Verfahren und Vorrichtungen dieser Art sind aus DE 40 41 199 A1, Derwent-Abstract 94-246139/30 und EP 0 744 739 A1 bekannt um beispielsweise sogenannte Di- gital-Video-Disks (auch unter der Abkürzung DVD bekannt), zu fertigen. Digital-Video-Disks bestehen aus zwei Substraten oder Teilsubstraten, auf denen auf jeweils ei- ner Oberfläche Digital-Video-Informationen gespeichert sind, und die mit ihren informationsfreien Seiten mit- einander verklebt sind. Für das Verbinden der beiden Substrate zu einer Substratscheibe, beispielsweise einer Digital-Video-Disk, sind sehr genau arbeitende Vorrich- tungen erforderlich, da die Substrate nicht nur sehr la- gegenau übereinander angeordnet werden müssen, sondern der Klebevorgang über die gesamte Scheibenfläche hinweg gleichmäßig und ohne Lufteinschlüsse oder unterschiedlich dicke Klebemittelschichten durchgeführt werden muß, um fehlerfreie Substratscheiben zu erhalten. Darüber hinaus sind die herkömmlichen Vorrichtungen zum Verkleben von zwei Substraten konstruktionsmäßig sehr aufwendig und nehmen einen großen Raum ein.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Verkleben von zwei Substraten zu schaffen, das bzw. die ein zuverlässiges, gleichmäßiges Verkleben der Substrate ermöglicht, zu guten Substrat-

scheiben mit geringen Ausschußraten führt und dennoch einfach durchgeführt werden kann bzw. die konstruktiv einfach ist und eine hohe Produktivität ermöglicht.

Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein ein- gangs genanntes Verfahren gelöst, bei dem wenigstens eine der zu verklebenden Flächen der Substrate, vorzugsweise die zu verklebende Fläche des Substrats, auf die das ei- gentliche Klebemittel aufgebracht wird, mit einer Vorbe- schichtung versehen wird. Auf diese Weise wird die Gleit- fähigkeit für das Hauptklebemittel bzw. den Hauptlack wesentlich verbessert, so daß die Klebemittel-Verteilung über die gesamte Fläche hinweg nicht nur schneller, son- dern auch gleichmäßiger erfolgt. Die Vorbeschichtung er- möglicht es, das Klebemittel zwischen den zu verklebenden Substraten auf einfache Weise über die gesamte zu verklebende Fläche hinweg sehr gleichmäßig zu verteilen und Einschlüsse, wie Luftblasen oder dgl., zu vermeiden.

Die Substrate haften daher über die gesamte Substratflä- che hinweg fest aneinander und insbesondere weisen die Substratscheiben über die gesamte Fläche hinweg eine gleichmäßige Dicke auf.

Das Klebemittel ist vorzugsweise ein sogenannter Ultra- violett-Kunststofflack, der durch Bestrahlen mit ultra- violettem Licht schnell aushärtet und eine gute Haftwir- kung zwischen den beiden Substraten ermöglicht. Vorzugs- weise wird das Klebemittel als Klebering auf eine zu ver- klebende Fläche eines Substrats aufgebracht, das dann durch den Schleudervorgang über die gesamte Substratflä- che verteilt wird.

Vorzugsweise wird ein einstellbarer, genauer Druck auf das auf das erste Substrat aufgebrachte zweite Substrat nach dem Auflegen ausgeübt, der die gleichmäßige Vertei- lung des Klebemittels zwischen den Substraten verbessert.

Das obere, aufzulegende Substrat wird dabei vorzugsweise

über einen Einarmhändler mit Präzisionsantrieb in einer- Feinbewegung genau zentrisch auf das erste Substrat auf- gebracht und ein entsprechender Druck ausgeübt.

Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß auch dadurch gelöst, daß wenigstens eines der Substrate beim Auflegen auf das andere Substrat in den Randbereichen vom anderen Substrat weg gebogen wird, so daß Luftblasen oder son- stige Einschlüsse in der Klebeschicht oder im Klebemittel sicherer und zuverlässiger entfernt werden können. Da durch das Verbiegen des aufzulegenden Substrats dieses zunächst in der Mitte aufliegt, und dann erst bei voll- ständiger Freigabe sich sozusagen von innen nach außen abwälzt, wird der Klebemittelring von innen nach außen zu den Substraträndern hin gedrückt und ausgewalzt, so daß dadurch auch Lufteinschlüsse und Blasen entfernt werden.

Eine weitere Lösung der gestellten Aufgabe besteht darin, die Ränder der verklebten Substrate nach dem Ausschleu- dern des Klebemittels zu reinigen. Auf Grund des Reini- gungsvorgangs ergibt sich zusätzlich auch eine zuverläs- sige Versiegelung des Substratscheiben-Randes, die zu einer Erhöhung der Qualität des fertigen Produkts bei- trägt. Zum Reinigen des Substratscheiben-Randes ist vor- zugsweise eine Klebemittel-Absaugrichtung vorgesehen, die federnd an den Substratscheiben-Rand angedrückt wird. Zur Erhöhung der Produktivität erfolgt diese Reinigung des Substratrandes unmittelbar nach dem Ausschleudervorgang des Klebemittels, ohne daß für die Randreinigung eine zusätzliche Lageveränderung der Substratscheiben oder eine eigene Reinigungsstation erforderlich ist.

Die verklebten Substratscheiben werden vorzugsweise in einem Klebemittel-Trockner, bei Verwendung eines W-Lacks in einem UV-Trockner getrocknet, wodurch der Herstel- lungsvorgang wesentlich verkürzt wird. Ein derartiger Klebemittel-Trockner kann beispielsweise entsprechend ei-

ner Vorrichtung ausgebildet sein, wie sie in der nicht- vorveröffentlichten, auf dieselbe Anmelderin zurückgehen- den DE-A 195 45 843 beschrieben ist, und die zur termes- dung von Wiederholungen insofern zum Gegenstand der vor- liegenden Anmeldung gemacht wird. Die Substratscheiben können dabei beispielsweise bei drehender Bewegung unter einer UV-Lampe hindurchgeführt werden.

Eine Lösung der gestellten Aufgabe ist insbesondere dann sehr vorteilhaft, wenn eine Quarz-oder Glasplatte wäh- rend des Trocknungsvorgangs auf die Substratscheibe auf- gelegt wird, wobei sie mit ihrem Eigengewicht während des Trocknens auf die Substratscheibe drückt und diese eben hält. Vorzugsweise wird dabei die Quarz-oder Glasplatte nach dem Trocknungsvorgang, während dem sie aufgeheizt wird, gekühlt, bevor sie auf die nächste Substratscheibe aufgelegt wird. Die Kühlung der Quarz-oder Glasplatte erfolgt gemäß einem Ausführungsbeispiel mit ionisierter Luft, wobei die Glasplatten mit einem Wechselsystem jeweils zwischen dem Kühlvorgang und dem Aufbringen auf die Substratscheibe verschoben wird. Auch ist es vor- teilhaft, die Trocknung in einer Stickstoffumgebung vor- zunehmen, die zur schnelleren und endgültigen Trocknung der Substratscheiben beiträgt.

Nach dem Klebe-und Trocknungsvorgang werden die Sub- stratscheiben in einer Inspektionsstation, beispielsweise mit einem Scanner, auf Fehler überprüft und je nach den dabei gewonnenen Meßergebnissen freigegeben oder als Aus- schuß ausgesondert.

Das erfindungsgemäße Verfahren wird mit einem Datenverar- beitungsprogramm, das beispielsweise in einem Personal Computer abläuft, gesteuert und/oder visualisiert.

Die gestellte Aufgabe wird weiterhin durch eine Vorrich- tung der eingangs genannten Art gelöst, die eine Vorbe-

schichtungs-oder Vordispensoreinrichtung aufweist, die in Ablaufrichtung des Fertigungsverfahrens vor der Ver- klebestation bzw. vor der Klebemittelaufbringeinrichtung angeordnet ist. Durch die Vorbeschichtungseinrichtung wird mindestens eine der zu verklebenden Flächen der Substrate, vorzugsweise die Flache, auf die das andere Substrat aufgelegt wird, mit einer Vorlackierung verse- hen, die die Gleitfähigkeit des Klebemittels oder des Hauptlacks verbessert und damit zu einer gleichmäßigeren und schnelleren Verteilung des Hauptlacks während des Au- schleudervorgangs führt. Durch entsprechende Substrat- handhabungsgeräte insbesondere mit Präzisionsantrieb, wird ein Substrat genau zentrisch auf das andere positio- niert und insbesondere auch ein genauer einstellbarer Druck auf das aufzubringende Substrat und damit auf das zwischen den beiden Substraten aufgebrachte Klebemittel ausgeübt, der wiederum die Verteilung und die Schnellig- keit derselben während des Klebevorgangs verbessert bzw. erhöht. Die mit dem zuvor beschriebenen erfindungsgemäßen Verfahren erzielten Vorteile werden auch durch die erfin- dungsgemäße Vorrichtung erreicht, nämlich das Klebemittel schnell, zuverlässig und gleichmäßig auf die zu verkle- benden Flächen der Substrate zu verteilen, ohne daß Ein- schlüsse, beispielsweise Lufteinschlüsse, zwischen den Substraten verbleiben, die zu ungleichmäßig dicken Substratscheiben und damit zu Substratscheiben mit min- derer Qualität bzw. hohen Ausschußraten führen würden.

Gemäß einem weiteren, die Aufgabe lösenden Erfindungsge- danken ist eine Biegeeinrichtung zum Verbiegen wenigstens eines zu verklebenden Substrats an seinen Randbereichen vom anderen Substrat weg vorgesehen. Auf diese Weise ergibt sich eine noch bessere Vermeidung von Luftblasen oder sonstigen Einschlüssen in der Klebeschicht, da die beiden zu verklebenden Substrate zunächst von innen zunehmend nach außen zur Auflage kommen und dabei Blasen

oder Lufteinschlüsse bei diesem Abrollvorgang nach außen drücken und entfernen.

Die Biegeeinrichtung weist vorteilhafterweise einen im Innenbereich des zu biegenden Substrats angreifenden In- nengreifer und einen im Außenbereich des zu biegenden Substrats angreifenden Außengreifer auf, die in Achsen- richtung der Substrate relativ zueinander beweglich sind und daher die Verbiegung des unteren oder oberen Sub- strats bezüglich des anderen Substrats ermöglichen. Für das Angreifen des Innen-und/oder Außengreifers sind vor- zugsweise Sauger oder Saugergruppen vorgesehen, die etwa beim Außengreifer auch über den gesamten Kreisumfang ver- teilt angeordnet sein können.

Eine weitere Lösung der gestellten Aufgabe besteht in ei- ner Vorrichtung, bei der eine Reinigungseinrichtung zum Reinigen des Substratscheibenrandes vorgesehen ist. Der Reinigungsvorgang bewirkt gleichzeitig ein Versiegeln des Substratscheibenrandes, und damit eine Qualitätsverbes- serung des erzeugten Produkts. Die Reinigungseinrichtung weist vorzugsweise eine Klebemittel-Absaugeinrichtung auf, die gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfin- dung federnd am Substratscheibenrand andrückbar ist. Die Reinigungseinrichtung ist dabei vorzugsweise Teil der Klebemittel-Ausschleudereinrichtung, so daß die Substrat- scheiben für den Reinigungsvorgang nicht zu einer ent- sprechenden Station transportiert werden müssen, sondern unmittelbar nach Ende des Ausschleudervorgangs in ihrer dafür vorgesehenen Lage an ihren Rändern gereinigt wer- den.

Der Klebemittel-Ausschleudereinrichtung bzw. der Sub- stratscheibenrand-Reinigungseinrichtung ist vorzugsweise eine Trockenstation nachgeordnet, die bei Verwendung von Klebemittel oder Lack, das bzw. der mit ultraviolettem

Licht getrocknet und gehärtet wird, ein Ultraviolett- Trockner ist.

Zur Verbesserung der Qualität der verklebten Scheiben und der Produktivität weist die Trocknerstation vorzugsweise eine Quarz-oder Glasplatten-Auflegeeinheit auf. Die Quarz-oder Glasplatte kann dabei mittels eines Schieber- oder Wechselsystems zwischen dem Substratscheiben-Bereich und einem Kühlbereich hin-und herverschoben werden.

Die Trocknerstation weist vorzugsweise UV-Lampen auf, wo- bei vorteilhafterweise Reflexionsflächen für die Lampen- strahlung im Bereich der Substratränder vorgesehen sind.

Dadurch ist eine Trocknung und Aushärtung des Klebemit- tels auch in den Rand-und Kantenbereichen der Substrat- scheibe schnell und zuverlässig möglich. Der Trocknungs- station schließt sich gemäß einer weiteren Ausführungs- form der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine Inspektions- station an, in der in Abhängigkeit von den Meßergebnissen des Überprüfungsvorgangs die gefertigen Substratscheiben freigegeben oder als Ausschuß verworfen werden.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist insbesondere sehr kostengünstig und auf Grund der kompakten Bauweise mit kleinen Abmessungen herstellbar und vorzugsweise mit ei- ner Schutzkabine mit Türen und Fenstern versehen, in der durch eine aufgebrachte sogenannte Flow-Box, also durch eine entsprechende möglichst laminare Strömung ein rein- raum-ähnliches Umfeld für die Fertigung der Substrat- scheiben geschaffen wird. Die erfindungsgemäße Vorrich- tung kann sowohl als Einzelmaschine als auch in einer Fertigungslinie integriert eingesetzt werden.

Unter Substratscheiben sind im Zusammenhang mit der vor- liegenden Erfindung nicht nur Digital-Video-Disks son- dern allgemein Scheiben zu verstehen, die durch Verkleben von mindestens zwei Teilscheiben gebildet werden.

Die Erfindung wird nachstehend anhand bevorzugter Ausfüh- rungsbeispiele unter Bezugnahme auf die Figuren näher er- läutert. Es zeigen : Fig. 1 eine schematische Darstellung der erfindungsgemä- ßen Vorrichtung in Aufsicht und Fig. 2 eine schematische Darstellung einer Ausführungs- form für die Biegeeinrichtung.

Bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel für eine erfindungsgemäße Vorrichtung erfolgt die Verfahrens- abfolge in Verfahrensschritten von rechts nach links. In einer ersten Geberstation 1 werden auf einem Geberteller 2 erste Substrate 3 bereitgestellt. In entsprechender Weise werden in einer zweiter Geberstation 4 auf einem zweiten Geberteller 5 zweite Substrate 6 bereitgestellt, die mit ihrer keine Informationen aufweisenden Fläche mit der entsprechenden Fläche des ersten Substrats 3 verklebt werden sollen. Mit einem Überkopfhändler 7 werden die er- sten Substrate 3 aus der Geberstation 1 entnommen, um 180° gedreht, so daß die zu verklebende, nicht mit Infor- mationen gespeicherte Seite nach oben weist, und auf ei- nen Eingangs-Rundschalttisch 8 an vorgegebenen Stellen abgelegt. Ein Geberhändler 9 transportiert die zweiten Substrate 6 mit der zu verklebenden Seite nach unten, al- so ohne Drehung der Substrate 6, auf entsprechende Berei- che des Eingangs-Rundschalttischs 8. Der Eingangs-Rund- schalttisch 8 weist eine spezielle Aufteilung, nämlich eine Zwei-Positionen-Teilung auf, durch die eine Ver- wechslung der beiden zu verklebenden Substrate 3 und 6 selbst nach einem Stromausfall vermieden wird.

Der Rundtisch 8 stellt die ersten und zweiten Substrate 3 bzw. 6 einer Verklebestation 10 bereit, die zwei Klebe- mittel-Ausschleudereinrichtungen oder Prozeßtöpfe 11 und 12 und jeweils eine Klebemittelaufbringeinrichtung bzw.

je einem Dispenser 13,14, jeweils einer Substratschei- benrand-Reinigungseinrichtung 15 bzw. 16, sowie eine Vor- beschichtungseinrichtung bzw. Prodispense-Einheit 17 und entsprechende Händler 18 bzw. 19 aufweist.

Der Prozeßablauf in der Klebestation 10 ist folgender.

Zunächst werden die auf dem Eingangs-Rundschalttisch 8 liegenden ersten Substrate 3, deren zu verklebende Flä- chen nach oben weisen, und die beim Verklebevorgang das untere Substrat darstellen, an einer bestimmten Rundti- schposition mit dem Händler 19 auf einen Tisch 20 der Vorbeschichtungseinrichtung 17 gelegt und dort mit einer Beschichtungseinrichtung 21 vorbeschichtet, um für das eigentliche Klebemittel oder den Hauptlack in einem nach- folgend noch zu beschreibenden Verfahrensschritt eine op- timale Gleitfähigkeit zu schaffen. Die vorbeschichteten ersten Substrate 3 werden danach wieder auf dem Eingangs- Rundschalttisch 8 abgelegt.

Mit dem Einarmhändler 18 mit Präzisionsantrieb werden die ersten Substrate 3 vom Eingangs-Rundschalttisch 8 in die beiden Klebemittel-Ausschleudereinrichtungen 11 bzw. 12 gelegt. In einem nächsten Verfahrensschritt wird mit je- weils der Klebemittelaufbringeinrichtung bzw. der Haupt- dispensereinheit 13,14 ein Klebemittel, beispielsweise ein UV-Kunststofflack etwa in Form eines Rings aufgetra- gen. Danach wird das zweite, obere Substrat 6 vom Ein- gangs-Rundschalttisch 8 ebenso entnommen und genau zen- trisch auf das erste, untere Substrat 3 aufgelegt. Die Teller der Klebemittel-Ausschleudereinrichtungen 11,12 werden in Drehung versetzt, so daß das Klebemittel zwi- schen den Substraten 3 und 6 ausgeschleudert wird.

Wie im nachfolgenden noch anhand der Fig. 2 im einzelnen erläutert werden wird, kann das obere oder das untere Substrat 3 bzw. 6 eine leichte Biegung aufweisen, wodurch das Entfernen von Luftblasen oder Einschlüssen, die beim

Aufbringen des Klebemittels oder Kleberings darin auftre- ten, erleichtert und die Klebemittelverteilung zusätzlich verbessert und beschleunigt wird. Über den Präzisionsan- trieb des Einarmhändlers 18 kann nicht nur die Geschwin- digkeit, mit dem das zweite obere Substrat 6 aufgelegt wird, sondern auch ein genauer Druck, mit dem dieses Substrat 6 auf dem Klebemittelring aufgelegt wird, sowie die Verzögerung, mit der der Substratrand des verbogenen Substrats freigegeben wird, genau gesteuert werden.

Nach dem Ausschleudern tritt die Substratscheibenrand- Reinigungseinrichtung 15 bzw. 16 in Funktion, bei der bei der dargestellten Ausführungsform eine Klebemittel-Absau- geinrichtung federnd an den Rand der verklebten Substrat- scheibe gedrückt wird. Durch die dadurch erfolgte Rand- reinigung wird gleichzeitig eine zusätzliche Versiegelung des Substratscheibenrandes erreicht, wodurch die Produkt- qualität verbessert wird.

Die verklebten Substratscheiben 23 werden danach mit ei- nen Einarmhändler 24 aus der Verklebestation 10 entnommen und auf einen weiteren Rundschalttisch 25 einer Trock- nerstation 26 gelegt, in der die Substratscheiben 23 ge- taktet unter einen W-Trockner 27 geführt und mit UV-Lam- pen bestrahlt und dadurch getrocknet werden. Der UV- Trockner 27 ist vorzugsweise mit zwei bis vier 4 HPA-Lam- pen in ein oder zwei Station ausgestattet.

Die Trockenstation 26 weist weiterhin einen Glasplatten- händler 28 in Form einer Schieber-oder Wechseleinrich- tung auf, mit der Quarz-oder Glasplatten 29 auf die zu trocknenden Substratscheiben 23 aufgelegt werden und die mit ihrem Eigengewicht auf den Substratscheiben 23 lie- gen. Mit dem Glasplattenhändler 28 werden die Glasplatten 29 nach dem Entfernen von den Substratscheiben 23 unter ionisierter Luft gekühlt, um danach wieder auf weitere Substratscheiben 23 aufgelegt werden zu können.

Die getrockneten Substratscheiben 23 werden mit einem dreiarmigen Händler 30 vom Rundschalttisch 25 der~Trock- nerstation 26 einer Nehmerstation 31 zugeführt, in der sich eine Inspektionsstation 34 befindet, die die ferti- gen Substratscheiben 23 einer Qualitätskontrolle unter- zieht und in Abhängigkeit vom Ergebnis dieser Kontrolle bzw. deren Meßwerten den dreiarmigen Händler 30 so steu- ert, daß er die guten Substratscheiben 23 auf einen wei- teren Rundtisch 35 und die schlechten Substratscheiben 23 auf eine Ausschuß-Spindel 36 ablegt.

Auf Grund der kompakten Bauweise weist die erfindungsge- mäße Vorrichtung kleine Abmessungen mit einer Lange von 2900 mm, einer Breite von 1250 mm und einer Höhe von 1900 mm auf, die einen flexiblen Einsatz der Vorrichtung auch in kleinsten Räumen sowohl als Einzelmaschine als auch als eine in einer Fertigungsreihe integrierten Ma- schine ermöglicht.

Fig. 2 zeigt in schematischer und teilweisen Quer- schnittsdarstellung eine Ausführungsform für eine Biege- einrichtung 40 zum Verbiegen eines der zu verklebenden Substrate oder beider zu verklebender Substrate an seinen Randbereichen weg vom jeweils anderen Substrat. Die Bie- geeinrichtung 40 weist einen Innengreifer 41 und einen Außengreifer 42 auf, die mittels eines Hydraulikzylinders 43 relativ zueinander beweglich sind. Der Innengreifer 41 weist Sauger 43 auf, die über entsprechende Unterdruckan- schlüsse 44 mit einer Unterdruckquelle verbunden sind und das Substrat 3 oder 6 ergreifen, um es mittels eines An- heb-und Absenkzylinders 45 zu transportieren.

Der Außengreifer 42 weist mehrere über den Außengreifer- umfang verteilte Sauger 46 auf, die zur Verbiegung des Substrats 3 bzw. 6 in seinen Außenbereichen angreifen.

Die Biegung tritt dann ein, wenn der Außengreifer 42 mit

dem Zylinder 43 bezüglich des Innengreifers 41 angehoben wird.

Die Erfindung wurde zuvor anhand bevorzugter Ausführungs- beispiele erläutert. Dem Fachmann sind jedoch zahlreiche Ausgestaltungen und Abwandlungen möglich, ohne daß da- durch der Erfindungsgedanke verlassen wird. Die erfin- dungsgemäße Vorrichtung wurde zuvor in Zusammenhang mit der Fertigung von Digital-Video-Disks beschrieben. Die Prinzipien der Erfindung sind jedoch auch auf Verfahren und Vorrichtungen für die Herstellung anderer Podukte einsetzbar, bei denen zwei Substrate miteinander zu ver- kleben sind.