ZIEMANN, Thomas (Längenthaler Str. 9, Inning am Holz, 84416, DE)
FRIEDBERGER, Alois (Am Stierberg 50, Oberpframmern, 85667, DE)
BEER, Sebastian (Franziskanerstr. 16, München, 81669, DE)
ZIEMANN, Thomas (Längenthaler Str. 9, Inning am Holz, 84416, DE)
FRIEDBERGER, Alois (Am Stierberg 50, Oberpframmern, 85667, DE)
| Ansprüche 1. Verfahren zur Detektion von Sprengstoffpartikeln in einem Gasstrom (46), bei dem der Gasstrom (46) für einen vorgegebenen Zeitraum durch ein Adsorptionsnetz (12) das Adsorptionsnetz (12) auf eine Heiztemperatur erwärmt wird, bei der die Sprengstoff partikel (18) desorbieren und ein Gasstrom mit den desorbierten Sprengstoffpartikeln einem Detektor (40) zu deren Detektion zugeführt wird, da- u ui bi i ua o aio nu sui icu. ivurvi ui i nci \ M i n ci i id \J- rengröße kleiner als der Partikelgröße der zu detektierenden Sprengstoffpartikel (18) verwendet wird. 2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass ein Mikrofilter (12) mit einer Porengröße von kleiner 1 pm, vorzugsweise von kleiner 400 nm, verwendet wird. 3. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass eine Heiztemperatur lyco Lcii L ei l Ul i HCl ^ i i ii L U , zu detektierenden Sprengstoffpartikel (18) nach dem Erwärmen und Desorbieren in der Gasphase den Mikrofilter (12) passieren. 4. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Mikrofilter (12) auf eine bestimmte Temperatur zur Detektion bestimmter Sprengstoffe erwärmt wird. 5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in einem Sammelmo- ui folgenden Detektionsmodus (46b) ein Gasstrom in umgekehrter Richtung den dann erwärmten Mikrofilter (12) durchströmt und dabei die Sprengstoff partikel (18) desorbiert und anschließend dem Detektor (40) zugeleitet werden, wobei im Detektionsmodus der Gasstrom im geschlossenen Kreislauf unter Durchstromung des Mikrofilters (12) und Passieren des Detektors (40) zirkuliert wird. 6. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass diese einen Mikrofilter (12) umfasst, hinter dem ein Detektor (40) angeordnet ist, wobei der Mikrofilter (12) eine Heizvorrichtung (50, 66) sowie eine Regelvorrichtung zur Regelung der Temperatur des Mikrofilters (12) umfasst. 7. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 , dadurch gekenn- Cl l IVI IM Ul l l lCr ei- nen Zirkulationskanal (34) mit einem Detektor (40) umfasst, der im Sammelmodus versperrbar und im Detektionsmodus mit dem Strömungskanal (32) zur Bildung eines geschlossenen Ringkanals verbindbar ist. 8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 1, dadurch gekennzeichnet, dass diese einen Halogenstrahler (66) zur Erwärmung des Mikrofilters (12) sowie einen Temperatursensor (72) zur Erfassung der Temperatur des Mikrofilters (12) umfasst. 9. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Mikrofilter (12) resistiv beheizbar ist und ein Temperatursensor (72) zur Erfassung der Temperatur des Mikrofilters (12) vorgesehen ist. 10. Verfahren zur Herstellung eines Mikrofilters (12) zur Verwendung in einer Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass dessen Poren mittels eines photolithografischen Ätzverfahrens gebildet werden. |
in einem Gasstrom
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Detektion von Sprengstoffpartikeln in einem Gasstrom, bei dem der Gasstrom für einen vorgegebenen Zeitraum durch ein Adsorptionsnetz geleitet wird, so dass Sprengstoffpartikel darauf adsorbiert werden, anschließend das Adsorptionsnetz auf eine Heiztemperatur gewärmt wird, bei der die Sprengstoffpartikel desorbieren und ein Gasstrom mit den angereicherten Sprengstoffpartikeln einem Detektor zu deren Detektion zugeführt wird.
Ein Detektionsverfahren bzw. eine Detektionsvorrichtung ist aus der US 6 604 406 B1 bekannt.
Der zunehmende Einsatz von Sprengstoffen für terroristische Zwecke, insbesondere im zivilen Luftverkehr, erzeugt einen dringenden Bedarf für effiziente Sprengstoffdetektoren, wobei insbesondere mobile bzw. feldtaugliche Systeme notwendig sind. Wenn beispielsweise ein potentieller Terrorist einen Sprengstoff bearbeitet, hinterlässt dies geringe Sprengstoffspuren an Kleidung und Haut. Ziel eines Detektionsverfahrens für Sprengstoffspuren ist es, diese Sprengstoffspuren festzustellen, beispielsweise vor dem Betreten eines Flugzeugs. Dabei wird ein Gasstrom - meist Umgebungsluft - über einen zu untersuchenden Gegenstand bzw. eine zu untersuchende Person geleitet, wobei Sprengstoffpartikel mitgerissen werden, sofern solche vorhanden sind. Diese Art der Detektion ist jedoch erschwert durch die sehr niedrigen Konzentrationen der Sprengstoffe, die oftmals im Bereich von ppt (parts per trillion) liegen, wobei die direkte Detektion der Sprengstoffe in der Gasphase teilweise sehr schwer ist, da die Gleichgewicht-Gaskonzentrationen der üblichen Sprengstoffe sehr gering sind.
Ein Detektionsverfahren für Sprengstoffe ist in der US 6 604 406 beschrieben, bei der die zu suchenden Stoffe in Partikelform auf einem als Filz, Vlies oder Geflecht ausgebildeten Adsorptionsnetz gesammelt und anschließend einem Detektor zugeführt werden. Bei diesem vorbekannten Verfahren wird das Sprengstoffpartikel in niedriger Konzentration enthaltene Gas in einem ersten Adsorptionsschritt durch das als Filz, Vlies oder Geflecht ausgebildete Adsorptionsnetz gesaugt, wobei ein Teil der Partikel auf dem Filter adsorbieren und somit die Konzentration der Partikel auf dem Adsorptionsnetz mit der Zeit zunimmt. In einem zweiten Verfahrensschritt, dem Desorptionsschritt, wird das Adsorptionsnetz erhitzt und die Strömungsrichtung des Gasstromes durch das Adsorptionsnetz wird umgekehrt. Dabei desorbieren die angereicherten Sprengstoffpartikel vom Adsorptionsnetz und können in erhöhter Konzentration vom Detektor erfasst werden. Nachteilig dabei
BESTÄTIGUNGSKOPIE
l ist, dass nur größere Partikel im Absorptionsnetz hängen bleiben während die kleineren Partikel passieren und damit zur Detektion nicht beitragen können.
Hiervon ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, die Detektierbarkeit der Sprengstoffe weiter zu verbessern bzw. die Detektionsgrenze weiter zu reduzieren.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, dass als Adsorptionsnetz ein Mik- rofilter mit einer Porengröße verwendet wird, die kleiner ist als die Partikelgröße bzw. der Partikeldurchmesser der zu detektierenden Sprengstoffpartikel. Hierbei wird unter dem Begriff„Mikrofilter" eine Membran mit einer Dicke im Bereich von ca. 1 pm verstanden, die durch Stützstrukturen mechanische Stabilität aufweist und regelmäßige Perforationen aufweist. Diese Perforationen weisen vorzugsweise identischen Durchmesser auf, der vorzugsweise kleiner 1pm, noch bevorzugter kleiner 400 nm, ist. Dies ermöglicht im Gegensatz zum Stand der Technik, dass alle im Gasstrom befindlichen Partikel aufgefangen bzw. auf diesem adsorbiert werden, während bei den herkömmlichen Systemen ein signifikanter Teil der Partikel durch das Geflecht des Adsorptionsnetzes gelangen kann, so dass die Anreicherung wesentlich schwächer ist bzw. länger dauert. Mittels des Mikrofil- ters können die Partikel auf der Oberfläche zurückgehalten werden, wodurch diese sehr leicht zugänglich bleiben und einfach wieder desorbiert werden können. Im Gegensatz dazu sind die herkömmlicherweise verwendeten Geflechte dreidimensionale Gewebe oder Filze. Diese erfindungsgemäße Ausbildung hat insbesondere im Desorbtionsschritt einen Vorteil, weil sich alle Partikel auf einer einzigen Oberfläche befinden und nicht in einer dreidimensionalen Struktur und somit eine gezielte Desorbtion durch die Erhitzung der Mikrofilteroberfläche möglich ist. Diese gezielte Erhitzung auf vorgegebene Temperaturen kann ferner dafür genutzt werden, durch die Einstellung gewisser Temperaturen eine Detektionsselektivität für bestimmte Sprengstoffe zu erreichen.
Damit kann vorteilhafterweise eine mobile Partikel-Gas-Koverstion von kleinen Sprengstoff Partikeln ermöglicht werden. Die geringe thermische Masse des Mikrofilters erlaubt ainon Rotrioh mit nieHrinoi- I öicti inn ι inH ainan eo r ci-hnollon Tömi-uarati iranctian ha im
Erhitzungsvorgang. Damit ließe sich anstelle nur einer Desorption der Partikel auch eine Dissoziation erreichen, wobei Molekülgruppen abgespalten werden, was alternative De- tektionsmöglichkeiten erlauben würde, z.B. den Nachweis von Molekülen mit Nitrogrup-
Die Porengröße des Mikrofilters wird vorzugsweise in Abhängigkeit der zu detektierenden Sprengstoffe gewählt werden, so dass es auch möglich ist, Mikrofilter mit unterschiedli- chen Porengrößen zur Detektion bestimmter Sprengstoffe zu verwenden. Es ist auch möglich, den Mikrofilter zu diesem Zweck austauschbar zu gestalten.
Um die Selektivität der Detektion weiter zu erhöhen, ist es auch möglich, zwei Mikrofilter mit unterschiedlichen Porendurchmessern hintereinander anzuordnen, wobei der erste Mikrofilter eine größere Porengröße (beispielsweise 1 pm) aufweist, um große unerwünschte Partikel abzufangen und stromab ein zweiter Mikrofilter mit einer geringeren Porengröße (beispielsweise 400 nm) vorgesehen ist, auf dem die zu detektierenden Partikel adsorbieren. Beim zweiten Verfahrensschritt wird nur der zweite Mikrofilter erwärmt, so dass nur die darauf adsorbierten Sprengstoffpartikel desorbieren und dem Detektor zugeführt werden. Dann könnte nach Beendigung des Detektionsprozesses zur Entfernung der am ersten Filter adsorbierten unerwünschten Partikel auch dieser Filter beheizt werden.
Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung wird eine Heiztemperatur eingestellt und ein Mikrofilter mit einer Porengröße verwendet, bei dem die zu detektierende Sprengstoffpartikel nach dem Erwärmen und Desorbieren in der Gasphase den Mikrofilter passieren können. Diese Temperatur liegt bei etwa 150° bis 250°. Bei dieser besonders einfachen Verfahrensausführung, die zudem eine baulich einfache Vorrichtung nutzen kann, ist keine Durchströmung der Anordnung mit unterschiedlichen Strömungsrichtungen nötig. Dabei wird der Gasstrom vorzugsweise permanent aktiviert, wobei der Mikrofilter permanent durchströmt und der Gasdetektor ständig vom Gasstrom überströmt wird. Aber erst nach einiger Zeit (insbesondere etwa 10-20 sek.), wenn genügend Partikel auf dem Mikrofilter adsorbiert sind, und der Mikrofilter erhitzt wird, ergibt sich bei der damit einhergehenden Desorption der angereicherten Sprengstoffpartikel eine hinreichende Konzentration derselben, die vom Detektor gut erfasst bzw. detektiert werden kann.
Eine bevorzugte Vorrichtung zur Durchführung des oben genannten Verfahrens umfasst einen Mikrofilter, hinter dem ein Detektor angeordnet ist, wobei der Mikrofilter eine Heizvorrichtung sowie eine Regelvorrichtung zur Regelung der Temperatur des Mikrofilters umfasst. Bei dieser einfachen Anordnung werden der Mikrofilter und der Detektor immer in der gleichen Richtung vom Gasstrom mit den Sprengstoffpartikeln durchströmt, was baulich sehr einfach ist.
Eine alternative Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht vor, dass in einem Sammelmodus der Gasstrom durch den Mikrofilter geführt wird und anschließend in einem darauffolgenden Detektionsmodus ein Gasstrom in umgekehrter Strömungsrichtung den dabei erwärmten Mikrofilter durchströmt. Dabei desorbieren die am Mikrofilter anhaftenden Sprengstoffpartikel und können in dieser angereicherten Form im Detektor analysiert werden. Hierbei wird der Gasstrom im Detektionsmodus im geschlossenen Kreislauf zirkuliert.
Eine Vorrichtung zur Durchführung dieser Ausgestaltung des Verfahrens umfasst einen Strömungskanal mit einem Mikrofilter sowie einen Zirkulationskanal mit einem Detektor, der im Sammelmodus versperrbar und im Detektionsmodus mit dem Strömungskanal zur Bildung eines geschlossenen Ringkanals verbindbar ist.
Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung umfasst die Vorrichtung einen Halogenstrahler zur Erwärmung des Mikrofilters, wodurch entweder durch Verwendung eines Kollimators eine parallele gleichmäßige Bestrahlung des gesamten Mikrofilters oder durch Fokussierlinse eine gezielte Ausrichtung auf bestimmte Bereiche des Filters möglich ist. In Verbindung mit einem optischen oder resistiven Thermometer kann die Temperatur des Mikrofilters genau gemessen werden, wodurch eine gezielte Einstellung einer bestimmten Temperatur möglich ist. Dies ermöglicht die Einstellung bestimmter vorgegebener zeitlicher Temperaturverläufe, wodurch eine Selektivität für unterschiedliche Sprengstoffarten erzielbar ist.
Ein Verfahren zur Herstellung eines Mikrofilters zur Verwendung einer der vorgeschriebenen Vorrichtungen wird vorzugsweise mittels eines photolithographischen Ätzverfahrens hergestellt, wodurch alle Poren des Mikrofilters mit identischem Durchmesser im gewünschten Größenbereich ausgeführt werden können.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand bevorzugter Beispiele unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen weiter erläutert. Gleiche Bezugszeichen bezeichnen in den verschiedenen Darstellungen gleiche Bauteile. Dabei zeigt;
Figur 1 : eine erste Ausführungsform der Vorrichtung zur Detektion von Sprengstoffpartikeln;
Figur 2: eine zweite Ausführungsform der Vorrichtung zur Detektion von Sprengstoff Partikeln in zwei unterschiedlichen Betriebszuständen;
Figur 3: eine dritte Ausführungsform der Vorrichtung zur Detektion von Sprengstoff parti kein;
Figur 4: zwei Ausführungsformen von Detektionsvorrichtungen mit beheizbaren
Mikrofiltern. In Figur 1 ist eine erste Ausführungsform einer Detektionsvorrichtung 10a schematisch dargestellt, die im wesentlichen aus einem Mikrofilter 12, einem Detektor 14 und einer Saugpumpe 16 besteht. Schematisch ist ferner ein mit Sprengstoffpartikel 18 kontaminierter Gegenstand 20 dargestellt, über den ein Luftstrom 22 geleitet wird, der durch den Mikrofilter 12 strömt und weiter den Detektor 14 passiert. Dabei haften die in der Zeichnung stark vergrößert dargestellten Sprengstoff partikel 18 am Mikrofilter 12 an, da diese aufgrund der gewählten Porengröße, die kleiner ist als die Größe der Sprengstoffpartikel 18, den Mikrofilter 12 nicht passieren können. Nach einer gewissen Zeit, vorzugsweise ca. 10 bis 20 sek., haben sich genügend Sprengstoffpartikel 18 auf dem Mikrofilter 12 angereichert, so dass der Mikrofilter 12 mittels einer Heizvorrichtung 24 erwärmt wird, vorzugsweise auf eine Temperatur von etwa 50 bis 250°C. Durch die erhöhte Temperatur desorbieren die Sprengstoffpartikel 18 vom Mikrofilter 12 und gehen über in die Gasphase, in welcher dieser die Poren des Mikrofilters 12 passieren können und somit in erhöhter Konzentration dem Detektor 14 zuführbar sind. Nach einem gewissen Zeitraum von wenigen Sekunden, innerhalb dessen im wesentlichen alle am Mikrofilter 12 anhaftenden Sprengstoffpartike! 18 desorbiert sind, wird die Heizvorrichtung 24 wieder abgeschaltet und es kann erneut mittels eines Gasstromes 22 ein weiterer zu untersuchender Gegenstand 20 auf Sprengstoffpartikel 18 untersucht werden.
In den Figuren 2a und 2b ist eine zweite Ausführungsform einer Vorrichtung 0b zur De- tektion von Sprengstoffpartikeln schematisch dargestellt. Diese umfasst einen Gaseinlass 30, dem sich ein Strömungskanal 32 anschließt, in dem ein Mikrofilter 12 angeordnet ist. Der Strömungskanal 32 ist einerseits mit einem U-förmigen Zirkulationskanal 34 verbunden, der beiderseits des Mikrofilters 12 mit dem Strömungskanal 32 in Verbindung steht. Femer ist der Strömungskanal 32 mit einem Auslasskanal 36 verbunden, in dem eine Saugpumpe 38 angeordnet ist. Im Zirkulationskanal 34 ist eine Zirkulationspumpe 39 angeordnet. In der Wand des Zirkulationskanals 34 ist ferner ein Detektor 40 angeordnet, bei dem es sich vorzugsweise um einen lonen-Mobilitäts-Spektrometer (IMS) oder einen Metalloxid-Halbleitergassenor (MOX-Sensor) handelt. Der Strömungskanal 32 ist gegenüber dem Einlass 30 durch einen Einlassverschluss 42 und gegenüber dem Auslasskanal 36 durch einen Auslassverschluss 44 absperrbar.
Die Vorrichtung 10b ist in Figur 2a im Sammelmodus und in Figur 2b im Detektionsmodus dargestellt. Im Sammelmodus gemäß Figur 2a ist der Einlassverschluss 42 offen, so dass der Einlass 30 mit dem Strömungskanal 32 kommuniziert. Der Auslassverschluss 44, der wechselweise entweder den Auslasskanal 36 oder den Zirkulationskanal 34 ver- schließt, befindet sich in der den Zirkulationskanal 34 verschließenden Stellung. Durch Betrieb der Saugpumpe 38 wird ein Gasstrom 46a (vorzugsweise ein Umgebungsluftstrom) in den Einlass 30 gesaugt, von dort durch den Mikrofilter 12, den Strömungskanal 32 und den Auslasskanal 36 geleitet und bis zu einem Gasauslass 48 geführt. Dabei bleiben die mit dem Gasstrom 46a transportierten Sprengstoffpartikel aufgrund der geringeren Porengröße des Mikroliters 12 an diesem hängen und aggregieren dort. Da der Aus- lassverschluss 44 den Zirkulationskanal 34 verschließt, wird dieser nicht durchströmt.
Nach einem Zeitraum von einigen Sekunden, wenn genügend Sprengstoffpartikei auf dem Mikrofilter 12 aggregiert sind, wird in den in Figur 2b dargestellten Detektionsmodus umgeschaltet, bei dem der Einlassverschluss 42 verschlossen ist und der Auslassver- schluss 44 in die den Auslasskanal 36 verschließende Stellung umgelegt wird. Ferner wird die Saugpumpe 38 abgeschaltet und stattdessen die Zirkulationspumpe 39 aktiviert. In diesem Fall liegt ein geschlossener ringförmiger Strömungskanal vor, in dem der Gasstrom 46b zirkuliert. Gleichzeitig wird über Kontakte 50 elektrischer Strom durch den Mikrofilter 12 geleitet, so dass sich dieser auf eine Temperatur erwärmt, bei der die Sprengstoffpartikei vom Mikrofilter 12 desorbieren. Während der Gasstrom 46b zirkuliert, werden die am Mikrofilter 12 anhaftenden Sprengstoffpartikei desorbiert und passieren den Detektor 40 und werden dort erfasst. Die Zirkulationspumpe 39 wird so betrieben, dass der zirkulierende Gasstrom 46b in entgegengesetzter Richtung wie der Gasstrom 46a im Sammelmodus den Mikrofilter 12 passiert.
In Figur 3 ist eine weitere Ausführungsform 10c für eine Detektionsvorrichtung dargestellt, die im Wesentlichen der Ausführungsform gemäß 10b aus den Figuren 2a und 2b entspricht, im Unterschied dazu ist kein geschlossener Zirkuiationskanai vorhanden, sondern vielmehr ist der Strömungskanal 32 mit einem Einlass 54 und einem Auslass 56 verbunden. Bei dieser Ausführungsform wird im Detektionsmodus das Gas nicht zirkuliert sondern über den Einlass 54 angesaugt, durch den Mikrofilter 12 geleitet und über die Saugpumpe 39 zum Auslass 56 geführt, wobei die vom Gasstrom 46c mitgenommenen Sprengstoffpartikei wiederum vom Detektor 40 detektiert werden. Dabei wird der Mikrofilter 12 wiederum über die Anschlüsse 50 elektrisch beheizt.
In den Figuren 4a und) 4b sind zwei Ausführungsformen von Detektionsvorrichtungen mit beheizbaren Mikrofiltern dargestellt. Bei der Ausführungsform gemäß Figur 4a mündet ein Gaseinlass 60 in einen Strömungskanal 62, in dem ein Mikrofilter 12 angeordnet ist. Stromab des Mikrofilters 12 ist ein Gasauslass 64 vorgesehen. Ein Halogenstrahler 66, vorzugsweise mit einer Leistung von ca. 100 bis 200 Watt, richtet einen Strahl 68 eiekt- romagnetischer Wellen durch ein Fenster 70 auf den Mikrofilter 12 zu dessen Erwärmung. Ein optisches Thermometer 72 mit einem Fenster 74 ist vorgesehen, um die vom erwärmten Mikrofilter 12 abgestrahlte Wärmestrahlung 76 zu erfassen und auf diese Weise die Temperatur des Mikrofilters 12 festzustellen. Im Betrieb strömt das mit Sprengstoff artikeln versetzte Gas durch den Gaseinlass 60 und den Strömungskanal 62 und passiert den Mikrofilter 12, wobei aufgrund der Porengröße des Mikrofilters 12 die Sprengstoff artikel daran hängen bleiben. Der Gasstrom tritt anschließend über den Gasauslass 64 wieder aus. Dabei ist der Halogenstrahler 66 ausgeschaltet. Dies erfolgt in dem Sammelmodus während eines Zeitraums von einigen Sekunden. Im darauffolgenden Detektionsmodus wird der Halogenstrahler 66 aktiviert, der den Mikrofilter 12 erwärmt, was vom Thermometer 72 überwacht wird. Ha logen strahier 66 und Temperaturmesser 72 sind über eine Kontrolleinrichtung gekoppelt, um eine gewünschte Temperatur oder einen gewünschten Temperaturverlauf des Mikrofilters 12 einzustellen. Dabei kann der Strömungskanal 62 ähnlich wie bei der Ausführung gemäß Figur 1 im Detektionsmodus in der gleichen Strömungsrichtung durchströmt werden wie im Sammelmodus oder wie bei den Ausführunaen aemäß der Fiauren 2 und 3 in entaeaenaeset^tfir StrnmunnKrin.htunn
Bei der Ausführungsform gemäß Figur 4b ist eine resistive Heizung des Mikrofilters 12 vorgesehen, die über die Anschlüsse 50 mit elektrischer Energie versorgt wird. Diese Ausführung ist baulich einfacher, weil kein optischer Pfad für die Heizstrahlung benötigt wird. Dazu wäre es zweckmäßig, wenn der Mikrofilter auf einem Metallsubstrat fixiert wird, der über elektrische Kontakte resistiv beheizt wird. Alternativ könnte ein Heizmäander mit Oberflächenmikromechanik auf den Filter strukturiert sein, was den Vorteil einer sehr geringen thermischen Masse hätte und daher eine schnelle und effektive Beheizung und Abkühlung ermöglicht.