1.

Einrichtung zum elektrischen Messen einer Kraft F, die mindestens zwischen zwei zusammengepressten Metallelektroden 1 und Metallelektrode 3 wirkt, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallelektroden aus Hartmetall, Stahl oder niederohmigen Metallschichten auf Keramik-, Glas- oder Kunststoffkörpern mit einem elektrischen Widerstand im Bereich weniger Milliohm bis kleiner gleich zehn Ohm und einer mittleren Rautiefe R_a kleiner gleich 400 Nanometer eine kraftunabhängige Leitfähigkeit an den Kontaktflächen besitzen, und die Kraft direkt auf eine Isolationsdünnschicht 2 oder eine Mehrlagenisolationsdünnschicht 2, die zwischen einer Metallelektrode 1 und einer Metallelektrode 3 formschlüssig angeordnet ist, wirkt, die aus Zinkoxid oder stochastisch reduziertem Aluminumoxid A Ox , wobei x=2.4 bis x=2.8 oder Siliziumkarbid oder DLC- Schicht [diamond like carbon] besteht, bei geringster relativer Verformung im Bereich gleich, kleiner 0,1 Promille der Metallelektrode 1 und Metallelektrode 3, und dass eine Referenzmetallelektrode 4, die unabhängig vom zu messenden Kraftfluss angeordnet ist und unter konstanter Haltekraft eines Befestigungselementes 5 fixiert ist, durch die baugleiche Isolationsdünnschicht 2 oder die Mehrlagenisolationsdünnschicht 2 mit exakt gleichem physikalischen Verhalten elektrisch auf die Metallelektrode 3 wirkt, so dass dieser Referenzwiderstand der Isolationsdünnschicht zwischen Metallelektrode 3 und Metallelektrode 4 unter konstanter Andruckkraft zur vollständigen Temperaturkompensation der Messanordnung als Halbbrücke oder Vollbrücke angewendet wird, indem auf dem Strompfad in Reihenschaltung über die Metallelektrode 1 über die Isolationsdünnschicht 2 nach Metallelektrode 3 über die Isolationsdünnschicht 2 nach Metallelektrode 4 ein definierter Strom einer hochpräzisen Stromquelle 6 fließt, so dass über der Isolationsdünnschicht zwischen der Metallelektrode 1 und der Metallelektrode 3 eine kraftabhängige Spannung 8 und zwischen der Metallelektrode 3 und Metallelektrode 4 einer referenzierenden Isolationsdünnschicht 2 eine Referenzspannung 9 abfällt, deren Spannungsverhältnis temperaturunabhängig ist, wobei die resultierende Brückenspannung der Messbrücke oder das direkt gemessene Spannungsverhältnis eine stetige, hochauflösende und exakt beschreibare und wiederholbare Funktion zur einwirkenden Kraft unabhängig von der Betriebstemperatur der Einrichtung zum elektrischen Messen einer Kraft definiert, wobei das temperaturkompensierte Spannungsverhältnis oder die gemessene Brückenspannung direkt einer Signalaufbereitungs- und -auswerteeinheit über eine elektrische Verbindung zugeführt werden, so dass ein elektrisch entkoppelter und mechanisch robuster Aufbau der erfindungsgemäßen Kraftmesseinrichtung erreicht wird, wobei eine Geometrie der Metallelektroden 1 , 2 und 3 frei wählbar ist in Form planarer Flächen oder Freiformflächen.

2.

Einrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass bei der Herstellung der Kontaktflächen der mindestens zwei Metallelektroden einer mittleren Oberflächenrauheit R_a kleiner gleich 400 Nanometer ein Formschluss im Bereich kleiner 4 Mikrometer über die gesamte Kontaktfläche erreicht wird, wodurch der elektrische Widerstand zwischen den Kontaktflächen der mindestens zwei oder mehreren Metallelektroden 1 und Metallelektroden 3 und Metallelektroden 4 ohne Isolationsdünnschicht, die beispielsweise aus Hartmetall oder sehr festem Stahl, oder Metallpulverspritzguss, oder niederohmigen Metallschichten auf Keramik-, Glas- oder Kunststoffkörpern mit einem elektrischen Widerstand im Bereich weniger Milliohm bis kleiner gleich zehn Ohm gefertigt sind, unabhängig von der einwirkenden Kraft, unter der diese Metallkörper zusammengepresst werden, konstant bleibt innerhalb des Toleranzbandes von plus minus 3 Milliohm und sich je nach verwendetem Metall und Flächeninhalt der Kontaktfläche im Bereich zwischen 20 Milliohm bis maximal 160 Milliohm einstellt, wodurch die messtechnische Voraussetzung geschaffen wird, dass ausschließlich die Isolationsdünnschicht 2 eine kraftabhängige Widerstandsänderung nachweist.

3.

Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Isolationsdünnschicht 2 auf Hartmetallelektroden, Stahlelektroden oder Metallschichtelelektroden auf Keramik, Glas- oder Kunststoffkörpern mit einem elektrischen Widerstand im Bereich weniger Milliohm bis kleiner gleich zehn Ohm aufgebracht ist, so dass der Elektrodengrundkörper von Metallelektrode 1 und Metallelektrode 3 und Metallelektrode 4 mindestens eine gleiche oder größere Festigkeit als die Isolationsdünnschicht 2 aufweist, wodurch die Deformation und Beschaedigung der Isolationsduennschicht gegenüber dem Trägermaterial durch Einpressen oder Abplatzen vermieden wird und dass die Messanordnung durch die Krafteinwirkung nicht oder extrem gering, das heißt bei einer relativen Verformung kleiner 0,1 Promille, verformt werden, so dass das gesamte Kraftmesssystem ohne Wegänderung aufgrund von Verformungen der mechanischen Metallelektroden 1 , der Metallelektroden 3 und Metallelektroden 4 arbeitet und somit die Krafteinwirkung auf die Isolationsdünnschicht in eine direkte Widerstandsänderung überführt wird, welche eine eindeutige, hochauflösende und stetige Funktion der Kraft ist.

4.

Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die mechanischen Übertragungselemente als Metallelektroden 1 , Metallelektroden 3 und Metallelektroden 4 zur Kraftweiterleitung zwischen der äußeren Kraftwirkstelle zur Isolationsdünnschicht 2 der Kraftmesseinrichtung und Referenz-Isolationsdünnschicht 2, die zwischen den Metallelektroden 3 und Metallelektroden 4 angeordnet ist, aus hochfesten Stählen oder Hartmetallen, Metallpulverspritzguss, Keramik- oder Glaswerkstoffen mit Aufbringung spezieller, hochfester Schichten beziehungsweise Schichtsysteme gefertigt sind, die aus Siliziumkarbid, DLC [diamond like carbon], Zinkoxid oder stochastisch reduziertem Aluminiumoxid A^Ox mit einem Sauerstoffverhältnis von x gleich größer 2.4 bis 2.8 bestehen, wodurch eine sehr hohe mechanische und chemische Robustheit, Formstabilität und Verschleißfreiheit der Elemente der Messzelle, bestehend aus den Metallelektroden 1 , Metallelektroden 3 und Metallelektroden 4 und der Isolationsdünnschicht 2, erreicht wird, und diese einer thermischen Belastung der Isolationsdünnschicht 2 und der elektrischen Kontaktierung zur elektronischen Messauswerteschaltung der Komponenten (6, 7, bis 17) in der Nähe der Messeinrichtung mit einem räumlichen Abstand kleiner gleich 200 Millimeter standhält, so dass die Messanordnung im Temperaturbereich von unter -80° C bis +300° C betrieben wird, wobei weit mehr als hunderttausend Schaltspiele keine Veränderung der eindeutigen Kraft-Widerstandsfunktion der Isolationsdünnschicht 2 oder Mehrlagenisolationsdünnschicht 2 bewirkt.

5.

Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Kraftmesszelle bestehend aus den Metallelektroden 1 , Metallelektroden 3 und Metallelektroden 4 und mindestens einer Isolationsdünnschicht 2 als Hochtemperaturanwendungen im Temperaturbereich von -80°C bis +1 100°C, im Einzelfall bis +1200°C realisiert werden durch die Verwendung einer temperaturbeständigen elektrischen Verbindung zwischen Isolationsdünnschicht 2 und elektronischer Auswerteeinheit der Komponenten (6, 7 bis 17), wobei metallischer Leiter und Isolator und Kontaktflächen des Verbindungssystems temperaturbeständig bis 1200 °C sind mit Leitungslängen größer 20 Milimeter bis 5 Meter durch die gezielte Auswahl des Isolationsschichtsystems 2 [SiC, AI₂O_x, ZnO].

6.

Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5 in miniaturisierter und kompakter Bauweise zum elektrischen Messen einer Kraft F im Milli- bis Meganewtonbereich, dadurch gekennzeichnet, dass ein sehr robuster und dynamisch belastbarer Aufbau des Kraftmesssystems erreicht wird durch die mechanische Konstruktion der Metallelektroden 1 der Metallekeltroden 3 und Metallelektroden 4, wobei die mittlere Rautiefe R_a der Metallelektrodenkontaktflächen 1 und Metallelektrodenkontaktflächen 4 im Verhältnis 30:1 bis 2: 1 rauher sind gegenüber der mittleren Rautiefe der Metallelektroden 3 von R_a gleich kleiner 200 Nanometer, wodurch gezielt der Anstieg der stetigen Kraft-Widerstandskennlinie der Messzelle anwendungsspezifisch festgelegt wird, indem ein Rauheitsverhältnis 1 :1 der Elektroden einen wesentlich geringeren Anstieg der Kraft-Widerstandskennlinie hervorbringt, gegenüber einem höheren Verhältnis von X:1 bei X = 1.5 bis 30.0, das einen wesentlich steileren Anstieg der Kraft-Widerstandskennlinie bewirkt und weiterhin die Gestaltung der Metallelektrodenkontaktfläche als Formteil, wobei Planarflächen oder Freiformflächen zur Anwendung kommen mit definierter Oberflächenrauheit, die die Haftfestigkeit der hochfesten Beschichtungen an den Kraftübertragungsflächen erhöht, wodurch eine Festigkeit der Isolationsdünnschicht 2 oder der Mehrlagen-Isolationsdünnschicht 2 und der Grundkörper der Metallelektrode 1 , der Metallelektrode 3 und Metallelektrode 4 der Druckbelastbarkeit von Hartmetallen bis 2 Gigapascal oder sehr festen Stählen bis 1 ,2 Gigapascal erreicht wird, und weiterhin dadurch gekennzeichnet, dass durch die Auswahl des Herstellungsverfahrens der Isolationsdünnschicht 2 hinsichtlich Werkstoffauswahl und Werkstoffbehandlung mit verfügbaren Beschichtungstechniken spezielle Widerstandskennwerte oder Arbeitsbereiche des kraftabhängigen Isolationsverhaltens im Milliohm-, Ohm- bis mehrere hundert Kiloohm-Bereich festgelegt werden, die in kleiner Bauweise mit einem Bauraum weniger Kubikmillimeter für den Millinewtonbereich, in mittlerer Baugröße im Bereich bis hunder Kubikzentimeter im Newton- bis Kilonewtonbereich und in großer Bauweise unterhalb eines Kubikmeters im Meganewtonbereich arbeiten.

7.

Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Messeinrichtung der Elemente (1 , 2, 3 bis 17) durch Kombination von mehreren Isolationsdünnschichten 2 oder Mehrlagenisolationsdünnschichten 2, auch Multi-Layer- Schichten genannt, elektrisch als Halb- oder Vollmessbrücke betrieben wird, so dass durch die elektrische Verschaltung gezielt die Messempfindlichkeit mehrfach gesteigert wird und dass durch jeweils eine oder mehrere Referenzmetallelektroden 4 je Kraftmesszelle die temperaturbedingte Widerstandsabweichung vollständig kompensiert wird und weiterhin ermöglicht eine räumliche Anordnung der einen Messzellenkombination bestehend aus Metallelektroden 1 und Metallelektroden 3, Isolationsdünnschichten 2 und Referenzmetallelektroden 4 in Richtung der zu messenden Kraftwirkung und eine zweite räumliche Anordnung der Elemente (1 , 2, 3 und 4) der zweiten Messzellenkombination in Richtung der störenden Kraftkomponente, die beispielsweise als mechanische überlagerte Schwingung im System hervorrufen wird, den Betrieb einer Halb- bzw. Vollmessbrücke als elektrische Differenzschaltung, so dass gezielt Störsignale durch parasitäre mechanische Schwingnungen reduziert oder vollständig kompensiert werden.

8.

Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Messeinrichtung durch Kombination von mehreren Isolationsdünnschichten (2.1 entspricht Kanal eins und 2.2 entspricht Kanal zwei) oder Mehrlagenisolationsdünnschichten (2.1 , 2.2, bis 2.n), auch Multi-Layer-Schichten genannt, elektrisch als Gruppenschaltung mehrerer Messkanäle durch eine oder mehrere Halb- oder Vollmessbrücken betrieben wird, deren räumliche oder geometrische Anordnung so ausgelegt ist, dass die zu messenden Kräfte als vektorielle Größe exakt in Betrag und Richtung je zugeordnetem Messkanal zeitgleich bestimmt werden kann durch separate Erfassung der Kraftwirkung als vektorielle Komponenten in den mindestens drei Raumdimensionen des kartesischen Koordinatensystems mit Breite-X, Länge-Y, Höhe-Z und / oder zusätzlich im Polarkoordiantensystem der Drehachse um den Normalenvektor der X-Y-Ebene, der Z- Achse und einer weiteren Drehachse, die den Neigungswinkel gegenüber X-Y-Ebene eineindeutig beschreiben.

9.

Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl einfache wie auch komplexe mechanische Konstruktionen der Elemente Metallelektroden 1 , Isolationsdünnschichten 2, Metallelektroden 3 und Referenzmetallelektroden 4 als elektrische Kraftmesseinrichtung erschaffen werden, die mittels Isolationsdünnschichten 2 als Kombination einer oder mehrerer elektrischer Kraftmesseinrichtungen aufgebaut werden, bestehend aus Einfach- (2) oder Mehrlagenschichten (2 bzw. 2.n), auch Multi-Layer-Schichten genannt, die auf einigen wenigen Formteilen als Plan- oder Freiformflächen aufgebracht werden in Makrobauweise, d.h. im Bereich größer 10 mm wie auch als Miniaturisierung in Mikrobauweise, d.h. im Submilimeterbereich, wobei mehrere Metall- und / oder Kermaik- oder Glasbauteile kraftschlüssig und / oder formschlüssig angeordnet sind und Momente wie auch Kräfte temperaturkompensiert erfassen, wobei durch Aufbringung hochohmiger Isolationsschichten im Megaohmbereich diese Bauteile gegenüber der äußern Umgebung elektrisch hochohmig isoliert und elektrisch gegeneinander ausreichend isoliert und mechanisch wie auch elektrisch wechselwirkungsfrei gegeneinander entkoppelt als Metallelektroden 1 , 3 und 4 betrieben werden.

10.

Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Festlegung der Messempfindlichkeit der elektrischen Kraftmesseinrichtung definiert wird bezüglich des Kraftmessbereiches im Millinewton bis Meganewtonbereich, und dass weiterhin die Kraftrichtung vorgegeben wird durch konstruktive geometrische Gestaltung der Metallelektroden 1 , Metallelektroden 3 und Referenzmetallelektroden 4, indem diese als zusammensteckbare Körper frei wählbarer Regelgeometrien als Positiv- und Negativform konstruiert und gefertigt werden, deren Formabweichung kleiner gleich 6 Mikrometer bei einer mittleren Rautiefe der Elektrodenkontaktoberfläche von R_a kleiner gleich 400 Nanometer, wie beispielsweise als Innenkegelstumpf und Außenkegelstumpf formgleicher Mantelflächen zum Messen von Zug- oder Druckkräften, auf deren Mantelfläche die Isolationsdünnschicht 2 aufgebracht ist wobei der Kegelwinkel und damit das mechanische Übersetzungsverhältnis der Druck- oder Zugmesszelle frei wählbar ist und weiterhin wird durch ineinander gesetzte Zylinderflächen von Außen- und Innenzylinder mit aufgebrachten Isolationsdünnschichten auf der Zylindermantelfläche der Nachweis der radialen Spannkraft erreicht und somit wird das radiale und axiale Kraftübertragungsvermögen von Schrumpfverbindungen zwischen zylindrischen Spannsystemen direkt gemessen, wobei diese als Kraftwirkung zwischen beiden Körpern linear nachgewiesen wird oder im weiteren Anwendungsbeispiel ist für die konstruktive Gestaltungsfreiheit dieses Messsystems die direkte Messung von axialen Zug- oder Druckkräften mit Hilfe von abgestuften Zylindern möglich, wobei die Isolationsdünnschicht 2 der beiden oder mehreren Formteile auf die Stirnfläche der Zylinderringe aufgebracht wird und somit wird direkt und linear die axial wirkende Zug- oder Druckkraft der angepressten Formteile linear nachgewiesen, und ebenfalls wird die direkte Messung von Drehmomenten möglich, indem durch eine Plananlagefläche zwischen den Metallelektroden 1 und Metallelektroden 3 und zwischengelagerter Isolationsdünnschicht 2, deren Normalenvektor tangential zur Drehrichtung zeigt, der ineinandergreifenden rotationssymetrischen Formteile, wobei die Isolationsdünnschicht auf einer Planfläche oder Freiformfläche einer Welle aufgebracht ist, deren Normalenvektor in Richtung der zu messenden Kraft zeigt, die am Zylinderumfang beider Körper als Verdrehung wirkt.

1 1 .

Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 10 dadurch gekennzeichnet, dass die Metallelektroden durch eine oder mehrere Isolationsdünnschichten (2 oder 2.n) elektrisch voneinander isoliert sind und mechanisch als Regelgeometrie oder Freiformgeometrie so ausgebildet sind, dass mindestens eine zwei- oder mehrkanalige gleichzeitige Messung von Druck- und Zugkräften möglich ist, indem das Aufbringen der Isolationsdünnschicht auf der Umfangsfläche von zwei miteinander verbundenen Kegelstümpfen auf der Außenfläche der jeweils inneren Elektrode durchgeführt wird, die gegenüber der passgenauen Einhausung, d.h. mit einer Oberflächenrauheit mittlerer Rautiefe kleiner 400 Nanometer und einer Formtoleranz kleiner 6 Mikrometer als zwei elektrisch voneinander isolierten äußeren Elektroden als Negativform montiert sind, wobei keine Verformung oder eine extrem geringfügige relative Verformung kleiner 0,01 Promille der beispielsweise aus Hartmetall gefertigten Metallektroden 1 , Metallelektroden 3 und Referenzmetallelektroden 4 stattfindet, und die Isolationdünnschicht 2 auf dem Kegelstumpf mit Spitze in Richtung Kraftwirkung eine Druckkraft misst und der Kegelstumpf mit der Spitze entgegen zur Kraftwirkung misst die Zugkraft und somit diese elektrische Kraftmesseinrichtung eine Kraftmessung entgegengesetzter Kraftrichtungen als positiv und negativ wirkende Kräfte gleichzeitig ermöglicht.

12.

Verfahren zum elektrischen Messen einer Kraft mittels der Isolationsdünnschicht 2 unter Einsatz einer Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass als Stromquelle 6 ein präziser elektronischer Signalgenerator eingesetzt wird, der entweder im Betriebsmodus als geregelte Gleichstromquelle oder weiterhin im Betriebsmodus als Wechselstromsignalquelle arbeitet, so dass klar definierte und als exakte Referenz nutzbare Ausgangsstromsignale in Form von beispielsweise Sinus-, Rechteck- oder Dreieckssignalen bei frei wählbaren Amplituden und Frequenzen der Widerstandsmessschaltung zugeführt werden und weiterhin eine Signalverarbeitungs- und -auswerteschaltung auf den jeweiligen Betriebsmodus abgestimmt ist, so dass je nach Anwendungsfall gezielt elektrische Störgrößen aus der Umgebung, d.h. starke elektrische oder elektromagnetische Felder, gezielt mittels Signalfilterung durch Bandpass oder Bandstop, deren Grenzfrequenzen anwendungsfallbezogen ausgelegt wurden, unterdrückt oder kompensiert werden und ebenfalls wird im Puls-Pause-Betrieb eine Reduzierung des Energieverbrauchs einer solchen Messanordnung um mehr als 2 bis 4 Zehnerpotenzen realisiert.

13.

Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Dynamik des Dünnschichtkraftmesssystems bestehend aus den Metallelektroden 1 , den Isolationsdünnschichten 2, den Metallelektroden 3 und den Referenzmetallelektroden 4 oder der Kombination von elektrischen Kraftmesseinrichtungen mittels Isolationsdünnschichten der Elemente (1 , 2, 3, und 4) eine zeitliche Auflösung im Megahertz-Bereich von Kraftverläufen liefert, die ausschließlich durch die Auslegung der Isolationsdünnschichten 2 und Referenzdünnschichten 4 als niederohmiger Messwiderstand im Bereich kleiner, gleich hundert Ohm bis ein Ohm erfolgt, wordurch die Erhöhung der Messströme und im besonderen der Flankensteilheit der nachgewiesenen Messspannung, die als Spannungsabfall über dem Isolationsdünnschicht-Widerstand nachgewiesen wird und im unteren Mikro- bis Zehner-Nanosekundenbereich erzielt wird, und weiterhin gekennzeichnet durch die elektrische Anpassung der Messelektronik zum Erfassen der Spannungsabfälle über den Isolationsdünnschichten (2 bzw. 2n) mit einer Auflösung bis minimal dem dreistelligen Mikrovoltbereich bei einer Zeitverzögerung unterhalb achthundert Nanosekunden, so dass die Leistungsfähigkeit des gesamten Messsystems hinsichtlich des Zeitverhaltens und Empfindlichkeit ausschließlich durch diese Anpassung bestimmt wird und somit die zeitlich hochauflösende und verformungsfreie Kraftmessung möglich wird, die beispielsweise an Lagerschalen von Turbinen oder Starkstrom generatoren durchgeführt wird.

14.

Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 12 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die mechanischen Übertragungselemente zur Kraftweiterleitung auf die Metallelektroden 1 , Metallelektroden 3 und Referenzmetallelektroden 4 zwischen der äußeren Kraftwirkstelle auf die Isolationsdünnschicht 2 aus festen Kunststoffen oder hochfesten Verbundwerkstoffen als Formteile gefertigt sind, wobei das elektrische Kraftmesssystem durch die Aufbringung von hochfesten Metallschichten als elektrisch leitende Metallelektrode der Elemente (1 , 3 und 4), der Aufbringung der Isolationsdünnschichten (2 bzw. 2.n) auf diesen Metallelektroden (1 , 3 und 4) und weiterhin als niederohmige elektrische Kontaktierung dieser Elektroden mit dem elektronischen Messsystem im Widerstandsbereich kleiner fünfzig Milliohm der Elemente (6, 7 bis 17) auf dem Trägermaterial der Elektrodengrundkörper aus Kunststoff oder Verbundmaterial der Metallelektroden (1 , 3 und 4) geschaffen wird.

15.

Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallelektroden 1 , Metallelektroden 3 und Metallelektroden 4 durch eine Isolationsdünnschicht 2 elektrisch voneinander isoliert sind, so dass die Kapazität und / oder der Widerstand dieser elektrischen Messzelle bestehend aus den Elementen (1 , 2, 3 bis 17) eine eindeutige und stetige Funktion der einwirkenden Druckkraft darstellt, die von außen auf die Messzelle wirkt, wobei zum elektrischen Messen der kraftabhängigen Kapazität C oder der Impedanz Z als Stromquelle ein präziser elektronischer Signalgenerator eingesetzt wird, der als im Betriebsmodus geregelte Wechselstromsignalquelle arbeitet, so dass klar definierte und als exakte Referenz nutzbare Ausgangsstromsignale in Form von beispielsweise Sinus-, Rechteck- oder Dreieckssignalen bei frei wählbaren Amplituden und Frequenzen der Kapazitäts- oder Impedanzmessschaltung zugeführt werden und diese als Schwingkreis in der Resonanzfrequenz anregen, wobei durch die einwirkende Kraft zwischen den Metallelektroden (1 , 3 und 4) der Schwingkreis durch Kapaziäts- und / oder Impedanzänderung verstimmt wird, und ebenfalls die Amplitude des Wechselspannungsmesssignals über dem kapzitiv-resistiven Widerstand der Isolationsdünnschicht 2 abnimmt, deren Verlauf eine eineindeutige und stetige Funktion gegenüber der einwirkenden Druckkraft beschreibt und die elektronische Signalverarbeitungs- und -auswerteschaltung durch anwendungsspezifische Bandstopfilter oder Bandpassfilter die nahezu vollständige Unterdrückung oder Kompensation von Störsignalen in Folge parasitärer mechanischer Schwingungen oder elektrischer Felder aus der Umgebung umsetzt.

16.

Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallelektroden 1 , Metallelektroden 3 und Metallelektroden 4 durch eine Isolationsdünnschicht elektrisch voneinander isoliert sind, so dass die Impedanz Z, d.h. induktiver Wechselstromwiderstand oder kapazitiver Wechselstromwiderstand, dieser elektrischen Messzelle eine eindeutige und stetige Funktion der einwirkenden Presskraft darstellt, die von außen auf die Messzelle wirkt, wobei zum elektrischen Messen der kraftabhängigen Induktivität L oder Kapazität C als Stromquelle ein präziser elektronischer Signalgenerator eingesetzt wird, der als im Betriebsmodus geregelte Wechselstromsignalquelle arbeitet, so dass klar definierte und als exakte Referenz nutzbare Ausgangsstromsignale in Form von beispielsweise Sinus-, Rechteck- oder Dreieckssignalen bei frei wählbaren Amplituden und Frequenzen der Kapazitäts- oder Induktivitäts- Messschaltung zugeführt werden und diese als Schwingkreis in der Resonanzfrequenz anregen.