以下では、本発明の実施の形態について説� ��するが、本発明はこれに限定されるもので� ��ない。
 従来のワイヤソーを使用しワークの切断を� ��うと、ワーク切断後、ワイヤ列から該ワー� ��の引き抜き時に、ワーク表面に残存したス� ��リをワイヤの走行に伴ってワイヤ走行方向� ��移動させることによってソーマークが発生� ��、Warpが悪化してしまうという問題があった 。また、これを防ぐために、ワイヤの走行を 停止した状態で、ワークの引き抜きを行うと 、ワーク表面に残存したスラリ中で、特に砥 粒が凝集してワーク表面に固着した部分でワ イヤ列が局所的に引っかかり、切断用ワイヤ の断線が発生する結果となる。

 そこで、本発明のワイヤソーは、ワーク� ��切断後、ワイヤ列から該ワークの引き抜き� ��に固着したスラリを排除可能な最低限の速� ��でワイヤを走行させることとした。すなわ� ��、ワイヤを2m/min以下で走行させながらワー� ��を引き抜くよう制御することによって、ワ� ��ヤの断線が発生することなく、ソーマーク� ��発生しWarpが悪化するのを抑制してワークを 引き抜くことができることを見出した。また 、ワーク引き抜き時のワイヤの走行を、前進 方向及び後退方向への走行距離がそれぞれ1m� ��下となるように往復走行させるよう制御す� ��、あるいは、ワーク引き抜き時に供給する� ��ラリの温度を切断終了時の温度よりも高温� ��するよう制御することによって、ワーク表� ��に固着したスラリをより排除し易いものと� ��り、ワーク引き抜きにより発生するソーマ� ��クを効果的に防ぐことができる。

 図1は本発明のワイヤソーの一例を示す概略 図である。
 図1に示すように、本発明のワイヤソー1は� �主に、ワークを切断するためのワイヤ2、ワ� ��ヤ2を巻回した溝付きローラ3、ワイヤ2に張� ��を付与するための機構4、切断されるワーク を下方へと送り出す機構5、切断時にスラリ� �供給する機構6で構成されている。
 ワイヤ2は、一方のワイヤリール7から繰り� �され、トラバーサ8を介してパウダクラッチ( 定トルクモータ9)やダンサローラ(デッドウェ イト)(不図示)等からなる張力付与機構4を経� �、溝付きローラ3に入っている。ワイヤ2がこ の溝付きローラ3に300~400回程度巻掛けられる� ��とによってワイヤ列が形成される。ワイヤ2 はもう一方の張力付与機構4’を経てワイヤ� �ール7’に巻き取られている。これらの構成� ��、従来と同じである。

 図2に本発明で用いることができるワーク 送り機構の一例を示す。図2に示すように、� �ークは当て板14に接着されており、また、こ の当て板14はワークプレート13により保持さ� �ている。そして、これらの当て板14、ワーク プレート13を介して、ワーク送り機構5のワー ク保持部11によりワークは保持される。

 このワーク送り機構5は、ワークを保持しつ つ押し下げるためのワーク保持部11、LMガイ� �12を備えており、コンピュータ制御でLMガイ� ��12に沿ってワーク保持部11を駆動させること により、予めプログラムされた送り速度で保 持されたワークを送り出すことが可能である 。
 そして、このようにワーク送り機構5のワー ク保持部11によって保持されたワークは、切� ��を行う際、ワーク送り機構5により、下方に 位置するワイヤ2へと送られる。また、この� �ーク送り機構5は、ワイヤが当て板14に到達� �るまでワークを下方へと送ることによって� �ークの切断を完了させ、その後、ワークの� �り出し方向を逆転させることにより、ワイ� �列から切断済みワークを引き抜くようにす� �。

 また、溝付きローラ3は鉄鋼製円筒の周囲に ポリウレタン樹脂を圧入し、その表面に一定 のピッチで溝を切ったローラであり、巻掛け られたワイヤ2が、駆動用モータ10によって往 復方向に駆動できるようになっている。
 一方、溝付きローラ3に巻掛けされ、切断時 に、軸方向に往復走行するワイヤ2の上方に� �ノズル15が配置されており、ワークの切断を 行うときには、ワイヤ2にスラリを供給する� �とができるようになっている。

 また、スラリタンク16にはスラリチラー17が 配置されており、供給するスラリの温度を調 整できるようになっている。なお、当然、図 1に示すような構成に限定されず、例えば別� �熱交換器を構成することによってスラリの� �給温度の調整を行うことができれば良い。
  さらに、前述のスラリチラー17、駆動用モ ータ10、ワーク送り機構5は、制御装置25に接� ��されている。

 この制御装置25は、ワイヤ2の走行速度の� ��御を駆動用モータ10に対して行う機能と、� �イヤ2の前後方向それぞれに往復走行する距� ��の制御を駆動用モータ10に対して行う機能� �ワイヤ2に供給するスラリの温度の制御をス� ��リチラー17に対して行う機能、ワイヤ列に� �するワークの切り込み送りおよびワイヤ列� �らワークを引き抜くためのワーク送りの制� �をワーク送り機構5に対して行う機能を有し� ��いる。

 ここで、スラリ供給手段6、すなわち、溝 付きローラ3(ワイヤ2)にスラリを供給する手� �について述べる。このスラリ供給手段では� �スラリタンク16から、制御装置25により制御� ��れたスラリチラー17を介してノズル15に接続 されており、供給されるスラリはスラリチラ ー17により供給温度が制御されてノズル15か� �溝付きローラ3(ワイヤ2)に供給できるように� ��っている。スラリ供給温度は制御装置25に� �って所望の温度に制御することができるが� �特に制御手段はこれに限定されない。

 そして、本発明のワイヤソーでは、この� ��御装置25で、ワーク送り機構5および駆動用� ��ータ10を制御することで、ワークの切断後� �ワイヤ列からワイヤを2m/min以下で走行させ� �がらワークを引き抜くよう制御し、ワーク� �き抜き時のワイヤの走行を、前進方向及び� �退方向への走行距離がそれぞれ1m以下となる ように往復走行させるように制御し、また、 スラリチラー17を制御することにより、ワー� ��引き抜き時に供給するスラリの温度を切断� ��了時の温度よりも高温とするように制御す� ��ようになっている。

 次に、本発明のワイヤソーを使用したワー� ��の切断方法について説明する。
 前記ワイヤ2の軸方向への駆動と、スラリ供 給機構6によるワイヤ2へのスラリ供給とが行� ��れた状態で、制御装置25はLMガイド12に沿っ� ��ワーク保持部11を駆動させ、ワークを下降� �せて該ワークを、例えば400~800m/minで走行す� �ワイヤ列に対して切り込み送りさせる。前� �ワイヤ列に対して切り込み送りさせる時の� �り込み送り速度は、例えば0.2~0.4mm/minとする� ��とができる。これらの条件は、もちろんこ� ��に限定されるわけではない。

 また、ワーク切断時のワイヤの走行を往復� ��行させることができ、その走行距離は、例� ��ば、400~600mとすることができる。切断時に� �イヤに供給されるスラリの温度は、例えば� �15℃~30℃とされる。これらの条件は、もちろ んこれに限定されるわけではない。
 このようにしてワークの切断が進められ、� ��イヤ列がワーク上面の当て板まで到った時� ��で、すなわちワークの切断が完了した時点� ��、切り込み送りを停止させる。

 このとき、ワイヤを予め設定されていた2m/m in以下の走行速度で走行させるように駆動用� ��ータ10を制御装置25によって制御する。その 後、ワーク送り機構5の切り込み送り方向を� �ーク切断時と逆転させて前記ワークをワイ� �列から上方に引き抜く。
 前記ワイヤ列からワークを引き抜く時の送� ��速度は、例えば5~100mm/minとすることができ� �10~50mm/minとするのがより好ましい。

 このように、ワイヤを予め設定されていた2 m/min以下の走行速度で走行させるように駆動� ��モータ10を制御装置25によって制御すること によって、本発明のワイヤソーによって切断 されたウェーハに生じるWarp量およびソーマ� �クを従来のワイヤソーによって切断された� �ェーハのものと比べ、低減することができ� �。
 ワイヤ列からのワークの引き抜き時のワイ� ��の走行速度が2m/minを超えるとソーマークお� ��びWarpが発生してしまう。これを防ぐために は、ワイヤの走行速度は2m/min以下とするのが 良く、より好ましくは1m/min以下が良い。前記 ワイヤの走行速度の下限としては特に限定さ れないが、0.1m/min以上とすることができる。

 さらに、前記ワークをワイヤ列から上方に� ��き抜いている間、ワイヤの走行を予め設定� ��れた1m以下の走行距離で往復走行させるよ� �に制御することが可能である。
 前記の通り駆動用モータ10と制御装置25は接 続されており、該制御装置によってワイヤ2� �予め設定した走行距離を走行したら走行方� �を反転させるように制御することができる� �うになっている。

 こうすることで、ワーク表面に固着したス� ��リを排除し易くなり、ワーク引き抜きによ� ��発生するソーマークおよびWarpを効果的に防 ぐことができる。
 前記ワークのワイヤ列からの引き抜き時の� ��イヤの往復走行をさせる走行距離は1m以下� �あることが好ましいが、これ以上であって� �良い。前記ワイヤの往復走行をさせる走行� �離の下限としては特に限定されないが、0.1m� ��上とすることができる。

 さらに、前記ワークをワイヤ列から上方に� ��き抜いている間、ワイヤに供給するスラリ� ��温度をワークの切断終了時の温度よりも高� ��になるように制御することが好ましい。
 前記の通り制御装置25により制御されたス� �リチラー17によりスラリの供給温度が制御さ れ、前記ワークの切り込み送り停止後、ワイ ヤ列からのワーク引き抜き時において、ワー クの切断終了時の温度よりも高温であるスラ リが供給される。

 このようにワークの引き抜き時に高温のス� ��リを供給すれば、ワーク表面に固着したス� ��リを軟化させて排除させ易くでき、ワーク� ��き抜きによりソーマークが発生し、Warpが悪 化するのを効果的に防ぐことができる。
 前記ワイヤ列からのワーク引き抜き時のス� ��リ供給温度は、例えば、ワーク切断時のス� ��リ供給温度が15℃~30℃であれば、35℃~50℃と することができる。

 このように、本発明のワイヤソーを使用し� ��、ワークの切断後、ワイヤ列から該ワーク� ��引き抜き時にワイヤを2m/min以下で走行させ� ��がらワークを引き抜くワークの切断方法で� ��、ワイヤ列により切断したワークをその切� ��面に悪影響を与えることなく前記ワイヤ列� ��ら引き抜くことができる。
 

 以下、本発明を実施例によりさらに具体的� ��説明するが、本発明はこれに限定されない� ��
(実施例1)
 図1に示すようなワイヤソーを用い、ワーク 切断時における、ワイヤの走行速度、ワイヤ の前進方向及び後退方向への走行距離および ワイヤへ供給するスラリの供給温度をそれぞ れ制御して直径8インチ(200mm)のシリコンイン� ��ットを本発明の切断方法によりウェーハ状� ��切断した。
 ワークの切断時におけるワイヤの走行速度� ��600m/minとし、ワイヤの前進方向及び後退方� �への走行距離が500m以下となるようにワイヤ� ��往復走行させてワークを切断した。また、� ��ークの切断終了時のスラリ供給温度が25℃� �なるようにした。

 ワークの切断後、ワイヤ引き抜き時のワイ� ��の走行速度を2m/minとし、ワークの引き抜き� ��のワイヤの前進方向への走行距離を1m、ワ� �ヤの後退方向への走行距離を0.5mとした。尚� ��スラリの供給温度は切断終了時と同じにし� ��。
 上記条件でワークを切断し、ワーク切断後� ��ワーク表面の状態を調べたところ、ソーマ� ��クおよびWarp量は従来のワイヤソーを使用し た場合と比べ低減されていた。
 

(実施例2)
 上記実施例1において、ワイヤ引き抜き時の ワイヤの走行速度を1m/minとした以外は、実施 例1と同じ条件でワークを切断し、実施例1と� ��様の評価を行った。
 この結果、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走� ��速度を2m/min以下である1m/minにすることによ� ��て、ワーク表面のソーマークおよびWarp量が 従来のワイヤソーを使用した場合と比べ低減 されており、その低減量は実施例1より大き� �なっていることが分かった。
 

(実施例3)
 上記実施例1において、ワークの引き抜き時 のスラリ供給温度を35℃とした以外は、実施� ��1と同じ条件でワークを切断し、実施例1と� �様の評価を行った。
 この結果、ワークの引き抜き時のスラリ供� ��温度をワークの切断終了時のスラリ供給温� ��より高温である35℃にすることによって、� �ーク表面のソーマークおよびWarp量が従来の� ��イヤソーを使用した場合と比べ低減されて� ��り、その低減量は実施例1より大きくなって いることが分かった。
 

(実施例4)
 上記実施例1において、ワイヤ引き抜き時の ワイヤの走行速度を1m/minとし、ワークの引き 抜き時のスラリ供給温度を35℃とした以外は� ��実施例1と同じ条件でワークを切断し、実施 例1と同様の評価を行った。
 この結果、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走� ��速度を2m/min以下である1m/minにし、かつ、ワ� ��クの引き抜き時のスラリ供給温度をワーク� ��切断終了時のスラリ供給温度より高温であ� ��35℃とすることによって、ワーク表面のソ� �マークおよびWarp量が従来のワイヤソーを使� ��した場合と比べ大幅に低減されており、そ� ��低減量は実施例1~3より大きくなっているこ� ��が分かった。
 

(実施例5)
 上記実施例1において、ワイヤ引き抜き時の ワイヤの走行速度を0.5m/minとし、ワークの引� ��抜き時のワイヤの前進方向への走行距離を0 .3m、ワイヤの後退方向への走行距離を0.2mと� �た以外は、実施例1と同じ条件でワークを切� ��し、実施例1と同様の評価を行った。

 この結果、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走� ��速度を2m/min以下である0.5m/minにし、かつ、� �ークの引き抜き時のワイヤの前進方向への� �行距離を1m以下である0.3m、ワイヤの後退方� �への走行距離を1m以下である0.2mとすること� �よって、ワーク表面のソーマークおよびWarp� ��が従来のワイヤソーを使用した場合と比べ� ��減されており、その低減量は実施例1より大 きくなっていることが分かった。
 

(実施例6)
 上記実施例1において、ワイヤ引き抜き時の ワイヤの走行速度を0.5m/minとし、ワークの引� ��抜き時のワイヤの前進方向への走行距離を0 .3m、ワイヤの後退方向への走行距離を0.2mと� �、ワークの引き抜き時のスラリ供給温度を35 ℃とした以外は、実施例1と同じ条件でワー� �を切断し、実施例1と同様の評価を行った。

 この結果、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走� ��速度を2m/min以下である0.5m/minにし、かつ、� �ークの引き抜き時のワイヤの前進方向への� �行距離を1m以下である0.3m、ワイヤの後退方� �への走行距離を1m以下である0.2mとし、ワー� �の引き抜き時のスラリ供給温度をワークの� �断終了時のスラリ供給温度より高温である35 ℃にすることによって、ワーク表面のソーマ ークおよびWarp量が従来のワイヤソーを使用� �た場合と比べ大幅に低減されており、その� �減量は実施例1~3より大きくなっていること� �分かった。
 

(比較例1)
 上記実施例1に対し、ワイヤ引き抜き時のワ イヤの走行速度を10m/minとし、ワークの引き� �き時のワイヤの前進方向への走行距離を20m� �ワイヤの後退方向への走行距離を10mとした� �外は、実施例1と同じ条件でワークを切断し� ��実施例1と同様の評価を行った。

 この結果、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走� ��速度を2m/minを超える速度である10m/minにし、 かつ、ワークの引き抜き時のワイヤの前進方 向への走行距離を1mを超える20m、ワイヤの後� ��方向への走行距離を1mを超える10mとするこ� �によって、ワーク表面のソーマークおよびWa rp量が実施例1より悪化していることが分かっ た。
 

(比較例2)
 上記実施例1に対し、ワイヤ引き抜き時のワ イヤの走行速度を100m/minとし、ワークの引き� ��き時のワイヤの前進方向への走行距離を200m 、ワイヤの後退方向への走行距離を100mとし� �以外は、実施例1と同じ条件でワークを切断� ��、実施例1と同様の評価を行った。

 この結果、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走� ��速度を2m/minを超える速度である100m/minにし� �かつ、ワークの引き抜き時のワイヤの前進� �向への走行距離を1mを超える200m、ワイヤの� �退方向への走行距離を1mを超える100mとする� �とによって、ワーク表面のソーマークおよ� �Warp量が実施例1より大幅に悪化していること が分かった。
 

(比較例3)
 上記実施例1に対し、ワイヤ引き抜き時のワ イヤの走行速度を3m/minとした以外は、実施例 1と同じ条件でワークを切断し、実施例1と同� ��の評価を行った。
 この結果、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走� ��速度を2m/minを超える速度である3m/minにする� ��とによって、ワーク表面のソーマークおよ� ��Warp量が比較例1よりは良いものの、実施例1� ��り悪化していることが分かった。

 表1に、各実施例、比較例における条件と ワーク引き抜き時におけるワーク切断面の品 質評価結果をまとめたものを示す。

 以上示したように、ワークの切断後、ワイ� ��列から該ワークの引き抜き時にワイヤを2m/m in以下で走行させながらワークを引き抜くよ� ��よう制御する本発明のワイヤソーを用いる� ��とによって、ワイヤ列により切断したワー� ��をその切断面に悪影響を与えることなく前� ��ワイヤ列から引き抜くことができる。
 

 なお、本発明は、上記実施形態に限定さ� ��るものではない。上記実施形態は例示であ� ��、本発明の特許請求の範囲に記載された技� ��的思想と実質的に同一な構成を有し、同様� ��作用効果を奏するものは、いかなるもので� ��っても本発明の技術的範囲に包含される。