene Wasserstoffanteil 44 (Pfeil 53). Wenn der Wasserstoffanteil 44 während der Prozessgaswechselphase E beim Spülen mit einem Inertgas unter 5 Vol.-%, idealerweise unter 1 Vol.-% fällt, oder beim Evakuieren der Behandlungskammer 16 während der Prozessgaswechselphase E der Gesamtdruck kleiner 1x10 ^"1 mbar, idealerweise kleiner 1 x10 ^"2 mbar wird, kann die Aufstickungsphase C beginnen. Dies wird durch den Pfeil 54 dargestellt.

Beim Start der Aufstickungsphase C wird Stickstoffspendergas 30 in die

Behandlungskammer 16 eingeleitet. Durch den Zerfall des

Stickstoffspendergases 30 an der Oberfläche eines oder mehrerer metallischer Bauteile 12 wird Wasserstoff frei gesetzt und in Folge dessen steigt der gemessene Wasserstoffanteil 44 wieder in der Atmosphäre 46 an. Gleichzeitig sinkt der Anteil des Stickstoffspendergases 30 in der Behandlungskammer 16 ab. Um eine ungleichmäßige Aufstickung eines oder mehrerer metallischer Bauteile 12 durch einen zu geringen Anteil des Stickstoffspendergases 30 zu vermeiden, wird anhand des erfassten Wasserstoffanteils 44 der Durchsatz des

Stickstoffspendergases 30 mittels des Durchflussregelventils 26 geregelt, vergleiche die Figur 1. Dies erfolgt in der Figur 3 in dem durch den Pfeil 54 markierten Abschnitt mit einem Bereich 57 für den Wasserstoffanteil 44 zwischen 40 Vol.-% und 50 Vol.-%. Die Regelung des Stickstoffspendergasdurchsatzes auf Basis des gemessenen Wasserstoffanteils 44 stellt somit eine gleichmäßige Aufstickung eines oder mehrerer metallischer Bauteile 12 sicher. Nach erfolgter Aufstickung wird die Behandlungskammer 16 entweder evakuiert oder mit einem geeigneten Inertgas gespült.

Es versteht sich von selbst, dass auf diese Weise zahlreiche Verfahren zur geregelten Carbonitrierung möglich sind und die Erfindung nicht auf die in der

Figur 3 erläuterte Abfolge und Anzahl von einer Aufkohlungsphase, einem Prozessgaswechsel und einer Aufstickungsphase beschränkt ist.