Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Fokussierung von Laserlicht.

Definitionen : Die Bezeichnungen Licht oder Laserstrahlung sollen nicht auf den Bereich des sichtbaren Lichts einschränken. Vielmehr werden die Bezeichnungen Licht oder Laserstrahlung im Rahmen dieser Anmeldung für elektromagnetische Strahlung im gesamten Wellenlängenbereich vom FIR bis zum XUV verwendet. In

Ausbreitungsrichtung der Laserstrahlung oder des Lichts meint die mittlere Ausbreitungsrichtung der Laserstrahlung oder des Lichts, insbesondere wenn diese(s) keine ebene Welle ist oder zumindest teilweise divergent ist. Mit Laserstrahl, Lichtstrahl, Teilstrahl oder Strahl ist, wenn nicht ausdrücklich anderes angegeben ist, kein idealisierter Strahl der geometrischen Optik gemeint, sondern ein realer Lichtstrahl, wie beispielsweise ein Laserstrahl mit einem Gauß- Profil oder einem modifizierten Gauß-Profil wie einem Supergauß- Profil oder einem Top-Hat-Profil, der keinen infinitesimal kleinen, sondern einen ausgedehnten Strahlquerschnitt aufweist. Mit Top-Hat- Verteilung oder Top-Hat-Intensitätsverteilung oder Top-Hat-Profil ist eine Intensitätsverteilung gemeint, die sich zumindest hinsichtlich einer Richtung im Wesentlichen durch eine Rechteckfunktion (rect (x)) beschreiben lässt beziehungsweise ein Plateau aufweist. Dabei sollen reale Intensitätsverteilungen, die Abweichungen von einer

Rechteckfunktion beziehungsweise geneigte Flanken aufweisen, ebenfalls als Top-Hat-Verteilung oder Top-Hat-Profil bezeichnet werden können.

Im Stand der Technik werden in einer Arbeitsebene lange und verhältnismäßig schmale Laserlinien dadurch erzeugt, dass das von einer Laserlichtquelle - insbesondere von einem Laserdiodenbarren mit einer Mehrzahl in einer ersten Richtung (der so genannten Slow- Axis-Richtung) nebeneinander angeordneter Emitter - emittierte und mit Optikmitteln kollimierte Laserlicht mit Hilfe hochpräzise gefertigter Zylinderlinsenmittel in eine Arbeitsebene gelenkt wird, so dass dort ein Fokus oder eine Abbildung generiert wird. Derartige

Zylinderlinsenmittel weisen einen sich in Längsrichtung parallel zur Zylinderachse erstreckenden Linsenscheitel auf. Um in der

Arbeitsebene eine präzise definierte Laserlinie zu erhalten, muss das zur Fokussierung des Laserlichts verwendete Zylinderlinsenmittel in Längsrichtung einen sehr geraden Scheitelverlauf aufweisen. Somit wird die Erzeugung langer, schmaler und dabei präzise abgebildeter Laserlinien in hohem Maße durch die Qualität der verwendeten

Zylinderlinsenmittel bestimmt. So genannte Ortsfehler im Bereich des Linsenscheitels führen zu Abbildungsfehlern, die sich in einer schwankenden Linienbreite bemerkbar machen. Im Stand der Technik stellt die Fertigung derartig präziser Zylinderlinsenmittel, wie sie für die Erzeugung präziser, linienförmiger Intensitätsverteilungen in einer Arbeitsebene benötigt werden, ein großes Problem dar.

In Fig. 1 ist ein Zylinderlinsenmittel 3 dargestellt, das zwei sich in x- Richtung aneinander anschließende, beispielsweise aus stoffschlüssig miteinander verbundenen Zylinderlinsenelementen gebildete

Zylinderlinsenabschnitte 30, 31 umfasst. Im Idealfall sollte sich der Linsenscheitel möglichst entlang der mit M bezeichneten Linie erstrecken, welche eine Mittellinie der äußeren Mantelfläche des Zylinderlinsenmittels 3 definiert, um dadurch eine präzise

linienförmige Intensitätsverteilung in einer Arbeitsebene zu erhalten. Es wird deutlich, dass sich die Linsenscheitel S1, S2 der beiden Zylinderlinsenabschnitte 30, 31 vorliegend nicht ideal entlang der Linie M erstrecken, sondern einen Versatz d aufweisen. Die

Linsenscheitel S1, S2 des ersten Zylinderlinsenabschnitts 30 und des zweiten Zylinderlinsenabschnitts 31 erstrecken sich neben der Linie M, so dass sich der Versatz d bildet. Es soll an dieser Stelle

angemerkt werden, dass die Größe des Versatzes d zwischen den Linsenscheiteln S1, S2 der beiden Zylinderlinsenabschnitte 30, 31 nicht maßstabsgerecht gezeichnet ist, sondern lediglich der

einfacheren zeichnerischen Veranschaulichung dienen soll. Bei herkömmlichen Zylinderlinsenmitteln 3 ist der Versatz d üblicherweise < 0,5 mm.

Wird ein derartiges Zylinderlinsenmittel 3 nun zur Fokussierung eines kollimierten Laserstrahls mit Tophat-Winkelverteilung in eine

Arbeitsebene verwendet, resultiert daraus eine von einer„idealen" Linienform abweichende Intensitätsverteilung, wie sie in Fig. 2 dargestellt ist. In der Arbeitsebene 5 wird eine Intensitätsverteilung erzeugt, die einen Fokuslagenfehler aufweist. Es zeigt sich, dass die Intensität 11 desjenigen Teils des Laserlichts, welcher den ersten Zylinderlinsenabschnitt 30 passiert hat, und die Intensität 12

desjenigen Teils des Laserlichts, welcher den zweiten

Zylinderlinsenabschnitt 31 passiert hat, orthogonal zur x-Richtung einen Versatz d' aufweisen, wobei der Versatz d' der Intensitäten 11, 12 in der Arbeitsebene 5 dem Versatz d der Linsenscheitel S1, S2 der beiden Zylinderlinsenabschnitte 30, 31 entspricht. Wenn zum Beispiel die Zylinderlinsenabschnitte 30, 31 einen Versatz d = 0,2 mm

aufweisen, beträgt der Versatz d' der Intensitäten 11, 12 in der

Arbeitsebene 5 ebenfalls 0,2 mm.

Die Problematik des Scheitelfehlers wurde vorstehend beispielhaft anhand eines Zylinderlinsenmittels 3 erläutert, bei dem die beiden Zylinderlinsenabschnitte 30, 31 aus zwei stoffschlüssig miteinander verbundenen Zylinderlinsenelementen gebildet sind. Die Problematik des Scheitelfehlers kann aber auch bei einstückigen

Zylinderlinsenmitteln 3 auftreten, bei denen der Linsenscheitel S1, S2 auf Grund von häufig nicht zu vermeidenden Fertigungsungenauigkeiten parallel zur Zylinderachse nicht ideal gerade verläuft, sondern ebenfalls einen Versatz d aufweist.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht nunmehr darin, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Fokussierung von Laserlicht in eine Arbeitsebene anzugeben, die es ermöglichen, auch weniger präzise gefertigte Zylinderlinsenmittel einsetzen zu können oder auch aus mehreren Zylinderlinsenelementen zusammengesetzte

Zylinderlinsenmittel verwenden zu können und dennoch eine

linienförmige Intensitätsverteilung in der Arbeitsebene generieren zu können.

Die Lösung dieser Aufgabe liefert ein Verfahren zur Fokussierung von Laserlicht mit den Merkmalen des Anspruchs 1. Hinsichtlich der Vorrichtung wird diese Aufgabe durch eine Vorrichtung zur

Fokussierung von Laserlicht mit den Merkmalen des Anspruchs 5 gelöst. Die Unteransprüche betreffen vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung.

Bei einem erfindungsgemäßen Verfahren zur Fokussierung von

Laserlicht in eine Arbeitsebene wird das Laserlicht durch einen

Umlenkspiegel derart umgelenkt, dass es sich im Wesentlichen parallel zu einer optischen Achse eines Retroreflektormittels

ausbreitet und durch einen ersten Transmissionsabschnitt eines Zylinderlinsenmittels, dessen Linsenscheitel einen Versatz aufweist, transmittiert wird und nachfolgend von dem Retroreflektormittel derart zurückreflektiert wird, dass das Laserlicht durch einen zweiten

Transmissionsabschnitt des Zylinderlinsenmittels, der vom ersten Transmissionsabschnitt verschieden ist, transmittiert und in die

Arbeitsebene fokussiert wird. Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht in vorteilhafter Weise eine Kompensation des Versatzes des Linsenscheitels des Zylinderlinsenmittels, so dass trotz dieses Versatzes in der Arbeitsebene eine im Wesentlichen linienförmige Intensitätsverteilung erzeugt werden kann.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform wird vorgeschlagen, dass eine Scheitellinie des Retroreflektormittels und/oder der

Linsenscheitel des Zylinderlinsenmittels im optischen Strahlengang derart verschoben werden, dass der Winkel des Eingangsstrahls des Laserlichts und/oder der Winkel des Ausgangsstrahls des Laserlichts eingestellt werden können. Dadurch wird eine größere Flexibilität bei der Fokussierung des Laserlichts in die Arbeitsebene erreicht.

In einer bevorzugten Ausführungsform wird vorgeschlagen, dass als Retroreflektormittel ein Umkehrprisma verwendet wird. In einer alternativen Ausführungsform besteht die Möglichkeit, dass als

Retroreflektormittel ein Umkehrspiegel verwendet wird.

Umkehrprismen beziehungsweise Umkehrspiegel lassen sich sehr einfach und kostengünstig herstellen und eignen sich daher

besonders für die Verwendung als Retroreflektormittel bei dem hier vorgestellten Verfahren.

Gemäß Anspruch 5 umfasst eine Vorrichtung zur Fokussierung von Laserlicht in eine Arbeitsebene,

- einen Umlenkspiegel,

- ein Zylinderlinsenmittel, dessen Linsenscheitel einen Versatz aufweist und das einen ersten Transmissionsabschnitt sowie einen zweiten Transmissionsabschnitt, der vom ersten

Transmissionsabschnitt verschieden ist, umfasst, sowie

- ein Retroreflektormittel, das eine optische Achse aufweist, wobei der Umlenkspiegel im Strahlengang der Vorrichtung so

angeordnet ist, dass er das Laserlicht während des Betriebs der Vorrichtung derart umlenken kann, dass es sich im Wesentlichen parallel zur optischen Achse des Retroreflektormittels ausbreiten kann und durch den ersten Transmissionsabschnitt des

Zylinderlinsenmittels transmittiert werden kann und nachfolgend von dem Retroreflektormittel derart zurückreflektiert werden kann, dass das Laserlicht durch den zweiten Transmissionsabschnitt des

Zylinderlinsenmittels transmittiert und in die Arbeitsebene fokussiert werden kann. Die erfindungsgemäße Vorrichtung ermöglicht in vorteilhafter Weise eine Kompensation des Versatzes des

Linsenscheitels des Zylinderlinsenmittels, so dass trotz dieses

Versatzes in der Arbeitsebene eine im Wesentlichen linienförmige Intensitätsverteilung erzeugt werden kann. Dadurch, dass ein

Umlenkspiegel zwischen der Laserlichtquelle und dem

Zylinderlinsenmittel angeordnet ist, erreicht man eine Trennung vom Auftreffpunkt des Eingangsstrahls des Laserlichts auf dem

Umlenkspiegel und des Ausgangsstrahls des Laserlichts nach dem ersten Durchgang durch das Zylinderlinsenmittel und dem Durchgang durch das Retroreflektormittel, indem das Zylinderlinsenmittel nicht orthogonal zu dem auf das Retroreflektormittel auftreffenden

Eingangsstrahl des Laserlichts orientiert ist.

Der Grundgedanke des erfindungsgemäßen Verfahrens

beziehungsweise der erfindungsgemäßen Vorrichtung besteht somit darin, dass das Laserlicht der Laserlichtquelle nicht direkt durch die eine Fokussierlinse bildende Zylinderlinse auf die Arbeitsebene trifft. Vielmehr ist ein Retroreflektormittel vorgesehen, das in vorteilhafter Weise dazu in der Lage ist, Ortsfehler des Linsenscheitels derart zu korrigieren, dass ein Versatz des Linsenscheitels zu dem auf das Zylinderlinsenmittel treffenden Strahl nur einen minimalen Versatz des auf die Arbeitsebene abgebildeten Laserstrahls erzeugt. Dieser „Fehler" findet sich in demjenigen Winkel wieder, in dem die

Abbildung in der Arbeitsebene erzeugt wird. Dieser ist aber in der typischen Anwendung in der Regel weit weniger kritisch als eine schwankende Linienbreite.

In einer bevorzugten Ausführungsform wird vorgeschlagen, dass das Retroreflektormittel als Umkehrprisma mit einer ersten

Lichtumlenkfläche und einer zweiten Lichtumlenkfläche ausgebildet ist. An jeder der beiden Lichtumlenkflächen wird das Laserlicht nach dem physikalischen Prinzip der inneren Totalreflexion jeweils um 90° umgelenkt, so dass das auf das Umkehrprisma treffende Laserlicht insgesamt um 180° umgelenkt wird. Vor und nach dem Umkehrprisma breitet sich das Laserlicht im Wesentlichen parallel zur optischen Achse des Umkehrprismas aus. Optional können die

Lichtumlenkflächen des Umkehrprismas auch verspiegelt ausgebildet sein.

In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform wird vorgeschlagen, dass zwischen der ersten Lichtumlenkfläche und der zweiten

Lichtumlenkfläche des Umkehrprismas eine Scheitellinie ausgebildet ist und die Vorrichtung Mittel zur Verschiebung der Scheitellinie umfasst. Durch eine Verschiebung der Scheitellinie des

Umkehrprismas (und mithin auch des Umkehrprismas selbst) können Winkelbeziehungen des Eingangsstrahls und des Ausgangsstrahls des Laserlichts in vorteilhafter Weise angepasst werden.

In einer alternativen Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass das Retroreflektormittel als Umkehrspiegel mit einer ersten

Spiegelfläche und mit einer zweiten Spiegelfläche ausgebildet ist. An jeder der beiden Spiegelflächen wird das Laserlicht jeweils um 90° umgelenkt, so dass das auf den Umkehrspiegel treffende Laserlicht insgesamt um 180° umgelenkt wird. Vor und nach dem Umkehrprisma breitet sich das Laserlicht im Wesentlichen parallel zur optischen Achse des Umkehrspiegels aus. ln einer vorteilhaften Ausführungsform besteht die Möglichkeit, dass zwischen der ersten Lichtumlenkfläche und der zweiten

Lichtumlenkfläche des Umkehrspiegels eine Scheitellinie ausgebildet ist und die Vorrichtung Mittel zur Verschiebung der Scheitellinie umfasst. Durch eine Verschiebung der Scheitellinie des

Umkehrspiegels (und mithin auch des Umkehrspiegels selbst) können Winkelbeziehungen des Eingangsstrahls und des Ausgangsstrahls des Laserlichts in vorteilhafter Weise angepasst werden.

In einer weiteren, besonders vorteilhaften Ausführungsform kann vorgesehen sein, dass die Vorrichtung Mittel zur Verschiebung des Linsenscheitels des Zylinderlinsenmittels aufweist. Durch eine

Verschiebung der Scheitellinie des Zylinderlinsenmittels (und mithin auch des Zylinderlinsenmittels selbst) können Winkelbeziehungen des Eingangsstrahls und des Ausgangsstrahls des Laserlichts in

vorteilhafter Weise weiter angepasst werden.

Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter

Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beiliegenden

Abbildungen. Darin zeigen

Fig. 1 eine Draufsicht auf ein Zylinderlinsenmittel, welches einen

Scheitelfehler aufweist,

Fig. 2 eine schematische Darstellung einer Intensitätsverteilung von Laserlicht, das mittels des Zylinderlinsenmittels gemäß Fig. 1 in eine Arbeitsebene fokussiert wurde,

Fig. 3 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zur

Fokussierung von Laserlicht, die gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ausgeführt ist,

Fig.4 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zur

Fokussierung von Laserlicht, die gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ausgeführt ist,

Fig. 5 eine schematische Darstellung einer Intensitätsverteilung des Laserlichts, das mittels einer Vorrichtung gemäß Fig. 3 oder 4 in eine Arbeitsebene fokussiert wurde.

Unter Bezugnahme auf Fig. 3 bis 5 sollen nachfolgend zwei

Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung näher erläutert werden. Dabei sind in Fig. 3 und 4 zur Vereinfachung der

nachfolgenden Beschreibung zweidimensionale kartesische

Koordinatensysteme eingezeichnet, welche die zueinander orthogonalen y- und z-Richtungen definieren. Die x-Richtung erstreckt sich orthogonal zur y- und z-Richtung in die Zeichenebene.

Eine Vorrichtung zur Fokussierung von Laserlicht 1, die gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ausgeführt ist, ist in Fig. 3 gezeigt. Das auf die Vorrichtung treffende Laserlicht 1 wird von einer hier aus Vereinfachungsgründen nicht explizit

dargestellten Laserlichtquelle - insbesondere von einem

Laserdiodenbarren mit einer Mehrzahl von Emittern, die in einer ersten Richtung (der so genannten Slow-Axis-Richtung) beabstandet zueinander nebeneinander angeordnet sind - emittiert und mit Hilfe geeigneter, ebenfalls nicht explizit dargestellter Optikmittel kollimiert. Die Ausbreitungsrichtung, in der sich das Laserlicht 1 der

Laserlichtquelle zunächst ausbreitet, ist vorliegend die z-Richtung.

Die Vorrichtung zur Fokussierung von Laserlicht 1 umfasst in diesem Ausführungsbeispiel einen Umlenkspiegel 2, ein Zylinderlinsenmittel 3, dessen Zylinderachse sich in x-Richtung (vorliegend also in die Zeichenebene) erstreckt, sowie ein Retroreflektormittel, das in diesem Ausführungsbeispiel durch ein Umkehrprisma 4 gebildet ist, welches eine erste Lichtumlenkfläche 40 und eine zweite Lichtumlenkfläche 41 umfasst, die miteinander einen Winkel von 90 ° einschließen und dadurch eine Scheitellinie 42 bilden. Senkrecht zur Scheitellinie 42 erstreckt sich die optische Achse O des Umkehrprismas 4. Das

Umkehrprisma 4 ist dazu in der Lage, das einfallende Laserlicht 1 um 180° umzulenken. Das Zylinderlinsenmittel 3 ist wie in Fig. 1

dargestellt ausgeführt. Die Scheitel S1, S2 der beiden

Zylinderlinsenabschnitte 30, 31 weisen somit den in Fig. 1

dargestellten Versatz d > 0 mm auf.

Das sich in z-Richtung ausbreitende kollimierte Laserlicht 1 trifft zunächst auf den Umlenkspiegel 2, der derart geneigt im Strahlengang der Vorrichtung angeordnet ist, dass er das Laserlicht 1 so umlenken kann, dass sich die Ausbreitungsrichtung des Laserlichts 1 nach der Reflexion am Umlenkspiegel 2 im Wesentlichen parallel zur optischen Achse O des Umkehrprismas 4 erstreckt. Das Laserlicht 1 wird durch einen ersten, durch geschweifte Klammern

gekennzeichneten Transmissionsabschnitt 32 des

Zylinderlinsenmittels 3 transmittiert, der durch Teilbereiche des ersten und zweiten Zylinderlinsenabschnitts 30, 31 gebildet wird, die sich von den Außenrändern bis zur Mittellinie M erstrecken (siehe Fig. 1). Das Laserlicht 1 ist bei der Transmission durch den ersten

Transmissionsabschnitt 32 dem Versatz d der Linsenscheitel S1, S2 ausgesetzt. Dann trifft das Laserlicht 1 auf das Umkehrprisma 4 und wird an der ersten Lichtumlenkfläche 40 und an der zweiten

Lichtumlenkfläche 41 nach dem physikalischen Prinzip der inneren Totalreflexion jeweils um 90° umgelenkt. Somit wird das auf das Umkehrprisma 4 treffende Laserlicht 1 insgesamt um 180° umgelenkt.

Das um 180° umgelenkte Laserlicht 1 breitet sich wiederum im

Wesentlichen parallel zur optischen Achse O des Umkehrprismas 4 aus und trifft nachfolgend auf einen zweiten, ebenfalls durch

geschweifte Klammern gekennzeichneten Transmissionsabschnitt 33 des Zylinderlinsenmittels 3, der vom ersten Transmissionsabschnitt 32 verschieden ist und ebenfalls durch Teilbereiche des ersten und zweiten Zylinderlinsenabschnitts 30, 31 gebildet wird, die sich von den Außenrändern bis zur Mittellinie M erstrecken. Das Laserlicht 1 ist bei der Transmission durch den ersten Transmissionsabschnitt 32 dem Versatz der Linsenscheitel S1, S2 ausgesetzt. Das Laserlicht 1 wird durch den zweiten Transmissionsabschnitt 33 des

Zylinderlinsenmittels 3 transmittiert und an der gekrümmten

Lichtaustrittsfläche des zweiten Transmissionsabschnitts 33 des Zylinderlinsenmittels 3 derart gebrochen, dass es in die Arbeitsebene 5 fokussiert wird, in der eine im Wesentlichen linienförmige Intensitätsverteilung erzeugt wird, wie sie in Fig. 5 schematisch dargestellt ist.

Anhand der Darstellung in Fig. 5 wird deutlich, dass mit Hilfe der hier vorgestellten Vorrichtung zur Fokussierung von Laserlicht 1

(vorliegend mit einer Tophat-Winkelverteilung) trotz des Versatzes d der Linsenscheitel S1, S2 die gewünschte linienförmige

Intensitätsverteilung I in der Arbeitsebene 5 erzeugt werden kann. Wenn die Scheitel S1, S2 der beiden Zylinderlinsenabschnitte 30, 31 zum Beispiel ein Versatz d=0,2 mm aufweisen (zum Beispiel durch eine ungenaue Fertigung oder dadurch, dass das Zylinderlinsenmittel 3 aus zwei stoffschlüssig miteinander verbundenen

Zylinderlinsenelementen hergestellt ist) ist es möglich, dass die hier vorgestellte Vorrichtung zur Fokussierung von Laserlicht 1 den

Versatz der Scheitel S1, S2 der beiden Zylinderlinsenabschnitte 30, 31 derart korrigieren und kompensieren kann, dass in der

Arbeitsebene 5 ein Versatz der Intensitätsverteilung I orthogonal zur x-Richtung kaum messbar ist. Weitere Untersuchungen haben gezeigt, dass zum Beispiel bei einem Versatz der Scheitel S1, S2 der beiden Zylinderlinsenabschnitte 30, 31 um 0,4 mm der Versatz der

Intensitätsverteilung I im Fokus in der Arbeitsebene 5 nur etwa 10 pm (und damit rund 1/40 des Scheitelfehlers) beträgt.

Unter Bezugnahme auf Fig.4 ist dort eine Vorrichtung zur

Fokussierung von Laserlicht 1 dargestellt, die gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ausgeführt ist. Der grundlegende Aufbau der Vorrichtung entspricht demjenigen des ersten Ausführungsbeispiels. Die Vorrichtung umfasst wiederum einen Umlenkspiegel 2, ein Zylinderlinsenmittel 3 sowie ein

Retroreflektormittel, das in diesem Ausführungsbeispiel durch einen Umkehrspiegel 6 gebildet ist. Der Umkehrspiegel 6 weist eine erste Spiegelfläche 60 und eine zweite Spiegelfläche 61 auf, die miteinander einen Winkel von 90 ° einschließen und dadurch eine Scheitellinie 62 bilden. Senkrecht zur Scheitellinie 62 erstreckt sich die optische Achse O des Umkehrspiegels 6.

Das kollimierte Laserlicht 1 der Laserlichtquelle breitet sich zunächst wiederum in z-Richtung aus und trifft auf den Umlenkspiegel 2, der derart geneigt im Strahlengang der Vorrichtung angeordnet ist, dass er das Laserlicht 1 so umlenken kann, dass sich die

Ausbreitungsrichtung des Laserlichts 1 nach der Reflexion am

Umlenkspiegel 2 im Wesentlichen parallel zur optischen Achse O des Umkehrspiegels 6 erstreckt.

Das Laserlicht 1 wird wie im ersten Ausführungsbeispiel durch den ersten Transmissionsabschnitt 32 des Zylinderlinsenmittels 3

transmittiert. Dabei ist das Laserlicht 1 bei der Transmission durch den ersten Transmissionsabschnitt 32 dem Versatz d der

Linsenscheitel S1, S2 ausgesetzt. Dann trifft das Laserlicht 1 auf die erste Spiegelfläche 60 des Umkehrspiegels 6 und wird von dieser um 90° umgelenkt. Das Laserlicht 1 trifft dann auf die zweite

Spiegelfläche 61 des Umkehrspiegels 6 und wird an dieser abermals um 90° umgelenkt. Mit Hilfe des Umkehrspiegels 6 wird das

auftreffende Laserlicht 1 also insgesamt um 180° umgelenkt. Das um 180° umgelenkte Laserlicht 1 trifft dann auf den zweiten

Transmissionsabschnitt 33 des Zylinderlinsenmittels 3, der - wie oben bereits erläutert - vom ersten Transmissionsabschnitt 32 verschieden ist. Das Laserlicht 1 ist bei der Transmission durch den ersten

Transmissionsabschnitt 32 wiederum dem Versatz der Linsenscheitel S1, S2 ausgesetzt. Das Laserlicht 1 wird durch den zweiten

Transmissionsabschnitt 33 des Zylinderlinsenmittels 3 transmittiert und an der gekrümmten Lichtaustrittsfläche des zweiten

Transmissionsabschnitts 33 des Zylinderlinsenmittels 3 derart gebrochen, dass es in die Arbeitsebene 5 fokussiert wird, in der wiederum eine linienförmige Intensitätsverteilung I erzeugt wird, wie sie in Fig. 5 dargestellt ist.

Die den beiden hier vorgestellten Ausführungsbeispielen der

Erfindung zu Grunde liegende Idee besteht somit darin, dass das Laserlicht 1 der Laserlichtquelle nicht direkt durch das eine

Fokussierlinse bildende Zylinderlinsenmittel 3 auf die Arbeitsebene 5 trifft, sondern dass ein Retroreflektormittel (insbesondere ein

Umkehrprisma 4 oder ein Umkehrspiegel 6) vorgesehen ist, mittels dessen das Laserlicht 1, das durch einen ersten

Transmissionsabschnitt 30 des Zylinderlinsenmittels 3 transmittiert wurde, derart um 180° umgelenkt werden kann, dass es durch einen vom ersten Transmissionsabschnitt 32 verschiedenen zweiten

Transmissionsabschnitt 33 transmittiert werden kann und von diesem in die Arbeitsebene 5 fokussiert werden kann. Das Laserlicht 1 ist bei der Transmission durch den ersten Transmissionsabschnitt 32 und durch den zweiten Transmissionsabschnitt 33 jeweils dem Versatz der Linsenscheitel S1, S2 ausgesetzt. Das Retroreflektormittel ist in vorteilhafter Weise dazu in der Lage, Ortsfehler des Linsenscheitels S1, S2 derart zu korrigieren, dass der Versatz d des Linsenscheitels S1, S2 zu dem auf das Zylinderlinsenmittel 3 treffenden Laserlicht 1 nur einen minimalen Versatz des auf die Arbeitsebene 5 abgebildeten Laserlichts 1 erzeugt. Dieser„Fehler" findet sich in demjenigen

Winkel wieder, in dem die Abbildung in der Arbeitsebene 5 erzeugt wird. Dieser ist aber in der typischen Anwendung in der Regel weit weniger kritisch als eine schwankende Linienbreite.

Durch eine Verschiebung des Scheitels S1, S2 des

Zylinderlinsenmittels 3 und/oder durch eine Verschiebung der

Scheitellinie 42, 62 des Umkehrprismas 4 beziehungsweise des

Umkehrspiegels 6 können der Winkel des Eingangsstrahls des Laserlichts 1 und der Winkel des Ausgangsstrahls des Laserlichts 1 in vorteilhafter Weise weiterhin eingestellt werden.