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Title:
METHOD FOR DRIVING AN ULTRASOUND SENSOR AND ULTRASOUND SENSOR
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/141255
Kind Code:
A2
Abstract:
The invention relates to an ultrasound sensor (1) having a diaphragm (2; 2'; 2"; 2"'; 2''''''), which has at least two partial regions (2-1, 2-2; 2-1', 2-2'; 2-1'''''', 2-2'''''', 2- 3'''''', 2-4'''''') for transmitting and/or receiving ultrasound signals, wherein the two partial regions (2-1, 2-2; 2-1', 2-2'; 2-1'''''', 2-2'''''', 2-3'''''', 2- 4'''''') have different resonance properties, and at least one electromechanical transducer (3), which is coupled to the diaphragm (2; 2'; 2"; 2"'; 2'''''') and to which a control signal with at least two different control signal frequencies are applicable. Here, a first control signal frequency is in the region of a resonant frequency of a first partial region (2-1; 2-1'; 2-1'''''') of the diaphragm (2; 2'; 2"; 2"'; 2'''''') and a second control signal frequency is in the region of a resonant frequency of a second partial region (2-2; 2-2'; 2-2'''''') of the diaphragm (2; 2'; 2"; 2"'; 2''''''). Alternatively, it is also possible for two electromechanical transducers (3-1"", 3-2""), which are coupled to a diaphragm (2"") and have different resonance properties, to be used.

Inventors:
KARL, Matthias (Augustin-Kast-Str. 7, Ettlingen, 76275, DE)
Application Number:
EP2011/055714
Publication Date:
November 17, 2011
Filing Date:
April 12, 2011
Export Citation:
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Assignee:
ROBERT BOSCH GMBH (Postfach 30 02 20, Stuttgart, 70442, DE)
KARL, Matthias (Augustin-Kast-Str. 7, Ettlingen, 76275, DE)
International Classes:
G10K9/122
Attorney, Agent or Firm:
ROBERT BOSCH GMBH (Postfach 30 02 20, Stuttgart, 70442, DE)
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Claims:
Ansprüche

1 . Ultraschallsensor (1 ) mit

- einer Membran (2; 2'; 2"; 2"'; 2 ), welche mindestens zwei Teilbereiche (2-1 , 2-2; 2-1 2-2'; 2-1 , 2-2 , 2-3 , 2-4 ) zum Aussenden und/oder Empfangen von Ultraschallsignalen aufweist, wobei die beiden Teilbereiche (2-1 , 2-2; 2-1 ', 2-2'; 2-1 , 2-2 , 2-3 , 2-4 ) unterschiedliche Resonanzeigenschaften aufweisen, und

- mindestens einem mit der Membran (2; 2'; 2"; 2"'; 2 ) gekoppelten elektromechanischen Wandler (3), an den ein Steuersignal mit mindestens zwei unterschiedlichen Steuersignalfrequenzen anlegbar ist, wobei eine erste Steuersignalfrequenz im Bereich einer Resonanzfrequenz eines ersten Teilbereichs (2-1 ; 2-1 '; 2-1 ) der Membran (2; 2'; 2"; 2"'; 2 ) liegt und eine zweite Steuersignalfrequenz im Bereich einer Resonanzfrequenz eines zweiten Teilbereichs (2-2; 2-2'; 2-2 ) der Membran (2; 2'; 2"; 2"'; 2 ) liegt.

2. Ultraschallsensor nach Anspruch , wobei die unterschiedlichen Resonanzeigenschaften dadurch realisiert werden, dass die Membran (2; 2'; 2"; 2"'; 2 ) in den Teilbereichen (2-1 , 2-2; 2-1 ', 2-2'; 2-1 , 2-2 , 2-3 , 2-4 ) unterschiedlich dick ist.

3. Ultraschallsensor nach Anspruch 2, wobei die Dicke der Membran (2; 2'; 2";

2"'; 2 ) sich sprunghaft ändert.

4. Ultraschallsensor nach Anspruch 2, wobei die Dicke der Membran (2; 2'; 2";

2"'; 2 ) sich kontinuierlich ändert.

5. Ultraschallsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Membran (2; 2'; 2"; 2"'; 2 ) symmetrisch ausgebildet ist.

6. Ultraschallsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Membran (2; 2'; 2"; 2"'; 2 ) asymmetrisch ausgebildet ist.

7. Verfahren zum Ansteuern eines Ultraschallsensors (1 ) mit einer Membran (2; 2'; 2"; 2"'; 2 ), welche mindestens zwei Teilbereiche (2-1 , 2-2; 2-1 2-2';

2-1 , 2-2 , 2-3 , 2-4 ) mit unterschiedlichen Resonanzeigenschaften aufweist, und mindestens einem mit der Membran (2; 2'; 2"; 2"'; 2 ) gekoppelten elektromechanischen Wandler (3), bei dem ein Steuersignal mit mindestens zwei unterschiedlichen Steuersignalfrequenzen an den elektro- mechanischen Wandler (3) angelegt wird, wobei eine erste Steuersignalfrequenz im Bereich einer Resonanzfrequenz eines ersten Teilbereichs (2-1 ; 2-1 '; 2-1 ) der Membran (2; 2'; 2"; 2"'; 2 ) liegt und eine zweite Steuersignalfrequenz im Bereich einer Resonanzfrequenz eines zweiten Teilbereichs (2-2; 2-2'; 2-2 ) der Membran (2; 2'; 2"; 2"'; 2 ) liegt.

8. Ultraschallsensor (1 "") mit einer Membran (2""), welche mindestens zwei Teilbereiche zum Aussenden und/oder Empfangen von Ultraschallsignalen aufweist, und mindestens zwei mit der Membran (2"") gekoppelten elektromechanischen Wandlern (3-1 "", 3-2"") mit unterschiedlichen Resonanzei- genschaften, wobei an die Wandler (3-1 "", 3-2"") jeweils ein Steuersignal anlegbar ist, wobei die Steuersignale voneinander unabhängig sind und jeweils zumindest eine Steuersignalfrequenz umfassen, welche im Bereich einer Resonanzfrequenz des jeweiligen Teilbereichs der Membran (2"") liegt.

9. Ultraschallsensor nach Anspruch 8, wobei die Wandler (3-1 "", 3-2"") unterschiedliche geometrische Abmessungen aufweisen.

10. Ultraschallsensor nach einem der Ansprüche 8 oder 9, wobei die Wandler (3-1 "", 3-2"") symmetrisch an die Membran (2"") angekoppelt sind.

1 1 . Ultraschallsensor nach einem der Ansprüche 8 oder 9, wobei die Wandler (3-1 "", 3-2"") asymmetrisch an die Membran (2"") angekoppelt sind. 12. Verfahren zum Ansteuern eines Ultraschallsensors (1 "") mit einer Membran

(2""), welche mindestens zwei Teilbereiche zum Aussenden und/oder Emp- fangen von Ultraschallsignalen aufweist, und mindestens zwei in jeweils einem der Teilbereiche mit der Membran (2"") gekoppelten elektromechani- schen Wandlern (3-1 "", 3-2"") mit unterschiedlichen Resonanzeigenschaften, bei dem an die Wandler (3-1 "", 3-2"") jeweils ein Steuersignal angelegt wird, wobei die Steuersignale voneinander unabhängig sind und jeweils zumindest eine Steuersignalfrequenz umfassen, welche im Bereich einer Resonanzfrequenz des jeweiligen Teilbereichs der Membran (2"") liegt.

13. Ultraschallsensor mit

- einer Membran und

- mindestens einem an die Membran angekoppelten Piezoschwinger (3 ) mit mindestens drei Elektroden (30-1 , 30-2, 30-3),

wobei der Piezoschwinger (3 ) je nach Ansteuerung der Elektroden (30-1 , 30-2, 30-3) unterschiedliche Resonanzeigenschaften aufweist.

14. Verfahren zum Ansteuern eines Ultraschallsensors mit einer Membran und mindestens einem mit der Membran gekoppelten Piezoschwinger (3 ), wobei der Piezoschwinger (3 ) mindestens drei Elektroden (30-1 , 30-2, 30- 3) aufweist und ein erstes Elektrodenpaar (30-1 , 30-3) angesteuert wird, um ein Ultraschallsignal mit einer ersten Sendesignalfrequenz auszusenden, und eine zweites Elektrodenpaar (30-2, 30-3) angesteuert wird, um ein Ultraschallsignal mit einer zweiten Sendesignalfrequenz auszusenden.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 7, 12 oder 14, wobei mit Hilfe von Signalfrequenzen des Steuersignals des Wandlers (3; 3-1 ""; 3-2""; 3 ) eine bevorzugte Übertragungsrichtung von Ultraschallsignalen festgelegt wird.

Description:
Beschreibung

Titel

Verfahren zum Ansteuern eines Ultraschallsensors und Ultraschallsensor Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ansteuern eines Ultraschallsensors und einen Ultraschallsensor.

Stand der Technik Seit Jahrzehnten werden Ultraschallsensoren in Fahrzeugen zur Umfelddetektion eingesetzt. Die Meßsysteme beruhen dabei auf einem Echoverfahren, bei dem ein Sendesignal von einem Hindernis reflektiert wird und in Form eines Echosignals an das Fahrzeug zurückgeworfen wird. Anhand der gemessenen Echolaufzeit wird dann der Abstand des Hindernisses von dem Fahrzeug bestimmt. Diese Information wird dann für verschiedenste Fahrerassistenzsysteme, wie Einparkhilfen oder auch Tote-Winkel-Überwachungen eingesetzt. Die Ultraschallsensoren sind dabei zumeist in Form eines Ultraschallwandlers realisiert, der eine Um- schaltung zwischen Sende- und Empfangsbetrieb erlaubt. Herkömmliche Ultraschallsensoren umfassen eine Membran, welche im Sendebetrieb mechanische Schwingungen im Ultraschallbereich in Druckschwankungen der das Fahrzeug umgebenden Luft umwandelt, und einen elektromechani- schen Wandler, z.B. in Form eines Piezoschwingers, welcher zum Beispiel mit Hilfe einer Klebeverbindung an die Membran gekoppelt wird und im Sendebetrieb elektrische Signale in Schwingungen im Ultraschallbereich umwandelt. Um der

Abstrahlung der Membran eine Richtung zu geben, wird sie im Allgemeinen an ein Chassis befestigt, welches im Gegensatz zur Membran vernachlässigbare Schwingungsamplituden aufweisen sollte.

Ultraschallsensoren werden in der Regel im Bereich ihrer jeweiligen Resonanzfrequenz, welche sich aus den Resonanzeigenschaften der jeweiligen Membran und des jeweiligen Wandlers ergeben, betrieben, da dort eine besonders wirkungsvolle Umwandlung elektrischer in mechanische Schwingungsleistung und umgekehrt gegeben ist.

Aus der DE 10 2006 021 492 A1 ist ein Verfahren zum Einstellen der Resonanzfrequenz eines Schwingungsabschnitts eines Gehäuses eines Ultraschallsensors bekannt, bei dem die Resonanzfrequenz des Schwingungsabschnittes gemessen und mit einem vorher festgelegten Schwellwert einer Soll-Resonanzfrequenz verglichen wird. Anhand des Vergleiches wird die Resonanzfrequenz des Schwingungsabschnitts durch einen entsprechenden Werkstoffabtrag oder - auftrag eingestellt.

Offenbarung der Erfindung

Die vorliegende Erfindung schafft einen Ultraschallsensor mit einer Membran, welche mindestens zwei Teilbereiche zum Aussenden und/oder Empfangen von Ultraschallsignalen aufweist, wobei die beiden Teilbereiche unterschiedliche Resonanzeigenschaften aufweisen, und mit mindestens einem mit der Membran gekoppelten elektromechanischen Wandler, an den ein Steuersignal mit mindestens zwei unterschiedlichen Steuersignalfrequenzen anlegbar ist. Dabei liegt eine erste Steuersignalfrequenz im Bereich einer Resonanzfrequenz eines ersten Teilbereichs der Membran und eine zweite Steuersignalfrequenz im Bereich einer Resonanzfrequenz eines zweiten Teilbereichs der Membran. Die unterschiedlichen Resonanzeigenschaften werden dabei vorteilhaft durch unterschiedliche Dicken der Membran in den Teilbereichen realisiert.

Die vorliegende Erfindung schafft außerdem ein Verfahren zum Ansteuern eines Ultraschallsensors mit einer Membran, welche mindestens zwei Teilbereiche mit unterschiedlichen Resonanzeigenschaften aufweist, und mit mindestens einem mit der Membran gekoppelten elektromechanischen Wandler, bei dem ein Steuersignal mit mindestens zwei unterschiedlichen Steuersignalfrequenzen an den elektromechanischen Wandler angelegt wird. Dabei liegt eine erste Steuersignalfrequenz im Bereich einer Resonanzfrequenz eines ersten Teilbereichs der Membran und eine zweite Steuersignalfrequenz im Bereich einer Resonanzfrequenz eines zweiten Teilbereichs der Membran. Mit der Formulierung "Resonanzfrequenz eines Teilbereichs" sei dabei hier und im Folgenden diejenige Resonanzfrequenz bezeichnet, welche sich aus den Resonanzeigenschaften der Membran und des oder der mit dieser gekoppelten elektromechanischen Wandler(n) ergibt.

Die Erfindung basiert auf der grundlegenden Idee, die Membran und den oder die elektromechanischen Wandler eines Ultraschallsensors derart auszugestalten und anzuordnen sowie den oder die elektromechanischen Wandler derart anzusteuern, dass der Ultraschallsensor mehr als eine Resonanzfrequenz auf- weist, bei welcher elektrische Schwingungsleistung besonders effektiv in akustische Schwingungsleistung umgewandelt wird oder umgekehrt. Durch Verwendung von Ultraschallsignalen mit unterschiedlichen Frequenzen ist es möglich, die ultraschallbasierte Umfelddetektion eines Fahrzeuges hinsichtlich ihrer Zuverlässigkeit, Reichweite und/oder Reaktionsschnelligkeit zu verbessern. So können zum Beispiel Echosignale, welche auf Sendesignalen beruhen, welche vor längerer Zeit ausgesandt wurden (Langläuferechos), und/oder Fremd- oder Störsignale mittels Mehrfrequenz- oder Breitbandmodulation deutlich zuverlässiger von Echos unterschieden werden, welche die Folge von vor Kurzem ausgesandten Signalen sind. Dabei können sowohl Signale des eigenen Fahrzeuges als auch eines anderen Fahrzeuges und/oder von Einrichtungen, welche in der Fahrzeugumgebung angeordnet sind, in Betracht kommen.

Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung kann die Membran derart ausgestaltet sein, dass sich die Membrandicke sprunghaft ändert. Alternativ dazu kann auch eine kontinuierliche Änderung der Membrandicke vorgesehen sein, was zu einem breiten Spektrum verwendbarer Signalfrequenzen führt.

Abhängig vom konkreten Anwendungsfall und der konkreten Aufgabenstellung kann die Membran symmetrisch oder asymmetrisch ausgebildet sein, so dass sich dementsprechend symmetrische bzw. asymmetrische Abstrahl- und/oder

Empfangsrichtungen ergeben.

Die erfindungsgemäße Idee eines Mehrfrequenz-Ultraschallsensors lässt sich auch verwirklichen durch einen Ultraschallsensor mit einer Membran, welche mindestens zwei Teilbereiche zum Aussenden und/oder Empfangen von Ultraschallsignalen aufweist, und mit mindestens zwei mit der Membran gekoppelten elektromechanischen Wandlern mit unterschiedlichen Resonanzeigenschaften, was zum Beispiel durch unterschiedliche geometrische Abmessungen der Wandler erreicht werden kann. Dabei ist an die Wandler jeweils ein Steuersignal anlegbar, wobei die Steuersignale voneinander unabhängig sind und jeweils zumindest eine Steuersignalfrequenz umfassen, welche im Bereich einer Resonanzfrequenz des jeweiligen Teilbereichs der Membran liegt.

Um symmetrische oder asymmetrische Abstrahl- und/oder Empfangsrichtungen zu erreichen, können die Wandler entsprechend symmetrisch bzw. asymmetrisch an die Membran angekoppelt sein.

Korrespondierend zu einem derartigen Ultraschallsensor schafft die Erfindung auch ein Verfahren zum Ansteuern eines Ultraschallsensors mit einer Membran, welche mindestens zwei Teilbereiche zum Aussenden und/oder Empfangen von Ultraschallsignalen aufweist, und mindestens zwei in jeweils einem der Teilbereiche mit der Membran gekoppelten elektromechanischen Wandlern mit unterschiedlichen Resonanzeigenschaften. Erfindungsgemäß wird an die Wandler jeweils ein Steuersignal angelegt, wobei die Steuersignale voneinander unabhängig sind und jeweils zumindest eine Steuersignalfrequenz umfassen, welche im Bereich einer Resonanzfrequenz des jeweiligen Teilbereichs der Membran liegt.

Auch ein Ultraschallsensor mit einer Membran und mindestens einem mit der Membran gekoppelten elektromechanischen Wandler mit mindestens drei Elektroden, wobei der Wandler je nach Ansteuerung der Elektroden unterschiedliche Resonanzeigenschaften aufweist, eignet sich zur Umsetzung der grundlegenden erfinderischen Idee. Diese Ausgestaltung hat den Vorteil, dass bereits ein einziger elektromechanischer Wandler in Verbindung mit einer "klassischen" Membran ausreicht, um einen Mehrfrequenz-Ultraschallsensor zu realisieren.

Dementsprechend schafft die Erfindung auch ein Verfahren zum Ansteuern eines Ultraschallsensors mit einer Membran und mindestens einem mit der Membran gekoppelten elektromechanischen Wandler, wobei der Wandler mindestens drei Elektroden aufweist und ein erstes Elektrodenpaar angesteuert wird, um ein Ultraschallsignal mit einer ersten Sendesignalfrequenz auszusenden, und eine zweites Elektrodenpaar angesteuert wird, um ein Ultraschallsignal mit einer zweiten Sendesignalfrequenz auszusenden. Eine weitere Ausführungsform der Erfindung sieht vor, mit Hilfe von Steuersignalfrequenzen des Steuersignals des Wandlers eine bevorzugte Übertragungsrichtung von Ultraschallsignalen festzulegen. Dazu werden die Signalfrequenzen derart festgelegt, dass entweder die Wandlung der elektrischen Schwingungsleistung in akustische Schwingungsleistung (Sendebetrieb) bei Resonanzfrequenz und damit besonders effektiv erfolgt oder die Wandlung der akustischen Schwingungsleistung in elektrische Schwingungsleistung (Empfangsbetrieb) bei Resonanzfrequenz und damit besonders effektiv erfolgt. Sende- und Empfangsfrequenzen können zum Beispiel augrund von Dopplereffekten voneinander abweichen.

Weitere Merkmale und Vorteile von Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung mit Bezug auf die beigefügten Figuren.

Kurze Beschreibung der Figuren Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Schnittdarstellung eines Ultraschallsensors gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 2 eine schematische Schnittdarstellung eines Ultraschallsensors gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 3 eine schematische Schnittdarstellung eines Ultraschallsensors gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 4 eine schematische Schnittdarstellung eines Ultraschallsensors gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 5 eine schematische Schnittdarstellung eines Ultraschallsensors gemäß einer fünften Ausführungsform der Erfindung, Fig. 6 eine schematische Schnittdarstellung eines erfindungsgemäßen elektromechanischen Wandlers mit drei Elektroden,

Fig. 7 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen elektromechanischen Wandlers mit drei Elektroden in Draufsicht und

Fig. 8 eine schematische Darstellung eines Ultraschallsensors gemäß einer sechsten Ausführungsform der Erfindung.

Beschreibung der Ausführungsbeispiele

In den Figuren sind identische oder funktionsgleiche Komponenten jeweils mit dem gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet.

Fig. 1 zeigt schematisch einen Ultraschallsensor 1 gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung. An einer Membran 2 ist ein elektromechanischer Wandler in Form eines Piezoschwingers 3 mit Hilfe einer Kleberschicht 4 befestigt und auf diese Weise mit der Membran 2 gekoppelt. Über elektrische Anschlüsse 5 wird an den Piezoschwinger 3 über eine Steuereinheit 6 ein Steuersignal angelegt, infolge dessen der Piezoschwinger 3 in mechanische Schwingungen versetzt wird. Diese Schwingungen werden über die Kleberschicht 4 an die Membran 2 geleitet. Die Membran 2 erzeugt in der vor ihr liegenden Luft Druckschwankungen, wodurch Schallwellen ausgesandt werden. Um den ausgesendeten Schallwellen eine Richtung zu geben, ist die Membran an einem Chassis 7 befestigt, welches im Gegensatz zur Membran vernachlässigbare Schwingungsamplituden aufweist. Beim Empfang von Schallwellen läuft der Signalpfad entsprechend umgekehrt, das heißt ankommende akustische Schallwellen werden letztendlich in elektrische Signale gewandelt.

Die Membran 2 umfasst zwei Teilbereiche 2-1 und 2-2, welche unterschiedliche Dicken oder Materialstärken aufweisen, wodurch unterschiedliche Resonanzeigenschaften der beiden Teilbereiche begründet sind. Der Übergang zwischen den beiden Teilbereichen 2-1 und 2-2 ist bei der dargestellten Ausführungsform sprunghaft ausgeführt, so dass sich in beiden Teilbereichen 2-1 und 2-2 jeweils eine Resonanzfrequenz ergibt, bei welcher eine Umwandlung von elektrischer Schwingungsleistung in akustische Schwingungsleistung oder umgekehrt beson- ders effektiv erfolgt. Durch Anlegen eines Steuersignals, welches zumindest diese beiden Resonanzfrequenzen oder zumindest zwei Frequenzen im Bereich dieser Resonanzfrequenzen umfasst, kann der Ultraschallsensor gleichzeitig auf zwei Resonanzfrequenzen betrieben werden. Dabei kann mit Hilfe der Signalfre- quenzen des Steuersignals eine bevorzugte Übertragungsrichtung des Ultraschallsensors 1 , also Senden oder Empfangen festegelegt werden. Dazu wird die Signalfrequenz entweder identisch zu der Resonanzfrequenz gewählt, so dass die Wandlung der elektrischen in die mechanische Schwingungsleistung und damit der Sendebetrieb optimal ist oder es wird eine Signalfrequenz im Bereich der Resonanzfrequenz gewählt, welche dazu führt, dass ein mögliches Echosignal genau die Resonanzfrequenz aufweist und damit zu einer optimalen Wandlung der mechanischen in die elektrische Schwingungsleistung (Empfangsbetrieb) führt. Frequenzunterschiede zwischen Sende- und Echosignal können dabei beispielsweise auf dem Doppler-Effekt beruhen.

Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Piezoschwinger 3 unterhalb des Übergangsbereichs zwischen den Teilbereichen 2-1 und 2-1 der Membran 2 angeordnet. Dies ist aber für die Verwendung der Erfindung nicht zwingend erforderlich. Es ist auch ausreichend, wenn die Teilbereiche der Membran mit unter- schiedlichen Resonanzeigenschaften in einem Bereich um einen elektromecha- nischen Wandler angeordnet sind.

Eine derartige Ausführungsform ist in Fig. 2 dargestellt. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der in Fig. 1 dargestellten Ausführungsform im Wesentli- chen darin, dass die Membran 2' in einem ersten Teilbereich 2-1 ' über dem Piezoschwinger 3 eine konstante Dicke aufweist, auf beiden Seiten des Piezo- schwingers 3 aber zweite Teilbereiche 2-2' mit erhöhter Dicke oder Materialstärke und damit veränderter Resonanzeigenschaft angeordnet sind. In dritten Teilbereichen 2-3', über welche die Membran 2' an dem Chassis 7 befestigt ist, weist die Membran wiederum die Dicke des ersten Teilbereichs 2-1 ' oder alternativ dazu auch eine beliebige weitere Dicke auf. Um eine möglichst gute Entkopplung zwischen der Membran 2 und dem Chassis 7 zu erreichen, ist es vorteilhaft, die Randbereiche der Membran 2', welche unmittelbar an das Chassis 7 angrenzen, möglichst dünn zu gestalten. Diese Regel ist auch auf alle anderen Ausführungs- beispiele anwendbar, so dass auch bei diesen Ausführungsformen "verdünnte"

Randbereiche der Membran 2 vorgesehen werden können. Es sei aber darauf hingewiesen, dass derartige ausgestaltete Randbereiche nicht dem Aussenden oder Empfangen eines Ultraschallsignals dienen, sonder einzig und allein zur Entkopplung vom Chassis 7. Die Ausführungsform gemäß Fig. 2 unterscheidet sich von derjenigen der Fig. 2 weiterhin dadurch, dass die sprunghaft ausgeführten Übergänge zwischen den einzelnen Teilbereichen symmetrisch angeordnet und die Membran 2' damit symmetrisch ausgebildet ist. Durch symmetrische oder asymmetrische Anordnung können entsprechend symmetrische bzw. asymmetrische Abstrahl- oder Emp- fangsrichtungen realisiert werden.

Die Figuren 3 und 4 zeigen weitere Ausführungsformen erfindungsgemäße Ultraschallsensoren. Diese unterscheiden sich von der in Fig. 1 dargestellten Ausführungsform dadurch, dass sich die Dicke der Membranen 2" (siehe Fig. 3) und 2"' (siehe Fig. 4) nicht sprunghaft, sondern kontinuierlich ändern. Im speziellen ist die Membran 2" gemäß Fig. 3 konvex und die Membran 2"' gemäß Fig. 4 konkav ausgeführt. Auf diese Weise entsteht sozusagen eine Vielzahl von Teilbereichen der Membran 2", 2"' mit unterschiedlichen mechanischen Eigenschaften, was zu einem breiten Spektrum verwendbarer Resonanzfrequenzen führt.

In Figur 5 ist eine alternative Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Ultraschallsensors 1 "" dargestellt. Dabei sind an einer "herkömmlichen" Membran 2"" mit konstanter Dicke zwei elektromechanische Wandler in Form von Piezo- schwingern 3-1 "" und 3-2"" mit Hilfe von Kleberschichten 4-1 "" bzw. 4-2"" an Teilbereichen der Membran 2"" befestigt und auf diese Weise mit der Membran

2"" gekoppelt. Die beiden Piezoschwinger 3-1 "" und 3-2"" weisen dabei unterschiedliche geometrische Abmessungen und dadurch bedingt auch unterschiedlich Resonanzeigenschaften auf. Durch jeweiliges Anlegen eines Steuersignals, wobei die Steuersignale der beiden Piezoschwinger 3-1 "" und 3-2"" voneinander unabhängig sind und jeweils zumindest eine Steuersignalfrequenz umfassen, welche im Bereich einer Resonanzfrequenz des jeweiligen Teilbereichs der Membran liegt, wird auch durch diese Anordnung ein Ultraschallsensor realisiert, der bei zwei Resonanzfrequenzen betreibbar ist. Bei der dargestellten Ausführungsform werden die beiden Steuersignale durch zwei separate Steuereinheiten 6-1 "" und 6-2"" erzeugt und über elektrische Anschlüsse 5-1 "" bzw. 5-2"" an die

Piezoschwinger 3-1 "" bzw. 3-2"" angelegt. Alternativ dazu können die Steuer- Signale aber auch durch eine gemeinsame Steuereinheit erzeugt werden. Aufgrund der asymmetrischen Anordnung werden auf einfache Weise asymmetrische Abstrahl- und/oder Empfangscharakteristiken erreicht. Selbstverständlich können auch mehr als zwei Piezoschwinger vorgesehen sein, welche im Be- darfsfall auch symmetrisch angeordnet werden können.

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung (siehe Fig. 6 und 7) sieht die Verwendung eines Piezoschwingers 3 vor, welcher drei Elektroden 30-1 , 30-2 und 30-3 aufweist. Dabei ist eine erste Elektrode 30-1 im zentralen oberen Bereich des Piezoschwingers 3"', eine zweite Elektrode 30-2 im Randbereich der Oberseite des Piezoschwingers 3 und eine dritte Elektrode 30-3 an der Unterseite des Piezoschwingers 3 angeordnet. Alle drei Elektroden 30-1 , 30,2 und 30-3 können durch eine Steuereinheit 6 über entsprechende elektrische Anschlüsse 5 angesteuert werden. Aufgrund der Anordnung und Ausgestaltung der Elekt- roden 30-1 , 30,2 und 30-3 ergeben sich bei Ansteuerung eines ersten Elektrodenpaars, bestehend aus den Elektroden 30-1 und 30-3, andere Resonanzeigenschaften und auch Richtcharakteristiken als bei Ansteuerung eines zweiten Elektrodenpaars, bestehend aus den Elektroden 30-2 und 30-3. Wird ein derartiger Piezoschwinger 3 an eine Membran gekoppelt, so ist es selbst bei einer "herkömmlichen" Membran mit konstanter Dicke möglich, den Ultraschallsensor mit unterschiedlichen Resonanzfrequenzen zu betreiben.

Fig. 8 zeigt eine weitere Ausführungsform der Erfindung, bei welcher eine Membran 2 vorgesehen ist, welche vier Teilbereiche 2-1 , 2-2 , 2-3 und 2-4 umfasst. Diese sind so ausgebildet, dass sich an einen ersten Teilbereich 2-1 "" welcher an einem linken Teil des Chassis 7 befestigt ist und eine erste Dicke aufweist, geradlinig ein zweiter Teilbereich 2-2"" mit einer zweiten Dicke anschließt. An den zweiten Teilbereich 2-2"" schließt sich in einem vorgegebenen Winkel ein dritter Teilbereich 2-3"" an, welcher eine dritte Dicke aufweist und an den dritten Teilbereich 2-3"" schließt sich schließlich in einem weiteren vorgegebenen Winkel ein vierter Teilbereich 2-4"" mit einer vierten Dicke an, welcher an dem rechten Teil des Chassis 7 befestigt ist. Im Bereich des dritten Teilbereichs 2-3"" ist der Piezoschwinger 3 mit Hilfe der Kleberschicht 4 an der Membran 2"" befestigt und damit mit dieser gekoppelt. Die unterschiedlichen Dicken der einzelnen Teil- bereiche der Membran 2"" führen auch bei dieser Ausführungsform zu unterschiedlichen Resonanzeigenschaften, welche durch geeignete Ansteuerung dazu genutzt werden können, einen Mehrfrequenz-Ultraschallsensor zu realisieren. Darüber hinaus werden durch die dreidimensionale Ausgestaltung der Membran 2 auch verschiedene bevorzugte Ausrichtungen der Sende- oder Empfangssignale erreicht.

Neben den dargestellten und beschriebenen Ausführungsformen sind zahlreiche weitere Ausführungsformen der Erfindung denkbar, welche sich insbesondere aus Kombinationen der erwähnten Ausführungsformen ergeben.