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Title:
METHOD AND DEVICE FOR REPAIRING A TEST CONTACT ARRANGEMENT
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2020/030340
Kind Code:
A1
Abstract:
The invention relates to a method for repairing a test contact arrangement (10) in which a test contact (21) arranged with incorrect positioning on a test contact carrier (12) by means of solder material (16) is gripped at an edge (30) of the body by means of a gripping tool (23) in a gripping contact phase, laser radiation is applied during the gripping contact phase to an absorption area (33) formed on an outer surface (32) of the gripping tool (23) and, when the temperature is at the softening point of the solder material (16), an at least single-axis movement of the gripping tool (23) is performed in such a way that a correction of the incorrect positioning is carried out by means of the movement to bring the test contact (21) into a desired positioning.

Inventors:
KRAUSE THORSTEN (DE)
Application Number:
PCT/EP2019/066167
Publication Date:
February 13, 2020
Filing Date:
June 19, 2019
Export Citation:
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Assignee:
PAC TECH PACKAGING TECH GMBH (DE)
International Classes:
G01R3/00; B23K26/20; G01R1/067
Domestic Patent References:
WO2017026802A12017-02-16
Foreign References:
KR20170128744A2017-11-23
DE102015114129A12017-03-02
DE102008051853A12010-04-29
US20180210011A12018-07-26
US20080308536A12008-12-18
DE102016100561A12017-07-20
DE102008051853A12010-04-29
Attorney, Agent or Firm:
ADVOTEC. PATENT- UND RECHTSANWÄLTE (DE)
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Claims:
Patentansprüche

1 . Verfahren zur Reparatur einer Prüfkontaktanordnung ( 10) mit einer

Mehrzahl von auf Kontaktflächen ( 14) eines Prüfkontaktträgers ( 12) mittels einer Lotverbindung ( 15) kontaktierten Prüfkontakten ( 1 1 ,

21 ) , bei dem ein mit einer Fehlpositionierung auf dem Prüfkontakt träger ( 12) angeordneter Prüfkontakt (21 ) an einer Körperkante (30) mittels eines Greifwerkzeugs (23) in einer Greifkontaktphase ergrif fen wird, derart, das s zumindest eine als Wärmeübertragungsfläche ausgebildete Greiffläche (38) in wärmeleitendem Kontakt an einer Oberfläche (39) des Prüfkontakts (21 ) anliegt, während der Greifkon taktphase eine Beaufschlagung einer an einer äußeren Oberfläche (32) des Greifwerkzeugs (23) ausgebildete Absorptionsfläche (33 ) mittels Laserstrahlung erfolgt, während der Strahlungsbeaufschla gung eine Temperaturmessung der im Lotmaterial ( 16) der Lotver bindung ( 15) erreichten Lottemperatur erfolgt, und bei Vorliegen der Erweichungstemperatur des Lotmaterials ( 16) eine zumindest einach sige Bewegung des Greifwerkzeugs (23 ) erfolgt, derart, das s mittels der Bewegung eine Korrektur der Fehlpo sitionierung zur Überfüh rung des Prüfkontakts (21 ) in eine Sollpo sitionierung durchgeführt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1 ,

dadurch gekennzeichnet,

das s zur Definition der Fehlpositionierung mittels einer Kameraein richtung (36) eine Abbildung der Prüfkontaktanordnung ( 10) erfolgt und mittels einer Bildverarbeitungseinrichtung aus der Abbildung Körperkantenkoordinaten (Ki , K2) einer Körperkante (30) des Prüf kontakts (21 ) ermittelt werden, wobei nachfolgend in Abhängigkeit von den Körperkantenkoordinaten (Kl K2) die Greifpositionierung des Greifwerkzeugs (23) erfolgt, derart, das s eine Greifkante (29) des Greifwerkzeugs (23) gegen die Körperkante (30) des Prüfkontakts (21 ) positioniert wird, und anschließend zur Korrektur der Fehlposi tionierung das Greifwerkzeug (23) mit der Greifkante (29) in eine mittels der Bildverarbeitung aus der Abbildung berechnete Sollposi- tionierung überführt wird.

3. Vorrichtung zur Reparatur einer Prüfkontaktanordnung ( 10) mit einer

Mehrzahl von auf Kontaktflächen ( 14) eines Prüfkontaktträgers ( 12) mittels einer Lotverbindung ( 15) kontaktierten Prüfkontakten ( 1 1 ,

21 ) , wobei die Vorrichtung umfas st:

ein Greifwerkzeug (23) mit zumindest einer wärmeleitenden Greifflä che (38) zur Anlage gegen eine Oberfläche (39) des Prüfkontakts

(21 ) ,

eine auf einer äußeren Oberfläche (32) des Greifwerkzeugs (23) aus gebildete Absorptionsfläche (33) zur Absorption von Laserstrahlung, wobei die Absorptionsfläche (33) in wärmeleitendem Kontakt mit der

Greiffläche (38) ist,

eine Lasereinrichtung (24), die mit ihrer optischen Achse OA auf die Absorptionsfläche (33) ausrichtbar ist,

und eine Temperaturmes seinrichtung (25) zur Messung der Strah- lungstemperatur eines Lotmaterials ( 16) der Lotverbindung ( 15) .

4. Vorrichtung nach Anspruch 3 ,

dadurch gekennzeichnet,

das s das Greifwerkzeug (23 ) eine als Innenkante aus gebildete Greif kante (29) zur Positionierung gegen eine als Außenkante ausgebildete Körperkante (30) des Prüfkontakts (21 ) aufweist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4,

dadurch gekennzeichnet,

das s die Ab sorptionsfläche (33 ) an einem an der äußeren Oberfläche (32) des Greifwerkzeugs (23) ausgebildeten Materialvorsprung eines mit der Greiffläche (38) versehenen Greifelements (27) ausgebildet ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5 ,

dadurch gekennzeichnet,

das s der Materialvorsprung als Absorptions steg (34) ausgebildet ist mit einer unter einem stumpfen Winkel a zur Oberfläche (32) ange ordneten Absorptionsflanke (35) .

Description:
Verfahren und Vorrichtung zur Reparatur einer Prüfkontaktanordnung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reparatur einer Prüfkontaktan ordnung mit einer Mehrzahl von auf Kontaktflächen eines Prüfkontakt träges mittels einer Lotverbindung kontaktierten Prüfkontakten, bei dem ein mit einer Fehlpositionierung auf den Prüfkontaktträger angeordneter Prüfkontakt an einer Körperkante mittels eines Greifwerkzeugs in einer Greifkontaktphase ergriffen wird, derart, das s zumindest eine als Wär meübertragungsfläche ausgebildete Greiffläche in wärmleitendem Kon takt an einer Oberfläche des Prüfkontakts anliegt, während der Greifkon taktphase eine Beaufschlagung einer an einer äußeren Oberfläche des Greifwerkzeugs ausgebildeten Absorptionsfläche mit Laserstrahlung erfolgt, während der Strahlungsbeaufschlagung eine Temperaturmes sung der im Lotmaterial der Lotverbindung erreichten Temperatur erfolgt, und bei Vorliegen der Erweichungstemperatur des Lotmaterials eine zumin dest einachsige Bewegung des Greifwerkzeugs erfolgt, derart, dass mittels der Bewegung eine Korrektur der Fehlpositionierung zur Über- führung des Prüfkontakts in eine Sollpositionierung durchgeführt wird. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens . Verfahren und Vorrichtungen zur Herstellung einer Prüfkontaktanord nung sind in unterschiedlichen Ausführungsformen bekannt. So zeigt die WO 20 17/026802 A l ein Verfahren sowie eine Vorrichtung, wobei zur Kontaktierung der Prüfkontakte auf einem Prüfkontaktträger die einzel nen Prüfkontakte von einem Greifwerkzeug erfasst und zur Benetzung einer für die Kontaktierung mit einer Kontaktfläche des Kontaktträgers vorgesehenen Unterkante mit der Unterkante in ein Lotmaterialbad eingetaucht werden. Anschließend erfolgt mittels des Greifwerkzeugs eine Positionierung des Prüfkontakts mit der Unterkante auf einer Kon taktfläche des Prüfkontaktträgers und zur Herstellung einer Lotmaterial verbindung zwischen dem Prüfkontakt und dem Prüfkontaktträger eine Beaufschlagung des Lotmaterials mit Laserstrahlung .

Aus der DE 10 2008 05 1 853 A l ist ein Verfahren sowie eine Vorrich tung zur Herstellung einer Prüfkontaktanordnung bekannt, wobei die Prüfkontakte mittels eines Greifwerkzeug s mit ihrer für die Kontaktie rung mit Kontaktflächen des Prüfkontaktträgers vorgesehenen Unterkante auf das bereits auf den Kontaktflächen des Prüfkontaktträgers applizierte Lotmaterial aufgesetzt werden und zum Aufschmelzen des Lotmaterials bzw. Herstellung der Lotverbindung zwischen dem Prüfkontaktträger und den Prüfkontakten eine Beaufschlagung der Prüfkontakte mit Laserstrah lung durch einen im Greifwerkzeug ausgebildeten Bestrahlungskanal erfolgt.

Beide bekannten Verfahren und die dazu eingesetzten Vorrichtungen ermöglichen die Herstellung von Prüfkontaktanordnungen, wobei zur Sicherstellung einer den reibungslo sen Einsatz der Prüfkontaktanordnung ermöglichenden Qualität die Prüfkontaktanordnungen nachfolgend einer geeigneten Qualitätskontrolle unterzogen werden und bei Peststellung von Abweichungen gegenüber zulässigen Toleranzen entsprechende Prüfkontaktanordnungen als Aus schus s deklariert werden.

Bei der Qualitätsprüfung wird insbesondere mit optischen Hilfsmitteln geprüft, ob an der Oberkante der Prüfkontakte ausgebildete Kontaktspit- zen, die beim Einsatz der Prüfkontaktanordnung zur Kontaktierung mit Kontaktflächen eines Wafers dienen, den notwendigen Pitch aufweisen und in einer gemeinsamen Kontaktierungsebene angeordnet sind.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren bzw. eine Vorrichtung vorzuschlagen, die im Falle von Fehlpo sitionie rungen der Prüfkontakte auf dem Prüfkontaktträger eine Positionierungs korrektur ermöglichen, um eine Deklarierung der Prüfkontaktanordnung als Aus schus s zu vermeiden .

Zur Lösung dieser Aufgabe weist das erfindungsgemäße Verfahren die Merkmale des Anspruchs 1 und die erfindungsgemäße Vorrichtung die Merkmale des Anspruchs 3 auf.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird ein mit einer Fehlpositionie rung auf dem Prüfkontaktträger angeordneter Prüfkontakt an einer Körperkante mittels eines Greifwerkzeugs in einer Greifkontaktphase ergriffen, derart, das s zumindest eine als Wärmeübertragungsfläche ausgebildete Greiffläche in wärmeleitendem Kontakt an einer Oberfläche des Prüfkontakts anliegt, wobei während der Greifkontaktphase eine Beaufschlagung einer an einer äußeren Oberfläche des Greifwerkzeugs ausgebildeten Absorptionsfläche mit Laserstrahlung erfolgt, während der Strahlungsbeaufschlagung eine Temperaturmes sung der im Lotmaterial der Lotverbindung erreichten Temperatur erfolgt, und bei Vorliegen der Erweichungstemperatur des Lotmaterials eine zumindest einachsige Bewegung des Greifwerkzeugs erfolgt, derart, das s mittels der Bewegung eine Korrektur der Fehlpositionierung zur Überführung des Prüfkontakts in eine Sollpositionierung durchgeführt wird.

Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht eine Korrektur einer Fehl positionierung eines Prüfkontakts mittels eines Ergreifens des einzelnen Prüfkontakts trotz des geringen Ab stands der Prüfkontakte voneinander, der sich durch den erforderlichen Pitch und darüber hinaus noch weiter reduziert durch die Fehlstellung des Prüfkontakts ergibt. Die hierzu notwendigerweise entsprechend kompakt ausgebildete Vorrichtung wird insbesondere dadurch ermöglicht, dass die für ein Erweichen der Lotma terialverbindung notwendige Temperaturbeaufschlagung des Lotmaterials mittelbar über die in wärmeleitendem Kontakt mit der Oberfläche des Prüfkontakts stehende, an der äußeren Oberfläche des Greifwerkzeugs ausgebildete Absorptionsfläche erfolgt. Durch die Temperaturbeauf schlagung des Lotmaterials über den Greifkontakt kann auf die Ausbil dung eines Strahlungskanals im Greifwerkzeug genauso verzichtet werden wie auf eine Lokus sierung der Laserstrahlung auf das Lotmaterial der Lotverbindung, die in der Regel die Einstellung eines definierten Einfallswinkels der Strahlung ermöglicht, der aufgrund des geringen Abstands des fehlpo sitionierten Prüfkontakts zum benachbarten Prüfkon takts oft nicht realisierbar ist.

Gemäß einer bevorzugten Variante des Verfahrens erfolgt zur Definition der Lehlpositionierung mittels einer Kameraeinrichtung eine Abbildung der Prüfkontaktanordnung und es werden mittels einer Bildverarbei tungseinrichtung aus der Abbildung Körperkantenkoordinaten der Kör perkante des Prüfkontakts ermittelt, wobei nachfolgend in Abhängigkeit von den Körperkantenkoordinaten die Greifpo sitionierung des Greif werkzeugs erfolgt, derart, das s eine Greifkante des Greifwerkzeuges gegen die Körperkante des Prüfkontakts positioniert wird, und anschlie ßend zur Korrektur der Lehlpositionierung das Greifwerkzeug mit der Greifkante in eine mittels der Bildverarbeitung aus der Abbildung berechnete Sollposition überführt wird.

Durch Wahl der Körperkante des in der Lehlpositionierung angeordneten Prüfkontakts ist die Bestimmung von lediglich zwei Oberflächenkoordi naten des Prüfkontakts ausreichend, um die Lage des Prüfkontakts im Raum zu definieren. Diese Oberflächenkoordinaten können vorteilhaft als Ortskoordinaten zur Positionierung einer Greifkante des Greifwerk zeugs verwendet werden, so das s für eine Positionierung des Greifwerk zeugs in einer Position, aus der heraus das Ergreifen des Prüfkontakts erfolgen kann, keine Kräfte vom Greifwerkzeug auf den Prüfkontakt übertragen werden, die zu einer mechanischen Belastung der Prüfkon taktanordnung führen. Vielmehr legt sich die vorzugsweise als Innenkan te ausgebildete Greifkante des Greifwerkzeugs an die vorzugsweise als Außenkante gebildete Körperkante des Prüfkontakts an, so das s bei der Positionierung des Greifwerkzeugs in der Greifpo sition zunächst keine wesentlichen Kräfte übertragen werden und eine Kraftübertragung erst bei der Überführung des Prüfkontakts in die Sollpo sition erfolgt.

Die zur Reparatur einer Prüfkontaktanordnung besonders vorteilhafte Vorrichtung umfas st ein Greifwerkzeug mit zumindest einer wärmelei tenden Greiffläche zur Anlage gegen eine Oberfläche des Prüfkontakts, eine auf einer äußeren Oberfläche des Greifwerkzeugs ausgebildete Absorptionsfläche zur Absorption von Laserstrahlung, wobei die Absorp tionsfläche in wärmeleitendem Kontakt mit der Greiffläche angeordnet ist, eine Lasereinrichtung, die mit ihrer optischen Achse auf die Absorp tionsfläche ausgerichtet ist, und eine Temperaturmesseinrichtung zur Messung der Strahlungstemperatur des Lotmaterials .

Vorzugsweise weist das Greifwerkzeug eine als Innenkante ausgebildete Greifkante zur Positionierung gegen eine als Außenkante ausgebildete Körperkante des Prüfkontakts auf.

Wenn die Absorptionsfläche an einem an der äußeren Oberfläche ausge bildeten Materialvorsprung eines die Greiffläche aufweisenden Grei felements des Greifwerkzeugs ausgebildet ist, ist innerhalb der Wärme übertragungs strecke zwischen der Absorptionsfläche und der Greiffläche kein Wärmeübergangswiderstand ausgebildet, wie er bei einem Übergang zwischen einander anliegenden unterschiedlichen Materialien ausgebildet ist.

Besonders vorzugsweise ist der Materialvorsprung als Absorptions steg ausgebildet mit einer unter einem stumpfen Winkel zur Oberfläche angeordneten Absorptionsflanke, so das s bezogen auf eine Hochachse des Prüfkontakts die Einstellung von spitzen Einfallswinkeln für die Laserstrahlung möglich ist.

Nachfolgend wird eine bevorzugte Variante des Verfahrens am Beispiel einer bevorzugten Ausführungsform der dabei zum Einsatz kommenden Vorrichtung anhand der Zeichnung näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 eine oberhalb einer Prüfkontaktanordnung positionierte Re paraturvorrichtung ;

Fig. 2 die in Fig. 1 dargestellte Prüfkontaktanordnung in Seiten- ansicht;

Fig. 3 die in Fig. 1 dargestellte Reparaturvorrichtung während der Korrektur einer Fehlpositionierung eines Prüfkontakts der Prüfkontaktanordnung .

Fig. 1 zeigt eine Prüfkontaktanordnung 10, die eine Mehrzahl von Prüfkontakten 1 1 aufweist, welche auf einem Prüfkontaktträger 12 angeordnet sind. Wie aus einer Zusammenschau der Fig. 1 mit Fig. 2 deutlich wird, sind die Prüfkontakte 1 1 mit einer Unterkante 13 auf einer Kontaktfläche 14 des Prüfkontaktträgers 12 kontaktiert, wobei zur Herstellung des elektrisch leitfähigen und mechanischen Kontakts zwischen der Unterkante 13 und der Kontaktfläche 14 eine Lotverbin dung 15 vorgesehen ist, die ein Lotmaterial 16 aufweist, das im vorlie genden Fall als metallisches Lot ausgebildet ist.

Wie ferner aus einer Zusammenschau der Fig. 1 und 2 deutlich wird, weisen die Prüfkontakte 1 1 jeweils eine Kontaktspitze 17 auf, die am freien Ende eines Kontaktauslegers 18 ausgebildet ist, der an seiner Auslegerbasis 19 mit einer Prüfkontaktbasis 20 verbunden ist, die wie bereits vorstehend erläutert, über ihre Unterkante 13 mit dem Prüfkon taktträger 12 verbunden ist. Für eine bestimmungsgemäße Verwendung der Prüfkontaktanordnung 10 ist es notwendig, das s die Kontaktspitzen 17 der einzelnen Prüfkontakte 1 1 in einer gemeinsamen Kontaktebene KE und auf einer gemeinsamen Kontaktachse KA angeordnet sind. Wie in Fig. 1 beispielhaft dargestellt, führt eine Fehlpositionierung einen Prüfkontakt 21 innerhalb einer Reihe von korrekt po sitionierten Prüfkontakten 1 1 dazu, das s die Kontaktspitze 17 des fehlpositionierten Prüfkontakts 21 sich nicht auf einer gemeinsa men Kontaktachse KA mit den Kontaktspitzen 17 der korrekt positionier ten Prüfkontakte 1 1 befindet. Abweichend von der Darstellung in Fig. 1 kann eine Fehlpositionierung auch dazu führen, das s die Kontaktspitze 17 des Prüfkontakts 21 zwar auf einer gemeinsamen Kontaktachse KA angeordnet ist, wobei der Ab stand zu den benachbarten Prüfkontakten 1 1 jedoch nicht dem Pitch entspricht, so das s eine Korrektur lediglich in Richtung der x-Achse erforderlich sein kann.

Zur Korrektur der Fehlpositionierung des Prüfkontakts 21 befindet sich oberhalb der Prüfkontaktanordnung 10 eine Reparaturvorrichtung 22, die neben einem Greifwerkzeug 23 eine Fasereinrichtung 24 und eine Tem peraturmes senrichtung 25 aufweist.

Fig. 3 zeigt die Reparaturvorrichtung 22 im Betrieb während einer Greifkontaktphase, in der das Greifwerkzeug 23 den fehlpositionierten Prüfkontakt 21 erfas st hat. Wie Fig. 3 zeigt, weist das Greifwerkzeug 23 an einem Werkzeugkörper 26 ein starr mit dem Werkzeugkörper 26 verbundenes erstes Greifelement 27 und ein gegenüber dem Greifelement 27 bewegliches Greifelement 28 auf. Das Greifelement 27 weist eine Greiffläche 38 zur Anlage an eine Oberfläche 39 des Prüfkontakts 21 auf. Darüber hinaus ist an dem Greifelement 27 eine als Innenkante ausgebildete Greifkante 29 ausgebildet, die in der Greifkontaktphase zur Anlage gegen eine als Außenkante ausgebildete Körperkante 30 des Prüfkontakts 21 positioniert ist, wobei die Körperkante 30 im vorliegen den Fall von einer durch den Kontaktausleger 18 des Prüfkontakts 21 ausgebildeten Oberkante des Prüfkontakts 21 ausgebildet ist. Die Steuerung des Greifwerkzeugs 23 , das im vorliegenden Fall vierach- sig bewegbar ist, nämlich in Richtung der in Fig. 3 eingezeichneten Koordinatenachsen X, Y und Z sowie um die Z-Achse verschwenkbar, erfolgt in Abhängigkeit von der Fehlpo sitionierung des Prüfkontakts 21 , so dass zunächst aus einer mittels einer Kameraeinrichtung 36 (Fig. 1) hergestellten Abbildung der Prüfkontaktanordnung 10 und einer nachfol genden Bildverarbeitung Körperkantenkoordinaten Ki (C K i , Uki , Z K I ) und K 2 (Ck 2 , Y K2 Z K2 ) ermittelt werden, welche die Lage der Körperkan te 30 im Raum eindeutig definieren.

Bezogen auf das Koordinatensystem X G , Y G , Z G des Greifwerkzeugs 23 sind die Greifkantenkoordinaten Gi und G 2 bekannt, welche die Lage der als Innenkante ausgebildeten Greifkante 29 eindeutig definieren, so dass zur Anordnung des Greifwerkzeugs 23 im Raum, derart, dass , wie in Fig. 3 dargestellt, die Greifkante 29 des Greifwerkzeugs 23 an der Körper kante 30 des Prüfkontakts 21 anliegt, die Achsensteuerung des Greif werkzeugs 23 derart erfolgt, das s die Greifkantenkoordinaten Gi und G 2 auf die Körperkantenkoordinaten Ki und K 2 abgebildet werden bzw . eine entsprechende Koordinatentransformation der Greifkantenkoordinaten erfolgt und so die in Fig. 3 dargestellte, gewünschte Relativanordnung zwischen dem Greifwerkzeug 23 und dem Prüfkontakt 21 hergestellt ist.

Um ausgehend von dieser Relativanordnung eine Kraftübertragung vom Greifwerkzeug 23 auf den Prüfkontakt 21 zu ermöglichen, als Voraus set zung dafür, dass mittels des Greifwerkzeugs 23 eine Po sitionsänderung des Prüfkontakts 21 erfolgen kann, wird zwischen dem Greifwerkzeug 23 und dem Prüfkontakt 21 ein Kraftschlus s hergestellt, indem das bewegli che Greifelement 28 derart gegen das Greifelement 27 bewegt wird, dass der Prüfkontakt 21 , wie in Fig. 3 dargestellt, im Bereich seiner oberen Körperkante 30 zwischen den Greifelementen 27 , 28 geklemmt aufge nommen ist. Der Kraftschluss kann dabei beispielsweise derart herge stellt werden, dass , wie in Fig. 3 durch den strichpunktierten Linienver lauf angedeutet, über einen im Werkzeugkörper 26 und im Greifelement 27 ausgebildeten Unterdruckkanal 37 und durch einen zwischen dem Kontaktausleger 18 und der Prüfkontaktbasis 20 ausgebildeten Prüfkon taktspalt 3 1 (Fig. 2) Unterdrück auf das bewegliche Greifelement 28 wirkt.

Zur Überführung des Prüfkontakts 21 aus der in Fig. 3 dargestellten Fehlpositionierung in eine in Fig. 3 strichpunktiert dargestellte Sollpo si tionierung erfolgt zunächst eine Strahlungsbeaufschlagung einer an der äußeren Oberfläche 32 des Greifelements 27 ausgebildeten Ab sorptions fläche 33 , die im vorliegenden Fall an einem einstückig mit dem Grei felement 27 ausgebildeten Absorptions steg 34 ausgebildet ist, derart, das s der Absorptions steg 34 eine Absorptionsflanke 35 zur Ausbildung der Absorptionsfläche 33 aufweist. Wie die Fig. 3 zeigt, ist die Absorp tionsflanke 35 unter einem stumpfen Winkel a zur Oberfläche 32 des Greifelements 27 angeordnet, so das s es möglich ist, dass die Laserein richtung 24 so angeordnet wird, dass eine optische Achse OA eines Laserstrahlengangs unter einem spitzen Winkel ß zu einer Hochachse H des Prüfkontakts 21 angeordnet ist. Aufgrund der Strahlungsbeaufschla gung der Absorptionsflanke 35 erfolgt eine Erwärmung des Greifele ments 27 und über den Kontakt der am Greifelement 27 ausgebildeten Greiffläche 38 mit der Oberfläche 39 des Prüfkontakts 21 ein Wärme übergang in den Prüfkontakt 21 verbunden mit einer entsprechenden Erwärmung des Lotmaterials 16 der Lotverbindung 15.

Die Bestrahlungsbeaufschlagung der Absorptionsflanke 35 erfolgt so lang, bis die Erweichungstemperatur des Lotmaterials 16 erreicht ist, so das s dann mittels einer entsprechenden gegebenenfalls mehrachsigen Bewegung des Greifwerkzeugs 23 der Prüfkontakt 21 in die Sollpo sition überführt werden kann, in der sich die Kontaktspitze 17 des Prüfkontakts 21 auf einer gemeinsamen Kontaktachse KA mit den Kontaktspitzen 17 der benachbarten korrekt positionierten Prüfkontakte 1 1 befindet.

Das Erreichen der Erweichungstemperatur wird mittels der Temperatur mes seinrichtung 25 erfas st, die beispielsweise als Infrarot-Mes sein- richtung ausgebildet werden kann, so das s die Temperatur des Lotmateri als 16 mittels der Reflektions strahlung R des Lotmaterials 16 ermittelt und nach Erreichen eine entsprechende Abschaltung der Lasereinrichtung 24 und die Durchführung der gegebenenfalls mehrachsigen Bewegung des Greifwerkzeugs 23 erfolgen kann.