Derartige Verfahren und Vorrichtungen sind in der Technik bekannt. Bei- spielsweise ist es in der Halbleiterindustrie zur Herstellung elektronischer Bauteile üblich, scheibenförmige Halbleitersubstrate mittels Heizlampen mit hohen Heizraten von mehr als 100 °C pro Sekunde thermisch zu behandeln.

Dabei folgt die thermische Behandlung in der Regel einem vorgegebenen zeitlichen Temperaturprofil. Um dieses Temperaturprofil zu erreichen, ist eine Regelung der von den Lampen emittierten Heizleistung notwendig. Indem die Heizlampen mit einem vorgegebenen Leistungsprofil angesteuert werden, folgt die Wafertemperatur einem bestimmten Temperaturverlauf. Dabei ist je- doch zu beachten, daß zwischen der von den Lampen abgegebenen Strah- lungsleistung und der Temperatur des Wafers kein lineares Verhältnis be- steht, was auf unterschiedliche Effekte zurückzuführen ist, insbesondere dem Stefan-Boltzmannschen Gesetz (wie dies z. B. in US 4,761,538 beschrieben ist), aber auch beispielsweise der Form einer Prozeßkammer, der Anordnung verschiedener Elemente innerhalb der Prozeßkammer, der Position des Wa- fers bezüglich der Heizlampen, etc. Daher ist eine einfache Steuerung des Temperaturprofils über eine vorgegebene Ansteuerung der Lampen nicht möglich.

Aus diesem Grund erfolgt eine ständige Überwachung der momentanen Wa- fertemperatur mit gleichzeitiger Nachregelung derselben bei einer Abwei- chung von einem Soll-Temperaturwert. Dabei werden zwei unterschiedliche Regelprozesse eingesetzt, nämlich ein geschlossener Temperaturregelkreis, z. B. eine PtD-Regetung einerseits und eine sogenannte Vorwärtssteuerung andererseits.

Im Folgenden soll von Regelung gesprochen werden, wenn wenigstens eine Größe eines Systems auf einen Wert (oder innerhalb eines Intervalles um die- sen Wert) gebracht werden soll, wobei diese Größe auf eine Regelvorrichtung zurückgeführt wird, so daß die Regelvorrichtung abhängig von der betrachte- ten Größe des Systems den gewünschten Wert möglichst optimal einstellt.

Dabei kann die Größe unmittelbar im System z. B. durch Messung erfaßt wer- den, sie kann aber auch z. B. aus einem Modell, welches das System mög- lichst gut wiedergibt resultieren. Hierbei spricht man von modellbasierter Re- gelung. Ebenso kann bei Systemen, die hinsichtlich mehrerer Größen geregelt werden, eine Kombination aus modellbasierter und erstgenannter Rückfüh- rung der Größen vorliegen. Im allgemeinen bezeichnet man die Rückführung derartiger Größen als Rückkopplung.

Im Gegensatz zur Regelung wird bei der Steuerung nicht die zu steuernde Größe des Systems auf eine Steuervorrichtung zurückgeführt. Die zu steu- ernde Größe wird bei der Steuervorrichtung z. B. durch ein Modell bestimmt und/oder über eine andere Größe als der zu steuernden Größe gesteuert.

Bei einem geschlossenen Temperaturregelkreis wird der momentane Ist-Wert der Wafertemperatur mit einem vorgegebenen Soll-Wert verglichen. Bei Ab- weichungen zwischen den beiden Werten greift eine Regelvorrichtung ein und sorgt für ein Angleichen der beiden Werte, indem beispielsweise die Heizlam- pen stärker oder geringer angesteuert werden. Je größer die Regeldifferenz ist, um so stärker ist die Nachregelung. Nachteile dieser Regelung sind a), daß die Regelvorrichtung nicht über zukünftig Änderungen des Soll-Wertes informiert ist und b), daß die Wafereigenschaften nicht in Betracht gezogen

werden, die sich während des Regelvorganges ändern können, weshalb eine solche Regelung nicht vorausschauend reagieren kann.

Diese Nachteile werden durch eine Vorwärtssteuerung ausgeglichen, die ne- ben einer bisherigen Entwicklung, dem Soll-Wert und dem momentanen Ist- Wert auch die zukünftig Entwicklung des Soll-Wertes in den Regelungspro- zeß mit einbezieht. Dadurch wird die Anpassung des Ist-Wertes an den Soll- Wert genauer, da die Regelvorrichtung zukünftig Änderungen des Soll- Wertes in die Regelung mit einbezieht.

Für eine noch genauere Regelung wird ein zukünftiges Verhalten des Ist- Wertes im voraus berechnet, und zwar anhand eines Simulationsmodells be- stehend aus Heizvorrichtung und zu behandelndem Objekt bzw. Wafer. In diesem Fall spricht man von vorhersage-geregelten Prozessen. Da die Wär- mekapazitäten einzelner Kammerkomponenten bekannt sind und bekannt ist, welche Lampenleistung in die Kammer eingestrahlt wird, läßt sich die Wafer- temperatur sowie ihre künftige Entwicklung in Abhängigkeit vom Verlauf des Profils der Heizleistung im voraus durch die Vorhersage des Simulationsmo- dells abschätzen.

Diese Abschätzung, die bisher auf einem starren Simulationsmodell erfolgte, ist jedoch sehr schwierig, da die verschiedenen Komponenten in der Prozeß- kammer einschließlich der Heizvorrichtung und des zu behandelnden Objekts ein nichtlineares System darstellen. Trotz dieser Schwierigkeiten läßt sich bei diesem Verfahren die Anpassung des Verlaufs der Wafertemperatur an das Soll-Profil verbessern.

Wie schon erwähnt, behandeln solche Simulationsmodelle die Kammer mit allen ihren Einzelkomponenten und dem Wafer zusammen als ein System.

Zwischen einzelnen Systemkomponenten wird nicht unterschieden. Darüber hinaus werden die bisher bekannten Simulationsmodelle einmal aufgestellt und anschließend nicht mehr geändert, insbesondere nicht während eines Prozesses, d. h. während das Objekt eine Temperatur-Zeit-Behandlung er-

fährt. Veränderungen innerhalb des Systems, beispielsweise bei der Behand- lung unterschiedlicher Wafer (Objekte) mit unterschiedlichen optischen Eigen- schaften können nicht berücksichtigt werden. Insbesondere können prozess- verlaufs-undloder alterungsbedingte Veränderungen wie z. B. die von einer Heizlampe abgegebene Strahlung oder andere Änderungen innerhalb der Kammer nicht berücksichtigt werden. Prozeßverlaufsbedingte Änderungen sind beispielsweise Erwärmungen der Prozeßkammer, bestehend z. B. aus Quarzglas, und die damit zusätzliche entstehende Wärmeabstrahlung in ei- nem von der Lampenstrahlung im allgemeinen unterschiedlichen Wellenlän- genspektrum.

Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum thermi- schen Behandeln von Objekten in einer Heizanlage vorzusehen, die eine bes- sere Regelung eines Temperaturprofils eines zu behandelnden Objekts er- laubt.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß das Simulations- modell wenigstens ein Einzelmodell umfaßt, welches Komponenten der Heiz- vorrichtung und/oder des Objekts umfaßt, und daß wenigstens ein Parameter wenigstens eines der Einzelmodelie während der thermischen Behandlung überwacht und daß das Simulationsmodell wenigstens an einen der über- wachten Parameter angepaßt wird. Hierdurch ergibt sich der Vorteil, daß das Simulationsmodell dynamisch an sich verändernde Betriebsbedingungen, wie beispielsweise altersbedingte Veränderungen der Heizleistung der Lampen, Objekte mit unterschiedlichen optischen Eigenschaften, etc. angepaßt werden kann. Durch die Anpassung des Simulationsmodells ist eine genauere Rege- lung des Temperaturverlaufs des zu behandelnden Objekts insbesondere auch deshalb möglich, da auch vorteilhaft prozeßverlaufsbedingte Änderun- gen wie z. B. die oben genannte Erwärmung von z. B. Prozeßkammer (insbe- sondere auch die darin enthaltenen Quarzteile), bei der Temperaturregelung berücksichtigt werden können. Dies kann z. B. vorteilhaft zur Reduktion des sogenannten"first wafer"-Effekts eingesetzt werden. Hierbei handelt es sich

um den Einfluß der Prozeßkammertemperatur auf das Prozeßergebnis bei der Prozessierung von Wafern, wenn z. B. die Prozeßkammer beim Prozessieren der ersten Wafer noch nicht ihre mittlere"Betriebstemperatur"erreicht hat.

Dieser Effekt tritt immer zu Beginn von z. B. einer Massenproduktion auf oder wenn zwischen dem Prozessieren einzelner Wafer soviel Zeit ist, daß die Pro- zeßkammer auf Temperaturen abkühlen kann, die unter denen bei z. B. Mas- senproduktion liegt. Dadurch können anlagenbedingt die Prozeßergebnisse vom Durchsatz der Wafer abhängig werden, was natürlich unerwünscht ist.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird das Objekt mit wenigstens einer Heizlampe einer Heizvorrichtung bestrahlt. Vorzugsweise ist für wenigstens eine Heizlampe der Heizvorrichtung ein Einzelmodell mit we- nigstens einem überwachten Parameter vorgesehen, und es werden Be- triebsparameter der Heizlampe, insbesondere die abgestrahlte Heizleistung in Relation zur Ansteuerleistung, überwacht, um Veränderungen festzustellen und gegebenenfalls das Simulationsmodell anzupassen.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist für das zu behandelnde Objekt ein Einzelmodell vorgesehen und Parameter des zu be- handelnde Objekts, insbesondere dessen optische Eigenschaften, werden überwacht, um gegebenenfalls eine Anpassung des Simulationsmodells vor- zunehmen. Von besonderer Bedeutung sind die Absorptionseigenschaften (bzw. im allgemeinen die optischen Eigenschaften wie Transmission, Absorp- tion oder Reflexion) des zu behandelnden Objekts bzw. die Kopplung an die Heizstrahlung bei unterschiedlichen Temperaturen, welche die Regelung, ins- besondere eine Vorwärtssteuerung stark beeinflussen. können, da diese Ei- genschaften für z. B. Si-Wafer stark temperaturabhängig sind. Vorzugsweise werden die Parameter auf gegenüberliegenden Seiten des Objekts getrennt voneinander ermittelt.

Für eine weitere Optimierung des gesamten Modells werden die Datenüber- tragungszeiten und/oder die Rechenzeiten ermittelt und hierfür vorgesehene Einzelmodelle werden an die ermittelten Werte angepaßt. Bei einigen Meßvor- richtungen, wie beispielsweise Pyrometern, ist eine Temperaturermittlung des

Objekts unter 400°C nicht oder nur sehr schwer möglich. Daher werden die Temperaturen des Objekts unter 400°C vorzugsweise nachträglich anhand des Simulationsmodells berechnet, und diese errechneten Daten werden in der Regelung aufgenommen.

Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird auch bei einer Vorrichtung zum thermischen Behandeln von Objekten, insbesondere von Halbleiterwa- fern, mit einer Heizvorrichtung, insbesondere einer Schnellheizvorrichtung, einer Regeleinheit mit einem Temperatur-Regler und einer Vorwärtssteue- rung, der ein Simulationsmodell aus Heizvorrichtung und Objekt verwendet, dadurch gelöst, daß eine Überwachungseinheit vorgesehen ist zum Abtasten von für das Simulationsmodell relevanten Parametern von Komponenten der Heizvorrichtung und/oder des Objekts, zum Vergleichen der gemessenen Pa- rameter mit den Parametern des Simulationsmodells und zum Anpassen der Parameter des Simulationsmodells an die gemessenen Parameter. Bei dieser Vorrichtung ergeben sich die schon oben unter Bezugnahme auf das Verfah- ren genannten Vorteile.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert ; in der Zeichnung zeigt : Fig. 1 schematisch den Aufbau einer Heizvorrichtung zum thermi- schen Behandeln von Objekten ; Fig. 2 eine graphische Darstellung eines Ist-und eines Soll- Temperaturprofils bei einer thermischen Behandlung eines Halbleiterwafers mit PID-Regelung ; Fig. 3 eine graphische Darstellung für die Ermittlung der von einer Lampe erzeugten Strahlung ; Fig. 4 eine graphische Darstellung eines Lampenmodells in einem Regelkreis ; Fig. 5a und b Kurven, welche die Lampenstrahlung bei Spannungssprüngen ohne Strahlungsregler während einer Aufheizphase bzw. wäh- rend einer Abkühiphase zeigen ;

Fig. 6a und b Kurven ähnlich wie die der Fig. 5a und b, welche die Lei- stungssprünge mit Strahlungsregler zeigen ; Fig. 7 eine graphische Darstellung einer Vorsteuereinheit ; Fig. 8 eine graphische Darstellung einer erweiterten Vorsteuerein- heit.

Fig. 1 zeigt schematisch den Aufbau einer Heizvorrichtung 1 zum thermischen Behandeln von Halbleiterwafern 2. Die Vorrichtung 1 weist eine innere, in der Regel aus Quarzglas bestehende Prozesskammer 3 mit Halteelementen 5 zur Aufnahme des Halbleiterwafers 2 auf.

Oberhalb und unterhalb der Prozesskammer 3 sind Lampenbänke 7 und 8 vorgesehen, die durch eine Vielzahl von stabförmigen Lampen wie beispiels- weise Wolfram-Halogenlampen oder Bogenlampen gebildet werden. Es kann aber auch nur eine Lampenbank z. B. zum einseitigen Beheizen eines Objekts vorhanden sein. Natürlich können auch andere Lampen verwendet werden.

Zum thermischen Behandeln des Wafers 2 werden die Lampen derart ange- steuert, dass sie eine bestimmte elektromagnetische Strahlung abgeben, die sowohl in ihrer räumlichen und/oder spektralen Zusammensetzung als auch in ihrer Intensität steuerbar ist.

Während der thermischen Behandlung wird die Temperatur des Wafers ge- messen. Hierzu sind zwei Pyrometer, ein Lampenpyrometer 10 einerseits und ein Waferpyrometer 11 andererseits vorgesehen. Das Lampenpyrometer 10 misst die von wenigstens einer Lampe abgegebene elektromagnetische Strahlungsintensität lo, während das Waferpyrometer 11 die von dem Wafer 2 ausgehende Strahlungsintensität lw sowie am Wafer 2 reflektierte Strahlungs- intensität Ir und gegebenenfalls auch eine durch den Wafer transmittierte Strahlung misst. Die von den Lampen ausgehende Strahlungsintensität 1. be- sitzt eine bestimmte Modulation, die entweder aktiv, d. h. durch gezielte, defi- nierte und/oder steuerbare Modulation der Strahlung, oder passiv, d. h. durch Ausnutzung systembedingter Strahlungsänderungen, die z. B. durch die Fre- quenz der Spannungsversorgung entstehen können, erreicht wird. Diese Mo-

dulation 1 ; §sst sich auch in der am Wafer 2 reflektierten Strahlungsintensität Ir erkennen, und daher lässt sich der tatsächlich von dem Wafer 2 ausgehende Teil, der am Waferpyrometer 11 gemessenen Wärmestrahlung in einer Signalauswerteschaltung 12, der sowohl die Signale des Lampenpyrometers 10 als auch des Waferpyrometers 11 zugeführt werden, ermitteln. Einzelhei- ten dieses Messverfahrens sind beispielsweise in der auf dieselbe Anmelderin zurückgehenden DE-A-198 55 683 beschrieben, auf die insofern Bezug ge- nommen wird, um Wiederholungen zu vermeiden. Die derart gemessene Wa- fertemperatur wird mit einer Soll-Wafertemperatur im Rahmen z. B. einer PID- Regelung verglichen, es wird eine Regelgröße für die Lampenbänke 7,8 er- mittelt, und sie werden dementsprechend angesteuert.

Fig. 2 zeigt den Soll-Temperaturverlauf A und den Ist-Temperaturverlauf B eines Wafers bei einer herkömmlichen thermischen Behandlung. Die gestri- chelte Kurve A zeigt den erstrebte bzw. Soll-Temperaturverlauf für den Wa- fer und die durchgezogene Kurve B zeigt den Ist-Temperaturverlauf des Wa- fers. Die gestrichelte Kurve zeigt zunächst ehe konstante Temperatur To, die in einem Zeitintervall zwischen to und ti mit einer konstanten Rate, von bei- spielsweise 100° C pro Sekunde auf eine Temperatur Tr ansteigt und an- schließend konstant auf dieser Temperatur verweilt. Bei der oben beschriebe- nen Regelung nach dem Stand der Technik, z. B. einer reinen PID-Regelung, folgt der Ist-Temperaturverlauf des Wafers nicht diesem linearen Verlauf.

Vielmehr beginnt das Aufheizen des Wafers erst zu einem späteren Zeitpunkt als bei der Soll-Kurve. Die Aufheizrate bei der Ist-Kurve ist dann größer als bei der Soll-Kurve und die Ist-Kurve geht über die angestrebte Endtemperatur Tr des Wafers hinaus und pendelt sich dann erst einige Zeit nach dem Zeit- punkt ti auf die gewünschte Endtemperatur T1 ein.

Wie zuvor erwähnt, können die Differenzen zwischen Soll-und Ist-Kurve durch zusätzliches Einbinden einer Vorwärtssteuerung, die eine zukünftig Entwicklung des Soll-Wertes in die Regelung einbezieht sowie ein zukünftiges Verhalten des Ist-Wertes anhand eines Simulationsmodells im Voraus be-

rechnet, verbessert werden. Das dabei bisher verwendete Simulationsmodell ist wie erwähnt ein starres Simulationsmodell.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird das der Regelung zugrunde liegende Simulationsmodell dadurch verbessert, dass eine Anpassung des Simulai- onsmodells, insbesondere eine Anpassung während des Prozeßablaufs, an sich verändernde Parameter ermöglicht wird. Dies wird dadurch erreicht, dass das Simulationsmodell in Komponenten zerlegt wird und für wenigstens eine oder auch jede Komponente des Modells ein geeignetes Einzelmodell erstellt wird, und daß eine Messung von wenigstens einem Parameter dieses Einzel- modells oder der Einzelmodelle sowie eine anschließende Anpassung von Parametern im Einzelmodell während des Prozesses erfolgt.

Aufgrund dieses Gesamtmodells können Regelparameter für die einzelnen Komponenten festgelegt werden, die schließlich in einer Regelvorrichtung der Gesamtanlage gespeichert werden. Auf diese Weise lässt sich über die Ein- zelmodelle bzw. deren Regelparameter gezielt der Temperaturverlauf eines Wafers steuern und regeln. Das Gesamtmodell ist an sich verändernde Be- dingungen, wie zum Beispiel Veränderungen der gemessenen Parameter an- passbar.

Zum besseren Verständnis der Erfindung wird nachfolgend auf die Figuren 3 bis 8 eingegangen. Fig. 3 zeigt eine grafische Darstellung für die Ermittlung der von einer Lampe erzeugten Strahlung durch eine Kombination aus Modell, Messung und angepasstem Modell mit dessen Integration in einem unterla- gerten Strahlungs-Regelkreis. Zunächst wird ein Lampenmodell aufgrund der spezifischen Größen der Lampe erstellt. Charakteristische Größen einer Lam- pe, die als Modellparameter in Frage kommen, sind der sie durchfließende Strom, die anliegende Spannung, ihr Widerstand, die aufgenommene Leistung und die emittierte Strahlungsleistung. Im statischen Fall ist die von der Lampe aufgenommene elektrische Leistung gleich der emittierten Leistung. Außer- dem korreliert die emittierte Strahlungsleistung der Lampe über die Filament- temperatur direkt mit ihrem Widerstand. Basierend auf diesen Zusammenhän-

gen kann man das in Fig. 3 gezeigt Lampenmodell erstellen, wie es unter an- derem auch in J. Urban et al. in dem Artikel"Thermal Model of Rapid Thermal Processing Systems"in der 7th International Conference on Advanced Ther- mal Processing of Semiconductors-RTP'99 beschrieben ist, der insofern zum Gegenstand der vorliegenden Erfindung gemacht wird, um Wiederholun- gen zu vermeiden. Bei diesem Modell wird eine einzelne Lampe durch drei Parameter spezifiziert, nämlich ihre Widerstandskennlinie R = f (T) als Funkti- on ihrer Temperatur T, ihre Wärmekapazität C (eventuell ebenfalls als Funkti- on der Temperatur T) und eine die Abstrahlungsleistung bestimmende Kon- stante s6A. Dabei entspricht s dem Emissionsgrad, a der Stefan-Boltzmann- Konstante und A der Fläche, bzw. der effektiven Fläche, des Lampenfila- ments.

In das Lampenmodell wird als Stellgröße g die an der Lampe anliegende Spannung u eingegeben. Aus der Spannung und dem Widerstand R, den die Lampe entsprechend ihrer Kennlinie bei einer Temperatur T hat, wird die Größe des durch die Lampe fließenden Stroms i ermittelt. Nach Pel = u i be- stimmt sich daraus die in der Lampe umgewandelte elektrische Leistung Peul.

Anhand des Abstrahlungsgesetzes von Stefan-Boltzmann ! ässt sich die von der Lampe emittierte Strahlungsleistung Pstr anhand der Lampentemperatur und den Abstrahlungskonstanten (Emissionskonstanten) ermitteln. Die Strah- lungsleistung wird von der umgewandelten elektrischen Leistung abgezogen, wodurch man den Anteil der Leistung, der in der Lampe in Wärme umgewan- delt wurde, erhält, die das Filament und die Lampe erwärmt. Mittels der Wär- mekapazität c der Lampe, die im wesentlichen durch die Masse des Filament- drahtes vorgegeben ist, wird eine neue Temperatur T der Lampe berechnet.

Dies ist in Fig. 3 durch das 1/c und durch das Integralglied dargestellt. An- hand der neuen Temperatur wird ein neuer Filamentwiderstand R der Lampe und daraus die umgesetzte Lampen ! eistung Pe) neu ermittelt und zum anderen wird die emittierte Lampenstrahlung Pstr neu ermittelt. Auf diese Weise 1 ; §sst sich der Einfluss der Steligröße g auf die von der Lampe emittierte Strah- lungsleistung Pstr bestimmen, insbesondere wird das dynamische Verhalten der Lampe beschrieben.

In einem nächsten Schritt werden die in dem Lampen-Modell aufgenommenen Parameter für eine vorgegebene Lampe vermessen. Hierdurch lässt sich das Modell optimieren und auf eine bestimmte Lampe einstellen. insbesondere werden die Abhängigkeit des Widerstands von der Filamenttemperatur, die Wärmekapazität C des Filaments sowie die Konstanten e sA ermittelt, wobei c, s und A auch als Funktion der Temperatur bestimmt werden können. Op- tional können können auch e und A an die Temperatur angepaßt werden. Die ermittelten Parameter werden in das Lampenmodell eingesetzt, wodurch sich ein spezifisches Modell für die Lampe ergibt.

Der Einsatz des Lampenmodells aus Fig. 3 in einem Regelkreis 20 ist in Fig. 4 dargestellt. In dem Regelkreis 20 wird die aufgrund des Lampenmodells 25 berechnete Strahlungsleistung Pstr (hier als überwachter Parameter des Lam- penmodells) einmal mit der tatsächlichen, mittels eines Pyrometers 26 ge- messenen Lampenstrahlung h verglichen. Die Differenz zwischen berechneter und gemessener Lampenstrahlung dient zur weiteren Optimierung des Lam- penmodells 25 über eine Modell-Optimierungseinheit 28, die für eine Anpas- sung von z. B. R, E, A oder c sorgt. Außerdem wird die berechnete Strah- lungsleistung Pist (=Pstr) mit einem Soll-Strahlungswert e verglichen und die Lampenstrahlung wird anhand der ermittelten Differenz über einen Strah- lungsregler 30 geregelt. Die von dem Strahlungsregler 30 ausgegebene Stell- größe g, die einer Effektivspannung entspricht, dient neben der Ansteuerung der Lampen auch als Eingangsgröße für das Lampenmodell. Wie sich aus der obigen Beschreibung ergibt, kann das Lampenmodell, welches bei der Rege- lung der Temperatur eines Wafers verwendet wird, dynamisch an sich verän- dernde Bedingungen angepasst werden, indem die tatsächlich von der Lampe abgegebene Strahlungsleistung mit der innerhalb des Modells berechneten Strahlungsleistung verglichen wird. Zusätzlich oder alternativ kann man wäh- rend des Prozesses andere Lampenparameter m, wie zum Beispiel Strom oder Spannung messen und das Lampenmodell anhand der gemessenen Pa- rameter optimieren. Es ist aber auch möglich, das Lampenmodell zu Beginn

mit den gemessenen Parameterwerten zu initialisieren und auf eine prozess- begleitende Optimierung dieser Größen zu verzichten.

Bei dem oben beschriebenen Verfahren ist von besonderer Bedeutung, dass die Stellgröße g, die der Lampenansteuerung dient, nicht mehr wie bisher üb- lich auf der Grundlage eines Vergleichs zwischen dem Soll-Strahlungswert e und einem gemessenen realen Lampenstrahlungswert bestimmt wird, sondern sich aus dem Soll-Strahlungswert e und der vom Lampenmodell berechneten Lampenstrahlung Pstr ergibt. Dies führt zu einer Erhöhung~ der Regelge- schwindigkeit und darüber hinaus ergeben sich innerhalb des Regelprozesses weniger Störungen.

Der Effekt und Vorteil der oben beschriebenen Regelung ist in den Oszillo- graphenbildern. 5 a, b und 6 a, b dargestellt. In den Figuren 5a und 5b wurde die Lampe auf konventionelle Art über die Spannung als Stellgröße und ohne Strahlungsregler (Lampenmodell, Lampenmodell-Optimierungseinheit) ange- steuert. Dabei zeigt Fig. 5a eine sich erhöhende Strahlungsleistung und Fig.

5b eine sich verringernde Strahlungsleistung. Die Spannung wurde dabei treppenförmig verändert. Wie man den Oszillographenbildern entnehmen kann, spiegelt die von der Lampe abgestrahlte Leistung diesen treppenförmi- gen Verlauf der Spannung nur stark verfremdet wider. Statt einer stufenförmi- gen Veränderung der Lampenstrahlungsintensität ist ein wellenförmiger Ver- lauf zu erkennen.

Die Figuren 6a und 6b zeigen wiederum den zeitlichen Verlauf der emittierten Strahlung einer Lampe einmal bei Erhöhung (Fig. 6a) und einmal bei Verrin- gerung (Fig. 6b) der Lampenleistung. In diesem Fall wurden die Lampen über den in Fig. 4 dargestellten Regelkreis angesteuert. Der in den Figuren 6a und 6b gezeigte Verlauf der Strahlungsintensität zeigt einen treppenförmigen Verlauf. Es wurde ein Strahlungsregler verwendet und die vom Modell be- rechnete Strahlungsintensität als Steligröße zugrunde gelegt. Beim Vergleich der Oszillographenbilder gemäß Fig. 5a, b und 6a, b ist zu beachten, dass die Y-Achsen unterschiedlich hohe Werte aufzeigen. Dies resultiert daraus, dass

bei den Spannungssprüngen tatsächlich nur die Spannung als Stellgröße ver- ändert wird, bei den Leistungssprüngen aber ein Soll-Wert für die Strahlungs- Leistung vorgegeben wird. Insgesamt stellen Lampen, die über den in Fig. 4 dargestellten Regelkreis angesteuert werden (Fig. 6 a, b), Stellglieder mit dy- namischerem Verhalten dar. Mit ihnen läßt sich auch der Temperaturverlauf des Wafers exakter an ein vorgegebenes Temperaturprofil anpassen.

Bei der Wärmebehandlung eines Wafers kann jede einzelne Lampe der Lam- pen einer Heizvorrichtung auf diese Weise individuell geregelt werden.

Fig. 7 zeigt eine an die Eigenschaften des Wafers angepasste Vorsteuerung mit einem Vorsteuerregler, der ein Modell des Wafers beinhaltet. Bei der dar- gestellten Regelung wird die Kopplung des Wafers an die Lampenstrahlung gemessen und anhand der gemessenen Kopplung wird eine an den Wafer angepasste Vorsteuerung erzeugt. Die Vorsteuerregelung erzeugt eine Stell- große für die einzelnen Lampen bzw. Lampenbänke, die von der Temperatur, der Temperaturänderung, der Wafergröße und eventuell anderen Wafereigen- schaften abhängt.

Eine vom Wafer emittierte und reflektierte Strahlung i wird in der Messeinheit 40 gemessen und zur Berechnung der Wafertemperatur j herangezogen. Die vom Wafer emittierte Strahlung i wird ferner in einer Kopplungs-Messeinheit 43 mit einer gemessenen Lampenstrahlung h verglichen, wodurch sich eine Kopplung k des Wafers an die Lampenstrahlung ermitteln lässt. Zur Bestim- mung der Kopplung k des Wafers an die Lampenstrahlung wird eine breitban- dige aktiv modulierte Messung der von den Lampen und vom Wafer emittier- ten Strahlung verwendet. Die Messung erfolgt mit zwei Pyrometern, wie es aus der auf dieselbe Anmelderin zurückgehenden DE-A-198 55 683.7 bekannt ist, die insofern zum Gegenstand der vorliegenden Erfindung gemacht wird, um Wiederholungen zu vermeiden. Die Größe der Kopplung k zwischen Wafer und Lampenstrahlung ist von unterschiedlichen Parametern abhängig. Bei- spielsweise können die Wafer mit verschiedenen Materialien sogar mehrfach beschichtet und/oder strukturiert sein, was neben dem Problem unterschiedli-

cher Absorptionseigenschaften und nicht homogener Temperaturverteilungen über die Waferoberfläche hinweg auch zu Interferenzeffekten der Heizstrah- lung an diesen Schichten führt. Unter dem Begriff der Kopplung k zwischen Wafer und Lampenstrahlung ist der Grad der Wechselwirkung zwischen dem Wafer und dem Strahlungsfeld zu verstehen, also sein Absorptions-und Emissionsgrad über alle vorkommenden Wellenlängen.

Die berechnete Wafertemperatur j wird am Punkt 45 mit einem Temperatur- Sollwert a verglichen. Eine Differenz b aus Soll-und Ist-Wert wird an einen Temperaturregler, z. B. einen PID-Temperaturregler 47 weitergegeben, der aufgrund der Differenz b in bekannter Weise einen Lampen-Ansteuerwert c ermittelt. Der Sollwert a und die berechnete Kopplung k zwischen dem Wafer und der Lampenstrahlung werden an einen Vorsteuerregler 50 geleitet, der einen Vorsteuerwert d in Abhängigkeit von der Wafereigenschaft k liefert. Der Vorsteuerwert d und die Ausgangsgröße c des Temperaturreglers werden am Punkt 54 zu einer Stellgröße e addiert, sodass die aktuelle Steligröße e aus Berechnungen resultiert, die auf der Basis der letzten Messung ermittelt wur- den. Dabei kann das zugrunde liegende Modell auch andere Parameter der Kammer, der Haltevorrichtung oder der Lampen wie z. B. die Quarztemperatur, Umgebungstemperatur usw. beinhalten. Die Steligroße e wird am Regler 55a, 55b für die obere bzw. untere Lampenbank weitergeleitet.

Alle oberhalb des Wafers befindlichen Lampen sind zur oberen Lampenbank 7 zusammengefasst und die unterhalb des Wafers liegenden Lampen sind zur unteren Lampenbank 8 zusammengefasst. Jede der n Lampen der oberen und unteren Lampenbank besitzt einen individuellen Regelkreis (LCL) wie er unter Bezugnahme auf Fig. 4 beschrieben wurde. Beim Aufheizen in einem homogenen Lampenfeld heizen sich die Randbereiche eines scheibenförmi- gen Wafers stärker auf als die Wafermitte. Zum Erreichen einer homogenen Temperaturverteilung über den Wafer hinweg müssen daher einzelne Lampen der Lampenbänke unterschiedlich stark strahlen. Zu diesem Zweck sind Kon- trolltabellen (LCT) für die einzelnen Lampen vorgesehen. Anhand der Kon- trolltabellen wird die Strahlungsstärke jeder einzelnen Lampe während einer

thermischen Behandlung eingestellt. Die hierfür erforderlichen Einstellein- richtungen sind den Lampenregelkreisen vorgeschaltet. Sie werden über die Stehgröße e angesteuert und sorgen für eine gewünschte Lampenstrahlung h.

Da die jeweiligen Lampen in unterschiedlichen Situationen unterschiedliches dynamisches Verhalten zeigen, ist es von besonderem Vorteil, dass jede Lampe anhand ihrer individuellen Kennlinie mit einem individuellen Regelkreis gemäß Fig. 4 angesteuert wird. Hierdurch wird ein homogeneres Aufheizen des Wafers insbesondere in den Randbereichen erreicht. Aufgrund der ge- messenen Parameter h und i, die eine Aussage über die Kopplung des Wa- fers an die Lampenstrahlung machen, erhält man Aufschluß über die Modell- parameter des Lampenmodells, die daraufhin angepaßt werden können. Ins- besondere dann, wenn es sich bei den Lampen um Bogenlampen handelt, erweist sich diese Methode als sehr vorteilhaft. Bemerkt sei, daß die Kon- trolltabellen (LCT) selbst wiederum durch ein Einzelmodell beschrieben wer- den können, welches wiederum mittels wenigstens eines Parameters (z. B. der radialen Wafertemperatur) überwacht und angepaßt werden kann.

Da es sich bei der Waferstrahlung i um die zu regelnde Größe handelt, sie erlaubt nämlich eine Aussage über die Wafertemperatur, und die Kopplung- Messeinheit 43 diese Strahlung i mit der Lampenstrahlung h vergleicht, han- delt es sich um eine Steuerung mit Rückkopplung. Die Lampenstrahlung h selber wird nicht im hier verstandenen Sinne geregelt, mit ihrer Hilfe wird die zu regelnde Größe i lediglich auf einen gewünschten Wert gebracht. Zu die- sem Zweck kann die Lampenstrahlung h prinzipiell jeden Verlauf nehmen, der zum vorgegebenen Wert von der zu regelnden Größe i führt ; sie ist nur eine Hilfsgröße. Dagegen wird der Messeinheit 40 die zu regelnde Waferstrahlung i zugeführt. Hier hat man es mit einer Regelung oben definierten Sinn zu tun.

Alterungseffekte von Lampen infolge langer Lebensdauer lassen sich durch eine einfache Anpassung ihres Modells mit neuen Parameterwerten schnell und ohne größeren Aufwand ausgleichen. Eine dynamische Anpassung der Lampenparameter in einem Lampenmodell anhand gemessener Parameter ist auch bei einem eventuellen Lampenwechsel sehr vorteilhaft. Bisher musste in

einem solchen Fall ein neues Modell mit entsprechenden Tabellen angefertigt werden. Bei der dynamischen Anpassung kann die Lampe jedoch automatisch ausgemessen werden und das Modell kann sich automatisch anpassen.

Durch eine solche Modellanpassung können die Lampen auch vorteilhaft län- ger im Einsatz bleiben. Ferner können überwachte Parameter wie z. B. die Pstr aus Fig. 4 oder davon abhängige Einzelmodellparameter bzw. Modellpara- meter zur Überwachung der Schnellheizanlage dienen, so daß z. B. ein Wech- seln von Lampen angezeigt werden kann, wenn Einzelmodellparameter au- ßerhalb vordefinierter oder angepaßter Grenzbereiche liegen.

Bei der in Fig. 7 dargestellten Vorsteuerung wurde nur die Kopplung der Wa- ferunterseite an die Lampenstrahlung berücksichtigt.

Fig. 8 zeigt ein System, bei dem neben der Kopplung der Waferunterseite auch die Kopplung der Waferoberseite an die Lampenstrahlung berücksichtigt wird. In Fig. 8 werden die selben Bezugszeichen wie in Fig. 7 verwendet, so- fern gleiche oder ähnliche Elemente betroffen sind.

Eine getrennte Betrachtung der Kopplung ist besonders bei Wafern von Vor- teil, bei denen die Oberseite und Unterseite unterschiedliche Materialschich- ten aufweisen und daher die optischen Eigenschaften des Wafers auf beiden Seiten unterschiedlich sind. insbesondere in der Halbleitertechnik sind in vie- len Fällen die Wafervorderseiten mit einer oder mehrerer Schichten unter- schiedlicher Materialien versehen, während die Rückseite des Wafers unbe- handelt ist. Außerdem kann eine der Oberflächen mikroskopische Strukturen aufweisen, während die andere Oberfläche flach ist. Berücksichtigt man diese Unterschiede in zwei getrennten Modellen für die Vorsteuerung, lässt sich die Regelung der Wafertemperatur noch weiter verbessern. Da sich die Ankopp- lung des Wafers an die Lampenstrahlung aus einem Durchschnittswert der Vorder-und der Rückseite ergibt, kann der Vorsteuerwert aus dem Durch- schnittswert der zwei voneinander unabhängigen Kopplungsmessungen er- mittelt werden.

Wie in Fig. 8 dargestellt ist, wird die von den oberen und unteren Lampenbän- ken emittierte Strahlung h getrennt ermittelt und für eine Ermittlung der Kopplung zwischen Lampenstrahlung und Wafer herangezogen. Aus diesen Werten ergeben sich unterschiedliche Anpassungen der Vorwärtsregelung für die obere und die untere Lampenbank in den Vorsteuerreglern 50a bzw. 50b.

Darüber hinaus ergibt sich eine unterschiedliche Ansteuerung der oberen und unteren Lampenbänke über eine Verteilereinheit 56.

Durch die unterschiedlichen Vorgaben für die Stellgröße der Lampenstrahlung für die obere und untere Lampenbank wird eine gleichmäßigere Erwärmung der Vorder-und Rückseite des Wafers 2 sichergestellt. Dies ist besonders bei sehr kleinen Strukturen vorteilhaft.

Die Erfindung wurde zuvor anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele der Er- findung beschrieben, ohne jedoch auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt zu sein. Beispielsweise könnten bei einer weiteren Ausführungsform Daten- übertragungsraten sowie Rechenzeiten einzelner Systemkomponenten be- rücksichtigt werden und als Parameter in das Modell für die Vorsteuerung ein- fließen. Vorteilhaft könnte auch die Messung von Anlagenparametern sein, die keinen direkten Bezug auf die Stellgröße haben. So können Verunreinigungen der Quarzkammer, die im Laufe des Prozesses auftreten und die Transmissi- on der Lampenstrahlung beeinflussen, im Modell durch geeignete Parameter vorgesehen werden, die dann messtechnisch z. B. durch Reflektions-oder Transmissionsmessungen erfasst werden und auf den Regelkreis mit einwir- ken. Für eine ideale Temperatursteuerung des Wafers sollten möglichst viele Einzelkomponenten des Systems berücksichtigt werden, wobei hier ein Kom- promiss zwischen Regelaufwand und Erfolg gefunden werden muss. Ferner können wie oben anhand des Lampenmodells über die (Einzel-) Modelle Sy- stemüberwachungsfunktionen wie z. B. Wartungsintervalle integriert werden.

Schließlich können die einzelnen Merkmale der oben beschriebenen Ausfüh- rungsformen untereinander kombiniert werden.