Title:
METHOD FOR CLEANING OBJECT AND SYSTEM FOR CLEANING OBJECT
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2010/071005
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed is a method for cleaning an object by irradiating the object with a multiphase fluid containing a gas and liquid drops. The method is characterized in that a desired impact strength is obtained by controlling the degree of liquid-drop-impact cavitation which may be generated when the liquid drops in the multiphase fluid hit on the object.
Inventors:
HAYASHIDA Atsushi (German Center 1-18-2, Hakusan, Midori-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 06, 〒2260006, JP)
林田 充司 (〒06 神奈川県横浜市緑区白山１－１８－２ ジャーマンセンター アクアサイエンス株式会社内 Kanagawa, 〒2260006, JP)
WATANABE Masao (NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION 10-1, Hakozaki 6-chome, Higashi-ku, Fukuoka-sh, Fukuoka 81, 〒8128581, JP)
渡部 正夫 (〒81 福岡県福岡市東区箱崎六丁目１０番１号 国立大学法人九州大学内 Fukuoka, 〒8128581, JP)
林田 充司 (〒06 神奈川県横浜市緑区白山１－１８－２ ジャーマンセンター アクアサイエンス株式会社内 Kanagawa, 〒2260006, JP)
WATANABE Masao (NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION 10-1, Hakozaki 6-chome, Higashi-ku, Fukuoka-sh, Fukuoka 81, 〒8128581, JP)
渡部 正夫 (〒81 福岡県福岡市東区箱崎六丁目１０番１号 国立大学法人九州大学内 Fukuoka, 〒8128581, JP)
Application Number:
JP2009/069645
Publication Date:
June 24, 2010
Filing Date:
November 19, 2009
Export Citation:
Assignee:
Aqua Science Corporation (German Center, 1-18-2 Hakusan, Midori-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 06, 〒2260006, JP)
アクアサイエンス株式会社 (〒06 神奈川県横浜市緑区白山１－１８－２ ジャーマンセンター Kanagawa, 〒2260006, JP)
KYUSHU UNIVERSITY, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION (10-1, Hakozaki 6-chome Higashi-ku, Fukuoka-sh, Fukuoka 81, 〒8128581, JP)
国立大学法人九州大学 (〒81 福岡県福岡市東区箱崎六丁目１０番１号 Fukuoka, 〒8128581, JP)
HAYASHIDA Atsushi (German Center 1-18-2, Hakusan, Midori-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 06, 〒2260006, JP)
林田 充司 (〒06 神奈川県横浜市緑区白山１－１８－２ ジャーマンセンター アクアサイエンス株式会社内 Kanagawa, 〒2260006, JP)
アクアサイエンス株式会社 (〒06 神奈川県横浜市緑区白山１－１８－２ ジャーマンセンター Kanagawa, 〒2260006, JP)
KYUSHU UNIVERSITY, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION (10-1, Hakozaki 6-chome Higashi-ku, Fukuoka-sh, Fukuoka 81, 〒8128581, JP)
国立大学法人九州大学 (〒81 福岡県福岡市東区箱崎六丁目１０番１号 Fukuoka, 〒8128581, JP)
HAYASHIDA Atsushi (German Center 1-18-2, Hakusan, Midori-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 06, 〒2260006, JP)
林田 充司 (〒06 神奈川県横浜市緑区白山１－１８－２ ジャーマンセンター アクアサイエンス株式会社内 Kanagawa, 〒2260006, JP)
International Classes:
H01L21/304; B05B7/04; B08B3/02; G03F1/08; H01L21/027
Attorney, Agent or Firm:
ITOH Atsushi (Shindo Building 2F, 1-1 Shinkawa 2-chome, Chuo-k, Tokyo 33, 〒1040033, JP)
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