Title:
METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING FOR DEFECTS
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2012/014357
Kind Code:
A1
Abstract:
Provided is a method for inspecting the surface of a sample for defects, which comprises: prescan defect inspection steps including a pre-scan irradiation step for irradiating the surface of a sample with light, a prescan detection step for detecting scattered light, and a prescan defect information collection step for obtaining, on the basis of the scattered light, information on a specific defect present on the surface of the sample; near-field defect inspection steps including a near-field irradiation step for adjusting the distance between the surface of the sample and a near-field head to irradiate the surface of the sample, a near-field detection step for detecting near-field light response, and a near-field defect information collection step for obtaining information on a specific defect on the basis of the near-field light; and a merging step for merging the information on the specific defects to inspect for defects on the surface of the sample.
Inventors:
NAKAO, Toshiyuki (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
中尾 敏之 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
XU, Junguo (HITACHI LTD., 832-2 Horiguchi, Hitachinaka-sh, Ibaraki 34, 〒3120034, JP)
徐 鈞国 (〒34 茨城県ひたちなか市堀口８３２番地２ 株式会社日立製作所 機械研究所内 Ibaraki, 〒3120034, JP)
SHIMIZU, Yuki (HITACHI LTD., 832-2 Horiguchi, Hitachinaka-sh, Ibaraki 34, 〒3120034, JP)
清水 裕樹 (〒34 茨城県ひたちなか市堀口８３２番地２ 株式会社日立製作所 機械研究所内 Ibaraki, 〒3120034, JP)
NAKATA, Toshihiko (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
中尾 敏之 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
XU, Junguo (HITACHI LTD., 832-2 Horiguchi, Hitachinaka-sh, Ibaraki 34, 〒3120034, JP)
徐 鈞国 (〒34 茨城県ひたちなか市堀口８３２番地２ 株式会社日立製作所 機械研究所内 Ibaraki, 〒3120034, JP)
SHIMIZU, Yuki (HITACHI LTD., 832-2 Horiguchi, Hitachinaka-sh, Ibaraki 34, 〒3120034, JP)
清水 裕樹 (〒34 茨城県ひたちなか市堀口８３２番地２ 株式会社日立製作所 機械研究所内 Ibaraki, 〒3120034, JP)
NAKATA, Toshihiko (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
Application Number:
JP2011/002809
Publication Date:
February 02, 2012
Filing Date:
May 20, 2011
Export Citation:
Assignee:
HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION (24-14, Nishi Shimbashi 1-chome Minato-k, Tokyo 17, 〒1058717, JP)
株式会社日立ハイテクノロジーズ (〒17 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo, 〒1058717, JP)
NAKAO, Toshiyuki (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
中尾 敏之 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
XU, Junguo (HITACHI LTD., 832-2 Horiguchi, Hitachinaka-sh, Ibaraki 34, 〒3120034, JP)
徐 鈞国 (〒34 茨城県ひたちなか市堀口８３２番地２ 株式会社日立製作所 機械研究所内 Ibaraki, 〒3120034, JP)
SHIMIZU, Yuki (HITACHI LTD., 832-2 Horiguchi, Hitachinaka-sh, Ibaraki 34, 〒3120034, JP)
清水 裕樹 (〒34 茨城県ひたちなか市堀口８３２番地２ 株式会社日立製作所 機械研究所内 Ibaraki, 〒3120034, JP)
株式会社日立ハイテクノロジーズ (〒17 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo, 〒1058717, JP)
NAKAO, Toshiyuki (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
中尾 敏之 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
XU, Junguo (HITACHI LTD., 832-2 Horiguchi, Hitachinaka-sh, Ibaraki 34, 〒3120034, JP)
徐 鈞国 (〒34 茨城県ひたちなか市堀口８３２番地２ 株式会社日立製作所 機械研究所内 Ibaraki, 〒3120034, JP)
SHIMIZU, Yuki (HITACHI LTD., 832-2 Horiguchi, Hitachinaka-sh, Ibaraki 34, 〒3120034, JP)
清水 裕樹 (〒34 茨城県ひたちなか市堀口８３２番地２ 株式会社日立製作所 機械研究所内 Ibaraki, 〒3120034, JP)
International Classes:
G01N21/956; G01B11/30; H01L21/66
Attorney, Agent or Firm:
INOUE, Manabu et al. (6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-k, Tokyo 20, 〒1008220, JP)
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Claims: