In der DE 195 38 257 C2 (Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Objektes) wird das herzustellende Objekt mit einer dreidimensionalen Stützkonstruktion aus einem inneren Kernbereich und einem äußeren Hüllbereich versehen. Der Kernbereich wird da- bei vorzugsweise doppelt belichtet, so dass eine starke Verfestigung erreicht wird, wäh- rend der Hüllbereich nur einmal belichtet wird. Der Hüllbereich befindet sich dabei vollflä- chig zwischen dem Objekt und der Stützkonstruktion. Der Hüllbereich ist weich, so dass mit geringstem Kraft-und Werkzeugaufwand eine Trennung des Objektes von der Stütz- konstruktion erfolgen soll. Gleichzeitig ist die Dicke des Hüllbereichs zur Gewährleistung der Funktion als Stützkonstruktion sehr gering. Schwierigkeiten ergeben sich aber bei der Trennung sehr kleiner oder mikrostrukturierter Objekte von der Stützkonstruktion, die bei der Trennung sehr leicht zerstört werden können. Gleichzeitig müssen Angriffsflächen für die Werkzeuge vorhanden sein. Bei mehreren Objekten auf einem Träger ist eine derarti- ge Trennung ohne Zerstörung nur schwer realisierbar, so dass derartige Stützkonstrukti- onen zur Herstellung mehrerer Miniaturkörper oder mikrostrukturierter Körper auf einem Träger nicht geeignet sind.

Der in den Patentansprüchen 1 und 11 angegebenen Erfindung liegt die Aufgabe zugrun- de, Miniaturkörper oder mikrostrukturierte Körper auf einem Träger so herzustellen, dass diese anschließend leicht vom Träger gelöst und/oder auch voneinander separiert werden können.

Diese Aufgabe wird mit den in den Patentansprüchen 1 und 11 aufgeführten Merkmalen gelöst.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, dass sowohl Miniaturkörper als auch mikrostrukturierte Körper leicht herstellbar sind. Die Miniaturkörper und die mikrostrukturierten Körper werden dabei aus schichtweise aufgebrachten Partikeln realisiert. Zwischen dem Träger und den Miniaturkörpern oder mikrostrukturierten Körpern befinden sich Abstandskörper, die gleichfalls aus schichtweise aufgebrachten Partikeln bestehen. Der besondere Vorteil besteht dabei darin, dass diese Abstandskörper mit dem Bestrahlen durch Laserstrahlen so hergestellt werden, dass Partikel partiell flächig, flächig oder linienförmig in der betreffenden Ebene zu kleine Kontaktbereichsstrukturen und Leerstellen aufweisenden, deshalb zerstörbaren und folglich von dem Träger und folglich von den Miniaturkörpern oder mikrostrukturierten Körpern separierbaren Abstandskörpern sintern. Derartige Leerstellen können auch zusammenhängen. Dabei bilden sich Abstandskörper mit einer statischen Festigkeit aus, so dass eine sichere Positionierung der Miniaturkörper oder mikrostrukturierten Körper auf dem Träger und/oder im Pulverbett gegeneinander gegeben ist. Gleichzeitig sind diese Abstandskörper gegen Scherkräfte gering beständig, so dass durch derartige Kräfte eine leichte Ablösung der Miniaturkörper oder mikrostrukturierten Körper erfolgen kann. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass die Miniaturkörper oder mikrostrukturierten Körper und die Abstandskörper aus dem gleichen Material bestehen. Dabei können sowohl die Miniaturkörper oder mikrostrukturierten Körper als auch die. Abstandskörper beim Bestrahlen einer Schicht mit den Laserstrahlen realisiert werden. Auskragende Miniaturkörper oder mikrostrukturierte Körper mit Auskragungen sind damit leicht herstellbar und nachfolgend leicht separierbar. Sowohl die Realisierung der separierbaren Abstandskörper als auch die Generierung der Miniaturkörper oder mikrostrukturierten Körper erfolgt dabei schichtweise durch Auftragen und selektives Sintern der Partikel mit den Laserstrahlen eines Lasers. Die Bearbeitungsparameter für die separierbaren Abstandskörper werden so gewählt, dass Partikel partiell flächig, flächig oder linienförmig in der betreffenden Ebene zu kleine Kontaktbereichsstrukturen und Leerstellen aufweisenden, deshalb zerstörbaren und folglich von dem Träger und den entweder Miniaturkörpern oder mikrostrukturierten Körpern separierbaren Abstandskörpern sintern, wodurch eine statische Verfestigung eines definierten Materialvolumens erreicht wird.

Dabei entstehen homogene separierbare Abstandskörper mit über den gesamten Querschnitt konstanten Parametern, wobei die ganze Grenzfläche Kontakt mit den Miniaturkörpern oder mikrostrukturierten Körpern hat, und dennoch vollständig ablösbar ist. Auf und in diesen separierbaren Abstandskörper werden aus demselben Material die Miniaturkörper oder mikrostrukturierten Körper durch selektive Bestrahlung mit Laserstrahlen eines oder des Lasers realisiert, wobei hierzu die Parameter so gewählt werden, dass eine scherbeständige Sinterung von Partikeln erzeugt wird. Nach der Realisierung der Miniaturkörper oder mikrostrukturierten Körper auf dem Träger wird wird dieser mit Ultraschall beaufschlagt, wobei diese sowohl vom Träger als auch von den separierbaren Abstandskörpern ohne andere Hilfsmittel getrennt werden. Dazu wird der Träger mit einer Einrichtung zur Erzeugung von Ultraschall gekoppelt. Beschädigungen der Miniaturkörper oder mikrostrukturierten Körper und des Trägers werden beim Tren- nen vermieden, so dass auch der Träger ohne Nachbehandlung mehrmals zur Herstel- lung von Miniaturkörpern oder mikrostrukturierten Körpern verwendet werden kann. Eine vorteilhafte Transportvorrichtung für ein schichtweises Aufbringen von Partikeln auf den Träger ist wenigstens eine Ringrakel mit einer in sich geschlossenen Klinge, die über mindestens ein Konstruktionselement wenigstens in einer Ebene parallel zum Träger entweder sowohl drehbar gelagert als auch mit einem Antrieb gekoppelt ist oder in x-und y-Richtung über gekoppelte Antriebe bewegbar ist. Mit einer derartigen Realisierung kann die Ringrakel mindestens entweder über den Vorratsraum oder eine Fläche neben dem Träger und den Träger geschwenkt oder bewegt werden, wobei schichtweise Partikel entweder aus einem separaten Vorratsraum oder der Ringrakel als Vorratsbehälter in der Ringrakel auf dem Träger aufgebracht werden. Durch das Bestrahlen mit Laserstrahlen des mindestens einen Lasers werden Partikel innerhalb derselben Schicht und von Schicht zu Schicht durch Sintern verbunden, wobei sowohl separierbare Abstandskörper als auch Miniaturkörper oder mikrostrukturierte Körper nach-und/oder nebeneinander entstehen. Dabei können auch vorteilhafterweise mindestens zwei Vorratsräume mit Par- tikeln verschiedener Materialien zur Anwendung kommen. Dadurch können Schichten aus unterschiedlichen Materialien zu Miniaturkörpern oder mikrostrukturierten Körpern mit vertikalen Eigenschaftsgradienten erzeugt werden. Die Ringrakel gewährleistet ein gleichmäßiges Auftragen von Schichten aus allen Richtungen. Damit ist ein homogener Schichtauftrag gegeben.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Patentansprüchen 2 bis 10 und'12 bis 16 angegeben.

Die Weiterbildung des Patentanspruchs 2 führt in Ergänzung zusätzlich auch zu separier- baren Abstandskörpern zwischen den Miniaturkörpern oder mikrostrukturierten Körpern.

Dadurch können auch hohe Miniaturkörper oder mikrostrukturierte Körper auf einem Trä- ger hergestellt werden. Die separierbaren Abstandskörper verhindern ein Abkippen derar- tiger Miniaturkörper oder mikrostrukturierter Körper.

Die Weiterbildung des Patentanspruchs 3 führt zu separierbaren Abstandskörpern zwi- schen den Miniaturkörpern oder mikrostrukturierten Körpern. Diese bestehen aus wenigs- tens einem vorgefertigten Körper auf dem wenigstens ein Miniaturkörper oder mikrostruk- turierter Körper fest angebunden wird, so dass ein Miniaturkörper oder mikrostrukturierter Körper mit dem vorgefertigten Körper als Bestandteil realisiert wird. Vorteilhafterweise können damit Mikrostrukturen auf vorgefertigte Körper aufgebracht und mit diesen fest verbunden werden, so dass ein mikrostrukturierter Körper hergestellt werden kann.

Die Weiterbildung des Patentanspruchs 4, wobei die Pulsfrequenz und die Verfahrge- schwindigkeit des Lasers zur Erzeugung der Miniaturkörper oder mjkrostrukturierten Kör- per und der Abstandskörper gleich und die Laserleistung bei der Herstellung der Ab- standskörper kleiner als die bei der Herstellung der Miniaturkörper oder mikrostrukturier- ten Körper ist, führt zu einem durchgängigem Verfahren. Mehrmaliges Bestrahlen einzel- ner Bereiche der jeweiligen Schicht wird vermieden. Durch die Beibehaltung der Laser- leistung und die Erhöhung der Pulsfrequenz und der Verfahrgeschwindigkeit kann die Herstellung in ökonomisch vorteilhaft kürzerer Zeit erfolgen.

Nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 5 werden die Schichten aus Partikeln vor- teilhafterweise mit einer Drucktechnik, durch Sprühen oder mit wenigstens einer Rakel aufgetragen.

Mit der Maßnahme der Weiterbildung des Patentanspruchs 6, wobei die Schicht aus einer Paste mit den Partikeln im Vakuum mit einem Druck unmittelbar über dem Dampfdruck des Binders beaufschlagt und durch Erwärmung mittels Laserstrahlen entbindert werden, erfolgt vorteilhafterweise eine Trennung des Binders von den Partikeln.

Die Weiterbildung des Patentanspruchs 7, wobei über das Beaufschlagen des Trägers und/oder der Rakel mit Ultraschall und/oder das horizontale Drehen der Rakel die jeweili- ge aufgetragene Schicht vor dem Bestrahlen mit Laserstrahlen verdichtet wird, führt vor- teilhafterweise zu einem dichten Miniaturkörper oder mikrostrukturierten Körper. Ein wei- terer Vorteil besteht beim Beaufschlagen des Trägers mit Ultraschall darin, dass die mit dem Träger gekoppelte Einrichtung zur Erzeugung des Ultraschalls sowohl zum Verdich- ten der Partikel als auch zur Trennung der Miniaturkörper oder mikrostrukturierten Körper sowohl von den separierbaren Abstandskörpern als auch dem Träger verwendet wird.

Durch die Weiterbildung des Patentanspruchs 8 können vorteilhafterweise die Schichten insbesondere aus Pasten gleichmäßig und ohne Zerstörung, welche durch eine entgegen gerichtete Überfahrt hervorgerufen würde, aufgebracht werden.

Die Weiterbildung des Patentanspruchs 9 erlaubt die Erzeugung von im Mikrometermaß- stab homogenen Materialmischungen und/oder vertikalen Material-oder Eigenschafts- gradienten und Material-oder Eigenschaftsgrenzen in den Miniaturkörpern oder mikro- strukturierten Körpern oder die Erzeugung von völlig neuartigen Materialien. Metallmi- schungen, die sonst nur unter Bedingungen der Mikrogravitation erzeugt werden können, sind somit realisierbar. Gleichzeitig ergeben sich durch die Verwendung von Materialien mit unterschiedlichen Farben die verschiedensten Ausgestaltungen entsprechend der Anwendungen oder Verwendungen.

Ein schichtweises Dithering-Verfahren nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 10 führt zur Möglichkeit der Realisierung von Farbverläufen in der Außenansicht der Minia- turkörper oder mikrostrukturierten Körper in vertikaler Richtung.

Die Weiterbildungen der Patentansprüche 12 und 13 führen zu vielfältigen vorteilhaften Verwendungen der Vorrichtungen. Insbesondere können über diese Ausgestaltungen ein gleichmäßiger Auftrag und eine Vorverdichtung der Partikel erfolgen. Eine zusätzliche axiale Verschiebung der Ringrakel vom Träger weg ermöglicht den Auftrag von pastösen Materialien mit Partikeln in einer dünnen Schicht, da diese bei der Rückbewegung der Ringrakel von dieser nicht berührt werden dürfen, weil sonst die Schicht zerstört werden kann. Eine zusätzliche rotatorische Bewegung der Ringrakel um ihre Symmetrieachse durch einen weiteren Antrieb bewirkt einen gleichmäßigen Auftrag und eine Verdichtung der Schicht. Durch die Bewegung eines koaxialen Stempels innerhalb der Ringrakel in Richtung des Trägers wird das Pulver ebenfalls verdichtet.

Eine Kopplung der Ringrakel mit einer Einrichtung zur Erzeugung von Ultraschall nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 14 führt zu einer weiteren Möglichkeit einer Vor- verdichtung der Partikel zur Herstellung dichter Miniaturkörper oder mikrostrukturierter Körper und zum verbesserten Abgleiten der Partikel an der Innenwand der Ringrakel.

Vorteilhafte Beeinflussungen des Laserstrahles werden nach der Weiterbildung des Pa- tentanspruchs 15 durch eine quadratisch formende Maske oder einen Homogenisierer oder eine ein umgekehrtes Gaußprofil als Intensitätsverteilung erzeugende Strahlfor- mungseinheit in Strahlrichtung nach dem Laser erreicht. Eine quadratische Ausbildung des Laserfokus erlaubt die optimale selektive Flächenbestrahlung der Schicht bei Bewe- gung des Laserstrahles ohne die bei runder Ausbildung des Laserfokus immer auftreten- den zur lokalen Temperaturüberhöhung führenden Überlappungen. Eine Homogenisie- rung der Laserstrahlung bewirkt eine homogene selektive Bestrahlung der Schicht ohne lokale Intensitätsüberhöhungen. Eine Laserstrahlung mit umgekehrtem Gaußprofil der Intensität erlaubt die Verwendung von Laserpulsen hoher Intensität ohne Wegspritzen der Partikel.

Eine Kopplung der Ringrakel an entweder ein ebenes Drehgelenkgetriebe oder eine so- wohl verfahrbare als auch in ihrer Länge veränderbare Einrichtung nach der Weiterbil- dung des Patentanspruchs 16 erlaubt eine Bewegung der Ringrakel an die unterschied- lichsten Positionen in der Rakelebene mit dem Vorteil, dass unterschiedliche Vorratsräu- me in beliebiger Reihenfolge angefahren werden können und über unterschiedlich struk- turierten Bereichen der Rakelebene zum Zwecke des Durchmischens mehrerer Kompo- nenten oder der Reinigung der Ringrakel geführt werden können.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im Folgenden näher beschrieben. Es zeigen jeweils in einer prinzipiellen Darstellung : Fig. 1 eine Vorrichtung zur Herstellung von Miniaturkörpern oder mikrostrukturier- ten Körpern auf einem Träger in einer Bearbeitungskammer mit Laserstrah- len mit einer Ringrakel und einem Vorratsraum in einer Drauf-und einer Sei- tenansicht, Fig. 2 eine Vorrichtung mit zwei Ringrakeln und zwei Vorratsräumen in einer Drauf- und einer Seitenansicht, Fig. 3 eine Vorrichtung mit dem Bauraum im Mittelpunkt und mehreren schwenk- baren Ringrakeln und Fig. 4 eine Vorrichtung mit einer Ringrakel, einem Vorratsraum für eine Paste oder ein Gel mit den Partikeln und einem Abstreifer zur Reinigung der Ringrakel.

Verfahren und Vorrichtungen zur Herstellung von Miniaturkörpern oder mikrostrukturier- ten Körpern auf einem Träger 2 in einer Bearbeitungskammer 1 mit Laserstrahlen 3 min- destens eines Lasers im Vakuum oder unter Schutzgas werden nachfolgend in den Aus- führungsbeispielen zusammen näher erläutert.

1. Ausführungsbeispiel Mit der Anwendung des Verfahrens werden Miniaturkörper aus Wolfram mit einer Auflö- sung < 50 um hergestellt. Dazu befindet sich in der Bearbeitungskammer 1 ein Träger 2 in einem Bauraum 5 für die Miniaturkörper, ein Vorratsraum 4 für Partikel als Pulver be- stehend aus Wolfram-Nanopulver und eine Transportvorrichtung für Partikel von dem Vorratsraum 4 zu dem Bauraum 5 und Träger 2. Die Partikel des Wolfram-Nanopulvers haben vorzugsweise eine Größe von 300 nm. Die Transportvorrichtung ist eine Ringrakel 6 mit einer in sich geschlossenen Klinge. Eine kreisförmig ausgebildete Ringrakel 6 be- findet sich an mindestens einem Konstruktionselement, welches weiterhin mit wenigstens einem Antrieb 8 gekoppelt ist. Ein Konstruktionselement ist im einfachsten Fall ein stan- genförmiger Körper 7, der mit der Ringrakel 6 an einem translatorischen oder rotatori- schen Antrieb 8 befestigt ist. Im letzteren Fall vollführt die Ringrakel 6 eine kreisförmige Bewegung, wobei in der Bewegungsbahn wenigstens ein Bauraum 5 mit einem Träger 2 und mindestens ein Vorratsraum 4 angeordnet sind. Die Fig. 1 zeigt eine derartige Vor- richtung mit einem Träger 2, einer Ringrakel 6 und einem Vorratsraum 4 in einer Drauf- und einer Seitenansicht und die Fig. 2 eine Vorrichtung mit einem Träger 2, zwei Ringra- keln 6a, 6b und zwei Vorratsräumen 4a, 4b in einer Drauf-und einer Seitenansicht jeweils als eine prinzipielle Darstellung. In einer Ausführungsform kann der Bauraum 5 auch in der Mitte der Bearbeitungskammer 1 angeordnet sein, wobei mehrere Ringrakel 6 schwenkbar um diesen Bauraum 5 angeordnet sind. Der Bauraum 5 befindet sich dabei im Schwenkbereich der Ringrakel 6. Die Fig. 3 zeigt eine derartige Anordnung prinzipiell in einer Draufsicht. In weiteren Ausführungsformen kann die Ringrakel 6 - an einer in seiner Länge veränderbaren und einstellbaren Einrichtung, zum Bei- spiel zwei ineinander geführten teleskopartigen Körpern, befestigt und mit einem rotatorischen Antrieb gekoppelt, - an einer in seiner Länge veränderbaren und einstellbaren Einrichtung befestigt, wobei diese mit einem translatorischen Antrieb so gekoppelt ist, dass die Ringra- kel in einer x-und y-Ebene bewegbar ist, oder - an einem ebenen Drehgelenkgetriebe befestigt sein.

Mit der Ringrakel 6 wird das Pulver mit geringer Schüttdichte zu einer Schicht höherer Dichte, indem zuerst eine dickere Schicht erzeugt wird, die durch sukzessives gegenläu- figes Rakeln mit der kreisförmigen Ringrakel 6, in deren Inneren sich der gesamte oder portionierte Pulvervorrat befindet, durch sukzessives gegenläufiges Rakeln abgeschert und dabei gleichzeitig komprimiert wird, worauf das überschüssige Pulver im Inneren der Rakelklinge verbleibt oder in den Vorratsraum 4 zurückgeführt wird. In der Bearbeitungs- kammer 1 sind sowohl der Träger 2 über einen Antrieb 11 als auch der Boden 10 des Vorratsraums 4 über einen weiteren Antrieb 12 gegenüber der Ringrakel 6 bewegbar.

Vorteilhafterweise kann der Antrieb der Ringrakel 6 mit einem weiteren Antrieb als An- triebssystem 9 so verbunden sein, dass auch die Ringrakel 6 gegenüber dem Träger 2 und dem Boden 10 des Vorratsraums 4 bewegbar ist. Der Laser ist außerhalb der Bear- beitungskammer 1 so angeordnet, dass die Laserstrahlen 3 über einen Scanner und ein Fenster 13 in der Bearbeitungskammer 1 auf den Träger 2 gelangen können. Eine Ablen- kung von Laserstrahlen 3 oder eine Kopplung des Lasers mit einer Bewegungseinrich- tung sind bekannt und in den Fig. nicht dargestellt. Es werden vorzugsweise Laserstrah- len 3 eines gütegeschalteten Nd : YAG-Lasers mit einer Wellenlänge von 1064 nm bei einer Pulsdauer von 100 ns im Monomode eingesetzt. In Ausführungsformen können eine den Querschnitt des Laserstrahles 3 quadratisch formende Maske und/oder ein Homoge- nisierer oder ein umgekehrtes Gaußprofil als Intensitätsverteilung erzeugende Strahlfor- mungseinheit in Strahlrichtung nach dem Laser angeordnet sein. In einem ersten Schritt wird die Bearbeitungskammer 1 auf einen Druck < 10-5 mbar evakuiert und das Wolfram- Nanopulver getrocknet. Danach wird ein Prozessgas, vorzugsweise Argon oder Helium bis zu einem Druck von 500 mbar eingelassen. Anschließend erfolgt ein Auftragen der Schichten aus dem Wolfram-Nanopulver im trockenen Zustand, wobei nach jedem Auf- trag die Schicht mit den Laserstrahlen 3 so bestrahlt wird, dass die Wolfram-Nanopartikel partiell flächig, flächig oder linienförmig in der betreffenden Ebene zu kleine Kontakte- reichsstrukturen und Leerstellen aufweisenden und damit separierbaren Abstandskörpern sintern, wobei sowohl eine statische Festigkeit entsteht als auch eine geringe Beständig- keit gegen Scherkräfte besteht. Damit entstehen separierbare Abstandskörper zwischen dem Träger 2 und den Miniaturkörpern. Nach Ausbildung dieser Abstandskörper erfolgt das Auftragen weiterer Schichten aus dem Wolfram-Nanopulver im trockenen Zustand.

Nach jedem Auftrag wird die Schicht mit den Laserstrahlen 3 so bestrahlt, dass die Wolf- ram-Nanopartikel entsprechend der Kontur der Miniaturkörper in dieser Ebene als Wan- dung und Innenbereich in dieser Ebene durchgehend miteinander und mit der unmittelbar darunter generierten Lage verbunden werden. Damit entstehen auf dem Träger 2 die se- parierbaren Abstandskörper und die Miniaturkörper. Während der Realisierung der Minia- turkörper können bestimmte Schichten auch so bestrahlt werden, dass zwischen Wan- dungen der Miniaturkörper die Wolfram-Nanopartikel partiell flächig, flächig oder linien- förmig in der betreffenden Ebene zu kleine Kontaktbereichsstrukturen und Leerstellen aufweisenden und damit separierbaren Abstandskörpern sintern. Damit befinden sich auch zwischen den Miniaturkörpern separierbare Abstandskörper. Zur Erzeugung der separierbaren Abstandskörper wird vorzugsweise eine Pulsfrequenz von 8 kHz bei einer Laserleistung von 0,3 W und einer Scangeschwindigkeit von 600 mm/s verwendet. Die Wandungen und die Innenbereiche entstehen durch festes Sintern unter vorzugsweiser Anwendung einer Pulsfrequenz von 8 kHz bei einer Laserleistung von 1 W und einer Scangeschwindigkeit von 600 mm/s. Das Auftragen der Schichten aus dem Wolfrarn- Nanopulver mit den Wolfram-Nanopartikeln erfolgt durch Absenken des Trägers 2 um einen Betrag 5 1, um und anschließendem Rakeln. Mit der Beaufschlagung des Trägers 2 mit Hörschall kann die jeweilige aufgetragene Schicht vor dem Bestrahlen mit Laserstrah- len 3 verdichtet werden. Die Schwingungen mit Frequenzen von ca. 500 Hz werden vor- zugsweise durch die Hubachse 14 des Trägers 3 selbst erzeugt. Durch Beaufschlagung des Trägers 2 mit den Miniaturkörpern mit Ultraschall werden die Miniaturkörper vom Träger und von den Abstandskörpern getrennt, wobei der Träger 2 mit einer Einrichtung zur Erzeugung von Ultraschall gekoppelt ist.

In einer weiteren Ausführungsform werden Miniaturkörper aus Kupfer und Wolf- ram/Kupfer mit der Verwendung entweder eines Pulvers aus Kupfer-Mikropartikeln oder eines Gemisches aus Kupfermikro-und Wolfram-Nanopartikeln erzeugt. Die Absenkung des Trägers 2 erfolgt in Schritten von ca. 2 pm.

Miniaturkörper aus Silber und Wolfram/Silber mit der Verwendung entweder eines Pulvers aus Silber-Mikropatikeln oder eines Gemisches aus Silbermikro-und Wolfrarn- Nanopartikeln können in einer weiteren Ausführungsform erzeugt werden. Die Absenkung des Trägers 2 erfolgt in Schritten von ca. 2 um.

Miniaturkörper aus Titan können in einer weiteren Ausführungsform mit der Verwendung eines Pulvers aus Titan-Mikro-und/oder Nanopartikeln erzeugt werden. Die Absenkung des Trägers 2 erfolgt in Schritten von ca. 2 um.

Miniaturkörper aus Aluminium können in einer weiteren Ausführungsform unter Verwen- dung von Pulver aus Aluminium-Mikropartikeln hergestellt werden. Der Sintervorgang erfolgt mit kleinerer Laserleistung von 0,8 W und zur Generierung der separierbaren Ab- standskörper wird eine Leistung von 0,25 W verwendet.

In einer weiteren Ausführungsform können Miniaturkörper aus Aluminium/Titan mit der Verwendung eines Gemisches aus Aluminium-und Titan-Mikro-und/oder Nanopartikeln erzeugt werden. Der Sintervorgang erfolgt mit einer Laserleistung von 0,8 W und zur Ge- nerierung der separierbaren Abstandskörper wird eine Leistung von 0,25 W verwendet.

In einer weiteren Ausführungsform besteht die Schicht aus einer Paste mit den Wolfram- Nanopartikeln und wird im Vakuum mit einem Druck unmittelbar über dem Dampfdruck des Binders vorgetrocknet und durch Erwärmung mittels Laserstrahlen 3 entbindert. Die Ringrakel 6 wird vor der Rückbewegung angehoben und anschließend über eine Reini- gungseinrichtung in Form einer Gummilippe 15 bewegt und somit gereinigt (Darstellung in der Fig. 3).

2. Ausführungsbeispiel Ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung von mikrostrukturierten Körpern in Form von Zahninlays mit Laserstrahlen 3 mindestens eines Lasers im Vakuum oder unter Schutzgas auf einem Träger 2 in einer Bearbeitungskammer 1 werden nachfolgend näher erläutert.

Die Vorrichtung entspricht im Wesentlichen denen des ersten Ausführungsbeispiels. Das Verfahren wird jedoch nur unter Schutzgas durchgeführt. Die Schicht wird aus Paste oder Gel erzeugt. Die Vortrocknung und Entbinderung der Schicht geschieht durch schnelles Scannen des Laserstrahls 3 über die gesamte Schicht. Die Schichtdicke ist 2 5 um und 520, um. Der Laser arbeitet im Multimode-Betrieb, wodurch ein größerer Strahlfleck- durchmesser erzeugt wird. Die Laserleistung beträgt vorzugsweise 3 W zum Sintern der mikrostrukturierten Körper und vorzugsweise 1 W zum Sintern der separierbaren Ab- standskörper. Die Rakel ist vorzugsweise eine Ringrakel 6. Nach dem Auftragvorgang wird die Ringrakel 6 über das Antriebssystem 9 angehoben und auf eine Gummilippe'15 als Reinigung geführt. Nach dem Reinigungsvorgang wird die Ringrakel 6 wieder über dem Vorratsraum 4a platziert und kann neu befüllt werden. Zusätzlich befindet sich in der Vorrichtung mindestens ein weiterer Vorratsraum 4b für Paste oder Gel. In den mindes- tens zwei Vorratsräumen 4a, 4b befinden sich hinsichtlich einer Färbung nach dem Sin- tern unterschiedliche Pasten oder Gele, vorzugsweise weiß und graugelb. Bei der Her- stellung können durch Anwendung eines Dithering-Verfahrens in Form von sich entspre- chend wechselnden Schichten aus den unterschiedlichen Pasten oder Gelen alle Farben zwischen weiß und graugelb erzeugt werden. Dadurch ist eine optimale farbliche Anpas- sung des Inlays an den Zahn möglich. Alternativ dazu werden zwei kreisförmig bewegba- re Ringrakel 6, die gleichzeitig als Vorratsraum dienen, eingesetzt. Die Beschickung der Ringrakel 6 erfolgt durch das aufklappbar ausgestaltete Einkoppelfenster 13 für die La- serstrahlen 3 von oben. Der Vorteil dieser Variante besteht darin, dass die Ringrakel 6 nur in eine Richtung bewegt werden muss und damit kein Überfahren der neu aufge- brachten Schicht erfolgt. Ein Anheben der Ringrakel ist nicht notwendig. Zur Reinigung werden die Ringrakel 6 an einem Abstreifer vorbeigeführt.

In weiteren Ausführungsformen der Ausführungsbeispiele kann ein Miniaturkörper oder ein mikrostrukturierter Körper mit einem vorgefertigten Körper als Bestandteil realisiert werden. Der vorgefertigte Körper ist dabei auf dem Träger 2 angeordnet. Beim ersten Rakeln wird der Raum um den vorgefertigten Körper und über dem Träger 2 vollständig mit Pulver aufgefüllt. Dies schafft eine ausreichende Fixierung des vorgefertigten Körpers auf dem Träger 2. Anschließend werden Schichten mit oder aus Partikeln aufgetragen und nach jedem Auftrag die jeweilige Schicht mit Laserstrahlen 3 sowohl entsprechend den Konturen des Miniaturkörpers oder mikrostrukturierten Körpers in dieser Ebene so bestrahlt, dass Partikel als Wandung und Innenbereich des zu fertigenden Miniaturkör- pers oder mikrostrukturierten Körpers in dieser Ebene durchgehend durch Sintern mitein- ander in der ersten Schicht zusätzlich mit dem vorgefertigten Körper verbunden werden und damit ein Miniaturkörper oder mikrostrukturierter Körper entsteht und dass auch par- tiell flächig, flächig oder linienförmig in dieser Ebene zu kleine Kontaktbereichsstrukturen und Leerstellen aufweisenden und damit separierbaren Abstandskörpern gesintert wer- den, wobei sowohl eine statische Festigkeit entsteht als auch eine geringe Beständigkeit gegen Scherkräfte besteht. Die Vereinzelung des Miniaturkörpers oder des mikrostruktu- rierten Körpers und der Abstandskörper erfolgt vorteilhafterweise mit dem Beaufschlagen von Ultraschall. Zwischen Träger 2 und dem Miniaturkörper oder mikrostrukturierten Kör- per besteht keine feste Bindung, so dass eine Trennung leicht möglich ist.