Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur

lithographiebasierten generativen Fertigung von

dreidimensionalen Bauteilen, bei dem durch Einwirkung elektromagnetischer Strahlung verfestigbares Material in einer Wanne vorliegt, eine Bauplattform in Abstand vom Wannenboden positioniert wird, zwischen der Bauplattform und dem Wannenboden befindliches Material ortsselektiv mit Hilfe einer Bestrahlungseinheit bestrahlt wird, wobei die elektromagnetische Strahlung von unten durch einen für die Strahlung zumindest bereichsweise durchlässigen Wannenboden in das Material eingebracht und nacheinander auf

Fokuspunkte innerhalb des Materials fokussiert wird, wodurch jeweils ein am Fokuspunkt befindliches

Volumenelement des Materials verfestigt wird, wobei die Verfestigung mittels Multiphotonenabsorption erfolgt.

Die Erfindung betrifft weiters eine Vorrichtung zur

lithographiebasierten generativen Fertigung von

dreidimensionalen Bauteilen, die insbesondere zur

Durchführung eines solchen Verfahrens geeignet ist.

Lithographiebasierte generative Fertigung (L-GF, z.B.

Stereolithographie) wird traditionell hauptsächlich für die Herstellung von Prototypen und Funktionsmustern verwendet. Durch technische Weiterentwicklungen rücken zusehends echte Produktionsanwendungen in den Fokus (z.B. transparente Zahnspangen, Hörgeräteschalen) . Im Zuge dieser

Entwicklungen wird es immer wichtiger, dass möglichst große Teile herstellbar sind. Ebenso von großer Bedeutung ist der erzielbare Durchsatz. Lithographiebasierte Techniken (z.B. Stereolithographie) bieten gegenüber anderen generativen Verfahren vor allem Vorteile hinsichtlich Auflösung,

Präzision und Oberflächenqualität.

Derzeit verfügbare L-GF Verfahren belichten entweder von oben auf eine mit photosensitivem Material gefüllte Wanne, wie in der WO 93/08506 AI beschrieben, oder von unten durch eine transparente Wanne, in der sich eine dünne Schicht aus photosensitivem Material befindet, siehe WO 01/40866 A2. Bei der Belichtung von oben bestehen zwei Schwierigkeiten: (1) Für große Bauteile sind sehr große Materialmengen erforderlich, da das gesamte Bauteil vollständig im

photosensitiven Material versenkt werden muss. (2) Es müssen für gute Oberflächen sehr dünne Schichten aus photosensitivem Material aufgebracht werden, was für

Schichtdicken unterhalb von 50μm sehr schwierig ist.

Auch bei der Belichtung von unten gibt es Schwierigkeiten: Das flüssige photosensitive Material befindet sich in diesem Fall zwischen der transparenten Wanne und der

Bauplattform, die schichtweise nach oben verschoben wird. Trotz der Antihaftbeschichtung der Wanne haftet das Bauteil während des Bauvorgangs unerwünschterweise an der Wanne an. Beim Anheben der Bauplattform können so große Abzugskräfte entstehen, was insbesondere bei der Fertigung größerer Bauteile zu Problemen führt. Es gibt dazu zwar neue Ansätze (z.B. US 2014/361463 AI), die über Sauerstoffeinbringung eine Inhibierungsschicht zwischen Wanne und Bauteil

erzeugen und so eine Anhaftung reduzieren. Allerdings besteht dann das Problem, dass das nachfließende Material in einen sehr dünnen Spalt fließen muss, was bei

dickwandigeren Bauteilen oder hochviskosen Materialien problematisch ist. Bei allen oben genannten Verfahren besteht zudem das

Problem, dass bei Erhöhung der Auflösung die Bauzeiten sehr rasch ansteigen.

In der DE 10111422 AI wurde ein Verfahren vorgeschlagen, bei dem die Verfestigung des flüssigen photosensitiven Materials durch Multiphotonenabsorption vorgenommen wird. Dazu strahlt man mit einem fokussierten Laserstrahl in das Bad des photosensitiven Materials ein, wobei die

Bestrahlungsbedingungen für einen die Verfestigung

auslösenden Mehrphotonenabsorptionsprozess nur in

unmittelbarer Umgebung des Fokus erfüllt sind, sodass man den Fokus des Strahls nach Maßgabe der Geometriedaten des herzustellenden Formkörpers innerhalb des Badvolumens zu den zu verfestigenden Stellen führt. Die Bestrahlung des Materialbades erfolgt bei dem Verfahren gemäß der

DE 10111422 AI von oben, wobei die Strahlungsintensität so gewählt wird, dass die Flüssigkeit für die verwendete

Strahlung oberhalb des Fokuspunktes im Wesentlichen

transparent ist, sodass ein direktes Polymerisieren des Badmaterials ortsselektiv innerhalb des Badvolumens, d.h. auch weit unterhalb der Badoberfläche stattfindet.

Bei der Veränderung der Lage des Fokuspunkts entlang der optischen Achse des verwendeten optischen Abbildungssystems ergeben sich jedoch Abbildungsfehler, die mit zunehmendem Anteil von Material im optischen Pfad mit nicht optimal abgestimmtem Brechungsindex zunehmen. Dies ist besonders bei Verfahren von Nachteil, bei denen sehr feine Strukturen hergestellt werden und daher eine hohe Auflösung des

Abbildungssystems erforderlich ist. Um die hohe Auflösung des optischen Abbildungssystems zu gewährleisten, muss der Brechungsindex des photosensitiven Materials auf das optische Abbildungssystem, oder umgekehrt, abgestimmt sein. Sollte das nicht der Fall sein, oder das Material seine Eigenschaften, zum Beispiel durch Änderung des

Wassergehalts, während des Bauprozesses ändern, würde die erzielbare Auflösung der gebauten Strukturen abnehmen.

Für die Multiphotonenabsorptions-Strukturierung mit hoher Auflösung im Nanometerbereich wurde in der

DE 102011012484 AI daher ein Verfahren vorgeschlagen, bei dem das Objektiv des optischen Abbildungssystems in das photosensitive Material eintaucht. Dadurch sind größere Bauteilhöhen mit hoher Auflösung realisierbar, die optische Abbildungseinheit ist aber im ständigen Kontakt mit dem photosensitiven Harz, was bei ungewollter

Materialumwandlung, zum Beispiel durch Streulicht oder ümgebungslicht, zu einer Beschädigung der Optik führen kann.

In der EP 2905121 AI ist ein Verfahren beschrieben, bei dem die Verfestigung des photosensitiven Materials ebenfalls mittels Multiphotonenabsorption stattfindet und die

Belichtung des Bades von unten durch einen transparenten Boden der Materialwanne erfolgt. Die Fokussierung erfolgt auf Fokuspunkte, die in fixem Abstand vom Wannenboden liegen, wobei die Bauplattform mit fortschreitendem

Arbeitsfortschritt in Höhenrichtung aus dem Bad gezogen wird, sodass Bauteile mit großer Höhe hergestellt werden können.

Das Dokument WO 2015/197794 AI beschreibt eine Einheit zur Veränderung des Fokuspunktvolumens für

Multiphotonabsorptions-Strukturierung, die auf der

Verwendung unterschiedlicher diffraktiver optischer Elemente vor dem Abbildungssystem basiert, μm das

Fokuspunktvolumen anzupassen. Die Anordnung des

diffraktiven optischen Elements direkt vor dem optischen Abbildungssystem bietet die Möglichkeit, bestehende Systeme einfach nachzurüsten, kann jedoch nur schlecht durch zusätzliche Elemente erweitert werden. Insbesondere ist diese Anordnung nicht mit einer Ablenkeinheit oder

vergleichbaren Elementen kombinierbar, da der Strahl im Falle der Auslenkung aus der Ruheposition des Ablenksystems nicht mehr unter optimalen Winkel auf das diffraktive optische Element auftrifft, wodurch die Beugungeffizienz abnimmt .

Ein Großteil der bisherigen Verfahren im Bereich der

Multiphotonenabsorptions-Strukturierung, wie auch EP

2905121 AI, zielt darauf ab, Strukturen mit sehr hoher Auflösung zu schreiben. Durch hochauflösende optische

Abbildungssysteme, meist aus der Mikroskopie, werden dabei minimale Strukturgrößen von bis zu 50nm erzielt. Die hohe Auflösung bedingt kleine Fokuspunktvolumen, die durch

Verwendung von optischen Abbildungssystemen mit hoher

Vergrößerung und hoher numerischer Apertur erreicht werden. Durch die hohe numerische Apertur ist auch ein annähernd kugelförmiges Fokuspunktvolumen erzielbar (typischerweise kleiner als lxlxlμm ³ ) . Bedingt durch das kleine

Fokuspunktvolumen ist der Durchsatz solcher Anlagen

allerdings sehr gering, da z.B. für ein Volumen von 1mm ³ insgesamt mehr als 10 ⁹ Punkte belichtet werden müssen. Dies führt zu sehr langen Bauzeiten, was der Hauptgrund für den geringen industriellen Einsatz von

Multiphotonenabsorptions-Verfahren ist . Die vorliegende Erfindung zielt daher darauf ab, ein

Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art dahingehend zu verbessern, dass der Bauteiledurchsatz erhöht wird ohne die Möglichkeit einer hohen

Strukturauflösung zu verlieren.

Zur Lösung dieser Aufgabe besteht die Erfindung bei einem Verfahren der eingangs genannten Art darin, dass das

Volumen des Fokuspunkts während des Verfahrens zumindest einmal variiert wird, sodass der Bauteil aus verfestigten Volumenelementen unterschiedlichen Volumens aufgebaut wird. Durch das variable Volumen des Fokuspunktes sind (bei kleinem Fokuspunktvolumen) hohe Auflösungen möglich.

Gleichzeitig ist (bei großem Fokuspunktvolumen) eine hohe Schreibgeschwindigkeit (gemessen in mmVh) erzielbar. Die Erfindung kombiniert also hohe Auflösung mit großem

Durchsatz. Die Variation des Fokuspunktvolumens kann dabei zum Beispiel so genutzt werden, dass im Inneren des

aufzubauenden Bauteils ein großes Fokuspunktvolumen

verwendet wird, um den Durchsatz zu erhöhen, und an der Oberfläche des Bauteils ein kleineres Fokuspunktvolumen zur Anwendung kommt, um die Bauteiloberfläche mit hoher

Auflösung auszubilden. Eine Vergrößerung des

Fokuspunktvolumens ermöglicht einen höheren

Strukturierungsdurchsatz, da das in einem

Belichtungsvorgang verfestigte Materialvolumen vergrößert wird. Um bei hohem Durchsatz eine hohe Auflösung

beizubehalten, können kleine Fokuspunktvolumina für feinere Strukturen und Oberflächen, und größere Fokuspunktvolumina für grobe Strukturen und/oder zum Füllen von Innenräumen verwendet werden. Bei einer bevorzugten Verfahrensweise erfolgt die Variation des FokusVolumens derart, dass das größte Fokuspunktvolumen während der Fertigung eines Bauteils größer lμm ³ , bevorzugt größer lOOμm ³ , insbesondere größer lO.OOOμm ³ ist.

Das Prinzip der Multiphotonenabsorption wird im Rahmen der Erfindung genutzt, um im photosensitiven Materialbad einen photochemischen Vorgang zu initiieren. Als Folge der photochemischen Reaktion kommt es zur Veränderung des

Materials in mindestens einen anderen Zustand, wobei es typischerweise zu einer Photopolymerisation kommt. Die Belichtung erfolgt dabei von unten durch einen für die elektromagnetische Strahlung transparenten Wannenboden. Das Prinzip der Multiphotonenabsorption beruht darauf, dass der genannte photochemische Vorgang nur in jenen Bereichen des Strahlengangs stattfindet, in denen eine für die

Multiphotonenabsorption ausreichende Photonendichte

vorliegt. Die höchste Photonendichte tritt im Brennpunkt des optischen Abbildungssystems auf, sodass die

Multiphotonenabsorption mit ausreichender

Wahrscheinlichkeit nur im Fokuspunkt auftritt. Außerhalb des Brennpunktes ist die Photonendichte geringer, sodass die Wahrscheinlichkeit der Multiphotonenabsorption

außerhalb des Brennpunktes zu gering ist, um eine

unumkehrbare Veränderung des Materials durch eine

photochemische Reaktion zu bewirken. Die elektromagnetische Strahlung kann in der verwendeten Wellenlänge weitestgehend ungehindert das Material passieren und nur im Fokuspunkt kommt es zu einer Interaktion zwischen photosensitivem Material und elektromagnetischer Strahlung. Das Prinzip der Multiphotonenabsorption ist beispielsweise in Zipfel et al, „Nonlinear magic: multiphoton microscopy in the biosciences", NATURE BIOTECHNOLOGY VOLUME 21 NUMBER 11 NOVEMBER 2003, beschrieben.

Als Quelle für die elektromagnetische Strahlung kann es sich vorzugsweise um einen kollimierten Laserstrahl

handeln. Der Laser kann sowohl eine oder mehrere, feste oder variable Wellenlängen emittieren. Insbesondere handelt es sich um einen kontinuierlichen oder gepulsten Laser mit Pulslängen im Nanosekunden-, Pikosekunden- oder

Femtosekunden-Bereich. Ein gepulster Femtosekundenlaser bietet dabei den Vorteil, dass eine geringere mittlere Leistung für die Multiphotonenabsorption benötigt wird.

Unter photosensitivem Material wird jedes unter

Baubedingungen fließfähige Material verstanden, das durch Multiphotonenabsorption im Fokuspunktvolumen in einen zweiten Zustand übergeht - beispielsweise durch

Polymerisation. Die Materialveränderung muss sich dabei auf das Fokuspunktvolumen und dessen direkte Umgebung

begrenzen. Die Veränderung der Substanzeigenschaften kann dauerhaft sein und beispielsweise in einer Veränderung von einem flüssigen in einen festen Zustand bestehen, kann jedoch auch nur vorübergehend sein. Auch eine dauerhafte Veränderung kann im Übrigen reversibel oder nicht

reversibel sein. Die Änderung der Materialeigenschaften muss nicht zwingend vollständig von einem in den anderen Zustand übergehen, sondern kann auch als Mischform beider Zustände vorliegen.

Die Leistung der elektromagnetischen Strahlung und die Belichtungsdauer beeinflussen die Qualität des erzeugten Bauteils. Durch Anpassung der Strahlungsleistung und/oder der Belichtungsdauer kann das Volumen des Fokuspunktes in einem engen Bereich variiert werden. Bei zu hohen

Strahlungsleistungen treten zusätzliche Prozesse auf, die zur Beschädigung des Bauteils führen können. Ist die

Strahlungsleistung zu gering, kann sich keine dauerhafte Materialeigenschaftsänderung einstellen. Für jedes

photosensitive Material gibt es daher typische

Bauprozessparameter die mit guten Bauteileigenschaften verbunden sind.

Die erfindungsgemäße Variation des Fokuspunktvolumens beruht hierbei jedoch nicht auf einer Änderung der

Intensität der verwendeten elektromagnetischen Strahlung. Vielmehr wird bei der für den Bauprozess gewählten

(optimalen) Strahlungsintensität gearbeitet, die während des Bauteilaufbaus unverändert gelassen wird. Das

erfindungsgemäße Verfahren wird daher bevorzugt so

durchgeführt, dass die Änderung des Fokuspunktvolumens bei gleichbleibender Strahlungsintensität vorgenommen wird, wobei die verwendete durchschnittliche Leistung der elektromagnetischen Strahlung dementsprechend angepasst wird.

Als Fokuspunktvolumen wird daher jenes Volumen eines belichteten Punktes nach dem Aufbereitungsschritt bei den typischen Bauprozessparametern verstanden. Unter der erfindungsgemäßen Änderung des Fokuspunktvolumens wird eine Veränderung der räumlichen Intensitätsverteilung im

Fokuspunkt verstanden. Hierbei kann die räumliche

Intensitätsverteilung des Fokuspunktes sowohl in eine oder mehrere Richtungen verändert werden. So kann zum Beispiel durch Reduktion der effektiven numerischen Apertur des optischen AbbildungsSystems die Intensitätsverteilung in alle drei Raumrichtungen vergrößert werden. Bei der Verwendung eines diffraktiven optischen Elementes kann der Fokus in eine Linie oder Fläche verändert, oder die Anzahl der Fokuspunkte erhöht werden.

Eine bevorzugte Verfahrensweise der Erfindung sieht vor, dass die Änderung des Fokuspunktvolumens mittels einer Einheit bestehend aus wenigstens einem im Strahlengang zwischen der Quelle der elektromagnetischen Strahlung und einem auf den Fokuspunkt fokussierenden optischen

Abbildungssystem angeordneten optischen Element vorgenommen wird. Das optische Element ist bevorzugt so angeordnet, dass die Strahlen der elektromagnetischen Strahlung im rechten Winkel auf dieses auftrifft, d.h. dass die

Strahlung in Richtung der optischen Achse des optischen Elements auf dieses auftrifft.

Die Änderung des Fokuspunktvolumens mittels des wenigstens einen optischen Elements kann auf verschiedenste Weise erfolgen, wobei die nachfolgend angeführten Möglichkeiten auch miteinander kombiniert werden können.

Bevorzugt ist vorgesehen, dass die Änderung des

Fokuspunktvolumens durch Variation der effektiven

numerischen Apertur des optischen Abbildungssystems

erfolgt. Unter numerischer Apertur des optischen

Abbildungssystems werden dessen nominelle Eigenschaften unter optimalen Bedingungen mit der kleinsten möglichen Fokuspunktgröße verstanden. Kommt es durch Veränderung der optischen Parameter vor dem optischen Abbildungssystem zu größeren Fokuspunktvolumen, spricht man von der effektiven numerischen Apertur des Abbildungssystems. Bevorzugt kann auch vorgesehen sein, dass die Änderung des Fokuspunktvolumens durch Variation des Strahldurchmessers entlang des Strahlengangs erfolgt.

Das Verfahren kann bevorzugt auch so durchgeführt werden, dass die Variation des Strahldurchmessers mittels einer insbesondere variablen Aufweitoptik oder einer

verstellbaren Blende erfolgt. Unter einer Aufweitoptik wird ein optisches System verstanden, mit dem der

Strahldurchmesser vergrößert oder verkleinert wird. Der Strahldurchmesser bestimmt zusammen mit der Brennweite des optischen AbbildungsSystems das Fokuspunktvolumen. Bei konstanter Brennweite führt eine Veränderung des

Strahldurchmessers daher zu einer Änderung der effektiven numerischen Apertur und damit zu einer Änderung des

Fokuspunktvolumens. Die Aufweitoptik kann sowohl mit konstanter oder variabler AufWeitung ausgeführt sein. Im Falle einer variablen Aufweitung kann die Aufweitoptik zur Veränderung des Fokuspunktvolumens eingesetzt werden.

Eine Veränderung des Strahldurchmessers kann auch mit Hilfe einer verstellbaren Blende vorgenommen werden, wobei eine Verkleinerung des Strahldurchmessers beispielsweise zu einer Reduzierung der effektiven numerischen Apertur führt, wodurch sich Durchmesser und Länge des Fokuspunktvolumens erhöhen. Die Blende kann als eindimensionale Schlitzblende, als zweidimensionale Irisblende oder jegliche andere

Blendenform ausgeführt werden.

Bevorzugt wird das wenigstens eine optische Element von einem diffraktiven optischen Element und/oder einer

optischen Linse gebildet. Eine mögliche Anwendung eines diffraktiven optischen Elements liegt darin, aus dem eintreffenden Strahl mehrere Strahlen, welche sich im

Austrittswinkel unterscheiden, zu formen. Die einzelnen Strahlen werden durch das optische Abbildungssystem auf die Fokusebene abgebildet, wobei die einzelnen Fokuspunkte der einzelnen Strahlen unterschiedliche Punkte in der

Fokusebene darstellen. Je nach verwendetem diffraktiven optischen Element können hier ein oder mehrere Fokuspunkte abgebildet werden. Die Fokuspunkte können auch so nahe zueinander liegen, dass die einzelnen Punkte ineinander übergehen. In diesen Fall entstehen Linien oder Flächen. Das diffraktive optische Element kann statisch oder

dynamisch sein. Bei dynamischen diffraktiven optischen Elementen spricht man von einem „spatial light modulator".

Die Einheit zur Veränderung des Fokuspunktvolumens kann auch ein optisches System zur Strahlformung enthalten. Ein solches optisches System kann aus zwei Zylinderlinsen mit variablem Abstand zur gezielten Kontrolle des Astigmatismus im optischen Abbildungssystem bestehen. Durch Variation des Linsenabstands kann eine Dimension des Fokuspunktvolumens gezielt beeinflusst werden.

Weiters kann die Einheit zur Veränderung des

Fokuspunktvolumens auch ein oder mehrere schnell bewegte Strahlablenksysteme beinhalten, welches den Strahl in einem bekannten Winkel zu den anderen Ablenksystemen führt. In bevorzugter Weise stehen zwei Ablenksysteme im rechten Winkel zueinander. Während das eine Ablenksystem den Strahl durch das photosensitive Material führt, verbreitert das zweite das umgewandelte Materialvolumen durch eine schnelle Bewegung des Strahls orthogonal zur Strahlführungsrichtung. Mit den genannten Maßnahmen zur Veränderung des FokuspunktVolumens kann die Änderung des Fokuspunktvolumens in wenigstens eine, vorzugsweise in drei, senkrecht

zueinander stehenden Raumrichtungen erfolgen.

Im Rahmen der beschriebenen Maßnahmen zur Veränderung des Fokuspunktvolumens kann die numerische Apertur des

optischen Abbildungssystems klein gewählt werden, wobei die numerische Apertur vorzugsweise kleiner 0,8, vorzugsweise kleiner 0,2 gewählt ist.

Wie bereits erwähnt wird der Bauteil erfindungsgemäß so aufgebaut, dass die elektromagnetische Strahlung von unten durch einen für die Strahlung zumindest bereichsweise durchlässigen Wannenboden in das Material eingebracht und nacheinander auf eine Vielzahl von Fokuspunkten innerhalb des Materials fokussiert wird. Bevorzugt wird hierbei so vorgegangen, dass die elektromagnetische Strahlung mittels einer vorzugsweise vor dem optischen Abbildungssystem angeordneten Ablenkeinheit abgelenkt wird, um den

Fokuspunkt in einer zum Wannenboden im Wesentlichen

parallelen Ebene (X- und Y-Richtung) zu verstellen. Die Verstellung erfolgt jedes Mal, nachdem ein Volumenelement des Materials verfestigt wurde. Für die Ablenkung des

Strahls können dabei beliebige Strahlablenkeinheiten eingesetzt werden, welche aus dem Stand der Technik bekannt sind. Beispielsweise kann eine separate

Strahlablenkeinrichtung für eine Strahlablenkung in X- Richtung und eine Strahlablenkeinrichtung für eine

Ablenkung in Y-Richtung vorgesehen werden. Zusätzlich kann die Strahlablenkungseinheit mit einem Positioniersystem kombiniert oder dadurch teilweise ersetzt werden, welches das Bildfeld des Abbildungssystems bewegt, um die Herstellung von Bauteilen mit größerer Erstreckung in X- und Y-Richtung zu ermöglichen. Dabei ist es unerheblich, ob das optische Abbildungssystem oder das Bauteil bewegt wird.

Bevorzugt wird die Strahlenablenkeinrichtung im

Strahlengang zwischen der Einheit zur Veränderung des

Fokuspunktvolumens, insbesondere bei diffraktiven optischen Elementen, und dem optischen Abbildungssystem angeordnet. Dadurch wird sichergestellt, dass die von der Ablenkeinheit bewirkte Strahlablenkung keinen Einfluss auf die Wirkung des optischen Elements aufweist.

Eine bevorzugte Verfahrensweise sieht weiters vor, dass die Bauplattform mit fortschreitendem Baufortschritt

schrittweise angehoben wird. Der Aufbau des Bauteils kann dabei z.B. schichtweise erfolgen. Es werden zuerst alle Volumenelemente in einer Ebene bzw. Schicht hergestellt, worauf die Bauplattform zur Ausbildung der nächsten Schicht angehoben wird. Dazu wird eine in vertikaler Richtung (Z- Richtung) verstellbare Bauplattform in dem photosensitiven Material angeordnet. An dieser Bauplattform haftet die erste durch multiphotoneninduzierte Materialumwandlung erzeugte Schicht des zukünftigen Bauteils an. Die zweite Schicht haftet an der ersten Schicht an und jede weitere Schicht haftet an der jeweils vorangehenden Schicht an, sodass das Bauteil durch schichtweisen Aufbau aus der Wanne herauswächst .

Besonders bevorzugt wird der Fokuspunkt hierbei im Abstand vom Wannenboden angeordnet. Typischerweise beträgt der

Abstand des Fokuspunktes vom Wannenboden zwischen 20um und 2mm. Auf Grund des Abstands zwischen Polymerisationszone und dem Wannenboden kann es zu keiner unerwünschten Anhaftung des umgewandelten Materials an der Wanne kommen. Zusätzlich kann frisches Material leichter zwischen Bauteil und Wanne nachfließen, um als Ausgangsmaterial für die folgenden Schichten zur Verfügung zu stehen. Da es zu keiner Anhaftung des Bauteils am Wannenboden kommt, sind keine Abzugskräfte beim Anheben der Bauplattform zu

erwarten. Basis dieses Effekts ist die Tatsache, dass der photochemische Vorgang bei der Multiphotonenabsorption wie bereits erwähnt nur in einem gut definierten Fokusvolumen stattfinden kann. Wenn der Abstand zwischen Wannenboden und Bauschicht relativ groß gewählt wird, kann während des Bauprozesses Material in den Spalt zwischen Wannenboden und Bauteil nachfließen, wodurch ein weitestgehend

kontinuierlicher Prozess ermöglicht wird.

Bei dem beschriebenen schichtweisen Aufbau des Bauteils kann der Normalabstand der Fokuspunkte vom Wannenboden konstant gehalten werden, weil die Bewegung des Bauteils in vertikaler Richtung durch die bewegliche Bauplattform realisiert wird. Dadurch bleiben die optischen

Randbedingungen während des ganzen Bauprozesses konstant. Damit wird gegenüber dem Stand der Technik, bei dem der Fokus in vertikaler Richtung bewegt wird, der Vorteil erreicht, dass die elektromagnetische Strahlung nicht unterschiedlich tief ins photosensitive Material fokussiert werden muss, was zu tiefenabhängigen Variationen der

Fokusqualität führen würde. Der konstant gehaltene

Normalabstand wird vorzugsweise zwischen dem Wannenboden und dem Mittelpunkt des Fokuspunktvolumens gemessen.

Alternativ kann der konstant gehaltene Normalabstand zwischen dem Wannenboden und der unteren Berandung des Fokuspunktvolumens gemessen werden. Die erfindungsgemäße Änderung des Fokuspunktvolumens kann hierbei auch innerhalb ein und derselben Schicht erfolgen, sodass eine Schicht aus .Volumenelementen unterschiedlichen Volumens zusammengesetzt wird. Es kann aber auch so vorgegangen werden, dass sich eine Schicht aus lauter gleich großen Volumenelementen zusammensetzt und dass ein geändertes Fokuspunktvolumen für die nächste Schicht angewendet wird.

Als optisches Abbildungssystem, das die elektromagnetische Strahlung auf den jeweiligen Fokuspunkt fokussiert, kann jegliches, nach dem Stand der Technik bekanntes, optisches System mit einer beliebigen Anzahl optischer Elemente zur Fokussierung eingesetzt werden. Die optische

Abbildungseinheit kann vor oder nach der

Strahlablenkungseinheit eingesetzt werden. Beispielsweise kann eine F-Theta Optik nach dem Strahlablenksystem mit einer moderaten numerischen Apertur von < 0.2 verwendet werden.

Zwischen der Strahlablenkungseinheit und der Fokussieroptik des optischen Abbildungssystems kann eine zusätzliche optische Strahlaufweitung oder -reduktion eingefügt sein. Dieses zusätzliche optische System kann die effektive numerische Apertur durch Änderung des Strahldurchmessers bei gleichbleibender Brennweite der optischen

Abbildungseinheit vergrößern oder verkleinern. Jegliche Anpassungen nach dem Strahlablenkungssystem wirken sich jedoch auf die Strahlablenkgeschwindigkeit aus.

Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur lithographiebasierten generativen Fertigung von

dreidimensionalen Bauteilen, insbesondere zur Durchführung eines Verfahrens nach dem ersten Aspekt der Erfindung. Die Vorrichtung umfasst eine Quelle elektromagnetischer

Strahlung, eine Wanne mit einem zumindest bereichsweise für die Strahlung durchlässigen Boden, in die verfestigbares Material einfüllbar ist, eine Bauplattform, die in

einstellbarer Höhe über dem Wannenboden gehalten ist, und eine Bestrahlungseinheit, die zur ortsselektiven

Bestrahlung von zwischen der Bauplattform und dem

Wannenboden befindlichen Material von unten durch den

Wannenboden ansteuerbar ist, wobei die Bestrahlungseinheit ein optisches Abbildungssystem umfasst, um die Strahlung nacheinander auf Fokuspunkte innerhalb des Materials zu fokussieren, wodurch jeweils ein am Fokuspunkt befindliches Volumenelement des Materials mittels

Multiphotonenabsorption verfestigbar ist. Die Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Bestrahlungseinheit wenigstens ein im Strahlengang zwischen der Quelle der elektromagnetischen Strahlung und dem optischen

Abbildungssystem angeordnetes optisches Element umfasst, welches zur Änderung des Volumens des Fokuspunkts

ausgebildet ist .

Bevorzugt kann das wenigstens eine optische Element zur Veränderung der effektiven numerischen Apertur des

Abbildungssystems verwendet werden.

Bevorzugt ist vorgesehen, dass das wenigstens eine optische Element zur Variation des Strahldurchmessers entlang des Strahlengangs vorhanden ist.

Bevorzugt ist vorgesehen, dass das wenigstens eine optische Element von einer variablen Aufweitoptik oder einer

verstellbaren Blende gebildet ist. Bevorzugt kann auch vorgesehen sein, dass das wenigstens eine optische Element von einem diffraktiven optischen Element und/oder einer optischen Linse gebildet wird.

Insbesondere kann das wenigstens eine optische Element ein Strahlformungssystem umfassen, das z.B. zwei in variablem Abstand zueinander gehaltene Zylinderlinsen umfasst.

Bevorzugt ist vorgesehen, dass die Variation des

Strahldurchmessers durch zumindest ein schnell bewegtes Ablenksystem erfolgt (z. B. Wobbein des Strahls und dadurch im zeitlichen Mittel eine Vergrößerung des

Fokuspunktvolumens) .

Bevorzugt kann die Änderung des Fokusvolumens durch einen schnellen Wechsel verschiedener Abbildungssysteme erfolgen.

Bevorzugt umfasst die Bestrahlungseinheit eine vorzugsweise vor dem optischen Abbildungssystem angeordnete

Ablenkeinheit, um den Fokuspunkt in einer zum Wannenboden im Wesentlichen parallelen Ebene zu verstellen.

Bevorzugt kann die Einheit zur Veränderung des

Fokuspunktvolumens ein schnelles Ablenksystem beinhalten, das den Strahl bevorzugt im rechten Winkel zu einer Achse der Ablenkeinheit verbreitert (z. B. Wobbein des Strahls und dadurch im zeitlichen Mittel eine Vergrößerung des Fokuspunktvolumens) .

Mit Vorteil ist eine mit der Bestrahlungseinheit

zusammenwirkende Steuereinheit dazu vorbereitet, in

aufeinanderfolgenden Bestrahlungsschritten in einer Schicht liegende Volumenelemente auf der Bauplattform zur

Ausbildung einer Schicht mit vorgegebener Geometrie durch Steuerung der Bestrahlungseinheit zu verfestigen und nach den Bestrahlungsschritten für die Schicht die

Relativposition der Bauplattform zum Wannenboden

anzupassen, um so sukzessive den Bauteil in der gewünschten Form aufzubauen.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von in der Zeichnung schematisch dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. In dieser zeigen Fig. 1 eine Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäße Verfahrens, Fig. 2 eine Einheit zur Fokusvolumenanpassung, Fig. 3 eine abgewandelte Ausbildung der Einheit zur Fokusvolumenanpassung, Fig. 4 eine weitere abgewandelte Ausbildung der Einheit zur

Fokusvolumenanpassung, Fig. 5 eine weitere abgewandelte Ausbildung der Einheit zur Fokusvolumenanpassung, Fig. 6 eine weitere abgewandelte Ausbildung der Einheit zur

Fokusvolumenanpassung und die Fig. 7 bis 10 verschiedene Baustrategien unter Verwendung von großen und kleinen

Volumenelementen.

In Fig. 1 ist ersichtlich, dass eine vom Laser 7 emittierte elektromagnetische Welle durch eine Einheit zur Veränderung des Fokuspunktvolumens 8 und über eine Strahlablenkeinheit 9 geführt und mittels eines optischen Abbildungssystems 10 durch eine transparente Bodenplatte 1 in ein

photosensitives Material 2 fokussiert wird. Im Brennpunkt 5 des optischen Abbildungssystems 10 kommt es zur

Zustandsänderung des photosensitiven Materials 2, womit das Bauteil 3 aufgebaut wird. Das Bauteil 3 hängt an einer Bauplattform 4, die in vertikaler Richtung bewegt werden kann. Nachdem die aktuelle Schicht fertig belichtet wurde, wird die Bauplattform 4 angehoben und die nächste Schicht wird belichtet. Durch Verwendung eines Lasers 7 mit hoher Spitzenleistung ist der Einsatz von Multiphotonenabsorption möglich, sodass die Zustandsänderung des Materials nur im Fokus 5 stattfindet, nicht aber in der optisch „toten" Zone 6 zwischen dem Wannenboden 1 und der Bauplattform bzw. dem bereits gebildeten Bauteil. Somit kann es zu keiner

Anhaftung des Bauteils an der transparenten Bodenplatte 1 kommen .

Sämtliche Elemente in Fig. 1 sind lediglich symbolisch dargestellt und können beliebig und entsprechend dem Wissen des Fachmanns erweitert werden, beispielsweise durch

Einsatz zusätzlicher Linsensysteme, Blenden, Spiegel,

Filter oder Strahlteiler.

Fig. 2 zeigt schematisch die Einheit 8 zur Veränderung des Fokuspunktvolumens. Die Einheit umfasst ein diffraktives optisches Element 11, welches den eintreffenden Strahl in zwei Strahlen aufspaltet, die ein System aus zwei Linsen 12 und 13 durchlaufen. Die Aufspaltung des Strahls erfolgt mit dem Ziel, zwei Punkte nebeneinander in der Fokusebene zu erzeugen. Überlappen einander beide Punkten, kann man auch von einer Linie sprechen.

Fig. 3 zeigt eine abgewandelte Ausbildung der Einheit 8 zur Fokusvolumenanpassung. Die Einheit 8 umfasst zwei

voneinander beabstandete koaxiale Zylinderlinsen 14 und 15, welche von dem Strahl durchlaufen werden. Das Strahlprofil vor dem Eintritt in die Einheit 8, und zwar in der

strichliert dargestellten Ebene, ist kreisrund. Am Austritt aus der Einheit 8 ist eine Komprimierung in Richtung der y- Achse zu beobachten. Daraus ergibt sich am Fokuspunkt 5 in der χ,ζ-Ebene und in der y, z-Ebene die in der Zeichnung dargestellt Ausdehnung des Fokuspunktvolumens.

Durch Einstellung des Abstands zwischen den Zylinderlinsen 14 und 15 ändert sich das Volumen des Gesamt-Fokuspunkts 5.

Ein ähnlicher Effekt ergibt sich bei Verwendung einer

Schlitzblende 11, wie dies in der Ausbildung gemäß Fig. 5 gezeigt ist, wobei hier jedoch Intensitätsverluste durch das Abschneiden des Strahls entstehen.

Bei der Ausbildung gemäß Fig. 4 bewirkt eine Irisblende 16 eine Reduzierung der effektiven numerischen Apertur des Abbildungssystems, wodurch das FokuspunktVolumen sowohl länger als auch breiter wird.

Der bei der Ausbildung gemäß Fig. 6 gezeigte Expander aus den Linsen 18 und 19 hat den gleichen Effekt wie die

Irisblende 16, vermeidet aber Intensitätsverluste, indem der Strahldurchmesser verkleinert wird ohne den Strahl abzuschneiden.

Die in den Fig. 2 bis 6 gezeigten Möglichkeiten zur

Änderung des Fokuspunktvolumens erfolgen insbesondere unter Verwendung von gepulstem Laserlicht mit einer Wellenlänge im Bereich von 400 bis 1600nm, wobei die Pulslänge zwischen lfs und Ins beträgt.

Fig. 7 zeigt einen Bauteil, der mittels eines Verfahrens aufgebaut wurde, bei dem ausschließlich kleine

Fokuspunktvolumina 22 ohne Adaption des Volumens verfestigt werden. Durch die hohe Auflösung ergibt sich eine große Anzahl zu schreibender Punkte und damit eine hohe Prozesszeit pro Schicht. Diese Baustrategie ist vorteilhaft für kleine, hochaufgelöste Strukturen, wo eine Adaption des Fokuspunktvolumens keinen Vorteil bringen würde oder der Durchsatz nicht entscheidend ist.

Für den in Fig. 8 dargestellten Bauprozess wird nur ein großes Fokuspunktvolumen 32 verwendet ohne Adaption des Volumens. Die Baustrategie hat einen hohen Durchsatz, aber niedrige Auflösung. Das Fokuspunktvolumen wird durch die optische Einheit 8 kontrolliert, wobei die Fläche des

Fokuspunktvolumens vergrößert und die effektive numerische Apertur an die gewünschte Schichtdicke angepasst wird.

Diese Baustrategie ist vorteilhaft für Bauteile, die keine hohe Auflösung benötigen, aber hoher Durchsatz gefordert wird.

Der mögliche Ablauf eines Bauprozesses mit zwei

unterschiedlichen Fokuspunktvolumina wird in Fig. 9

gezeigt. Durch Adaption des Fokuspunktvolumens während des Bauprozesses durch die optische Einheit 8 reduziert sich die Prozesszeit pro Schicht. Die zu bauende Struktur 41 wird Schicht für Schicht abwechselnd aus feinen 42 und groben Füllvolumina 43 aufgebaut. Mit dem feinen

Füllvolumina 42 werden jene Teile der Struktur belichtet, die nicht mit dem groben Füllvolumen 43 erreicht werden können. Es ist von Vorteil zuerst hochaufgelöste Teile mit dem kleinen Fokuspunktvolumen 42 zu schreiben und danach das innere Volumen zu füllen, da es durch bereits gebaute Strukturen zur Verzerrung des Fokuspunkts kommen kann. Das adaptive Fokuspunktvolumen ermöglicht die Herstellung von Bauteilen mit sowohl hoher Auflösung als auch hohem

Durchsatz. Diese Baustrategie eignet sich für Bauteile mit hoher Auflösung mit leichter Oberflächenrauigkeit . Der Ablauf der Baustrategie in Fig. 10 ist ähnlich der in Fig. 9 dargestellten Baustrategie, außer dass nun die Oberfläche des Bauteils mit einem zusätzlichen kleinen Fokuspunktvolumen 54 und kleiner Schichtdicke gebaut wird. Die drei Fokuspunktvolumina werden folgend benannt: das feine Füllvolumen 52, das grobe Füllvolumen 53 und das Oberflächenvolumen 54. Das Oberflächenvolumen besitzt das kleinste Volumen und damit die höchste Auflösung für eine gute Formwiedergabe von Ecken und Kanten. Das feine

Füllvolumen 52 ist gleich oder größer dem

Oberflächenvolumen 54 und füllt Lücken, die durch das grobe Füllvolumen 53 nicht erreicht werden können. Diese

Baustrategie eignet sich für Bauteile, bei denen eine ausgezeichnete Formwiedergabe, Oberflächenqualität und hoher Durchsatz gefordert werden.