Beschreibung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Kalibration eines optischen Resonators. Insbesondere betrifft die Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Kalibration der Reflektivität bzw. der effektiven Reflektivität bzw. der Weglänge eines optischen Resonators. Ferner betrifft die Erfindung die Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung, die Verwendung eines sehaltbaren Detektors, die Verwendung eines optischen Modulators sowie ein Computerprogrammprodukt.

Die Absorptionsspektroskopie, wie z.B. die differentielle optische Absorptionsspektroskopie (DOAS), ist eine Methode zur berührungslosen Messung von Spurengasen. DOAS nutzt die charakteristische wellenlängenabhängige Absorption von Licht durch Moleküle zur quantitativen Messung ihrer Konzentration. Um eine ausreichende Sensitivität für die zu messenden Stoffe zu erhalten sind Absorptionswege von einigen 100 m bis 20 km nötig. Um den benötigten langen Lichtweg in einer kompakten Messzelle von etwa 10 cm bis 200 cm Länge zu realisieren, wurden z.B. die Cavity Enhanced DOAS (CE-DOAS) und die BB-CEAS (Broad Band Cavity Enhanced Absorption Spectroscopy) entwickelt. Bei diesen Methoden wird ein gefalteter Lichtweg von typischerweise mehreren Kilometern Länge innerhalb eines optischen Resonators zwischen zwei hochreflektiven Spiegeln (Reflektivität > 99%) durch Vielfachreflektion erzeugt. Bei Anwesenheit von (differentiellen) Absorbern zwischen den Spiegeln werden dem Spektrum die (differentiellen) Absorptions-Strukturen der Absorber aufgeprägt.

Generell gilt das Lambert-Beersche Gesetz für die Abschwächung von Licht:

Hierbei ist Ι ₀ (Ά) das ursprüngliche Spektrum ohne Absorptionseffekte, i(A) das Spektrum nach Durchgang des Lichtweges L(Ä) , c die Konzentration eines Spurenstoffes und σ{λ) der Absorptions-Wirkungsquerschnitt mit der Einheit [cm ² ]. Letztere liegen für die verschiedenen Spurengase als Materialparameter vor. Ist die Weglänge L(Ä) spektral bestimmt, kann mit Hilfe eines spektralen Auswertealgorithmus auf die Konzentrationen c der Spurengase rückgeschlossen werden. Dies kann bei resonatorgestützten Messungen der BB-CEAS- oder CE-DOAS-Algorithmus sein mit:

^--l = c - a(Ä) - L(Ä) ,

I(Ä) wobei L(Ä) die Weglänge ohne Absorber darstellt.

Die Weglänge in einem optischen Resonator hängt insbesondere von folgenden Parametern ab:

- Reflektivität der Spiegel: Die verwendeten Spiegel sind dielektrisch beschichtet und daher nur in einem sehr begrenzten Spektralbereich hochreflektiv. Die Weglänge variiert dadurch stark mit der Wellenlänge. Zusätzlich sind die optischen Eigenschaften der Spiegel temperaturabhängig und dadurch zeitlich variabel.

- Absorptivität der Spiegel: Insbesondere wegen ständiger Ablagerung feinster Partikel, die auch durch Reinigen nicht vollständig und reproduzierbar entfernt werden können, ist die Weglänge im zeitlichen Verlauf und zwischen einzelnen Messreihen sehr variabel.

- Reinheit und Stabilität der Luft im Resonator: Dichte-Inhomogenitäten in der Luft wirken wie Linsen; Aerosole verkürzen den Lichtweg durch Streuung. - Optischen Ausrichtung und Justierung der Spiegel.

Wegen dieser Vielfalt an variablen Parametern ist die Weglänge a priori unbekannt und muss für jedes Instruments neu bestimmt werden. Die Weglänge L(Ä) geht direkt in das Ergebnis der Konzentrationsmessung ein und muss in ihrer spektralen Form und absolut mit ausreichender Genauigkeit vorliegen:

Die korrekte Form der Weglänge L(Ä) ist für den Auswerte-Algorithmus essentiell, denn ohne Kenntnis der variablen Weglänge würde die Größe von Absorptionsstrukturen bei verschiedenen Wellenlängen unkontrolliert moduliert. Im Allgemeinen ist dann eine Zuordnung der verschiedenen, zum Teil überlagerten Absorptionsstrukturen zu bestimmten Spurenstoffen nicht mehr möglich. D.h. die Konvergenz des Auswerteverfahrens ist gestört. Die absolute Weglänge ist essentiell, um aus den erfolgreich zu Spurenstoffen zugeordneten Abschwächungen tatsächliche Spurenstoff-Konzentrationen bestimmen zu können. Gemäß des Lambert-Beerschen Gesetzes stehen dann nämlich Konzentrationen und Lichtweg in einem indirekt proportionalen Zusammenhang: c - L = const (2)

=> c °c l / L (3)

Wird beispielsweise die Weglänge um 10% überschätzt, so werden die Konzentrationen aller zugeordneter Spurenstoffe um 10% unterschätzt.

Die Anzahl der Durchgänge eines einzelnen in den Resonator eingekoppelten Photons bis zur Auskopplung zum Detektor ist nicht deterministisch. Die Beschreibung des statistischen Verhaltens eines großen Ensembles von Photonen im Resonator ist jedoch möglich. Die Bestimmung dieser statistischen Kenngrößen in einem spezifischen Präparations-Zustand des Resonators (z.B. vakuumierte Messzelle, Standard-Luftgemisch, usw.) wird im Sinne dieser Beschreibung als„Kalibration eines optischen Resonators" bezeichnet.

Gebräuchliche deskriptive Parameter für die „Kalibration eines optischen Resonators" sind dabei:

- die Spiegel-Reflektivität R (λ);

- die geometrische Länge d des Resonators; - die Abklingzeit τ(λ); und

- die Weglänge oder effektive Weglänge Ι_(λ) des Resonators.

Die Weglänge oder die effektive Weglänge Ι_(λ) des optischen Resonators ist der mittlere Weg, den Photonen im Resonator zwischen Ein- und Auskoppelung zurücklegen.

Analog zur Weglänge L(Ä) wird oft auch die effektive Reflektivität R (Ä) des Resonators angegeben. Dabei gilt der Zusammenhang:

m ^' ^X) ⁽⁴ · ^{1 )} für eine vakuumierte Messzelle und

L(A) (4.2)

für eine Messzelle mit einem Referenzgas, wobei ε der Extinktions-Koeffizient ist. Hierbei ist d der Abstand der Spiegel. Die Abklingzeit τ(λ) ist definiert als

T(Ä) =LiÄ)/c _Lictll (5).

Bisherige Weglängenbestimmungs-Methoden lassen sich in zeitaufgelöste Verfah und Verfahren mit Absorbern einteilen.

Als zeitaufgelöstes Verfahren ist z.B. das Broad Band Cavity Ringdown (BB-CRD) Verfahren zu nennen, bei dem das Abklingen des gesamten Spektrums nach dem Ausschalten einer Lichtquelle beobachtet wird. Als Intensitäts-Detektor werden üblicherweise Photo-Multiplier (PM) eingesetzt, die jedoch a priori keine spektralen Informationen liefern. Die Abklingkurve liefert zudem nur einen ungefähren, mittleren Weglängenwert. Bei der sogenannten Narrow Band Cavity Ringdown (NB-CRD) Methode wird das eingekoppelte Licht spektral gefiltert. Die Abklingkurve wird, wiederum mit einem Photo-Multiplier, nacheinander für verschiedene Wellenlängen abgetastet, so dass eine gewisse spektrale Auflösung erreicht werden kann. Die spektrale Auflösung ist jedoch auf die Bandbreite des eingesetzten Filters begrenzt. Zudem ist die Bestimmung der Weglänge über die volle Bandbreite des Spektrometers von mehr als 30 nm mit Hilfe eines einzelnen Filters spektral hochaufgelöst nicht möglich.

Ein weiteres bekanntes zeitaufgelöstes Verfahren nutzt ein zweidimensionales CCD- Array, mit welchem die Abklingkurve abgetastet wird. Hierzu wird das Lichtspektrum nacheinander auf einzelne Zeilen des Detektors abgebildet, so dass diese die Abklingkurve für einzelne Zeitfenstem erfassen. Diese Methode ist bisher auf Grund von technischen Limitierungen als reine Kalibrationstechnik von CE-DOAS Geräten noch nicht eingesetzt worden. Das Verfahren erfordert einen hohen technischen und finanziellen Aufwand. Insbesondere ist das zweidimensionale CCD-Array mit Spezialelektronik vielfach teurer als andere, für die Konzentrationsbestimmung ausreichende, eindimensionale Detektoren. Andere Verfahren zur Bestimmung der Weglänge L(Ä) eines optischen Resonators beruhen auf die Verwendung von Absorbern. Beispielsweise werden Absorber mit differentiellen Strukturen verwendet (NO2, SO2). Sofern diese Absorber in bekannten Konzentrationen in den Resonator eingebracht werden können, erlaubt die Messung von deren Absorptionsstrukturen eine spektrale und absolute Weglängenbestimmung. Nachteilig ist jedoch, dass anwendbare Prüfgase bzw. Kalibrationsgase des zu messenden Stoffs oftmals nicht stabil sind und vor Ort aufwendig hergestellt werden müssen. Auch der in Luft natürlich vorhandene Stoßkomplex O2-O2 kann als Absorber dienen. Das Sauerstoff-Dimer weist geringe differentielle Absorptionsstrukturen auf und tritt korreliert zum Sauerstoffgehalt in der Luft auf. Die dadurch hervorgerufenen Absorptionsstrukturen können zur Weglängenbestimmung herangezogen werden. Allerdings sind die Strukturen schwach und nicht in jedem Spektralbereich vorzufinden. Damit ist die Methode beschränkt auf Spezialanwendungen im wissenschaftlichen Bereich.

Darüber hinaus werden auch Rayleigh-Streuer, z.B. Helium, zur Weglängenbestimmung des Resonators eingesetzt. Die Luft zwischen den Spiegeln des Resonators wird ersetzt durch Gas mit anderem Rayleigh-Streuquerschnitt. Infolgedessen wird weniger/mehr Licht aus dem Lichtweg gestreut und dieser verlängert/verkürzt. Aus der Änderung der Intensität am Spektrometer kann die Weglänge berechnet werden. Diese Methode ist fast ausschließlich auf die Anwendung im Labor bestimmt, denn die Handhabung von Gasvorräten im Feld ist kritisch und die vollständige Spülung schwierig herzustellen und zu detektieren. Zudem kann die Messung durch Wind beeinträchtigt werden.

Trotz dieser Vielzahl an Vorschlägen gibt es bisher kein Verfahren, welches die Weglängenbestimmung in optischen Resonatoren vollumfänglich löst. Deshalb wird die CE-DOAS und/oder BB-CEAS Methode bisher nicht in einem ihrem Potential entsprechenden Umfang eingesetzt. Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Kalibration eines optischen Resonators zu verbessern.

Diese Aufgabe wird durch die Gegenstände der nebengeordneten Ansprüche gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen sind Gegenstand der Unteransprüche.

Ein erster unabhängiger Aspekt zur Lösung der Aufgabe betrifft ein Verfahren zur Kalibration eines optischen Resonators, umfassend die Schritte:

Erzeugen von Lichtpulsen einer bekannten Pulsfrequenz mittels einer Lichtpulserzeugungseinheit;

Einkoppeln der Lichtpulse in den Resonator;

Detektieren von aus dem Resonator austretendem Licht mittels einer Detektionseinrichtung zur Erzeugung eines von dem zu detektierenden Licht abhängigen Detektionssignals (also auf Basis des aus dem Resonator austretenden Lichts), wobei die Detektionseinrichtung ausgelegt ist, das Detektionssignal mit Hilfe eines Modulators als ein mit einer Modulationsfrequenz moduliertes Signal zu erzeugen, wobei die Modulationsfrequenz im Wesentlichen gleich der Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse ist oder wobei die Modulationsfrequenz im Wesentlichen ein ganzzahliges Vielfaches der Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse beträgt oder wobei die Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse im Wesentlichen ein ganzzahliges Vielfaches der Modulationsfrequenz beträgt; und

Kalibrieren des optischen Resonators auf Basis des Detektionssignals.

Unter der Kalibration eines optischen Resonators ist die Bestimmung von Kalibrationsparameter zu verstehen. Insbesondere ist unter der Kalibration eines optischen Resonators die Bestimmung der Reflektivität bzw. der effektiven Reflektivität und/oder der Weglänge L( ) des optischen Resonators zu verstehen.

Unter der„Weglänge" eines optischen Resonators wird der von Licht im optischen Resonator zurückgelegte Weg verstanden. In Folge der Reflektionen an den Resonatorspiegeln, deren Reflektivität vorzugsweise größer als 99% ist, beträgt die Weglänge ein Vielfaches der geometrischen Resonatorlänge. Beispielsweise kann die Weglänge des Lichts im optischen Resonator mehrere Kilometer betragen, während die Resonatorspiegel des optischen Resonators nur einen Abstand von etwa 10 cm bis 200 cm aufweisen. Das Licht bzw. die Lichtpulse können mittels einer Lichtpulserzeugungseinheit erzeugt werden. Die Lichtpulserzeugungseinheit kann z.B. eine gepulste Lichtquelle, beispielsweise eine gepulste LED-Lampe oder ein gepulster Laser sein. Die Lichtpulserzeugungseinheit kann aber auch eine ungepulste Lichtquelle, beispielsweise eine LED-Lampe oder einen Laser, und zusätzlich einen Shutter umfassen. Dabei ist die Pulsfrequenz der Lichtpulserzeugungseinheit bekannt bzw. vorbestimmt. Insbesondere ist die Pulsfrequenz einstellbar. Die Pulsfrequenz kann z.B. einige kHz betragen. Vorzugsweise beträgt die Pulsfrequenz 0,5 bis 50 kHz, mehr bevorzugt 1 bis 30 kHz, noch mehr bevorzugt 2 bis 20 kHz, am bevorzugtesten 5 bis 10 kHz. Die Pulsfrequenz kann auch fest vorgegeben werden, d.h. auf einen bestimmten Wert fixiert sein. Insbesondere kann die Pulsfrequenz innerhalb der vorgenannten Wertebereiche eingestellt werden.

Das Einkoppeln der Lichtpulse kann z.B. über einen Resonatorspiegel des optischen Resonators erfolgen. Insbesondere kann das Einkoppeln der Lichtpulse in den Resonator mittels eines optischen Elements, vorzugsweise einer Linse, erfolgen.

Das von dem Resonator austretende Licht wird mittels einer Detektionseinrichtung detektiert und ein entsprechendes Detektionssignal wird auf Basis des aus dem Resonator austretenden Lichts erzeugt. Dabei wird das Detektionssignal mit Hilfe eines Modulators, welcher eine vorgegebene bzw. bestimmte Modulationsfrequenz aufweist, erzeugt. Das Detektionssignal stellt somit ein mit der Modulationsfrequenz moduliertes Signal dar.

Die Modulationsfrequenz des Modulators entspricht im Wesentlichen der Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse. Alternativ beträgt die Modulationsfrequenz des Modulators im Wesentlichen ein ganzzahliges Vielfaches der Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse. Alternativ beträgt die Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse im Wesentlichen ein ganzzahliges Vielfaches der Modulationsfrequenz des Modulators. Beispielsweise kann die Modulationsfrequenz des Modulators im Wesentlichen das zwei- drei- vierfache usw. oder die Hälfte, ein Drittel, ein Viertel usw. der Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse betragen. Insbesondere stimmt die Modulationsfrequenz des Modulators im Wesentlichen mit der Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse überein. Der Ausdruck „im Wesentlichen" bedeutet in diesem Zusammenhang, dass geringfügige Abweichungen möglich oder sogar gewünscht sind. So können z.B. gewünschte geringfügige Abweichungen vorteilhafterweise dazu führen, dass sich im Laufe der Zeit eine Phasenbeziehung zwischen den Lichtpulsen und die durch den Modulator bewirkte Modulation, insbesondere des durch den Modulator erzeugten Detektionssignals bzw. modulierten Signals oder die durch den Modulator bewirkte Modulation der Lichtpulse, ändert. Insbesondere können die Modulationsfrequenz des Modulators und die Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse eine Abweichung voneinander derart aufweisen, dass in einem ersten Zeitfenster eine erste Phasenbeziehung zwischen den Lichtpulsen und des durch den Modulator erzeugten modulierten Signals bzw. die durch den Modulator bewirkte Modulation der Lichtpulse vorliegt und in einem zweiten Zeitfenster eine zweite Phasenbeziehung zwischen den Lichtpulsen und des durch den Modulator erzeugten modulierten Signals bzw. die durch den Modulator bewirkte Modulation der Lichtpulse vorliegt, wobei sich die erste Phasenbeziehung von der zweiten Phasenbeziehung unterscheidet. Eine solche Phasendrift oder Phasenmodulation kann beim Kalibrieren berücksichtigt werden und die Genauigkeit des Verfahrens erhöhen. Die genaue Größe der gewünschten Abweichung zwischen der Modulationsfrequenz des Modulators und der Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse, welche durch den Begriff „im . Wesentlichen gleich" zum Ausdruck gebracht wird, hängt von physikalischen Parametern wie z.B. von der jeweiligen Messzeit bzw. dem jeweiligen Resonatorzustand und/oder der jeweiligen Frequenz ab. Somit muss eine gegebenenfalls gewünschte Abweichung der Frequenzen für den jeweiligen Einzelfall ermittelt werden. Zur genauen Bestimmung der Abweichung muss im Prinzip eine Intensitätsflanke ausreichend genau bestimmt werden. Die Länge der Flanke hängt aber vom Zustand des Resonators, also dem Lichtweg im Resonator, ab. Sofern eine Abweichung zwischen der Modulationsfrequenz des Modulators und der Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse beabsichtigt ist, sollte die Abweichung der Frequenzen so gewählt werden, dass sich die Phasenbeziehung zwischen den Lichtpulsen und des durch den Modulator erzeugten Detektionssignals innerhalb der Messzeit eines Datenpunktes um weniger als 1/5, insbesondere um weniger als 1/1 0, der geringeren Frequenz von beiden, d.h. der geringeren Frequenz aus der Modulationsfrequenz des Modulators und der Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse, ändert.

Der Modulator kann vorzugsweise derart gesteuert werden, dass seine Modulationsfrequenz eine oben angegebene Beziehung zur Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse aufweist. Mit anderen Worten können die Lichtpulserzeugungseinheit und der Modulator hinsichtlich der Frequenz synchronisiert werden. Folglich liegt auch die Modulationsfrequenz des Modulators in den bezüglich der Lichtpulse genannten Frequenzbereichen. Insbesondere kann die Modulationsfrequenz des aus dem optischen Resonator austretenden Lichts eingestellt werden.

Das modulierte Signal wird vorzugsweise für verschiedene Phasenbeziehungen erzeugt. Auf Basis des modulierten Signals wird schließlich der optische Resonator kalibriert, d.h. zumindest ein Kalibrationsparameter bestimmt bzw. ermittelt bzw. berechnet. Insbesondere wird auf Basis des modulierten Signals die effektive Reflektivität und/oder die Weglänge des optischen Resonators bestimmt bzw. ermittelt bzw. berechnet.

Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren ist es vorteilhafterweise möglich, den optischen Resonator zu kalibrieren. Insbesondere ist es möglich, die effektive Reflektivität und/oder die Weglänge eines optischen Resonators ohne den Einsatz von Verbrauchsmittel oder Gase zu ermitteln. Es kann im Vergleich zu bisherigen Methoden eine hohe absolute Genauigkeit sowie eine sehr gute Reproduzierbarkeit erreicht werden, die auch durch Umwelteinflüsse nur wenig verringert werden. Zudem sind die Anschaffungs-, Bau- und Betriebskosten gering. Insbesondere treten bei vernachlässigbarem Verschleiß keinerlei laufende Kosten auf.

In einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens ist der Modulator ein optischer Modulator, mit welchem das aus dem Resonator austretende Licht moduliert wird. Das modulierte, insbesondere in seiner Intensität variierte Licht wird mittels eines Detektors der Detektionseinrichtung, vorzugsweise für verschiedene Phasenbeziehungen, detektiert bzw. gemessen. Das Kalibrieren erfolgt auf Basis des detektierten modulierten Lichts. Insbesondere entspricht in dieser Ausführungsform das detektierte modulierte Licht dem Detektionssignal bzw. dem modulierten Signal.

Das aus dem Resonator, beispielsweise aus einem zweiten Resonatorspiegel des Resonators, austretende Licht wird mittels eines optischen Modulators moduliert, d.h. die Intensität des austretenden Lichts bzw. der austretenden Lichtpulse wird moduliert bzw. variiert. Im einfachsten Fall wird das aus dem Resonator bzw. dem zweiten Resonatorspiegel austretende Licht mit der Modulationsfrequenz aus- und eingeblendet.

Insbesondere umfasst das Verfahren zur Kalibration eines optischen Resonators die folgenden Schritte:

- Erzeugen von Lichtpulsen bzw. einer Lichtintensitätsmodulation einer bekannten Pulsfrequenz mittels einer Lichtpulserzeugungseinheit (im Folgenden vereinfacht nur als Lichtpulse bezeichnet);

Einkoppeln der Lichtpulse in den Resonator;

Modulieren des aus dem Resonator austretenden Lichts mittels eines optischen Modulators, wobei eine Modulationsfrequenz des optischen Modulators im Wesentlichen gleich der Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse ist oder wobei eine Modulationsfrequenz des optischen Modulators im Wesentlichen ein ganzzahliges Vielfaches der Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse beträgt oder wobei die Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse im Wesentlichen ein ganzzahliges Vielfaches der Modulationsfrequenz des optischen Modulators beträgt;

Detektieren des modulierten Lichts mittels eines Detektors;

Kalibrieren des optischen Resonators auf Basis des detektierten modulierten Lichts.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens umfasst das Erzeugen des modulierten Signals ein Ändern der Sensitivität eines Detektors, insbesondere eines CCD-Sensors, der Detektionseinrichtung mit der Modulationsfrequenz. Alternativ oder zusätzlich umfasst das Erzeugen des modulierten Signals ein mit der Modulationsfrequenz moduliertes Auslesen des Detektors, insbesondere ein Verschieben von detektierten Photoelektronen zwischen einem photosensitiven Register und einem nicht-photosensitiven Ausleseregister des Detektors bzw. des CCD-Sensors mit der Modulationsfrequenz. Mit anderen Worten wird das modulierte Signal (Detektionssignal) dadurch erzeugt, dass die Sensitivität eines, insbesondere schaltbaren bzw. in der Sensitivität einstellbaren, Detektors, insbesondere eines CCD-Sensors, der Detektionseinrichtung mit der Modulationsfrequenz geändert wird. Insbesondere wird das modulierte Signal dadurch erzeugt, dass vom Detektor detektierte Photoelektronen zwischen einem photosensitiven Register und einem nicht-photosensitiven Ausleseregister mit der Modulationsfrequenz verschoben werden. Insbesondere werden die Photoelektronen, die während einer oder mehrerer "Dunkelzeiten" des Modulators gesammelt werden, verworfen bzw. gelöscht bzw. abgeführt. Damit wird erreicht, dass der Detektor zu diesen Zeiten deaktiviert wird bzw. insensitiv ist.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens umfasst das Verfahren vor dem Detektieren des aus dem Resonator austretenden Lichts bzw. insbesondere des modulierten Lichts ein Variieren oder Einstellen einer Phasenbeziehung bzw. Phase zwischen der Lichtpulserzeugungseinheit und dem Modulator. Beispielsweise kann die Phase in Folge einer oben beschriebenen, insbesondere gewünschten, leichten Abweichung zwischen der Pulsfrequenz und der Modulationsfrequenz driften bzw. variieren. Alternativ oder zusätzlich kann zwischen den Lichtpulsen und des durch den Modulator erzeugten modulierten Signals bzw. die durch den optischen Modulator bewirkte Modulation der Lichtpulse, insbesondere mit Hilfe einer Steuereinheit, eine bestimmte Phasenbeziehung oder Phase eingestellt werden. Mit anderen Worten können die Lichtpulse und das modulierte Signal bzw. die durch den optischen Modulator bewirkte Modulation der Lichtpulse vorzugsweise eine bestimmte Phasenbeziehung oder Phase zueinander aufweisen. Die Phasenbeziehung bzw. Phase kann Werte von 0 bis 2π einnehmen. Die Phase bzw. Phasenbeziehung beschreibt insbesondere eine zeitliche und/oder örtliche Beziehung zwischen den Lichtpulsen und der durch den Modulator bewirkten Modulation. Die Phasenbeziehung bzw. Phase kann vorzugsweise geändert werden. Mit anderen Worten ist die Phasenbeziehung bzw. Phase vorzugsweise variierbar bzw. einstellbar.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens umfasst das Detektieren des aus dem Resonator austretenden Lichts bzw. modulierten Lichts ein Detektieren des aus dem Resonator austretenden Lichts bzw. modulierten Lichts für verschiedene Phasenbeziehungen. Mit anderen Worten wird das modulierte Signal für unterschiedliche oder unterschiedlich eingestellte Phasenbeziehungen erzeugt oder wird das von dem optischen Modulator modulierte, d.h. in der Intensität variierte Licht, für unterschiedliche oder unterschiedlich eingestellte Phasenbeziehungen mittels eines Detektors detektiert bzw. gemessen.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens umfasst das Detektieren des aus dem Resonator austretenden bzw. modulierten Lichts ein Erfassen bzw. Ermitteln der Intensität des aus dem Resonator austretenden bzw. modulierten Lichts bei verschiedenen Phasenbeziehungen bzw. Phasen. Mit anderen Worten wird ein phasenabhängiger Intensitätsverlauf erfasst bzw. erstellt. Unter einem phasenabhängigen Intensitätsverlauf werden im Sinne dieser Beschreibung eine Vielzahl von Intensitätswerten für verschiedene Phasenbeziehungen bzw. Phasen verstanden. Dabei kann sich der phasenabhängige Intensitätsverlauf aus diskret gemessenen Intensitätswerten zusammensetzen. Diese diskreten Werte können zu einem kontinuierlichen phasenabhängigen Intensitätsverlauf interpoliert werden. Das Erstellen eines phasenabhängigen Intensitätsverlaufs umfasst somit die Ermittlung der phasenmodulierten Lichtintensität. Insbesondere umfasst das Erstellen eines phasenabhängigen Intensitätsverlaufs das Auftragen der detektierten Lichtintensität in Abhängigkeit der Phase in ein Diagramm. Beispielsweise kann die Lichtintensität, insbesondere die integrierte oder mittlere Lichtintensität, für verschiedene diskrete Phasen zwischen 0 und 2π gemessen werden. Beispielsweise kann die Phase in diskreten Schritten, vorzugweise in 27t/36-Schritten, mehr bevorzugt in 27t/360-Schritten, verändert werden oder auf ausgewählte Werte eingestellt werden. Alternativ kann die Phase während einer laufenden Messung der Lichtintensität, insbesondere von 0 bis 2π, kontinuierlich verändert werden.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens umfasst das Kalibrieren des optischen Resonators ferner ein Charakterisieren oder Parametrisieren des erstellten phasenabhängigen Intensitätsverlaufs mit Hilfe von Charakterisierungsparameter. Charakterisierungsparameter können z.B. Fourierkoeffizienten sein. Alternativ oder zusätzlich können als Charakterisierungsparameter die Lage des Maximums und/oder Minimums, und/oder die Höhe des Maximums und/oder Minimums des erstellten phasenabhängigen Intensitätsverlaufs verwendet werden. Es versteht sich, dass auch andere oder zusätzliche Parameter zur Charakterisierung des erstellten phasenabhängigen Intensitätsverlaufs verwendet werden können. In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens umfasst das Kalibrieren des optischen Resonators ferner ein Abgleichen bzw. Vergleichen des erstellten phasenabhängigen Intensitätsverlaufs mit einer Vielzahl von modellierten phasenabhängigen Intensitätsverläufen, insbesondere mit modellierten phasenabhängigen Intensitätsverläufen, welche für eine Vielzahl unterschiedlicher Weglängen numerisch simuliert oder berechnet wurden. Die Vielzahl an modellierten phasenabhängigen Intensitätsverläufen kann z.B. bereits im Vorfeld der Messung berechnet worden sein und dem vorliegenden erfindungsgemäßen Verfahren bereitgestellt werden. Beispielsweise können die simulierten bzw. modellierten phasenabhängigen Intensitätsverläufe in einem Speicher einer Auswerteeinheit abgelegt oder gespeichert sein.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens umfasst das Kalibrieren des optischen Resonators, insbesondere das Abgleichen des erstellten phasenabhängigen Intensitätsverlaufs mit einer Vielzahl von modellierten phasenabhängigen Intensitätsverläufen, ein Ausgleichen und/oder Fitten auf Basis einer Modellfunktion. Die Modellfunktion kann Charakterisierungsparameter und/oder modellierte phasenabhängige Intensitätsverläufe umfassen. Insbesondere umfasst das Kalibrieren ein Ausgleichen und/oder Fitten des erstellten phasenabhängigen Intensitätsverlaufs an die modellierten phasenabhängigen Intensitätsverläufe. Vorzugsweise umfasst das Ausgleichen und/oder Fitten eine Ausgleichsrechnung. Weiter vorzugsweise umfasst das Ausgleichen und/oder Fitten ein lineares Ausgleichen und/oder lineares Fitten.

Das Fitten erfolgt vorzugsweise mit Hilfe des Levenberg-Marquardt-Algorithmus. Dabei kann die Größe der Restrukturen (RMS) als Maß für die Qualität der Zuordnung dienen. Die Kurve der besten Übereinstimmung indiziert die zum optischen Resonator zugehörige Weglänge.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens umfasst das Detektieren des aus dem Resonator austretenden Lichts und/oder das Erzeugen des modulierten Signals ein Integrieren über eine Vielzahl von modulierten Lichtpulsen, d.h. Zyklen oder Perioden. Das detektierte Licht bzw. die detektierten Lichtpulse wird/werden also über eine Vielzahl von Perioden oder Zyklen integriert. Die Integration kann z.B. über mehrere Millisekunden erfolgen, was einigen Tausend Zyklen entspricht. Mit anderen Worten wird vorzugsweise eine mittlere Intensität des von dem optischen Modulator modulierten Lichts gemessen.

Alternativ oder zusätzlich erfolgt das Detektieren des aus dem Resonator austretenden bzw. modulierten Lichts mittels eines Spektrometers. Wird ein Spektrometer als Detektor verwendet, so kann vorteilhafterweise die Auswertung für jeden Kanal des Spektrometers einzeln durchgeführt werden.

Ein weiterer unabhängiger Aspekt zur Lösung der Aufgabe betrifft eine Resonatorvorrichtung, umfassend: einen optischen Resonator;

eine Lichtpulserzeugungseinheit zur Erzeugung von Lichtpulsen mit einer bekannten Pulsfrequenz, welche in den optischen Resonator eingekoppelt werden können; und

- eine Detektionseinrichtung zum Erzeugen eines von dem zu detektierenden

Licht abhängigen Detektionssignals (also auf Basis des aus dem Resonator austretenden Lichts), wobei die Detektionseinrichtung ausgelegt ist, das Detektionssignal mit Hilfe eines Modulators als ein mit einer Modulationsfrequenz moduliertes Signal zu erzeugen, wobei die Modulationsfrequenz im Wesentlichen gleich der Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse ist oder wobei die Modulationsfrequenz im Wesentlichen ein ganzzahliges Vielfaches der Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse beträgt oder wobei die Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse im Wesentlichen ein ganzzahliges Vielfaches der Modulationsfrequenz beträgt. Insbesondere umfasst die Detektionseinrichtung dazu einen entsprechenden Modulator.

Vorzugsweise eignet sich die Resonatorvorrichtung zur Messung von Gasen bzw. Spurengasen. In einer bevorzugten Ausführungsform ist der Modulator ein optischer Modulator zum Modulieren des aus dem Resonator austretenden Lichts mit der Modulationsfrequenz. Zudem umfasst die Detektionseinrichtung einen Detektor zum Detektieren des modulierten Lichts. Insbesondere umfasst die Resonatorvorrichtung:

einen optischen Resonator;

einer Lichtpulserzeugungseinheit zur Erzeugung von Lichtpulsen mit einer bekannten Pulsfrequenz, welche in den optischen Resonator eingekoppelt werden können;

- einen optischen Modulator zum Modulieren des aus dem Resonator austretenden Lichts mit einer Modulationsfrequenz, wobei die Modulationsfrequenz des optischen Modulators im Wesentlichen gleich der Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse ist oder wobei die Modulationsfrequenz des optischen Modulators ein ganzzahliges Vielfaches der Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse entspricht oder wobei die Pulsfrequenz der erzeugten Lichtpulse im Wesentlichen ein ganzzahliges Vielfaches der Modulationsfrequenz des optischen Modulators beträgt;

- einen Detektor zum Detektieren des modulierten Lichts.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Resonatorvorrichtung umfasst der optische Modulator eine Chopper-Einheit. Die Chopper-Einheit kann z.B. einen Stimmgabel-Chopper, eine DLP-Einheit (DLP = Digital Light Processing), einen Flüssigkristall (Liquid Crystal), ein Schlitzrad, einen rotierenden Polygonspiegel, einen akustooptischen Modulator oder einen elektrooptischen Modulator umfassen. Insbesondere bei der Verwendung elektronischer optischer Modulatoren, beispielsweise eines Flüssigkristall-Element- Shutters, können vorteilhafterweise mechanische Elemente und somit der Verschleiß solcher mechanischer Elemente vermieden werden.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform umfasst die Detektionseinrichtung einen Detektor, insbesondere einen CCD-Chip bzw. CCD-Sensor, welcher mittels des Modulators schaltbar und/oder in seiner Sensitivität einstellbar ist. Insbesondere kann der Detektor mit Hilfe des Modulators aktiviert und deaktiviert bzw. ein- und ausgeschalten werden. Beispielsweise kann das Steuern oder Schalten bzw. das Einstellen der Sensitivität des Detektors bzw. CCD-Chips über eine an den Detektor angelegte Spannung erfolgen. Damit in der photosensitiven Schicht eines CCD- Sensors Photonen in Elektronen gewandelt und gesammelt werden, muss z.B. eine geeignete Spannung angelegt werden.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform umfasst die Vorrichtung ferner eine Steuereinheit zum Ansteuern der Lichtpulserzeugungseinheit und/oder des Modulators und/oder zum Einstellen einer Phasenbeziehung zwischen der Lichtpulserzeugungseinheit und dem Modulator.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform umfasst die Detektionseinrichtung ein Spektrometer bzw. ist der Detektor ein Spektrometer. Somit kann mit der erfindungsgemäßen Resonatorvorrichtung beispielsweise auch eine Cavity Enhanced DOAS und/oder eine BB-CEAS Messung durchgeführt werden. Das Spektrometer kann also vorteilhafterweise nicht nur als Detektor für die Bestimmung der Weglänge des optischen Resonators verwendet werden, sondern auch zur Bestimmung der Konzentration von Spurengasen. Dies hat den synergetischen Effekt, dass mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung nicht nur die Spurengaskonzentration mittels Cavity Enhanced DOAS und/oder BB-CEAS gemessen werden kann, sondern zugleich auch die dafür notwendige Kalibration, d.h. die Bestimmung der effektiven Reflektivität und/oder der Weglänge des für die Cavity Enhanced DOAS und/oder der BB-CEAS verwendeten optischen Resonators, durchgeführt werden kann. Zudem kann bei der Bestimmung der Weglänge des optischen Resonators vorteilhafterweise die maximale Auflösung erreicht werden, wie sie auch während der eigentlichen Messung, d.h. bei der berührungslosen Bestimmung von Spurengasen, genutzt wird.

Vorzugsweise ist die erfindungsgemäße Resonatorvorrichtung eine Cavity Enhanced DOAS- oder eine BB-CEAS-Vorrichtung mit einer integrierten Kalibratiönsmöglichkeit, insbesondere mit einer Autokalibrationsfunktion. In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform umfasst die erfindungsgemäße Resonatorvorrichtung eine Auswerteeinheit zum Kalibrieren des optischen Resonators, d.h. zum Ermitteln von Kalibrationsparametern, insbesondere zum Bestimmen der Reflektivität und/oder der Weglänge des optischen Resonators auf Basis des von der Detektionseinrichtung erzeugten modulierten Signals bzw. auf Basis des detektierten modulierten Lichts.

Die Auswerteeinheit umfasst vorzugsweise einen Speicher zum Speichern einer Vielzahl von modellierten bzw. simulierten phasenabhängigen Intensitätsverläufen. Weiter vorzugsweise umfasst die Auswerteeinheit einen Mikroprozesser zum Durchführen einer Auswertung der. detektierten bzw. gemessenen Intensitäten, insbesondere zum Abgleichen oder Vergleichen eines oder mehrerer gemessener phasenabhängiger Intensitätsverläufe mit den gespeicherten modellierten phasenabhängigen Intensitätsverläufen. Die Auswerteeinheit kann insbesondere einen Computer umfassen. Zusätzlich kann die Auswerteeinheit ein Ausgabegerät, z.B. einen Bildschirm und/oder einen Drucker, zum Anzeigen und/oder Ausgeben der gemessenen Werte bzw. zum Anzeigen und/oder Ausgeben der ermittelten Werte für die Kalibrationsparameter, insbesondere der effektiven Reflektivität und/oder der Weglänge des optischen Resonators.

Ein weiterer unabhängiger Aspekt zur Lösung der Aufgabe betrifft die Verwendung der erfindungsgemäßen Resonatorvorrichtung zur Messung von Gasen bzw. Spurengasen und/oder Partikeln und/oder Streuungsintensitäten. Insbesondere kann die erfindungsgemäße Resonatorvorrichtung für eine Cavity Enhanced DOAS und/oder für eine BB-CEAS verwendet werden. Vorzugsweise ist hierzu der Detektor ein Spektrometer. Es versteht sich, dass die erfindungsgemäße Resonatorvorrichtung grundsätzlich für alle auf einen Resonator bezogenen spektroskopischen Messsysteme verwendet werden kann.

Somit können vorteilhafterweise die Messung von Spurengasen und die dafür notwendige Bestimmung der Weglänge des optischen Resonators mit nur einer einzigen Vorrichtung vorgenommen werden. Der Befehl für die Durchführung einer Kalibration bzw. Weglängenbestimmung kann automatisch, insbesondere elektronisch, erfolgen oder im Rahmen einer routinemäßigen Kalibration. Es muss keine aufwendige Modifikation am Messaufbau durchgeführt werden. Die Messung bedarf keiner Überwachung, d.h. die Messung kann automatisch ohne Anwesenheit eines Experimentators ablaufen. Ein weiterer Vorteil ist, dass die eigentliche Messung, d.h. die Messung der Konzentration von Spurengasen, zur Kalibration nicht unterbrochen werden muss. Vielmehr können auch während der Kalibration, d.h. der Weglängenbestimmung des optischen Resonators, Spektren aufgenommen werden, die zur spektralen Auswertung im Hinblick auf Spurenstoff-Konzentrationen herangezogen werden können. Die erfindungsgemäße Resonatorvorrichtung kann somit als Cavity Enhanced DOAS- und/oder als BB-CEAS-Messgerät mit integrierter Kalibration (Weglängenbestimmung des Resonators) verwendet werden. Ein weiterer unabhängiger Aspekt zur Lösung der Aufgabe betrifft die Verwendung eines schaltbaren Detektors, insbesondere eines CCD-Sensors, oder eines optischen Modulators, insbesondere einer Chopper-Einheit wie beispielsweise ein Stimmgabel- Chopper, eine DLP-Einheit, ein Flüssigkristall, ein Schlitzrad, ein rotierender Polygonspiegel, ein akustooptischer Modulator oder ein elektrooptischer Modulator, zur Kalibration bzw. zum Bestimmen der effektiven Reflektivität und/oder der Weglänge eines optischen Resonators. Der schaltbare Detektor bzw. der optische Modulator sind dabei ausgelegt, ein moduliertes Signal auf Basis von aus dem optischen Resonator austretendem Licht zu erzeugen.

Dies ermöglicht die Kalibration ohne Verbrauchsmittel oder Gase und liefert zudem eine hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit der Messung.

Ein weiterer unabhängiger Aspekt zur Lösung der Aufgabe betrifft ein Computerprogrammprodukt, welches maschinenlesbaren Programmcode umfasst, der, wenn er geladen wird auf einem Computer, zur Ausführung des oben beschriebenen erfindungsgemäßen Verfahrens geeignet ist. Insbesondere ist unter einem Computerprogrammprodukt ein auf einem Datenträger gespeichertes Programm zu verstehen. Insbesondere ist der Programmcode auf einem Datenträger gespeichert. Mit anderen Worten umfasst das Computerprogrammprodukt computerlesbare Anweisungen, welche, wenn geladen in einen Speicher eines Computers und ausgeführt von dem Computer, bewirken, dass der Computer ein oben beschriebenes erfindungsgemäßes Verfahren durchführt. Für die oben genannten weiteren unabhängigen Aspekte und insbesondere für diesbezügliche bevorzugte Ausführungsformen gelten auch die vor- oder nachstehend gemachten Ausführungen zu den Ausführungsformen des ersten Aspekts. Insbesondere gelten für einen unabhängigen Aspekt der vorliegenden Erfindung und für diesbezügliche bevorzugte Ausführungsformen auch die vor- und nachstehend gemachten Ausführungen zu den Ausführungsformen der jeweils anderen Aspekte.

Im Folgenden werden einzelne Ausführungsformen zur Lösung der Aufgabe anhand der Figuren beispielhaft beschrieben. Dabei weisen die einzelnen beschriebenen Ausführungsformen zum Teil Merkmale auf, die nicht zwingend erforderlich sind, um den beanspruchten Gegenstand auszuführen, die aber in bestimmten Anwendungsfällen gewünschte Eigenschaften bereit stellen. So sollen auch Ausführungsformen als unter die beschriebene technische Lehre fallend offenbart angesehen werden, die nicht alle Merkmale der im Folgenden beschriebenen Ausführungsformen aufweisen. Ferner werden, um unnötige Wiederholungen zu vermeiden, bestimmte Merkmale nur in Bezug auf einzelne der im Folgenden beschriebenen Ausführungsformen erwähnt. Es wird darauf hingewiesen, dass die einzelnen Ausführungsformen daher nicht nur für sich genommen sondern auch in einer Zusammenschau betrachtet werden sollen. Anhand dieser Zusammenschau wird der Fachmann erkennen, dass einzelne Ausführungsformen auch durch Einbeziehung von einzelnen oder mehreren Merkmalen anderer Ausführungsformen modifiziert werden können. Es wird darauf hingewiesen, dass eine systematische Kombination der einzelnen Ausführungsformen mit einzelnen oder mehreren Merkmalen, die in Bezug auf andere Ausführungsformen beschrieben werden, wünschenswert und sinnvoll sein kann, und daher in Erwägung gezogen und auch als von der Beschreibung umfasst angesehen werden soll. Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Figur 1 zeigt ein schematisches Diagramm zur prinzipiellen

Funktionsweise der erfindungsgemäßen Resonatorvorrichtung; Figur 2 zeigt eine schematische Darstellung des Aufbaus der erfindungsgemäßen Resonatorvorrichtung gemäß einer Ausführungsform;

Figur 3 zeigt beispielhafte Kurvenverläufe für zwei Zeit-Zyklen zur

Erklärung des Prinzips des erfindungsgemäßen Verfahrens; dabei zeigt: Figur 3a beispielhafte Lichtpulse;

Figur 3b die von den Lichtpulsen gemäß der Figur 4a resultierende

Photonenpopulation im Resonator;

Figur 3c eine beispielhafte optische Modulation für zwei unterschiedliche

Phasenbeziehungen ξι und ξ2; Figur 3d die beim Detektor ankommende instantane sowie die integrierte bzw. gemittelte Lichtintensität für zwei unterschiedliche Phasenbeziehungen ξι und 2\

Figur 4 zeigt einen beispielhaft modellierten 3D-Plot der durch den optischen Modulator transmittierten Lichtintensität in Abhängigkeit von der Phase ξ und der Abklingzeit τ;

Figur 5 zeigt modellierte phasenabhängige Intensitätsverläufe für unterschiedliche Abklingzeiten bzw. Weglängen;

Figur 6 zeigt die Genauigkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens anhand beispielhafter Messkurven der mit verschiedenen Methoden bestimmten Weglänge eines optischen Resonators in Abhängigkeit von der Wellenlänge λ des in den Resonator eingekoppelten Lichts;

Figur 7 zeigt die Reproduzierbarkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens anhand von fünf aufeinanderfolgenden beispielhaften Messkurven der ermittelten Weglänge eines optischen Resonators in Abhängigkeit von der Wellenlänge λ des in den Resonator eingekoppelten Lichts; Figur 8 zeigt beispielhafte Messkurven der ermittelten Weglänge eines optischen Resonators in Abhängigkeit von der Wellenlänge λ des in den Resonator eingekoppelten Lichts für unterschiedliche Modulationsfrequenzen.

Figur 9 zeigt schematische Skizzen zur Erzeugung eines

Detektionssignals bzw. modulierten Signals mit Hilfe eines schaltbaren Detektors. Dabei ist in der Figur 9a eine Modulation der Sensitivität des Detektors gezeigt. Die Figur 9b veranschaulicht ein photosensitives Register und ein nicht- photosensitives Auslese-Register des Detektors. In der Figur 9c ist ein Sammeln von Photoelektronen zum Erzeugen des modulierten Signals und ein Auslesen des modulierten Signals angedeutet.

Detaillierte Beschreibung der Zeichnungen

Bei der Bestimmung von Spurengasen wird das charakteristische Absorptionsverhalten verschiedenen Absorber ausgenutzt, um diese eindeutig zu identifizieren und deren Konzentrationsgehalt zu bestimmen. Zur Verbesserung der Messergebnisse wird bei der CE-DOAS und der BB-CEAS Methode ein optischer Resonator als Messzelle verwendet. Für die Auswertung der Messergebnisse ist es jedoch erforderlich, dass die Weglänge L(Ä) des für die Messung verwendeten optischen Resonators, sowohl in ihrer spektralen Form als auch absolut, mit ausreichender Genauigkeit vorliegt.

Zur Kalibration bzw. zur Bestimmung der effektiven Reflektivität und/oder der Weglänge eines optischen Resonators dient die in der Figur 1 mittels eines Flussdiagramms schematisch dargestellte erfindungsgemäße Resonatorvorrichtung 100. Die Resonatorvorrichtung 100 umfasst eine Lichtquelle 10, einen optischen Resonator 20, einen optischen Modulator 30, einen Detektor 40 und eine Steuereinheit 50. Die Lichtquelle 10 wird moduliert bzw. gepulst betrieben, d.h. das von der Lichtquelle ausgesandte Licht weist eine modulierte bzw. gepulste Intensität auf. Mit anderen Worten sendet die Lichtquelle 10 Lichtpulse einer bestimmten Frequenz aus. Alternativ ist es auch möglich, eine ungepulste Lichtquelle z.B. in Kombination mit einem Shutter zu verwenden, um die Lichtpulse zu erzeugen. Zur Erzeugung der Lichtpulse wird somit allgemein eine Lichtpulserzeugungseinheit verwendet. Der optische Resonator 20 kann als Messzelle, beispielsweise als DOAS-Messzelle, dienen. Der optische Modulator moduliert das von dem optischen Resonator 20 ausgekoppelte Licht mit einer bestimmten Modulationsfrequenz. Mit Hilfe des Detektors 40 wird das vom optischen Modulator 30 modulierte Licht detektiert. Die Steuereinheit 50 steuert die Lichtpulserzeugungseinheit bzw. die Lichtquelle 0 und den optischen Modulator 30. Insbesondere kann mit der Steuereinheit 50 die Lichtpulsfrequenz und die Modulationsfrequenz geregelt oder eingestellt werden. Dabei ist die Steuereinheit 50 ausgelegt, die Frequenzen derart einzustellen, dass die Lichtpulsfrequenz und die Modulationsfrequenz im Wesentlichen übereinstimmen oder dass die Lichtpulsfrequenz im Wesentlichen ein ganzzahliges Vielfaches der Modulationsfrequenz beträgt oder dass die Modulationsfrequenz im Wesentlichen ein ganzzahliges Vielfaches der Lichtpulsfrequenz beträgt. Mit anderen Worten steuert die Steuereinheit 50 die Lichtpulserzeugungseinheit, d.h. die Lichtquelle 10 und/oder die Leistungseinheit 1 , und den optischen Modulator 30. Insbesondere können die Lichtpulserzeugungseinheit und der optische Modulator 30, d.h. die Lichtpulsfrequenz und die Modulationsfrequenz, miteinander synchronisiert werden. Beispielsweise kann diese Synchronisation mittels der Steuereinheit 50 erfolgen.

Die Figur 2 zeigt eine schematische Darstellung des detaillierten Aufbaus der erfindungsgemäßen Resonanzvorrichtung 100 gemäß einer Ausführungsform. Der Aufbau umfasst wiederum eine Lichtquelle 10, hier eine LED-Lampe, einen optischen Resonator 20 mit einem ersten Resonatorspiegel 22 und einem zweiten Resonatorspiegel 24, einem optischen Modulator 30, einem Detektor 40 und einer Steuereinheit 50.

Die LED-Lampe 10 wird mit Hilfe einer LED Leistungseinheit 1 mit Energie bzw. Spannung versorgt. Das von der LED-Lampe 10 erzeugte gepulste Licht wird über eine Einkopplungslinse 16 in den optischen Resonator 20 eingekoppelt. ^' In dem Resonator wird das eingekoppelte Licht von den beiden Resonatorspiegeln 22 und 24 vielfach hin- und herreflektiert, bis es schließlich, abhängig von der jeweiligen Reflektivität der Spiegel, den Resonator 20 über den zweiten Resonatorspiegel 24 verlässt. Das ausgekoppelte Licht wird über eine Auskoppellinse 26 in eine erste optische Faser 28 eingebracht, mit deren Hilfe das Licht bzw. die Lichtpulse zu dem optischen Modulator 30 umgelenkt werden kann bzw. können. Die erste Lichtfaser 28 hat in diesem Ausführungsbeispiel einen Durchmesser von 400 μηη und eine numerische Apertur von NA = 0,22. Mittels einer ersten Modulatorlinse 32 gelangt das von der ersten Lichtfaser 28 umgelenkte Licht in den optischen Modulator 30, welcher in dem Ausführungsbeispiel der Figur 2 eine Schlitzrad-Vorrichtung darstellt. Insbesondere wird die erste Lichtfaser 28 mittels der ersten Modulatorlinse 32 in eine Schlitzrad-Ebene projiziert. Die Schiitzrad-Vorrichtung umfasst einen Motor 34 und ein geschlitztes Rad 35, welches von dem Motor 34 angetrieben und in Rotation versetzt wird. Das Schlitzrad hat z.B. einen Durchmesser von 30 cm und weist 100 über den Umfang des Schlitzrads gleichmäßig angeordnete Schlitze auf. Es versteht sich, dass natürlich auch ein Schlitzrad mit einem anderen Durchmesser und/oder einer anderen Anzahl von Schlitzen verwendet werden kann. Durch den optischen Modulator bzw. der Schlitzrad-Vorrichtung 30 wird das von dem Resonator 20 ausgekoppelte Licht in seiner Intensität moduliert. Die Modulation erfolgt dabei mit einer bestimmten Modulationsfrequenz, die in dem Ausführungsbeispiel der Figur 2 durch die Rotationsfrequenz des Schlitzrades 35 bestimmt wird.

Das vom optischen Modulator 30 bzw. der Schlitzrad-Vorrichtung modulierte Licht wird schließlich mittels einer zweiten Modulatorlinse 36 in eine zweite Lichtfaser 38 eingebracht, in der das Licht zum Detektor 40 geführt wird. Mit anderen Worten wird das virtuelle Bild der ersten Lichtfaser 28 mittels der zweiten Modulatorlinse 36 in die zweite Lichtfaser 38 projiziert. Die zweite Lichtfaser 38 weist in dem gezeigten Ausführungsbeispiel ebenfalls einen Durchmesser von 400 μηι und eine numerische Apertur von NA = 0,22 auf. Sowohl die LED-Leistungseinheit 1 wie auch der Motor 34 des optischen Modulators 30 werden mit der Steuereinheit 50 gesteuert. Die Steuereinheit 50 ist dabei derart ausgelegt, dass die Frequenz der von der LED-Lampe 10 erzeugten Lichtpulse mit der Modulationsfrequenz des optischen Modulators 30 im Wesentlichen übereinstimmt. Zudem ist die Steuereinheit 50 ausgelegt, eine Phasenverschiebung ξ zwischen der gepulst betriebenen Lichtquelle 10 und dem optischen Modulator 30 einzustellen. Die Phasenverschiebung ξ kann von 0° bis 360° beispielsweise in 1 °-Schritten, eingestellt werden.

Die wesentliche Innovation der vorliegenden Erfindung ist das Einfügen des optischen Modulators 30, wie z.B. eines rotierendes Schlitzrades, eines Stimmgabel-Choppers, eines Flüssigkristall-Element-Choppers oder eines beliebig anderen optischen Modulators, in herkömmliche CE-DOAS oder BB-CEAS Geräte zur Kalibration. Mit dem neuartigen Aufbau wird auch ein im Bereich optischer Resonatoren neuartiges Verfahren bzw. ein neuartiger Messalgorithmus für die Bestimmung der Weglänge bereitgestellt. Das Prinzip des erfindungsgemäßen Verfahrens wird nachfolgend anhand von Figur 3 näher erläutert. Die Figur 3 zeigt das Prinzip des erfindungsgemäßen Verfahrens, insbesondere die dynamischen Vorgänge, die während zwei Pulszyklen ablaufen.

In der Figur 3a sind zwei Lichtpulse der Lichtpulserzeugungseinheit bzw. der Lichtquelle 10 dargestellt. Die Lichtquelle 10 wird moduliert, d.h. im Pulsbetrieb betrieben, mit einer Frequenz von wenigen kHz, insbesondere von 1 bis 10 kHz.

Die Figur 3b zeigt die dadurch resultierende Photonenpopulation im Resonator, welche zur Ausgangsintensität des Lichts proportional ist. Die Photonen-Population im Resonator passt sich den Lichtpulsen an. Typische Zeitkonstanten dafür sind kleiner als 20 με, die Weglängen kleiner als 6 km entsprechen. Die Intensität des vom Resonator 20 ausgekoppelten Lichts ist proportional zur Zahl der Photonen im Resonator. Der zwischen Resonator 20 und Detektor 40 angeordnete optische Modulator 30 transmittiert und blockiert abwechselnd den Lichtweg zum Detektor 40 mit definierter Phasenbeziehung zum Lichtpuls.

Die Figur 3c zeigt eine durch den optischen Modulator 30 bewirkte Modulation des vom Resonator 20 ausgekoppelten Lichts für zwei exemplarische Phasenbeziehungen ξι und ξ2 zwischen der gepulsten Lichtquelle 10 und dem optischen Modulator 30. Die durchgezogene Kurve entspricht einer ersten Phasenbeziehung ξι und die gestrichelte Kurve entspricht einer zweiten Phasenbeziehung z. Die beim Detektor 40 ankommende Intensität ist, wieder für die zwei beispielhaften Phasenbeziehungen ξι und ξ2, in der Figur 3d gezeigt. Wie in der Figur 3c entspricht auch in der Figur 3d die durchgezogene Kurve der ersten Phasenbeziehung ξι und die gestrichelte Kurve der zweiten Phasenbeziehung ξ2. Es ist jeweils sowohl die beim Detektor instantan ankommende Intensität als auch die über mehrere Perioden gemittelte Intensität (horizontale Geraden) dargestellt. Die instantane Intensität und die gemittelte Intensität sind jeweils eine Funktion der Abklingzeit τ bzw. der Weglänge L und der Phasenbeziehung bzw. Phase ξ zwischen Lichtpuls und optischem Modulator 30. Der Detektor 40 integriert über mehrere tausend Zyklen, d.h. über mehrere Millisekunden und misst auf diese Weise die mittlere Intensität. Da nur die mittlere Intensität gemessen wird, ist auch ein Spektrometer, welches für eine spektroskopische Messung, wie z.B. eine DOAS-Messung, benutzt wird, als Detektor 40 geeignet. Damit kann die Weglänge (X) auch spektral bestimmt werden.

Diese mittlere Intensität I kann numerisch in Abhängigkeit der Lichtpulsform, der Transmissionskurve des optischen Modulators, der Phasenbeziehung ξ, sowie der Weglänge L berechnet werden. Für die numerische Berechnung der modellierten phasenabhängigen Intensitätsverläufe wird zunächst die Photonenzahl bzw. die Ladung im Resonator auf Basis des Lichtpulsprofils der Lichtquelle modelliert. Schließlich wird die Transmission zum Detektor bzw. Spektrometer auf Basis des Transmissionsprofils des optischen Modulators berechnet. Das Lichtpulsprofil der Lichtquelle und das Transmissionsprofil des optischen Modulators können dabei bekannt bzw. vorbestimmt sein oder, insbesondere mittels einer Photodiode, gemessen werden. Die Transmission zum Detektor wird nacheinander für verschiedene Abklingzeiten τ bzw. Weglängen L und Phasen ξ modelliert. Auf diese Weise können die modellierten phasenabhängigen Intensitätsverläufe erhalten werden. Die numerische Berechnung erfolgt auf Basis eines diskreten Zeitinkrements, welches je nach gewünschter Genauigkeit gewählt werden kann. Beispielsweise beträgt das diskrete Zeitinkrement 10 ns. Die numerische Berechnung der modellierten phasenabhängigen Intensitätsverläufe kann mit herkömmlichen Programmiertechniken, beispielsweise unter Verwendung der Programmiersprache C++, erfolgen. Die charakteristische Form der I )-Spektfen wird zur Kalibration des optischen Resonators bzw. zur Weglängenbestimmung herangezogen. Alternativ oder zusätzlich zu einem Vergleich des gemessenen bzw. erstellten phasenabhängigen Intensitätsverlaufs mit den modellierten phasenabhängigen Intensitätsverläufen kann die Kalibration des optischen Resonators auch durch eine Parametrisierung des gemessenen bzw. erstellten phasenabhängigen Intensitätsverlaufs erfolgen.

In der Figur 4 ist ein beispielhafter 3D-Plot der durch den optischen Modulator transmittierten Lichtintensität in Abhängigkeit der Phase ξ und der Abklingzeit τ gezeigt. Der 3D-Plot wurde für eine Modulationsfrequenz von 10 kHz modelliert. Die in dem 3D-Plot dargestellten unterschiedlichen Strukturen bzw. Muster bedeuten jeweils eine unterschiedliche Lichtintensität. Die durch den optischen Modulator transmittierte Lichtintensität ist somit eine Funktion sowohl der Phase ξ zwischen Chopper und Lichtpuls als auch der Abklingzeit τ bzw. der Weglänge L des optischen Resonators. Diese Abhängigkeit kann genutzt werden, um durch Messung der durch den optischen Modulator transmittierten Lichtintensität in Abhängigkeit von der Phase ξ, d.h. durch Messung von Phasenspektren, die Weglänge L des optischen Resonators zu bestimmen.

Der Messablauf kann wie folgt erfolgen: Die Lichtquelle (LED) 10 wird moduliert bzw. gepulst betrieben. Mit gleicher Frequenz wird der optische Modulator 30 betrieben. Durch die Wahl von verschiedenen Phasenbeziehungen ξ wird nun ein phasenmoduliertes Spektrum Ι(ξ) aufgenommen. Bei der Verwendung eines Spektrometers als Detektor 40 entsteht so für jeden Kanal des Spektrometers ein eigenes Spektrum Ι(ξ) gemäß der Figur 5.

Die Figur 5 zeigt modellierte phasenabhängige Intensitätsverläufe des vom optischen Modulator modulierten Lichts für unterschiedliche Abklingzeiten τ bzw. Weglängen L, wobei in diesem Beispiel entsprechend der Figur 4 eine Modulationsfrequenz von 10 kHz gewählt wurde. Wie aus der Figur 5 hervorgeht, ergibt sich für verschiedene Weglängen L jeweils ein charakteristischer phasenabhängiger Verlauf der Intensität Ι(ξ), d.h. jeweils ein charakteristisches phasenabhängiges Intensitätsspektrum. Die Kalibration bzw. die Bestimmung der Weglänge kann somit über einen Abgleich des gemessenen I^)-Spektrums mit einer Vielzahl von modellierten I^)-Spektren erfolgen. Die modellierten I^)-Spektren werden numerisch für verschiedene Weglängen berechnet. Der Abgleich kann z.B. durch lineares Fitten mithilfe des Levenberg-Marquardt-Algorithmus erfolgen, wobei die Größe der Restrukturen (RMS) als Maß für die Qualität der Zuordnung dient. Die Kurve der besten Übereinstimmung indiziert die zugehörige Weglänge L. Bei der Verwendung des Spektrometers als Detektor 40 wird die Auswertung für jeden Kanal einzeln durchgeführt. Auf diese Weise ist es möglich, die Weglänge L(Ä) des optischen Resonators, sowohl in ihrer spektralen Form als auch absolut, mit hoher Genauigkeit zu bestimmen.

In den Figuren 6 bis 8 sind beispielhafte Messungen gezeigt, aus denen hervorgeht, dass das erfindungsgemäße Verfahren eine hohe Genauigkeit und eine hohe Reproduzierbarkeit aufweist. Zudem ist gezeigt, dass das erfindungsgemäße Verfahren bei unterschiedlichen Modulationsfrequenzen eingesetzt werden kann.

Die Figur 6 zeigt beispielhafte Messkurven der mit verschiedenen Methoden bestimmten Weglänge L(X) eines typischen optischen Resonators in Abhängigkeit von der Wellenlänge λ des in den Resonator eingekoppelten Lichts. Dabei bezeichnet ICOM (Integrated Calibration by means of Optical Modulation) das erfindungsgemäße Verfahren, welches in der Figur 6 mit einer Helium-Kalibration und der Narrow Band Cavity Ringdown (NB-CRD) Methode verglichen wird. Es besteht eine hohe Übereinstimmung der verschiedenen Methoden. Im Vergleich zu dem erfindungsgemäßen Verfahren ICOM ist die spektrale Abdeckung bei NB-CRD begrenzt. Die Helium-Kalibration liefert teilweise (in diesem Fall bei kurzen Wellenlängen) offensichtlich falsche (negative) Werte. Insofern ist das erfindungsgemäße Verfahren ICOM den herkömmlichen Verfahren überlegen.

Die Figur 7 zeigt die Reproduzierbarkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens. Dazu wurden fünf Messungen nacheinander ausgeführt und die jeweiligen Ergebnisse der Weglängenbestimmung verglichen. Die einzelnen Messreihen zeigen für sämtliche Wellenlängen Differenzen von nur wenigen Metern. Diese geringen Unterschiede sind in der Figur 7 nicht ersichtlich, da die Messkurven in der gewählten Skala quasi übereinanderliegen. Die Präzision und die Reproduzierbarkeit der Weglängenbestimmung eines optischen Resonators mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens sind daher sehr gut. Die Figur 8 zeigt beispielhafte Messkurven der ermittelten Weglänge eines optischen Resonators in Abhängigkeit von der Wellenlänge λ des in den Resonator eingekoppelten Lichts für unterschiedliche Modulationsfrequenzen. Auf diese Weise wurde die Anwendbarkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens bei der Verwendung von langsamen Modulatoren getestet. Wie aus der Figur 8 hervorgeht, ist das erfindungsgemäße Verfahren auch noch bei Modulationsfrequenzen von wenigen kHz einsetzbar und damit für die Umsetzung mit elektronisch optischen Modulatoren, insbesondere LCD-Choppern, geeignet.

In der Figur 9 ist anhand schematischer Skizzen die Erzeugung eines Detektionssignals bzw. modulierten Signals mit Hilfe eines schaltbaren Detektors, insbesondere eines CCD-Sensors bzw. CCD-Chips, dargestellt. Anstelle einer Modulation des von dem optischen Resonator austretenden Lichts mittels eines optischen Modulators 30 wird der Betriebszustand bzw. die Sensitivität des Detektors 40 moduliert.

Zwar kann der Modulator dabei in einer bevorzugten Ausführungsform nach wie vor ein optischer Modulator, insbesondere eine Blende, sein. Jedoch ist in einer anderen bevorzugten Ausführungsform z.B. im Falle eines CCD-Chips als Detektor 40 keine mechanische Blende notwendig. Damit in der photosensitiven Schicht des CCD-Chips Photonen in Elektronen gewandelt und gesammelt werden, wird insbesondere eine geeignete Spannung angelegt. Die Modulation erfolgt somit in dieser alternativen Ausführungsform nicht optisch, sondern vorzugsweise elektrisch, insbesondere durch ein Einstellen bzw. Schalten einer an den Detektor angelegten Spannung. Der Modulator umfasst in dieser Ausführungsform eine Spannungsquelle, mit der die Sensitivität des Detektors bzw. CCD-Chips 40 eingestellt bzw. geschaltet werden kann. Insbesondere kann der Detektor bzw. dessen Sensitivität oder Betriebszustand aktiviert und deaktiviert, d.h. ein- und ausgeschaltet werden.

Das aus dem Resonator austretende Licht trifft in dieser alternativen zweiten Ausführungsform unmoduliert auf den CCD-Chip 40, der aber passend„sensitiv" bzw. „nicht-sensitiv" geschaltet wird. Das Schema, nach dem der CCD-Chip 40 „sensitiv" bzw.„nicht-sensitiv" geschaltet wird, entspricht genau dem Schema, nach dem in der eingangs beschriebenen ersten Ausführungsform der optische Modulator 30 das Licht ein- und ausgeblendet hat, und die restlichen Verfahrensschritte zur Kalibrierung sind demnach identisch bzw. analog zur ersten Ausführungsform. Im Vergleich zur ersten Ausführungsform, bei der ein optischer Modulator 30 verwendet wird, ist in der zweiten Ausführungsform die Modulationsfunktionalität direkt in den CCD-Chip 40, welcher wiederum Teil eines Spektrometers sein kann, integriert. Der Detektor bzw. CCD-Chip 40 selbst, welcher zum Auslesen der Spektren verwendet wird, sorgt also für die erforderliche Modulation. Mit anderen Worten wird in dieser zweiten Ausführungsform der optische Modulator 30 durch eine bestimmte Auslese-Prozedur mit Hilfe des schaltbaren Detektors 40 ersetzt. Das Prinzip ist hierbei, dass Photonen nur während bestimmter Zeitfenster detektiert werden. Diese Zeitfenster entsprechen somit den geöffneten Positionen des optischen Modulators bzw. Shutters.

In der Figur 9a sind die aktiven Zeitfenster 44, in denen Photonen detektiert werden bzw. in denen der Detektor 40 aktiv bzw. sensitiv geschaltet ist, schematisch dargestellt und von 1 bis n durchnummeriert. Mit n ist somit die Anzahl der Zeitfenster 44 bezeichnet, in denen der Detektor aktiv bzw. sensitiv ist. Zwischen den aktiven Zeitfenstern 44 liegen die inaktiven Zeitfenster 42, in denen der Detektor 40 inaktiv geschaltet ist bzw. in denen die Sensitivität des Detektors 40 ausreichend herabgesetzt ist. Die Modulation des Detektors 40 erfolgt vorzugsweise mit einer Frequenz größer oder gleich 10 kHz. In dem Beispiel der Figur 9a beträgt die Modulationsperiode etwa 100 με.

In Analogie zu einem elektrooptischen Shutter kann die Modulation mittels CCD-Chip erfindungsgemäß durch die Verwendung eines photosensitiven Registers 46 und eines dunklen bzw. nicht-photosensitiven Registers 48 realisiert werden. Das nicht- photosensitive Register 48 wird auch als Ausleseregister bezeichnet und dient insbesondere als Speicher bzw. Buffer. In der Figur 9b ist das photosensitive Register 46 und das nicht-photosensitive Auslese-Register 48 in Form einer Tabelle für Pixel 1 bis 2048 eines CCD-Sensors dargestellt. In der Figur 9c ist das Detektieren bzw. Sammeln von Photoelektronen zum Erzeugen des modulierten Signals und das Auslesen des modulierten Signals angedeutet. Die vertikalen Pfeile symbolisieren jeweils eine Verschiebung detektierter Elektronen von dem photosensitiven Register 46 in das Ausleseregister 48.

Insbesondere kann folgende Auslese-Prozedur erfolgen: i) Detektieren bzw. Sammeln von Photoelektronen im photosensitiven Register 46 während eines aktiven Zeitfensters 44, beispielsweise während des ersten aktiven Zeitfensters; ii) Verschieben der detektieren Photoelektronen in das Ausleseregister 48 am Ende des aktiven Zeitfensters 44; iii) Warten während des inaktiven Zeitfensters 42; iv) Leeren des photosensitiven Registers 46 am Ende des inaktiven Zeitfensters 42; v) Wiederholen von Schritt i), d.h. Detektieren von Photoelektronen im photosensitiven Register 46, während des nächsten aktiven Zeitfensters, beispielsweise während des zweiten aktiven Zeitfensters; vi) Verschieben bzw. Hinzufügen der detektierten Photoelektronen zu dem Ausleseregister 48 am Ende des besagten nächsten aktiven Zeitfensters, im Beispiel also am Ende des zweiten aktiven Zeitfensters; vii) Wiederholen der Schritte iii) bis vi) bis das n-te aktive Zeitfenster erreicht ist; viii) Auslesen des Ausleseregisters, insbesondere um ein Spektrum zu erhalten. Anstatt dass Photoelektronen zu dem Ausleseregister 48 hinzugefügt werden (Schritt iv), ist es alternativ auch möglich, dass die vorher detektierten Photoelektronen vor dem Schritt v) von dem Ausleseregister 48 in das photosensitive Register 46 zurück verschoben werden und dass sodann mit den Schritten i) bis iv) weiter verfahren wird. Die Anzahl n der Zeitfenster wird derart gewählt, dass vor dem Auslesen eine ausreichende Anzahl an Photoelektronen detektiert wird. Insbesondere wird die Anzahl n der Zeitfenster derart gewählt, dass sich ein ausreichendes und/oder ein vorgegebenes Signal-Rausch Verhältnis ergibt.

Im wissenschaftlichen Betrieb stellt das erfindungsgemäße Verfahren ICOM eine vielversprechende neue Methode dar und hat das Potential zum Standardverfahren heranzureifen. Bisher gab es kein Verfahren, welches das Problem der Weglängenbestimmung vollumfänglich und automatisiert löst. Deshalb wurde z.B. die CE-DOAS Methode im industriellen Umfeld bisher nicht in einem ihrem Potential entsprechenden Umfang eingesetzt. Mit Wegfall dieser Hürde kann die CE-DOAS Methode nun im Bereich der Umweltüberwachung und der Stickoxid-Messung in KFZ- Werkstätten verbreitete Anwendung finden und den Markt durchdringen. Bezugszeichenliste

1 LED Leistungseinheit

10 Lichtquelle / LED

16 Einkoppellinse

20 optischer Resonator

22 erster Resonatorspiegel

24 zweiter Resonatorspiegel

26 Auskoppellinse

28 erste optische Faser / erste Lichtfaser

30 optischer Modulator

32 erste Modulatorlinse

34 Motor

35 Schlitzrad

36 zweite Modulatorlinse

38 zweite optische Faser / zweite Lichtfaser

40 Detektor

42 inaktives Zeitfenster des Detektors

44 aktives Zeitfenster des Detektors

46 photosensitives Register

48 nicht-photosensitives Register / Dunkelregister / Ausleseregister

50 Steuereinheit

100 Resonatorvorrichtung