Verfahren und Vorrichtung zur Entfernung von Lotmaterialdepots von einem Substrat

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Entfernung von Lotmaterialdepots von einem Substrat nach Anspruch 1 sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 5.

Bei den bekannten Belotungsverfahren, bei denen die Belotung von Kontaktsubstraten mit einem so genannten „ball-grid-array" erfolgt, werden Lotmaterialdepots von einer Transferschablone aus einem Lotmaterialreservoir aufgenommen und zur Belotung des Kontaktsubstrats in eine überdeckungslage mit dem Kontaktsubstrat verbracht. Zur Erzeugung des „ball-grid-array" auf der Transferschablone ist dieses mit einem entsprechenden Lochmuster versehen und wird zur Entnahme der Lotmaterialdepots aus dem Lotmaterialreservoir rückwärtig mit Vakuum beaufschlagt. Hierdurch werden die Lotmaterialdepots, die einen gegenüber den Löchern des Lochmusters zumindest geringfügig größeren Durchmesser aufweisen, in den Löchern des Lochmusters gehalten.

Zur Belotung des Kontaktsubstrats wird die Transferschablone mit dem gegen die Anschlussfläche des Kontaktsubstrats anliegenden Lotmaterialdepots gegen das Kontaktsubstrat gedrückt und die Lotmaterialdepots

werden zur Erzielung eines zumindest partiellen Aufschmelzens derselben mit thermischer Energie beaufschlagt.

In Folge einer möglicherweise unzureichenden Flussmittelbeschichtung der Anschlussflächen des Kontaktsubstrats und/oder von Beschädigungen der benetzungshemmenden Oberfläche der Transferschablone kann es dazu kommen, dass sich nicht sämtliche Lotmaterialdepots von der Transferschablone ablösen. Zum einen werden hierdurch Belotungsfehl- stellen auf dem Kontaktsubstrat ausgebildet, zum anderen ist es vor einem nachfolgenden Belotungsvorgang notwendig, haften gebliebene Lotmaterialdepots von der Transferschablone zu entfernen.

In Versuchen hat sich herausgestellt, dass ein Entfernen anhaftender Lotmaterialdepots vermittels eines mechanischen Ablösens, also beispielsweise eines Kratzens, zu einer Beschädigung der benetzungshemmenden Oberfläche der Transferschablone führt, wodurch zwar eine Entfernung des Lotmaterialdepots von der Transferschablone erfolgreich durchgeführt werden kann, die Gefahr eines erneuten Anhaftens eines Lotmaterialdepots bei einem nachfolgenden Belotungsvorgang jedoch potentiell erhöht wird.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren sowie eine Vorrichtung vorzuschlagen, die eine die Oberfläche der Transferschablone schonende Entfernung von anhaftenden Lotmaterialdepots ermöglicht.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 bzw. eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 5 gelöst.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Entfernung von Lotmaterialdepots von einem Substrat wird eine Aufnahmehülse mit einer Aufnahmeöffnung derart in überdeckung mit einem auf dem Substrat angeordneten Lotmaterialdepot gebracht, dass ein öffnungsrand der Aufnahme-

öffnung im Wesentlichen abdichtend gegen das Substrat zur Anlage gebracht wird, das Lotmaterialdepot mit thermischer Energie beaufschlagt wird und ein durch die Aufnahmehülse definiertes Hülsenlumen quer zu einer Längsachse der Aufnahmehülse mit einer zu einer Ausga- beöffnung der Aufnahmehülse gerichteten Luftströmung beaufschlagt wird.

Die Beaufschlagung des Hülsenlumens mit der Querluftströmung bewirkt zumindest während der abdichtenden Anlage der Aufnahmeöffnung gegen das Substrat einen temporären Unterdruck. Im Zusammenwirken mit der thermischen Beaufschlagung des Lotmaterialdepots, die ein zumindest partielles Aufschmelzen desselben bewirkt, wird das Lotmaterialdepot durch die Vakuumkraft von der Substratoberfläche abgelöst. Gleichzeitig sorgt die auf eine Ausgabeeinrichtung der Aufnahmehülse gerichtete Querluftströmung für einen Abtransport des Lotmaterialdepots aus der Aufnahmehülse.

Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht somit ein Ablösen oder Entfernen des Lotmaterialdepots von einer Substratoberfläche, ohne die direkte Einwirkung von mechanischen Werkzeugen auf das Lotmaterialdepot bzw. die Substratoberfläche. Der mögliche Berührungskontakt zwischen der Aufnahmehülse und der Substratoberfläche beschränkt sich auf einen anliegenden öffnungsrand der Aufnahmeöffnung gegen die Substratoberfläche, um in der Aufnahmehülse aufgrund der quergerichteten Luftströmung einen Unterdruck ausbilden zu können. Je nach Größe des Volumenstroms der Querluftströmung kann es auch ausreichend sein, den öffnungsrand der Aufnahmeöffnung unter Ausbildung eines minimalen Spalts, also unter Vermeidung eines unmittelbaren Berührungskontakts zur Substratoberfläche, gegen die Substratoberfläche zu verfahren.

Als besonders vorteilhaft hat es sich herausgestellt, die Beaufschlagung des Lotmaterialdepots mit thermischer Energie vermittels Laserenergie durchzuführen, da somit das Auftreten der gewünschten thermischen Effekte lokal auf das Lotmaterialdepot beschränkt werden kann, ohne

dass beispielsweise ström- oder wärmeleitende Zuführungen notwendig wären.

Auf den Einsatz von Energie zuführenden Leitungen im Bereich der Aufnahmehülse kann sogar vollständig verzichtet werden, wenn die Laserenergie als Laserstrahlung in das Lotmaterialdepot eingebracht wird.

Als besonders vorteilhaft erweist es sich, wenn die Laserstrahlung vermittels einer das Hülsenlumen der Aufnahmehülse begrenzenden Linseneinrichtung fokussiert wird. Dabei kann die Linseneinrichtung gleichzeitig zur Ausbildung einer der Aufnahmeöffnung der Aufnahmehülse gegenüberliegenden, rückwärtigen Begrenzung des Hülsenlumens dienen.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Ablösung von Lotmaterialdepots von einem Substrat weist eine Aufnahmehülse, die an einem Kontaktende mit einer Aufnahmeöffnung versehen ist und benachbart einer ein Hülsenlumen axial begrenzenden Begrenzungseinrichtung eine Ausgabeeinrichtung aufweist, eine der Ausgabeeinrichtung gegenüberliegend angeordnete Anschlusseinrichtung zur Beaufschlagung des Hülsenlumens mit Druckluft sowie eine Beheizungseinrichtung zur Beaufschlagung eines Lotmaterialdepots mit thermischer Energie auf.

In einer bevorzugten Ausführungsform weist die Beheizungseinrichtung eine Laserenergie-Emissionseinrichtung auf.

Wenn die Laserenergie-Emissionseinrichtung eine Linseneinrichtung zur Fokussierung eines Laserstrahlengangs auf einen durch einen öffnungs- rand begrenzten öffnungsquerschnitt der Aufnahmeöffnung aufweist, kann die Laserenergie-Emissionseinrichtung in einem beliebigen Abstand vom Lotmaterialdepot bzw. vom öffnungsquerschnitt der Aufnahmeöffnung angeordnet sein, so dass der Innenraum der Aufnahmehülse frei von

Einrichtungen zur Zuführung der thermischen Energie zum Lotmaterialdepot ist.

Wenn darüber hinaus die Linseneinrichtung als Begrenzungseinrichtung zur axialen Begrenzung des Hülsenlumens ausgebildet ist, wird ein Aufbau der Vorrichtung mit einer möglichst geringen Anzahl von Teilen möglich.

Als besonders vorteilhaft erweist es sich, wenn die Ausgabeeinrichtung als eine die Druckluftströmung beschleunigende Beschleunigungseinrichtung ausgebildet ist, so dass die Erzeugung relativ großer Unterdruck- kräfte im Hülsenlumen möglich wird.

In einer möglichen Ausführungsform der Vorrichtung ist die Ausgabeeinrichtung zur Beschleunigung der Druckluftströmung als Venturi-Düse ausgebildet.

Als besonders vorteilhaft für die Handhabung der Vorrichtung erweist es sich, wenn die Aufnahmehülse mit einer Positionierungseinrichtung zur veränderbaren Positionierung der Aufnahmehülse gegenüber dem Substrat versehen ist, so dass ein und dieselbe Aufnahmehülse zur Entfernung von Lotmaterialdepots an unterschiedlichen Obenflächenstellen des Substrats verwendbar ist.

Darüber hinaus ist es auch möglich, die Aufnahmehülse in einem Aufnahmehülsenverbund mit einer Mehrzahl von Aufnahmehülsen anzuordnen, um mehrere Lotmaterialdepots gleichzeitig von der Substratoberfläche entfernen zu können.

Eine Anordnung der Aufnahmehülsen in einer Matrixanordnung eines Aufnahmenhülsenverbunds ermöglicht es, die Anordnung der Aufnahmehülsen entsprechend der Anordnung der Anschlussflächen auf der Substratoberfläche vorzusehen.

Nachfolgend wird eine bevorzugte Ausführungsform der Vorrichtung mit Erläuterung des vermittels der Vorrichtung durchführbaren Verfahrens unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 eine mit einer Lotmaterialdepotanordnung bestückte Transferschablone;

Fig. 2 die in Fig. 1 dargestellte Transferschablone nach übergabe der Lotmaterialdepotanordnung auf ein Kontaktsubstrat;

Fig. 3 eine gegen die Transferschablone verfahrene Ablösevor- richtung zu Beginn eines Ablösevorgangs;

Fig. 4 die gegen die Transferschablone verfahrene Ablösevorrichtung gegen Ende des Ablösevorgangs.

Fig. 1 zeigt ein Substrat, das im vorliegenden Fall beispielhaft als Transferschablone 10 ausgebildet ist, die in einer in Fig. 1 lediglich einachsig dargestellten Matrixanordnung eine Lotmaterialdepotanordnung 1 1 aus einzelnen Lotmaterialdepots 12 aufweist, die in Löchern 13 eines entsprechend der Matrixanordnung in der Transferschablone 10 ausgebildeten Lochmusters 14 angeordnet sind. Die Transferschablone 10 ist in einer Handhabungsvorrichtung 15 aufgenommen und stützt sich rückwärtig an einer porösen Metallplatte 16 ab.

Die Transferschablone 10 dient zur Entnahme von Lotmaterialdepots 12 aus einem hier nicht näher dargestellten Lotmaterialreservoir vermittels eines rückwärtig auf die Transferschablone 10 einwirkenden Unterdrucks 17. Wie in Fig. 1 dargestellt, ermöglicht der Unterdruck 17 auch ein Halten der Lotmaterialdepots 12 in den Löchern 13 der Transferschablone. In dieser Konfiguration kann die Lotmaterialdepotanordnung 1 1 in eine überdeckungslage mit einem hier nicht näher dargestellten Kontaktsubstrat überführt werden, in der sich die einzelnen Lotmaterialdepots 12

über zugeordneten Anschlussflächen des Kontaktsubstrats befinden. Zur Belotung der Kontaktflächen des Kontaktsubstrats mit den Lötmaterialdepots 12 wird die Transferschablone 10 gegen das Kontaktsubstrat abgesenkt, und unter gleichzeitiger Einwirkung von Druck und Tempera- tur auf die Lotmaterialdepots 12 erfolgt eine übergabe der Lotmaterialdepots 12 auf die Kontaktflächen des Kontaktsubstrat bei gleichzeitigem Aufschmelzen der Lotmaterialdepots.

Fig. 2 zeigt die Transferschablone 10 nach erfolgter übergabe der Lotmaterialdepots 12, wobei beispielsweise in Folge einer Beschädigung der benetzungshemmend ausgeführten Oberfläche der Transferschablone 10 ein Lotmaterialdepot 12 nicht von der Transferschablone 10 abgelöst wurde.

Fig. 3 zeigt die Transferschablone 10 mit einer Ablösevorrichtung 18, die zur Ablösung des an der Transferschablone 10 haften gebliebenen Lotmaterialdepots 12 verwendet wird.

Die Ablösevorrichtung 18 weist eine mundstückartig ausgebildete Aufnahmehülse 19 auf, deren in Fig. 3 der Transferschablone 10 zugewandtes Kontaktende 20 eine von einem öffnungsrand 21 begrenzte Aufnahmeöffnung 22 aufweist. Die Aufnahmehülse 19 weist ein Hülsenlumen 23 auf, das sich von einem öffnungsquerschnitt 24 der Aufnahmeöffnung 22 bis zu einer am anderen Ende der Aufnahmehülse 19 angeordneten Linseneinrichtung 25 erstreckt. Die Linseneinrichtung 25 ist bei dem in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel der Ablösevorrichtung 18 zusammen mit der Aufnahmehülse 13 in einer Handhabungseinrichtung 26 aufgenommen.

Die Linseneinrichtung 25 ist bei dem in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel nicht nur Bestandteil einer nicht näher dargestellten Laser-Emissionseinrichtung, sondern dient gleichzeitig als Begrenzung des Hülsenlumens 23. Benachbart der Linseneinrichtung 25 befindet sich im Bereich des der Aufnahmeöffnung 22 gegenüberliegenden Endes der

Aufnahmehülse 13 eine Druckluftanschlusseinrichtung 27, vermittels der das Hülsenlumen 23 gegenüberliegend einer Ausgabeeinrichtung 29 mit einer Querströmung 28 beaufschlagt wird. Die Ausgabeeinrichtung 29 kann beispielsweise als Venturi-Düse ausgebildet sein, um die über die Druckluft-Anschlusseinrichtung 27 im Hülsenlumen 23 induzierte, quer zu einer Längsachse 30 des Hülsenlumens 23 gerichtete Strömung 28 durch Expansion zu beschleunigen. Bei der in Fig. 3 dargestellten Ausführungsform sind die Druckluft-Anschlusseinrichtung 27 und die Ausgabeeinrichtung 29 in einer gemeinsamen Strömungseinrichtung 31 ausgebildet, die modular mit der Aufnahmehülse 13 kombinierbar ist.

Zur Ablösung bzw. Entfernung des Lotmaterialdepots 12 von der Transferschablone 10, wird, wie in Fig. 3 dargestellt, die Ablösevorrichtung 18 so gegen die Transferschablone 10 verfahren, dass sich der öffnungsquerschnitt 24 der Aufnahmeöffnung 22 in einer überdeckungslage mit dem Lotmaterialdepot 12 befindet. In Fig. 3 ist hierzu der öffnungsrand 21 der Aufnahmeöffnung 22 das Lotmaterialdepot 12 umschließend gegen die Oberfläche der Transferschablone 10 verfahren. In dieser Konfiguration erfolgt eine rückwärtige Beaufschlagung der Linseneinrichtung mit einem Laserstrahlengang 32, der durch die Linseneinrich- tung 25 auf das Lotmaterialdepot 12 fokussiert wird und dieses zumindest partiell aufschmilzt. Durch das Aufschmelzen werden die Haltekräfte, die das Lotmaterialdepot 12 an der Oberfläche der Transferschablone 10 halten, reduziert. über die Druckluft-Anschlusseinrichtung 27 wird das Hülsenlumen 23 mit einer Querströmung beaufschlagt, die zur Ausbildung eines Unterdrucks und entsprechender Unterdruckkräfte 33 im Hülsenlumen 23 sorgt.

Wie in Fig. 4 dargestellt, bewirken die Unterdruckkräfte 33, unterstützt durch die Verminderung der Haltekräfte in Folge der thermischen Beaufschlagung des Lotmaterialdepots 12, ein Ablösen des Lotmaterialdepots 12 von der Oberfläche der Transferschablone 10. Das Lotmaterialdepot 12 wird in Richtung auf die Querströmung 28 hin bewegt und schließlich

von dieser mitgerissen und so durch die Ausgabeeinrichtung 29 nach außerhalb des Hülsenlumens 23 transportiert, wo eine Entsorgung des Lotmaterialdepots 12 stattfinden kann.

Um den vorstehend beschriebenen Ablösevorgang des Lotmaterialdepots 12 zu unterstützen, kann, wie in Fig. 4 dargestellt, die Transferschablone 10 rückwärtig mit Druckluft 34 beaufschlagt werden.