Beschreibung Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung eines Feuchtesen- sors sowie Sensoranordnung mit einem kalibrierbaren Feuchte- sensor Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Kalibrierung eines Feuchtesensors, bei dem mit dem Feuchte- sensor unter ersten Umgebungsbedingungen und unter zweiten, von den ersten verschiedenen Umgebungsbedingungen jeweils ein Feuchtewert erfaßt wird und bei dem aus den Parametern der Umgebungsbedingungen und den gemessenen Feuchtewerten ein Korrekturwert für den Feuchtesensor bestimmt wird.

Mit Hilfe von Feuchtesensoren wird in offenen oder geschlos- senen Gasvolumina die relative Feuchte gemessen, das heißt die Menge an Feuchtigkeit, die in dem jeweiligen Gas gelöst ist relativ zu der maximal bei der gegebenen Temperatur in dem Gas lösbaren Feuchtigkeitsmenge.

Solche Messungen sind beispielsweise dem Durchschnitts- verbraucher als Messungen der relativen Luftfeuchtigkeit zur Bestimmung der klimatischen Bedingungen geläufig, sie sind jedoch auch im industriellen Umfeld beispielsweise bei der Bestimmung der relativen Luftfeuchte in Druckgasbehältern üb- lich.

Feuchtesensoren werden oft durch physikalische und chemische Einflüsse stark belastet und können dadurch ihre Ansprechcha- rakteristik gegenüber einer anfänglichen Kalibrierung signifikant verändern. Daher ist in gewissen Ab- ständen eine Nachkalibrierung notwendig.

Aus dem Stand der Technik (DE 3936138 A1, US 6073480) ist ei- ne Kalibrierung eines Feuchtesensors dadurch bekannt, daß ei- ne erste Feuchtemessung bei einer ersten Temperatur und da- nach bei einer zweiten Temperatur eine zweite Feuchtemessung durchgeführt wird, wobei der Gasdruck bei beiden Messungen gleichbleibt. Durch die gemessenen Temperatur-und Feuchtig- keitswerte ist eine Berechnung eines Korrekturwertes für die Feuchtemessung möglich, da der mathematische Zusammenhang zwischen Temperatur und tatsächlicher relativer Feuchte be- kannt ist.

Es ist jedoch zur Anwendung dieser Technik notwendig, einer- seits Temperatursensoren im Bereich der Feuchtsensoren anzu- ordnen, und andererseits Heiz-oder Kühlelemente vorzusehen.

Außerdem erfordert eine derartige Kalibrierung Zeit zur Ein- stellung der jeweiligen Meßtemperaturen.

Der vorliegenden Erfindung liegt demgegenüber die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Kalibrierung eines Feuchtesensors sowie eine entsprechende Vorrichtung und eine Sensoranordnung mit einem kalibrierbaren Feuchtsensor der eingangs genannten Art zu schaffen, bei dem der Kalibriervorgang vereinfacht ist und möglichst geringe Hilfsmittel zu seiner Durchführung be- nötigt werden.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß bei ei- nem ersten Druck Pl und bei einem zweiten, vom ersten unter- schiedlichen Druck P2 und bei sonst gleichen Bedingungen je- weils ein Feuchtewert Ul, U2 erfaßt wird, wobei zumindest das Verhältnis des ersten Druckwertes P1 und des zweiten Druck- wertes P2 bekannt ist und daß der Korrekturwert für den

Feuchtesensor aus dem Verhältnis der Druckwerte und den ge- messenen Feuchtigkeitswerten bestimmt wird.

Die Aufgabe wird außerdem gelöst durch eine Vorrichtung mit einem Drucksensor, einer Eingabeeinrichtung zur Eingabe der Meßwerte des Feuchtesensors in einen ersten Datenspeicher und einer Recheneinrichtung, die aus dem Verhältnis zweier Druck- werte und zwei bei den jeweiligen Druckwerten unter ansonsten gleichen Bedingungen erfaßter Feuchtewerte einen Korrektur- wert des Feuchtesensors bestimmt.

Wird der Feuchtewert bei zwei unterschiedlichen Drücken ge- messen, wobei die Temperatur und andere Umgebungsbedingungen konstant gehalten werden und wobei auch die gleiche Feuchtig- keitsmenge absolut in dem Gas gelöst bleibt, so ändert sich der Wert der relativen Feuchte zwischen den beiden Messungen.

Aus dem Verhältnis der beiden Druckwerte kann auf das Ver- hältnis der beiden real vorliegenden Feuchtigkeitswerte der relativen Gasfeuchtigkeit geschlossen werden. Stimmen die Verhältnisse der Drücke und der gemessenen relativen Gas- feuchten nicht überein, so kann aus der Abweichung der Kor- rekturwert bestimmt werden, der bei der jeweiligen Feuchte- messung anzusetzen ist. Dieser Korrekturwert ist dann von dem gemessenen Wert der relativen Feuchte abzuziehen oder zu die- sem zu addieren.

Die Vorrichtung zur Kalibrierung eines Feuchtesensors sieht demgemäß einen Drucksensor vor, wenn dieser in der Anlage im Bereich des Feuchtesensors nicht ohnehin vorgesehen ist sowie eine Eingabeeinrichtung, über die der Kalibriervorrichtung die gemessenen Feuchtewerte des Feuchtesensors zugeführt wer- den können. Eine Recheneinrichtung der Kalibriervorrichtung

bestimmt dann aus den gemessenen Daten den Korrekturwert und gibt diesen aus.

Vorteilhaft wird das Verfahren zur Kalibrierung derart durch- geführt, daß der von einem gemessenen Feuchtewert zu subtra- hierende Korrekturfaktor k bestimmt wird nach der Gleichung : k= ((P1/P2) * U2-U2)/ (Pl/P2-1).

Idealerweise gilt bei einem Gas gleichbleibender Konsistenz und konstanter Temperatur, daß das Verhältnis der beiden Druckwerte, bei denen gemessen wird, dem Verhältnis der tat- sächlich vorliegenden relativen Luftfeuchten entspricht : P1/P2 = U1 (real) /U2 (real).

Da die gemessenen Feuchtewerte U1, U2 mit den realen Feuchte- werten vor der Kalibrierung nicht übereinstimmen, berechnet sich der reale Feuchtewert U1 (real) = Ul-k sowie U2 (real) = U2-k.

Es ergibt sich die Gleichung : P1/P2 = (U1-k)/ (U2-k).

Diese Gleichung nach k aufgelöst ergibt : k = ((P1/P2) *U2-U1)/ (P1/P2-1).

Dies gilt unter der Annahme, daß k unabhängig vom Wert von U ist. Durch das erfindungsgemäße Kalibrierverfahren läßt sich somit der Feuchtesensor unter Verwendung eines Drucksensors kalibrieren, ohne daß die tatsächlich vorliegende Feuchte di- rekt bestimmt wird. Es ist lediglich notwendig, einen kalib-

rierten Drucksensor zu verwenden, was jedoch dadurch verein- facht ist, daß Drucksensoren in ihrer Kalibrierung relativ stabil sind.

Auf praktische Weise wird das Verfahren zur Kalibrierung ei- nes Feuchtesensors in einer druckbeaufschlagbaren gasgefüll- ten Anlage vorteilhaft derart durchgeführt, daß mittels eines an der Anlage vorgesehenen Ventils Gas abgelassen oder zuge- führt wird, und daß Druckwerte und Feuchtewerte vor und nach dem Ablassen/Zuführen von Gas registriert werden, wobei je- weils vor der Feuchtemessung ein Temperaturausgleich abgewar- tet wird.

An druckbeaufschlagbaren gasgefüllten Anlagen sind typischer- weise Ventile zum Befüllen mit Gas oder zum Ablassen von Gas ohnehin vorgesehen. Über ein derartiges Ventil kann entweder Gas abgelassen oder zugeführt werden, wobei abgelassenes Gas in einem externen Drucktank gespeichert werden kann. Vor-und nach dem Ablassen beziehungsweise Zuführen von Gas werden je- weils Feuchtemessungen durchgeführt, wobei nach dem Ablassen oder Zuführen von Gas ein Temperaturausgleich abgewartet wer- den muß, da beide Feuchtemessungen bei derselben Temperatur stattfinden müssen und da durch die Entspannung des Gases be- ziehungsweise durch die Druckerhöhung eine Temperaturernied- rigung beziehungsweise-erhöhung zu erwarten ist. Anstelle von Ventilen können auch Druckminderer eingesetzt werden.

Zur Kalibrierung des Feuchtesensors kann dieser in einem kleinen, druckdicht abgeschlossenen Teil (Meßkammer) der An- lage betrieben werden, so daß die unterschiedlichen Druckwer- te nicht eine Druckänderung in der gesamten Anlage erfordern, sondern nur der Gasdruck in dem Teilvolumen geändert werden muß, in dem der Feuchtesensor angeordnet ist. Die entspre-

chenden Drucksensoren können in der Anlage im Bereich des Feuchtesensors ohnehin vorgesehen sein, sie können jedoch auch im Zuge der Kalibrierung in das Volumen eingebracht wer- den oder der jeweilige Druck kann beim Ablassen oder Zuführen von Gas in der jeweiligen Zuleitung außerhalb der Anlage ge- messen werden. Somit kann die Kalibrierung ohne größere Ände- rungen oder Installationen an der druckbeaufschlagbaren gas- gefüllten Anlage von Servicepersonal einfach, zuverlässig und schnell durchgeführt werden. Die Meßkammer mit eingebautem Feuchtesensor ist also durch geeignete Mittel (Ventil, Druck- minderer etc. ) dazu ausgelegt, die für das Kalibrierverfahren erforderlichen zwei Drücke für den Feuchtesensor zu erzeugen.

Die Erfindung bezieht sich außerdem auf eine Sensoranordnung mit einem nach dem Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3 kalibrierbaren Feuchtesensor und mit einer Korrektur- einrichtung mit einem Speicher, in dem ein von dem gemessenen Feuchtewert zu subtrahierender Korrekturwert speicherbar ist, wobei die Korrektureinrichtung von dem erfaßten Meßwert der Feuchte den Korrekturwert subtrahiert und insbesondere das Ergebnis einer Anzeigeeinrichtung zuleitet.

Die Sensoranordnung weist somit eine Korrektureinrichtung 8 auf, durch die nach einer Kalibrierung der von dem Feuchte- sensor erfaßte Feuchtewert mittels des Korrekturwertes korri- giert wird, so daß der tatsächlich vorliegende Feuchtewert als korrigierter Meßwert zum Ablesen oder zur Weiterverarbei- tung, beispielsweise in einer Meßwarte zur Verfügung steht.

Im folgenden wird die Erfindung anhand einer Zeichnung bei- spielhaft gezeigt und nachfolgend erläutert. Dabei zeigt :

Figur 1 in einer schematischen Darstellung einen Feuchtesen- sor sowie eine Vorrichtung zu seiner Kalibrierung, Figur 2 schematisch die Funktion der Recheneinrichtung zur Ermittlung des Korrekturwertes, Figur 3 ein Ablaufdiagramm des Kalibriervorgangs.

Figur 1 zeigt einen Feuchtesensor 1 in einer gasdichten Meß- kammer 2. Die Meßkammer 2 weist einen ersten Gasanschluß 3 und einen zweiten Gasanschluß 4 auf, mittels deren die Meß- kammer mit einer gasgefüllten druckbeaufschlagbaren Anlage 5 einerseits und mit einem weiteren Gasraum mittels eines Druckschlauchs 6 andererseits verbunden werden kann.

In der Meßkammer 2 ist außerdem ein Drucksensor 7 vorgesehen.

Dieser Drucksensor kann ein handelsüblicher Drucksensor sein, er sollte jedoch kalibriert sein und über eine möglichst hohe Meßgenauigkeit verfügen.

Um beispielsweise die Gasfeuchte in der druckbeaufschlagbaren Anlage 5 zu messen und gleichzeitig den Feuchtesensor 1 zu kalibrieren, wird zunächst die Meßkammer 2 über den ersten Gasanschluß 3 mit der druckbeaufschlagbaren Anlage 5 verbun- den, so daß ein Gasaustausch und Druckausgleich stattfinden kann. Danach wird mittels des Drucksensors 7 der Gasdruck in der Meßkammer gemessen und die Meßkammer 2 von der druck- beaufschlagbaren Anlage abgetrennt. Außerdem wird unter den nun vorliegenden Bedingungen mittels des Feuchtesensors 1 der erste Feuchtewert gemessen. Dabei wird die Korrektureinrich- tung 8, die mit den Zuleitungen 9 des Feuchtesensors verbun- den ist, und die im Normalbetrieb den im Speicher 10 gespei-

cherten Korrekturwert von dem unmittelbaren Meßwert des Feuchtesensors 1 subtrahiert, zur Kalibrierung überbrückt.

Danach wird mittels des zweiten Gasanschlusses 4 über den Druckschlauch 6 eine gewisse Gasmenge aus der Meßkammer 2 ab- gelassen, so daß der Gasdruck abgesenkt wird. Danach wird die Meßkammer 2 wieder gasdicht verschlossen.

Nachdem die Temperatur in der Meßkammer 2 sich normalisiert hat, wird nun ein zweiter Feuchtewert U2 sowie ein zweiter Druckwert P2 gemessen. Aus den beiden gemessenen Druckwerten sowie den beiden gemessenen und unkorrigierten Feuchtemeßwer- ten kann dann ein Korrekturwert ermittelt werden, der in dem Speicher 10 abgelegt wird. Bei folgenden Feuchtemessungen wird dann innerhalb der Korrektureinrichtung 8 der im Spei- cher abgelegte Korrekturwert von dem durch den Feuchtesensor 1 gemessenen Feuchtewert in einer Subtraktionseinheit 11 ab- gezogen und als korrigierter Meßwert mittels einer Anzeige 17 ausgegeben.

In der Figur 2 sind schematisch die Erfassungs-und Rechen- schritte bei einem Kalibriervorgang dargestellt. Mittels des Feuchtesensors 1 wird in einem ersten Schritt der Feuchtewert U1 erfaßt. Gleichzeitig wird mittels des Drucksensors 7 der Druckwert P1 erfaßt. Beide Meßwerte werden in einem ersten Datenspeicher 12 und einem zweiten Datenspeicher 13 hinter- legt.

In einem zweiten Schritt wird dann bei abgesenktem Druck und ansonsten gleichen Umgebungsbedingungen ein zweiter Feuchte- wert U2 sowie ein zweiter Druckwert P2 gemessen. Beide Meß-

werte werden wieder in den entsprechenden ersten und zweiten Datenspeichern 12,13 hinterlegt.

Es wird danach das Verhältnis P1/P2 berechnet und in einem dritten Datenspeicher 14 hinterlegt. In einer Rechen- einrichtung 15 wird dann mittels eines Mikroprozessors k nach der im Patentanspruch 2 angegebenen Formel berechnet und an eine Ausgabeeinrichtung 16 weitergegeben, die den Korrektur- wert beispielsweise an die Korrektureinrichtung 8 weitergibt, wo dieser im Speicher 10 gespeichert wird.

In der Figur 3 ist der Kalibriervorgang nochmals in Form von Ablaufschritten dargestellt. In einem ersten Schritt 101 wird in der Meßkammer ein bestimmter Druck eingestellt. Im zweiten Schritt 102 wird der Druckwert P1 gemessen sowie der Feuchte- wert Ul. Im dritten Schritt 103 wird der Druck in der Meßkam- mer beispielsweise durch Ablassen von Gas geändert. Im vier- ten Schritt 104 wird ein zweiter Druck P2 sowie ein zweiter Feuchtewert U2 gemessen. Im fünften Schritt 105 wird der Quo- tient aus P1 und P2 sowie der Quotient aus U1 und U2 berech- net. Im sechsten Schritt 106 werden die Quotienten aus P1 und P2 sowie Ul und U2 miteinander verglichen. Stimmen die beiden Quotienten überein, so wird im nächsten Schritt (109) der Korrekturwert k = 0 gesetzt und das Kalibrierverfahren been- det. Stimmen die Quotienten nicht überein, so wird im nächs- ten Schritt 107 k aus der im Patentanspruch 2 angegebenen Formel berechnet. Im achten Schritt 108 wird dann k im Spei- cher 10 zur Korrektur folgender Feuchtemessungen gespeichert.

Bei einer Beispielkalibrierung wurde zunächst ein erster Druckwert P1 = 4,5 bar gemessen. Bei diesem Druckwert wurde mittels des Feuchtesensors ein Feuchtewert U1 = 1, 7% relative Feuchte gemessen. Bei einem zweiten Gasdruck wurde der Druck-

wert P2 = 0, 9 bar und ein Feuchtewert von 0,5% relativer Feuchte gemessen. Als Quotient der Druckwerte ergab sich 5.

Damit müßte der relative Feuchtewert bei hohem Druck von 1, 7% relativer Feuchte auf 0,34% relativer Feuchte bei dem niedri- geren Druckwert absinken. Gemessen wurde aber ein Wert von 0, 5% relativer Feuchte bei dem niedrigeren Druckwert. Das heißt, es ist eine Korrektur notwendig, k ergibt sich wie folgt k = (5*0, 5% r. F-1, 7% r. F)/ (5-l) = 0, 2% r. F.

Die korrigierten Feuchtewerte gemäß der durchgeführten Mes- sung sind dann Ul (real) = 1, 7% r. F-0,2% r. F = 1, 5% r. F und U2 (real) = 0, 5% r. F-0, 2% r. F = 0,3% r. F.

Das beschriebene Kalibrierverfahren kann während des Betriebs des Feuchtesensors zyklisch beziehungsweise periodisch durch- geführt und jeweils ein neuer Korrekturwert berechnet und ge- speichert werden.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann neben den gezeigten Aus- gestaltungen auf vielfältige Art und Weise realisiert werden.

Insbesondere gibt es zahlreiche Ausführungsformen von Vor- richtungen zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.