以下では、本発明の実施の形態について説� ��するが、本発明はこれに限定されるもので� ��ない。
 前記のとおり、ウェーハ測定において実際� ��測定されるWarpは、ワークの温度変化や溝付 きローラの変位による切断軌跡の湾曲と、こ れ以外の定量化できない種々の要因による切 断軌跡の湾曲が合成された結果である。従っ て、Warpを改善するためには、定量化できる� �因、すなわちワークの温度変化と溝付きロ� �ラの変位による切断軌跡の湾曲を小さくす� �ことが重要となる。

 上記課題を解決するために、本発明者は� ��ワイヤソーにおけるWarpの生成機構と、従来 のWarpの改善方法の問題点について、鋭意研� �を重ねた。この結果、従来提案されているWa rp改善方法では、ワークの温度上昇や溝付き� ��ーラの熱膨張による変位の絶対量を小さく� ��ることによって課題を解決しようとしてい� ��が、ワイヤソーでのWarpの生成においては、 必ずしも、ワークの温度や溝付きローラの熱 膨張による変位の絶対値がWarp値を決定する� �ではないことを知見し、本発明を完成させ� �。

 すなわち、本発明のワイヤソー及びワイ� ��ソーによる切断方法は、スラリの供給温度� ��、ワークの切断開始から切断終了までの間� ��昇させながらワークを切断するよう制御す� ��ので、ワークの切断終了部付近でのワーク� ��温度低下を抑制することができるものとな� ��ており、また、切断中の溝付きローラの変� ��の増加率の変化量を小さくすることができ� ��ものとなっている。これによって、ワーク� ��描かれる切断軌跡を直線に近くすることが� ��き、切断するワークのWarpの形成を抑制する ことができるものとなっている。

 図1は本発明のワイヤソーの一例を示す概略 図である。
 図1に示すようにワイヤソー1は、主に、ワ� �クを切断するためのワイヤ2、溝付きローラ3 、ワイヤ張力付与機構4、インゴット送り機� �5、スラリ供給機構6で構成されている。

 ここで、まず、スラリ供給機構6について述 べる。このスラリ供給機構6として、溝付き� �ーラ3(ワイヤ2)に切断用のスラリを供給する� ��ズル15が配設されている。また、このノズ� �15から供給される切断用のスラリは供給温度 を制御できるようになっている。
 具体的には、例えば図1に示すように、スラ リタンク16から、制御用コンピュータ18によ� �制御された熱交換器19を介してノズル15に接� ��することにより、切断用のスラリの供給温� ��を制御する構成となっている。
 また、スラリの種類は特に限定されず、従� ��と同様のものを用いることができる。例え� ��GC(炭化珪素)砥粒を液体に分散させたものと することができる。

 そして、切断用スラリを供給するノズル1 5とワーク送り機構5は制御用コンピュータ18� �接続されており、予め設定したプログラム� �より、所定のワークの送り量、すなわち所� �のワークの切断量に対して、自動的にノズ� �15から所定量、所定のタイミングで温度制御 された切断用スラリを溝付きローラ3(ワイヤ2 )に噴射できるようになっている。

 上記のワーク送り量やスラリ噴射量および� ��イミング、さらにはスラリ供給温度は、制� ��用コンピュータ18によって所望のように制� �することができるが、特に制御手段はこれ� �限定されない。
 ワイヤ2は、一方のワイヤリール7から繰り� �され、トラバーサ8を介してパウダクラッチ( 定トルクモータ9)やダンサローラ(デッドウェ イト)(不図示)等からなる張力付与機構4を経� �、溝付きローラ3に入っている。ワイヤ2がこ の溝付きローラ3に300~400回程度巻掛けられる� ��とによってワイヤ列が形成される。ワイヤ2 はもう一方の張力付与機構4’を経てワイヤ� �ール7’に巻き取られている。
 図2に本発明で用いることができるワーク送 り機構5の一例を示す。図2に示すように、ワ� ��クは当て板14に接着されており、また、こ� �当て板14はワークプレート13により保持され� ��いる。そして、これらの当て板14、ワーク� �レート13を介して、ワーク送り機構5のワー� �保持部11によりワークは保持される。

 このワーク送り機構5は、ワークを保持しつ つ押し下げるためのワーク保持部11、LMガイ� �12を備えており、コンピュータ制御でLMガイ� ��12に沿ってワーク保持部11を駆動させること により、予めプログラムされた送り速度で保 持されたワークを送り出すことが可能である 。
 そして、このようにワーク送り機構5のワー ク保持部11によって保持されたワークは、切� ��を行う際、ワーク送り機構5により、下方に 位置するワイヤ2へと送られる。また、この� �ーク送り機構5は、ワイヤが当て板14に到達� �るまでワークを下方へと送ることによって� �ークの切断を完了させ、その後、ワークの� �り出し方向を逆転させることにより、ワイ� �列から切断済みワークを引き抜くようにす� �。

 上記スラリ供給機構6及びこれを制御する制 御用コンピュータ18以外のワイヤ2、溝付きロ ーラ3、ワイヤ張力付与機構4、インゴット送� ��機構5は、従来のワイヤソーと同様のものと することができる。
 ワイヤ2の種類や太さ、溝付きローラ3の溝� �ッチ、さらには他の機構における構成等は� �に限定されるものではなく、従来法に従い� �所望の切断条件となるようにその都度決定� �ることができる。
 例えば、ワイヤ2は、幅0.13mm~0.18mm程度の特� �ピアノ線からなるものとし、(所望のウエー� ��厚さ+切り代)の溝ピッチを有する溝付きロ� �ラ3とすることができる。

 なお、ここで、溝付きローラ3についてさ らに説明を加えておく。従来より使用されて いる溝付きローラ3の一例として、図12に示す ようなものが挙げられる。溝付きローラ3の� �端には、溝付きローラの軸20を支持している 軸受け21、21’が配設されているが、前述し� �切断中の溝付きローラ3の軸方向の変化を考� ��して、例えば、軸受け21はラジアルタイプ� �ものであり、このラジアルタイプの軸受け21 側に溝付きローラ3が軸方向に伸びることが� �能になっており、一方、軸受け21’はスラス トタイプのものであり、このスラストタイプ の軸受け21’側には伸びにくい構造になって� ��る。通常、溝付きローラ3はこのような構造 であり、溝付きローラ3が軸方向に長さが変� �した場合に装置に負荷がかかりすぎてしま� �ないように、両側を共に固定するのではな� �、一方をその変化に対応できるようになっ� �いる。

 したがって、本ワイヤソー装置1では、溝付 きローラ3が軸方向に伸張がすすむ場合、主� �ラジアルタイプの軸受け21側(ワイヤソーの� �方とする)に伸張がすすむことになる。
 なお、本発明の切断方法においては、使用� ��るワイヤソー1において、溝付きローラ3は� �記のようなタイプに限られるものではない� �
 また、図11に示すように、ワークの温度を� �定するために、ワークの両端に熱電対が設� �されている。該熱電対は制御用コンピュー� �18に接続されており、測定で得られたデータ は制御用コンピュータ18でデータ処理できる� ��うにすることができる。

 そして、本発明のワイヤソーでは、制御� ��コンピュータ18で、ワーク送り機構5および� ��交換器19を制御することで、スラリの供給� �度を、ワークの切断開始から切断終了まで� �間単調に上昇(供給温度を下降させない、か� ��、供給温度の上昇を止めない)させながらワ ークを切断するよう制御し、ワークの切断開 始から切断終了までの間のスラリの供給温度 の上昇を好ましくは5℃以上15℃以下となるよ う制御し、また、ワークの切断開始時のスラ リの供給温度とワークの温度との差を3℃以� �となるよう制御する。

 このとき、前記ワークの切断開始から切断� ��了までの間のスラリの供給温度の上昇率が� ��定となるよう制御するとなお良いが、制御� ��段はこれに限定されるわけではない。
 以下、このようなワイヤソー1を用い、本発 明の切断方法を実施する手順について述べる 。
 まず、ワーク送り機構5により、保持したワ ークを所定速度で下方に送り出すとともに、 溝付きローラ3を駆動させて、ワイヤ張力付� �機構4により張力が付与されたワイヤ2を往復 方向に走行させる。なお、このときのワイヤ 2に付与する張力の大きさや、ワイヤ2の走行� ��度等は適宜設定することができる。例えば� ��2.5~3.0kgfの張力をかけて、400~600m/minの平均速 度で1~2c/min(30~60s/c)のサイクルで往復方向に走 行させることができる。切断するワーク等に 合わせて決めれば良い。
 また、ノズル15より、切断用スラリを溝付� �ローラ3およびワイヤ2に向けて噴射を開始す る。

 このとき、スラリの供給温度を、ワークの� ��断開始から切断終了までの間単調に上昇さ� ��ながらワークを切断するように熱交換器19� �制御用コンピュータ18によって制御する。
 ワークの切断終了部付近でのワークの温度� ��下を抑制し、かつ、切断中の溝付きローラ� ��変位の増加率の変化量を小さくすることに� ��って、ワークに描かれる切断軌跡を直線に� ��くするためには、ワークの切断開始から切� ��終了までの間、供給するスラリの温度を下� ��させたり、上昇を停止させたりせず、上昇� ��せ続ければ良い。

 このとき、ワークの切断開始から切断終了� ��での間のスラリの供給温度の上昇率が一定� ��なるように熱交換器19を制御用コンピュー� �18によって制御するとなお良い。
 このように、ワークの切断開始から切断終� ��までの間のスラリの供給温度の上昇率が一� ��となるように制御することによって、ワー� ��に描かれる切断軌跡をより直線的にするこ� ��ができる。しかし、本発明のワイヤソーで� ��、前記スラリの供給温度の上昇率の条件に� ��いてこれに限定されない。供給するスラリ� ��温度の上昇率はワークの切断開始から切断� ��了までの間で変更しても良く、常に一定で� ��ければならないわけではないが、該上昇率� ��変化量をなるべく小さくしたほうが良い。

 また、ワークの切断開始から切断終了まで� ��間のスラリの供給温度の上昇を5℃以上15℃� ��下となるよう熱交換器19を制御用コンピュ� �タ18によって制御することが好ましい。
 スラリ供給温度の上昇幅を5℃以上とするこ とによって、切断終了部付近でのワーク温度 低下を抑制する効果を確実に得ることができ る。また、上昇幅を15℃以下とすることによ� ��て、ワーク以外のワイヤソー機構部の温度� ��上昇し、ワイヤソーのワーク保持精度やワ� ��ク送り精度の低下によるWarpへの悪影響はな い。

 また、ワークの切断開始時のスラリの供給� ��度とワークの温度との差を3℃以下となるよ う熱交換器19を制御用コンピュータ18によっ� �制御することができる。
 このように、前記ワークの切断開始時のス� ��リの供給温度とワークの温度との差を3℃以 下とすることによって、ワークの切断開始時 のワークの温度上昇が滑らかになり、ワーク の切断開始時のワークの温度の急激な変化に よるWarpの悪化を防ぐことができる。
 

 以下、本発明を実施例によりさらに具体的� ��説明するが、本発明はこれに限定されない� ��
(実施例1)
 図1に示すワイヤソーを用い、ワークの切断 時における、溝付きローラに供給するスラリ の供給温度を制御して直径300mm、軸方向長さ3 00mmのシリコンインゴットをウエーハ状に切� �した。
 なお、ワイヤ径160μmのワイヤを使用し、2.5k gfの張力をかけて、500m/minの平均速度で60s/cの サイクルでワイヤを往復方向に走行させて切 断した。また、スラリとしては、GC#1000とク� �ラントとを重量比50:50の割合で混ぜたものを 用いた。

 また、図5(B)に示すように、渦電流センサを 溝付きローラ3の軸方向に近接して配設して� �く。これは、溝付きローラ3の軸方向変位を� ��定することができるようにするためであり� ��本発明に必須というわけではない。この溝� ��きローラ3の軸方向変位の測定は上記手段に 限定されないが、渦電流センサを用いれば非 接触で精度高く測定を行うことができるので 好ましい。
 そして、切断開始時のワークの温度を23℃� �し、スラリの供給温度を切断開始時の23℃か ら切断完了時の35℃まで上昇率が一定となる� ��うに上昇(12℃上昇)させながらワークを切断 した。

 切断中のワークの温度変化を実測した結果� ��図6に示す。
 図6に示す通り、ワークの温度は、切断開始 から切り込み深さ285mmまで上昇し続け最高温� ��42.9℃に到達したが、切断終了時でのスラリ 温度が35℃と高温であるため、切断終了部付� ��でのワークの温度の低下は7.9℃に抑えられ� ��。
 一方、図7に示す通り、溝付きローラは、前 方位置がワークの切り込み深さに対して直線 的に変位し切断終了時に30μmに達した。後方� ��置はワークの切り込み深さによらずほぼ一� ��の変位量だった。このように溝付きローラ� ��変位量は、従来のワイヤソーを使用した比� ��例の切断中のスラリ供給温度を23℃と一定� �した場合の10μmから30μmに増加したが、変位� ��がワーク切り込み位置に対して直線的に増� ��しているため、下記のようにワーク切断軌� ��は湾曲せず、Warp形成への影響は大幅に抑え られていた。

 図8に切断後に測定されたウェーハのWarpの� �布を示す。全ウェーハの平均値で5.51μmとな� ��ており、従来のワイヤソーで切断したウェ� ��ハのWarpに比べ大幅に改善されていた。
 図10に、従来のワイヤソーと本発明のワイ� �ソーで切断したワークのワイヤソー手前側� �1枚目ウェーハの、ワーク送り方向断面にお� ��るWarp形状の比較を示す。図10から従来のワ� ��ヤソーを用いた場合に比べ本発明のワイヤ� ��ーを用いて切断したウェーハの表面のほう� ��より湾曲が抑えられていることがわかる。
 

(実施例2)
 上記実施例1において、スラリ供給温度を切 断開始時の23℃から切断の中間(切り込み深さ 150mm)時の28℃まで上昇率が一定となるように� ��昇させ、さらにそこから切断完了時の35℃� �で上昇率が一定となるように制御した(切断� ��中間時で上昇率を変化させるように制御し� ��)以外は、実施例1と同じ条件でワークを切� �し、実施例1と同様のWarpの評価を行った。
 その結果、全ウェーハの平均値で6.95μmと、 スラリの供給温度の上昇率を途中で変化させ たために、実施例1よりは悪い結果であった� �のの、従来のワイヤソーで切断したウェー� �のWarpに比べ改善されていた。
 

 (実施例3)
 上記実施例1において、スラリ供給温度を切 断開始時の23℃から切断の中間(切り込み深さ 150mm)時の30℃まで上昇率が一定となるように� ��昇させ、さらにそこから切断完了時の35℃� �で上昇率が一定となるように制御した(切断� ��中間時で上昇率を変化させるように制御し� ��)以外は、実施例1と同じ条件でワークを切� �し、実施例1と同様のWarpの評価を行った。
 その結果、全ウェーハの平均値で7.33μmと、 スラリの供給温度の上昇率を途中で変化させ たために、実施例1よりは悪い結果であった� �のの、従来のワイヤソーで切断したウェー� �のWarpに比べ改善されていた。
 

 (実施例4)
 上記実施例1において、スラリ供給温度を切 断開始時の23℃から切断完了時の28℃まで上� �率が一定となるように制御した以外は、実� �例1と同じ条件でワークを切断し、実施例1と 同様のWarpの評価を行った。
 その結果、全ウェーハの平均値で7.53μmと実 施例1よりは悪い結果であったものの、従来� �ワイヤソーで切断したウェーハのWarpに比べ� ��善されていた。実施例1に比べWarpの改善が� �ないのは、切断中に供給するスラリの供給� �度の上昇幅を実施例1より小さくしたため、� ��ークに描かれる切断軌跡をより直線的とす� ��ための効果が小さかったためである。
 

 (実施例5)
 上記実施例1において、スラリ供給温度を切 断開始時の23℃から切断完了時の40℃まで上� �率が一定となるように制御した以外は、実� �例1と同じ条件でワークを切断し、実施例1と 同様のWarpの評価を行った。
 その結果、全ウェーハの平均値で8.22μmと実 施例1よりは悪い結果であったものの、従来� �ワイヤソーで切断したウェーハのWarpに比べ� ��善されていた。実施例1に比べWarpの改善が� �ないのは、切断中に供給するスラリの供給� �度の上昇幅を15℃を超えるようにしたため、 ワーク以外のワイヤソー機構部の温度が上昇 し、ワイヤソーのワーク保持精度やワーク送 り精度の低下が発生することによるWarpへの� �影響が発生したためと考えられる。
 

 (実施例6)
 上記実施例1において、スラリ供給温度を切 断開始時の20℃から切断完了時の35℃まで上� �率が一定となるように制御した以外は、実� �例1と同じ条件でワークを切断し、実施例1と 同様のWarpの評価を行った。
 その結果、全ウェーハの平均値で7.93μmと実 施例1よりは悪い結果であったものの、従来� �ワイヤソーで切断したウェーハのWarpに比べ� ��善されていた。実施例1に比べWarpの改善が� �ないのは、ワークの切断開始時のスラリの� �給温度とワークの温度との差を3℃としたた� ��、ワークの切断開始時のワークの温度の変� ��によるWarpの悪化の抑制が実施例1に比べ十� �でなかったためである。
 

 (実施例7)
 上記実施例1において、スラリ供給温度を切 断開始時の26℃から切断完了時の35℃まで上� �率が一定となるように制御した以外は、実� �例1と同じ条件でワークを切断し、実施例1と 同様のWarpの評価を行った。
 その結果、全ウェーハの平均値で7.71μmと実 施例1よりは悪い結果であったものの、従来� �ワイヤソーで切断したウェーハのWarpに比べ� ��善されていた。実施例1に比べWarpの改善が� �ないのは、ワークの切断開始時のスラリの� �給温度とワークの温度との差を3℃としたた� ��、ワークの切断開始時のワークの温度の変� ��によるWarpの悪化の抑制が実施例1に比べ十� �でなかったためである。
 

 (実施例8)
 上記実施例1において、スラリ供給温度を切 断開始時の23℃から切断完了時の27℃まで上� �率が一定となるように制御した以外は、実� �例1と同じ条件でワークを切断し、実施例1と 同様のWarpの評価を行った。
 その結果、全ウェーハの平均値で8.71μmと実 施例1よりは悪い結果であったものの、従来� �ワイヤソーで切断したウェーハのWarpに比べ� ��善されていた。実施例1に比べWarpの改善が� �ないのは、切断中に供給するスラリの供給� �度の上昇幅を5℃未満である4℃としたため、 切断終了部付近でのワーク温度低下を抑制す る効果が実施例1に比べ十分でなかったため� �ある。
 

 (実施例9)
 上記実施例1において、スラリ供給温度を切 断開始時の19℃から切断完了時の34℃まで上� �率が一定となるように制御した以外は、実� �例1と同じ条件でワークを切断し、実施例1と 同様のWarpの評価を行った。
 その結果、全ウェーハの平均値で8.67μmと実 施例1、実施例6よりは悪い結果であったもの� ��、従来のワイヤソーで切断したウェーハのW arpに比べ改善されていた。実施例1、実施例6� ��比べWarpの改善が少ないのは、ワークの切断 開始時のスラリの供給温度とワークの温度と の差を3℃を超える4℃としたため、ワークの� ��断開始時のワークの温度の変化によるWarpの 悪化の抑制が実施例1、実施例6に比べ十分で� ��かっためである。
 

 (実施例10)
 上記実施例1において、スラリ供給温度を切 断開始時の27℃から切断完了時の36℃まで上� �率が一定となるように制御した以外は、実� �例1と同じ条件でワークを切断し、実施例1と 同様のWarpの評価を行った。
 その結果、全ウェーハの平均値で8.82μmと実 施例1、実施例7よりは悪い結果であったもの� ��、従来のワイヤソーで切断したウェーハのW arpに比べ改善されていた。実施例1、実施例7� ��比べWarpの改善が少ないのは、ワークの切断 開始時のスラリの供給温度とワークの温度と の差を3℃を超える4℃としたため、ワークの� ��断開始時のワークの温度の変化によるWarpの 悪化の抑制が実施例1、実施例7に比べ十分で� ��かっためである。
 

(比較例)
 上記実施例1において、スラリ供給温度を切 断開始から切断終了まで23℃と一定となるよ� ��に制御した以外は、実施例1と同じ条件でワ ークを切断し、実施例1と同様の評価を行っ� �。
 切断中のワークの温度変化を実測した結果� ��図4に示す。
 図4に示す通り、切断中にワークの温度は切 断開始から上昇し、ワーク切り込み深さが約 170mmの付近で38.2℃と最高温度に達した後、そ の後は降下し、切断終了部までにスラリ供給 温度と同じ23℃まで15.2℃低下した。
 図5(A)に示すように、溝付きローラの前方位 置は、切断開始からワークの切り込み深さが 150mmまでの間に約10μm前方に変位し、その後� �ワークの切断終了まで変位量は一定だった� �一方、溝付きローラの後方位置は切断中に� �とんど変位しなかった。
図9に切断後に測定されたウェーハのWarpの分� ��を示す。全ウェーハの平均値で9.05μmだった 。

 表1に、各実施例、比較例における条件と ワーク切断時におけるWarpの結果をまとめた� �のを示す。

 以上示したように、スラリの供給温度を、� ��記ワークの切断開始から切断終了までの間� ��昇させながらワークを切断するよう制御す� ��本発明のワイヤソーを用いることによって� ��ワークの切断終了部付近でのワークの温度� ��下を抑制することができ、また、切断中の� ��付きローラの変位の増加率の変化量を小さ� ��することができる。これによって、ワーク� ��描かれる切断軌跡を直線に近くすることが� ��き、切断するワークのWarpの形成を抑制する ことができる。
 
 なお、本発明は、上記実施形態に限定され� ��ものではない。上記実施形態は例示であり� ��本発明の特許請求の範囲に記載された技術� ��思想と実質的に同一な構成を有し、同様な� ��用効果を奏するものは、いかなるものであ� ��ても本発明の技術的範囲に包含される。