Elle trouve une application dans la réalisation de composants magnétiques, notamment de composants inductifs (typiquement des inductances, soit unitaires, soit multiples, soit faisant partie d'un réseau de composants élémentaires intégrés sur une mme puce), dans la réalisation de transformateurs, de capteurs de champ magnétique ou de moyens de mesure d'une grandeur liée à un champ magnétique, de ttes d'enregistrement magnétique, etc...

Etat de la technique antérieure Dans les composants inductifs (inductances, transformateurs, ttes magnétiques, etc...), il est avantageux de canaliser le flux magnétique par un circuit magnétique de forte perméabilité, car cela permet soit un gain de performances à encombrement donné, soit une diminution d'encombrement pour des performances données.

Dans les composants macroscopiques radiofréquence, les circuits magnétiques sont en général en ferrite massif alors que, dans les composants intégrés, on utilise plus fréquemment des empilements de couches minces d'alliage ferromagnétique (typiquement du Fe-Ni)

et d'isolant. La mise au point de tels composants intégrés fait actuellement l'objet d'une recherche active dans de nombreux laboratoires.

La miniaturisation de ces composants permet d'augmenter leur fréquence de travail en réduisant notamment les phénomènes de propagation et de courants induits.

Les performances des composites isolant/alliage en couches minces sont très supérieures à celles des composants en ferrite et permettent d'envisager un fonctionnement à des fréquences débordant largement le domaine radiofréquence. Néanmoins, ces matériaux ont leurs propres limitations, liées soit à des phénomènes fondamentaux, soit à la technologie utilisée. Deux phénomènes limitatifs liés à la technologie sont 1'effet de peau et la résonance dimensionnelle. Tous deux ont pour effet de diminuer la perméabilité effective du composite et d'altérer sa réponse en fréquence.

Le premier peut tre évité (ou limité) classiquement en choisissant une épaisseur des couches magnétiques de 1empilement nettement plus faible (ou du mme ordre de grandeur) que la profondeur de peau. A titre d'exemple, l'épaisseur de peau est de 0,2 um à 1 GHz pour l'alliage Fe-Ni.

Le second, lié à la résonance dimensionnelle, est associé à la propagation électromagnétique au sein du composite dans les directions parallèles aux couches.

Il peut tre limité, d'une part, en conservant une épaisseur d'isolant suffisante entre les couches magnétiques (au détriment du facteur de remplissage utile) et d'autre part en limitant les dimensions latérales des circuits magnétiques ou des noyaux.

Ainsi, pour une fréquence de lGHz, la largeur du circuit ou du noyau magnétique en FeNi doit tre très inférieure à 700um, une condition tout juste compatible avec un souci d'intégration.

Une autre limitation, non liée à la technologie et de nature plus fondamentale correspond au phénomène de résonance gyromagnétique. La fréquence de cette résonance constitue, en effet, une limite supérieure au domaine de fréquence utilisable, sachant qu'aux fréquences inférieures à la résonance, la perméabilité relative est pratiquement constante et égale à sa valeur statique. Il est bien connu que, dans un alliage de composition donnée, on peut, par de simples traitements thermiques, faire varier la perméabilité et la fréquence de résonance. Ainsi, la limitation due à la résonance gyromagnétique ne s'exprime-t-elle pas uniquement en terme de fréquence. On montre, en effet, que le produit p5. fr2 où Wu5 est la valeur statique de la perméabilité et fr la fréquence de résonance gyromagnétique, est constant pour un alliage de composition donnée lorsque, par des traitements après dépôt, on modifie à la fois us et fr. Ce produit constitue donc un facteur de mérite du matériau, qui ne dépend que de sa composition. On montre, en fait, qu'il ne dépend pratiquement que de l'aimantation spontanée de l'alliage. Pour l'alliage Fe-Ni, on a : vs. tr2 = 1300 GHz2 Pour un composite de coefficient de remplissage, on a simplement : Us. tr2 = M. 1300 GHz2 L'existence d'une telle relation montre que l'on <BR> <BR> ne peut pas modifier ps et fr de manière indépendante.

En particulier,'un fonctionnement à des fréquences de plus en plus élevées impose une diminution de la perméabilité magnétique.

Pour une fréquence de travail f donnée, on cherche donc, en général, à conditionner le matériau de telle sorte que la fréquence de résonance fr soit située très largement au-dessus de f. Cela suppose que l'on puisse adapter le matériau à l'application considérée. On pourrait penser modifier la fréquence de résonance par un traitement thermique après dépôt. Mais, cette technique présente des inconvénients : la compatibilité n'est pas assurée avec les procédés de fabrication du dispositif, et de toute manière, les variations obtenues restent faibles.

L'invention a pour but de remédier à ces inconvénients.

Exposé de l'invention Il s'agit d'augmenter la fréquence de fonctionnement d'un circuit magnétique. On entend par augmentation de la fréquence de fonctionnement d'un circuit magnétique, le fait de repousser à plus haute fréquence au moins le phénomène le plus limitatif, ce phénomène pouvant tre notamment la résonance gyromagnétique, 1'effet de peau, la résonance dimensionnelle, etc...

A cette fin, l'invention préconise d'introduire dans le circuit, des coupures (ou"intervalles", "interruptions","entrefers","rainures"ou"gap"en terminologie anglo-saxonne), ces coupures étant perpendiculaires au sens du champ, c'est-à-dire perpendiculaire à la ligne moyenne du circuit. Ces coupures vont créer un champ démagnétisant très

efficace dans le matériau. La perméabilité magnétique va se trouver abaissée sans que soient modifiés ni la forme globale du circuit, ni le matériau magnétique.

Par exemple, dans le cas des ttes magnétiques d'enregistrement (dans lesquelles il existe déjà au moins un entrefer), on peut ajouter des coupures dans le reste du circuit pour augmenter la tenue en fréquence du matériau magnétique. Plus on introduit de coupures perpendiculaires au flux moyen (donc à la ligne moyenne du circuit magnétique dans le sens du champ), plus on augmente le champ démagnétisant et plus on diminue la perméabilité du circuit, améliorant d'autant sa tenue en fréquence. On peut ainsi adapter la fréquence de coupure du circuit magnétique à un cahier des charges et obtenir la meilleure perméabilité possible pour cette plage de fréquence avec un matériau donné.

On peut souligner que, dans un composant magnétique, on cherche parfois à maximiser la perméabilité du circuit magnétique afin de minimiser les pertes. Or, en raison de la relation soulignée plus haut, montrant que le produit de la perméabilité par le carré de la fréquence de résonance reste constant pour un matériau donné, plus la perméabilité magnétique effective du matériau est élevée plus la fréquence de résonance gyromagnétique est basse, ce qui limite la plage d'utilisation en fréquence du composant. Cette limitation peut gner pour des applications haute fréquence comme la réalisation d'inductances intégrées HF (utiles notamment pour la téléphonie mobile), les transformateurs HF, les ttes d'enregistrement magnétique HF,...

La présente invention va à 1'encontre de ces tendances en préconisant au contraire une diminution de la perméabilité.

De façon précise, la présente invention a donc pour objet un procédé pour augmenter la fréquence de fonctionnement d'un circuit magnétique, ce procédé étant caractérisé par le fait qu'il consiste à former dans au moins une partie de ce circuit, des coupures perpendiculaires à la ligne moyenne du circuit magnétique.

Selon un mode de mise en oeuvre avantageux, les coupures sont formées dans des plans parallèles.

Selon un autre mode de mise en oeuvre, on forme des coupures périodiques avec un certain pas et une certaine épaisseur.

La présente invention a également pour objet un circuit magnétique, qui est caractérisé par le fait qu'il comprend, dans au moins une partie, des coupures perpendiculaires à la ligne moyenne du circuit magnétique et disposées dans des plans parallèles.

Dans une variante avantageuse, ces coupures sont périodiques.

L'invention présente de nombreux avantages : a) Elle permet d'adapter la plage de fréquence d'utilisation d'un noyau ou d'un circuit magnétique, donc d'un composant, en conservant la meilleure perméabilité possible. En pratique, on peut, en gardant un mme matériau magnétique, choisir une taille de coupures et un espacement de ces dernières de manière à ce que, en particulier, la fréquence de résonance gyromagnétique et les autres fréquences

caractéristiques soient adaptées au cahier des charges du composant. Au lieu de changer soit de matériau magnétique, soit la forme du circuit magnétique pour chaque plage de fréquence désirée, on peut ainsi disposer d'une large plage de fréquences possibles pour chaque couple (matériau, forme de circuit). b) Elle est totalement compatible avec les procédés de fabrication des circuits. c) Elle ne change pas la forme macroscopique du composant ni de son circuit magnétique. d) Elle permet de conserver un mme matériau magnétique pour créer des composants ayant des fréquences de fonctionnement différentes.

Brève description des dessins -la figure 1 montre les variations de la fréquence de résonance gyromagnétique fr en fonction du rapport e/p de l'épaisseur (e) au pas (p) des coupures ; -les figures 2a à 2e montrent les étapes de réalisation d'une partie d'un circuit magnétique selon une première variante de l'invention ; -les figures 3a à 3c montrent les étapes de réalisation d'une partie d'un circuit magnétique selon une seconde variante de l'invention ; -la figure 4 montre un exemple de circuit magnétique selon l'invention, en forme de tore ;

-la figure 5 montre un autre exemple de circuit magnétique selon 1'invention adapté à une tte magnétique de lecture.

Exposé détaillé de modes de réalisation Réaliser une couche magnétique interrompue périodiquement par des coupures d'épaisseur (e) pratiquées dans le sens de la ligne moyenne du circuit magnétique avec une période spatiale (p), avec un matériau ayant une perméabilité intrinsèque u, de valeur statique us, revient à créer artificiellement une couche de matériau de perméabilité effective ut, de valeur statique telle que : 1/ues= (l/us) + (e/p) Lorsque (e/p) augmente, 1/Pe, augmente de manière correspondante ce qui montre que ues diminue. La diminution de Ues s'accompagne d'une augmentation corrélative de la fréquence de résonance conformément à la relation : Hes-=c' où C est une constante.

Pour une fréquence fr désirée, connaissant les constantes C et us d'un matériau, on peut calculer la perméabilité ues à réaliser et trouver un couple épaisseur-pas (e, p) satisfaisant l'équation <BR> <BR> <BR> <BR> 1 u. es = 0-/ u-s) + (s/p).Lecircuitobtenu,avecses coupures de dimension et périodicité correspondantes, présente alors une tenue en fréquence jusqu'à fr.

Les formules précédentes sont, en fait, assez approximatives, la notion de perméabilité devenant elle-mme moins précise lorsqu'on s'approche de l'échelle des domaines magnétiques. Pour obtenir une meilleure précision, on peut aussi, pour chaque

matériau magnétique envisagé, réaliser des dispositifs expérimentaux avec des coupures de dimensions et périodicités variables, et mesurer précisément la tenue en fréquence du circuit magnétique pour retenir finalement l'optimum.

L'invention s'applique aux circuits magnétiques monocouches aussi bien qu'aux circuits multicouches. La figure 1 donne, par exemple, la variation de la fréquence de coupure fc en fonction du rapport (e/p) pour un composite de fer-nickel et de nitrure de silicium. La relation liant la perméabilité us et la fréquence fr est, dans ce cas : ts. fr2 = 1300 (GHz) 2.

En l'absence de coupures, la fréquence fr se situe un peu en dessous du Gigahertz et augmente jusqu'à environ 10 GHz pour des coupures dont l'épaisseur est de l'ordre du dixième du pas (e/p=10~1).

De façon plus grossière, on peut aussi estimer l'influence des entrefers périodiques sur les deux autres fréquences caractéristiques liées à 1'effet de peau et à la résonance dimensionnelle. En effet, dans un circuit magnétique de forme quelconque, mais comportant des entrefers périodiques, donc régulièrement répartis sur la longueur du circuit, on peut considérer que la perméabilité effective définie par la formule 1/pes=1/us+e/p prend une signification locale. On montre alors que les deux fréquences limites considérées, celle due à 1'effet de peau et celle due à la résonance dimensionnelle, sont multipliées respectivement par et par n l es Al e. s Dans toutes ces considérations, on suppose bien sûr que, pour un matériau multicouches (ou feuilleté), on a pratiqué des rainures sur l'ensemble des couches.

Les figures 2a à 2e illustrent cinq étapes d'un procédé de réalisation d'une couche magnétique enterrée dans un substrat. Dans cet exemple, la couche magnétique est une branche d'un circuit magnétique appartenant à une tte magnétique verticale à bobinage intégré telle que décrite dans la demande FR-A- 2 745 111. Par ailleurs, cette couche magnétique est multicouche et les épaisseurs des différentes couches ne sont pas, à la mme échelle sur ces figures.

Dans ce procédé, on part d'un substrat 10 (fig.

2a), qui est par exemple en silicium. On dépose sur ce substrat une couche épaisse 12, de plusieurs micromètres d'isolant, par exemple de silice. Cette couche 12 est ensuite gravée à l'aide d'un masque possédant des'ouvertures espacées périodiquement. On obtient alors (fig. 2b) des caissons 14 séparés par des parois 16. L'épaisseur de celles-ci définit l'épaisseur e des futures coupures et leur périodicité définit le pas p desdites futures coupures.

On dépose ensuite sur 1'ensemble (fig. 2c) une sous-couche 20, par exemple par pulvérisation cathodique en Fe-Ni, et l'on forme un masque de résine 22 laissant dégagée la zone où l'on veut réaliser la couche magnétique interrompue par les coupures.

On dépose ensuite la couche magnétique 24 (figure 2d) par exemple par croissance électrolytique de FeNi à partir de la sous-couche 20. On délaque ensuite la résine, on recuit éventuellement 1'ensemble et on dépose une couche d'isolant 26, par exemple en SliN.,.

Les opérations de dépôt d'une sous-couche 20, de masquage, de réalisation d'un dépôt magnétique 24, de délaquage de la résine et de dépôt d'une couche

d'isolant 26 sont répétées dans cet exemple de réalisation plusieurs fois, de façon à obtenir un circuit magnétique composé d'un empilement de couches magnétiques séparées par des couches non magnétiques, la deuxième couche magnétique n'étant pas forcément recouverte par une couche isolante.

On planarise ensuite l'empilement ainsi obtenu par rodage mécanique ou mécano-chimique (fig. 2e). On obtient alors une suite de pavés magnétiques 30 séparés les uns des autres par des coupures 32.

Dans le cas d'un circuit magnétique monocouche, on fait croître, par exemple électrolytiquement, la première couche magnétique 24 à partir de la sous- couche 20 suivant une hauteur suffisante pour remplir les caissons et on planarise ensuite comme à la figure 2e après délaquage.

Les figures 3a à 3c illustrent schématiquement un autre mode de mise en oeuvre du procédé de l'invention.

Sur la figure 3a, on part d'un substrat 40 (par exemple en silicium) et l'on recouvre ce substrat d'une couche isolante 42 (par exemple en Si02). On dépose ensuite un empilement de couches alternées (fig. 3b), respectivement magnétiques 44 et isolantes 46. Les couches magnétiques peuvent tre déposées par pulvérisation cathodique. Les couches isolantes peuvent tre en Si3N4 et tre disposées par pulvérisation cathodique. Un masque de résine 48 est ensuite formé avec des ouvertures 50.

Enfin, par une opération de gravure (fig. 3c), on forme les coupures 52 dans l'empilement multicouche.

Comme précédemment, cette variante de réalisation peut tre utilisée pour former un matériau magnétique monocouche.

La figure 4 montre un exemple de circuit magnétique selon l'invention. Il s'agit d'un tore 60 dont la ligne moyenne 62 est un cercle. Ce circuit est muni de coupures 64 perpendiculaires à cette ligne moyenne, donc radiales. Le plan de ces coupures tourne de 360° lorsqu'on parcourt le circuit. Un enroulement 66 est également figuré.

La figure 5 montre un autre exemple de circuit magnétique et correspond à une tte magnétique de lecture. Ce circuit 70 présente une partie arrière arrondie et deux branches latérales se rapprochant pour délimiter un entrefer 72. La ligne moyenne 74 présente une forme sensiblement circulaire à l'arrière et deux branches se rapprochant. Les coupures 76 sont perpendiculaires à cette ligne moyenne. Le circuit se complète par un bobinage conducteur 78 et il est placé en regard d'un support magnétique 80 où sont inscrites des informations magnétiques.

On comprend, par ces exemples, que les coupures n'ont pas nécessairement une mme direction tout au long du circuit. Cette direction peut changer d'un point à un autre. Elle dépend de la ligne moyenne du circuit, donc de la direction du flux magnétique canalisé par le circuit.