Die Erfindung betrifft eine Anordnung und ein Verfahren zum Messen einer Gaskonzentration mittels Absorptionsspektroskopie, insbesondere zur kapnometrischen Messung des Anteils von CO2 in Atemluft.

Das Grundprinzip solcher Messungen ist bekannt. Licht, oder, im Falle der Messung von CO2, infrarotes (IR) Licht von einer thermischen Lichtquelle, wird durch eine Messzelle mit einem zu analysie- renden Gasgemisch geleitet, und die Gaskonzentration eines in dem

Gasgemisch enthaltenen zu messenden Gases über eine Messung einer Abschwächung des in die Messzelle eingeleiteten Lichts aufgrund von Absorption in dem zu messenden Gas bestimmt. Die Abschwächung des ausgesandten Lichts hängt exponentiell von der Konzentration bzw. Dichte des absorbierenden Gases, dem wellenlängenabhängigen Absorptionskoeffizienten des Gases und der Länge der Messstrecke ab, in der das Licht das zu messende Gas durchquert. Die Messung der Abschwächung des Lichts durch Absorption setzt die Kenntnis der Menge an in die Messzelle eingestrahltem und aus der Messzelle ausgekoppeltem Licht voraus. Aus diesem Grund sind grundsätzlich zwei Messungen notwendig, nämlich einerseits die Messung der Lichtmenge des durch Absorption im Messgas abgeschwächten Lichts nach Durchquerung der Messzelle und andererseits als Referenzmessung die Messung einer Größe, die repräsentativ ist für die eingestrahlte Lichtmenge.

Diese Referenzmessung kann eine direkte Messung der Lichtintensität oder Lichtmenge an der Lichtquelle sein, wobei ein Lichtanteil der Quelle erfasst wird, welcher nicht für die Gasmessung genutzt wird, aber dennoch proportional zur Lichtmenge der Gasmessung sein soll . Der Vorteil hiervon ist eine direkte Messung der ausgestrahlten Lichtintensität, problematisch ist, dass das für die Referenzmessung verwendete Licht nur proportional und nicht identisch zu dem für die Gasmessung genutzten Licht ist. Die proportionale Abhängigkeit kann sich im Laufe der Zeit ändern, da das Licht der Referenzmessung nicht denselben optischen Pfad durchlaufen hat wie das Licht der Absorptionsmessung und somit zusätzliche Absorptionen, beispielsweise durch Verunreinigungen, nicht aufweist. Auch längerfristige Entwicklungen, wie beispielsweise eine zunehmende Verunreinigung der Messfenster der Messzelle, können zu einer systematischen Drift der Absorptionsmessergebnisse führen.

Eine alternative Anordnung verwendet Referenzlicht, welches ebenfalls die Messzelle durchquert, aber in einem Wellenlängenbereich liegt, in dem das zu messende Gas wenig oder nicht absorbiert. Das Referenzlicht erfährt somit nur die Absorption, die durch Verunreinigungen oder andere systematische Quellen hervorgerufen wird, und welcher auch das Licht im Wellenlängenbereich der Absorption durch das zu messende Gas unterl iegt. Eine zunehmende Verschmutzung in der Messzelle beispielsweise wirkt sich dann, bis auf wellenlängenabhängige, also dispersive Effekte, in gleicher Weise auf die Absorptionsmessung wie auf die Referenzmessung aus. Bei dem Vergleich der beiden Messungen heben diese Anteile sich weitgehend auf, sodass entsprechende systematische Effekte, die das Messergebnis negativ beeinflussen, weitgehend minimiert werden . Im Bereich der Kapnometrie wird infrarotes Licht verwendet, da das

Gas CO2 eine starke Absorptionsbande bei ca. 4,26 μιτι, also im mittleren Infrarotbereich, aufweist. Die vorliegende Erfindung ist daher im Bereich der Kapnometrie besonders anwendbar, jedoch auch auf andere Anwendungen anwendbar, bei denen Absorptionsmes- sungen, insbesondere im Infrarotbereich, durchgeführt werden . Die Kapnometrie ist ein in der Medizin angewandtes Überwachungsverfahren und liefert Aussagen zum Patientenzustand im Bereich des Rettungswesens, in Kliniken, der häuslichen Versorgung und der Sportmedizin .

Kapnometer sind meist kleine mobile Geräte, teilweise mit einer in der Hand tragbaren Einheit zur Parametrisierung und Visualisierung, wobei in vielen Fällen bei Seitenstromanwendungen die Sensoreinheit auch im Handgerät enthalten ist. Solche Kapnometer können auch als fertige Baugruppen in größeren Geräten, beispielsweise Beatmungsgeräten, metabolischen Monitoren unter anderem integriert werden .

Kapnometer erfassen den CO2-Verlauf der Atmung eines Patienten . Diese Messung erfolgt entweder im sogenannten Hauptstromverfahren oder im sogenannten Seitenstromverfahren . Beim Hauptstromverfahren wird meist in der Nähe der Atemmaske des Patienten ein Sensor platziert, der durch eine Küvette im Atemschlauch die CO2- Konzentration misst. Beim Seitenstromverfahren wird eine Küvette mit einem dünnen Absaugschlauch im Atemgaskanal angebracht, ein Teil der Atemluft durch den Absaugschlauch zu einem Sensor- modul gefördert und dort mit gewisser Totzeit gemessen .

Aufgrund der Anwendungen, speziell im Bereich des Rettungswesens und der häuslichen Versorgung sowie der Sportmedizin, sollten Sensormodule klein, leicht und robust sein, um Erschütterungen standzuhalten, und eine geringe Leistungsaufnahme aufweisen, weil häufig ein mobiler Einsatz ohne externe Stromversorgung notwendig ist. Gegenwärtig verfügbare Hauptstromsensoren haben nur eine Akkulaufzeit von vier bis sechs Stunden . Für kapnometrische Messungen wird nach der Norm ISO 80601 -2-55 eine Genauigkeit von ±0,43% CO2 + 8% des Messwerts gefordert. Am Markt befindliche Geräte übertreffen diese Anforderungen in der Regel deutlich . Ferner sollte zur Auflösung des Atemverlaufs auch bei hoher Atemfrequenz von bis zu 1 50 Atemzügen pro Minute, wie sie u .a. bei Frühgeborenen vorkommen können, ein Messintervall mit voneinander unabhängigen Messwerten von 10 ms bis 40 ms, vorzugsweise bis

25 ms, verwirklicht werden. Mit dieser zeitl ichen Auflösung wird es möglich, den endexpiratorischen Wert, der eine medizinische Kenngröße ist, sicher zu ermitteln. Gerade für zeitkritische Anwendungen wie die Notfallmedizin ist auch eine schnelle Messbereitschaft nach einem Kaltstart, also eine geringe sogenannte „start-up-time", gewünscht. Hier benötigen herkömmliche Systeme teilweise mehrere Minuten, um die erforderliche Betriebstemperatur zu erreichen . Außerdem ist eine kostengünstige und einfache Herstellung gewünscht.

Bekannt sind beispielsweise Filterradanordnungen, wie sie von Massimo Inc. vertrieben werden und beispielsweise in WO 03/060490 A offenbart sind. Diese Anordnungen umfassen ein sich mechanisch drehendes Rad im optischen Strahlengang mit wenigstens zwei Filtern für Gasabsorption und Referenzwellenlänge, und zusätzlich mit einem Bereich, in dem das Licht vollständig abge- schottet wird . Die Abschottung ermöglicht eine Dunkelmessung, die zur Offsetkompensation der Empfangseinheit genutzt wird . Hier wird das Messprinzip verwirklicht, dass die Messwellenlänge und die Referenzwellenlänge den gleichen optischen Pfad durchqueren . Das Licht muss auch nicht auf unterschiedliche Pfade aufgeteilt werden . Es handelt sich um ein Zeitmultiplex-Messverfahren, und die Verwendung mechanisch bewegter Bauteile im optischen Strahlengang ist gegebenenfalls erschütterungsanfällig .

Eine Anordnung mit spektralem Strahlteiler ist beispielsweise aus US 5464982 A und US 5092342 A bekannt, wobei moduliertes Licht empfangsseitig auf zwei oder mehr Detektoren für die Gasabsorption und für die Referenzwellenlänge aufgeteilt wird . Auch hierbei handelt es sich um eine typische Spektroskopieanordnung, bei der eine Lichtquelle verwendet wird und eine hohe Lichtausbeute erzielt wird, da das Licht wellenlängenselektiv und nicht geometrisch aufgeteilt wird . Es treten jedoch Verluste bedingt durch die Dämpfung im Transmissionsbereich der Filter auf. Es erfolgt eine simultane Messung bei der Absorptionswellenlänge und der Referenzwellenlänge, sodass keine Einschränkungen bezüglich des Zeitverlaufs der Zielgröße vorhanden sind. Die Integration von mehr als zwei Wellenlängen zur Messung mehrerer Messgase ist verhältnismäßig aufwendig . Es kann ein Strahlteilerfilter erforderlich sein, der teuer sein kann . Im Interesse einer Offsetkompensation kann die Quelle in diesem Fall auch zusätzlich moduliert werden .

Ein weiterer grundsätzlicher Anordnungstyp ist die geometrische Parallelmessung . Hierbei wird das Licht der Lichtquelle ohne Strahl- teilung auf mehrere ungefilterte Empfänger geführt. Dadurch werden für jeden Messpfad, also Gaspfad und Referenzpfad, unterschiedliche optische Lichtpfade genutzt. Dies bedeutet auch, dass bei der Absorptionsmessung und der Referenzmessung verschiedene Be- reiche der Quelle und unterschiedliche Transmissionspfade durch die Messgeräte zum Einsatz kommen . Hieraus resultieren Doppeldeutigkeiten, welchen Effekt die geometrische Teilung und welchen Effekt die eigentliche Absorption im Messgas auf die Messung hat. Diese Doppeldeutigkeiten können systematische Messfehler erzeu- gen . Diese Anordnungen sind etwa aus US 461 8771 A und US 6277081 B1 bekannt, werden in der Praxis jedoch seltener eingesetzt, beispielsweise durch Goldwei (China). Vorteile hierbei sind die recht einfache Anordnung, die simultane Messung von Absorption und Referenz sowie der Verzicht auf mechanisch bewegte Bau- teile. Die geometrische Parallelmessung leidet allerdings unter einer schlechteren Störunterdrückung bezügl ich räumlicher Schwankungen der Quelle, unterschiedlicher Lichtübertragung zu den beiden Detektoren, beispielsweise durch die Bildung von Kondensat in der Küvette, sowie durch eine reduzierte Lichtausbeute aufgrund der ungerichteten Beleuchtung der Empfänger. Auch in diesem Fall kann die Quelle im Interesse einer Offsetkompensation zusätzlich moduliert werden .

Ein weiteres Messprinzip beinhaltet einen Wellenlängenshift der Lichtquelle. Das Maximum des Emissionsspektrums einer meist schmalbandigen Lichtquelle wird, meist thermisch induziert, zwischen Bereichen starker und schwacher Absorption der Zielgröße, beispielsweise CO2, zeitlich alternierend moduliert. Somit stehen in der zeitl ichen Abfolge der Messwerte alternierend Werte mit hohem Einfluss der Zielgröße (Gasmessung) und mit niedrigem Einfluss

(Referenzmessung) zur Verfügung. Typischerweise werden für diese Art der Messung Laser als Lichtquellen eingesetzt, beispielswei- se Diodenlaser. Im Bereich der CO2-Klimannesstechnik hat sich auch ein Messverfahren etabliert, bei dem eine LED spektral moduliert wird, wie beispielsweise in WO 2007/091 043 A1 beschrieben . Dieses Verfahren benutzt nur einen optischen Pfad, eine Lichtquelle und einen Detektor und erfordert keine optischen Filter, da die schmalbandige Lichtquelle spektral moduliert wird . Diese schmal- bandigen Lichtquellen haben eine im Verhältnis zur benötigten Emission niedrige Leistungsaufnahme, jedoch kann die thermische Modulation dieser Lichtquellen zusätzlich sehr energieaufwändig sein. Es handelt sich um eine Zeitmultiplex-Messung, d. h., die Modulation des Emissionsspektrums muss schneller erfolgen als die geringste Zeitkonstante der Messgröße. In der Kapnometrie kann diese Einschränkung problematisch sein, im Bereich der Klimamesstechnik stellt dies kein Problem dar Die Ansteuerung, die Um- Setzung des Messverfahrens und die Fertigung der Sensoren, insbesondere bei LEDs und Fotodioden, ist recht komplex. Ferner ist es schwierig, den für die Modulation erforderlichen großen Temperaturbereich auszufüllen, und die Messung ist anfällig bezüglich Temperaturgradienten . Durch die Modulation ist die Lichtausbeute reduziert, was sich negativ auf das Signal-Rausch-Verhältnis („Sig- nal-to-Noise-Ratio", SN R) der Messung auswirkt.

Bei der Kapnometrie hingegen werden überwiegend thermische Strahler als Lichtquelle für die optische CO2-Messung im mittleren Infrarot (MIR) eingesetzt, da die Hauptabsorption von CO2 bei ca.

4,26 μιτι liegt. Diese thermischen Strahler sind kostengünstig und robust. Lichtquellen in Kapnometrie-Anordnungen sollen eine hohe Emissionsleistung erreichen, um bei den Empfängern genügend Lichtstärke für ein gutes SNR zu ermöglichen . Detektoren im mittle- ren Infrarotbereich weisen häufig ein hohes thermisches Eigenrauschen auf, daher wird für ein gutes SNR viel Nutzsignal benötigt. Ebenfalls wird viel Nutzsignal benötigt, um die geforderte Konzent- rationsauflösung bei der vorgegebenen kurzen Messzeit von 1 0 ms bis 25 ms zu erreichen .

Die Physik des thermischen Strahlers besagt, dass die emittierte Intensität nur von der Temperatur des Strahlers sowie von weiteren

Konstanten wie der Stefan-Boltzmann-Konstante und dem Emissionsgrad abhängig ist. Eine Erhöhung der insgesamt abgegebenen optischen Leistung kann bei Nutzung einer maximal möglichen Temperatur der Lichtquelle und bei möglichst hohem Emissionsgrad nur durch Erhöhen der Emissionsfläche erreicht werden . Diese Parameter sind technisch limitiert. In der Praxis wird in der Kapnomet- rie typischerweise ein flächiger Filamentstrahler oder Flächenstrahler mit einer aktiven strahlenden Fläche von mehr als 1 mm ² verwendet bei einer Emissionstemperatur, die häufig bei ca. 400 °C bis 600 °C liegt. So liegt bei einer Emissionstemperatur von ca. 41 0 °C das Maximum der Emission bei 4,26 μιτι, also der CO2- Absorptionslinie. Zusätzlich wird durch diese vergleichsweise niedrige Temperatur die Korrosion des thermischen Strahlers begrenzt, was für die Langlebigkeit der Lichtquelle vorteilhaft ist, die häufig nicht durch einen evakuierten Glaskolben geschützt ist. Auf einen

Glaskolben wird verzichtet, um zusätzliche Absorptionsverluste durch das Glas zu vermeiden .

Solche großflächigen Emitter ohne evakuierten Glaskolben erfor- dem allerdings viel elektrische Leistung, um die erforderliche Strahlertemperatur zu erreichen, bei Kapnometern typischerweise mehr als 300 mW. Außerdem führt ein großflächiger Emitter trotz Leistungsüberhöhung nach dem Start zu einer hohen Start-up Zeit, beispielsweise zwischen 30 und 1 50 Sekunden .

Die große thermische Masse macht den Emitter auch träge, so dass nur eine geringe Modulationsrate möglich ist, deren Zeitkonstante dann größer ist als die der Zielgröße. Dadurch kann bei AC-Betrieb zur Offsetkompensation insbesondere bei schneller Atmung nicht gemessen werden . Der endexpiratorische Wert wird nur noch ungenau bestimmt. Bei einem thermisch induzierten Wellenlängenshift ist die Funktionsweise dieses Messprinzips für die Umgebungsbedingungen in der Kapnometrie in Bezug auf den Temperaturbereich und Temperaturgradienten auch nur schwierig und nicht kostengünstig umzusetzen. Eine weitere Eigenart thermischer Strahler (schwarzer Körper) ist, dass sie eine Lambert'sche Strahlungscharakteristik aufweisen, was in Kombination mit einer großen Emissionsfläche bedeutet, dass das Licht auch mit bündelnden Optiken nicht effizient und ohne Verluste auf einen oder mehrere Detektoren geleitet werden kann . Ein Großteil der erzeugten Strahlung wird somit nicht zur Messung genutzt, was energetisch ungünstig ist.

Die Kompensation der thermischen Drift der Empfänger und die Unterdrückung des Einflusses anderer thermischer Strahlungsquellen auf das Messsignal, beispielsweise die Gehäusetemperatur und die Sensorerwärmung, können im Rahmen eines sogenannten AC- Betriebs durch eine Amplitudenmodulation des Lichts bei der Transmissionsmessung erfolgen, oder eine Amplitudenmodulation wird genutzt, die durch ein Filterrad oder ein Chopper-Rad erzeugt wird . Die niedrige Modulationsfrequenz großflächiger thermischer Strahler ist bei elektronischer Modulation problematisch, da bei höheren Atemfrequenzen nur noch ungenau mitgemessen werden kann . Die mechanische Modulation ist hingegen mechanisch störanfäll ig. In anderen Ausführungsformen wird das Licht nicht moduliert. Hier resultieren deutliche Messfehler durch Drift und parasitäre thermische Strahlung . Solche Sensoren sind für die Kapnometrie nicht geeignet. In entsprechenden Anwendungen werden meist Thermopile-Detek- toren eingesetzt. Diese sind großflächig, um möglichst viel Licht im Aufbau zu erfassen. Sie sind jedoch auch recht verrauscht, sodass die erforderliche Signalfilterung zu niedrigen Grenzfrequenzen der Detektoren führt, wodurch ebenfalls die Frequenz im AC-Betrieb begrenzt wird . Dies betrifft auch die mögliche Rotationsgeschwindigkeit in einem Filterradaufbau . Alternativ werden üblicherweise pyroelektrische Detektoren verwendet, welche jedoch deutlich kos- tenintensiver sind .

Demgegenüber liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung und ein Verfahren zum Messen einer Gaskonzentration, insbesondere zur kapnometrischen Messung des An- teils von CO2 in Atemluft, zur Verfügung zu stellen, die bei ausreichender Messgenauigkeit und Messgeschwindigkeit den Einsatz im mobilen Bereich und im Notfallbereich verbessert.

Diese Aufgabe wird durch eine Anordnung zum Messen einer Gas- konzentration mittels Absorptionsspektroskopie, insbesondere zur kapnometrischen Messung des Anteils von CO2 in Atemluft, in welcher IR-Licht von einer thermischen Lichtquelle durch eine Messzelle mit einem zu analysierenden Gasgemisch geleitet wird, und die Gaskonzentrationen eines in dem Gasgemisch enthaltenen zu mes- senden Gases über eine Messung einer Abschwächung des in die Messzelle eingeleiteten Lichts aufgrund von Absorption in dem zu messenden Gas bestimmt wird, gelöst, wobei die Anordnung einen optischen Strahlengang mit einer IR-Licht erzeugenden thermischen Lichtquelle, der Messzelle, welche mit dem Gasgemisch füllbar oder gefüllt ist und eine Messstrecke für das von der thermischen Lichtquelle erzeugte Licht aufweist, einem oder mehrere Sensoren sowie einem oder mehreren Bandpassfiltern, die dem einen oder den meh- reren Sensoren vorgeschaltet sind, aufweist, wobei die Anordnung ferner eine Auswertevorrichtung umfasst, die zur Bestimmung der zu messenden Gaskonzentration aus der Abschwächung des IR- Lichts in der Messzelle ausgebildet ist, wobei wenigstens ein Band- passfilter zur Transmission in einem Messwellenlängenbereich ausgebildet ist, in dem das zu messende Gas IR-Licht absorbiert, und wenigstens ein Bandpassfilter zur Transmission in einem Referenzwellenlängenbereich ausgebildet ist, in dem das zu messende Gas IR-Licht nicht oder im Vergleich zum Messwellenlängenbereich nur wenig absorbiert, die dadurch weitergebildet ist, dass die thermische Lichtquelle als gekapselte Mikro-Glühfadenlampe mit einer lichterzeugenden Wendel ausgebildet ist.

Im Rahmen der erfindungsgemäßen Anordnung handelt es sich hierbei um quasi-punktförmige Lichtquellen . Aufgrund ihrer geringen thermischen Masse ist eine hohe Messrate erzielbar, die Start-up Zeit wird signifikant gegenüber großflächigen thermischen Strahlen reduziert und es ist sehr wenig Leistung zur Erzielung hoher Glühwendeltemperaturen notwendig . Durch die geringe notwendige Leis- tung wird die Akkulaufzeit eines entsprechenden Messgeräts, insbesondere eines Kapnometers, signifikant gesteigert werden. Dies alles sorgt dafür, dass eine entsprechende Anordnung für den mobilen Einsatz und in der Notfallmedizin optimal geeignet ist. Da die Emission in einem sehr kleinen geometrischen Gebiet erfolgt, ist außerdem der Verlust an ausgestrahltem Licht sehr gering, sodass eine sehr hohe Lichtausbeute auf den verwendeten Detektoren erzielt wird, was ebenfalls den Energieverbrauch zusätzlich reduziert. So kann ein kleiner und leichter Sensor mit hoher Akkulaufzeit realisiert werden . Weitere Vorteile bestehen darin, dass keine mecha- nisch bewegten Bauteile im optischen Strahlengang verwendet werden, sodass eine robuste und kostengünstige Messanordnung verwirklicht werden kann . Die Grundidee der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass eine kleine punktförmige bzw. quasi-punktförm ige thermische Lichtquelle bei vergleichsweise hoher Temperatur und einer verlustarmen opti- sehen Abbildung der Quelle auf kleine, insbesondere quasipunktförmige, Detektoren, beispielsweise Fotodioden, erfolgt. Der Emissionsbereich ist vorzugsweise deutl ich kleiner als 1 mm ² . Bei Mikroglühfadenlampen kann eine Glühwendel bzw. ein Glühfaden innerhalb einer Fläche von beispielsweise 0,2 mm x 0,5 mm gewen- delt sein, also eine Fläche von 0, 1 mm ² abdecken . Eine solch kleine Wendel ist in einem evakuierten oder mit einer Schutzatmosphäre gefüllten Glaskolben angeordnet bzw. eingekapselt, was die Wendel vor Korrosion schützt. Die Kapselung ist bei den gegebenenfalls eingesetzten höheren Temperaturen notwendig . Hierdurch wird eine hohe Temperatur des thermischen Strahlers möglich und daher auch eine hohe Lichtintensität auch im MIR-Bereich . Dies ermöglicht ein gutes Signal-Rausch-Verhältnis. Durch die Anordnung im evakuierten Glaskolben ergibt sich auch ein geringerer Wärmeaustausch des Strahlers mit der Umgebung und daher weniger Verlust- leistung sowie ein mechanischer Schutz und eine Halterung, was für die Fertigung günstig ist.

Zur Minimierung von Leistungsverlusten durch eine zu große Ausdehnung der Lichtquelle ist vorteilhafterweise vorgesehen, dass die Kapselung der Mikro-Glühfadenlampe einen Durchmesser von weniger als 2 mm, insbesondere weniger als 1 ,5 mm, insbesondere weniger als 1 mm, aufweist. Zusätzlich oder alternativ hierzu beträgt vorteilhafterweise ein größter linearer Abstand zwischen zwei Punkten der Wendel weniger als 1 mm, insbesondere weniger als 0,5 mm . Bei geschickter Auswahl der Wendelgeometrie lässt sich so eine sehr hohe ausgesandte Leistung in sehr geringem Gesamtvolumen der Wendel erreichen. Ferner ist es zusätzlich oder alternativ vorteilhaft, wenn eine Einhüllende der Wendel in einer Projektionsrichtung, in der die Einhüllende eine maximale Einhüllenden-Projektionsfläche annimmt, eine maximale Einhüllenden-Projektionsfläche von weniger als 0, 1 mm ² , insbesondere weniger als 0,02 mm ² , auf- weist. Auch dieses Maß, welches die Fläche in einer Projektion aus einer Blickrichtung betrifft, in der die Projektion der Wendel auf die zur Bl ickrichtung senkrechte Ebene maximal ist, sorgt für eine vorteilhafte Kompaktheit der lichterzeugenden Wendel .

Vorzugsweise ist der Sensor oder sind die Sensoren als infrarotempfindliche Photodioden ausgebildet, dessen oder deren sensitive Fläche jeweils insbesondere kleiner als 1 mm ² , insbesondere kleiner als 0, 15 mm ² , ist. Solche kleinflächigen Fotodioden haben wenig Last von thermischem Rauschen . Weiterhin lässt sich das von der quasi-punktförmigen Lichtquelle ausgesendete Licht durch optische Komponenten sehr gut auf die kleinflächigen Infrarotsensoren bündeln. Hierdurch wird ein gutes Signal-Rausch-Verhältnis erzielt. Hierbei handelt es sich ferner um kostengünstige und robuste Bauteile, sodass auch in Bezug auf die Sensorik eine kostengünstige und robuste Lösung zur Verfügung steht.

Typische brauchbare Photodioden haben eine geringe Detektorfläche, beispielsweise ca. 0,35 mm x 0,35 mm, also eine Fläche von 0, 1 225 mm ² , was in der Größenordnung der strahlenden Fläche der erfindungsgemäß verwendeten Lichtquelle ist. Hier kann also eine optische Punktabbildung realisiert werden . Die kleinen Detektoren haben eine hohe Grenzfrequenz, sodass die benötigte Messrate ohne Probleme realisiert werden kann. Im Vergleich zu Thermopiles und pyroelektrischen Detektoren haben kleine Fotodioden eine be- grenzte spektrale Empfindlichkeit und sind somit weniger empfindlich gegenüber thermischen Störstrahlungsquellen . In einer vorteilhaften Weiterbildung ist eine Steuerungsvorrichtung umfasst, die zur leistungsgeregelten Ansteuerung und/oder Modulation der Mikro-Glühfadenlampe ausgebildet ist, wobei die Steuerungsvorrichtung, um einen Ist-Wert der abgegebenen Leistung zu bestimmen, zur Bildung eines Produktes aus an der Mikro-

Glühfadenlampe gemessenem Strom und gemessener Spannung ausgebildet ist und/oder mit einer bei der Mikro-Glühfadenlampe angeordneten Photodiode signalverbunden ist, die einen Teil des von der Mikro-Glühfadenlampe erzeugten Lichts empfängt. Obwohl viele Filamentquellen üblicherweise über ihre Spannung angesteuert werden, ist aufgrund der Temperaturabhängigkeit ihres Innenwiderstandes eine Spannungssteuerung weniger geeignet, eine konstante und reproduzierbare Leistungsabgabe anzustellen als eine Leistungssteuerung . Die Stromaufnahme und damit einhergehend die aufgenommene elektrische Leistung sowie folglich auch die abgegebene optische Leistung sind somit von der Temperatur der Glühwendel abhängig . Dies zeigt sich insbesondere beim „Einlaufen" der Quelle nach einem Kaltstart und bei Änderungen des Arbeitspunktes deutlich . Somit ist für einen sogenannten AC-Betrieb eine Leistungsansteuerung der Filamentquelle sinnvoll .

Zur Leistungsregelung ist möglich, Strom und Spannung der Strahlungsquelle elektronisch zu erfassen und zu multipl izieren und dieses Produkt als Ist-Größe für eine Regelung zu nutzen . Eine beson- ders schnelle Regelung der Leistung der Lichtquelle, die für die Modulation der Lichtquelle günstig ist, kann erreicht werden, indem Strom und Spannung analog erfasst und analog multipl iziert werden . So kann dann auch ein rein analoger Regler eingesetzt werden, was Vorteile in der Geschwindigkeit und in den niedrigen Kos- ten hat. Alternativ ist eine digitale Umsetzung der Produktbildung und Regelung mögl ich . In einer alternativen Implementierung einer Leistungsregelung wird ein Teil der emittierten Strahlungsleistung möglichst frei von optischen Störquellen mittels eines Sensors, beispielsweise einer Photodiode, erfasst, vorzugsweise einer rauscharmen, kostengünstigen VIS- oder N IR-Photodiode. Der in der Photodiode generierte Photostrom ist direkt proportional zur erfassten optischen Leistung . Somit kann das verstärkte Signal des Photostroms als Istwert für die Regelung der optischen Leistung genutzt werden . Diese Lösung erfordert eine möglichst vollständige Abschottung von Fremdlicht. Ferner ist sicherzustellen, dass ein repräsentativer Anteil des emittierten Lichtes erfasst wird und für die Regelung genutzt wird .

In einer bevorzugten Anordnung wird das IR-Licht gebündelt durch die Messzelle geleitet und nach Durchgang durch die Messzelle mit- tels eines spektral neutralen optischen planparallelen oder gewölbten Transmissions- oder Reflexionsgitters auf zwei oder mehr Sensoren aufgeteilt, wobei das Transmissionsgitter oder Reflexionsgitter insbesondere eine Gitterkonstante aufweist, die um einen Faktor von 30 oder mehr, insbesondere um einen Faktor von 50 und mehr, kleiner ist als ein Durchmesser eines Lichtflecks auf dem Transmissions- oder Reflexionsgitter. Unter dem Lichtfleck wird in diesem Fall der Lichtfleck verstanden, der von dem Licht erzeugt wird, das von der Mikro-Glühfadenlampe abgestrahlt und durch den optischen Pfad bis zum Gitter gelangt. Eine Gitterkonstante von 300 μηη oder weniger, insbesondere von 50 μηη oder weniger, ist dabei vorteilhaft. Mit dieser Aufteilung durch ein spektral neutrales Gitter wird sichergestellt, dass das gesamte Licht sowohl der Absorptionswellenlänge als auch der Referenzwellenlänge bis zu der Aufteilung denselben optischen Pfad durchläuft und somit keine systemati- sehen Unterschiede in der Absorption erleidet, abgesehen von der zu messenden Absorption im Messgas. Mittels des spektral neutra- len Gitters wird das gesamte Licht, dass die Messzelle durchquert hat, unabhängig von der jeweiligen Wellenlänge in zwei oder mehr räumlich voneinander getrennte Pfade aufgeteilt und auf voneinander getrennte Detektoren bzw. Detektoreinheiten geleitet. Jede De- tektoreinheit kann beispielsweise einen Detektor und ein optisches Bandpassfilter aufweisen. Diese sollten unterschiedliche spektrale Empfindlichkeiten aufweisen, so dass das empfangene Licht auf dem einen Detektor stark von der Absorption der Messgröße, beispielsweise CO2, abhängig ist und das auf dem anderen Detektor, dem Referenzdetektor, empfangene Licht hiervon möglichst unabhängig ist.

Weiterhin sollten die spektralen Empfindlichkeitsbereiche der Detektoreinheiten möglichst nahe beieinanderliegen, damit Auswirkungen spektral abhängiger, also dispersiver, breitbandiger Störungen, wie etwa die temperaturabhängige optische Dispersion oder die durch Temperaturveränderung hervorgerufene spektrale Änderung der Emissionscharakteristik einer thermischen Quelle, sich nicht oder nur kaum unterschiedlich auf die detektierten Signale auswirken . Störungen der Transmission im optischen Pfad, die gegenüber dem Abstand der beiden Empfindl ichkeitsbereiche der Filter breitbandig sind, breitbandiges Fremdlicht sowie Intensitätsschwankungen der Lichtquelle können durch Verrechnung der empfangenen Detektorsignale gegenüber dem Absorptionsmesssignal unterdrückt werden . So wird die Genauigkeit der Messung der Zielgröße, beispielsweise die Konzentration von CO2, deutlich erhöht.

Es ist hierbei vorteilhaft, wenn die mit den Detektoreinheiten erfass- ten Lichtanteile möglichst demselben Ursprungsort der Lichtquelle entstammen und möglichst denselben optischen Pfad von der Quelle bis zur Aufteilung auf die Detektoreinheiten gefolgt sind . Dies ist bei einer erfindungsgemäß kleinflächigen Filamentquelle in der Re- gel in hohem Maße gegeben. Weiterhin sollte die Aufteilung des Lichtes möglichst gleichverteilt und ohne eine starke räumliche Abhängigkeit erfolgen, da sonst die detektierten Lichtanteile von unterschiedlichen Lichtpfaden herrühren . Somit wirken die Quell- und Pfadstörungen auf gleiche Weise auf die empfangenen Lichtsignale und können bei der Ermittlung der Messgröße kompensiert werden .

Unter einem spektral neutral wirkenden Gitter wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung eine gleichverteilte, fein gegl iederte Struktu- rierung eines optischen Bauteils im Strahlengang verstanden, welches die Richtung des eintreffenden Lichts in zwei oder mehr Richtungen zu entsprechenden Detektoreinheiten ablenkt. Durch diese fein gegl iederte und innerhalb der Empfangsapertur des optischen Bauteils gleichmäßig verteilte Struktur erfolgt eine diversifizierte Aufteilung des Lichtes auf die Detektoreinheiten . Hierdurch wird erreicht, dass das Lichtbündel in viele kleine Unterbündel zerlegt wird, welche dann auf die Detektoren aufgeteilt und hier gebündelt er- fasst werden . Störungen, deren räumliche Ausdehnung größer als die eines Unterbündels ist, wirken auf mehrere Unterbündel und somit stochastisch auf die mehreren Detektoreinheiten in gleicher Weise und können auf diese Weise kompensiert werden . Kleinere Störungen hingegen wirken im Extremfall selektiv auf nur einen Detektorpfad . Der hierdurch betroffene Signalanteil eines einzelnen Unterbündels und der darin enthaltenen kleinen Störungen ist ge- genüber dem Gesamtsignal jedoch sehr klein, so dass der auf diese Weise entstehende Fehler im Messsignal vernachlässigt werden kann.

Die Struktur eines solchen Gitters sollte möglichst klein gegenüber der Eintrittsfläche des Gesamtlichtbündels, also den Lichtfleck, sein, dam it der Intensitätsanteil eines einzigen Unterbündels gegenüber der einfallenden Gesamtintensität möglichst gering ist. Die Struktur soll andererseits groß genug sein, damit wellenlängenabhängige Beugungseffekte nicht die Lichtaufteilung dominieren . Bei einer Wellenlänge im mittleren Infrarotbereich von zwischen 4 und 5 μιτι ergibt sich sinnvollerweise eine Gitterkonstante von zwischen 20 und 300 μιτι, vorzugsweise 200 μιτι oder weniger, weiter vorzugsweise 80 μιτι oder weniger. Die Untergrenze liegt bei ca. 20 μιτι, damit die Beugungseffekte nicht zu groß werden. Zusätzlich sollten die Umlenkwinkel nicht im Bereich der Beugungsmaxima der genutzten Wellenlängen liegen . Für eine gute Störunterdrückung soll- ten die Flächenanteile der mehreren Richtungen möglichst gleich groß sein und somit die Lichtintensitäten gleichmäßig auf die mehreren resultierenden Lichtpfade aufgeteilt sein. Die Querschnittsfläche der Unterbündel sollten die gleiche Größe aufweisen, damit einwirkende Störungen im Strahlengang auf die Unterbündel in glei- eher Weise wirken und so vollständig kompensiert werden können .

Ein entsprechendes spektral neutrales Gitter kann als Reflexionsgitter ausgeführt sein. In diesem Fall wird das Licht aufgeteilt und zusätzlich umgelenkt, beispielsweise um 90°. Hierdurch wird eine sehr kompakte Sensorbauform möglich . Das Gitter kann durch eine zwei- oder dreidimensionale Form, die in der dritten Raumrichtung kontinuierlich erweitert ist, gegeben sein, beispielsweise in Form einer Sägezahnstruktur in Form einer Satteldachstruktur oder komplexere Formen, wie eine Pyramidenstruktur. Hierdurch sind zwei oder meh- rere Richtungen der Lichtaufteilung möglich. Auf diese Weise kann eine gute räumliche Aufteilung und Trennung des Lichts auf zwei, drei oder mehr Detektoren erreicht werden . Durch eine zusätzliche Wölbung, beispielsweise in Form einer Paraboloiden, des gesamten Gitters kann gleichzeitig eine Fokussierung des einfallenden Lichtes auf die Empfänger bewegt werden, ohne dass weitere optische Bauelemente, beispielsweise Hohlspiegel an den Empfängern, hierfür erforderlich sind . Alternativ kann das Gitter ein Transmissionsgitter sein, welches auf oder in einem planparallelen, im Wellenlängenbereich der Messung, insbesondere im IR-Bereich, transparenten Material , insbesondere Glas, ausgeführt ist. Im Gegensatz zum Reflexionsgitter bewirkt hierbei ein Brechzahlunterschied des Substrates zur Umgebung bzw. innerhalb des Substrates eine Änderung und Aufteilung der Richtung des einfallenden Lichtes. Auch hier ist es sinnvoll, zweidimensionale oder dreidimensionale Strukturen zu verwenden, die eine zusätzliche Fokussierung ermögl ichen .

Die Kombination der Gitterstruktur mit fokussierenden Elementen oder Strukturen zeichnet sich durch eine einfache Positionierung der optischen Bauteile im Strahlengang bei der Sensorfertigung aus. Dies betrifft insbesondere die Transmissionsanordnung .

Für die Anwendung im genannten mittleren Infrarotbereich ist beispielsweise eine Neigung von Gitterschrägen eines Reflexionsgitters von etwa 27° günstig, welche einen Winkel zwischen den De- tektoren von ca. 100° bei einer exakten Umlenkung um 90° erzielt, ohne dabei eine Abschottung von Lichtanteilen durch das Gitter selbst zu verursachen. Durch diese Aufspreizung der resultierenden Lichtstrahlen von ca. 100° ist es möglich, die Detektoreinheiten in der Nähe des Gitters zu positionieren, wodurch ein sehr kompakter Aufbau realisiert wird . Die Umlenkung des auf das Gitter einfallenden Lichts um genau 90° ist für die Justage und Positionierung der Detektoreinheiten und somit für die Fertigung sehr günstig .

Vorzugsweise ist die Messzelle als innen diffus oder hochglänzend verspiegelte Röhre ausgebildet, an deren einem Ende die Mikro- Glühfadenlampe und an deren anderem Ende der Sensor oder die Sensoren mit den vorgeschalteten Bandpassfiltern angeordnet sind . Dies ermöglicht eine vollständige Transmission des emittierten Lichts und erhöht somit die Messgenauigkeit. Eine diffuse Verspie- gelung, beispielsweise durch eine Mikrostrukturierung der spiegelnden Oberfläche, bewirkt eine zumindest teilweise Entkopplung des bei den Empfängern ankommenden Lichts vom Ursprungsort und somit eine Verminderung systematischer Fehler. Eine hochglänzende Verspiegelung weist den Vorteil geringerer Verluste an Lichtintensität auf. Ein beispielhaftes geeignetes Material für eine Innen- verspiegelung ist Gold, welches im IR-Bereich eine gute Reflektivi- tät aufweist und aufgrund seiner Eigenschaft als Edelmetall wenig anfällig gegenüber Korrosion ist.

In einer vorteilhaften Weiterbildung der Anordnung ist der wenigstens eine Bandpassfilter als Doppel-Bandpassfilter ausgebildet, der IR-Licht sowohl im Messwellenlängenbereich als auch im Referenzwellenlängenbereich durchläset, wobei der Doppel-Bandpassfilter einem einzelnen Sensor vorgeschaltet ist, wobei die Steuerungsvorrichtung ausgebildet und eingerichtet ist, die Mikro-Glühfadenlampe zwischen einem Arbeitspunkt niedriger Leistung und einem Arbeits- punkt hoher Leistung zu modul ieren, in denen das jeweilige Emissionsspektrum unterschiedliche Anteilsverhältnisse im Messwellenlängenbereich und im Referenzwellenlängenbereich aufweist.

Diese Doppel-Bandpass-Anordnung beruht auf dem Prinzip, dass die Filterbereiche für die Gasabsorption und die Referenzwellenlänge in einem optischen Doppelbandpassfilter zusammengefasst werden . Das Licht wird in allen Bereichen geblockt, außer in zwei Durchlassbereichen bei der Gasabsorption und der Referenzwellenlänge. Dieser Filter befindet sich im optischen Pfad zwischen Licht- quelle und Empfänger. Die vorzugsweise leistungsgeregelte Quasi- Punktlichtquelle wird abwechselnd in einem Arbeitspunkt mit niedriger Leistung bzw. niedriger Temperatur betrieben und in einem Ar- beitspunkt mit hoher Leistung . In dem Arbeitspunkt mit niedriger Leistung überstreicht das Emissionsspektrum vor allem den Bereich der Gasabsorption . In dem Arbeitspunkt mit hoher Leistung gelangt durch beide Filterbereiche Licht auf den Empfänger. Das detektierte Licht ist somit zu einem Zeitpunkt durch die Absorption des Zielgases dominiert und im nächsten Zeitpunkt ist ein zusätzl icher Anteil enthalten, der die Lichttransmission durch die Zelle beinhaltet. Dies beinhaltet somit die Referenzmessung . Ist die Änderung der Gaskonzentration innerhalb dieses Zeitintervalls vernachlässigbar ge- ring, so kann anhand der Messwerte zu den Zeitpunkten bei hoher und niedriger Temperatur bzw. Leistung die Konzentration der Zielgröße bestimmt werden. Dabei werden wie in einer Zweidetektoranordnung breitbandige Transmissionsänderungen des optischen Pfades oder durch andere Absorber unterdrückt. In dieser Anordnung ist nur ein Empfänger erforderlich .

Die Signalverarbeitung und -auswertung für diesen Fall sei im Folgenden kurz beschrieben . Für eine vereinfachte Beschreibung wird angenommen, dass der Lichtanteil des Referenzbereichs im ersten Arbeitspunkt vernachlässigbar ist. Dann gilt für die am Detektor im Arbeitspunkt 1 (AP1 ) ankommende Lichtintensität ΙΑΡ .

P _I ⁼ k _s I ₀₁ e ^xc , (1 ) wobei ks ein spektral unabhängiger Dämpfungsfaktor ist, der Störungen und Konstanten abbildet, die beispielsweise die Verstärkung, die optische Abbildung im System und andere Einflüsse beschreiben . Der Faktor α im Exponenten bezeichnet den wellenlängenabhängigen Absorptionskoeffizienten des Messgases. Die Ter- me x und c bezeichnen die Messstrecke in der Messzelle und die Konzentration des Messgases. lm zweiten Arbeitspunkt (AP2) gilt für die am Detektor ankommende Lichtintensität ΙΑΡ .

IA _P2 — k _S I ₀₁ k _a e ^axc + (2)

Hier beinhalten die Faktoren k _a , h die Änderung der Lichtintensität der Quelle im Filterbereich des Absorptionssignals beim Übergang vom Arbeitspunkt 1 zum Arbeitspunkt 2 bzw. das Verhältnis der Lichtintensität der Quelle im Filterbereich des Absorptionssignals beim Arbeitspunkt 1 zu der Lichtintensität der Quelle im Filterbereich des Referenzsignals beim Arbeitspunkt 2. Diese Faktoren enthalten somit auch die Änderung der Intensität der Lichtquelle in den beiden Fenstern beim Übergang vom Arbeitspunkt 1 zum Arbeitspunkt 2. Nach Umformung ergibt sich für die Konzentration bzw. die Zielgröße c:

dieses Messergebnis ist stark von den Verhältnissen der Intensitäten der Lichtquelle im Arbeitspunkt 1 und im Arbeitspunkt 2 abhängig . Die praktische Auswertung erfolgt vorzugsweise anhand von kal ibrierten Kurven oder look-up-Tabellen, da k _a , h im praktischen System zur Laufzeit nicht bestimmt werden können .

Die Doppelbandpassfilter-Anordnung erfordert nur einen optischen Kanal und eine Detektoreinheit, sodass sich ein robuster und optisch einfacher Aufbau ergibt, der gegenüber optischen Störungen, Veränderungen der Verstärkung und der Empfindlichkeit des Empfängers eine hohe Sicherheit bietet. Die zur Verfügung gestellte optische Leistung wird nicht auf mehrere Empfänger aufgeteilt. Die Modulation der Quasi-Punktlichtquelle kann durch eine optische o- der rein elektronische Leistungsregelung präzise erfolgen, wodurch die Referenzierung bzw. Referenzmessung sehr stabil wird. Anhand des zeitlichen Verlaufs des detektierten Signals während der Modulation können die Arbeitspunkte überprüft werden. Weitere Vorteile dieser Anordnung sind die geringe Leistungsaufnahme aufgrund der Verwendung nur eines Empfangskanals und die geringen Fertigungskosten aufgrund der geringen Anzahl von optischen und elektronischen Bauteilen .

In einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung der vorgenannten Anordnungen sind Mittel umfasst, die zu einer temporären Druckerhöhung und/oder Druckabsenkung des Gasgemischs in der Messzelle ausgebildet sind, insbesondere eine Pumpe und/oder ein oder mehrere, insbesondere schaltbare, Ventile. Solche Ventile können schaltbare Ventile oder andere Ventile, wie Rückschlagventile oder Druckbegrenzungsventile sein . Vorzugsweise ist eine Steuervorrichtung umfasst, die ausgebildet ist, die Mittel anzusteuern, um temporär einen Gasauslass der Messzelle zu blockieren und/oder die Menge an zu analysierendem Gasgemisch in der Messzelle zu erhöhen und/oder abzusenken . Alternativ kann die Druckvariation auch mit Hilfe eines externen Geräts zusätzlich zum eigentlichen Sensormodul genutzt werden .

Diese Maßnahme stellt vorteilhafterweise eine Ergänzung zu Senso- ren auf Basis herkömmlicher Seitenstrommessanordnungen für die

Sensorkalibrierung dar, die in größeren Zeitintervallen sinnvoll ist. Es wird eine signifikante Druckänderung zur Referenzierung verwendet, zum Beispiel durch eine deutliche Erhöhung des Drucks oder auch eine Variation des Drucks von einem Unterdruck bis zu einem Überdruck in der Messzelle. Zur Erzeugung eines Überdrucks kann beispielsweise eine Pumpe in Kombination mit einem Rückschlagventil vor der Messzelle verwendet werden, wobei die Strö- mungsrichtung geändert wird und die Pumpe, die anderenfalls Gas aus der Messzelle absaugt, eine Komprimierung des Gases in der Messzelle bewirkt. Es kann gegebenenfalls wirtschaftlich sinnvoll sein, ein externes Gerät zu benutzen, welches die erforderliche Hardware umfasst, um die Druckmanipulation durchzuführen . Ein derartiges Zusatzgerät wird vorteilhafterweise an die pneumatischen Eingänge und Ausgänge der Messzelle angeschlossen . Wenn das Sensorsystem bzw. die Anordnung für eine derartige externe Kalibrierung ausgelegt ist, können die Rohdaten abgegriffen werden, Ka- librierdaten erfasst werden und aktual isierte Kalibrationsparameter auf den Sensor übertragen werden . Auf diese Weise ist es möglich, eine zyklisch erforderliche Kal ibrierung ohne aufwändige Kalibriergase kostengünstig zu gestalten . Diese Maßnahme findet vornehmlich im Seitenstrom statt, da das im

Seitenstrom abgesaugte Gasgemisch vergleichsweise einfach gestaut und druckmanipuliert werden kann . Hiermit wird eine über das Absorptionsgesetz hinausgehende Nichtlinearität der Absorption der Zielgröße genutzt, um sie von schwächeren und vor allem breitban- digen Hintergrundabsorptionen zu trennen und so eine selektive und robuste Messung der Zielsubstanz zu ermögl ichen . Auch eine Intensitätsdrift der Quelle und Änderungen der Transmission der Übertragungsstrecke werden bei diesem Verfahren in Bezug auf die Zielgröße unterdrückt. Da das Aufstauen des Messgases eine Un- terbrechung der eigentlichen Messung bedeutet, handelt es sich um ein zyklisches Verfahren . Es ist mit einer kontinuierlichen einkanali- gen Messung ebenso kombinierbar wie mit einer Mehrkanalmessung, um unter anderem Störeffekte wirkungsvoll zu kompensieren . Die Nichtlinearitätsmessung ist nicht auf den Anwendungsfall der

Absorptionsmessung mit kleinvolumigen IR-Lichtquellen begrenzt. Im vorliegenden Fall kann sie zu einer zuvor beschriebenen kontinu- ierlichen Messung einer Zielgröße und Konzentrationsbestimmung hinzutreten . Die Bestimmung der Nichtlinearität setzt voraus, dass über den Zeitraum des Druckaufbaus bzw. der Druckänderung mehrere Messungen erfolgen, so dass aus dem Zusammenhang zwi- sehen Messwerten und Druckentwicklung auf die Nichtlinearität geschlossen werden kann . Im Rahmen der Nichtlinearitätsmessung wird dazu zyklisch, vorzugsweise bei einer hohen Konzentration der Zielgröße, beispielsweise bei expiratorischem CO2, der Fluss des Messgases kurzzeitig aufgestaut. Hierfür kann beispielsweise ein Absaugen des zu messenden Gases für kurze Zeit gestoppt werden, indem beispielsweise die Flussrichtung einer Pumpe umgekehrt wird, wobei die Pumpe gegen ein Ventil, insbesondere ein Rückschlagventil , vor der Messzelle arbeitet, und so das Gasgemisch in der Zelle verdichtet. Gegebenenfalls ist eine Absenkung des Drucks in analoger Weise möglich , indem das Ventil vor der Messzelle gedrosselt wird und die Flussrichtung der Pumpe beibehalten wird . Auf diese Weise wird die Transmission der Anordnung bei unterschiedl ichen Drücken des Gases in der Messzelle erfasst. Ist in der Zelle eine signifikante Druckänderung erreicht, so beginnt die Pumpe wieder mit dem Absaugen und der kontinuierlichen Messung .

Die Änderung des Druckes hat keinen Einfluss auf die Lichtquelle, die Lichtübertragung und den Empfänger. Diese Größen können während der Dauer der Druckänderung als konstant angenommen werden . Signifikante Änderungen, Drifterscheinungen, Alterseffekte etc. haben eine größere Zeitkonstante als die Dauer der Druckänderung und Nichtlinearitätsmessung . Im Gegensatz zu der optischen und elektronischen Übertragung ändert sich aber die Absorption in der Messzelle mit dem Druck. Da ebenfalls der Druck des Gases in der Messzelle gemessen wird, können die unbekannten Übertragungsdaten des Messpfades auf diese Weise bestimmt werden . Durch eine geeignete Auslegung des optischen Filters kann im Zusammenhang mit der optischen Gasabsorption der Zielgröße die Stärke der Nichtlinearitat der Absorption der Zielgröße beeinflusst werden . Eine derartige N ichtlinearitat der Absorption tritt bei ande- ren sich überlagernden breitbandigen und in der Regel schwächeren

Absorbern, welche ebenfalls im Gasgemisch enthalten sein können, nicht auf. Anhand dieser Eigenschaft kann die Zielgröße auch ohne die Verwendung einer zusätzl ichen Referenzwellenlängenmessung selektiv bestimmt werden. Der auf diese Weise ermittelte Konzent- rationswert der Zielgröße kann zur Korrektur der Werte zwischen den Druckzyklen genutzt werden .

Physikalisch ergibt sich die Nichtlinearität aus der Überlagerung des wellenlängenabhängigen Transmissionsverlaufs des Filters mit dem wellenlängenabhängigen Absorptionskoeffizienten des Messgases, die der Transmission des Lichts durch die Messzelle und das zu messende Gas im Wellenlängenbereich des optischen Filters und der Absorption des Messgases zugrunde liegt. Wenn das Transmissionsfenster des Filters die Ausläufer der Absorptionsbande des Messgases umfasst, wird bei einer Konzentrationserhöhung des Messgases in der Messzelle die Absorption des durchstrahlenden Lichts nichtlinear mit der Erhöhung der Konzentration zunehmen . Dies ist ein Effekt, der ausschl ießlich auf das Messgas zurückzuführen ist, sofern andere Gase in dem Gasgemisch und andere Effekte der Messvorrichtung eine Lichtschwächung bewirken, die innerhalb des entsprechenden spektralen Fensters des Filters weitgehend unabhängig von der Wellenlänge ist.

Es wird nur ein Übertragungskanal von einer Lichtquelle auf eine Detektoreinheit benötigt, wobei eine Detektoreinheit als Detektor und gegebenenfalls optischer Filter zu verstehen ist. Das Licht der Quelle sollte amplitudenmoduliert sein, da Gleichanteile zu unter- drücken sind. Es werden im Folgenden die Wechselsignalamplituden betrachtet. Die detektierte Lichtleistung auf der Detektorfläche bzw. die am Detektor empfangene Lichtintensität I _M kann beschrieben werden als

⁼ Iok _s Tges > (4) wobei lo die von der Lichtquelle abgegebene Lichtintensität ist, ks ein spektral unabhängiger Dämpfungsfaktor, der Störungen und Konstanten umfasst, welche beispielsweise die Verstärkung, Abbildung etc. im System beschreiben, und T _ges die wellenlängenabhängige Transmission des Gesamtsystems beschreibt. Dieser Faktor ist ein Produkt T _ges = T _G T _s T _F (5) aus der wellenlängenabhängigen und druckabhängigen Transmission TG des Zielgases, der wellenlängenunabhängigen und druckabhängigen Transmission Ts störender Gase sowie der druckunabhän- gigen wellenlängenabhängigen Transmission 7 des optischen Systems aus optischem Filter, spektraler Empfindlichkeit des Detektors, dem spektralen Verlauf der Emissionsquelle, sowie Übertragungseigenschaften der Zelle. Für das Verfahren ist es wichtig, dass der Transmissionsbereich des Bandpassfilters nicht nur sehr schmal- bandig auf das Maximum einer Absorptionslänge des Zielgases abgestimmt ist, sondern auch Bereiche mit niedrigerer Absorption umfasst. Weiterhin sollte der Filterdurchlassbereich so gewählt sein, dass störende Gase hier einen möglichst konstanten Absorptionsverlauf aufweisen. Außerdem ist die Filterbandbreite unter Berück- sichtigung der angeführten Anforderungen schmal zu halten, damit spektrale bzw. dispersive, beispielsweise temperaturabhängige, Veränderungen der meist breitbandigen Lichtquellen und des Detektors sich nicht oder nur vernachlässigbar auf das Messergebnis auswirken .

Die Formel (4) kann unter Berücksichtigung der Druckabhängigkeit und der Wellenlängenabhängigkeit als Summe der n Spektralanteile beschrieben werden :

Nach Anwendung des Absorptionsgesetzes und unter Berücksichtigung der Druckabhängigkeit der Teilchendichte im Messgas ergibt sich:

/ _M (p) = ? k _s e ^~asX Ση e ^~aGnX k _Fn , (7) und nach Logarithmieren der Formel (7):

In I _M (p) = In k _s ^ — a _s xc _s ^- + In (

Der Logarithmus des Messsignals kann somit als Summe von drei Termen ausgedrückt werden, von denen einer druckunabhängig ist, einer vom Druck linear abhängig und ein Dritter einen nichtlinear vom Druck abhängigen Anteil enthält. Der linear abhängige Anteil enthält die Störgasabsorption, der nichtlineare Anteil die Zielgasinformation . Durch weitere Signalverarbeitung können diese Anteile voneinander getrennt werden, wodurch Störeinflüsse im Messsignal el iminiert werden .

Dies kann beispielsweise durch Ableiten der Funktion (8) nach dem Druck erfolgen, wodurch die druckunabhängigen Signalbestandteile aus dem Messsignal entfernt werden und als einziger druckabhängiger Bestandteil der nichtl ineare Anteil übrig bleibt, der auf das Zielgas zurückgeht. Aufgrund der Linearität der Druckabhängigkeit des mögl ichen Störgasanteils verbleibt hiervon nach der Ableitung lediglich ein konstanter Wert: W) = -^ (!. ^ » (9) Damit bildet der Störgasanteil einen Offset und kann durch eine Betrachtung des Signalunterschieds bei verschiedenen Arbeitspunkten oder durch eine zweite Ableitung nach dem Druck vom Signalanteil des Zielgases getrennt werden . Der resultierende Signalverlauf hängt in nichtlinearer Weise, aber proportional zur Konzentration des Zielgases vom Druck ab. Der Verlauf dieses nichtl inearen Zusammenhangs, welcher vorteilhafterweise als funktionale Näherung oder als look-up-table zur Berechnung der Konzentration in der Signalauswertung hinterlegt werden kann, ist im Wesentlichen durch den Absorptionsverlauf des Zielgases und den gewählten Transmis- sionsverlauf des optischen Filters bestimmt und kann daher für bestimmte Konzentrationsmessbereiche optimiert werden . Eine Reihe von Störgrößen kann auf diese Weise unterdrückt werden, obwohl nur ein Messpfad im Aufbau genutzt wird. Durch rekursive Berechnung kann dann auch der Signalanteil des Störgases berechnet werden, was beispielsweise in der Kapnometrie einen näherungsweisen Rückschluss auf die Konzentration von N2O als stärkstem Störgas in der Kapnometrie zulässt.

Somit ist unter Verwendung nur eines Messpfades eine Konzentra- tionsbestimmung möglich, die, abgesehen vom SNR, unabhängig ist von der innerhalb der optischen Filterbandbreite wellenlängenstabi- len Übertragung der Lichtintensität von der Quelle zum Detektor. Somit entfallen einige Fehlerquellen, die beispielsweise durch Alterung entstehen . Eine Null-Referenzmessung, zum Beispiel eine zyklische Umgebungsluftmessung, ist bei diesem Verfahren nicht not- wendig . Stattdessen kann die absolute Konzentration bestimmt werden . Aufgrund des einfachen optischen Aufbaus ist eine hohe Lichtübertragung mit sehr geringen Verlusten und folglich sehr gutem SNR möglich . Es erfolgt eine effektive Unterdrückung anderer, bezogen auf die Filterbandbreite, breitbandiger Einflüsse, beispiels- weise anderer Absorber. Entsprechend ist die Anordnung robuster gegenüber spektralen Schwankungen der Emission der Quelle und der Sensitivität des Detektors im Vergleich zu Verfahren mit zwei oder mehr getrennten Wellenlängenbereichen für die Messung der Gasabsorption und der spektralen Referenz. Dies rührt daher, dass bei der Referenzierung nicht der spektrale Abstand zwischen dem

Absorptionsfilterbereich und dem Referenzbereich , sondern nur die Bandbreite des Filters im Absorptionsband wirksam wird . Auch in Kombination mit bestehenden Seitenstrommessverfahren kann dieses Verfahren zur Kompensation möglicher Drifteffekte integriert werden .

In analoger Weise kann anstelle der Modulation des Drucks in der Messzelle auch ein anderer Parameter aus den oben genannten Formeln gezielt verändert werden und die Änderung der Messung in Bezug auf ihre Nichtlinearität genutzt werden . Dies betrifft etwa den

Absorptionskoeffizienten a, die Absorptionslänge x oder die Konzentration c.

Ebenfalls wird die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe gelöst durch ein Verfahren zum Messen einer Gaskonzentration mittels Absorptionsspektroskopie, insbesondere zur kapnometrischen Messung des Anteils von CO2 in Atemluft, in einer zuvor beschriebenen erfindungsgemäßen Anordnung, in welchem IR-Licht von einer thermischen Lichtquelle durch eine Messzelle mit einem zu analysierenden Gasgemisch geleitet wird, und die Gaskonzentrationen eines in dem Gasgemisch enthaltenen zu messenden Gases über eine Messung einer Abschwächung des in die Messzelle eingeleiteten Lichts aufgrund von Absorption in dem zu messenden Gas bestimmt wird, wobei das Verfahren dadurch weitergebildet ist, dass die thermische Lichtquelle als gekapselte Mikro-Glühfadenlampe mit einer lichterzeugenden Wendel ausgebildet ist, wobei insbesondere ein Sensor oder mehrere Sensoren als infrarotempfindliche Photodioden ausgebildet sind, deren sensitive Fläche weniger als 1 mm ² beträgt, insbesondere weniger als 0, 1 5 mm ² .

Das erfindungsgemäße Verfahren verwirklicht damit die gleichen Vorteile, Merkmale und Eigenschaften wie die Erfindung gemäß der zuvor beschriebenen Anordnung . Das Verfahren, ebenso wie die Anordnung, sind vorteilhaft sowohl im Seitenstromverfahren als auch im Hauptstromverfahren einsetzbar. Vorzugsweise wird die thermische Lichtquelle mit einer Messwiederholfrequenz fMess, die größer ist als 1 0 Hz, insbesondere größer als 25 Hz, moduliert, wobei eine Temperatur der Wendel während der Messung höher ist als 400 °C und einen Temperaturmodulationshub von wenigstens 300 °C, insbesondere wenigstens 500 °C aufweist, insbesondere im Maximum 1000 °C übersteigt. Die Messwiederholrate stellt sicher, dass auch bei einer schnellen Atemfrequenz eine ausreichende Abtastung des Verlaufs der CO2- Konzentration in der Atemluft erfolgt. Hohe Atemfrequenzen liegen bei medizinischen Notfällen ebenso vor wie in der Neonatalmedizin, also bei Neu- und Frühgeborenen .

Die verwendeten hohen Temperaturen der thermischen Lichtquelle stellen sicher, dass eine ausreichende Intensität bei einer Wellenlänge von ca. 4,26 μητι , also im Absorptionsband von CO2 vorhanden ist. Die Temperatur liegt im Maximum allerdings deutlich höher als dies bei Kapnometrie üblich ist, wodurch deutlich höhere Intensitä- ten bei den Messwellenlängen zur Verfügung stehen . Dies wird ermöglicht durch die Auswahl einer quasi-punktförmigen Filament- quelle, die ohne wesentlichen Verlust an Lichtintensität in einem dünnen Glasgehäuse eingekapselt sein kann .

Die Mikro-Glühfadenlampe wird vorzugsweise leistungsgeregelt betrieben . Speziell bei den quasi-punktförmigen Filamentquellen der vorliegenden Erfindung, um die es sich bei den Mikro-Glühfaden- lampen handelt, lässt sich auf diese Weise eine sehr genaue und reproduzierbare Regelung der Lichtintensität und des abgegebenen Spektrums des Lichts entsprechend der Temperatur der Glühwendel verwirkl ichen. Da die sehr kleine Glühwendel eine sehr geringe thermische Masse hat, sind Hystereseeffekte wie ein Temperaturnachlauf gegenüber der variabel eingespeisten Leistung auch bei den benötigten Modulationsfrequenzen akzeptabel . Ferner ist aufgrund der geringen thermischen Masse eine vergleichsweise schnelle Regelung und Temperaturänderung der Glühwendel möglich.

Wenn im Laufe einer Messung in zeitlichen Abständen hintereinan- der der Druck des Gasgemischs in der Messzelle erhöht und/oder abgesenkt wird und die Absorption in Abhängigkeit vom Druck gemessen wird, wobei zur Druckänderung insbesondere ein Abfluss des Gasgemischs unterbrochen und/oder ein Zufluss oder ein Abfluss des Gasgemischs durch eine Pumpe unterstützt und erhöht wird, so ist eine effiziente Art der quasi-kontinuierlichen Störunterdrückung und Konzentrationsbestimmung gegeben . Die Abhängigkeit der Absorption im Gasgemisch ist aufgrund der Abstimmung des Bandpasses, der den Absorptionsbereich des zu messenden Gases durchläset, an das Absorptionsband des zu messenden Gases nichtlinear. Diese Nichtlinearitat der Absorption in Abhängigkeit des Drucks in der Messzelle wird dazu verwendet, den Beitrag des zu messenden Gases von weiteren Beiträgen zu isolieren, die keinen entsprechenden nichtlinearen Beitrag liefern . Die Nichtlinearität der Druckabhängigkeit der gemessenen Absorption bietet somit eine unabhängige Referenzierung der Absorptionsmessung . Ein Verfahren von eigenständigem erfinderischem Rang, das auch, aber nicht nur, im Rahmen der zuvor beschriebenen erfindungsgemäßen Anordnung und des zuvor beschriebenen erfindungsgemäßen Verfahrens einsetzbar ist, betrifft ein Verfahren zum Messen einer Gaskonzentration mittels Absorptionsspektroskopie, insbe- sondere zur kapnometrischen Messung des Anteils von CO2 in Atemluft, insbesondere nach einem zuvor beschriebenen erfindungsgemäßen Verfahren, insbesondere in einer zuvor beschriebenen erfindungsgemäßen Anordnung, in welchem Licht, insbesondere IR-Licht, von einer, insbesondere thermischen, Lichtquelle durch eine Messzelle mit einem zu analysierenden Gasgemisch geleitet wird, und die Gaskonzentrationen eines in dem Gasgemisch enthaltenen zu messenden Gases über eine Messung einer Abschwä- chung des in die Messzelle eingeleiteten Lichts aufgrund von Absorption in dem zu messenden Gas bestimmt wird, dadurch gekenn- zeichnet, dass im Laufe einer Messung in zeitl ichen Abständen hintereinander der Druck des Gasgemischs in der Messzelle erhöht und/oder abgesenkt wird oder Fluktuationen im Druck des Gasgemischs gemessen werden und die Absorption in Abhängigkeit vom Druck gemessen wird, wobei eine druckabhängige Messreihe in Be- zug auf linear und nichtlinear vom Druck abhängige Anteile analysiert wird und insbesondere der nichtlinear vom Druck abhängige Anteil zur Messung der Gaskonzentration des zu messenden Gases oder zur Korrektur und/oder Kalibration einer Messung der Gaskonzentration des zu messenden Gases verwendet wird .

Die Grundlagen dieser Nichtlinearitätsmessung, der alternativ auch gezielte Änderungen der Absorptionskonstanten oder der Absorptionslänge zugrunde liegen können, sind oben im Zusammenhang mit der Anordnung bereits beschrieben worden, anhand der oben zitierten Formeln (4) bis (9). Diese Nichtlinearitätsmessung kann außer in dem zuvor beschriebenen Zusammenhang auch bei Gasabsorpti- onsmessungen im sichtbaren Licht oder anderen Wellenlängenbereichen angewandt werden, solange das Zielgas eine im Vergleich zu Störeinflüssen schmale Absorptionsbande aufweist, auf die ein optischer Bandpassfilter gelegt wird . Weitere Merkmale der Erfindung werden aus der Beschreibung erfindungsgemäßer Ausführungsformen zusammen mit den Ansprüchen und den beigefügten Zeichnungen ersichtlich . Erfindungsgemäße Ausführungsformen können einzelne Merkmale oder eine Kombination mehrerer Merkmale erfüllen .

Die Erfindung wird nachstehend ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungsgedankens anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben, wobei bezüglich aller im Text nicht näher erläuterten erfindungsgemäßen Einzelhei- ten ausdrücklich auf die Zeichnungen verwiesen wird . Es zeigen :

Fig . 1 eine schematische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung für den Seitenstrom,

Fig . 2 a) - c) Prinzipdarstellungen für Strahlengänge für die Kap- nometrie Fig . 3 a), b) schematische Darstellungen erfindungsgemäßer Vorrichtungen mit optisch neutralen Transmissionsgittern,

Fig . 4 a) - f) schematische Darstellungen erfindungsgemäß einsetzbarer optisch neutraler Reflexionsgitter,

Fig . 5 eine schematische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,

Fig . 6 spektrale Verläufe zweier Arbeitspunkte einer Lichtquelle sowie Filter- und Absorptionsverlauf für eine Kapnometrie-Anwendung,

Fig . 7 eine schematische Darstellung eines dritten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,

Fig . 8 a), b) schematische Darstellungen erfindungsgemäß einsetzbarer Leistungsregelungsschaltungen,

Fig . 9 eine schematische Darstellung eines vierten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ,

Fig . 10 eine Darstellung hochaufgelöster spektraler Verläufe des Absorptionsbandes von CO2 und eines erfindungsgemäß verwendbaren Bandfilters und

Fig . 1 1 a)-d) eine schematische Darstellung einer Mikro- Glühfadenlampe.

In den Zeichnungen sind jeweils gleiche oder gleichartige Elemente und/oder Teile mit denselben Bezugsziffern versehen, so dass von einer erneuten Vorstellung jeweils abgesehen wird .

In Fig . 1 ist ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemä- ßen Anordnung 10 für den Seitenstrom schematisch dargestellt. Es kann sich dabei um ein Kapnometer handeln, welcher eine Messzelle 12 umfasst, die über einen Gaseinlass 14 und einen Gasauslass 1 6 mit einem konstanten Strom von Atemluft versorgt wird über eine nicht dargestellte Pumpe, welches aus einem Hauptstrom von Atemgas eines Patienten abgezweigt worden ist. Dazu verfügt die Messzelle 1 2 weiterhin über eine Gaseintrittsöffnung 1 5 und an ihrer gegenüberliegenden Seite über eine Gasaustrittsöffnung 17. Die Gasaustrittsöffnung 1 7 ist vorzugsweise vollständig um die Messzelle 12 herum angeordnet, so dass der erforderl iche Querschnitt des Gasauslasses bei einem minimalen Abstand zwischen Messzelle und Filter real isiert werden kann . Die Messzelle 1 2 ist zylindrisch ausgeführt mit einem Durchmesser, der gegenüber der Länge der Messzelle 1 2 klein ist. Damit wird das Volumen der Messzelle 12 gegenüber der verfügbaren Absorptionslänge, also der Länge der Messzelle 1 2, minimiert. Die Volumenminimierung hat den Vorteil, dass das Messgas nur eine sehr kleine Verweildauer in der Messzelle 1 2 hat und somit eine sehr scharfe und zeitlich hochaufgelöste Messung der Konzentration eines Zielgases im Messgas ermögl icht wird .

Für die Messung umfasst die Anordnung 1 0 eine quasi-punktförmige Filamentquelle in Form einer Mikro-Glühfadenlampe 20, die in einem evakuierten Glaskolben angeordnet ist. Dadurch ist es möglich, die Lichtquelle bei einer sehr hohen Leistung und sehr hohen Tem- peratur strahlen zu lassen, ohne ihre Lebensdauer negativ zu beeinflussen . Der Hauptanteil des ausgestrahlten Lichts liegt für die Kap- nometrie im Infrarotbereich, insbesondere im mittleren Infrarotbe- reich . Die Mikro-Glühfadenlampe 20 liegt im Brennpunkt eines kugelförmigen oder parabol ischen Reflektors 22, der eine weitgehende Parallelisierung der Lichtstrahlen bewirkt, sodass die Messzelle 12 möglichst gleichmäßig durchstrahlt wird . Die Messzelle 1 2 kann von innen verspiegelt sein .

Ausgangs der Messzelle 1 2 befindet sich eine Anordnung aus zwei Detektoren 25, 27, denen zwei Filter 24, 26 vorgeschaltet sind, und die durch das Licht, das die Messzelle 1 2 durchstrahlt, möglichst gleichmäßig beleuchtet werden. Dem Detektor 25 ist ein Filter 24 für einen Gaskanal vorgeschaltet, welcher einen schmalen Bandpass für die Absorptionsbande des Zielgases aufweist, während der Filter 26 als Bandpassfilter für einen Referenzkanal ausgebildet ist, wo das Zielgas keine oder nur wenig Absorption hat. Nicht dargestellt ist eine Steuerung und Auswerteeinheit. Die Verwendung einer qua- si-punktförmigen Lichtquelle in Form einer Mikro-Glühfadenlampe 20 in diesem Fall ermöglicht es, mit sehr wenig Lichtverlust eine sehr hohe Präzision der Messung zu erreichen, ebenfalls eine sehr schnelle und exakte Leistungs- und Temperaturregelung der Lichtquelle zu verwirklichen .

Ebenfalls ist symbolisch eine Auswertevorrichtung 1 8 dargestellt, die Signale von den Detektoren 25, 27 empfängt und gemäß interner Rechenregeln, look-up-Tabellen o.ä. und entsprechender Kalib- rierung die Konzentration des Zielgases in der Messzelle 12 ermittelt.

In Fig . 2 a) - c) sind zur Veranschaulichung Prinzipdarstellungen für Strahlengänge für die Kapnometrie dargestellt. Figur 2 a) zeigt die Grundform für einen Kanal, bei dem eine quasi-punktförmige Infrarot-Lichtquelle, insbesondere eine Mikro-Glühfadenlampe 20, im Brennpunkt eines parabol ischen Reflektors 22 angeordnet ist, der aus den vom im Brennpunkt des Reflektor 22 ausgesandten Lichtstrahlen ein paralleles Lichtstrahlenbündel macht. Dieses parallele Lichtstrahlenbündel wird vom Reflektor 32, der ebenfalls als Para- bolreflektor ausgebildet ist, wiederum auf den Brennpunkt des Re- flektors 32 gebündelt, in dem ein, vorzugsweise ebenfalls kleinvo- lumiger, Sensor 30 angeordnet ist, beispielsweise eine Photodiode. Nur sehr wenig Licht geht bei dieser Lichtübertragung verloren, sodass mit relativ geringer Ausgangsintensität einen gutes Signal- Rausch-Verhältnis (SN R) erzielt werden kann .

Im Gegensatz dazu ist in Figur 2 b) der Fall dargestellt, dass die Lichtquelle 20' nicht quasi-punktförmig ist. In diesem Fall liegt ein Teil der Lichtquelle 20' außerhalb des Brennpunkts des Reflektors 22, sodass das ausgesandte Licht nicht vollständig als paralleles Lichtbündel zum gegenüberliegenden Reflektor 32 übermittelt wird, sondern in nicht paralleler Weise am Reflektor 32 vorbeiläuft und somit verloren geht. Dieser Lichtverlust sorgt dafür, dass die Menge und Intensität an ausgestrahltem Licht größer sein muss als im erfindungsgemäßen Fall, was zu einer Ineffizienz und einem höheren Stromverbrauch führt.

Figur 2 c) zeigt ein weiteres Beispiel, bei dem die Lichterzeugung neben der gleichen Weise erfolgt wie in Figur 2 a) dargestellt, jedoch trifft das parallele Lichtbündel auf ein schematisch dargestell- tes spektral neutrales Transmissionsgitter 40, welches das Lichtbündel ohne dispersive Effekte, also spektral neutral, auf zwei verschiedene Lichtbündel aufteilt, welche durch die entsprechenden Filter 24, 26 für einen Gaskanal und einen Referenzkanal auf zwei entsprechende Reflektoren 32 und die entsprechenden Sensoren 25, 27 für einen Gaskanal und einen Referenzkanal aufgeteilt wird.

Die Figuren 3 a), b) zeigen schematische Darstellungen der opti- sehen Verhältnisse erfindungsgemäßer Vorrichtungen mit spektral neutralen Transmissionsgittern . In Figur 3 a) ist ein Fall gezeigt, wo die Lichterzeugung so erfolgt wie in den Figuren 2 a) und 2 c). Nach Durchqueren der Messzelle 1 2 erreicht das parallele Lichtbündel ein spektral neutrales Transmissionsgitter 41 , dass zusätzlich durch eine entsprechende Wölbung auch noch fokussierend wirkt. In der gezeigten Ausführungsform wird das parallele Lichtbündel durch das Fokussieren des spektral neutralen Transmissionsgitters 41 auf drei verschiedene kleinflächige Sensoren 28, 28', 28", die bei- spielsweise für einen Referenzkanal und zwei verschiedene Zielgase mit unterschiedlichen Absorptionsbereichen ausgelegt sein können, alternativ auch für drei verschiedene Zielgase oder auch für ein Gas und zwei Referenzwellenlängen, was dann eine Dispersionskompensation ermöglicht.

Im dargestellten Fall durchquert das Licht die Messzelle 1 2 quer zur Strömungsrichtung des Gasgemisches. Dies ist sowohl im Hauptstrom als auch im Nebenstrom anwendbar. Für eine Verwendung im Seitenstrom kann aber auch die Ein- und Auskopplung in die Mess- zelle 12 bzw. aus dieser heraus koll inear mit der Hauptströmungsrichtung in der Messzelle 1 2 eingestellt werden .

In Fig . 4 a) - f) sind schematische Darstellungen erfindungsgemäß einsetzbarer spektral neutraler Reflexionsgitter gezeigt. Die im Querschnitt gezeigte Struktur 50 aus Figur 4 a) dient der Aufteilung des Lichts auf zwei Detektoren, die Strukturen 51 , 52 aus Figur 4 b) und 4 c) der Aufspaltung des Lichts auf drei Detektoren . In Figur 4 d) ist eine dreidimensionale spezifische Darstellung eines Reflexionsgitters 53 gezeigt, die mit ihrer Satteldachstruktur, ähnlich wie Struktur 50 aus Figur 4 a) der Aufteilung auf zwei Detektoren dient.

In Figur 4 e) ist in einer perspektivischen Darstellung und in Figur 4 f) in einer frontalen Draufsicht eine Oberflächenstruktur eines Refle- xionsgitters 54 gezeigt, welches auf einer Pyramidenstruktur mit he- xagonalem Grundgerüst beruht. Dieses Reflexionsgitter 54 ist für eine Aufteilung des Lichts auf sechs Detektoren geeignet. Die Fig . 5 zeigt eine schematische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Anordnung 1 1 0, und zwar im linken Teilbild in einer Seitenansicht und im rechten Teil in einer frontalen Draufsicht gemäß Ebene A:A aus dem linken Teilbild. Die Mikro-Glühfadenlampe 20 ist in einem Halter eingefasst, der einen parabolischen Reflektor 22 aufweist, der das ausgesandte Licht in ein paralleles Strahlenbündel umwandelt und durch die Messzelle 12 der Anordnung 1 1 0 strahlt, welches von links (in Pfeilrichtung) mit Messgas durchströmt wird . Diese Anordnung entspricht daher eher einer Messung im Hauptstrom, jedoch ist sie auch in geeigneter Weise für eine Seitenstrommessung verwendbar, oder durch entsprechende Ein- und Auskopplung des Lichts in die Messzelle 12 in der Hauptströmungsrichtung für eine Seitenstrommessung optimierbar. Nach Austritt aus der Messzelle 12 wird das Lichtbündel über ein

Reflexionsgitter 53 entsprechend Figur 4 b) in der gezeigten Ansicht um 90° abgelenkt, wobei in diesem Fall als Detektionseinheit eine Gruppierung aus einem Filter 24 für den Gaskanal und ein Detektor 25 für den Gaskanal des Zielgases dargestellt ist, wobei der klein- flächige Detektor 25 im Brennpunkt des parabolischen Reflektors 32 angeordnet ist. Zum Schutz der einzelnen Bauteile sind außerdem noch drei nicht bezeichnete, optisch durchlässige und spektral neutrale Eintritts- und Austrittsfenster dargestellt. In der rechten Darstellung in Figur 5 ist erkennbar, wie das Reflexionsgitter 53 das als Kreis gezeichnete Lichtbündel auf zwei verschiedene Lichtbündel für zwei gleichartig aufgebaute Detektorein- heiten für den Absorptionskanal und den Referenzkanal aufteilt. Die Bezugszeichen entsprechen denjenigen aus Figur 2 c) und Figur 3 b). Ein Vorteil dieses Aufbaus für den Fall von Verschmutzungen im optischen Pfad ist in Figur 5 ebenfalls gezeigt. In der Messzelle hat sich eine Störung 1 1 2 gebildet, beispielsweise ein Kondensattropfen oder ein Schmutzpartikel, der stationär oder mobil in der Messzelle 12 angeordnet ist. Damit eine solche Störung die Messung nicht be- einträchtigt, sorgt das Reflexionsgitter 53 dafür, dass diese Störung gleichartig in beiden Kanälen, also dem Absorptionskanal und dem Referenzkanal, vorhanden ist. Dies ist in der rechten Darstellung in Figur 5 zu sehen, wo die Abbilder 1 14, 1 14' der Störung 1 1 2 in den beiden Kanälen in gleicher Art und Weise auftauchen und in glei- eher Art und Weise zu einer Abschwächung des Signals führen. Da die Konzentrationsmessung über die Absorption, also den Vergleich der Intensitäten im Absorptionskanal und im Referenzkanal miteinander erfolgt, sind beide Kanäle in gleicher Weise betroffen . Die Strukturierung der Abbilder 1 14, 1 14' ist ein Resultat der Aufteilung des gesamten Lichts auf die beiden Detektoren 25, 27 durch die Satteldachstruktur des Reflexionsgitters 53. Da beide Kanäle betroffen sind, kürzt sich dieser Beitrag im Wesentlichen heraus, ohne das Verhältnis der gemessenen Intensitäten wesentlich zu beeinträchtigen.

In Fig. 6 sind die spektralen Verläufe zweier Arbeitspunkte einer Lichtquelle sowie Filter- und Absorptionsverlauf für eine Kapnomet- rie-Anwendung dargestellt. Auf der horizontalen Achse ist die Wellenlänge im Bereich von 1 bis 5 μιτι dargestellt, also der Infrarotbe- reich, auf der vertikalen Achse normalisierte Werte für die Emission,

Absorption und Transmission, zwischen 0 und 1 . Gemäß der Legende unten links ist die CO2-Absorption einer 5-prozentigen Kon- zentration und einer Absorptionslänge von 0,9 cm bei ca. 4,26 μιτι als durchgezogene Linie dargestellt. Um diese Absorptionsbande herum ist ein Bereich a) eines Doppelbandpassfilters gezogen, der Infrarotlicht im Bereich von ca. 4, 1 bis 4,4 μιτι durchläset, so dass der gesamte Bereich, der in CO2 absorbiert wird, in diesen Bereich a) des Doppelbandpassfilters fällt. Ein zweiter Bereich b) des Doppelbandpassfilters dient als Referenzfilter, der Infrarotlicht ca. zwischen 2,5 und 2,8 μιτι durchläset. Hier hat CO2 keine Absorption . Mit strichpunktierter Linie und mit gestrichelter Linie ist die Emission eines thermischen Strahlers bei 1300 K bzw. 450 K in einem ersten und einem zweiten Arbeitspunkt (AP) dargestellt. Bei der höheren Temperatur liegt das Maximum der Lichtintensität bei ca. 2,25 μιτι, während der dargestellte Verlauf bei einer Temperatur des thermi- sehen Strahlers von 450 K sein Maximum noch nicht erreicht hat. Es ist darauf hinzuweisen, dass bei höherer Temperatur auch die abgestrahlte Leistung größer ist, so dass die beiden Emissionsspektren in der Darstellung der Figur 6 sehr unterschiedliche Normierungsfaktoren zueinander haben .

Deutlich ist zu erkennen, dass bei der niedrigen Temperatur im Arbeitspunkt 1 sehr wenig Lichtintensität im Referenzband b), jedoch wesentlich mehr Intensität im Absorptionsband a) vorhanden ist. Im höheren Arbeitspunkt 2 bei 1300 K ist die Lichtintensität im Refe- renzband b) jedoch höher als im Absorptionsband a), sodass durch eine entsprechende Temperaturmodulation zwischen den Anteilen der Referenz und der Gasabsorption bei Kenntnis des jeweiligen Emissionsspektrums gut unterschieden werden kann . Dies kann im Rahmen einer Kalibration sehr gut eingestellt werden .

Fig . 7 zeigt eine schematische Darstellung eines dritten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Anordnung 21 0 in einer Doppelbandpassanordnung, so dass die Spektrumsverhältnisse aus Figur 6 in diesem Fall zum Tragen kommen . Die optische Anordnung des einen Kanals, mit der die Messzelle 1 2 durchstrahlt wird, entspricht derjenigen aus Figur 2 a). Auch diese Anordnung ist im Hauptstrom oder im Nebenstrom verwendbar, und durch geeignete

Ein- und Auskopplung des Lichts in die Messzelle 1 2 kann das Licht in der Strömungsrichtung der Messzelle geführt werden .

In dem in Fig . 7 gezeigten Fall wird das von der Mikro- Glühfadenlampe 20 ausgesendete Licht nach Durchquerung der

Messzelle 1 2 durch einen Doppelbandpassfilter 21 2 mit der Spektralcharakteristik aus Figur 6 gefiltert und auf den einzelnen Sensor 30 gebündelt. Dazu ist eine Steuervorrichtung 60 mit einer Leistungsregelung vorgesehen, die die Leistungsabgabe und Tempera- tur des quasi-punktförmigen thermischen Strahlers, also der Mikro- Glühfadenlampe 20, sehr genau steuert, um die entsprechenden Emissionsspektren aus Figur 6 oder geeignet gewählte andere Temperaturen mit den entsprechenden Emissionsspektren sehr schnell modulierend einzustellen .

Fig . 8 a), b) stellt hierzu erfindungsgemäß einsetzbare Leistungsre- gelungsschaltungen schematisch dar. In Figur 8 a) ist eine Multiplikationsschaltung verwirklicht, bei der mit 2 Verstecken 68, 69 ein momentaner Strom und ein momentaner Spannungsabfall über der Mikro-Glühfadenlampe 20 gemessen werden, Strom und Spannung im Multiplikator 70 miteinander multipliziert werden und als Istwert in eine Regeleinheit 62 eingegeben werden, die mit einem Sollwert verglichen wird und als Ausgangswert (Out) wiederum die Lichtquelle über einen Vorwiderstand ansteuert. Diese Messung von Strom und Widerstand sowie die Multiplikation kann entweder analog oder digital erfolgen . Alternativ kann gemäß Figur 8 b) die von der Lichtquelle 20 abgegebene Lichtleistung auch über eine Photodiode 64 gemessen werden, deren Ausgangsstrom wiederum über einen Verstärker 66 als Istwert in die Regeleinheit 62 eingespeist wird, die entsprechend die Leistung der Mikro-Glühfadenlampe 20 dann auf den variablen

Sollwert regelt.

Die Lösung gemäß Figur 8 b) ist einfacher als diejenige aus Figur 8 a), jedoch ist zu beachten, dass ein Ausschnitt des Spektrums der Lichtquelle für die Regelung der Lichtquelle genutzt wird, der nicht der CO2-Messung dient, jedoch zu ihr proportional ist. Zusätzlich ist es günstig, für die Regelung eine, gegenüber der Messwellenlänge kurzwellige Photodiode, beispielsweise im visuellen Spektrum oder im nahen Infrarot, zu nutzen , da diese eine deutlich stabilere Regelung ermögl ichen. Diese Photodioden weisen üblicherweise ein im Vergleich zum Emissionsspektrum der Mikro-Glühfadenlampe 20 schmalerbandiges Spektrum auf, so dass die Sollwerte entsprechend angepasst werden müssen . Gegebenenfalls sind auch Nicht- linearitäten zu berücksichtigen, die durch die Überlagerung des jeweiligen temperaturabhängigen Emissionsspektrums mit dem Empfindl ichkeitsspektrum des Sensors entstehen .

Fig . 9 zeigt eine schematische Darstellung eines vierten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Anordnung 310, welches mit jedem der vorherigen Ausführungsbeispiele gekoppelt werden kann, und zwar sowohl mit solchen Ausführungsbeispielen, die nur einen optischen Kanal aufweisen, als auch mit solchen Ausführungsbeispielen, in denen das Lichtbündel nach Durchquerung der Messzelle 12 auf zwei getrennte optische Kanäle aufgeteilt wird . Rein beispielhaft ist als Grundlage der Anordnung 31 0 eine Anordnung 1 0 gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel aus Figur 1 gewählt worden . Eine Modifikation besteht darin, dass der Gaseinlass 14 mit einem Rückschlagventil 31 2 ausgestattet ist, welches in Gaseinlassrichtung öffnet und entgegen dieser Richtung sperrt. Ausgangs der Messzelle 1 2 und der Gasaustrittsöffnung 1 7 schließt sich ein zu einem Gasreservoir 31 6 erweiterter Gasauslass 16 an, der mit einem Druckmesser 314 zur Messung des Gasdrucks in dem Gasreservoir 316 ausgestattet ist, wobei der gemessene Druck auch dem Druck in der Messzelle 1 2 entspricht.

Ferner ist eine Pumpe 31 8 vorgesehen, welche Gase entweder in das schlanke Gasreservoir 31 6 und die Messzelle 1 2 hineinpumpen kann oder in umgekehrter Pumprichtung betrieben werden kann, um Gas aus der Messzelle 12 herauszuleiten und somit den Druck in einer Pumprichtung zu erhöhen und in der entgegengesetzten Pumprichtung abzusenken . Hierfür ist ein Regler 320 für die Pumpe 31 8 vorgesehen, der über einen Motor 322, der als Stellmotor ausgebildet sein kann oder direkt den Pumpenrotor regelt, und die Pumprichtung und/oder die Pumpstärke der Pumpe 31 8 beeinflusst. Mit dieser Anordnung 31 0 ist es möglich, eine Nichtlinearitätsanaly- se in Abhängigkeit des in der Messzelle 12 vorhandenen Drucks durchzuführen, wie sie zuvor beschrieben wurde, beispielsweise gemäß den Formeln (8) und (9). So ist es u .a. möglich, zyklisch wiederkehrend eine Druckveränderung in der Messzelle 12 zu erreichen, die als unabhängige Analyse dazu verwendet werden kann, um zu überprüfen, ob die Kal ibrationsparameter der zugrunde lie- genden kontinuierlichen Messung noch stimmen oder angepasst werden müssen, da mithilfe dieser Methode die Konzentration des Zielgases isoliert von Störquellen bestimmt werden kann . Da diese Nichtlinearitätsmessung die beste Genauigkeit bei hohen Konzentrationen des Zielgases aufweist, ist es bevorzugt, die Druckmodula- tion dann vorzunehmen, wenn, beispielsweise beim Ausatmen, der endexpiratorische Wert, typischerweise ca. 5 % CO2, erreicht ist. Die für diese Analyse zugrunde liegenden Spektralverläufe sind in Fig . 1 0 in hoher Auflösung dargestellt. Der auf der horizontalen Achse dargestellte Wellenlängenbereich zwischen 4, 1 8 und 4,26 μηη entspricht einem schmalen Ausschnitt aus dem in Figur 6 darge- stellten Spektrumsbereich . Deutlich zu sehen ist die Bandenstruktur der CO2-Absorption , in diesem Fall in einer Transmissionsdarstellung . Im Gegensatz zu dem Doppelbandpassfilter aus Figur 6 kommt in diesem Fall ein schmalerer Bandpassfilter zum Einsatz, der Randbereiche der Absorption von CO2 abschneidet und somit vergleichsweise etwas schmaler ist als das CO2-Absorptionsband selbst. Eine zu kleine Bandbreite würde die verfügbare Lichtintensität in unerwünschter Weise verringern, jedoch ist mit der gezeigten Konfiguration eine recht starke Nichtlinearität in der Druckabhängigkeit gewährleistet. Die Intensität des beim Detektor Ankommenden resultiert mathematisch betrachtet aus einer Überlagerung der Filterfunktion mit der wellenlängenabhängigen Funktion des Absorptionskoeffizienten des Zielgases mit seiner Bandenstruktur. Diese Überlagerung führt zu einer nichtlinearen Abhängigkeit der detek- tierbaren Transmission von dem Druck bzw. der Konzentration des Zielgases.

Ebenfalls eingezeichnet ist ein als im dargestellten Bereich im Wesentl ichen konstant angenommener Absorptionskoeffizient eines Störgases, welcher die durchgestrahlte Lichtleistung ebenfalls ver- mindert. Da allerdings der Absorptionskoeffizient des Störgases wellenlängenunabhängig ist, ergibt die Überlagerung der Filterfunktion der Störgastransmission in diesem Bereich ledigl ich lineare, jedoch keine nichtlinearen druckabhängigen Terme. In Fig . 1 1 a) ist eine erfindungsgemäß einsetzbare Mikro-Glühfa- denlampe 20 beispielhaft schematisch dargestellt. Diese umfasst als zentrale Lichterzeugungseinheit eine Wendel 81 , die in einer evakuierten oder mit einem Schutzgas gefüllten Kapsel 84 angeordnet ist. Der Bereich um die Wendel 81 herum ist mit einem Vakuum 85 ausgestattet. Die Kapsel 84 selbst ist durchsichtig, beispielsweise aus Glas. Der evakuierte Innenraum wird nach unten hin abge- schlössen durch einen massiven Sockel 87, der von zwei Zuleitungen 86 durchdrungen wird, die in Kontaktstifte 88 münden, an denen die Wendel 81 jeweils kontaktiert ist. Die Kapsel 84 hat eine im wesentl ichen zylindrische Gestalt, deren Durchmesser 90 in Bezug auf die Längsachse der Mikro-Glühfadenlampe 20 genommen wird . Diese beträgt vorteilhafterweise weniger als 2 mm, wobei noch kleinere Kapseln 84 zur optimalen Leistungsausnutzung noch vorteilhafter sind .

Die Wendel 81 hat eine gebogene Form, sodass auf relativ gerin- gem Raum viel Wendellänge zur Verfügung steht und somit eine hohe Leistungsdichte erreicht wird . In Figur 1 1 b) ist die Wendel 81 zusammen mit ihrer Einhüllenden 83 gezeigt, wobei in der schematischen Darstellung insofern nur zur Verdeutlichung ein Abstand zwischen der Einhüllenden 83 und der Wendel 81 gelassen ist. Die Einhüllende umgrenzt das Volumen 82, das von der Wendel 81 aufgespannt wird . Die größte lineare Erstreckung der Einhüllenden 92 verläuft in diesem Fall zwischen den beiden Endpunkten der Wendel 81 und somit zum großen Teil außerhalb der Einhüllenden 83 der Wendel 81 . Diese größte lineare Erstreckung 92 beschreibt aber auch den größten bzw. größtmöglichen linearen Abstand zwischen zwei Punkten der Wendel 81 . Insofern ist diese größte lineare Erstreckung 92 ein lineares Maß für die Kompaktheit des lichterzeugenden Bereichs der Mikro-Glühfadenlampe 20. Speziell in einer abbildenden Optik ist eine möglichst kleine größte lineare Erstre- ckung 92 vorteilhaft, weil ein Großteil des erzeugten Lichts im Brennpunkt der abbildenden Optik angeordnet werden kann, sodass Lichtverluste vermieden werden können. Dies geht zugunsten des Signal-Rausch-Abstands und der Akkulaufzeit.

Gleichzeitig weist eine entsprechende Wendel 81 eine sehr geringe thermische Masse auf, so dass das Aufheizen der Wendel auf Be- triebstemperatur in Sekundenbruchteilen erfolgt und auch eine Modulation um mehrere 100 °C mit einer ausreichenden Frequenz für eine zeitauflösende Messung der Änderung der Gaskonzentration eines Messgases ausführbar ist, beispielsweise für die Verfolgung der Konzentration von CO2 in einem Atemgas im Rahmen einer Kapnometrie.

In Figur 1 1 c) ist die Wendel 81 von der Schmalseite her gezeigt. In diesem Fall ist die Dicke der Wendel gleich der kleinsten linearen Erstreckung 94 der Einhüllenden 83. In Figur 1 1 d) ist eine Alterna- tive Wendel 81 ' gezeigt, die, anders als die Wendel 81 , nicht gebogen, sondern gerade ist. Die Einhüllende 83' ist in diesem Fall im Wesentlichen zylindrisch, und die größte lineare Erstreckung der Einhüllenden liegt in der Wendel 81 '. Bei gleicher absoluter Länge der Wendeln ist die lineare Ausdehnung der Wendel 81 ' daher grö- ßer als in dem zuvor gezeigten Fall der Wendel 81 . Eine Biegung der Wendel ist somit im Rahmen der vorliegenden Erfindung vorteilhaft, um eine hohe Lichtintensität aus einem kleinen Gesamtvolumen zu erzeugen . Die zuvor gezeigten Ausführungsbeispiele zeigen jeweils den Idealfall einer Anordnung beispielsweise mit Aufteilung durch ein Transmissionsgitter oder Reflexionsgitter, welches jeweils spektral neutral ist, eine Doppelbandpassfilter-Anordnung und eine Anordnung für die Nichtlinearitätsanalyse. Diese Anordnungen lassen sich aller- dings auch miteinander kombinieren, sodass auch die Nichtlinearitätsanalyse beispielsweise in einer Doppelbandpassfilter-Anordnung oder einer Anordnung mit spektral neutralem Gitter und mehreren Empfängern anwendbar ist. Ebenfalls lässt sich eine Doppelbandpassfilter-Anordnung mit spektral neutralen Transmissionsgittern oder Reflexionsgittern und mehreren Detektoren kombinieren, um beispielsweise eine Analyse in Bezug auf mehrere Zielgase durch- zuführen .

Alle genannten Merkmale, auch die den Zeichnungen allein zu entnehmenden sowie auch einzelne Merkmale, die in Kombination mit anderen Merkmalen offenbart sind, werden allein und in Kombinati- on als erfindungswesentlich angesehen . Erfindungsgemäße Ausführungsformen können durch einzelne Merkmale oder eine Kombination mehrerer Merkmale erfüllt sein. Im Rahmen der Erfindung sind Merkmale, die mit „insbesondere" oder „vorzugsweise" gekennzeichnet sind, als fakultative Merkmale zu verstehen .

Bezuqszeichenliste

1 0 Anordnung

1 2 Messzelle

14 Gaseinlass

1 5 Gaseintrittsöffnung

16 Gasauslass

1 7 Gasaustrittsöffnung

1 8 Auswertevorrichtung

20 Mikro-Glühfadenlampe

20' ausgedehnte Lichtquelle

21 evakuierter Glaskolben

22 Reflektor

24 Filter für Gaskanal

25 Detektor für Gaskanal

26 Filter für Referenzkanal

27 Detektor für Referenzkanal

28, 28', 28" Detektoren

30 IR-Photodiode

32 Reflektor

34 verlorene Lichtanteile

40 spektral neutrales Transmissionsgitter

41 spektral neutrales fokussierendes Transmissionsgitter

42 spektral neutrales Transmissionsgitter 50 - 54 spektral neutrales Reflexionsgitter

60 Steuervorrichtung

62 Regeleinheit

64 Photodiode

66 Verstärker

68 Verstärker für Strommessung

69 Verstärker für Spannungsmessung

70 Multiplikator 81 Wendel

82 Volumen

83, 83' Einhüllende

84 Kapsel

85 Vakuum

86 Zuleitung

87 Sockel

88 Kontaktstift

90 Durchmesser der Kapselung

92 größte lineare Erstreckung der Einhüllenden

94 kleinste lineare Erstreckung der Einhüllenden

110 Anordnung

112 Störung

4, 114' Abbild der Störung

210 Anordnung

212 Doppelbandpassfilter

310 Anordnung

312 Rückschlagventil

314 Druckmesser

316 Gasreservoir

318 Pumpe

320 Regler für die Pumpe

322 Motor