Bei der Herstellung von flachen Körpern aus einem amorphen, anorganischen Werkstoff, vorzugsweise Flachglas, ist es, insbesondere im Fall von zumeist im Ziehverfahren erhaltenen Displaygläsern, erforderiich, die flachen Körper bzw. Flachglasscheiben nach ihrer Herstellung einer weiteren Wärmebehandlung zu unterziehen. Diese Notwendigkeit ergibt sich beispielsweise aus besonderen Anforderungen an die Planität der Glasscheiben, die unter Umständen direkt im Heißformgebungsprozeß nicht eingerichtet werden können. In diesem Fall läßt sich die Planität nachträglich verbessern, indem man die Flachglasscheiben auf einer ebenen Unterlage auf eine Temperatur in der Größenordnung der Glasübergangstemperatur erwärmt, bei dieser Temperatur eine Zeit lang hält, so daß das Glas sich unter seinem Eigengewicht an die Unterlage anpaßt, und schließlich langsam wieder abküh ! t. Die so erreichbare Planität der Glasscheiben ist im wesentlichen nur noch von der Planität der Unterlage und der Dickenverteilung abhängig.

Ein weiterer, ebenso wichtiger Grund, Flachglasscheiben einer nachträgiichen Wärmebehandlung zu unterziehen, ergibt sich aus den besonderen Eigenschaften der Glasstruktur. Glas ist strukturell amorph, wobei seine amorphe Struktur nicht fest ist, sondern empfindlich von der thermischen Vorgeschichte abhängt. Sie kann sich auch nach der Herstellung noch ändern, wenn man das Glas wieder auf Temperaturen erwärmt, bei denen Relaxationsprozesse aktiviert werden. Mit jeder Änderung der amorphen Struktur ist auch eine Änderung des Ordnungszustandes im Glas und somit eine Änderung der Dichte verbunden. So wird bei schneller Kühlung des Glases nach der üblicherweise bei Temperaturen weit oberhalb der Glasübergangstemperatur stattfindenden Heißformgebung eine relativ ungeordnete Struktur eingefroren, so daß das Glas eine vergleichsweise geringe Dichte aufweist. Bei einer nachfolgenden Temperaturbelastung kann diese Struktur teilweise relaxieren und einen Zustand höherer Ordnung einnehmen, was mit einer Erhöhung der Dichte verbunden ist. Dies bedeutet jedoch, daß der Glaskörper durch die nachträgliche Erwärmung schrumpft.

Umgekehrt kann es, abhängig von der vorangegangenen Kühlung und der Art der folgenden Temperaturbelastung, auch dazu kommen, daß die Dichte sinkt und sich der Glaskörper ausdehnt.

Die auf diese Weise auftretenden Größenänderungen liegen, je nach Temperaturbelastung und vorangegangener Kühlung typischerweise in der Größenordnung von maximal 0,1 %, vielfach jedoch durch die geringe Temperaturbelastung (im Haushalt z. B. übticherweise unter 100° C) wesentlich darunter, so daß dieser Effekt in den meisten Fällen überhaupt nicht bemerkbar ist. Bei der Herstellung von Flachbildschirmen ist dieser Effekt hingegen signifikant, da hier auf einer Flachglasscheibe zumeist in mehreren aufeinanderfolgenden Schritten strukturierte Schichten, beispielsweise Halbleiterschichten, bei Temperaturen von typischerweise 250- 600° C aufgebracht werden. Ein hierbei auftretender Schrumpf bzw. eine Ausdehnung hat zur Folge, daß im darauffolgenden Prozeßschritt die

verwendete Maske nicht mehr zu den bereits auf das Glas aufgebrachten Strukturen paßt. Insbesondere gilt dies für einen beispielsweise durch Temperaturinhomogenitäten verursachten ungleichmäßigen Schrumpf, da dieser im Gegensatz zum gleichmäßigen Schrumpf auch durch ein Anpassen der Masken nicht kompensiert werden kann. Bei einer derartigen Anwendung ist es daher erforderlich, daß die bei der jeweils relevanten Temperaturbelastung auftretende Größenänderung typischerweise einen Betrag in der Größenordnung von 10 ppm nicht übersteigt.

Einen derart geringen Schrumpf bzw. geringe Ausdehnung kann man erreichen, wenn man die verwendeten Flachglasscheiben nach der Heißformgebung einer zusätzlichen Wärmebehandlung im Bereich zwischen Raumtemperatur und der Glasübergangstemperatur unterzieht, bei der eine starke Vorverdichtung des Glases stattfindet. Eine solche Vorverdichtung hat zur Folge, daß die mögliche Größenänderung bei nachfolgender Temperaturbelastung wesentlich kleiner ausfallt. Diesbezüglich wird auf G. W.

Scherer, Relaxation in Glass and Composites, Wiley, 1986, Seiten 113-174 verwiesen.

Wesentlich für den Erfolg dieser zusätzlichen Wärmebehandlung ist neben der Wahl eines geeigneten Temperaturprogramms, daß diese mit einer sehr homogenen Temperaturverteitung durchgeführt wird, d. h. sowohl die Gradienten innerhalb einer Glasscheibe als auch die Temperaturunterschiede zwischen den einzelnen Scheiben müssen so gering wie möglich gehalten werden, da sonst zwar der Schrumpf bzw. die Ausdehnung bei nachfolgender Temperaturbelastung wie erwünscht klein ausfällt, innerhalb einer Scheibe bzw. zwischen den einzelnen Scheiben jedoch schwankt, was beispielsweise auch durch eine Maskenanpassung nicht kompensiert werden kann. Diese an die Temperaturhomogenität gestelite Anforderung gilt hinsichtlich der Homogenität innerhalb einer Scheibe gleichfalls für eine Temperung zur

Verbesserung der Planität, da Temperaturinhomogenitäten stets zu Spannungen in der Flachglasscheibe führen.

Ein Verfahren zur Wärmebehandlung von Flachglasscheiben mit hoher Temperaturhomogenität ist aus der DE 197 44 666 C1 bekannt. Hiernach wird die Wärmebehandlung in einem Strahlungsofen in der Weise durchgeführt, daß eine Flachglasscheibe bzw. ein Stapel von Flachglasscheiben sich auf einer Keramikplatte bzw. zwischen zwei Keramikplatten hoher Wärmeleitfähigkeit befindet. Durch den Kontakt mit der hochwärmeleitenden Keramikplatte läßt sich der Einfluß eines im Ofen herrschenden Temperaturgradienten auf das Glas größenordnungsmäßig halbieren.

Nachteilig an diesem Verfahren ist, daß an den verwendeten Ofen sehr hohe Ansprüche hinsichtlich seiner Sauberkeit gestellt werden müssen. Da zu Beginn der Wärmebehandlung die Flachglasscheiben in der Regel noch keine optimale Planität aufweisen, sind zwischen den einzelnen Scheiben stellenweise schmale Luftspalte vorhanden, so daß im Ofen befindliche Partiel zwischen die Scheiben gelangen können und so zu einer Beschädigung der Oberfläche führen. Diese Gefahr besteht insbesondere bei Verwendung eines Umluftofens.

Problematisch ist des weiteren, daß die Anwendung des aus der DE 19744666 C1 bekannten Verfahrens im wesentlichen auf einen Chargenbetrieb im Strahlungsofen beschränkt ist. Jede Passage des beschriebenen Stapelaufbaus aus Keramikplatten und Flachglasscheiben durch einen Durchlaufofen kann leicht zur Bildung von Oberflachendefekten durch Verrutschen der Keramikplatten bzw. Flachglasscheiben führen. Dies gilt in besonderem Maße bei Verwendung eines Umluftofens, da die im Ofen herrschenden Luftströmungen ein Verrutschen begünstigen.

Aus der DD 158 938 ist zwar ein Temperbehälter für das Tempern von optischem Glas in einem Kammerofen bekanntgeworden, jedoch ist dieser Behälter nicht geschlossen ausgeführt. Vielmehr wird in dem Temperbehälter Luft eingeführt, so daß jeder Punkt an der Oberfläche des Wärmegutes den Luftströmen ausgesetzt ist, um eine hohe Temperaturhomogenität während des Temperprozesses zu erzielen. Diese zugeführte Ofeniuft führt in Kontakt mit dem Glas zu unerwünschten Beschädigungen der Oberfläche des zu tempernden Gutes aufgrund der mit dem Luftstrom eingetragenen Verschmutzungen.

In den Schriften JP 05330836 und JP 05339021 wird die Verwendung von Glaskeramikplatten als Schutz vor von den Ofenwänden bzw. Heizelementen stammenden Partikeln beschrieben. Diese bieten zwar einen gewissen Schutz der Flachglasscheiben vor Verunreinigungen aus dem Ofen, können jedoch eine in einer Produktionsumgebung praktisch unvermeidbare Kontamination durch Staub aus der Umgebung nicht verhindern. Theoretisch könnte zwar der gesamte aus der JP 05330836 und JP 05339021 bekannte Ofenraum, in dem die Glaskeramikplatten angeordnet sind, als Reinraum ausgebildet werden. um Beschädigungen der Glasoberfläche beispielsweise durch in den Ofen eingetragene Schmutzpartikel zu verhindern, jedoch wäre dies sehr aufwendig, da notwendigerweise die Ofenluft gefiltert und der Ofen mit einem Schleusensystem zum Be-und Entladen ausgerüstet werden müßte.

Eine andere Möglichkeit des Schutzes eines Temperstapels wird in der JP08151224 aufgezeigt. Hiernach wird der Temperstapel seitlich von danebengestellten Quarzgutplatten begrenzt. Nachteilig an diesem Verfahren ist, daß bedingt durch den nicht geschlossenen Aufbau auch hier die Scheiben nicht zuvertässig gegen Verunreinigungen geschützt sind. So wird beim Aufbau gemäß der JP 08151224, wenn das Tempern wie in der JP 08151224 beschrieben vorgenommen wird, in den Ofen stets N2 zugeführt, und zwar mit einem Gasfluß von 500 I/hr, um zu verhindern, daß das

zwischen die einzelnen Glasscheiben des Glasstapels eingebrachte Papier verbrennt. Um das Eindringen von Verschmutzungen in den Ofen zu verhindern, müßte das zugeführte N2 sowie aile innerhalb des Ofens befindlichen Komponenten des Aufbaus aufwendig gereinigt werden. Des weiteren kann bei dieser Anordnung ein Verrutschen der Flachglasscheiben während der Passage eines Durchlaufofens auch nicht sicher verhindert werden. Schließlich ist das aus der JP08151224 bekannte Verfahren nicht ausreichend temperaturhomogenisierend, da die Wärmeleitfähigkeit des hiernach als Boden-und Deckplatte verwendeten Edelstahls gering ist und keine Vorkehrungen zur Vermeidung senkrechter Temperaturgradienten getroffen werden.

Aufgabe der Erfindung ist es, die Nachteile des Standes der Technik zu überwinden und ein Verfahren zu schaffen, das eine Beschädigung der Oberflächen der Flachglasscheiben, insbesondere durch Verschmutzungen mit Partikeln, vermeidet. Insbesondere soll eine Wärmebehandlung auch großer Losgrößen mit hoher Prozeßstabilität ermöglicht werden.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch geiöst, daß die Wärmebehandlung in einem geschlossenen Temperbehälter durchgeführt wird. Hierdurch können Beschädigungen der Oberfläche des zu tempernden flachen Körpers aufgrund von Verschmutzungen aus der Umgebung des Temperbehälters vermieden werden.

Die Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens bzw. der erfindungsgemäßen Vorrichtung im Vergleich zum bekannten Tempern in einem Ofen sind insbesondere die einfache Reinigung des Temperbehälters vor Gebrauch beispielsweise mit H20 im Vergleich zu Reinigung und Reinhaltung eines Ofens sowie die im Temperbehälter auf einfache Art und Weise erzielbare hohe Temperaturhomogenitåt.

Vorteilhafterweise ist der Temperbehälter derart ausgestaltet oder geiagert, daß die flachen Körper, vorzugsweise die Flachglasscheiben, während der Wärmebehandlung, insbesondere auch in einem Durchlaufofen ortsfest fixiert sind. Dies hat den Vorteil, daß die Flachglasscheiben gegen ein Verrutschen gesichert sind, so daß Beschädigungen der Oberfiäche beispielsweise beim Transport vermieden werden.

In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung wird der Temperbehälter schräg gelagert, so daß an wenigstens zwei Rändern der Flachglasscheiben wenigstens ein Randpunkt an jeweils wenigstens einer Seitenfläche des Temperbehäiters anliegt.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung wird die Wärmebehandlung einer oder mehrerer Flachglasscheiben in einem Temperbehälter auf einer Keramikplatte bzw. zwischen zwei Keramikplatten hoher Wärmeleitfähigkeit durchgeführt. Hierdurch kann eine hohe laterale Temperaturhomogenität erreicht werden.

Der geschlossene Temperbehälter umfaßt in einer bevorzugten Ausführungsform eine Abdeckfläche und Seitenflächen, die das Oberteil des Temperbehälters ausbilden sowie eine Auflagefläche, die das Unterteil darstellt. Durch eine derartige Ausgestaltung wird die Beladung des Behälters mit Keramikplatten und Flachglasscheiben erleichtert.

Der Temperbehälter kann aus Aluminium, Kupfer oder einem anderen Material hoher Wärmeleitfähigkeit bestehen, wodurch die Temperaturhomogenität innerhalb des Glases verbessert wird. In einer alternativen Ausgestaltung bestehen die Seitenwände des Temperbehälters aus einem Material mit geringer Wärmeleitfähigkeit, was zur Verringerung lateraler Temperaturgradienten beiträgt.

Erfindungsgemäß können sowohl die Flachglasscheiben als auch die Keramikplatte durch die Seitenwände des Temperbehälters gegen Verrutschen gesichert sein, so daß auch ruckartige Bewegungen des gesamten Aufbaus nicht zu Beschädigungen der Glasoberflächen führen können. Damit wird die Verwendung eines Durchlaufofens problemlos möglich. Bevorzugt wird hierbei der Temperbehälter schräg gelagert, so daß an wenigstens zwei Rändern der Flachglasscheiben wenigstens ein Randpunkt an jeweils wenigstens einer Seitenfläche des Temperbehälters anliegt.

Vorteilhafterweise kann die Berührungsfläche zwischen Ober-und Unterteil des Temperbehälters gestuft, beispielsweise in Form eines Labyrinths ausgeführt sein, um einen optimalen Schutz der Flachglasscheiben vor Verschmutzung zu gewährleisten. Alternativ hierzu wäre eine Ausgestaltung ähnlich üblicher UHV-Dichtungen umfassend Schneiden an Ober-und Unterteil des geschlossenen Behälters sowie beispielsweise eine Metalldichtung, in die diese eingreifen, denkbar. Die Metalldichtung ist vorzugsweise eine Cu-, Al-oder Au-Dichtung. Besonders bevorzugt sind die Metalldichtung und der Temperbehälter aus demselben Material, beispielsweise Aluminium gefertigt, da dann Dichtung und Temperbehälter denselben Wärmeausdehnungskoeffizienten a besitzen. Auch andere Dichtungsmateriaiien sind denkbar.

Mit den zuvor beschriebenen Dichtungen-Labyrinthdichtung und UHV- Dichtung-ist es praktisch möglich, daß innerhalb des Temperbehälters Reinraumbedingungen herrschen, während der geschlossene Behälter von außen rauhen Produktionsbedingungen ausgesetzt ist. Beispielsweise kann auch der in einem Reinraum beladene Temperbehäiter nach Abschluß der Wärmebehandlung von auf3en gereinigt und wiederum im Reinraum geöffnet werden, um eine Prozessierung der Flachglasscheiben unter optimal

sauberen Bedingungen zu gewährleisten, ohne daß hierzu besondere Anforderungen an den Ofen gestellt werden müssen.

Über die oben genannten Vorteile hinaus tragen die erfindungsgemäße Vorrichtung und das erfindungsgemäße Verfahren wesentlich dazu bei, daß die Entstehung von Temperaturgradienten, insbesondere lateraler Gradienten, innerhalb der Flachglasscheibe bzw. des Stapels aus Flachglasscheiben weitestgehend vermieden wird. Dies soll anhand eines Beispiels näher erläutert werden.

Es sei angenommen, daß zur Durchführung der Wärmebehandlung ein Stapel von Flachglasscheiben auf einer 6 mm dicken Platte aus silicuminfiltriertem SiC gelagert wird, die aufgrund ihrer hohen Wärmeleitfähigkeit (ca. 100 W/mK bei 200° C) allein schon einen gewissen Beitrag zur Temperaturhomogenisierung liefert, wie in der DE 197 44 666 C1 ausgeführt wird. Liegt diese SiC-Platte ihrerseits auf einer 16 mm dicken Kupferplatte, die den Boden bzw. die Auflagefläche eines erfindungsgemäßen Temperbehäiters darstellt, so ergibt sich aus der Wärmeleitfähigkeit des Kupfers (373 W/mK bei 200° C) und den anderen obengenannten Daten eine Erhöhung der temperaturhomogenisierenden Wirkung um den Faktor 10. Den gleichen Effekt erhäit man an der Oberseite des Stapels, vorausgesetzt, der Temperbehäiter ist derart dimensioniert, daß sein Deckel sich im Kontakt mit der oberen SiC-Platte befindet. Die oben erwähnte Kupferplatte kann auch mit einer Beschichtung gegen Verzundern versehen sein.

Im Falle eines Kontaktes zwischen oberer SiC-Platte und Deckel bzw.

Abdeckfläche des Temperbehälters besitzt das erfindungsgemäße Verfahren den weiteren Vorteil, daß bei Verwendung hochwärmeleitfähiger Seitenwände des Temperbehäiters die obere und die untere Keramikplatte thermisch kurzgeschlossen sind, so daß die Auswirkungen nicht nur horizontaler, sondern auch vertikaler im Ofen herrschender Temperaturgradienten auf die

Flachglasscheiben weitestgehend eliminiert werden. In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, daß bei einem Temperbehälter, der vollständig aus einem Material hoher Wärmeleitfähigkeit besteht, zur Verbesserung der lateralen Temperaturhomogenität die Seitenwände zusätzlich von einem Material geringer Wärmeleitfähigkeit umgeben sind.

Wird das erfindungsgemäße Verfahren in einem Strahlungsofen bzw. einem Ofen, in dem der Wärmetransport zumindest teilweise durch Strahlung erfolgt, durchgeführt, so ist es vorteilhaft, wenn ein Wärmeaustausch durch Strahlung zwischen dem Temperbehälter und seiner Umgebung stattfinden kann. Dies ist im Fall einer stark reflektierenden Metalloberfläche nur sehr eingeschränkt möglich.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung faßt sich der Wärmeaustausch durch Strahlung dadurch optimieren, daß man den Temperbehälter mit einer Beschichtung versieht, die im Infrarotbereich eine hohe Emissivität aufweist.

Hierfür können beispielsweise keramische Beschichtungen auf der Basis von Aluminiumtitanat Verwendung finden. Sol der Wärmetransport bevorzugt über die Ober-und Unterseite des Temperbehälters statinden, was nochmals zur Verbesserung der lateralen Temperaturhomogenität beiträgt, so kann die Beschichtung mit hoher Emissivität auf diese Flächen beschränkt sein.

Anhand der Figuren und der nachfolgenden Ausführungen soll das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Vorrichtung beispielhaft beschrieben werden.

Es zeigen : Figur 1 einen erfindungsgemäßen Aufbau eines Temperbehäiters zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens

Figuren 2a bis 2c verschiedene Ausführungsformen einer Labyrinthdichtung Figur 3 eine UHV-Dichtung Figur 4 einen Ofenaufbau zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.

In Figur 1 ist ein erfindungsgemäßer Temperbehälters 1 zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens dargestellt. Der Temperbehälter 1 ist zweiteilig ausgeführt und besteht aus einem Oberteil 3 sowie einem Unterteil 5. Das Oberteil 3 umfaßt die Abdeckfläche 4 sowie die Seitenflächen 6.1,6.2, das Unterteil 5 den Boden bzw. die Auflagefläche 8 des erfindungsgemäßen Temperbehälters 1. Bevorzugt ist das Material des Ober-und des Unterteils des Temperbehälters 1 beispielsweise ein Metall. In einer fortgebildeten Ausführungsform kann die Metalloberfläche des Temperbehälters 1, die zum Ofen hin zeigt mit einer nicht dargestellten Beschichtung, die im Infraroten eine hohe Emissivität besitzt, ausgestaltet sein.

Die Berührungsfläche zwischen Oberteil 3 und Unterteil 5 des Temperbehälters ist mit einer Stufe 7 ausgeführt. Durch eine derartige Ausgestaltung wird der Stapels 9 aus Flachglasscheiben 11 im Innern des Temperbehälters 1 optimal vor dem Eindringen von Verschmutzungen geschützt. Erfindungsgemäß befindet sich der Stapel 9 aus Flachglasscheiben 11 zwischen zwei im Inneren des Behälters 1 angeordneten Keramikplatten 13,15, die wiederum in Kontakt mit der Abdeck-bzw. Auflagefläche stehen.

Vorteilhafterweise werden Keramikplatten mit einer solchen Dicke verwendet, daß das Verhältnis der gesamten Dicke der Keramikplatten zur Höhe des gesamten Stapels 9 aus Fiachglasscheiben mindestens 1//.-40 W/ (m'K) beträgt, wobei X die Wärmeleitfähigkeit des Keramikmaterials im Bereich der Wärmebehand I ungstem peratur ist.

In Figur 2a ist eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Labyrinthdichtung gezeigt. Deutiich zu erkennen, die als Stufe 7 ausgeführte Berührungsfläche zwischen Oberteil 3 und Unterteil 5.

Bei Zusammenbau von Oberteil 3 und Unterteil 5 berühren sich Oberteil 3 und Unterteil 5 beispielsweise an den Punkten 20 und 22. Durch die gestufte Ausführung wird zuveriässig verhindert, daß Verschmutzungen von der Außenseite des Behälters in die Innenseite des Behälters eindringen. Neben einer Ausführungsform mit nur einer Stufe gemäß Figur 2a sind auch mehrstufige Ausführungsformen, wie beispielsweise in Figur 2b dargestellt. denkbar. Die Berührungsfläche zwischen Oberteil 3 und Unterteil 5 umfaßt in dem in Figur 2b dargestellten Beispiel zwei Stufen 7.1 und 7.2. Sind die beiden Behälter miteinander verbunden, so wird zumindest an den Punkten 20,22 und 24 ein umlaufender Kontakt von Oberteil und Unterteil gewährleistet. In Figur 2c ist eine alternative Ausgestaltung einer Labyrinthdichtung gezeigt, bei der das Oberteil 3 eine Nase 26 umfaßt, die in die Nut 28 des Unterteils 5 eingreift. Werden Oberteil 3 und Unterteil 5 verschlossen, so berühren sich Oberteil 3 und Unterteil 5 an wenigstens drei Punkten 20,22 und 24.

In Figur 3 ist eine alternative Ausgestaltung einer gasdichten und somit auch für sämtliche Partiel dichten Verbindung dargesteilt. Das Oberteil 3 und das Unterteil 5 umfaßt im Bereich der Berührungsflächen angeordnete Schneiden 30,32 sowie eine zwischen Oberteil und Unterteil eingelegte Metalldichtung 34. Durch Befestigungsmittel 36, beispielsweise Schrauben, können Ober- und Unterteil miteinander verspannt werden. Die Schneiden 30,32 greifen dann in die Metalldichtung ein und bewirken die partikeldichte Verbindung.

Die Metalidichtung kann beispielsweise aus Kupfer, Aluminium oder Gold gefertigt sein. Besonders bevorzugt wird für die Metalldichtung dasselbe Material verwandt wie für den geschlossenen Temperbehälter, so daß das Gesamtsystem kei ne unterschied lichen Wärmeausdehnungskoeffizienten

aufweist. Bevorzugtes Material für den Metaildichtring und damit für den gesamten geschlossenen Behälter sind Aluminium und Kupfer. Auch andere Materialien sind denkbar.

In Figur 4 ist ein Gesamtsystem zur Durchführung eines erfindungsgemäßen Verfahrens dargestellt. Das Gesamtsystem umfaßt beispielsweise einen Durchlaufofen 100, der als Umluftofen ausgebildet sein kann, in dem einzelne Temperbehälter 1 auf einem umlaufenden Band 102 durch den Ofen transportiert werden.

Die Beladung der Behälter erfolgt in einem Reinraum 104. Die Temperbehälter werden dort unter Reinraumbedingungen beladen und geschtossen. Sodann werden die Temperbehälter 1 durch eine Schleuse 106 in den Durchlaufofen 100 transportiert und in diesem beispielsweise als Umluftofen ausgebildeten Ofen getempert. Hierbei spielt es keine Rolle, wie verschmutzt die Luft im Umluftofen ist.

Über Schleuse 108 werden die Temperbehälter nach erfolgter Temperung und Reinigung von außen in den Reinraum 110 transportiert. Im Reinraum 110 können dann die getemperten Glasscheiben unter Reinraumbedingungen wieder entnommen werden.

Nachfolgend wird die Durchführung eines erfindungsgemäßen Verfahrens mit einem Temperbehäiter 1 beschrieben : Es wird ein Stapel 9 aus zehn in einer Ultraschallreinigungsanlage gereinigten Scheiben 11 des Glases D263 (Schott DESAG AG, Grünenplan) im Format 340 x 320 x 1,1 mm3 ohne Verwendung eines Trennmittels gebildet und zwischen zwei ebenso großen, 6 mm starken plangeschliffenen Keramikplatten 13,15 aus siliciuminfiltriertem SiC positioniert. Dieser Aufbau wird in einen Temperbehälter 1 aus Aluminium (Alimex ACP 5080) mit

entsprechenden Innenabmessungen eingebracht, dessen Decke und Seitenwände eine Wandstärke von 20 mm besitzen, während die Stärke des Bodens 35 mm beträgt. Während des Temperns ist der Temperbehälter geschlossen.

Zur Durchführung der Wärmebehandlung wird ein Umiuftofen mit 48 Zonen verwendet, in dem ein Temperaturprofil im Bereich zwischen Raumtemperatur und 500° C eingestellt wird. Die Vorschubgeschwindigkeit wird so gewählt, daß die Wärmebehandlung insgesamt 14 Stunden dauert.

Zur Bestimmung der Temperaturhomogenität werden sieben mit einer Genauigkeit von + 1° C kalibrierte Thermoelemente vom Typ K verwendet, die zusätzfich in den Aluminiumkasten so eingebracht werden, daß während der Wärmebehandlung die Temperaturen an allen sechs Seiten und in der Mitte des Stapels gemessen werden können. Die Messung wird in Form einer Schleppmessung unter Verwendung entsprechend langer, temperaturunempfindlicher Kabel durchgeführt und alle Temperaturen in Abständen von fünf Minuten registriert.

Als Ergebnis der so beschriebenen Wärmebehandlung ergibt sich eine Temperaturabweichung innerhalb der Kühiphase, d. h. im relevanten Teil des Temperprogramms, von typischerweise etwa 2 K. Dies entspricht der Genauigkeit der verwendeten Thermoelemente, so daß Temperaturgradienten nicht nachgewiesen werden können. Die lnspektion der Flachglasscheiben nach der Wärmebehandlung ergibt, daß weder Oberflächendefekte durch Verrutschen der Scheiben noch eine Kontamination durch aus dem Ofen oder der Umgebung stammende Partikel nachgewiesen werden können.

Somit gibt die Erfindung erstmals ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Tempern einer Vielzahl von flachen Körpern, insbesondere Flachglasscheiben an, bei dem Beschädigungen beispielsweise aufgrund von im Ofen befindlichen Verunreinigungen oder des Transportes durch einen Durchlaufofen sicher vermieden werden. Des weiteren wird eine hohe Temperaturhomogenität innerhalb der flachen Körper gewährleistet.