IN WERKSTÜCKEN

Gebiet der Erfindung

Die Erfindung bezieht sich auf Verfahren zur Erzeugung einer Vielzahl von Löchern in Werkstücken in Form von dünnen Platten und Substraten aus Glas und glasähnlichen Materialien sowie aus Halbleitern, ferner auf Vorrichtungen zur Durchführung der Verfahren und auf ein mit dem

Verfahren hergestelltes Erzeugnis.

Hintergrund der Erfindung

Das Perforieren von Kunststofffilmen durch elektrisch erzeugte Funken ist durch US 4,777,338 bekannt. Es ist eine Vielzahl von Elektroden-Gegenelektroden-Paaren vorgesehen, zwischen denen der Kunststofffilm geführt wird und über die Hochspannungsenergie entladen wird. Der Film wird dabei durch ein Wasserbad geführt, und die Temperatur des

Wasserbades dient dazu, die Abmessung der Perforationen zu beeinflussen .

Ein weiteres Verfahren zur Erzeugung von Poren in

Kunststofffilmen ist durch US 6,348,675 Bl bekannt. Es werden Impulsfolgen zwischen Elektrodenpaaren unter

Zwischenlage des Kunststofffilms erzeugt, wobei der erste Impuls zur Aufheizung des Kunststofffilms an der

Lochungsstelle und die weiteren Impulse zur Bildung der Lochung und deren Formung dienen. Aus US 4,390,774 ist die Bearbeitung auf elektrischem Wege von nicht leitfähigen Werkstücken im Sinne von Schneiden des Werkstücks oder Schweißen des Werkstücks bekannt. Ein Laserstrahl wird auf das Werkstück gerichtet, das während der Einwirkung verschoben wird, und es wird mittels zweier Elektroden Hochspannung an die erhitzte Zone angelegt, um Funkenüberschlag zu bilden, der zur Bearbeitung des

Werkstücks dient. Beim Schneiden des Werkstücks brennt dieses in einer kontrollierten Weise, oder die elektrische Leitfähigkeit nimmt mit der Temperatur zu, wie beim

Schneiden von Glas. Wenn Werkstücke geschweißt werden sollen, werden noch reaktive oder inerte Gasströme auf die erhitzte Zone gerichtet, die entweder mit dem Werkstück oder der Elektrode oder einem Flussmittel reagieren. Auf diese Weise kann Glas, Papier, Tuch, Karton, Leder,

Kunststoff, Keramik und Halbleiter geschnitten oder es kann Glas und Kunststoff geschweißt, Gummi vulkanisiert und Kunstharz thermisch ausgehärtet werden. Die Gerätschaft ist aber ihrer Art nach zu klobig, als dass feine Löcher in das Werkstück appliziert werden könnten.

Aus WO 2005/097439 A2 ist ein Verfahren zur Bildung einer Struktur, vorzugsweise eines Loches, eines Hohlraums oder eines Kanals in einer Region eines elektrisch isolierenden Substrats bekannt, bei dem Energie vorzugsweise in Form von Wärme, auch durch einen Laserstrahl, dem Substrat oder der Region zugeführt und eine Spannung an die Region angelegt wird, um dort einen dielektrischen Durchbruch zu erzeugen. Mit einem Rückkopplungsmechanismus wird der Vorgang

geregelt. Es können feine, einzelne Löcher nacheinander erzeugt werden, jedoch kann nicht mit mehreren

Elektrodenpaaren gleichzeitig gearbeitet werden. Dies deshalb, weil sich parallele Hochspannungselektroden gegenseitig beeinflussen und ein einzelner Durchbruch den gesamten Strom an sich zieht. Durch WO 2009/059786 AI ist ein Verfahren zur Bildung einer Struktur, insbesondere eines Loches, eines Hohlraums, eines Kanals oder einer Aussparung in einer Region eines

elektrisch isolierenden Substrats bekannt, bei der geladene elektrische Energie durch die Region entladen wird und zusätzliche Energie, vorzugsweise Wärme, dem Substrat oder der Region zugeführt wird, um die elektrische Leitfähigkeit des Substrats oder der Region zu vergrößern und dabei einen Stromfluss auszulösen, dessen Energie sich in dem Substrat in Wärme umwandelt, wobei die Rate der Wärmeumwandlung der elektrischen Energie durch ein Strom und Leistung

modulierendes Element gesteuert wird. Eine Vorrichtung zur Erzeugung mehrerer Löcher gleichzeitig wird nicht

offenbart . Aus WO 2009/074338 AI geht ein Verfahren zur Einführung einer Änderung der dielektrischen und/oder optischen

Eigenschaften in einer ersten Region eines elektrisch isolierenden oder elektrisch halbleitenden Substrats hervor, wobei auf das Substrat, dessen optische oder dielektrische Eigenschaften infolge zeitweiliger Zunahme der Substrattemperatur irreversibel verändert sind,

gegebenenfalls eine elektrisch leitende oder halbleitende oder isolierende Schicht aufweist, wobei elektrische

Energie durch eine Spannungszufuhr der ersten Region zugeführt wird, um diese signifikant aufzuheizen oder teilweise oder ganz zu schmelzen, ohne dass Material aus der ersten Region ausgeworfen wird, wobei ferner optional zusätzliche Energie zugeführt wird, um örtliche Wärme zu erzeugen und die Stelle der ersten Region zu definieren. Die Wärmeumwandlung der elektrischen Energie manifestiert sich in Form eines Stromflusses innerhalb des Substrats. Die Abgabe der elektrischen Energie wird durch ein Strom und Leistung modulierendes Element geregelt. Nach dem

Verfahren erzeugte Änderungen in Substratoberflächen umfassen auch Löcher, die in Borsilikatglas oder

Siliziumsubstraten erzeugt worden sind, die mit einer isolierenden Schicht aus Paraffin oder einem

Heizschmelzkleber versehen worden waren. Es werden auch Löcher in Silizium, in Zirkon, in Saphir, in Indiumphosphid oder in Galliumarsenid erzeugt. Teilweise wurde der

Entladungsprozess durch eine Laserbestrahlung bei einer Wellenlänge von 10,6 μm (CO ₂ -Laser) initiiert. Es werden auch Lochraster gezeigt, jedoch mit relativ weiten

Lochabständen. Eine Vorrichtung zur Erzeugung mehrerer Löcher gleichzeitig wird nicht offenbart.

Aus JP 2006 239 718 A ist bekannt, wie filamentartige

Kanäle innerhalb von transparenten Materialen zu erzeugen und die Filamente bis zum Boden des transparenten Materials reichen zu lassen. Dadurch können feine Strukturen wirksam und genau auf dem transparenten Material, beispielsweise Glas, erzeugt werden.

Die DE 37 42 770 A1 beschreibt Flachmembranen aus Folien von organischen Polymeren, Glas oder keramischen

Werkstoffen mit trichterförmig sich verjüngenden Poren definierter Porengröße, die durch Laserlicht erzeugt werden, indem eine Lochmaske auf das Werkstück abgebildet wird. Jedem Laserstrahl sind somit eine Vielzahl von Poren in dem Werkstück zugeordnet.

Aus dem Stand der Technik geht somit hervor, wie man Folien und dünne Platten aus dielektrischen Materialien mittels eines elektrischen Hochspannungsfeldes geeigneter Frequenz oder in Impulsform perforieren kann. Durch lokale

Aufheizung des Materials wird an den zu perforierenden Stellen die Durchschlagsfestigkeit herabgesetzt, so dass die angelegte Feldstärke ausreicht, einen elektrischen Strom durch das Material fließen zu lassen. Falls das

Material eine ausreichend starke Zunahme der elektrischen Leitfähigkeit von der Temperatur aufweist, wie dies bei Gläsern, Glaskeramiken und Halbleitern (auch vielen

Kunststoffen) zutrifft, entsteht in dem Material eine „elektrothermische Selbstfokussierung" des

Durchschlagskanals. Das Lochmaterial wird immer heißer, die Stromdichte nimmt zu, bis das Material verdampft und die Perforation „freibläst". Da die Perforation auf einem dielektrischen Durchbruch beruht, ist es jedoch schwierig, die gewünschte Stelle des Durchschlags genau einzuhalten. Bekanntlich nehmen Blitze einen sehr unregelmäßigen

Verlauf . Bei CPU-Chips gibt es mehrere Hundert Kontaktpunkte auf seiner Unterseite auf kleiner Fläche verteilt. Um

Zuleitungen zu den Kontaktpunkten zu schaffen, werden dünne (< 1 mm) Plättchen, mit Epoximaterial ummantelte

Glasfasermatten, sogenannte „Interposer", benutzt, durch die die Zuleitungen führen. Hierzu werden mehrere Hundert Löcher in dem Interposer angebracht und mit leitfähigem Material verfüllt. Typische Lochgrößen liegen im Bereich von 250 bis 450 μm je Loch. Zwischen CPU-Chips und

Interposer sollte es keine Längenänderungen geben. Die Interposer sollten deshalb ein Wärmedehnverhalten ähnlich dem Chip-Halbleitermaterial aufweisen, was jedoch bei den bisher verwendeten Interposern nicht zutrifft.

Was im Stand der Technik weiterhin fehlt, ist die Erzeugung in industriellem Maßstab einer Vielzahl von feinen Löchern nebeneinander mit Lochabständen im Bereich von 120 μm bis 400 μm mittels des elektrothermischen

Perforierungsvorgangs .

Allgemeine Erfindungsbeschreibung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erzeugung einer Vielzahl von Löchern in Werkstücken in Form von dünnen (< 1 mm) Platten und Substraten aus Glas und glasähnlichen Materialien sowie aus Halbleitern anzugeben, wenn eine oder mehrere der folgenden Forderungen erfüllt werden müssen:

- Die Löcher müssen exakt positioniert werden können

(± 20 μm) .

- Es müssen viele (10 bis 10.000) kleine Löcher pro

Werkstück bei engen Toleranzen der Löcher zueinander erzeugt werden können.

- Die Löcher müssen in einem engen Abstand (30 μm bis

1000 μm) zueinander erzeugt werden können.

- Die Löcher müssen im industriellen Maßstab, d. h. viele Mikrolöcher pro Werkstück gleichzeitig, erzeugt werden können . Insbesondere sollen „Glas-Interposer" hergestellt werden können, die sich wie folgt auszeichnen:

- Sie besitzen eine Lochstruktur mit Lochdurchmessern von 20 μm bis 450 pm, vorzugsweise zwischen 50 μm und 120 μm, mit Aspektverhältnissen (Glasdicke zu Lochdurchmesser-

Verhältnissen) von 1 bis 10.

- Die Lochanzahl variiert zwischen 1000 und 5000.

- Der Abstand der Mittelpunkte der Löcher liegt zwischen 120 μm und 400 μm.

- Die Lochform ist nicht ideal zylindrisch, sondern an dem Lochaus- und -eintritt ist die Randkante abgerundet.

- Eine Wulst um den Lochrand mit einer Wulsthöhe von

maximal 5 μm kann gegebenenfalls zugelassen werden.

- Die Lochwände sind glatt (feuerpoliert) .

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird in zwei Etappen vorgegangen. Zunächst wird das Loch im zu lochenden

Werkstück „vorgearbeitet", indem Laserstrahlen auf die vorbestimmten Lochungsstellen gerichtet werden, um in dem Substrat athermische Zerstörung entlang jeweils eines filamentartigen Kanals herbeizuführen. Wegen der

Transparenz des Materials dringt der Laserstrahl in das Material ein, und wenn die Strahlungsintensität sehr hoch ist, wird das Material örtlich durch die hohe

Laserfeldstärke athermisch zerstört. Dieser Effekt

verstärkt sich durch optische Selbstfokussierung in

transparentem Material. Deshalb wird ein gerader, äußerst dünner Schädigungskanal erzeugt. Dies erlaubt es, die

Löcher exakt zu positionieren. Da sich die Schädigung entlang eines sehr dünnen Kanals erstreckt, ist es möglich, solche filamentartigen Kanäle in engem Abstand zueinander herzustellen, ohne dass sich die Herstellungsvorgänge gegenseitig stören.

In einer zweiten Etappe werden die filamentartigen Kanäle auf gewünschten Lochdurchmesser gebracht. Dabei kann man sich im Prinzip auf bekannte Verfahrensweisen stützen, es ist aber auch möglich, innovative Verfahrensweisen

anzuwenden, um zur Aufweitung der filamentartigen Kanäle auf gewünschten Lochdurchmesser zu gelangen.

Gemäß weiterer Erfindung werden, ausgehend von der

Oberfläche des Platten- oder Substratmaterials, an den vorbestimmten Lochungsstellen örtlich begrenzte

Leitungsbereiche erzeugt, die als Mikroelektrode für einen Hochspannungsdurchschlag oder als Mikroantennen für zugeführte Hochfrequenzenergie ausgenutzt werden, um zu elektrothermischen Durchbrüchen und damit zur Bildung der gewünschten Löcher zu gelangen. Die örtlich begrenzten Leitungsbereiche können durch Erzeugung von Ionisation und Bildung von Plasma erzeugt werden.

Man kann die Leitungsbereiche auch durch örtlich

aufgedrucktes Material bilden, das von sich aus leitfähig ist oder durch Energieeintrag leitfähig wird.

Die Leitungsbereiche können auch durch Wärmeleitung wirksam gemacht werden, und in einem solchen Fall kann Strahlung absorbierende Farbe an den vorbestimmten Lochungsstellen aufgedruckt werden.

Die Erfindung betrifft auch Vorrichtungen zur Durchführung des Lochungsverfahrens. Es ist eine Vielfachanordnung von Lasern zur Abgabe von jeweiligen Laserstrahlen gemäß einem vorbestimmten Raster vorgesehen. Ein Werkstückhalter hält das zu lochende Platten- oder Substratmaterial quer zur Richtung der Laserstrahlen und ermöglicht die

Querverschiebung und Fixierung des Werkstücks in Relation zu der Vielfachanordnung der Laser. Die Laser sind in

Wellenlängenbereichen zwischen 3000 und 200 nm wirksam, in welchen das Platten- oder Substratmaterial wenigstens teilweise so transparent ist, dass der jeweilige

Laserstrahl in das Material eindringt. Es werden gepulste Laser verwendet, die eine erhebliche Strahlungsintensität erreichen, so dass das Material lokal athermisch zerstört wird. In dem Material eingebrachte Absorber/Streuzentren unterstützen diese Wirkung der örtlich eng begrenzten

Zerstörung .

Nach Herstellung der filamentartigen Kanäle können diese in zweierlei Weise, die auch miteinander kombinierbar sind, auf den gewünschten Lochdurchmesser gebracht werden:

1. durch Hochfrequenzenergie mit Erhitzen und

Schmelzen/Verdampfen des Materials entlang der

filamentartigen Kanäle, gegebenenfalls unterstützt in Kombination mit chemischer Einwirkung entlang der sich bildenden Lochwandungen,

2. durch Hochspannung erzeugten elektrothermischen

Durchbruch entlang der filamentartigen Kanäle,

gegebenenfalls mit chemisch/physikalischem Entfernen des ausgeräumten Materials.

Um die filamentartigen Kanäle zu gewünschten gleichmäßigen Löchern aufzuweiten, können Hochspannungselektroden eingesetzt werden, die sich gegenüberstehend nahe der filamentartigen Kanäle angeordnet sind. Dort ist die

Durchschlagsfeldstärke des Materials herabgesetzt, so dass infolge angelegter Hochspannung ein elektrischer Strom fließt, der zur Aufheizung des Materials entlang der filamentartigen Kanäle führt, wodurch wiederum die

elektrische Leitfähigkeit des in Betracht gezogenen

Materials örtlich zunimmt mit der Folge des noch stärkeren Stromflusses und der Aufheizung im Bereich der

filamentartigen Kanäle. Dies führt schließlich zur

Verdampfung von Lochmaterial und der Bildung der

gewünschten Löcher in dem Werkstück. Um die Güte der Löcher oder Perforationen in dem Werkstück hinsichtlich Rundheit und Gleichmäßigkeit zu steigern, werden

Hochspannungselektroden, die symmetrisch um jede Lochung des Elektrodenhalters angeordnet sind, umlaufend und in einem abwechselnden Muster zu den Gegenelektroden

eingeschaltet. Dadurch verlangsamt sich die Abnutzung der Elektroden und vergleichmäßigt sich, so dass auf längere Zeit gleichmäßig ausgebildete Löcher in den Platten oder Substratmaterialien erwartet werden können.

Statt der Anwendung von Hochspannungsfunken zum Ausräumen der Löcher kann auch Hochfrequenzenergie zum örtlichen Aufheizen des Materials bei den filamentartigen Kanälen benutzt werden. Die Laserstrahlen können nämlich an den vorbestimmten Lochungsstellen für die Bildung von Plasma sorgen, die als Mikroantennen für zugeführte

Hochfrequenzenergie ausgenutzt werden können. Indem die Elektrode und die Gegenelektrode plattenartig ausgebildet werden, kann man durch deren Erregung mit Hochfrequenz alle dem Raster der Lasterstrahlen zugeordnete Lochungsstellen des Platten- oder Substratmaterials gleichzeitig und ohne gegenseitige Störung elektrothermische Energie zuführen, um zu erhöhtem Stromfluss und Erwärmung des Lochmaterials mit Verdampfung und schließlich zu der gewünschten Lochbildung im Werkstück zu gelangen.

Die Herstellung der filamentartigen Kanäle und deren

Aufweitung kann in unterschiedlichen Vorrichtungsteilen erfolgen, es ist aber auch möglich, kombinierte Anlagen zu benutzen.

Eine kombinierte Anlage kann umfassen:

eine Vielfachanordnung von Lasern zur Abgabe von jeweiligen Laserstrahlen gemäß einem vorbestimmten Raster;

eine plattenartige Hochfrequenzelektrode mit Lochungen gemäß dem Raster;

eine plattenartige Gegen-Hochfrequenzelektrode mit

Lochungen gemäß dem Raster;

ein Werkstückhalter zum Verschieben und Fixieren des zu lochenden Platten- oder Substratmaterials im

Bearbeitungsraum zwischen den Hochfrequenzelektroden;

Zu- und Abführkanäle, um reaktive Gase und Spülgase den sich bildenden Löchern in dem Material zuzuführen sowie Reaktionsprodukte abzuführen.

Eine andere kombinierte Anlage kann ebenfalls eine

Vielfachanordnung von Lasern aufweisen, die zur Abgabe von Laserstrahlen nach vorbestimmtem Raster aufgestellt sind. Ein plattenartiger Elektrodenhalter weist Lochungen mit dem vorbestimmten Raster auf, das den vorbestimmten

Lochungsstellen des Platten- oder Substratmaterials angepasst ist. Symmetrisch um jede Lochung des Elektrodenhalters sind Hochspannungselektroden angeordnet. Im Abstand zum Elektrodenhalter und zur Bildung eines

Zwischenraums ist ein Gegenelektrodenhalter angeordnet, der an gegenüber liegenden Stellen zu den Elektroden

Gegenelektroden aufweist. Ein Werkstückhalter hält das zu lochende Platten- oder Substratmaterial im Zwischenraum von Elektrode und Gegenelektrode. Die Laser sind zu bestimmten Zeitpunkten zur Abgabe von Laserstrahlen einschaltbar, um filamentartige Kanäle gemäß des vorbestimmten Rasters in dem Platten- oder Substratmaterial zu erzeugen. Die

Elektroden und Gegenelektroden sind zu späteren Zeitpunkten zur Abgabe von Hochspannungsüberschlägen einschaltbar, um die Löcher in dem Platten- oder Substratmaterial zu

erzeugen.

In beiden prinzipiellen Verfahrensweisen kann das Muster der vorbestimmten Lochungsstellen in dem Werkstück

umfangreicher sein als das Raster der jeweiligen

Laserstrahlen. In einem solchen Fall kann das Muster der

Lochungen durch mehrfaches Verschieben des Rasters relativ zu dem Werkstück erzeugt werden. Auf diese Weise können die Löcher in engem Abstand erzeugt werden, obzwar die Laser in der Vielfachanordnung nicht so dicht gepackt sind, wie es dem Lochabstand entsprechen würde.

Kurze Beschreibung der Zeichnung

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der

Zeichnung beschrieben. Dabei zeigt: Fig. 1 eine erste Ausführungsform zur Erzeugung von

Mikrolöchern in dünnen Platten und Substraten aufgrund von Hochspannungsfunken und

Fig. 2 eine Vorrichtung zur Erzeugung von Mikrolöchern aufgrund von Hochfrequenz-Energieeintrag.

Detaillierte Beschreibung

Fig. 1 zeigt schematisch eine Anlage zur Erzeugung von Mikrolöchern in einem plattenartigen Werkstück 1 aus Glas, Glaskeramik oder Halbleitermaterial. Dieses ist eingefügt in einen Bearbeitungsraum 23 zwischen einem oberen, plattenartigen Elektrodenhalter 26 und einen unteren, plattenartigen Elektrodenhalter 37. Oberhalb des

Elektrodenhalters 26 ist eine Anordnung 4 von Lasern 40 vorgesehen. Das Werkstück 1 wird von einem Werkstückhalter 5 gehalten, der das Werkstück 1 innerhalb des

Bearbeitungsraumes 23 zwischen den Elektrodenhaltern 26 und 37 in sehr feinen Schritten zu verstellen vermag. Der

Elektrodenhalter 26 weist Lochungen 20 auf, zu denen die jeweiligen Strahlen 41 der Laser 40 fluchten. Verteilt im Kreis um die jeweiligen Lochungen 20 sind Elektroden 6 angeordnet, die über eine oder mehrere voneinander

unabhängige Hochspannungsquelle 8 mit Gegenelektroden 7 verbunden sind. Das Werkstück 1 weist eine große Anzahl von gewünschten Lochungsstellen 10 auf, an denen Perforationen 12 erzeugt werden sollen. Die Lochungen 20 in dem

Elektrodenhalter 26 bilden ein Raster, das zu dem Muster der Lochungsstellen 10 passt, d. h. das Muster der

Lochungsstellen 10 bildet ein Vielfaches des Rasters der Lochungen 20. Als Laser 40 werden Laser im Wellenlängenbereich zwischen 3000 und 200 nm benutzt, und zwar angepasst an das

jeweilige Material des Werkstücks 1, welches wenigstens teilweise transparent ist. Der Wellenlängenbereich der Laser liegt im Transparenzbereich des Werkstückmaterials. Dadurch ist es möglich, dass die Laserstrahlung 41 in das Werkstückmaterial tief eindringt und nicht an der

Oberfläche absorbiert wird. Es wird ein gepulster Laser mit kurzer Impulsdauer verwendet, dessen Strahlungsintensität im Strahlfokus so hoch ist, dass das Material durch die hohe Laserfeldstärke athermisch zerstört wird. Dieser

Effekt verstärkt sich selbst durch optische

Selbstfokussierung in dem transparenten Material. Dadurch werden sehr feine filamentartige Kanäle 11 von zerstörtem Material in dem Werkstück 1 erzeugt. Ein geeigneter Laser zur Erzeugung solcher filamentartiger Kanäle 11 ist der Nd:YAG-Laser mit einer Strahlungswellenlänge von 1064 nm und einer Impulsdauer im ps- bis ns-Bereich. Weitere geeignete Laser sind Yb : YAG bei 980 nm, Er : YAG bei 1055 oder bei etwa 3000 nm, Pr : YAG oder Tm: YAG bei 1300 bis 1400 nm. Teilweise ist Frequenzverdopplung oder -Verdreifachung bei diesen Lasern möglich.

Die Bildung des filamentartigen Kanals 11 kann durch natürlich vorkommende oder künstlich eingebrachte Absorber oder Streuzentren in dem Werkstückmaterial 1 verbessert werden, insbesondere wenn es sich dabei um Glas handelt. Gebundenes Wasser kann als Absorber genutzt werden. Als absorbierende Elemente sind schmal absorbierende,

laseraktive Elemente, wie die aktiven Seltenen Erdionen Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb nutzbar. Auch breitbandig absorbierende Elemente, wie Übergangsmetall- Ionen, beispielsweise Cr, Mn, Fe sind brauchbar. Laser und absorbierende Elemente werden einander angepasst. Es werden nur außerordentlich kleine Mengen der geeigneten Absorber benötigt .

Nach Herstellung der filamentartigen Kanäle 11 werden die Perforationen oder Löcher 12 erzeugt. Im Falle der

speziellen Apparatur der Fig. 1 geschieht dies durch Anlage von Hochspannung an die Elektroden 6 und 7. Diese sind jeweils symmetrisch um die Strahlrichtung 41 verteilt angeordnet und enthalten vorzugsweise jeweils drei

Elektroden. Die oberen Elektroden 6 werden umlaufend eingeschaltet, während die unteren Elektroden 7 nach

Zufallsmuster oder Programm ein- und ausgeschaltet werden, jedoch so, dass zu jeder Zeit während des

Hochspannungsbetriebs eine der oberen und eine der unteren Elektroden eingeschaltet ist. Die Funken laufen den Weg des geringsten Widerstandes entlang der filamentartigen Kanäle 11, die eingetragene Wärme vermindert den elektrischen Widerstand, die Stromdichte nimmt zu, und die Aufheizung führt zur Verdampfung des Lochmaterials. Durch die

Betriebsweise mit abwechselnd angesteuerten

Einzelelektroden erreicht man, dass sich das Loch 12 senkrecht zur Plattenebene ausbildet und gute axiale

Symmetrie erzielt wird. Die Wände der Löcher 12 folgen weitgehend einem Zylinder. Ferner kann eine verlängerte Lebensdauer der hoch beanspruchten Elektroden 6, 7 erwartet werden . Das verdampfte Lochmaterial kann aus dem Bearbeitungsraum 23 abgesaugt werden, was nicht näher dargestellt ist. Man kann dabei mit reaktiven Gasen arbeiten, um den Dampf in Gasphase überzuführen und Materialniederschlag an

unerwünschten Stellen weitgehend zu vermeiden.

Fig. 2 zeigt eine weitere Apparatur zur Erzeugung einer Vielzahl von Löchern 12 in Werkstücken 1. Das Werkstück 1 ist im Bearbeitungsraum 23 zwischen zwei plattenartigen Hochfrequenzelektroden 2, 3 angeordnet. Diese weisen zueinander fluchtende Lochungen 20, 30 auf, die ein Raster bilden. Im gleichen Raster ist eine Mehrzahl von Lasern 40 in einer Vielfachanordnung 4 angeordnet, so dass die abgegebenen Strahlen 41 zu den Lochungen 20 und 30

fluchten. Das Werkstück 1 sitzt in einem Werkstückhalter 5, der exakte koordinatenmäßige Verschiebungen ermöglicht. Auf diese Weise können die vorbestimmten Lochungsstellen 10 des Werkstückes 1 durch Verschiebung relativ zu der

Vielfachanordnung 4 eingestellt werden. Die

Plattenelektroden 2, 3 sind über einen

Hochfrequenzgenerator 9 mit entsprechender

Hochfrequenzspannung versorgbar. Über ein Leitungs- und Kanalsystem 22, 33 können reaktive Gase und Spülgase durch die Lochungen 20, 30 in den Bearbeitungsraum 23 zwischen den Elektroden 2, 3 geleitet werden, und es können

Reaktionsprodukte und Spülgas sowie verdampftes

Lochmaterial abgeführt werden.

Die Betriebsweise der Apparatur ist wie folgt:

Das Werkstück 1 wird in Stellung gebracht, so dass gewisse vorgesehene Lochungsstellen 10 zu den Lochungen 20, 30 fluchten. Danach werden die Laser 40 eingeschaltet und erzeugen athermische Zerstörungen entlang von

filamentartigen Kanälen 11. Gleichzeitig wird Plasma an den Auftreffstellen der Strahlen 41 erzeugt. Dieses Plasma stellt gewissermaßen einen Leitungsspot dar, der als lokale Antenne für eingestrahlte Hochfrequenzenergie wirkt. Solche Hochfrequenzenergie wird durch Einschalten des

Hochfrequenzgenerators 9 erzeugt, was zur Erhitzung des Materials 1 entlang der filamentartigen Kanäle 11 führt.

Die eingebrachte elektrische Energie führt außerdem entlang der Kanäle zu elektrischen Strömen, die mit steigender Temperatur stärker werden und schließlich zur Verdampfung von Lochmaterial führen.

Die Lochbildung kann durch Zufuhr von reaktivem Gas

verstärkt und modifiziert werden. Solch reaktives Gas wird über die Zuleitung 22 und die Lochungen 20 den erhitzten Stellen zugeführt.

Reaktionsprodukte werden über die Lochungen 30 und den

Kanal 33 abgeführt. Spülgase sorgen für die Reinigung des Werkstücks 1.

Wenn das vorgesehene Lochmuster 10 dichter ist, als es dem Raster der Laserstrahlen 41 entspricht, wird das Material 1 verschoben, und der beschriebene Vorgang wird wiederholt.

Dies geschieht so lange, bis alle vorgesehenen

Lochungsstellen 10 bearbeitet sind. Es können schlanke

Löcher mit einem großen Verhältnis der Lochlänge zum

Lochdurchmesser, dem sogenannten Aspekt, erzeugt werden. Es treten keine scharfen Kanten an den Locheingängen und

-ausgängen auf.

Die beschriebene Apparatur kann abgewandelt werden. So ist es möglich, die filamentartigen Kanäle 11 in einer

gesonderten Apparatur herzustellen und nachfolgend in einer anderen Apparatur die Löcher 12 zu erzeugen. Auch ist es möglich, das Platten- oder Substratmaterial 1 hinsichtlich der vorgesehenen Lochungsstellen 10 vorzubereiten. An den vorgesehenen Lochungsstellen kann das Material 1 mit strahlungsabsorbierender Farbe bedruckt werden. Dies begünstigt die lokale Aufheizung des Materials 1, wodurch, von diesen Stellen ausgehend, die elektrothermische

Aufheizung ausgeht, die zu den Löchern 12 führt. Für diese lokale Aufheizung kann man auch eine konventionelle

Strahlungsquelle anstelle eines Lasers benutzen. Dies kommt vor allem dann in Betracht, wenn man eine getrennte

Produktion der filamentartigen Kanäle 11 und der Löcher 12 in getrennten Apparaturen in Betracht zieht. Mit solchen konventionellen Strahlungsquellen, die preiswerter und wartungsfreundlicher als Laser sind, lassen sich zugleich große Bereiche des Materials 1 homogen ausleuchten. Es ist möglich, aus der emittierten Strahlung die Spektralbereiche herauszufiltern, in denen das zu perforierende Material 1 absorbiert. Oder es werden konventionelle Strahlungsquellen benutzt, die nur in schmalen Spektralbereichen emittieren, für die zu perforierenden Materialien 1 transparent sind. In diesen Fällen kann man den Druckfarben auch selektive Absorber beimischen. Im Übrigen braucht die Druckfarbe nicht getrocknet zu werden, da dies ohnehin durch die

Bestrahlung geschieht. Auch keramische Farben (Glasfritte mit Absorbern und wenig organischem Binder) sind zur

Markierung der Lochungsstellen 10 brauchbar.

Zur Markierung der zu perforierenden Stellen 10 ist auch der Auftrag von leitfähiger Paste brauchbar. Die Paste wirkt als Lokalelektrode, d. h. das elektrische Feld von den Elektroden 2, 3 koppelt besonders stark an diesen

Lokalelektroden an und erzeugt in deren Umgebung ein besonders starkes elektrisches Feld, so dass die

elektrothermische Aufheizung bevorzugt in diesem Bereich erfolgt. Auch hier muss die Paste nicht getrocknet werden. Die Paste kann metallische Partikel enthalten oder durch thermische und chemische Prozesse metallische Partikel ausscheiden .

Für Solarzellen, die mit SiN beschichtet sind, sind Pasten mit einem Gehalt von PbO oder BiO auf der Basis von

Glasfritten besonders vorteilhaft anwendbar, weil

aufgeheiztes PbO oder BiO mit der elektrisch isolierenden SiN-Schicht chemisch reagiert und diese auflöst. Ein Teil des verbleibenden Pb oder BiO wird zu leitendem,

metallischem Pb oder Bi reduziert. Diese metallischen

Partikel markieren die Lochungsstellen auf dem Werkstück, von denen aus die elektrothermische Bildung der Löcher oder Perforationen ausgeht.

Es versteht sich, dass man auch Farbe und Paste mit

elektrisch leitenden Einschlüssen kombinieren kann.

Zur Markierung der Lochungsstellen kann die Farbe und/oder Paste über diverse Druckverfahren aufgebracht werden, z. B. mittels des Sieb- oder Tampondruckverfahrens, oder des Tintenstrahlverfahrens .

Das beschriebene Perforationsverfahren ist wegen der

Herstellung von neuartigen Interposern entwickelt worden. Diese enthalten ein Basissubstrat aus Glas, dessen

Alkaligehalt kleiner als 700 ppm beträgt. Solches Glas hat einen Wärmeausdehnungsfaktor, der dem des Siliziums von Chips nahekommt. Das neue Perforationsverfahren ermöglicht Herstellung besonders feiner Löcher im Bereich von μm bis 450 μm, bevorzugt im Bereich von 50 μm bis μm