Verfahren zur Korrektur von optischen Weglängenmessfehlern eines Mess-Scanners an einer Laserbearbeitungsoptik Beschreibung: In der Lasermaterialbearbeitung werden zunehmend Mess-Scanner und insbe- sondere OCT-Messscanner als abstandsmessende Sensoren an Laserbearbei- tungsvorrichtungen eingesetzt. Mit Hilfe dieser Sensoren kann sichergestellt wer- den, dass eine Laserschweißung oder -markierung an der gewünschten Stelle er- folgt. Der Mess-Scanner tastet das Werkstück nahezu koaxial zum Bearbeitungs- laserstrahl ab. Dabei kann der Messstrahl unabhängig vom Bearbeitungslaser- strahl auf dem Werkstück abgelenkt werden. Die Messwerte werden von einer Bildverarbeitungseinrichtung ausgewertet, wodurch eine optische Kontrolle des Bearbeitungsprozesses möglich ist. Beim seitlichen Auslenken des Messstrahls gegenüber der Strahlachse des Bear- beitungslaserstrahls ändert sich die optische Weglänge des Messstrahls. Eine Ur- sache für die Änderung der optischen Weglänge ist die geometrische Änderung der Weglänge aufgrund der Verstellung von Ablenkwinkeln von Mess-Scanner- spiegeln und/oder von Spiegeln der Laserbearbeitungsoptik. Eine weitere Ursa- che für die Änderung der optischen Weglänge des Messstrahls besteht in unter- schiedlichen Glasdurchgangslängen des Messstrahls, wenn der Messstrahl durch optische Elemente, beispielsweise ein F-Theta-Objektiv, hindurchbewegt wird. Beide Ursachen überlagern sich und führen zu Messfehlern. Wird der Messstrahl beispielsweise entlang einer Linie über eine ebene Oberfläche bewegt, so er- scheint diese Linie im vom Mess-Scanner erzeugten Bild als gekrümmt, obwohl sie gerade ist. Beim Auslenken der Messstrahls durch Ablenkspiegel der Laserbearbeitungsoptik im gesamten Arbeitsraum der Laserbearbeitungsvorrichtung spricht man von ei- ner globalen Änderung der optischen Weglänge. Sie beträgt in der Regel mehrere Millimeter. Wird dagegen der Messstrahl nur durch Ablenkspiegel des Mess-Scan- ners in der Umgebung des Bearbeitungslaserstrahls ausgelenkt, wird die Ände- rung der optischen Weglänge als lokale Änderung bezeichnet. Die lokale Ände- rung liegt im Bereich weniger 100 ^m. Für Messsysteme, die eine Auflösung von ^50 ^m haben sollen, stellt eine Änderung in diesem Größenbereich ein Problem dar. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den Einfluss einer lokalen optischen Weglängenänderung auf das Messergebnis eines Mess-Scanners an einer Laser- bearbeitungsoptik zu eliminieren. Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zur Korrektur von optischen Weg- längenmessfehlern eines Mess-Scanners an einer Laserbearbeitungsoptik, wobei der Messstrahl des Mess-Scanners zur Abstandsmessung in den Bearbeitungsla- serstrahl koaxial eingekoppelt und lateral in einer x-y-Ebene über ein Werkstück bewegt wird, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die vom Mess-Scanner an verschiedenen Abtastpunkten des Werkstücks gemessenen Abstandswerte in z- Richtung durch Änderungswerte korrigiert werden, wobei die Änderungswerte aus berechneten oder vorbekannten optischen Weglängen des Messstrahls an verschiedenen Auswahlpunkten in der x-y-Ebene gewonnen werden. Ferner wird die Aufgabe gelöst mit einer Bildverarbeitungseinrichtung einer Laserbearbei- tungsvorrichtung nach dem unabhängigen Anspruch 9. Durch diese Korrektur der Messwerte des Mess-Scanners können Verzerrungen des vom Mess-Scanner generierten Bildes des Werkstücks eliminiert werden. Die Abstandsdaten des Werkstücks sind nach der Korrektur auch in z-Richtung bis auf wenige Mikrometer genau. Die Korrektur des Bildes erfolgt dabei direkt nach der Aufnahme der Messwerte. Die Auswahlpunkte entsprechen verschiedenen Auslenkwinkeln des Messstrahls im Mess-Scanner und/oder in der Laserbearbeitungsoptik. Sie sind damit direkt korreliert zu den Stellungen von Ablenkspiegeln im Mess-Scanner und/oder in der Laserbearbeitungsoptik. Bei einer ersten Verfahrensvariante können die Änderungswerte für die Auswahl- punkte in einer Bildverarbeitungseinrichtung einer Laserbearbeitungsvorrichtung hinterlegt werden. Die Bildverarbeitungseinrichtung kann dazu verschiedene, op- tikspezifische Korrekturdatensätze beinhalten. Bei Kenntnis der Laserbearbei- tungsoptik und des verwendeten Mess-Scanners kann der entsprechende Korrek- turdatensatz ausgewählt und daraus die Änderungswerte entnommen und auf die Messwerte angewendet werden. Jeder Korrekturdatensatz enthält Änderungs- werte der optischen Weglänge für eine Vielzahl von Winkelpositionen der Ablenk- spiegel der Laserbearbeitungsoptik und des Mess-Scanners, wobei diese Werte in Form einer Tabelle hinterlegt sein können. Bei einer alternativen Verfahrensvariante können die Änderungswerte aus einer Simulation des aus der Laserbearbeitungsoptik und dem Mess-Scanner gebilde- ten optischen Systems gewonnen werden, indem die lokale Änderung der opti- schen Weglänge des Messstrahls an mehreren Auswahlpunkten berechnet und daraus ein Polynom bestimmt wird, das die Koordinaten der Laserbearbeitungs- optik und des Mess-Scanners enthält und mit dem die optische Weglänge des Messstrahls an den Messpunkten des Mess-Scanners berechnet wird. Hier wird die tatsächliche optische Weglänge des Messstrahls an den jeweiligen Messpunk- ten während der Messung berechnet und daraus die Änderungswerte für die Messwerte bestimmt. Bei allen Verfahrensvarianten können Abstandsdaten in z-Richtung an Messpunk- ten des Messstrahls, die nicht mit Auswahlpunkten übereinstimmen, durch Ände- rungswerte korrigiert werden, die durch Interpolation aus den Änderungswerten der nächstliegenden Auswahlpunkte berechnet werden. Es ist daher nicht nötig, bei der Verfahrensvariante mit hinterlegten Änderungswerten diese Werte für eine sehr große Anzahl an Punkten zu bestimmen oder zur Bestimmung des Poly- noms in der zweiten Verfahrensvariante die lokale Änderung der optischen Weg- länge an einer großen Zahl von Auswahlpunkten zu berechnen, um eine ausrei- chende Genauigkeit der Messwertkorrektur zu erreichen. Um ein unverzerrtes Bild des Werkstücks zu erhalten, kann ein aus den Messda- ten des Mess-Scanners generiertes Bild des Werkstücks von der Bildverarbei- tungseinrichtung durch ein geometrisches Scherungsverfahren unter Verwen- dung der Änderungswerte in z-Richtung korrigiert werden. Dabei kann die Sche- rung des Bildes vorzugsweise spaltenweise durchgeführt werden, indem jede Spalte in z-Richtung um den Änderungswert der optischen Weglänge verschoben wird. Zur Erzielung eines möglichst genauen Korrekturergebnisses wird die optische Weglängenberechnung bevorzugt unter Berücksichtigung des geometrischen Auf- baus der Laserbearbeitungsoptik, den in der Laserbearbeitungsoptik und dem Mess-Scanner verwendeten optischen Elementen und deren Materialien durchge- führt, d.h. unter Berücksichtigung aller für die optische Weglänge relevanten Pa- rameter. Im Folgenden wird ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen: Fig. 1 a, b schematische Darstellungen einer Laserbearbeitungsoptik mit einem Mess-Scanner zur Erläuterung einer globalen und lokalen Änderung der optischen Weglänge eines Mess-Strahls; Fig. 2 ein Blockschaltbild einer Korrektur der lokalen Änderung der opti- schen Weglänge von Messwerten; Fig. 3 eine schematische Darstellung der Korrektur der lokalen Änderung der optischen Weglänge am Beispiel eines Linienscans. In Fig. 1 sind schematisch eine Laserbearbeitungsoptik 10 mit drei Ablenkspie- geln 11, 12 und 13 für einen Bearbeitungslaserstrahl 14 sowie ein Mess-Scanner 15 mit zwei Ablenkspiegeln 16, 17 für einen Messstrahl 18 gezeigt. Der Ablenk- spiegel 11 ist feststehend, während die Ablenkspiegel 12, 13 verstellbar sind. Der Messstrahl 18 wird über den Ablenkspiegel 11 koaxial in den Bearbeitungslaser- strahl 14 eingekoppelt. In Fig. 1a wird der Messstrahl 18 gemeinsam mit dem Bearbeitungslaserstrahl 14 durch den Ablenkspiegel 13 um einen Winkel ^ gegenüber der Senkrechten ausgelenkt, indem der Ablenkspiegel 13 um einen Winkel ^ ₁ verstellt wird. Dies führt dazu, dass sich die optische Weglänge ^ _1,0 des Messstrahls 18 auf eine grö- ßere Weglänge ^ _1,^ ändert. Der Änderungswert beträgt ∆^ _1,^ = ^ _1,^ - ^ _1,0 und wird als globale Änderung der optischen Weglänge bezeichnet. Sie beträgt in der Re- gel einige Millimeter. In Fig. 1b wird der Messstrahl 18 dagegen durch den Ablenkspiegel 16 im Mess- Scanner 15 gegenüber der Senkrechten um einen Winkel ^ ausgelenkt, indem der Ablenkspiegel 16 um einen Winkel ^1verstellt wird. Diese Auslenkung führt dazu, dass sich die optische Weglänge ^ _1,0 des Messstrahls 18 ^ _{1, ^} ändert, wo- bei der Änderungswert _^ = _^ - ^ _1,0 beträgt. Diese Änderung wird als lokale Änderung der optischen Weglänge bezeichnet und ist deutlich kleiner als die glo- bale Änderung der optischen Weglänge und liegt im Bereich von 100 ^m. Mit dem in Fig. 2 gezeigten Verfahren wird der Einfluss der lokalen Änderung der optischen Weglänge des Messstrahls 18 auf die Messwerte des Mess-Scanners 15 eliminiert. In dem Blockschaltbild sind schematisch der Mess-Scanner 15 mit ei- ner Ansteuereinrichtung 19 für die Ablenkspiegel 16, 17 für den Messstrahl 18 sowie eine Bildverarbeitungseinrichtung 20 gezeigt. Die Bildverarbeitungseinrich- tung 20 weist einen Korrekturdatensatz 21 für die optische Weglänge, eine Re- cheneinheit 22 zur Berechnung der korrigierten Messwerte sowie einen Speicher 23 für die korrigierten Messwerte auf. Mit Hilfe der bekannten Winkelstellungen ^ ₁ , ^ ₂ der Ablenkspiegel 13 und 12 der Laserbearbeitungsoptik 10 und der Win- kelstellungen ^1, ^2 der Ablenkspiegel 16 und 17 des Mess-Scanners 15 können aus dem Korrekturdatensatz 21 die Änderungswerte ∆^ _{1, ^} , ∆^ _{2, ^} , ∆^ _{3, ^} ..... der opti- schen Weglänge ausgelesen und in der Recheneinheit auf die Messwerte aus ei- nem Speicher einer Ansteuereinrichtung 19 des Mess-Scanners 15 angewendet werden. Die aus dieser Berechnung resultierenden korrigierten Messwerte wer- den anschließend im Speicher 23 der Bildverarbeitungseinrichtung abgespeichert. Aus den korrigierten Messwerten kann ein unverzerrtes Bild eines vom Bearbei- tungslaserstrahl 14 zu bearbeitenden Werkstücks generiert werden. Fig. 3 illustriert dies am Beispiel eines Linienscans durch den Mess-Scanner 15 in y-Richtung. In Fig. 3a ist das Bild der Linie 30 ohne Korrektur der Messwerte des Mess-Scanners 15 dargestellt. Die eigentlich gerade Linie erscheint in z-Richtung als gekrümmt, da die Änderung der optischen Weglänge des Messstrahls 18 nicht berücksichtigt wird. Die Krümmung ist an den Endpunkten der Linie 30 am größ- ten, da dort der Messstrahl 18 seine größte Auslenkung erfährt. Fig. 3b verdeutlicht die Korrektur der vom Mess-Scanner 15 erfassten Mess- werte, die im dargestellten Beispiel an fünf Messpunkten M1 bis M5 der Linie 30 durch den Messstrahl 18 ermittelt wurden. Die Messpunkte M1 bis M5 sind hier- bei Auswahlpunkte an der Linie 30. Am Messpunkt M3 erfährt der Messstrahl 18 keine Auslenkung. Der Messwert im Messpunkt M3 ist korrekt, ohne Änderung der optischen Weglänge, und wird nicht korrigiert. An den anderen Messpunkten M1, M2, M4 und M5 dagegen werden die Messwerte der Linie 30 in z-Richtung durch die Änderungswerte ∆^ _{1, ^} , ∆^ _{2, ^} , ∆^ _{3, ^} , ∆^ _{4, ^} der optischen Weglänge des Messstrahls 18 korrigiert. Das Ergebnis ist in Fig. 3c gezeigt: nach der Korrektur der Messwerte der Linie 30 erhält diese einen geraden Verlauf gemäß einer Gera- den 30‘, wie in Fig. 3c gezeigt. Die z-Koordinaten aller Messpunkte M1 bis M5 sind nach der Korrektur identisch.