LENK, Andreas (Windmühlenhöhe 11, Bannewitz OT Possendorf, 01728, DE)
GARN, Rüdiger (Harrasallee 16, Niederwiesa OT Braunsdorf, 09577, DE)
LENK, Andreas (Windmühlenhöhe 11, Bannewitz OT Possendorf, 01728, DE)
| Patentansprüche 1. Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks (12), bei dem Material des Werkstücks (12) in einem Bearbeitungsbe¬ reich (18) mittels eines berührungsfreien Abtrageverfahrens abgetragen wird, und das Werkstück (12) mit einer Anregungsschwingung mit einer Eigenresonanzfrequenz des Werkstücks (12) oder ein Verbund aus dem Werkstück (12) und einem fest mit dem Werkstück (12) gekoppelten Kopplungselement (20) mit ei¬ ner Anregungsschwingung mit einer gemeinsamen Eigenresonanzfrequenz des Werkstücks (12) und des Kopplungsele¬ ments (20) angeregt wird, wobei die Eigenresonanzfrequenz so gewählt ist, dass in dem Bearbeitungsbereich (18) eine Schwingung mit einer bezogen auf eine Anregungsamplitude (X_A) der Anregungs¬ schwingung maximalen Schwingungsamplitude (X_W_MAX) auftritt . 2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Werkstück (12) direkt oder über das Kopplungselement (20) fest mit einem Aktuator (14) gekoppelt ist, bei dem der Aktuator (14) das Werkstück (12) oder den Verbund aus dem Werkstück (12) und dem fest mit dem Werkstück (12) gekoppelten Kopplungselement (20) mit ei¬ ner Schwingungsfrequenz anregt, die gleich der Eigenresonanzfrequenz des Werkstücks (12) oder der Eigenresonanzfrequenz des Werkstücks (12) und des Kopplungsele¬ ments (20) ist. 3. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem die maximale Schwingungsamplitude (X_W_MAX) der Schwin¬ gung in dem Bearbeitungsbereich (18) gleich einer maxi- malen Schwingungsamplitude (X_A_MAX) der Schwingung des Aktuators (14) ist. 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 und 3, bei dem an einer Kontaktstelle zwischen dem Aktuator (14) und dem Werkstück (12) oder zwischen dem Aktuator (14) und dem Verbund aus dem Werkstück (12) und dem fest mit dem Werkstück (12) gekoppelten Kopplungselement (20) die ma¬ ximale Schwingungsamplitude (X_A_MAX) der Schwingung des Aktuators (14) vorliegt. 5. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem die Eigenresonanzfrequenz des Werkstücks (12) so gewählt ist, dass die Richtung der Schwingung in dem Bearbeitungsbereich (18) vorzugsweise in einer Bearbeitungs¬ richtung des formgebenden Werkzeugs (16) liegt. 6. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem das berührungsfreie Abtrageverfahren eine Elektroerosion mit einer vorgegebenen Pulsfrequenz ist. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem das berührungsfreie Abtrageverfahren eine Laserablation mit einer vorgegebenen Pulsfrequenz ist. 8. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 und 7, bei dem die Pulsfrequenz des berührungsfreien Abtrageverfahrens und die Anregungsfrequenz des Aktuators (14) miteinander synchronisiert sind. 9. Vorrichtung (10) zum Bearbeiten eines Werkstücks (12), die ausgebildet ist zum Abtragen von Material des Werkstücks (12) in einem Bearbeitungsbereich (18) mittels eines berührungsfreien Abtrageverfahrens, und zum Anregen des Werkstücks (12) mit einer Anregungs¬ schwingung mit einer Eigenresonanzfrequenz des Werkstücks (12) oder eines Verbunds aus dem Werkstück (12) und einem fest mit dem Werkstück (12) gekoppelten Kopplungselement (20) mit einer Anregungsschwingung mit ei¬ ner gemeinsamen Eigenresonanzfrequenz des Werkstücks (12) und des Kopplungselements (20), wobei die Eigenresonanzfrequenz so gewählt ist, dass in dem Bearbeitungsbereich (18) eine Schwingung mit einer bezogen auf eine Anregungsamplitude (X_A) der Anregungs¬ schwingung maximalen Schwingungsamplitude (X_W_MAX) auftritt . 10. Vorrichtung (10) nach Anspruch 9, die einen Aktuator (14) aufweist, der ausgebildet ist zur festen Kopplung mit dem Werkstück (12) direkt oder über das Kopplungselement (20) . 11. Vorrichtung (10) nach Anspruch 10, wobei der Aktuator (14) ein Piezoaktuator ist. 12. Vorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 9 bis 11, die eine Haltevorrichtung (22) aufweist, die mit einem Abschnitt (24) des Kopplungselements (20) gekoppelt ist, in dem eine Schwingung mit einer minimalen Schwingungsamplitude (X_MIN) auftritt. 13. Vorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 9 bis 12, wobei das Kopplungselement (20) eine sich in einer Längs¬ richtung des Kopplungselements (20) erstreckende Medien- zufuhrausnehmung (26) aufweist, und die Medienzufuhraus- nehmung (26) einen Medieneintritt (28) aufweist, der in einem Abschnitt (24) des Kopplungselements (20) angeord¬ net ist, in dem eine Schwingung mit einer minimalen Schwingungsamplitude (X MIN) auftritt. |
Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine entsprechende Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks, bei dem Material des Werkstücks in einem Bearbeitungsbereich mittels eines be ¬ rührungsfreien Abtrageverfahrens abgetragen wird. Als Beispiel für ein berührungsfreies Abtrageverfahren sei die Elektroerosion genannt. Diese beruht auf einem Material ¬ abtrag zwischen elektrisch leitenden Kontakten. Ein elektrisch leitender Kontakt ist durch ein Werkstück gebildet. Ein weiterer Kontakt ist durch ein formgebendes Werkzeug gebil- det, z.B. durch einen Draht. Das Werkzeug wird nahe an das
Werkstück herangeführt, ohne dieses zu berühren. Durch Anle ¬ gen einer elektrischen Spannung zwischen dem Werkzeug und dem Werkstück wird kurzzeitig ein Lichtbogen oder ein Funken erzeugt, mittels dem Material aus dem Werkstück gelöst und ab- getragen werden kann. Ist das Werkzeug ein dünner Draht, der in axialer Richtung hin zu dem Werkstück nachgeführt wird, dann können in dem Werkstück Bohrungen eingebracht werden, die beispielsweise einen Durchmesser von weniger als einem Millimeter aufweisen, z.B. von 0,2 Millimetern. Solche Boh- rungen sind beispielsweise Drosselbohrungen in Einspritzventilen von Brennkraftmaschinen. Das Ausbilden solcher Bohrungen kann sehr zeitaufwändig sein.
Die Aufgabe der Erfindung ist, ein Verfahren und eine ent- sprechende Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks zu schaffen, das bzw. die einfach und zuverlässig ist. Die Aufgabe wird gelöst durch die Merkmale der unabhängigen Patentansprüche. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet. Die Erfindung zeichnet sich aus durch ein Verfahren und eine entsprechende Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks. Material des Werkstücks wird in einem Bearbeitungsbereich mittels eines berührungsfreien Abtrageverfahrens abgetragen. Das Werkstück wird mit einer Anregungsschwingung mit einer Eigenresonanzfrequenz des Werkstücks oder ein Verbund aus dem Werkstück und einem fest mit dem Werkstück gekoppelten Kopplungselement wird mit einer Anregungsschwingung mit einer gemeinsamen Eigenresonanzfrequenz des Werkstücks und des Kopplungselements angeregt. Die Eigenresonanzfrequenz ist so ge- wählt, dass in dem Bearbeitungsbereich eine Schwingung mit einer bezogen auf eine Anregungsamplitude der Anregungs ¬ schwingung maximalen Schwingungsamplitude auftritt.
Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, dass das Bearbeiten des Werkstücks beschleunigt ablaufen kann, wenn dem Werkstück zusätzlich zu der Energie, die unmittelbar zum Bearbeiten zugeführt wird, Energie in Form von Schwingungen zugeführt wird. Die Schwingungen können das Abtragen des Materials von dem Werkstück unterstützen und somit beschleunigen. Die Anre- gung des Werkstücks oder des Werkstücks und des Kopplungsele ¬ ments mit einer Eigenresonanzfrequenz ermöglicht maximale Schwingungsamplituden des Bearbeitungsbereichs bei minimalem Energieeinsatz. Damit kann eine hohe Energieeffizienz erreicht werden. Die Bearbeitungszeit des berührungsfreien Ab- trageverfahrens kann sehr gering sein. Das Werkstück kann so auch bei einer Massenfertigung in hoher Qualität hergestellt werden. Durch die geringe Bearbeitungszeit kann eine Taktzeit für das Bearbeiten des Werkstücks verringert werden. ^
In einer vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens ist das Werkstück direkt oder über das Kopplungselement fest mit ei ¬ nem Aktuator gekoppelt. Der Aktuator regt das Werkstück oder den Verbund aus dem Werkstück und dem fest mit dem Werkstück gekoppelten Kopplungselement mit einer Schwingungsfrequenz an, die gleich der Eigenresonanzfrequenz des Werkstücks oder der Eigenresonanzfrequenz des Werkstücks und des Kopplungs ¬ elements ist. Der Vorteil ist, dass der Abgleich der Eigenre ¬ sonanzfrequenzen des Werkstücks, des Aktuators und gegebenen- falls des Kopplungselements einen verschleißfreien Kontakt zwischen Werkstück, Aktuator und gegebenenfalls Kopplungsele ¬ ment ermöglicht.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens ist die maximale Schwingungsamplitude der Schwingung in dem Bearbeitungsbereich gleich einer maximalen Schwingungsamplitude der Schwingung des Aktuators. Dies hat den Vorteil, dass ein Verschleiß des Aktuators, des Werkzeugs und gegebenen ¬ falls des Kopplungselements vermieden werden kann.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens liegt an einer Kontaktstelle zwischen dem Aktuator und dem Werkstück oder zwischen dem Aktuator und dem Verbund aus dem Werkstück und dem fest mit dem Werkstück gekoppelten Kopplungselement die maximale Schwingungsamplitude der Schwingung des Aktuators vor. Dies hat den Vorteil, dass ein Verschleiß des Aktuators, des Werkzeugs und gegebenenfalls des Kopp ¬ lungselements vermieden werden kann. In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens ist die Eigenresonanzfrequenz des Werkstücks so gewählt, dass die Richtung der Schwingung in dem Bearbeitungsbereich vorzugsweise in einer Bearbeitungsrichtung des formgebenden Werkzeugs liegt. Damit kann das berührungsfreie Abtragever ¬ fahren besonders effizient durchgeführt werden.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens ist das berührungsfreie Abtrageverfahren eine Elektroerosion mit einer vorgegebenen Pulsfrequenz. Der Vorteil ist, dass die Elektroerosion ein sicheres und genaues berührungsfreies Abtrageverfahren ist. In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens ist das berührungsfreie Abtrageverfahren eine Laserablation mit einer vorgegebenen Pulsfrequenz. Dies hat den Vorteil, dass die Laserablation ein sicheres und genaues berührungs ¬ freies Abtrageverfahren ist.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens sind die Pulsfrequenz des berührungsfreien Abtrageverfahrens und die Anregungsfrequenz des Aktuators miteinander synchronisiert. Dies hat den Vorteil, dass eine Synchronisierung der Bewegung des Werkstücks mit dem Abtragevorgang und damit eine besonders sichere und präzise Bearbeitung des Bearbeitungsbe ¬ reichs möglich ist.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung weist die Vorrichtung einen Aktuator auf, der ausgebildet ist zur festen Kopplung mit dem Werkstück direkt oder über das Kopplungselement.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Vorrichtung ist der Aktuator ein Piezoaktuator . Piezoaktuatoren stellen einen besonders zuverlässigen Typ eines Aktuators dar.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung weist die Vorrichtung eine Haltevorrichtung auf, die mit einem Abschnitt des Kopplungselements gekoppelt ist, in dem eine Schwingung mit einer minimalen Schwingungsamplitude auftritt. Damit ist eine gute Einleitung der Haltekraft in das Kopplungselement und damit auch ein sicheres Halten und Ausrichten des Werkstücks möglich.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Vorrichtung weist das Kopplungselement eine sich in einer Längsrichtung des Kopplungselements erstreckende Medienzufuhrausnehmung auf, und die Medienzufuhrausnehmung weist einen Medienein- tritt auf, der in einem Abschnitt des Kopplungselements an ¬ geordnet ist, in dem eine Schwingung mit einer minimalen Schwingungsamplitude auftritt. Dies hat den Vorteil, dass dem Bearbeitungsbereich des Werkstücks über die Ausnehmung in einfacher Weise ein Betriebsmedium, beispielsweise zum Spülen des Bearbeitungsbereichs des Werkstücks, zugeführt werden kann .
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind im Folgenden anhand der schematischen Zeichnungen erläutert.
Es zeigen:
Figur 1 eine erste Ausführungsform einer Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks, und
Figur 2 eine zweite Ausführungsform der Vorrichtung.
Elemente gleicher Konstruktion oder Funktion sind figurenübergreifend mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
Die Figuren 1 und 2 zeigen jeweils eine Vorrichtung 10 zum Bearbeiten eines Werkstücks 12. Das Werkstück 12 ist bei ¬ spielsweise ein Teil eines Einspritzventils für eine Brenn ¬ kraftmaschine eines Kraftfahrzeugs. Die Vorrichtung 10 hat ,
6 einen Aktuator 14, der so angeordnet und ausgebildet ist, dass dem Werkstück 12 Energie in Form mechanischer Schwingungen durch Anregen des Werkstücks 12 auf direktem Wege (Figur 1) oder indirekt (Figur 2) zugeführt werden kann. Vorzugswei- se ist der Aktuator 14 ein Piezoaktuator . Eine Befestigung des Werkstücks 12 und des Aktuators 14 innerhalb einer nicht weiter dargestellten Maschine erfolgt vorzugsweise über Ele ¬ mente, die als Feder-Masse-Systeme ausgelegt sind. Damit kann eine Übertragung von mechanischen Schwingungen auf weitere Komponenten der Maschine vermieden werden.
Die Vorrichtung 10 umfasst ferner ein formgebendes Werkzeug 16, das an einen Bearbeitungsbereich 18 des Werkstücks 12 herangeführt werden kann. Das formgebende Werkzeug 16 wird vor- zugsweise so geführt, dass es das Werkstück 12, insbesondere den Bearbeitungsbereich 18, nicht berührt. Mittels des formgebenden Werkzeugs 16 kann Material des Werkstücks 12 in dem Bearbeitungsbereich 18 mittels eines berührungsfreien Abtrageverfahrens abgetragen werden.
Das formgebende Werkzeug 16 kann in einer Ausführungsform be ¬ vorzugt eine Elektrode sein. Zwischen dem als Elektrode aus ¬ gebildeten formgebenden Werkzeug 16 und dem Werkstück 12 kann eine elektrische Spannung angelegt werden, die so groß ist, dass vorzugsweise kurzzeitig ein Lichtbogen oder ein Funken zwischen dem als Elektrode ausgebildeten formgebenden Werkzeug 16 und dem Werkstück 12 entstehen kann. Durch den Lichtbogen oder den Funken, das heißt durch die in das Werkstück 12 eingebrachte elektrische Energie, kann Material aus dem Werkstück 12 in dem Bearbeitungsbereich 18 herausgelöst und abgetragen werden. Ein derartiges Abtrageverfahren wird als Elektroerosion bezeichnet. In einer weiteren Ausführungsform kann das formgebende Werkzeug 16 als Laser ausgebildet sein. Insbesondere kann der Be ¬ arbeitungsbereich 18 des Werkstücks 12 mittels einer gepuls ¬ ten Laserstrahlung des als Laser ausgebildeten formgebenden Werkzeugs 16 bearbeitet werden, sodass durch das Einbringen der Energie des gepulsten Lasers Ionen aus dem Bearbeitungs ¬ bereich 18 des Werkstücks 12 gelöst werden und das Material des Werkstücks in dem Bereich 18 des Werkstücks 12 verdampfen kann. Ein derartiges mit einem als Laser ausgebildeten form- gebenden Werkzeug 16 durchgeführtes Abtrageverfahren wird als Laserablation bezeichnet.
In der in Figur 2 gezeigten Ausführungsform weist die Vorrichtung 10 ein Kopplungselement 20 auf, das einerseits fest mit dem Werkstück 12 und andererseits fest mit dem Aktuator 14 gekoppelt ist. Das Kopplungselement 20 ist dazu ausgebil ¬ det, die Schwingungen des Aktuators 14 auf das Werkstück 12 zu übertragen. Das Kopplungselement 20 ist beispielsweise ein Aufnahmedorn .
Die Vorrichtung 10 hat ferner eine Haltevorrichtung 22, die mit einem Abschnitt 24 des Kopplungselements 20 gekoppelt ist, so dass das Werkstück 12 gehalten werden kann. In der in Figur 2 gezeigten Ausführungsform weist das Kopplungselement 20 eine sich in Richtung einer Längsachse L des Kopplungselements 20 erstreckende Medienzufuhrausnehmung 26 auf. Die Medienzufuhrausnehmung 26 hat einen Medieneintritt 28, der in einem Abschnitt des Kopplungselements 20 angeord- net ist. Des Weiteren hat die Medienzufuhrausnehmung 26 einen Medienaustritt 30, der vorzugsweise nahe des Bearbeitungsbe ¬ reichs 18 des Werkstücks 12 angeordnet ist. Über die Medien ¬ zufuhrausnehmung 26 kann ein Arbeitsmedium, beispielsweise Wasser oder Luft, über den Medienaustritt 30 dem Bearbei- tungsbereich 18 des Werkstücks 12 zugeführt werden, so dass Partikel, die durch das berührungsfreie Abtrageverfahren von dem Bearbeitungsbereich 18 des Werkstücks 12 gelöst wurden, mit dem Arbeitsmedium weggeschwemmt werden können. So kann der Bearbeitungsbereich 18 des Werkstücks 12 von abgetragenem Material gereinigt werden. Damit kann vermieden werden, dass bereits abgetragenes Material ein weiteres Abtragen von Mate ¬ rial von dem Werkstück 12 beeinträchtigt. Im Folgenden soll das Verfahren zum Bearbeiten des Werkstücks 12 im Detail dargestellt werden.
In der in Figur 1 gezeigten Ausführungsform, bei dem der Ak- tuator 14 direkt fest mit dem Werkstück 12 gekoppelt ist, regt der Aktuator 14 das Werkstück 12 zu einer Schwingung X_W mit einer Schwingungsfrequenz an, die gleich einer der Eigenresonanzfrequenzen des Werkstücks 12 ist. Die Eigenresonanzfrequenz wird dabei so gewählt, dass in dem Bearbeitungsbe ¬ reich 18 eine maximale Schwingungsamplitude X_W_MAX des Werk- Stücks 12 erreicht wird. Die maximale Schwingungsamplitude X_W_MAX ist dabei insbesondere von einer maximalen Schwingungsamplitude X_A_MAX einer Schwingung X_A des Aktuators 12 bestimmt. Die Eigenresonanzfrequenz des Werkstücks 12 wird dabei vorzugsweise so gewählt, dass die Richtung der Schwin- gung in dem Bearbeitungsbereich 18 vorzugsweise in einer Bearbeitungsrichtung des formgebenden Werkzeugs 16 liegt, was vorteilhaft im Hinblick auf das berührungsfreie Abtragever ¬ fahren ist. Die maximale Schwingungsamplitude X_W_MAX der Schwingung in dem Bearbeitungsbereich 18 ist vorzugsweise gleich der maximalen Schwingungsamplitude X_A_MAX der Schwingung des Aktuators 14. Wird das Werkstück 12 mit einer seiner Eigenresonanzfrequenzen angeregt, so ist es möglich, den Bearbeitungsbereich 18 mit einem minimalen Energieaufwand gezielt in Schwingung zu versetzen. Damit ist es möglich, das Verfahren zum Bearbeiten des Werkstücks 12 mit einer sehr hohen energetischen Effizienz durchzuführen. An der Berührungsstelle zwischen dem Aktuator 14 und dem Werkstück 12 ist nahezu Verschleißfreiheit gegeben, so dass eine industrielle Anwendung der Vorrichtung 10 ermöglicht ist.
In der in Figur 2 gezeigten Ausführungsform wird der Verbund aus dem Werkstück 12 und dem Kopplungselement 20 mit einer gemeinsamen Eigenresonanzfrequenz des Werkstücks 12 und des Kopplungselements 20 angeregt. Die Eigenresonanzfrequenz wird dabei so gewählt, dass in dem Bearbeitungsbereich 18 die Schwingung X_W des Werkstücks 12 die maximale Schwingungsamplitude X_W_MAX hat. Der Aktuator 14 regt das Werkstück 12 und das Kopplungselement 20 mit einer Schwingungsfrequenz an, die gleich einer der gemeinsamen Eigenresonanzfrequenzen des
Werkstücks 12 und des Kopplungselements 20 ist. Die maximale Schwingungsamplitude X_W_MAX der Schwingung in dem Bearbei ¬ tungsbereich 18 ist gleich der maximalen Schwingungsamplitude X_A_MAX der Schwingung des Aktuators 14.
Je nach gewählter Eigenresonanzfrequenz des Werkstücks 12 und des Kopplungselements 20 treten in dem Kopplungselement 20 ein oder mehrere Schwingungsknoten auf. In den Schwingungsknoten erreicht eine Schwingung X_K des Kopplungselements 20 eine minimale Schwingungsamplitude X_MIN, die gegebenenfalls auch den Wert Null annehmen kann. In der in Figur 2 gezeigten Ausführungsform sind zwei derartige Schwingungsknoten gezeigt. Die Haltevorrichtung 22 ist vorzugsweise in dem Ab ¬ schnitt 24 des Kopplungselements 20 angeordnet, in dem die minimale Schwingungsamplitude X_MIN erreicht ist. Des Weite ¬ ren ist in der hier gezeigten Ausführungsform der Medieneintritt 28 der Medienzufuhrausnehmung 26 in dem Abschnitt 24 des Kopplungselements 20 angeordnet, in dem die minimale Schwingungsamplitude X_MIN auftritt. Treten in dem Kopplungs- element 20 insbesondere mehr als zwei Schwingungsknoten auf, so können der Abschnitt des Kopplungselements 20, in dem der Medieneintritt 28 angeordnet ist, und der Abschnitt des Kopp ¬ lungselements 20, in dem die Haltevorrichtung 22 angeordnet ist, voneinander verschieden sein. Aufgrund der in den
Schwingungsknoten auftretenden minimalen Schwingungsamplitude X_MIN kann das Medium zum Spülen des Bearbeitungsbereichs 18 des Werkstücks 20 sehr sicher in den Medieneintritt 28 einge ¬ leitet werden. Des Weiteren kann die Vorrichtung 10 mittels der Haltevorrichtung 22 in den Schwingungsknoten, in denen die minimale Schwingungsamplitude X_MIN erreicht wird, beson ¬ ders sicher gehalten und geführt werden.
Besonders vorteilhaft ist, wenn die Pulsfrequenz des berüh- rungsfreien Abtrageverfahrens und die Anregungsfrequenz des Aktuators 14 miteinander synchronisiert sind. Die Pulsfre ¬ quenz des Elektroerosionsverfahrens oder der Laserablation kann dann der Anregungsfrequenz des Aktuators 14 entsprechen oder ein ganzzahliges Vielfaches davon sein.
Ist das Werkstück 12 insbesondere ein Teil eines Einspritz ¬ ventils für eine Brennkraftmaschine eines Kraftfahrzeugs, so können durch die Anregung mit einer Eigenresonanzfrequenz des Werkstücks 12 und dem Auftreten einer Schwingung mit einer maximalen Schwingungsamplitude X_W_MAX in dem Bearbeitungsbe ¬ reich 18 sehr günstige Prozessbedingungen beim Herstellen von Mikrobohrungen für die Einspritzöffnungen des Einspritzventils erreicht werden. Die Bearbeitungsgeschwindigkeit beim Bearbeiten des Werkstücks 12 kann so deutlich erhöht werden.