Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken, die mindestens eine eva- kuierbare Plasmakammer zur Aufnahme der Werkstücke aufweist und bei der die Plasmakammer im Bereich einer Behandlungs- station angeordnet ist, sowie bei der die Plasmakammer von einem Kammerboden, einem Kammerdeckel sowie einer seitli- chen Kammerwandung begrenzt ist und mindestens ein Halte- element zur Positionierung des Werkstückes aufweist.

Derartige Verfahren und Vorrichtungen werden beispielsweise eingesetzt, um Kunststoffe mit Oberflächenbeschichtungen zu versehen. Insbesondere sind auch bereits derartige Verfah- ren und Vorrichtungen bekannt, um innere oder äußere Ober- flächen von Behältern zu beschichten, die zur Verpackung von Flüssigkeiten vorgesehen sind. Darüber hinaus sind Ein- richtungen zur Plasmasterilisation bekannt.

In der PCT-WO 95/22413 wird eine Plasmakammer zur Innenbe- schichtung von Flaschen aus PET beschrieben. Die zu be- schichtenden Flaschen werden durch einen beweglichen Boden in eine Plasmakammer hineingehoben und im Bereich einer Flaschenmündung mit einem Adapter in Verbindung gebracht.

Durch den Adapter hindurch kann eine Evakuierung des Fla- scheninnenraumes erfolgen. Darüber hinaus wird durch den Adapter hindurch eine hohle Lanze in den Innenraum der Fla- schen eingeführt, um Prozeßgas zuzuführen. Eine Zündung des Plasmas erfolgt unter Verwendung einer Mikrowelle.

Aus dieser Veröffentlichung ist es auch bereits bekannt, eine Mehrzahl von Plasmakammern auf einem rotierenden Rad anzuordnen. Hierdurch wird eine hohe Produktionsrate von Flaschen je Zeiteinheit unterstützt.

In der EP-OS 10 10 773 wird eine Zuführeinrichtung erläu- tert, um einen Flascheninnenraum zu evakuieren und mit Pro- zeßgas zu versorgen. In der PCT-WO 01/31680 wird eine Plas- makammer beschrieben, in die die Flaschen von einem beweg- lichen Deckel eingeführt werden, der zuvor mit einem Mün- dungsbereich der Flaschen verbunden wurde.

Die PCT-WO 00/58631 zeigt ebenfalls bereits die Anordnung von Plasmastationen auf einem rotierenden Rad und be- schreibt für eine derartige Anordnung eine gruppenweise Zu- ordnung von Unterdruckpumpen und Plasmastationen, um eine günstige Evakuierung der Kammern sowie der Innenräume der Flaschen zu unterstützen. Darüber hinaus wird die Beschich- tung von mehreren Behältern in einer gemeinsamen Plasmasta- tion bzw. einer gemeinsamen Kavität erwähnt.

Eine weitere Anordnung zur Durchführung einer Innenbe- schichtung von Flaschen wird in der PCT-WO 99/17334 be- schrieben. Es wird hier insbesondere eine Anordnung eines Mikrowellengenerators oberhalb der Plasmakammer sowie eine Vakuum-und Betriebsmittelzuleitung durch einen Boden der Plasmakammer hindurch beschrieben.

Bei der überwiegenden Anzahl der bekannten Verfahren werden zur Verbesserung von Barriereeigenschaften des thermopla- stichen Kunststoffmaterials durch das Plasma erzeugte Be- hälterschichten aus Siliziumoxiden mit der allgemeinen che- mischen Formel SiOx verwendet. Derartige Barriereschichten verhindern ein Eindringen von Sauerstoff in die verpackten Flüssigkeiten sowie ein Austreten von Kohlendioxid bei CO2- haltigen Flüssigkeiten.

Die bislang bekannten Verfahren und Vorrichtungen sind noch nicht in ausreichender Weise dafür geeignet, für eine Mas- senproduktion eingesetzt zu werden, bei der sowohl ein ge- ringer Beschichtungspreis je Werkstück als auch eine hohe Produktionsgeschwindigkeit erreicht werden muß.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Ver- fahren der einleitend genannten Art derart anzugeben, daß eine Handhabung der zu behandelnden Werkstücke mit hoher Geschwindigkeit und großer Zuverlässigkeit unterstützt wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zur Abdichtung eines Innenraumes des Werkstückes ein hülsenar- tiges Dichtelement relativ zu einem Kammerboden positio- niert wird.

Weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung der einleitend genannten Art derart zu konstru- ieren, daß eine einfache Bewegungskinematik der zu behan- delnden Werkstücke unterstützt wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß im Bereich des Kammerbodens ein hülsenartiges Dichtelement an- geordnet ist, das relativ zum Kammerboden beweglich ange- ordnet ist.

Durch die relativ zum Kammerboden und zum Halteelement po- sitionierbare Anordnung des hülsenförmigen Dichtelements ist es möglich, die zu behandelnden Werkstücke auf einem im wesentlichen gleichbleibenden Höhenniveau zu transportie- ren. Es wird hierdurch die Zeit für eine gemäß dem Stand der Technik durchzuführende Höhenpositionierung der Werkstücke sowie der hierfür erforderliche konstruktive Aufwand eingespart.

Der verfahrenstechnische Ablauf bei der Handhabung der Werkstücke erfolgt derart, daß zunächst für ein Einsetzen der Werkstücke in die Plasmakammer das Dichtelement zumin- dest soweit in den Kammerboden hinein versenkt wurde, daß die Werkstücke an das Halteelement übergeben werden können.

Nach einer Positionierung der Werkstücke durch das Halte- element innerhalb der Plasmakammer erfolgt zu einem vorgeb- baren Zeitpunkt ein Hochfahren des Dichtelementes und hier- durch eine Abdichtung des Innenraumes des Werkstückes rela- tiv zum Innenraum der Plasmakammer.

Eine derartige Abdichtung kann sowohl bereits zu einem Be- ginn des Evakuierungsvorganges als auch nach einer bereits durchgeführten Teilevakuierung erfolgen. Eine Abdichtung erst nach einer Teilevakuierung weist den Vorteil auf, daß ein Innenraum des Werkstückes und der weitere Innenraum der Plasmakammer zunächst gemeinsam evakuiert werden können und daß in einem zweiten Evakuierungsschritt nach einer Abdich- tung des Innenraumes des Werkstückes der Unterdruck im Be- reich des Innenraumes des Werkstückes unterschiedlich zum Unterdruck im weiteren Innenraum der Plasmakammer vorgege- ben werden kann. Insbesondere ist hierbei daran gedacht, den Unterdruck im Innenraum des Werkstückes tiefer als im weiteren Innenraum der Plasmakammer vorzugeben.

Eine günstige Schwerkrafteinleitung wird dadurch unter- stützt, daß die Positionierung in einer vertikalen Richtung durchgeführt wird.

Eine Plasmabehandlung von Werkstücken mit kreisartigem Mün- dungsabschnitt wird dadurch unterstützt, daß ein Dichtele- ment mit einer kreisringartigen Querschnittfläche positio- niert wird.

Bei einer Beschichtung von hohlen Werkstücken, die mit ih- rer Mündung nach unten angeordnet sind, erweist es sich als vorteilhaft, daß eine Evakuierung einer Kavität der Plasma- station durch den Kammerboden hindurch erfolgt.

Eine gerätetechnisch einfache Realisierung wird ebenfalls dadurch unterstützt, daß durch den Kammerboden hindurch Prozeßgas zugeführt wird.

Eine schnelle und gleichmäßige Verteilung des Prozeßgases in einem Innenraum des Werkstückes kann dadurch erreicht werden, daß das Prozeßgas durch eine Lanze hindurch in ei- nen Innenraum des Werkstückes zugeführt wird.

Eine hohe Positioniergenauigkeit wird dadurch unterstützt, daß das Werkstück seitlich von einem Einfassungsflansch des Dichtelementes abgestützt wird.

Insbesondere kann eine Selbstzentrierung beim Zusammenfüh- ren des Dichtelementes und des Werkstückes dadurch erreicht werden, daß ein Mündungsbereich des Werkstückes vom Einfas- sungsflansch abgestützt wird.

Eine aktive Positionierung des Dichtelementes in lediglich eine Richtung kann dadurch erreicht werden, daß das Dicht- element von einer Druckfeder in eine der Plasmakammer abge- wandte Richtung gedrückt wird.

Zur Unterstützung einer auch bei einer Einwirkung von äuße- ren Kräften sicheren Betriebsweise wird vorgeschlagen, daß ein Hubbereich des Dichtelementes von mindestens zwei An- schlägen begrenzt wird.

Eine besonders einfache Positionierung des Dichtelementes kann dadurch durchgeführt werden, daß das Dichtelement me- chanisch positioniert wird.

Darüber hinaus ist daran gedacht, daß das Dichtelement pneumatisch positioniert wird.

Zur Unterstützung einer steuerbaren Zündung des Plasmas wird vorgeschlagen, daß im Bereich des Kammerdeckels von einem Mikrowellengenerator erzeugte Mikrowellen in die Ka- vität eingeleitet werden.

Eine typische Anwendung besteht darin, daß ein Werkstück aus einem thermoplastischen Kunststoff behandelt wird.

Insbesondere ist daran gedacht daß ein Innenraum des Werk- stückes behandelt wird.

Ein umfangreiches Anwendungsgebiet wird dadurch erschlos- sen, daß als Werkstück ein Behälter behandelt wird.

Insbesondere ist dabei daran gedacht, daß als Werkstück ei- ne Getränkeflasche behandelt wird.

Eine hohe Produktionsrate bei großer Zuverlässigkeit und hoher Produktqualität kann dadurch erreicht werden, daß die mindestens eine Plasmastation von einem rotierenden Plasma- rad von einer Eingabepositionierung in eine Ausgabepositio- nierung überführt wird.

Eine Vergrößerung der Produktionskapazität bei nur gering- fügig gesteigertem gerätetechnischen Aufwand kann dadurch erreicht werden, daß von einer Plasmastation mehrere Kavi- täten bereitgestellt werden.

Eine konstruktive Vereinfachung der Plasmastation kann da- durch erreicht werden, daß das Dichtelement eine Ventil- funktion zur steuerbaren Verbindung und Abtrennung des In- nenraumes des Werkstückes und des weiteren Innenraumes der Plasmakammer ausübt.

Eine typische Anwendung wird dadurch definiert, daß als Plasmabehandlung eine Plasmabeschichtung durchgeführt wird.

Insbesondere ist daran gedacht, daß die Plasmabehandlung unter Verwendung eines Niederdruckplasmas durchgeführt wird.

Bei einer Beschichtung von Werkstücken aus Kunststoff er- weist es sich als vorteilhaft, daß eine Plasmapolymerisati- on durchgeführt wird.

Eine gute Oberflächenhaftung wird dadurch unterstützt, daß durch das Plasma mindestens zum Teil organische Substanzen abgeschieden werden.

Besonders vorteilhafte Verwendungseigenschaften bei Werkstücken zur Verpackung von Lebensmitteln können dadurch erreicht werden, daß durch das Plasma mindestens zum Teil anorganische Substanzen abgeschieden werden.

Bei der Behandlung von Verpackungen ist insbesondere daran gedacht, daß durch das Plasma eine Substanz zur Verbesse- rung von Barriereeigenschaften des Werkstückes abgeschieden wird.

Zur Unterstützung einer hohen Gebrauchsqualität wird vorge- schlagen, daß zusätzlich ein Haftvermittler zur Verbesse- rung eines Anhaftens der Substanz auf einer Oberfläche des Werkstückes abgeschieden wird.

Eine hohe Produktivität kann dadurch unterstützt werden, daß in einer gemeinsamen Kavität mindestens zwei Werkstücke gleichzeitig behandelt werden.

Ein weiteres Anwendungsgebiet besteht darin, daß als Plas- mabehandlung eine Plasmasterilisation durchgeführt wird.

Ebenfalls ist daran gedacht, daß als Plasmabehandlung eine Oberflächenaktivierung des Werkstückes durchgeführt wird.

Zur Unterstützung eines Ausgleiches von Positionierungsto- leranzen wird vorgeschlagen, daß der Einfassungsflansch mit einer innenseitigen Einführanschrägung versehen ist.

Eine wirkungsvolle Abdichtung wird dadurch unterstützt, daß das Dichtelement eine der Plasmakammer zugewandt angeordne- te Ringdichtung aufweist.

Zur Vermeidung separater mechanischer Antriebseinrichtungen wird vorgeschlagen, daß das Dichtelement mit einem Lanzen- schlitten gekoppelt ist.

Eine sehr kompakte Ausführungsform kann dadurch erreicht werden, daß das Dichtelement mit einer Lanze zur Prozeßgas- zuführung gekoppelt ist.

Insbesondere ist daran gedacht, daß die Lanze zur Positio- nierung des Dichtelementes mit einem Schubteller versehen ist.

Eine von einer Positionierung der Lanze unabhängige Posi- tionierung des Dichtelementes kann dadurch erreicht werden, die pneumatische Positioniereinrichtung eine Über- drucksteuerung aufweist.

Ebenfalls ist es zur Vermeidung einer separaten Überdruck- zuführung auch möglich, daß die pneumatische Positionier- einrichtung eine Unterdrucksteuerung aufweist.

Eine einfache Ansteuerung der Plasmakammer zur Vorgabe un- terschiedlicher Unterdrücke innerhalb des Werkstückes und innerhalb der Plasmakammer außerhalb des Werkstückes wird vorgeschlagen, daß das Dichtelement zur steuerbaren Verbin- dung und Abtrennung eines Innenraumes der Plasmakammer mit einer Unterdruckquelle ausgebildet ist.

In den Zeichnungen sind Ausführungsbeispiele der Erfindung schematisch dargestellt. Es zeigen : Fig. 1 Eine Prinzipskizze einer Mehrzahl von Plasmakam- mern, die auf einem rotierenden Plasmarad angeord- net sind und bei der das Plasmarad mit Eingabe- und Ausgaberädern gekoppelt ist.

Fig. 2 eine Anordnung ähnlich zu Fig. 1, bei der die Plasmastation jeweils mit zwei Plasmakammern aus- gestattet sind, Fig. 3 eine perspektivische Darstellung eines Plasmarades mit einer Vielzahl von Plasmakammern, Fig. 4 eine perspektivische Darstellung einer Plasmas- tion mit einer Kavität, Fig. 5 eine Vorderansicht der Vorrichtung gemäß Fig. 4 mit geschlossener Plasmakammer, Fig. 6 einen Querschnitt gemäß Schnittlinie VI-VI in Fig.

5, Fig. 7 eine Darstellung entsprechend Fig. 5 mit geöffne- ter Plasmakammer, Fig. 8 einen Vertikalschnitt gemäß Schnittlinie VIII-VIII in Fig. 7, Fig. 9 eine vergrößerte Darstellung der Plasmakammer mit zu beschichtender Flasche gemäß Fig. 6, Fig. 10 eine nochmals vergrößerte Darstellung eines An- schlußelementes zur Halterung des Werkstückes in der Plasmakammer, Fig. 11 eine schematische Darstellung einer Positionierung eines flaschenförmigen Werkstückes innerhalb der Plasmakammer unter Verwendung eines zangenartigen Halteelementes und Fig. 12 eine Darstellung ähnlich zu Fig. 10 bei einer ge- genüber Fig. 10 abgesenkten Positionierung des hülsenartigen Dichtelementes.

Aus der Darstellung in Fig. 1 ist ein Plasmamodul (1) zu erkennen, das mit einem rotierenden Plasmarad (2) versehen ist. Entlang eines Umfanges des Plasmarades (2) sind eine Mehrzahl von Plasmastationen (3) angeordnet. Die Plasmasta- tionen (3) sind mit Kavitäten (4) bzw. Plasmakammern (17) zur Aufnahme von zu behandelnden Werkstücken (5) versehen.

Die zu behandelnden Werkstücke (5) werden dem Plasmamodul (1) im Bereich einer Eingabe (6) zugeführt und über ein Vereinzelungsrad (7) an ein Übergaberad (8) weitergeleitet, das mit positionierbaren Tragarmen (9) ausgestattet ist.

Die Tragarme (9) sind relativ zu einem Sockel (10) des Übergaberades (8) verschwenkbar angeordnet, so daß eine Ab- standsveränderung der Werkstücke (5) relativ zueinander durchgeführt werden kann. Hierdurch erfolgt eine Übergabe der Werkstücke (5) vom Übergaberad (8) an ein Eingaberad (11) mit einem relativ zum Vereinzelungsrad (7) vergrößer- ten Abstand der Werkstücke (5) relativ zueinander. Das Ein- gaberad (11) übergibt die zu behandelnden Werkstücke (5) an das Plasmarad (2). Nach einer Durchführung der Behandlung werden die behandelten Werkstücke (5) von einem Ausgaberad (12) aus dem Bereich des Plasmarades (2) entfernt und in den Bereich einer Ausgabestrecke (13) überführt.

Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 2 sind die Plasmastatio- nen (3) jeweils mit zwei Kavitäten (4) bzw. Plasmakammern (17) ausgestattet. Hierdurch können jeweils zwei Werkstücke (5) gleichzeitig behandelt werden. Grundsätzlich ist es hierbei möglich, die Kavitäten (4) vollständig voneinander getrennt auszubilden, grundsätzlich ist es aber auch mög- lich, in einem gemeinsamen Kavitätenraum lediglich Teilbe- reiche derart gegeneinander abzugrenzen, daß eine optimale Beschichtung aller Werkstücke (5) gewährleistet ist. Insbe- sondere ist hierbei daran gedacht, die Teilkavitäten zumin- dest durch separate Mikrowelleneinkopplungen gegeneinander abzugrenzen.

Fig. 3 zeigt eine perspektivische Darstellung eines Plasma- moduls (1) mit teilweise aufgebautem Plasmarad (2). Die Plasmastationen (3) sind auf einem Tragring (14) angeord- net, der als Teil einer Drehverbindung ausgebildet und im Bereich eines Maschinensockels (15) gelagert ist. Die Plas- mastationen (3) weisen jeweils einen Stationsrahmen (16) auf, der Plasmakammern (17) haltert. Die Plasmakammern (17) weisen zylinderförmige Kammerwandungen (18) sowie Mikrowel- lengeneratoren (19) auf.

In einem Zentrum des Plasmarades (2) ist ein Drehverteiler (20) angeordnet, über den die Plasmastationen (3) mit Be- triebsmitteln sowie Energie versorgt werden. Zur Betriebs- mittelverteilung können insbesondere Ringleitungen (21) eingesetzt werden.

Die zu behandelnden Werkstücke (5) sind unterhalb der zy- linderförmigen Kammerwandungen (18) dargestellt. Unterteile der Plasmakammern (17) sind zur Vereinfachung jeweils nicht eingezeichnet.

Fig. 4 zeigt eine Plasmastation (3) in perspektivischer Darstellung. Es ist zu erkennen, daß der Stationsrahmen (16) mit Führungsstangen (23) versehen ist, auf denen ein Schlitten (24) zur Halterung der zylinderförmigen Kammer- wandung (18) geführt ist. Fig. 4 zeigt den Schlitten (24) mit Kammerwandung (18) in einem angehobenen Zustand, so daß das Werkstück (5) freigegeben ist.

Im oberen Bereich der Plasmastation (3) ist der Mikrowel- lengenerator (19) angeordnet. Der Mikrowellengenerator (19) ist über eine Umlenkung (25) und einen Adapter (26) an ei- nen Kopplungskanal (27) angeschlossen, der in die Plasma- kammer (17) einmündet. Grundsätzlich kann der Mikrowellen- generator (19) sowohl unmittelbar im Bereich des Kammerdek- kels (31) als auch über ein Distanzelement an den Kammer- deckel (31) angekoppelt mit einer vorgebbaren Entfernung zum Kammerdeckel (31) und somit in einem größeren Umge- bungsbereich des Kammerdeckels (31) angeordnet werden. Der Adapter (26) hat die Funktion eines Übergangselementes und der Kopplungskanal (27) ist als ein Koaxialleiter ausgebil- det. Im Bereich einer Einmündung des Kopplungskanals (27) in den Kammerdeckel (31) ist ein Quarzglasfenster angeord- net. Die Umlenkung (25) ist als ein Hohlleiter ausgebildet.

Das Werkstück (5) wird im Bereich eines Dichtelementes (28) positioniert, das im Bereich eines Kammerbodens (29) ange- ordnet ist. Der Kammerboden (29) ist als Teil eines Kammer- sockels (30) ausgebildet. Zur Erleichterung einer Justage ist es möglich, den Kammersockel (30) im Bereich der Füh- rungsstangen (23) zu fixieren. Eine andere Variante besteht darin, den Kammersockel (30) direkt am Stationsrahmen (16) zu befestigen. Bei einer derartigen Anordnung ist es bei- spielsweise auch möglich, die Führungsstangen (23) in ver- tikaler Richtung zweiteilig auszuführen.

Fig. 5 zeigt eine Vorderansicht der Plasmastation (3) gemäß Fig. 3 in einem geschlossenen Zustand der Plasmakammer (17). Der Schlitten (24) mit der zylinderförmigen Kammer- wandung (18) ist hierbei gegenüber der Positionierung in Fig. 4 abgesenkt, so daß die Kammerwandung (18) gegen den Kammerboden (29) gefahren ist. In diesem Positionierzustand kann die Plasmabeschichtung durchgeführt werden.

Fig. 6 zeigt in einer Vertikalschnittdarstellung die Anord- nung gemäß Fig. 5. Es ist insbesondere zu erkennen, daß der Kopplungskanal (27) in einen Kammerdeckel (31) einmündet, der einen seitlich überstehenden Flansch (32) aufweist. Im Bereich des Flansches (32) ist eine Dichtung (33) angeord- net, die von einem Innenflansch (34) der Kammerwandung (18) beaufschlagt wird. In einem abgesenkten Zustand der Kammer- wandung (18) erfolgt hierdurch eine Abdichtung der Kammer- wandung (18) relativ zum Kammerdeckel (31). Eine weitere Dichtung (35) ist in einem unteren Bereich der Kammerwan- dung (18) angeordnet, um auch hier eine Abdichtung relativ zum Kammerboden (29) zu gewährleisten.

In der in Fig. 6 dargestellten Positionierung umschließt die Kammerwandung (18) die Kavität (4), so daß sowohl ein Innenraum der Kavität (4) als auch ein Innenraum des Werk- stückes (5) evakuiert werden können. Zur Unterstützung ei- ner Zuleitung von Prozeßgas ist im Bereich des Kammersok- kels (30) eine hohle Lanze (36) angeordnet, die in den In- nenraum des Werkstückes (5) hineinverfahrbar ist. Zur Durchführung einer Positionierung der Lanze (36) wird diese von einem Lanzenschlitten (37) gehaltert, der entlang der Führungsstangen (23) positionierbar ist. Innerhalb des Lan- zenschlittens (37) verläuft ein Prozeßgaskanal (38), der in der in Fig. 6 dargestellten angehobenen Positionierung mit einem Gasanschluß (39) des Kammersockels (30) gekoppelt ist. Durch diese Anordnung werden schlauchartige Verbin- dungselemente am Lanzenschlitten (37) vermieden.

Fig. 7 und Fig. 8 zeigen die Anordnung gemäß Fig. 5 und Fig. 6 in einem angehobenen Zustand der Kammerwandung (18).

In diesem Positionierungszustand der Kammerwandung (18) ist es problemlos möglich, das behandelte Werkstück (5) aus dem Bereich der Plasmastation (3) zu entfernen und ein neues zu behandelndes Werkstück (5) einzusetzen. Alternativ zu der in den Zeichnungen dargestellten Positionierung der Kammer- wandung (18) in einem durch Verschiebung nach oben erreich- ten geöffneten Zustand der Plasmakammer (17) ist es auch möglich, den Öffnungsvorgang durch eine Verschiebung einer konstruktiv modifizierten hülsenförmigen Kammerwandung in vertikaler Richtung nach unten durchzuführen.

Im dargestellten Ausführungsbeispiel besitzt der Kopplungs- kanal (27) eine zylinderförmige Gestaltung und ist im we- sentlichen koaxial zur Kammerwandung (18) angeordnet.

Fig. 9 zeigt den Vertikalschnitt gemäß Fig. 6 in einer ver- größeren teilweisen Darstellung in einer Umgebung der Kam- merwandung (18). Zu erkennen ist insbesondere das Übergrei- fen des Innenflansches (34) der Kammerwandung (18) über den Flansch (32) des Kammerdeckels (31) und die Halterung des Werkstückes (5) durch das Halteelement (28). Darüber hinaus ist zu erkennen, daß die Lanze (36) durch eine Ausnehmung (40) des Halteelementes (28) hindurchgeführt ist.

Die Positionierung des Werkstückes (5) im Bereich des Dichtelementes (28) ist in der nochmals vergrößerten Dar- stellung in Fig. 10 zu erkennen. Das Dichtelement (28) ist in eine Führungshülse (41) eingesetzt, die mit einer Feder- kammer (42) versehen ist. In die Federkammer (42) ist eine Druckfeder (43) eingesetzt, die einen Außenflansch (44) des Dichtelementes (28) relativ zur Führungshülse (41) ver- spannt.

In der in Fig. 10 dargestellten Positionierung ist ein an der Lanze (36) montierter Schubteller (45) gegen den Außen- flansch (44) geführt und drückt das Dichtelement (28) in seine obere Endpositionierung. In dieser Positionierung ist ein Innenraum des Werkstückes (5) gegenüber dem Innenraum der Kavität (4) isoliert. In einem abgesenkten Zustand der Lanze (36) verschiebt die Druckfeder (43) das Dichtelement (28) relativ zur Führungshülse (41) derart, daß eine Ver- bindung zwischen dem Innenraum des Werkstückes (5) und dem Innenraum der Kavität (4) geschaffen ist.

Fig. 11 zeigt die Positionierung des Werkstückes (5) inner- halb der Plasmakammer (17) mit Hilfe eines Halteelementes (46). Das Halteelement (46) ist zangenartig ausgebildet und besitzt zwei verschwenkbar gelagerte Haltearme (47,48).

Die Haltearme (47,48) sind relativ zu Drehachsen (49,50) verschwenkbar. Zur Gewährleistung einer automatischen Fi- xierung des Werkstückes (5) durch das Halteelement (46) werden die Haltearme (47,48) von Federn (51,52) in eine jeweilige Haltepositionierung gedrückt.

Das Halteelement (46) ist oberhalb des Kammersockels (30) angeordnet, so daß nach einem Anheben der Kammerwandung (18) eine seitliche Zugänglichkeit des Halteelements (46) gegeben ist. Das Werkstück (5) kann hierdurch von einem Po- sitionierelement an das Halteelement (46) übergeben werden, ohne daß eine Hubbewegung des Werkstückes (5) in Richtung einer Kavitätenlängsachse (53) erfolgen muß.

Fig. 12 zeigt die Anordnung gemäß Fig. 10 nach einem Anhe- ben der Kammerwandung (18) und nach einem Absenken des Dichtelementes (28). Genau wie in Fig. 10 ist auch in Fig.

11 das Halteelement (46) gemäß Fig. 11 nicht dargestellt.

Das Dichtelement (28) ist gemäß Fig. 12 derart abgesenkt, daß eine seitliche Beweglichkeit des Werkstückes (5) erfol- gen kann. Hierdurch ist ein seitliches Einsetzen vor der Plasmabehandlung sowie ein seitliches Entnehmen nach einem Abschluß der Plasmabehandlung möglich. Im dargestellten Be- triebszustand ist der Außenflansch (44) des Dichtelementes (28) gegen einen Innensteg des Kammersockels (30) geführt.

Der Innenflansch (54) definiert gemeinsam mit einem Innen- flansch (55) der Führungshülse (41) den Bewegungsbereich des Dichtelementes (28). ohne eine externe Stellkraft wird das Dichtelement (28) mit seinem Außenflansch (44) von der Druckfeder (43) gegen den Innenflansch (54) gedrückt.

Zur Gewährleitung einer ausreichenden Abdichtung kann der Außenflansch (44) im Bereich seiner dem Innenflansch (55) zugewandten Ausdehnung mit einer Ringdichtung (56) versehen werden. In einem angehobenen Zustand des Dichtelementes (28) wird hierdurch eine Abdichtung zwischen dem Außen- flansch (44) und dem Innenflansch (55) vorgenommen. Alter- nativ kann auch eine dynamische Dichtung verwendet werden, bei der die Abdichtung radial im Bereich eines Außenumfan- ges erfolgt und bei einer Bewegung ein Entlanggleiten an der Dichtung durchgeführt wird. Das Dichtelement (28) weist darüber hinaus eine Ringdichtung (57) im Bereich seiner dem Werkstück (5) zugewandten Ausdehnung auf. Bei einem fla- schenartigen Werkstück (5) wird diese Ringdichtung (57) ge- gen eine Mündungsfläche (58) eines Gewindebereiches (59) geführt. Zur äußeren Einfassung des Gewindebereiches (59) in einem angehobenen Zustand des Dichtelementes (28) weist das Dichtelement' (28) darüber hinaus einen ringartigen Ein- fassungsflansch (60) auf, der innenseitig mit einer Ein- führanschrägung (61) versehen ist.

Das Dichteelement (28) kann insbesondere derart gestaltet sein, daß bei der in Fig. 12 dargestellten Positionierung nach einem Absenken der Kammerwandung (18) zunächst eine gemeinsame Evakuierung eines Innenraumes des Werkstückes (5) und des Innenraumes der Plasmakammer (17) erfolgt. Nach einem Anheben des Dichtelementes (28) wird zum einen der Innenraum der Plasmakammer (17) durch das Dichtelement (28) gegenüber der Vakuumzuführung abgedichtet, der Innenraum des. Werkstückes (5) bleibt jedoch weiterhin an die Vakuum- zuführung angeschlossen. Es kann hierdurch ohne ein zusätz- liches Steuerventil eine unterschiedliche Evakuierung des Innenraumes des Werkstückes (5) und des Innenraumes der Plasmakammer (17) durchgeführt werden.

Ein typischer Behandlungsvorgang wird im folgenden am Bei- spiel eines Beschichtungsvorganges erläutert und derart durchgeführt, daß zunächst das Werkstück (5) unter Verwen- dung des Eingaberades (11) zum Plasmarad (2) transportiert wird und daß in einem hochgeschobenen Zustand der hülsenar- tigen Kammerwandung (18) das Einsetzen des Werkstückes (5) in die Plasmastation (3) erfolgt. Nach einem Abschluß des Einsetzvorganges wird die Kammerwandung (18) in ihre abge- dichtete Positionierung abgesenkt und zunächst gleichzeitig eine Evakuierung sowohl der Kavität (4) als auch eines In- nenraumes des Werkstückes (5) durchgeführt.

Nach einer ausreichenden Evakuierung des Innenraumes der Kavität (4) wird die Lanze (36) in den Innenraum des Werk- stückes (5) eingefahren und durch eine Verschiebung des Dichtelementes (28) eine Abschottung des Innenraumes des Werkstückes (5) gegenüber dem Innenraum der Kavität (4) durchgeführt. Ebenfalls ist es möglich, die Lanze (36) be- reits synchron zur beginnenden Evakuierung des Innenraumes der Kavität in das Werkstück (5) hinein zu verfahren. Der Druck im Innenraum des Werkstückes (5) wird anschließend noch weiter abgesenkt. Darüber hinaus ist auch daran ge- dacht, die Positionierbewegung der Lanze (36) wenigstens teilweise bereits parallel zur Positionierung der Kammer- wandung (18) durchzuführen. Nach Erreichen eines ausrei- chend tiefen Unterdruckes wird Prozeßgas in den Innenraum des Werkstückes (5) eingeleitet und mit Hilfe des Mikrowel- lengenerators (19) das Plasma gezündet. Insbesondere ist daran gedacht, mit Hilfe des Plasmas sowohl einen Haftver- mittler auf eine innere Oberfläche des Werkstückes (5) als auch die eigentliche Barriereschicht aus Siliziumoxiden ab- zuscheiden.

Nach einem Abschluß des Beschichtungsvorganges wird die Lanze (36) wieder aus dem Innenraum des Werkstückes (5) entfernt und die Plasmakammer (17) sowie der Innenraum des Werkstückes (5) werden belüftet. Nach Erreichen des Umge- bungsdruckes innerhalb der Kavität (4) wird die Kammerwan- dung (18) wieder angehoben, um eine Entnahme des beschich- teten Werkstückes (5) sowie eine Eingabe eines neuen zu be- schichtenden Werkstückes (5) durchzuführen. Zur Ermögli- chung einer seitlichen Positionierung des Werkstückes (5) wird das Dichtelement (28) mindestens bereichsweise wieder in den Kammersockel (3) hinein verfahren.

Alternativ zur erläuterten Innenbeschichtung von Werkstük- ken (5) können auch Außenbeschichtungen, Sterilisationen oder Oberflächenaktivierungen durchgeführt werden.

Eine Positionierung der Kammerwandung (18), des Dichtele- mentes (28) und/oder der Lanze (36) kann unter Verwendung unterschiedlicher Antriebsaggregate erfolgen. Grundsätzlich ist die Verwendung pneumatischer Antriebe und/oder elek- trischer Antriebe, insbesondere in einer Ausführungsform als Linearmotor, denkbar. Insbesondere ist aber daran ge- dacht, zur Unterstützung einer exakten Bewegungskoordinie- rung mit einer Rotation des Plasmarades (2) eine Kur- vensteuerung zu realisieren. Die Kurvensteuerung kann bei- spielsweise derart ausgeführt sein, daß entlang eines Um- fanges des Plasmarades (2) Steuerkurven angeordnet sind, entlang derer Kurvenrollen geführt werden. Die Kurvenrollen sind mit den jeweils zu positionierenden Bauelementen ge- koppelt.