Es ist üblich, Kammern industrieller Prozesse, die unter Be- triebsbedingungen eingesetzt werden, welche eine Begehung nur nach Prozessabschaltung und entsprechend langen Wartezeiten zu- lassen, in regelmässigen Abständen-so selten wie nur möglich bzw. so oft wie nötig-auf Schadstellen, wie Risse etc., zu inspizieren. Es ist dabei ein Kompromiss zu schliessen zwischen Prozessicherheit einerseits und kommerziellen Aspekten ander- seits, bedingt doch, wie erwähnt, eine Inspektion der Prozess- kammern sehr oft eine längerwierige Stillsetzung mindestens von Prozessteilen. Als Beispiele solcher Kammern können erwähnt werden Kessel, Brennräume, Öllager, chemische Prozesskammern etc., grundsätzlich alle Arten von Kammern, welche im Betrieb nicht zur visuellen direkten Inspektion zugänglich sind.

Aus der US 4 218 989 ist es bekannt, fest an einer Beschich- tungslanze eine TV-Kamera einer Beschichtungsdüse zuzuordnen.

Dies, um Innenräume, beispielsweise von Öfen oder Behältnissen, unter Kameraüberwachung neu zu beschichten.

Dabei ist die Beschichtungslanze Teil eines Beschichtungsfahr- zeuges, worauf eine Bedienungsperson, in einem Führerstand, die Position der Beschichtungslanze mit der TV-Kamera überwacht und steuert.

Aus der EP 0 152 301 ist es bekannt, das Innere von Behältnis- sen mittels einer Lanze zu inspizieren, von deren Ende visuelle Signale über Lichtleiter einer ausserhalb des Behältnisses an- geordneten Kamera zugeführt werden.

Aus der US 3 764 736 ist es bekannt, dass Innere von nuklearen Reaktoren mittels einer endständig an einer Inspektionslanze vorgesehenen TV-Kamera zu inspizieren. Bei diesem Vorgehen wird ausserhalb der Reaktorwandung eine Antriebs-und Positionie- rungseinrichtung vorgesehen, mittels welcher, gemeinsam mit der Lanze, eine daran bezüglich einer Lanzen-Querachse auf und ab schwenkbaren TV-Kamera angesteuert wird, sowohl was Auf-/Ab- Bewegung in Lanzenlängsrichtung anbelangt, wie auch, was die Kameradrehbewegung um die Längsachse der Lanze anbelangt.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren bzw. eine Inspektionseinrichtung letztgenannter Art zu schaffen, wo- mit bezüglich notwendiger Installationen für die Inspektion ein wesentlich geringerer Aufwand betrieben werden muss und wesent- lich höhere Einsatzflexibilität erreicht wird einerseits, und andererseits Prozesskammern auch bei hoher Prozessbelastung in situ, d. h. während ihres Betriebes, inspiziert werden können.

Zu diesem Zweck zeichnet sich das erfindungsgemässe Verfahren nach dem Kennzeichen von Anspruch 1 aus. Demnach wird die Kame- ra an der und bezüglich der Lanze in erwünschter Richtung fern- gesteuert um mindestens zwei Achsen geschwenkt.

Dadurch, dass die Kamera an der Lanze in alle erwünschten Rich- tungen ferngesteuert schwenkbar ist, erubrigen sich jegliche Positionierungsantriebe von ausserhalb der Kammer, bis auf ei- nen Linearantrieb in Längsachsenrichtung der Lanze, sofern er- forderlich. Diese lineare Auf-/Ab-Positionierung kann aber ohne

weiteres durch eine herkömmliche, auch zu anderen Zwecken ein- gesetzte Handlingvorrichtung, wie durch einen Kranen mit Lauf- katze, realisiert sein. Weil keine Antriebsorgane der bei- spielsweise aus der US 3 764 736 bekannten Art ausserhalb der zu inspizierenden Kammer vorzusehen sind, ergibt sich eine we- sentlich höhere Einsatzflexibilität, indem die Lanze mit der Kamera praktisch an beliebig engen Stellen mit entsprechend vorgesehener Kammeröffnung eingeführt werden kann.

In einer bevorzugten Ausführungsform wird eine hochauflösende Videokamera eingesetzt.

Insbesondere an einer Prozesskammer mit Prozesstemperaturen -aber 500°C, vorzugsweise gar über 800°C, insbesondere sogar von mindestens 1000°C, wird die Inspektion in höchst vorteilhafter Weise während des Prozesses vorgenommen. Dadurch wird eine Pro- zess-Stillsetzung für die Inspektion nicht nötig, was bezüglich Prozessökonomie, wie sich ohne weiteres ergibt, ganz wesentli- che Vorteile mit sich bringt.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsge- mässen Verfahrens wird eine Videokamera eingesetzt, die im sichtbaren Spektralbereich oder im Infrarotbereich sensitiv ist, wobei die Kamera an der Lanze auswechselbar sein kann.

Insbesondere mit Blick auf die In-situ-Inspektion von Prozess- kammern wird weiter vorgeschlagen, dass man die Kamera aber die Lanze kühlt, vorzugsweise gas-, vorzugsweise luftkühlt, vor- zugsweise mittels zwischen Kamerateilen und Umgebung erstellter Mehrfach-Kühlströmung, mindestens Zweifach-Kühlströmung. Dies besagt, dass man zwischen Kamerapartien und der Prozessumgebung mindestens zwei Gas-, vorzugsweise Luftkuhlungs-Strömungs-

schichten erstellt, wie noch zu erläutern sein wird, bevorzugt so, dass sich die jeweiligen Strömungen entgegenlaufen.

Im weiteren wird, in bevorzugter Ausführungsform, Lanze und Ka- mera bevorzugt manuell oder mittels einer Handling-Einrichtung, bevorzugt mittels eines ohnehin vorzusehenden Krans, vorzugs- weise mit Laufkatze, in eine Inspektionsöffnung der Kammer ein- geführt, welche, vorzugsweise obenliegend, optimal kleindurch- messrig ausgestaltet wird, nämlich mit einem Durchmesser von höchstens 50 cm, vorzugsweise von höchstens 20 cm, ja sogar von höchstens 12 cm.

Vorsehen einer derart kleinen Inspektionsöffnung ist unter vie- len Aspekten höchst vorteilhaft, beispielsweise bezüglich Raum- bedürfnis, bezüglich Handling von Verschlusselementen, Prozess- störungen, Verhinderung schädlicher Prozessaustritte, ggf. Ab- schotung etc. Die erfindungsgemässe Inspektionseinrichtung zeichnet sich, zur Lösung der obgenannten Aufgabe, nach dem Kennzeichen von Anspruch 7 aus, bevorzugte Ausführungsformen nach den Ansprüchen 8 bis 10.

Eine erfindungsgemässe industrielle Prozesskammer zeichnet sich aus nach dem kennzeichnenden Teil von Anspruch 11, bevorzugte Ausführungsformen nach den Ansprüchen 12 bzw. 13, während sich eine bevorzugte Verwendung sowohl des erfindungsgemässen Ver- fahrens wie auch der erfindungsgemässen Inspektionseinrichtung nach Anspruch 14, bevorzugt nach Anspruch 15 auszeichnet. An- spruch 16 definiert einen erfindungsgemässen Kamerakopf.

Die wie erwähnt mittels einer Handling-Einrichtung, bevorzug- terweise mittels eines Krans mit Laufkatze, eingeführte Inspek- tionseinrichtung ist, ausserhalb der Prozesskammer, mit einer Überwachungs-und Steuereinheit wirkverbunden, woran einerseits

Inspektionsinformationen abgespeichert bzw. angezeigt werden, womit anderseits die Lanzenposition, aber insbesondere die Schwenkposition der Kamera aber die am Kopf integrierten An- triebe angesteuert wird. Als thermisch hoch belastete Prozess- kammern, die sich besonders für den Einsatz des erfindungsge- mässen Verfahrens bzw. der erfindungsgemässen Einrichtung an- bieten, sind beispielsweise Brennerkammern, Kessel, Brennerräu- me, Chemieprozessräume, Räume von Nukleareinrichtungen etc. zu nennen, insbesondere bei hohen Betriebstemperaturen im oben an- gegebenen Bereich.

Die Erfindung wird anschliessend beispielsweise anhand von Fi- guren erläutert. Es zeigen : Fig. 1 schematisch, eine erfindungsgemässe Inspektionsein- richtung mit Kamerakopf zur Durchführung des erfin- dungsgemässen Verfahrens, eingelassen in einer erfin- dungsgemässen industriellen Prozesskammer, Fig. 2 schematisch, eine Längsschnittdarstellung der erfin- dungsgemässen Einrichtung, insbesondere zur Erläute- rung des Kamerapositionsantriebes sowie deren Kühlung.

Gemäss Figur 1 ist, durch die Inspektionsöffnung 1 in der obe- ren Kammerwand 3O mit verschliessbarem Flansch 5, eine Lanze 7 eingeführt, welche gegebenenfalls einige Meter lang sein kann.

An dem ins Kammerinnere I einragenden Ende der Lanze 7 ist ein Videokamera-Kopf 9 mit Kamera 9a montiert, vorzugsweise aber einen für mehrere Kameratypen, insbesondere eine Kamera, die im sichtbaren Spektralbereich sensitiv ist und eine Kamera, die im Infrarotbereich sensitiv ist, gemeinsamen Normverschluss 11, vorzugsweise einen Schnellverschluss. Der Kamerakopf 9 ist an der Lanze 7 mittels eines Antriebsmotors 13 um die Lanzenachse

L entsprechend 913 gesteuert schwenkbar und exakt positionier- bar und ist weiter mittels eines gesteuerten Antriebes 15, wie mit p15 dargestellt, exakt bezüglich der Achse L winkelpositio- nierbar. Der ganze Kopf kann vorzugsweise mittels eines weite- ren Normverschlusses, dabei bevorzugt wiederum mittels eines Schnellverschlusses, z. B. eines Bajonettverschlusses, gelöst und wieder montiert werden.

Wie schematisch dargestellt, werden Steuersignale S,, und Sls für die Antriebsmotoren 13 und 15 durch die Lanze zu den Moto- ren am Kopf 9 geführt. Desgleichen werden Steuersignale Sa für den Kamerabetrieb durch die Lanze geführt. Die Bildsignale B von der Kamera 9a werden weiter vorzugsweise mittels Lichtlei- tern durch den Kopf 9 und die Lanze nach aussen geführt. Bevor- zugterweise und insbesondere für den Einsatz in Hochtemperatur- kammern, beispielsweise bei Betriebstemperaturen aber 500°C, gar von über 800°C oder sogar von mindestens 1000°C, wird die Lanze 7 und insbesondere das Gehäuse der Kamera 9a mittels ei- nes Kühlmediums, wie-bevorzugt-mittels Wasser oder mittels eines Gases, vorzugsweise mit Luft, in einem geschlossenen oder offenen Kreislauf gekühlt, wozu (nicht dargestellt) am kam- meräusseren Ende der Lanze 7 Anschlüsse für das mit den Pfeilen Q schematisch dargestellte Kühlmedium vorgesehen sind. Steuer- signale S und Bildsignale B werden bevorzugt einer Steuer-und Eingabeeinheit 17, entfernt von der Inspektionsöffnung 1, zuge- führt bzw. von letzterer ausgegeben. Das momentane Inspektions- resultat wird an einem Display 19 visualisiert und gegebenen- falls, wie bei 21 dargestellt, abgespeichert. Bevorzugterweise weist die Inspektionsöffnung 1 einen Durchmesser von nicht mehr als 50 cm auf, bevorzugterweise gar von nicht mehr als 20 cm, sogar von nicht mehr als 12 cm, und ist mit bezüglich Öffnungs-

fläche Fo vertikaler Flächennormalen NF bevorzugt in oberen Wandungsbereichen der zu inspizierenden Prozesskammer 3O ange- ordnet.

Die gegebenenfalls mehrere Meter lange Inspektionslanze 7 mit Kamerakopf 9 und Kamera 9a wird bevorzugt mittels eines Krans mit Laufkatze eingeführt, wozu (nicht dargestellt) am Aussenen- de der Lanze 7 eine lösbare Hakeinrichtung vorgesehen ist. Ka- bel für Steuer-und Bildsignale sowie Leitungen für das Kühlme- dium sind flexibel und erlauben ohne weiteres ein Einführen der Lanze in die jeweils zu inspizierende Prozesskammer.

In Fig. 2 ist schematisch eine Längsschnittdarstellung durch die erfindungsgemässe Lanzen-/Kamera-Anordnung dargestellt, insbesondere deren erfindungsgemässer Kamerakopf 9. Es sind für bereits beschriebene Teile und Grosse aus Übersichtsgründen dieselben Bezugszeichen verwendet. Die Kamera 9a sitzt in einem mindestens abschnittsweise doppel-, drei-oder gar mehrwandigen Gehäuse 30. Der innerste Gehäuseraum 32, worin die eigentliche Kamera 9a aufgenommen ist, wird abgegrenzt durch eine Innenwand 341.

Ausserhalb der Innenwand 34i ist eine zweite Wand 34 vorgese- hen, welche mit einem Aufnahmefenster 36, beispielsweise aus <BR> <BR> <BR> <BR> Quarzglas, dicht verbunden ist, derart, dass ein Kühlkanal 38i<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> <BR> über fensterseitige Verbindungen 40 mit dem Innenraum 32 kommu-<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> <BR> niziert. Die Wand 34m definiert gemeinsam mit der Wand 34i t wie dargestellt mindestens entlang Kamera-angrenzender Gehäusepar- tien, den ersten Kühlkanal 38i. Aussenliegend ist eine weitere <BR> <BR> <BR> <BR> Wand 34a vorgesehen, welche mit der rückseitigen Abschlusswand 42 des Gehäuses 30 dichtend verbunden ist und welche mit der

Wand 34m einen äusseren Strömungskanal 38a definiert, welcher in einem Bereich 44 mit dem Strömungskanal 38i kommuniziert.

Das Gehäuse 30 ist, wie bei 50 dargestellt, um eine Achse A1s an einem Lanzen-Anschlussstutzen 46 drehgelagert. Im Lanzen- Anschlussstutzen 46 ist der Antriebsmotor 15 eingebaut, welcher aber ein Getriebe 15g Gehäuse 30 mit Kamera 9a, entsprechend (pu,, um die Achse Als schwenkt. Der Anschlussstutzen 46 seiner- seits ist zweiteilig, mit Teil 46a und 46b, koaxial relativ zu- einander, wie mit Lagern 55 angetönt, drehgelagert. Der Teil 46a wird mittels eines Antriebsmotors 13 ggf. aber ein Getriebe und, wie schematisch dargestellt, beispielsweise eine Zahnrad- Zahnkranz-Drehkopplung 52 bezüglich des Teils 46b geschwenkt.

Dies entsprechend der Schwenkbewegung (p.

Bevorzugterweise wird der Schnellverschluss lla für den ganzen Kamerakopf 9 vorgesehen, zum raschen Ankoppeln dieses erfin- dungsgemässen Kopfes 9 an die im wesentlichen als einfaches Hohlrohr ausgebildete Lanze 7.

Kühlgas G, vorzugsweise Kühlluft, wird durch die Lanze 7 ent- lang der Antriebsmotoren 13 und 15 durch die offene Drehlage- rung am Lager 50, wie mit den Pfeilen angedeutet, in den Innen- raum 32 eingepresst. Erst umströmt dieses Gas direkt die Kamera 9a, um vorzugsweise dreiseitig in den Strömungskanal 38i einzu- strömen. Von dort strömt es in den äusseren Strömungskanal 38at von wo es durch Öffnungen 60, welche die Prozessumgebung U mit dem äusseren Strömungskanal 38a verbinden, in den Prozessraum ausströmt. Die Austrittsöffnungen werden bevorzugt durch Öff- nungen mit Durchmesser 01 mm, vorzugsweise 0 : 5 mm, rea- lisiert. Entsprechend dem Prozess kann anstelle von Luft auch ein anderes Gas eingesetzt werden. Bei 62 ist die Durchführung

durch das Lager 50 für Kamerasteuer-und Bildübertragungslei- tungen dargestellt, die Steuerleitungen zu den Antriebsmotoren 13 und 15 sind nicht dargestellt.

Es ist zu betonen, dass die in der Ansicht gemäss Fig. 2 vorge- stellte, durch Mehrfachwandungen realisierte Kühlungstechnik, mit mehreren zwischen Kamera 9a und Prozessumgebung vorgesehe- nen Kühlgas-Strömungslagen, bevorzugterweise mindestens drei- seitig um die Kamera 9a realisiert wird.

Gemäss Fig. 2 ist weiter ein flexibel montierbarer Scheinwerfer 64 vorgesehen. Dieser wird durch den im zugeordneten Wandungs- bereich realisierten Strömungskanal 38C durch das in den Innen- raum 32 eingepresste Gas mitgekühlt.

Mit dem beschriebenen erfindungsgemässen Vorgehen wird es mög- lich, an einer mit den erwähnten kleinen Öffnungen ausgerüste- ten Prozesskammer während ihres Prozessbetriebes, d. h. im we- sentlichen jederzeit, Inspektionen durchzuführen, was die Ren- tabilität des Gesamtprozesses bzw. der Gesamtanlage wesentlich erhöht. Insbesondere kann die erfindungsgemässe Inspektion ohne Vorsehen aufwendiger und voluminöser Antriebseinrichtungen aus- serhalb der Kammer eingesetzt werden, was die Einsatzflexibili- tät drastisch erhöht.